KR910008915B1

KR910008915B1 - 형상 측정장치

Info

Publication number: KR910008915B1
Application number: KR1019880001013A
Authority: KR
Inventors: 가주오 사노; 미쯔아끼 우에수기; 마사미 하라야마; 요시히로 오꾸노; 히토시 마쯔나가; 요이찌 마쯔주
Original assignee: 니홍 고강 가부시기가이샤; 가또 야수다까
Priority date: 1987-02-04
Filing date: 1988-02-04
Publication date: 1991-10-24
Also published as: EP0280903A1; US4848912A; DE3860617D1; JPS63191006A; KR880010312A; EP0280903B1

Abstract

내용 없음.

Description

형상 측정장치

제1도는 본 발명에 일치하는 형상 측정장치의 일실시예를 개략적으로 도시하는 사시도.

제2도는 본 발명에 일치하는 물체의 실루엣 영상을 형성하기 위한 수단의 구조를 도시하는 종단면도.

제3도는 본 발명과 관련되는 물체의 실루엣 영상을 형성하기 위한 방법의 원리를 예시하는 도면.

제4도는 본 발명에 일치하는 물체의 실루엣 영상을 형성하기 위한 방법의 원리를 예시하는 도면.

제5도는 본 발명의 형상 측정장치를 구성하는 형상 계산수단의 구조를 도시하는 블록 다이아그램.

제6도는 본 발명의 물체의 실루엣 영상을 형성하기 위한 수단의 동작을 예시하는 개략설명도.

제7도는 본 발명에 일치하는 각각의 센서 소자의 출력전압을 도시하는 비디오 신호의 파형의 그래프.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 굴곡봉 2 : 회전판

3 : 아암 5,6 : 광원

7,8 : 접촉영상센서 9 : 반사경

10,11 : 광속 12 : 회전축

13 : 제어장치 14 : 모터드라이버

15 : 영상센서 드라이버 17 : 번지카운터회로

18 : 번지카운터 제어회로 19 : 번지계산회로

20 : 데이타 입력회로 21 : 형상데이타 계산회로

22 : 영상 신호 23 : 중심번지

24 : 번지폭

본 발명은 물체의 형상 측정장치에 관한 것이며, 특히 물체에 광선비임을 발출하여 물체의 실루엣 영상을 형성하는 것에 의해 물체의 형상을 측정하기 위한 장치에 관한 것이다.

생산성을 향상시키기 위해서는 굴곡봉 또는 관의 굴곡형상의 검사를 단시간내에 수행하는 것이 필요하다. 현재까지는 검사를 검사공구에 의거하여 검사자가 시각적으로 관찰하여 수행하고 있다. 이러한 검사방법은 검사시 오검의 가능성이 있고, 생산품의 품질을 완전히 보증할 수 없는 단점을 갖는다. 또한, 굴곡봉 또는 관에서 형상결함이 발견되었을때, 벤딩머시인(bending machine)의 작업조건을 변경하도록 검사결과를 피이드백 하는데 어려움이 있었다. 이것은 시각적인 관찰이 정량적으로 수행되지 않기 때문이다. 위와같은 단점 때문에 굴곡봉, 또는 관의 형상검사의 자동화가 강력히 요구되고 있다.

상기 단점을 극복하기 위하여, 일본국 특허출원 공개 제132857/76호에는 종래 기술로서, (a) 광학계가 서로 직각으로 교차 정렬될 수 있도록 하기 위하여, 대상봉이 그 사이에 배치될 수 있도록 서로 마주대하고 있는 수광 유니트와, 광원 및 측정될 대상봉의 세로축에 거의 직각을 이루는 광축으로 구성되는 광학계를 갖는 한쌍의 영상 형성장치와 ; (b) 상기 영상 형성장치의 쌍은 대상봉의 세로축방향에 복수로 설치되어 있으며 ; (c) 광의 농도 패턴을 각각의 상기 영상 형성장치의 영상 형성위치에서 전기신호로 변환하기 위한 수단과, 전기 신호를 토대로 굴곡형성을 계산하기 위한 수단 ; 으로 구성되는 굴곡봉 또는 관의 굴곡형상 검사장치가 서술되어 있다.

이 장치는 거의 직선형으로 간주할 수 있는 작은 굴곡곡선을 갖는 봉에 사용할 수 있으며, 특히 이들 봉의 편차가 세로방향의 여러지점에서 샘플 추출되는 경우에도 검사에 효과적이다. 그러나, 이 장치는 큰 굴곡곡선 및 다수의 굴곡부를 갖는 봉에는 사용할 수 없는 단점을 갖는다. 이것은, (1) 형상편차가 굴곡봉의 모든 지점에서 측정되어야 하고 ; (2) 굴곡형상에 따라, 굴곡봉의 축이 거의 광학계의 광축에 평행한 각도를 형성하며 ; (3) 굴곡형상에 따라, 굴곡봉의 두 지점 또는 그 이상의 지점이 수광 유니트상에서 중복되게 형성되기 때문이다.

본 발명의 목적은 큰 굴곡곡선과 다수의 굴곡부를 갖는 굴곡봉 또는 관의 형상을 단시간에 측정하기 위한 장치를 제공하는데 있다.

본 발명에 따라 상기 목적을 달성하기 위하여, 측정될 물체를 고정하는 다수의 아암과, 각각의 아암의 한단부가 고정된 회전판으로 구성된 스캐닝 장치와 ; 물체가 그 사이에 배치될 수 있도록 서로 마주 대하고 있는 수광 유니트와, 광원 및, 회전판의 회전축에 평행한 광축을 갖는 제1광학계와, 물체가 그 사이에 배치될 수 있도록 서로 마주대하고 있는 또 다른 수광유니트와 광원 및, 회전판의 회전축에 거의 직각인 또 다른 광축을 갖는 제2광학계로 구성되는 물체의 실루엣 영상을 형성하기 위한 장치와 ; 물체의 실루엣 영상을 형성하기 위한 장치에 의해 형성된 광의 농도패턴으로 부터 변환된 전기 신호를 토대로 물체의 형상을 계산하기 위한 장치로 구성되는 형상측정 장치가 제공된다.

본 발명의 목적 및 장점은 첨부 도면에 관하여 서술된 상세한 다음 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다.

지금부터, 본 발명의 양호한 실시예가 도면에 관하여 서술될 것이다.

제1도는 형상 측정장치의 한 실시예를 개략적으로 예시한다. 제1도에서, 부호(2)는 스캐닝장치를 고정하는 회전판을 표시한다. 이 회전판(2)은 그 중심에서 회전축을 가지며, 스테핑 모터에 의해 회전되는 회전축에 의하여 회전한다. 회전판에는 복수의 아암(3)이 고정되어 있으며, 각각의 아암(3)은 굴곡봉(1)을 고정할 수 있도록 U자형 단부를 구비한 홀더를 갖는다. 상이한 크기 및 형상을 갖는 굴곡봉이 측정될 때에는 그러한 굴곡봉을 측정하기에 적당한 상이한 아암이 사용될 수 있다. 그러므로, 상기 형상 측정장치를 적당한 회전반경의 아암(3)을 선택함으로서 다양한 크기와 형상을 갖는 어떤종류의 대해서라도 사용될 수 있다. 부호(4)는 물체의 실루엣 영상을 형성하기 위한 장치를 표시한다. 제2도는 본 발명에 일치하는 물체의 실루엣 영상을 형성하기 위한 장치의 구조를 도시하는 종단면도이다. 형상측정장치(4)는 두개의 평행광원(5,6)과, 두개의 접촉영상센서(7,8) 및 반사경(9)를 구비한다. 평행광원(5)으로 부터 발출되는 광속은 회전판(2)의 회전축(12)에 평행한 광속(10)을 형성하도록 반사되며, 반사된 광속(10)은 굴곡봉(1) 상에 발출된다. 굴곡봉(1)의 실루엣 영상은 회전판(2)의 레벨과 평행하게 고정된 수광유니트인 접촉영상센서(7)상에 형성된다. 한편, 광속은 평행광원(6)에서 부터 회전축(12) 방향으로 발출되며, 광속(11)을 형성하도록 회전축(12)에 평행한 광속(10)가 직각으로 교차한다. 광속(11)은 굴곡봉(1)상에 발출된다. 굴곡봉(1)의 실루엣 영상은 회전판(2)의 회전축(12)에 평행하게 고정된 수광유니트인 접촉영상센서(8) 상에 형성된다.

광원으로서는 평행광원, 확산광원, 발산광원 및 수렴광원의 어느것이라도 사용될 수 있지만, 평행광원을 사용하는 것이 바람직하다. 그 이유는 첫째, 평행광원에서 부터 발출되는 광은 평행하고, 공간 간섭성이 높아 굴곡봉의 형상에 관계없이 실루엣 영상의 흐름이 적으므로 분석결과를 개선하기 때문이며, 둘째, 광이 발산되거나 수렴되지 않으므로 실루엣 영상이 굴곡봉과 광원, 또는 수광 유니트 사이의 거리 변화에 영향을 받지 않기 때문이다. 평행광원으로서는 백색광 평행광원 및 레이저 평행광원이 사용될 수 있지만, 더 높은 평행성과 더 적은 광량변화를 갖는 레이저 평행광원을 사용하는 것이 바람직하다.

수광유니트용 센서로는 선형 배열센서가 사용될 수 있다. 선형 배열센서는 영상 형성 시스템을 필요로 하지 않는 접촉영상 센서인 것이 바람직하다. 따라서, 형상 측정장치는 단순화 됨과 동시에 광 사용의 효율성이 높아진다. 접촉영상 센서는 하나 또는 그 이상의 라인 스캔형태의 선형 영상센서로 구성된 센서가 사용될 수 있다. 이 선형영상 센서는 각각의 수광소자에 의해 수용되는 광의 양에 비례하여 연속적으로 전압을 출력하도록 125㎛의 피치로서 선형적으로 배치된 100㎛×100㎛ 크기의 2048개의 수광소자로 구성된다. 또한, 스크린상에 형성된 실루엣 영상이 선형 배열 카메라에 의해 투영되는 또 다른 방법이 사용될 수 있다. 다음으로, 굴곡봉의 실루엣 영상을 형성하기 위한 장치를 이루는 한쌍의 광학계에 의하여 굴곡봉(1)의 실루엣 영상을 형성하는 이유가 도면에 관하여 서술될 것이다.

제3도는 본 발명과 관련되는, 물체의 실루엣 영상을 형성하기 위한 방법의 원리를 개략적으로 예시한다. 다수의 굴곡부와 큰 굴곡곡선을 갖는 굴곡봉(1)이 제3도에서 도시된 바와 같은 (X,Y,Z)의 직각좌표계를 통하여 관측되었을때, 굴곡봉의 형상은 다가함수로 표시된다. X, Y 및 Z축에서 부터 본 각각의 영상은, 제 각기, YZ평면, ZX 평면 및 XY평면상의 투영(1b, 1c, 및 1a)으로 표시된다. 따라서, 제3도로 부터 명백히 알 수 있는 바와 같이, 예를 들어 YZ평면의 투영(1b)과, ZX평면의 투영(1c)은 굴곡봉의 두 지점을 서로 겹치게 하고 있으며, 그 결과 굴곡봉의 일부의 형상은 측정되지 않는다.

제4도는 본 발명에 일치하는, 물체의 실루엣 영상을 형성하는 방법의 원리를 개략적으로 도시한다. 굴곡봉(1)이 제4도에서 도시한 바와 같은 (R,θ,Z)의 원기둥 좌표계를 통하여 관측되었을때, 굴곡봉의 형태는 각(θ)에 관한 일가함수로 표시된다. 그러므로, Z축 방향에 형성된 굴곡봉의 투영(1a)과, R방향에 형성된 굴곡봉의 투영(1d)이 각(θ)만큼 변화될 때 관측된다면, 이들 투영에는 겹쳐지는 지점이 존재하지 않는다. 따라서, 굴곡봉이 다수의 굴곡부와 큰 굴곡곡선을 가짐에도 불구하고 굴곡봉의 형상은 정확하게 측정평가될 수 있다. 상술한 방법을 고려한 본 발명에 있어서, 봉이 회전하고 있을때 Z축 및 R방향으로 투영된다.

이어서, 굴곡봉(1)의 형상은 실루엣 영상 신호를 처리하는것에 의하여 측정된다. 제5도는 형상 측정장치를 구성하는 형상 계산장치의 구조를 예시하는 블록 다이아그램을 개략적으로 도시한다. 형상계산 장치는 시스템 클럭 발생기 및 동기신호 발생기로 구성되는 제어장치(13) ; 회전판(2)을 회전시키는 스테핑모터를 구동하는 모터 드라이버(14) ; 신호를 송수신하는 영상센서 드라이버(15) 및 접촉 영상센서(7,8) ; 입력신호를 바이널라이징하기 위한 회로(16) ; 수신유니트의 소자번지를 계산하기 위한 번지 카운터회로(17)와 ; 실루엣 영상의 두 에지부를 검출하기 위한 번지 카운터 제어회로(18) ; 영상실루엣의 두 에지부 번지 사이의 번지폭과 중심번지를 계산하기 위한 번지 계산회로(19) ; 중심번지와 번지폭을 기억 저장하기 위한 데이타 입력회로(20) 및 ; 좌표계에 표시하도록 데이타 입력회로에 저장된 중심번지를 판독하기 위한 형상 데이타 계산회로(21)로 구성된다.

지금부터, 상기와 같이 구성된 형상 계산장치의 작동효과가 서술될 것이다.

[제어장치]

제어장치(13)는 시스템 클럭발생기와 동기신호 발생기를 구비한다. 동기신호 발생기는 시스템 클럭 발생기가 출력하는 신호를 송신한다. 제어장치(13)의 기능은 모터드라이버(14), 영상센서 드라이버(15) 및 데이타 입력회로(20)의 작동을 동조시키는 것이다. 굴곡봉의 형상측정을 시작하는 순간 지령신호는 제어장치(13)에 송신되며, 제어장치는 출발신호를 모터드라이버(14), 영상센서드라이버(15) 및 데이타 입력회로(20)에 송신한다. 이와같이, 굴곡봉의 형상측정이 시작된다.

[모터 드라이버]

모터 드라이버(14)는 동작을 시동하는 신호에 의해 스캐닝을 위한 장치내에 고정된 스테핑 모터를 구동하며, 회전판(2)에 일정각도의 소정피치로서 부착된 아암(3)에 의해 고정된 굴곡봉(1)을 회전시키도록 회전판(2)을 회전시킨다.

[영상센서 드라이버]

영상센서 드라이버(15)는 굴곡봉(1)이 회전하는 매 피치마다 출발신호를 송신하는 제어장치(13)에서 부터 동기신호를 수신하며, 이에 따라 라인스캐닝이 시작된다.

[영상센서]

접촉영상센서(7,8)는 평행광원에서부터 발출되는 광 비임이 차단되지 않을때, 즉 굴곡봉(1)이 어떤 광비임과도 교차하지 않을때, 모든 소자의 출력전압이 포화상태를 이루도록 설정되어 있다. 제6도는 본 발명에 일치하는, 물체의 실루엣 영상을 형성하기 위한 장치의 동작을 개략적으로 도시한다. 제6도에서 도시한 바와같이, 굴곡봉(1)이 각각의 광로와 교차할때, 실루엣 영상은 접촉영상센서(7,8) 상에 형성되며, 모든 소자의 출력전압은 제로상태로 된다. 모든 소자의 출력전압은 영상센서 드라이버(15)에 송신된다. 영상센서 드라이버(15)에서 부터, 모든 센서소자의 번지에 일치하는 영상신호가 신호를 바이널라이징 하기 위한 회로(16)로 보내진다. 제7도는 본 발명에 일치하는 모든 센서소자의 출력전압을 나타내는 영상신호의 파형을 그래프로 도시한다. 제7도에서 도시한 번지는 출력전압이 제로일때 형성되는 굴곡봉(1)의 실루엣 영상의 번지이다. 굴곡봉(1)의 형상은 출력전압이 제로인 중심번지(23)와 같은 중심번지를 계수하는 것에 의하여 검출될 수 있다. 실루엣 영상이 흐린 경우에라도 흐림의 정도가 영상의 양 에지부가 거의 대칭적으로 흐리도록 된다면, 흐림의 영향은 영상의 중심번지(23)를 계산하는 것에 의하여 배제된다. 또한, 굴곡봉(1)을 고정하는 아암(3)의 위치는 번지폭(24)의 변화를 계산하는 것에 의하여 검출될 수 있다.

[바이널라이징을 위한 회로]

바이널라이징을 위한 회로(16)는 증폭기, 표본 유지회로 및 전압비교기로 구성된다. 시스템 클럭신호에 의해 증폭 및 표본 유지된후, 영상센서 드라이버(15)로 부터 전달된 영상신호(22)는 전압비교기에 의하여 임계값으로서 적당한 전압값에 관한 결정을 토대로 바이널라이즈 된다. 실루엣 영상의 중심번지(23) 및 번지폭(24)은 바이널라이징된 신호의 두 에지에 일치하는 접촉영상센서(7,8) 상의 소자의 번지로 부터 계산될 수 있다.

[번지 카운터 회로]

각각의 접촉영상센서(7,8)상에 투영된 실루엣 영상의 두 에지 번지를 계수하기 위하여, 네개의 카운터가 번지카운터회로(17)에 설정되어 있다. 네 카운터의 각각은 출발신호가 제어장치(13)에서 영상센서 드라이버(15)까지 송신되자마자 리세트된다. 굴곡봉(1)의 형상 측정치, 시스템 클럭신호가 계수되며, 접촉영상센서(7,8)의 소자번지는 스캐닝 동작시에 나타난다.

[번지 카운터 제어회로]

번지 카운터 제어회로(18)는 다수의 플립-플롭회로로 구성된다. 접촉 영상센서(7,8)상에 투영된 두 에지부는 바이널라이징된 신호가 0에서 1로 상승한 시점 및 1에서 0 으로 하강한 시점에서 검출된다. 검출된 에지 신호는 번지 카운터 회로(17)에 송신되며, 실루엣 영상의 두 에지부의 번지는 거기에 상응하는 카운터에 의해 저장된다. 영상의 두 에지부의 저장번지는 번지 계산회로(19)로 송신된다.

[번지 계산회로]

번지 계산회로(19)는 가산기, 계산기 및 감산기 등으로 구성된다. 중심번지(23)는 각각의 접촉 영상센서(7,8) 상에 투영된 실루엣 영상의 두 에지부의 번지를 합산한 다음 합산값을 둘로 나누는 것에 의해 계산된다. 또한, 두 에지부 사이의 번지폭(24)은 두 에지부사이의 거리를 계산하는 것에 의해 산정된다. 계산된 중심번지(23)와 번지폭(24)은 데이타 입력회로(20)로 송신된다.

[데이타 입력회로]

데이타 입력회로(20)에서는 번지 계산히로(19)에서 계산된 두 에지부의 중심번지(23)와 번지폭(24)이 연속적으로 기억 저장된다. 저장된 중심번지(23)와 번지폭(24)의 메모리는 굴곡봉(1)이 굴곡봉의 형상측정 개시부터 일회전 할때마다 기록된다. 스캐닝을 완료함과 동시에, 모든 데이타는 데이타 입력회로(20)에 연속적으로 기억저장된다.

[형상데이타 계산회로]

형상데이타 계산회로(21)에서는 데이타 입력회로(20)에서 저장된 중심번지(23)와 번지폭(24)의 데이타가 판독출력 된다. 중심번지(23)의 각각의 데이타에 대해 눈금 변환이 이루어지며, 굴곡봉(1)의 굴곡형상은(R,θ,Z)의 원기둥 좌표계로 표시된다. 원기둥 좌표계로 표시된 데이타는 직각좌표계로 표시된 데이타로 변환되고 기억 저장된다. 아암(3)의 실루엣 영상이 접촉 영상센서(7,8) 상에 형성될때 얻어진 데이타는 번지폭(24)의 데이타의 변화에 의해 검출된다. 이들 데이타에 상당하는 중심번지(23)는 무효상태로 되며, 동시에 무효상태로 된 중심번지(23)의 데이타는 그전 및 이후에 처리되는 데이타로 보정되며, 이에 따라 굴곡봉(1)의 형상은 아암(3)으로 고정된 부분에서도 명확해진다.

지금부터 굴곡봉(1)의 형상 평가 프로세스가 서술될 것이다. 먼저, 시험편 형상이 측정되고 시험표 형상으로 기록된다. 시험편 형상의 합격, 또는 불합격에 관한 판정은 시험표 형상과 시험편형상을 비교하는 것에 의하여 이루어진다. 편형상이 결함을 가질때에는 편형상의 결합부분이 지적된다.

시험편형상과 시험표 형상의 비교는 편차 평가방법 또는 패턴매칭방법으로 수행된다. 편차 평가방법은 시험편 형상과 시험표 형상을 비교하여 모든 측정지점에서 위치편차를 계산한다. 패턴매칭 방법은 시험편 형상을 바이널라이징된 영상 패턴화상으로 표시하고, 형상 마스터 패턴을 형성하도록 바이널라이징된 화상에 대한 폭의 공차와 함께 확장처리를 적용한다. 그 다음, 시험편 형상이 시험편형상의 모든 측정 지점에 관하여 형상 마스터 패턴을 만족시키는지를 검사한다.

특히 주목할 것은 굴곡봉(1)의 형상을 측정하는 본 발명의 실시예가 굴곡관의 형상 측정에도 적용할 수 있다는 것이다.

본 발명은 다음과 같은 장점을 제공한다.

(A) 다수의 굴곡부와 큰 굴곡곡선을 갖기 때문에 그 형태를 직각좌표계로 측정하기 어려운 굴곡봉 또는 굴곡관이 쉽게 측정될 수 있다. 또한, 시험편의 중심형상의 공차가 ±2㎜인 반면, 봉 또는 관의 중심형상이 ±0.5㎜의 범위내에 있는 우수한 정밀도를 갖는다. 이것은 측정될 굴곡봉 또는 관이 스캐닝 수단에 의해 회전될 수 있고, 특정광선 및 투영 시스템이 이들 회전 굴곡봉, 또는 관에 적용될 수 있기 때문이다. 즉, 회전축에 평행한 광축을 갖는 한 광속과 회전축에 직각인 광축을 갖는 다른 하나의 광속은 모든 지점에서 굴곡봉 또는 관의 실루엣 영상을 형성하도록 이들 굴곡봉 또는 관상에 발출된다.

(B) 굴곡봉과 같은 물체의 종류와 형상에 따라 특정검사 공구를 준비할 필요가 없다. 이것은 검사비용을 절감하며, 생산품을 고객에게 경제적으로 공급할 수 있게 한다. 또한, 작업자들은 무거운 검사공구를 취급하는 것으로 부터 해방된다. 이것은 본 발명의 장치가 물체의 스캐닝시 그 형상과 크기에 따라 물체를 고정하는 아암에 의해 회전반경이 결정되므로 굴곡봉과 같은 다양한 물체에 적용할 수 있기 때문이다.

(C) 측정은 물체의 모든 지점에서 자동적 및 정량적으로 수행될 수 있다. 또한, 측정시간은 데이타 입력 및 데이타 계산을 합한 전체 시간이 10초를 넘지 않도록 단축될 수 있다. 따라서, 검사시의 오검은 배제되며, 생산품의 품질은 완전히 보증될 수 있다.

(D) 본 발명의 장치는, 물체의 마스터 형상을 기록하여 측정데이타를 기록 데이타와 비교하고 비교결과를 벤딩 머시인에 피이드 백할 수 있도록 한다. 피이드백 시스템을 활용하기 때문에 더욱 개선된 측정결과가 얻어질 수 있다.

Claims

측정될 물체(1)를 고정하는 다수의 아암(3)과, 각각의 아암의 한단부가 고정된 회전판(2)으로 구성된 스캐닝을 위한 장치와 ; 물체가 그 사이에 배치될 수 있도록 서로 마주대하고 있는 수광유니트(7)와 광원(5) 및, 회전판(2)의 회전축(12)에 평행한 광축을 갖는 제1광학계와, 물체가 그 사이에 배치될 수 있도록 서로 마주대하고 있는 또다른 수광유니트(8)와 광원(6) 및, 회전판의 회전축에 거의 직각인 또 다른 광축을 갖는 제2광학계로 구성되는 물체의 실루엣 영상을 형성하기 위한 장치와 ; 물체의 실루엣 영상을 형성하기 위한 장치에 의해 형성된 광의 농도 패턴으로 부터 변환된 전기 신호를 토대로 물체의 형상을 계산하기 위한 장치로 구성되는 것을 특징으로 하는 형상측정장치.
제1항에 있어서, 물체(1)는 적어도 굴곡봉과 굴곡관 중에서 하나인 것을 특징으로 하는 형상측정장치.
제1항에 있어서, 제1광학계의 광원과 제2광학계의 광원은 평행광원으로 구성되는 것을 특징으로 하는 형상측정장치.
제3항에 있어서, 평행광원은 레이저 평행광원인 것을 특징으로 하는 형상측정장치.
제1항에 있어서, 제1광학계의 수광유니트와 제2광학계의 수광유니트는 선형배열 센서로 구성되는 것을 특징으로 하는 형상측정장치.
제5항에 있어서, 선형 배열센서는 접촉영상 센서인 것을 특징으로 하는 형상측정장치.
제1항에 있어서, 물체의 형상을 계산하기 위한 장치는, 시스템 클럭발생기와 동기신호발생기로 구성되며, 모터드라이버(14)와, 영상센서 드라이버(15)와 데이타 입력회로(20)에 출발신호를 송신하는 제어장치(13)와 ; 영상 센서드라이버로 부터의 입력신호를 이치화하여 번지 카운터 제어회로(18)에 송신하는 바이널 라이징 회로(16)와 ; 상기 회로(16)에서 수신한 신호에서 실루엣 영상의 두 에지부를 검출하여 번지 카운터 회로에 송신하는 번지 카운터 제어회로(18)와 ; 번지 카운터 제어회로에서 검출된 두 에지부 신호와 영상센서 드라이버로 부터의 시스템 클럭신호를 수신하며, 두 에지부의 번지들을 계산하는 번지 카운터 회로(17)와 ; 번지 카운터 회로로 부터의 신호에 의거하여 두 에지부 번지 사이의 번지 폭과, 중심번지를 계산하여, 이를 데이타 입력회로에 보내는 번지 계산회로(19)와 ; 번지 계산회로에서 수신된 중심번지와 번지폭을 메모리에 저장하기 위한 데이타 입력회로(20) 및 ; 중심번지를 좌표계로 표시하도록 데이타 입력회로에 저장된 중심번지를 판독하기 위한 형상데이타 계산회로(21)로 구성되는 것을 특징으로 하는 형상측정장치.
제7항에 있어서, 형상 데이타 계산회로(21)는 중심번지가 좌표 표현으로 변환되고, 물체의 형상이 원기둥 좌표계로 표시된 다음 직각 좌표 표현으로 기억저장 하도록 직각좌표 표현으로 변환하는 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 형상측정장치.