KR900700926A - 감광성 내식막으로 사용되는 말레이미드 및 지방족 비닐 에테르 및 에스테르의 공중합체 - Google Patents

감광성 내식막으로 사용되는 말레이미드 및 지방족 비닐 에테르 및 에스테르의 공중합체

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KR900700926A
KR900700926A KR1019890701568A KR890701568A KR900700926A KR 900700926 A KR900700926 A KR 900700926A KR 1019890701568 A KR1019890701568 A KR 1019890701568A KR 890701568 A KR890701568 A KR 890701568A KR 900700926 A KR900700926 A KR 900700926A
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KR
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alkali
maleimide
photoresist composition
imide
mixture
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KR1019890701568A
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Inventor
브라힘 카르임
제임스 맥파르랜드 마이클
Original Assignee
유우진 샘슨
획스트 세라니이즈 코오포레이션
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Publication date
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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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Abstract

내용없음

Description

감관성 내식막으로 사용되는 말레이미드 및 지방족 비닐 에테르 및 에스테르의 공중합체
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (12)

  1. 하기a)-c)의 혼합물로 구성된 양성 감광성 내식막 조성물, a) 화학선에 노출시키기에 비교적 알칼리에 녹지 않는 혼합물로 되게 하기위한 충분한 양인, 노출 되는 동안 알칼리에 녹는 종으로 변환될 수 있는, 알칼리에 녹지 않는 광 활성화합물 1-35 건조중량% 및 b) 노출 후에 수성 알칼리에 녹는 화합물로 되게 하기 위한 이미드 N-H 기의 충분한 수를 가지는 말레이미드 및 비닐 에테르 또는 비닐 에스테르의 필름 형성공중합체 65-99 건조중량% 및 c) 중합체 및 광활성 화합물 모두를 녹일 수 있는 용매.
  2. 하기 a)-c)의 혼합물로 구성된 양성 감광성 내식막 조성물 a) 화학선에 노출시키기전에 각각의 알칼리에 녹지 않는 혼합물로 되게 하기위한 충분한 양인, 노출되는 동안 알칼리에 녹는 종으로 변환될수 있는, 알칼리에 녹지 않는 광 활성 화합물 1-35 건조중량% 및 b) 노출후에 수성 알칼리에 녹는 화합물로 되게 하기 위한 이미드 N-H 기의 충분한 수를 가지는 말레이미드 및 비닐에테르의 필름 형성공중합체 65-99 건조중량% 및 c) 중합체 및 광활성 화합물 모두를 녹일 수 있는 용매.
  3. 제1항에 있어서, 광활성 화합물이 디아조나프토퀴논 술폰산 에스테르 또는 아미드인 감광성 내식막 조성물.
  4. 제1항에 있어서, 광활성 화합물이 디아조바르비투르산 유도체인 감광성 내식막.
  5. 제1항에 있어서, 이미드함유 중합체가 하기 일반식 구조식을 갖는 감광성 내식막 조성물.
    상기식에서, R이 1-20개 탄소원자를 갖는 알킬치환체, 벤질, C1-C10아르알킬, C3-C12시클로알킬 또는(여기서 R"는 R에 해당하는 구조를 가짐)이고, R'는 각각 H, C1-C10알킬, 페닐, 벤질 또는 C1-C10아르알킬이다.
  6. 제1항에 있어서, 이미드 함유 중합체가 풀리(말레이미드-코-n-데실 비닐 에테르)인 감광성 내식막조성물.
  7. 제1항에 있어서, 이미드 함유 중합체가 풀리(말레이미드-코-n-도데실 에테르)인 감광성 내식막 조성물.
  8. 제1항에 있어서, 이미드 함유 중합체가 풀리(말레이미드-코-n-테르라데실 비닐 에테르)인 감광성 내식막 조성물.
  9. 제1항에 있어서, 이미드 함유 중합체가 풀리(말레이미드-코-n-헥사데실 비닐 에테르)인 감광성 내식막 조성물.
  10. 제1항에 있어서, 이미드 함유 중합체가 풀리(말레이미드-코-n-옥타데실비닐 에테르)인 감광성 내식막 조성물.
  11. 하기 a)-b)의 혼합물로 구성된 감광성내식막 조성물의 층을 함유하는 기판으로 구성된 감광성 요소, a) 화학선에 노출시키기 전에 각각의 알칼리에 녹지 않는 혼합물로 되게 하기 위한 충분한 양으로, 노출되는 동안 알칼리에 녹는 종으로 변환될 수 있는 알칼리에 녹지 않는 광활성 화합물 1-35 건조중량% 및 b) 노출후에 수성 알칼리에 녹는 혼합물도 되게 하기 위한 이미드 N-H기의 충분한 수를 가지는 말레이미드 및 비닐 에테르 또는 비닐 에스테르의 필름 형성 공중합체 65-99건조 중량%
  12. 제1항에 있어서, 용매가 2-메톡시에틸 에테르(디글림)인 감광성 내식막 조성물.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890701568A 1987-12-23 1987-12-23 감광성 내식막으로 사용되는 말레이미드 및 지방족 비닐 에테르 및 에스테르의 공중합체 KR900700926A (ko)

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PCT/US1987/003431 WO1989005996A1 (en) 1987-12-23 1987-12-23 A photoresist composition including a copolymer from maleimide and a vinyl-ether or -ester

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EP0350498A1 (en) 1990-01-17
WO1989005996A1 (en) 1989-06-29

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