JPS6131906A - 三次元測定装置 - Google Patents
三次元測定装置Info
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- JPS6131906A JPS6131906A JP15444984A JP15444984A JPS6131906A JP S6131906 A JPS6131906 A JP S6131906A JP 15444984 A JP15444984 A JP 15444984A JP 15444984 A JP15444984 A JP 15444984A JP S6131906 A JPS6131906 A JP S6131906A
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- slit light
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
- G01B11/2545—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object with one projection direction and several detection directions, e.g. stereo
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、被測定体表面の各点の位置を導出して被測
定体の形状等を測定する測定方法に関する。
定体の形状等を測定する測定方法に関する。
従来、被測定体表面の各点の位置を導出して被測定体の
形状等を測定する手法として、センシングプローブを被
測定体に接触させて被測定体の形状を計測する接触法や
、２台のカメラにより同一対象物を同時に撮像しその両
画像の共通点を求めて被測定体の形状を測定するステレ
オ写真法、基準面におけるモアレ縞および被測定体表面
におけるモアレ縞にもとづき被測定体の形状を測定する
、モアレトポグラフィ法、および縦長のスリット光を被
測定体に照射して当該照射個所をテレビカメラにより撮
像し、当該画像の特徴的な点を求めて被測定体の形状を
測定する光切断法などの非接触法があり、これらの各手
法が産業用ロボットの物体認識技術として、あるいは各
種の検査装置等における物体認識技術として広く応用さ
れている。
形状等を測定する手法として、センシングプローブを被
測定体に接触させて被測定体の形状を計測する接触法や
、２台のカメラにより同一対象物を同時に撮像しその両
画像の共通点を求めて被測定体の形状を測定するステレ
オ写真法、基準面におけるモアレ縞および被測定体表面
におけるモアレ縞にもとづき被測定体の形状を測定する
、モアレトポグラフィ法、および縦長のスリット光を被
測定体に照射して当該照射個所をテレビカメラにより撮
像し、当該画像の特徴的な点を求めて被測定体の形状を
測定する光切断法などの非接触法があり、これらの各手
法が産業用ロボットの物体認識技術として、あるいは各
種の検査装置等における物体認識技術として広く応用さ
れている。
ところが、前記した接触法では測定に長時間を要すると
いう欠点があシ、非接触式の場合も、被測定体の形状を
認識しているだけで、被測定体の位置、すなわち任意の
座標系における座標を直接計測しているのではないため
、被測定体の位置を求めるには、得られた画像から対象
とすべき点を求めたのち、求めた点の位置すなわち座標
を演算。
いう欠点があシ、非接触式の場合も、被測定体の形状を
認識しているだけで、被測定体の位置、すなわち任意の
座標系における座標を直接計測しているのではないため
、被測定体の位置を求めるには、得られた画像から対象
とすべき点を求めたのち、求めた点の位置すなわち座標
を演算。
導出しなければならず、演算に時間がかかシ、しかもこ
れらの手法を実現する測定装置は分解能が非常に低いた
め、被測定体そのものが小さい場合。
れらの手法を実現する測定装置は分解能が非常に低いた
め、被測定体そのものが小さい場合。
あるいは被測定体表面に小さな凹凸がある場合には、精
度よく被測定体の形状や表面の凹凸の形態を認識できず
、信頼性に欠けるという欠点があシ、被測定体の形状等
を測定するには不十分である。
度よく被測定体の形状や表面の凹凸の形態を認識できず
、信頼性に欠けるという欠点があシ、被測定体の形状等
を測定するには不十分である。
この発明は、前記の点に留意してなされたものであシ、
被測定体の寸法１表面状態、形状等を短時間で精度よく
測定できるようにすることを目的とする。
被測定体の寸法１表面状態、形状等を短時間で精度よく
測定できるようにすることを目的とする。
この発明は、複数個の受光素子が縦横に配列された撮像
面を有し被測定体を撮像する１対の撮像手段、と、前記
両撮像手段の重複視野内における前記被測定体の全表面
に線状のスリット光を順次照射する投光手段と、前記各
スリット光ごとの前記両撮像手段の前記各受光素子の受
光出力を順次処理して前記被測定体表面の各点の三次元
位置を導出、測定する処理手段とを備えたことを特徴と
する三次元測定装置である。
面を有し被測定体を撮像する１対の撮像手段、と、前記
両撮像手段の重複視野内における前記被測定体の全表面
に線状のスリット光を順次照射する投光手段と、前記各
スリット光ごとの前記両撮像手段の前記各受光素子の受
光出力を順次処理して前記被測定体表面の各点の三次元
位置を導出、測定する処理手段とを備えたことを特徴と
する三次元測定装置である。
したがって、この発明の三次元測定装置によると、複数
個の受光素子が縦横に配列された撮像面を有する１対の
撮像手段を設け、線状のスリット光を照射する投゛光手
段、およびスリット光ごとの各受光素子の出力を順次処
理して被測短体表面の各点の三次元位置を導出、測定す
る画像処理手段を設けたことによシ、スリット光の照射
個所を移動させるのみで、被測定体表面の各点の三次元
位置を短時間で精度よく導出、測定することができ、必
要に応じ被測定体の寸法９表面状態、形状等を容易に測
定することができ、非常に実用的である。
個の受光素子が縦横に配列された撮像面を有する１対の
撮像手段を設け、線状のスリット光を照射する投゛光手
段、およびスリット光ごとの各受光素子の出力を順次処
理して被測短体表面の各点の三次元位置を導出、測定す
る画像処理手段を設けたことによシ、スリット光の照射
個所を移動させるのみで、被測定体表面の各点の三次元
位置を短時間で精度よく導出、測定することができ、必
要に応じ被測定体の寸法９表面状態、形状等を容易に測
定することができ、非常に実用的である。
つぎに、この発明を、そのｌ実施例を示した図面ととも
に詳細に説明する。
に詳細に説明する。
まず第１図において、（ｌａ）、（！ｂ）はそれぞれＭ
ｘ Ｎ個の受光素子が縦Ｍ行、横Ｎ列に配列された第
１゜第２撮像面、（２ａ）、（２ｂ）は被測定体（以下
ワークという）（図示せず）からの反射光を両撮像面（
ｌａ） 。
ｘ Ｎ個の受光素子が縦Ｍ行、横Ｎ列に配列された第
１゜第２撮像面、（２ａ）、（２ｂ）は被測定体（以下
ワークという）（図示せず）からの反射光を両撮像面（
ｌａ） 。
（Ｉｂ）に集光する第１．第２集光レンズであシ、第１
、第２撮像面（Ｉａ）、（Ｉｂ）それぞれと第１．第２
集光レンズＣ２ａ）、（２ｂ）それぞれとが本体内に収
納されてＣＣＤ型エリアイメージセンサ等からなる第１
．第２撮像手段（３ａ）、（９ｂ）が構成され、両撮像
面（Ｉａ）、（Ｉｂ） １７）横方向への各線、すなわ
ち各走査線における各受光素子からの受光出力である撮
像信号が合成され、前記各走査線ごとの合成撮像信号で
ある画像信号が両撮像手段（８Ｂ）、（８ｂ）から連続
して出力される。
、第２撮像面（Ｉａ）、（Ｉｂ）それぞれと第１．第２
集光レンズＣ２ａ）、（２ｂ）それぞれとが本体内に収
納されてＣＣＤ型エリアイメージセンサ等からなる第１
．第２撮像手段（３ａ）、（９ｂ）が構成され、両撮像
面（Ｉａ）、（Ｉｂ） １７）横方向への各線、すなわ
ち各走査線における各受光素子からの受光出力である撮
像信号が合成され、前記各走査線ごとの合成撮像信号で
ある画像信号が両撮像手段（８Ｂ）、（８ｂ）から連続
して出力される。
（４）は線状のスリット付きキセノンランプ等からな多
線状のスリット光を照射する光源、（５）は光源（４）
からの前記スリット光の長さを長くする凸面筒レンズ等
からなる拡張レンズ、（６）は反射鏡であシ、回転自在
に設けられ、レンズ（５）を介した光源（４）からＱス
リット光を両撮像手段（８ａ）、（８ｂ）の重複視野を
前後方向に横切るように照射するとともに、回転によシ
、前記重複視野へのスリット光を左右方向に平行移動さ
せてワークの全表面にスリット光を照射するようになっ
ておシ、光源（４）、レンズ（５）。
線状のスリット光を照射する光源、（５）は光源（４）
からの前記スリット光の長さを長くする凸面筒レンズ等
からなる拡張レンズ、（６）は反射鏡であシ、回転自在
に設けられ、レンズ（５）を介した光源（４）からＱス
リット光を両撮像手段（８ａ）、（８ｂ）の重複視野を
前後方向に横切るように照射するとともに、回転によシ
、前記重複視野へのスリット光を左右方向に平行移動さ
せてワークの全表面にスリット光を照射するようになっ
ておシ、光源（４）、レンズ（５）。
反射鏡（６）によ多投光手段（７）が構成されるととも
に、両撮像手段（３ａ）、（３ｂ） 、投光手段（７）
および後述の画像処理手段により三次元測定装置（８）
が構成されている。
に、両撮像手段（３ａ）、（３ｂ） 、投光手段（７）
および後述の画像処理手段により三次元測定装置（８）
が構成されている。
つぎに、両撮像処理手段を示す第２図について説明する
。
。
同図において、（９）はクロック信号を発生するクロッ
ク回路、（＋ｏａ） 、（＋ｏｂ）は両撮像手段（３ａ
）、（３ｂ）から順次出力される前記各走査線ごとのア
ナログ信号である前記画像信号を前記クロック信号によ
るタイミングで取り込み１画像信号をそれぞれ所定のス
ライスレベルでスライスしてデジタル画像信号に変換し
、出力するスライス回路等からなる第１゜第２信号処理
回路、（Ｈａ）、（ｌｌｂ）はそれぞれ前記クロック信
号のタイミングで両撮像面（ｌａ）、（Ｉｂ）の各行に
おける左端部の各基準点から両信号処理回路（ＩＯａ）
。
ク回路、（＋ｏａ） 、（＋ｏｂ）は両撮像手段（３ａ
）、（３ｂ）から順次出力される前記各走査線ごとのア
ナログ信号である前記画像信号を前記クロック信号によ
るタイミングで取り込み１画像信号をそれぞれ所定のス
ライスレベルでスライスしてデジタル画像信号に変換し
、出力するスライス回路等からなる第１゜第２信号処理
回路、（Ｈａ）、（ｌｌｂ）はそれぞれ前記クロック信
号のタイミングで両撮像面（ｌａ）、（Ｉｂ）の各行に
おける左端部の各基準点から両信号処理回路（ＩＯａ）
。
（１０ｂ）からの各デジタル画像信号のハイレベルパル
スを出力する各受光素子までの撮像面（ｌａ）、（ｌｂ
）上での距離をカウントする第１．第２アドレスカウン
タ、（２）は両カウンタ（ｈａ）、（ｎｂ）によシカラ
ントされた前記距離データにもとづき、ワーク表面の各
スリット光の照射個所における各点の三次元位置。
スを出力する各受光素子までの撮像面（ｌａ）、（ｌｂ
）上での距離をカウントする第１．第２アドレスカウン
タ、（２）は両カウンタ（ｈａ）、（ｎｂ）によシカラ
ントされた前記距離データにもとづき、ワーク表面の各
スリット光の照射個所における各点の三次元位置。
すなわち任意のＸＹｚ座標系における座標を算出する演
算回路、α躊は演算回路（６）によシ演算されたワーク
表面の前記各点の座標を記憶する記憶部、ａΦは表示条
件設定部、０句は設定部α荀に設定された条件に従い、
記憶部α躊に記憶されたワーク表面の前記各点の座標に
もとづいてワークの寸法９表面状態、形状等を認識し、
導出する認識回路、ＯＱは表示部であり、ＣＲＴ等から
なシ、認識回路α椴により導出されたワークの寸法１表
面状態、形状等を表示するようになっておシ、クロック
回路（９）１両処理回路（＋ｏａ）、（Ｊｏｂ） 、両
カウンタ（ｈａ）、（ｏｂ） 、演算回路Ｑ′４．記憶
部ａ′３．設定部αΦ、認識回路Ｑ５および表示部α・
によシ画像処理手段αηが構成されている。
算回路、α躊は演算回路（６）によシ演算されたワーク
表面の前記各点の座標を記憶する記憶部、ａΦは表示条
件設定部、０句は設定部α荀に設定された条件に従い、
記憶部α躊に記憶されたワーク表面の前記各点の座標に
もとづいてワークの寸法９表面状態、形状等を認識し、
導出する認識回路、ＯＱは表示部であり、ＣＲＴ等から
なシ、認識回路α椴により導出されたワークの寸法１表
面状態、形状等を表示するようになっておシ、クロック
回路（９）１両処理回路（＋ｏａ）、（Ｊｏｂ） 、両
カウンタ（ｈａ）、（ｏｂ） 、演算回路Ｑ′４．記憶
部ａ′３．設定部αΦ、認識回路Ｑ５および表示部α・
によシ画像処理手段αηが構成されている。
い凍、第１図中に示すように左右、上下９前後の各方向
に、任意の点を原点とするｘＹｚ座標系のｘ、ｙ、ｚの
各軸をとシ、ワーク表面の各点の三次元位置すなわち前
記ＸＹＺ座標系における座標を導出して、たとえばワー
ク゛の形状を測定する場合、第１図に示すように投光手
段（７）によシ、両撮像手段（３ａ）、、（３ｂ）の重
複視野に前後方向に線状のスリット光Ｓが照射され、両
撮像手段（８ａ）、（３ｂ）によシ前記スリット光Ｓの
照射個所の近辺が撮像され、画撮像面（Ｉａ）、（Ｉｂ
）に配列された走査線ごとの各受光素子からの撮像信号
が合成されて両撮像手段（８ａ）。
に、任意の点を原点とするｘＹｚ座標系のｘ、ｙ、ｚの
各軸をとシ、ワーク表面の各点の三次元位置すなわち前
記ＸＹＺ座標系における座標を導出して、たとえばワー
ク゛の形状を測定する場合、第１図に示すように投光手
段（７）によシ、両撮像手段（３ａ）、、（３ｂ）の重
複視野に前後方向に線状のスリット光Ｓが照射され、両
撮像手段（８ａ）、（３ｂ）によシ前記スリット光Ｓの
照射個所の近辺が撮像され、画撮像面（Ｉａ）、（Ｉｂ
）に配列された走査線ごとの各受光素子からの撮像信号
が合成されて両撮像手段（８ａ）。
（３ｂ）それぞれから画処理回路（ＩＯａ）、（Ｊｏｂ
）へ走査線ごとの画像信号が連続的に出力される。
）へ走査線ごとの画像信号が連続的に出力される。
そして、たとえば第１図に示すようにスリット光Ｓを照
射したときに、両撮像手段（８ａ）、（８ｂ）によシ撮
像されて得られる画像がそれぞれ第３図（ａ）。
射したときに、両撮像手段（８ａ）、（８ｂ）によシ撮
像されて得られる画像がそれぞれ第３図（ａ）。
（ｂ）に示すようになシ、スリット光Ｓのワークによる
反射光が図中の太い実線のようになった場合、第１撮像
面（１ａ）における第１行から第Ｍ行まで。
反射光が図中の太い実線のようになった場合、第１撮像
面（１ａ）における第１行から第Ｍ行まで。
すなわち番号１からＭまでの各走査線ごとの画像信号Ｖ
ａ＋ 、Ｖａｚ、 ・−、Ｖａｍが第１撮像手段（３ａ
）から第４図（ａ）に示すように連続的に出力されると
ともに、同様に第２撮像面（１ｂ）における第１行から
第Ｍ行まで、すなわち番号１からＭまでの各走査線ごと
の画像信号Ｖｂ＋、Ｖｂ２． ・、 Ｖｂｍカ第２ ｍ
像手１９ （８ｂ） カら第４図（０）に示すように連
続して出力され、画処理回路（１０ａ）、（１０ｂ）に
よシ、同（ａ） 、 （Ｃ） ｖｃ示す両撮像手段（３
ａ）、（３ｂ）からのアナログ信号である各画像信号が
スライスレベ／Ｌ／ ｌで順次スライスされ、レベ）ｖ
ｌよシも高いレベル信号を出力する受光素子からの撮像
信号のみが取シ出されて同図（ｂ） −、（ｄ）にそれ
ぞれ示すように、デジタル画像信号に変換される。
ａ＋ 、Ｖａｚ、 ・−、Ｖａｍが第１撮像手段（３ａ
）から第４図（ａ）に示すように連続的に出力されると
ともに、同様に第２撮像面（１ｂ）における第１行から
第Ｍ行まで、すなわち番号１からＭまでの各走査線ごと
の画像信号Ｖｂ＋、Ｖｂ２． ・、 Ｖｂｍカ第２ ｍ
像手１９ （８ｂ） カら第４図（０）に示すように連
続して出力され、画処理回路（１０ａ）、（１０ｂ）に
よシ、同（ａ） 、 （Ｃ） ｖｃ示す両撮像手段（３
ａ）、（３ｂ）からのアナログ信号である各画像信号が
スライスレベ／Ｌ／ ｌで順次スライスされ、レベ）ｖ
ｌよシも高いレベル信号を出力する受光素子からの撮像
信号のみが取シ出されて同図（ｂ） −、（ｄ）にそれ
ぞれ示すように、デジタル画像信号に変換される。
づぎに、画カウンタ（Ｉ Ｉａ）、（ｌ ｌｂ）にょシ
、両撮像面（ｌａ）、（Ｉｂ）の各行における左端の各
基準点から第４図（ｂ） 、 （ｄ）にそれぞれ示す前
記各デジタル画像信号にオケるハイレベルパルスを出力
する受光素子までの距離Ｄａ＋ 、Ｄａ２．Ｄａａ 、
−、Ｄａｍ オよびＤｂ＋ 、Ｄｂ２．Ｄｂａ、 −・
−。
、両撮像面（ｌａ）、（Ｉｂ）の各行における左端の各
基準点から第４図（ｂ） 、 （ｄ）にそれぞれ示す前
記各デジタル画像信号にオケるハイレベルパルスを出力
する受光素子までの距離Ｄａ＋ 、Ｄａ２．Ｄａａ 、
−、Ｄａｍ オよびＤｂ＋ 、Ｄｂ２．Ｄｂａ、 −・
−。
Ｄｂｍがカウントされ、カウントされた各距離データが
記憶部０３に記憶されるとともに、反射鏡（６）により
スリット光ＳがＸ軸方向に移動するごとにこれら、の動
作が繰シ返されて記憶部′α葎に各距離データが記憶さ
れる。
記憶部０３に記憶されるとともに、反射鏡（６）により
スリット光ＳがＸ軸方向に移動するごとにこれら、の動
作が繰シ返されて記憶部′α葎に各距離データが記憶さ
れる。
さらに、第３図（ａ） 、 （ｂ）に示すようなある走
査線とスリット光との交点であるワーク上の点Ｐの位置
を導出する際、第５図に示すようなＸＹｚ座標系を想定
し、両レンズ（２ａ）、（２ｂ）の倍率をＫｌ、に２と
し、Ｚ軸の負方向から正方向を見たときのＸＹ平面にお
いて、両撮像手段（３ａ）、（，１ｌｂ）の視野のＹ軸
に近方の限界線Ｒ１，Ｒ２とＹ軸とのそれぞれの交点Ｖ
＋ 、Ｖｐ、の座標をそれぞれ（ａ、０） 、 （’ｂ
、Ｏ）とし、Ｌ／ ン、ｘ （２ａ）。
査線とスリット光との交点であるワーク上の点Ｐの位置
を導出する際、第５図に示すようなＸＹｚ座標系を想定
し、両レンズ（２ａ）、（２ｂ）の倍率をＫｌ、に２と
し、Ｚ軸の負方向から正方向を見たときのＸＹ平面にお
いて、両撮像手段（３ａ）、（，１ｌｂ）の視野のＹ軸
に近方の限界線Ｒ１，Ｒ２とＹ軸とのそれぞれの交点Ｖ
＋ 、Ｖｐ、の座標をそれぞれ（ａ、０） 、 （’ｂ
、Ｏ）とし、Ｌ／ ン、ｘ （２ａ）。
（２ｂ） Ｏ中心点Ｌｌ、Ｌ２Ｃ＋座標（７）Ｘ軸成分
をαｏ、βｏ、Ｙ軸成分をＫとするとともに、両撮像手
段（３ａ）、（８ｂ）間の距離をＬとすると、両撮像手
段（３ａ）、（’ｌｂ）と実際のワーク上の点Ｐとをそ
れぞれ結ぶ線とＹ軸とのそれぞれの交点Ｖｌ”、 Ｖ２
’の座標のＹ軸、Ｙ軸成分α、βは、点Ｐに相当する点
の撮像面（Ｉａ） 。
をαｏ、βｏ、Ｙ軸成分をＫとするとともに、両撮像手
段（３ａ）、（８ｂ）間の距離をＬとすると、両撮像手
段（３ａ）、（’ｌｂ）と実際のワーク上の点Ｐとをそ
れぞれ結ぶ線とＹ軸とのそれぞれの交点Ｖｌ”、 Ｖ２
’の座標のＹ軸、Ｙ軸成分α、βは、点Ｐに相当する点
の撮像面（Ｉａ） 。
（ｌｂ）における両基準点からの距離をＤａｐ、Ｄｂｐ
として、 α辷ａ ＋ Ｋｌ −Ｄａｐ ・・・
■β＝１）＋に２・Ｄｂｐ ・
・・■となり、ワーク上の点ＰのＸＹｚ座標系における
Ｘ軸成分ｘｐ 、 Ｙ軸成分ｙｐは、Ｚ軸の負方向から
正方向を見たときのＸＹ平面における点Ｖ＋’、Ｌ＋を
結ぶ直線と点Ｖ２’ 、Ｌ２を結ぶ直線との交点として
与見られることになり、次の式で表わされる。
として、 α辷ａ ＋ Ｋｌ −Ｄａｐ ・・・
■β＝１）＋に２・Ｄｂｐ ・
・・■となり、ワーク上の点ＰのＸＹｚ座標系における
Ｘ軸成分ｘｐ 、 Ｙ軸成分ｙｐは、Ｚ軸の負方向から
正方向を見たときのＸＹ平面における点Ｖ＋’、Ｌ＋を
結ぶ直線と点Ｖ２’ 、Ｌ２を結ぶ直線との交点として
与見られることになり、次の式で表わされる。
一方、前記点Ｐの座標の２軸成分ｚｐは、点Ｐの近辺の
画像における点Ｐに対応する点を含む走査線番号をγ、
走査線の本数と幅とによシ定まる係数をに８とすると、 ｚｐ＝Ｋｓ・γ・ｙｐ ・・・■
と表わされる。
画像における点Ｐに対応する点を含む走査線番号をγ、
走査線の本数と幅とによシ定まる係数をに８とすると、 ｚｐ＝Ｋｓ・γ・ｙｐ ・・・■
と表わされる。
そして演算回路αつに、演算条件として各点Ｖｌ。
Ｖ２ 、Ｌｌ 、Ｌ２および走査線ごとの同様の点の座
標データ、レンズの倍率Ｋｌ、に２ 、距離り、係数に
８を予め与えておくことによシ、演算手段（２）により
、記憶部ａ］に記憶された距離データにもとづき、前記
０〜０７式による演算が行なわれ、ワーク上の各点の座
標すなわち三次元位置が導出され、設定部α荀の設定条
件に従い、認識回路ａＦｊによシワークの形状が認識、
導出されると同時に、表示部０Ｑによシ前記形状が表示
される。
標データ、レンズの倍率Ｋｌ、に２ 、距離り、係数に
８を予め与えておくことによシ、演算手段（２）により
、記憶部ａ］に記憶された距離データにもとづき、前記
０〜０７式による演算が行なわれ、ワーク上の各点の座
標すなわち三次元位置が導出され、設定部α荀の設定条
件に従い、認識回路ａＦｊによシワークの形状が認識、
導出されると同時に、表示部０Ｑによシ前記形状が表示
される。
したがって、前記実施例によると、スリット光の照射個
所を移動させるのみで、ワーク表面の各点の三次元位置
を短時間で精度よく導出、測定することができ、必要に
応じワークの寸法１表面状態、形状等を容易に測定する
ことができ、非常に実用的である。
所を移動させるのみで、ワーク表面の各点の三次元位置
を短時間で精度よく導出、測定することができ、必要に
応じワークの寸法１表面状態、形状等を容易に測定する
ことができ、非常に実用的である。
また、ワークの形状を非接触で行なうため、ワークがゴ
ム等の柔軟で変形し易いものであっても、形状等を容易
に計測することができる。
ム等の柔軟で変形し易いものであっても、形状等を容易
に計測することができる。
さらに１．スポット光を使用しているため、エネルギー
密度が低く９弱い光でもよく、照明を使用したときの照
明熱によシ、ワークに歪が生じたりすることもない。
密度が低く９弱い光でもよく、照明を使用したときの照
明熱によシ、ワークに歪が生じたりすることもない。
なお、投光手段（７）からのスリット光Ｓの光路を、電
子ビーム等により磁気的にスリ□ット光の光路を回転さ
せるようにしてもよい。
子ビーム等により磁気的にスリ□ット光の光路を回転さ
せるようにしてもよい。
また、両撮像手段（３ａ）、（３ｂ）としてＣＯＤ型イ
メージセンサを使用したが、ＭＯ８型イメージセンサや
撮像管等によシ構成してもよいことは勿論である。
メージセンサを使用したが、ＭＯ８型イメージセンサや
撮像管等によシ構成してもよいことは勿論である。
図面は、この発明の三次元測定装置の１実施例を示し、
第１図は斜視図、第２図は画像処理手段のブロック図、
第３図（ａ） 、 （ｂ）はそれぞれ両撮像手段による
撮像画像を示す図、第４図（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ動
作説明用の各信号波形図、第５図は動作説明図である。 （Ｉａ）、（ｌｂ）−・・撮像面、（ａａ）、（ａｂ）
−・・撮像手段、（７）−・・投光手段、（８）・・・
三次元測定装置、αη・・・画像処理手段、Ｓ・・・ス
リット光。
第１図は斜視図、第２図は画像処理手段のブロック図、
第３図（ａ） 、 （ｂ）はそれぞれ両撮像手段による
撮像画像を示す図、第４図（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ動
作説明用の各信号波形図、第５図は動作説明図である。 （Ｉａ）、（ｌｂ）−・・撮像面、（ａａ）、（ａｂ）
−・・撮像手段、（７）−・・投光手段、（８）・・・
三次元測定装置、αη・・・画像処理手段、Ｓ・・・ス
リット光。
Claims (1)
- （１）複数個の受光素子が縦横に配列された撮像面を有
し被測定体を撮像する１対の撮像手段と、前記両撮像手
段の重複視野内における前記被測定体の全表面に線状の
スリット光を順次照射する投光手段と、前記各スリット
光ごとの前記両撮像手段の前記各受光素子の受光出力を
順次処理して前記被測定体表面の各点の三次元位置を導
出、測定する処理手段とを備えたことを特徴とする三次
元測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15444984A JPS6131906A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 三次元測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15444984A JPS6131906A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 三次元測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6131906A true JPS6131906A (ja) | 1986-02-14 |
Family
ID=15584455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15444984A Pending JPS6131906A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 三次元測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6131906A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02306108A (ja) * | 1989-05-19 | 1990-12-19 | Hamamatsu Photonics Kk | ３次元位置認識装置 |
| US7757946B2 (en) | 2004-04-16 | 2010-07-20 | Acme Scale Company, Inc. | Material transport in-motion product dimensioning system and method |
-
1984
- 1984-07-25 JP JP15444984A patent/JPS6131906A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02306108A (ja) * | 1989-05-19 | 1990-12-19 | Hamamatsu Photonics Kk | ３次元位置認識装置 |
| US7757946B2 (en) | 2004-04-16 | 2010-07-20 | Acme Scale Company, Inc. | Material transport in-motion product dimensioning system and method |
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