KR900002665A - 박막 전장 발광 표시소자의 제조방법 - Google Patents

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KR900002665A KR1019880008618A KR880008618A KR900002665A KR 900002665 A KR900002665 A KR 900002665A KR 1019880008618 A KR1019880008618 A KR 1019880008618A KR 880008618 A KR880008618 A KR 880008618A KR 900002665 A KR900002665 A KR 900002665A
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정준호
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김정배
삼성전관 주식회사
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내용 없음

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박막 전장 발광 표시소자의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 2 (A)-(E) 도는 본 발명에 따른 일실시예의 투명전극의 제조공정도,
제 3 도는 본 발명에 따른 박막 전장 발광 표시조사의 단면도.

Claims (3)

  1. 투명한 유리기판상에 투명한 전면전극, 제 1 절연층, 형광물질층, 제 2 절연층 및 투명 또는 불투명의 배면전극을 적층하여 이루어지는 박막 전장 발광 표시소자의 전면전극의 제조방법이 하기 공정의 연속으로 이루어짐을 특징으로 하는 박막 전장 발광 표시소자의 제조방법.
    (a) 상기 유리기판 상부 전면에 In층을 도포하는 공정,
    (b) 상기 In층상에 전면전극을 형성하기 위한 질화막의 마스크 패턴을 형성하는 공정,
    (c) 상기 마스크패턴을 산화마스크로하여 상기 In층을 산화하는 공정,
    (d) 상기 마스크패턴을 에칭마스크로 하여 상기 산화된 In층을 에칭하고 질화막 마스크패턴을 제거하는 공정,
    (e) 상기 유리기판상에 남아 있는 In층을 산화하는 공정.
  2. 제 1 항에 있어서, In층이 Sn이 도핑된 층임을 특징으로 하는 박막 전장 발광 표시소자의 제조방법.
  3. 제 2 항에 있어서, 제(c)공정 및 제(e)공정이 100℃온도의 산소 분위기에서 2시간 열처리함을 특징으로 하는 박막 전장 발광 표시소자의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880008618A 1988-07-11 1988-07-11 박막 전장 발광 표시소자의 제조방법 KR900002665A (ko)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100384290B1 (ko) * 2001-02-23 2003-05-16 주식회사 엘리아테크 이온 질화법을 이용한 유기 ｅｌ소자용 새도우 마스크제조방법
KR100514232B1 (ko) * 2002-10-30 2005-09-09 에이엔 에스 주식회사 유기 또는 고분자 박막층을 포함하는 장수명 소자의제조방법과, 그 방법으로 제조된 장수명 소자 및디스플레이
KR100546594B1 (ko) * 2002-11-05 2006-01-26 엘지전자 주식회사 유기 ｅｌ 소자의 리페어 장치 및 방법

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