KR910011636A - 수소 침투 방지용 외부 코팅층을 갖는 흑연 척 및 탄소가 거의 없는 다결정 실리콘 제조 방법 - Google Patents

수소 침투 방지용 외부 코팅층을 갖는 흑연 척 및 탄소가 거의 없는 다결정 실리콘 제조 방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음.

Description

수소 침투 방지용 외부 코팅층을 갖는 흑연 척 및 탄소가 거의 없는 다결정 실리콘 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (22)

  1. 수소 침투 방지용 외부 코팅층을 가지며 스타터 필라멘트상에서의 기체상 실리콘 화합물의 열분해에 의해 다결정 실리콘 로드의 제조시 연신된 스타터 필라멘트를 장착하기에 적합한 것을 특징으로 하는 흑연 척.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 수소 침투 방지용 외부 코팅층은 거의 연속적인 것을 특징으로 하는 흑연 척.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 수소 침투 방지용 외부 코팅층의 두께는 대략 0.1mil(2.54×10-3mm)이상인 것을 특징으로 하는 흑연 척.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 수소 침투 방지용 외부 코팅층의 두께는 대략 1mil(2.54×10-2mm)이상인 것을 특징으로 하는 흑연 척.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 수소 침투 방지용 외부 코팅층의 두께는 대략 0.5 내지 3mil(1.27 내지 7.62×10-2mm)인 것을 특징으로 하는 흑연 척.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 수소 침투 방지용 외부 코팅층은 실리콘 탄화물, 다결정 실리콘, 탄탈륨, 티타늄, 텅스텐, 실리콘 질화물, 실리콘 산화물, 몰리브덴 및 그 화합물로 구성되는 그룹으로부터 선정되는 것을 특징으로 하는 흑연 척.
  7. 제 1 항에 있어서, 스타터 필라멘트를 가열하기 위해 전류를 공급하는 전극상에 장착되기에 적합한 하부 채널을 구비하는 것을 특징으로 하는 흑연 척.
  8. 제 7 항에 있어서, 수소 침투 방지용 외부 코팅층이 실리콘 탄화물이고, 전극과 접촉하는 척의 표면에는 존재하지 않는 것을 특징으로 하는 흑연 척.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 수소 침투 방지용 외부 코팅층은 실리콘 탄화물인 것을 특징으로 하는 흑연 척.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 수소 침투 방지용 외부 코팅층은 다결정 실리콘인 것을 특징으로 하는 흑연 척.
  11. 증착되는 다결정 실리콘과 부산물인 수소를 형성하도록 기체상 실리콘 화합물을 분해하기에 충분한 온도에서 유지되고 흑연 척에 장착되는 가열된 스타터 필라멘트상에서 기체상 실리콘 화합물을 열분해하여 탄소가 거의 없는 다결정 실리콘을 제조하는 방법에 있어서, 부산물인 수소가 흑연과 반응하는 것을 방지하고 증착된 다결정 실리콘상에 탄소로 분해되는 메탄을 형성하기 위해 상기 흑연 척이 수소 침투 방지용 외부 코팅층을 구비하는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 기체상 실리콘 화합물은 실란인 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제 11 항에 있어서, 상기 기체상 실리콘 화합물은 트리클로로실란인 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제 11 항에 있어서, 상기 수소 침투 방지용 외부 코팅층은 거의 연속적인 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제 11 항에 있어서, 상기 수소 침투 방지용 외부 코팅층의 두께는 대략 0.1mil(2.54×10-3mm)이상인 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 제 11 항에 있어서, 상기 수소 침투 방지용 외부 코팅층의 두께는 대략 1mil(2.54×10-2mm)이상인 것을 특징으로 하는 방법.
  17. 제 11 항에 있어서, 상기 수소 침투 방지용 외부 코팅층은 대략 0.5 내지 3mil(1.27 내지 7.62×10-2mm)인 것을 특징으로 하는 방법.
  18. 제 11 항에 있어서, 상기 수소 침투 방지용 외부 코팅층은 실리콘 탄화물, 다결정 실리콘, 탄탈륨, 티타늄, 텅스텐, 실리콘 질화물, 실리콘 산화물, 몰리브덴 및 그 화합물로 구성되는 그룹으로부터 선정되는 것을 특징으로 하는 방법.
  19. 제 11 항에 있어서, 하부 채널이 구비된 상기 흑연 척은 스타터 필라멘트를 가열하기 위해 전류를 공급하는 전극상에 장착되는 것을 특징으로 하는 방법.
  20. 제 19 항에 있어서, 수소 침투 방지용 외부 코팅층이 실리콘 탄화물이고, 전극과 접촉하는 척의 표면에는 존재하지 않는 것을 특징으로 하는 방법.
  21. 제 11 항에 있어서, 상기 수소 침투 방지용 외부 코팅층은 실리콘 산화물인 것을 특징으로 하는 방법.
  22. 제 11 항에 있어서, 상기 수소 침투 방지용 외부 코팅층은 다결정 실리콘인 것을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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