KR900010373A - 과압보호장치를 갖춘 압력차 용량성 감지기 - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

과압보호장치를 갖춘 압력차 용량성 감지기

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1A도는 본 발명이 아닌 선행기술상의 대표적인 실리콘-온(on)-실리콘 용량성 단순 압력 감지기의 부분절단 투시도이며, 이 도면은 본 발명의 압력차 감지기 양면의 일반적 감지작동을 더욱 잘 이해할 수 있도록 본 발명의 배경을 설명하기 위한 것이다. 제1도는 존 발명의 과압 보호원칙에 입각하여, 두개의 마주대하고 있는 격막(diaphragm)을 갖고 있으며, 이 격막의 반대측면에는 중앙에 위치한 제동장치(stop)가 있으며, 각 격막에는 한 셋트의 제동 장치가 있는 대표적인 압력차 실리콘-온-실리콘 용량성 감지기의 측면. 단순, 단면도이다.

Claims (14)

1. 실리콘-온-실리콘형 용량성 압력차 감지기로서; 감지될 압력변화가 일어나는 외부지역으로 연결되는 압력포트를 갖는 제1전도성 실리콘 베이스와; 상기 제1 베이스의 압력포트에 노출된 외부면을 가지며, 그 외부면에 작용하는 압력변화에 따라 굴곡운동을 할 수 있는 유연하며 탄성적인 제1 전도성 실리콘 격막과 상기 제1 실리콘 베이스와 상기 제1 실리콘 격막사이에 연장되어 합류하는 주변측벽을 제공하며, 상기 제1실리콘베이스와 상기 제1실리콘 격막사이에 있는 제1 비전도성 스페이서 측벽과, 감지될 압력변화가 일어나는 외부지역으로 연결되는 압력포트를 갖는 제2전도성 실리콘 베이스와, 상기 제2 베이스의 압력포트에 노출된 외부면을 가지며, 그 외부면에 작용하는 압력변화에 따라 굴곡운동을 할 수 있는 유연하며 탄성적인 제2 전도성 실리콘 격막과, 상기 제2실리콘베이스와 상기 제2실리콘 격막사이에 연장되어 합류하는 주변측벽을 제공하며, 상기 제2실리콘베이스와 상기 제2실리콘격막상에 있는 제2비전도성 스페이서 측벽과, 상기 제1 및 제2 격막사이에 존재하며 이들을 간격을 가지며, 평행적이며 중첩된 관계로 합류시키는 중앙에 위치한 제3의 비전도성 스페이서 측벽을 가지며 여기에서 상기 제3의 스페이서측벽과 상기 제1 및 제2격막사이에 진공의 표준 공동실이 형성되며, 상기 각 격막은 다른 격막을 보강하며, 각 압력 포트를 통하여 외부면에 작용하는 압력변화로 인한 상기 각 격막의 굴곡운동은 감지기의 용량을 변동케하며, 상기 두 격막간의 간격이 작기 때문에, 한 격막이 다른 격막을 지지하는 것은 상기 하나의 격막의 굴절량을 제한 하며, 상기 두 격막이 접촉되는 경우 상기 하나의 격막의 그 이상의 굴곡에 대하여 추가적 경도와 저항력을 제공함으로써, 상기의 다른 격막이 상기 하나의 격막에 대하여 과압에 대한 보호를 제공하는 용량성 압력차 감지기.
2. 제1항에 있어서, 최소한 상기 다른 격막의 외부표면에 근접한 곳에 최소한 하나의 중앙에 위치한 제동장치를 더 포함시킴으로써 상기 하나의 격막의 굴절량을 더욱 제한하는 감지기.
3. 제2항에 있어서, 상기 제동장치가 그 각 격막으로 부터, 상기 격막간의 이격거리보다 더 큰 거리로 분리되는 감지기.
4. 제1항에 있어서, 상기 감지기가 기본적으로 원통형으로 성형된 감지기.
5. 제4항에 있어서, 상기 세개의 이격측벽이 환상형으로 되어 있는 감지기.
6. 제1항에 있어서, 전기적 연결이 상기 격막과 상기 베이스에 별도로 제공되어 있고, 변동하는 용량은 상기 격막들사이와 최소한 상기 격막들중의 하나와 그 베이스 사이에서 전기적으로 측정되는 감지기.
7. 제1항에 있어서, 상기 공동실이 그 표준 수준에 있을 때 상기 격막이 약 2마이크로미터의 간격을 갖는 감지기.
8. 제1항에 있어서, 상기 감지기가 엔진 배기시스템에 포함되어 있고, 상기 격막들 중의 하나가 상기 시스템의 배기가스 압력에 노출되어 있으며 그 다른 하나는 주변환경에 노출되어 있는 감지기.
9. 제8항에 있어서, 상기 격막들간의 상기 간격이, 상기 엔진의 배기가스 압력에 노출된 격막이 배기역화를 보았을때, 상기 두 격막간에 접촉이 이루어지도록 충분히 작은 감지기.
10. 감지될 압력 변화가 일어나는 외부지역으로 연결되어 압력 포트를 갖는 전도성 실리콘 베이스와, 외부면을 가지며, 그 외부면에 작용하는 압력변화에 따라 굴곡운동을 할 수 있는 전도성 실리콘 격막과, 상기 실리콘 베이스와 상기 실리콘 격막사이에 연장되어 이들을 연결하는 비전도성 스페이서 측벽과, 상기 외부면과 반대되는 측면상에서 상기 실리콘 격막과 연합하여 형성되는 진공의 표준 공동실을 포함하며, 상기 외부면에 작용하는 압력변화로 인한 상기 격막의 굴곡운동은 감지기의 용량을 변동케하는 감지기로서, 용량성 실리콘-온-실리콘 압력감지기에 과압과 대한 보호를 제공하는 방법에 있어서, 감지될 압력변화가 일어나는 외부 지역으로 연결되는 압력포트를 갖는 제2전도성 실리콘 베이스와, 상기 제2 베이스의 상기 압력포트에 노출된 외부면을 가지며 그 외부면에 작용하는 압력변화에 따라 굴곡운동을 할 수 있는 제2전도성 실리콘 격막과, 상기 제2실리콘베이스와 상기 제2실리콘 격막 사이에 연장되어 이들을 연결하는 주변측변을 제공하여, 상기 제2 실리콘 베이스와 상기 제2 실리콘 격막사이에 있는 제2비전도성 스페어서 측벽과 상기 제1 및 제2 격막사이에 위치하며 이들을 간격지고 평행하게 병렬 배치되는 관계로 연결하는 중앙에 위치한 제3의 비전도성 스페이스 측벽을 제공하며, 여기에서 상기 제3의 스페이서 측벽과 상기 제1 및 제2격막사이에 진공의 표준 공동실을 형성하며, 상기 각 격막은 다른 격막을 보강케하며, 각 압력 포트를 통하여 외부면에 작용하는 압력 변화로 인한 상기 각 격막의 굴곡운동은 감지기의 용량을 변동케하며, 상기 두 격막의 간격이 작아서 한 격막이 다른 격막을 지지하는 것은 상기 하나의 격막의 굴절량을 제한하며, 상기 두 격막이 접촉되는 경우 상기 하나의 격막에 추가적인 강성을 부여 함으로써, 상기 하나의 격막에 과압에 대한 보호를 제공하는 단계들을 포함하는 방법.
11. 제10항에 있어서, 상기 2개의 격막들사이와 최소한 상기 격막들 중의 하나와 그 베이스사이의 변동용량을 측정하는 단계를 포함하는 방법.
12. 제10항에 있어서, 최소한 상기 다른 격막의 외부 표면에 근접한 곳에 최소한 하나의 중앙에 위치한 제동장치를 제공하여 상기 하나의 격막의 굴절량을 더욱 제한하는 단계를 포함하는 방법.
13. 제10항에 있어서, 상기 감지기를 엔진배기 시스템내에 위치시켜 상기 격막들중 하나가 상기 시스템의 배기가스압력에 노출되게 하고 다른 하나는 주변환경에 노출되게 하는 단계를 더 포함하는 방법.
14. 제13항에 있어서, 상기 격막사이의 간격을 충분히 작게하여 상기 엔진의 배기가스압력에 노출된 격막이 배기역화를 감지할 경우 상기 2개의 격막간의 접촉이 이루어지도록 하는 단계를 더 포함하는 방법.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.