JPH06207812A - 三次元測定用測定点指示具 - Google Patents
三次元測定用測定点指示具Info
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- JPH06207812A JPH06207812A JP301993A JP301993A JPH06207812A JP H06207812 A JPH06207812 A JP H06207812A JP 301993 A JP301993 A JP 301993A JP 301993 A JP301993 A JP 301993A JP H06207812 A JPH06207812 A JP H06207812A
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Abstract
り、被測定物のエッジや段差、隙間或いはRを有するコ
ーナ等の測定を可能にすることを目的とする。 【構成】 複数の2次元の感光要素により被測定物を撮
像し、被測定物の三次元の寸法を求める時に使用する測
定点指示具を、2次元の感光要素からの画像データによ
り測定点指示具自身の位置検出を可能にするため、測定
点指示具上に設けた、測定点指示具上での位置関係が既
知となっている3点以上の発光点と、測定点指示具から
被測定物の測定面に向けて光切断法による位置検出用の
スリット光を照射するためのレーザ発行装置と、測定面
にて反射した上記スリット光を受光するための指示具用
2次元の感光要素とによって構成したものである。
Description
用した三次元測定に於いて、被測定物のエッジや段差、
隙間或いはRを有するコーナ等の測定を手軽に行えるよ
うにした測定点指示具に関するものである。
測定の測定方法の1つとして、2台以上の2次元の感光
要素、例えばCCDカメラを用いて被測定物を撮像し、
この時の画像データを元に、三角測量法によって被測定
物の寸法を算出する測定方法がある。
く、各CCDカメラ(1)のレンズ(2)を通して受光面とな
る個体センサ(3)に、被測定物(A)の測定面(B)上の所定
位置に形成した測定用光点(P)からの光線が入射した
時、個体センサ(3)を構成する多数のピクセル(4)の内、
光線による出力があるピクセル群よりの出力中心の、個
体センサ(3)の中心からの位置を検出し、この位置デー
タから測定用光点(P)の各CCDカメラ(1)からの角度を
算出する(尚、図中(L)は、CCDカメラ(1)の光軸であ
る)。
得た角度データを元に、測定用光点(P)の位置を算出す
る。
上の多数の測定用光点(P)からのデータを順次演算し行
くことにより、被測定物(A)の測定面(B)の三次元の寸法
を得るようにしている。
を形成する手段としては、レーザスキャナ(図示せず)
を使用し、測定面(B)上にレーザスポットを順次照射す
るか、或いは、図8に示すような先端にプローブ(11)を
有し、その上部に3点以上の発光点(12)を有する測定点
指示具(10)を用い、この測定点指示具(10)によって測定
点を限定するようにしている。
ローブ(11)と、上部に設置された3点以上の発光点(12)
との位置関係が予め定められている。
ーブ(11)を被測定物(A)の測定面(B)上に接触させ、各発
光点(12)の位置を複数のCCDカメラ(1)で撮像するこ
とにより、測定点の位置を検出するのである。
が手で持ち、被測定物(A)の測定を行いたい測定面(B)に
プローブ(11)を接触させ、この状態でプローブ(11)を測
定面(B)上で移動させ、この移動の間に発光点(12)を任
意のタイミングで点灯させ、その時の位置を順次検出し
て行くことによりる、測定面(B)の形状を検出するよう
にしている。
スポットを使用して被測定物(A)の測定面(B)上に測定用
光点(P)を形成する方法をとると、被測定物(A)上のどの
部分にレーザスポットを照射するかを予めプログラミン
グしておく必要が生じ、測定時の操作が煩雑になるとい
った問題があった。
(A)の測定面(B)を測定する方法をとれば、被測定物(A)
の測定を行いたい部分の測定を非常に手軽に行える。
では、プローブ(11)を手動で移動させる関係上、測定点
は不連続な点の集りとなるため、測定したい部分が平面
又はそれに近い状態の時には特に問題はないが、被測定
物(A)の測定したい箇所がエッジや段差、隙間或いはR
を有するコーナ等であった場合には、測定点指示具(10)
のみによって測定を行うことは不可能であると言った問
題があった。
により被測定物を撮像し、被測定物の三次元の寸法を求
める時に使用する測定点指示具を、2次元の感光要素か
らの画像データにより測定点指示具自身の位置検出を可
能にするため、測定点指示具上に設けた、測定点指示具
上での位置関係が既知となっている3点以上の発光点
と、測定点指示具から被測定物の測定面上の任意の測定
点までの距離を測定するため、測定点指示具に組込まれ
た非接触型の距離センサとによって構成するか、また
は、2次元の感光要素からの画像データにより測定点指
示具自身の位置検出を可能にするため、測定点指示具上
に設けた、測定点指示具上での位置関係が既知となって
いる3点以上の発光点と、測定点指示具から被測定物の
測定面に向けて光切断法による位置検出用のスリット光
を照射するためのレーザ発行装置と、測定面にて反射し
た上記スリット光を受光するための指示具用2次元の感
光要素とによって構成したものである。
込み、更に、この距離センサを、光切断法により、測定
面の二次元寸法を検出するレーザ発行装置と2次元の感
光要素によって構成することにより、測定点指示具によ
りエッジや段差、隙間或いはRを有するコーナ等の測定
を可能にしたものである。
指示具に、光切断法によって被測定物の表面形状を測定
するためのレーザ発光装置及び2次元の感光要素、例え
ばCCDカメラを組込み、光切断法によって測定面の表
面形状を測定すると共に、その時の測定位置を測定点指
示具に取付けた発光点から算出するものである。
図2乃至図5を用いて説明する。
0)とCCDアレイ(21)とを、両社の位置関係を正確に規
定して配置し、この状態で、レーザ発光装置(20)及びC
CDアレイ(21)からの距離が正確に判明している基準面
(H)に対し、レーザ光を照射し、このレーザ光が基準面
(H)で反射し、CCDアレイ(21)に入射した時のCCD
アレイ(21)上での位置を記憶しておく。
レイ(21)による距離測定時、測定面(B1)が基準面(H)よ
り前方に位置すると、CCDアレイ(21)へのレーザ光入
射時、入射光のCCDアレイ(21)上での位置(B1')は、
基準面(H)の時より図中上方へ移動し、又、測定面(B2)
が基準面(H)より後方に位置すると、入射光のCCDア
レイ(21)上での位置(B2')は、基準面(H)の時より図中下
方へ移動するため、この移動量によってレーザ発光装置
(20)から測定面(B)までの距離を検出できる。
置(20)と1つのCCDアレイ(21)のみによってレーザ発
光装置(20)から測定面(B)までの距離を検出できる。
装置(20)からのレーザ光を、図3及び図4に示す如く、
スポット光ではなく面上に所定の広がりを持ったスリッ
ト光(M)とし、スリット光(M)からの反射光を受ける機器
を、CCDアレイ(21)に代えて、CCDカメラ(22)とす
れば、レーザ発光装置(20)からのスリット光(M)によっ
て測定面(B)上に形成されるラインの奥行及び距離をC
CDカメラ(22)によって捕らえることができる。
ンク状をしていたとすると、この測定面(B)上に照射さ
れたスリット光(M)のライン(N)は、CCDカメラ(22)か
ら得られるCRT画像上では図5に示すように表示さ
れ、画面の上下方向が距離方向に関係し、画面の横方向
が横方向の位置に関係した画像データが得られる。
基準面を測定した時のデータとの偏差からスリット光
(M)の照射されている部分のライン(N)に沿った2次元の
寸法を検出できる。
照射位置を、例えば、図4の測定面(B)のエッジ(C)に沿
って上方から下方に向けて移動させ、この時の画像デー
タを所定のタイミングで記憶させて行き、この時のエッ
ジ部分のデータを繋げて行けば、エッジ(C)の三次元の
位置検出も行える。
ーザ発光装置(20)と、CCDカメラ(22)を、両者の位置
関係を規定した状態で配置し、レーザ発光装置(20)から
測定面(B)に向けて照射され、測定面(B)で反射したスリ
ット光(M)をCCDカメラ(22)で受光すれば、1台のレ
ーザ発光装置(20)と1台のCCDカメラ(22)のみによっ
て測定面(B)の二次元の表面形状を検出でき、更に、こ
のスリット光(M)の照射位置を移動させ、その時の二次
元の位置を順次検出して行けば、三次元の位置検出も行
える。
Dカメラ(22)を、少なくとも3点以上の発光点を有し、
かつ、各発光点の位置関係が既知である測定点指示具に
組込めば、手動で操作できる測定点指示具によってエッ
ジや段差、隙間或いはRを有するコーナ等の測定が可能
になる。
上の発光点(31)を有する測定点指示具(30)にスリット光
(M)を照射するレーザ発光装置(20)及びCCDカメラ(2
2)を、両者の位置関係を正確に規定した状態で組込む。
測定面(B)上に位置するエッジや段差、隙間或いはRを
有するコーナ等の測定を行うには、測定点指示具(30)を
測定面(B)の近傍まで持って行き、測定点指示具(30)に
取付けた発光点(31)が三次元測定装置のCCDカメラ
(1)の視野に入り、かつ、レーザ発光装置(20)からのス
リット光(M)が測定面(B)を照射出来るように位置決めし
た後、測定面(B)に向けてスリット光(M)を照射し、その
反射光をCCDカメラ(22)によって受光し、この時の画
像データを記憶させると同時に、発光点(31)を発光さ
せ、発光点(31)からの光を三次元測定装置のCCDカメ
ラ(1)によって受光させることにより、測定点指示具(3
0)のCCDカメラ(22)がスリット光(M)を受光した時の
測定点指示具(30)の位置を検出しておく。
2)が捕らえた画像データから、被測定物(A)の測定面(B)
の測定点指示具(30)に対する2次元の位置を算出すると
共に、三次元測定装置のCCDカメラ(1)が捕らえた発
光点(31)の画像から、測定点指示具(30)の位置を算出
し、この両者のデータから、測定面(B)のスリット光(M)
が照射された部分の表面形状を算出する。
順次ずらせながら上記測定動作を繰り返して行けば、測
定面(B)の三次元の寸法を検出できるため、エッジや段
差、隙間或いはRを有するコーナ等の測定を、測定点指
示具(30)を用いて行えるようになる。
点指示具(30)にレーザ発光装置(20)及びCCDカメラ(2
2)を組込み、被測定物(A)の測定面(B)に位置するエッジ
や段差、隙間或いはRを有するコーナ等の測定を行える
ようにした例について説明したが、例えば、測定面(B)
が柔軟な物質によって構成されており、プローブ等を接
触させることができない部分の測定を手軽に行いたい場
合には、測定点指示具(30)にレーザ光線によって距離を
測定する距離センサを組込むようにしもよい。
きない測定面の測定を行う時には、測定点指示具(30)を
測定面(B)の近傍に位置させ、測定点指示具(30)の発光
点(31)が三次元測定装置のCCDカメラ(1)の視野内に
入るようにした後、測定点指示具(30)から測定面(B)の
任意の位置までの距離をレーザ光線によって測定し、か
つ、この時の測定点指示具(30)の位置を三次元測定装置
によって測定することにより、測定面(B)の任意の位置
を非接触の状態で検出できる。
に距離センサを組込み、更に、この距離センサを、光切
断法により、測定面の二次元寸法を検出するレーザ発行
装置とCCDカメラによって構成したから、測定点指示
具によりエッジや段差、隙間或いはRを有するコーナ等
の測定を可能にしたものである。
すれば、被測定物のエッジや段差、隙間或いはRを有す
るコーナ等の測定を非常に手軽に行えるようになり、C
CDカメラを使用した三次元測定装置の利用範囲を大幅
に拡大できるようになる。
示す図。
図。
Claims (2)
- 【請求項1】 複数の2次元の感光要素により被測定物
を撮像し、被測定物の三次元の寸法を求める時に使用す
る測定点指示具を、 2次元の感光要素からの画像データにより測定点指示具
自身の位置検出を可能にするため、測定点指示具上に設
けた、測定点指示具上での位置関係が既知となっている
3点以上の発光点と、 測定点指示具から被測定物の測定面上の任意の測定点ま
での距離を測定するため、測定点指示具に組込まれた非
接触型の距離センサとによって構成したことを特徴とす
る三次元測定用測定点指示具。 - 【請求項2】 複数の2次元の感光要素により被測定物
を撮像し、被測定物の三次元の寸法を求める時に使用す
る測定点指示具を、 2次元の感光要素からの画像データにより測定点指示具
自身の位置検出を可能にするため、測定点指示具上に設
けた、測定点指示具上での位置関係が既知となっている
3点以上の発光点と、 測定点指示具から被測定物の測定面に向けて光切断法に
よる位置検出用のスリット光を照射するためのレーザ発
行装置と、 測定面にて反射した上記スリット光を受光するための指
示具用2次元の感光要素とによって構成したことを特徴
とする三次元測定用測定点指示具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00301993A JP3324809B2 (ja) | 1993-01-12 | 1993-01-12 | 三次元測定用測定点指示具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00301993A JP3324809B2 (ja) | 1993-01-12 | 1993-01-12 | 三次元測定用測定点指示具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06207812A true JPH06207812A (ja) | 1994-07-26 |
JP3324809B2 JP3324809B2 (ja) | 2002-09-17 |
Family
ID=11545627
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP00301993A Expired - Fee Related JP3324809B2 (ja) | 1993-01-12 | 1993-01-12 | 三次元測定用測定点指示具 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3324809B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010104458A (ko) * | 2000-04-28 | 2001-11-26 | 조명우 | 3차원 형상물 재생방법 |
JP2006098255A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Ricoh Co Ltd | 撮影方法、撮影システム、複合装置、3次元形状復元方法、プログラム及び情報記録媒体 |
US7103212B2 (en) | 2002-11-22 | 2006-09-05 | Strider Labs, Inc. | Acquisition of three-dimensional images by an active stereo technique using locally unique patterns |
KR100705649B1 (ko) * | 2005-06-07 | 2007-04-09 | (주) 인텍플러스 | 반도체 패키지의 인트레이 검사 장치 및 검사 방법 |
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JP2015227794A (ja) * | 2014-05-30 | 2015-12-17 | 株式会社キーエンス | 座標測定装置 |
-
1993
- 1993-01-12 JP JP00301993A patent/JP3324809B2/ja not_active Expired - Fee Related
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