KR890702224A - Ntc온도 센서 및 그 온도감지 소자 제작공정 - Google Patents

Ntc온도 센서 및 그 온도감지 소자 제작공정

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Abstract

내용 없음

Description

NTC 온도 센서 및 그 온도감지 소자 제작공정
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는, 주변 기체를 제공하기 위한 구멍뚫린 채널을 구비하는 고체 전해물 막을 갖는 본 발명에 따른 NTC 온도 감지 소자에 대한 개략적 평면도로서, 상기 소자에는 NTC 저항기가 상기 막 중 하나로 형성된다. 제 1a 도는 제 1 도의 A-A'를 따라 절단한 개략 단면도. 제 1b 도는 제 1 도의, B-B'를 따라 절단한 개략 단면도. 제 2 도는 주변 기체를 공급하기 위해 구멍뚫린 채널과 인쇄된 NTC 저항기를 갖는 Al2O3에 기초한 세 게의 세라믹 막을 구비하는 본 발명에 따른 또 다른 온도 감지 소자의 개략적 평면도. 제 2a 도는 제 2 도의 A-A'를 따라 절단한 개략적 단면도. 제 2b 도는 제 2 도의 B-B'를 따라 절단한 개략적 단면도. 제 3 도는 두꺼운 막 기술에 의해 제작된 터널을 통해 공급되는 산소를 갖는 Al2O3에 기초한 두 개의 막을 구비하는 본 발명에 따른 또 다른 NTC 온도 감지 소자를 통한 개략적 단면도.

Claims (16)

  1. 내연기관의 배기 가스 시스템에 사용되며, NTC 저항기와 NTC 저항기를 전기 접촉 영역으로 접속시키는 도체 트랙을 갖는 하우징내에 배치된 감지 소자를 포함하는 NTC 온도 센서에 있어서, NTC 온도 센서의 감지 소자는, 주변 기체 또는 펌핑에 의해 전해질로서 공급되는 산소가, 다공성 물질로 선택적으로 채워진 채널(8)을 통해 NTC 저항기(14, 17)로 프리 억세스되며, 산소는 측정되는 기체에 대해 밀봉되는 방식으로 세라믹 막의 적층된 합성물로부터 형성되는 것을 특징으로 하는 NTC 온도 센서.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 감지 소자의 적층된 합성물은, 적어도 세 개의 고체 전해물 세라믹막, 즉, 두꺼운 막 기술에 의해 인쇄된 구멍뚫린 상호 접속 홀(5, 5') 및 도체 트랙(6, 6')을 갖는 기본 막(1)과, 선택적으로 구멍뚫린 채널(8)과 NTC 저항기의 전극(7, 7')을 형성하는 도체 트랙의 단부에서 채널 확장부(8')를 갖는 제 2 막(2)과, 카바링 막(3)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 NTC 온도 센서.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 감지 소자의 고체 전해물 세라믹막(1, 2 및 3)은 이트륨(YSZ막)으로 안정화된 ZrO2막으로 형성되며, 절연층(4, 4')은 도체 트랙(6, 6') 사이에 그리고 고체 전해물 막(1, 2) 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 NTC 온도 센서.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 감지 소자의 세라믹 막은 Al2O3에 기초한 막, 즉, 두꺼운 막 기술에 의해 인쇄되었으며 도체 트랙과 전기적으로 접촉되는 NTC 저항기상에 인쇄된 도체 트랙(6, 6')을 갖는 기본 막(11)과, 채널(8, 8')을 형성하기 위해 기본 막(11)과 함께 적층되는 두 개의 다른 막(12, 13)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 NTC 온도 센서.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 NTC 저항기는 이트륨으로 안정화되며 3 내지 15몰%의 Y2O3를 포함하는 ZrO2로 구성되는 것을 특징으로 하는 NTC 온도 센서.
  6. 제4 또는 5 항에 있어서, 부가적인 모니터링 저항기(20)는 상기 감지 소자의 두 도체 트랙(6, 6') 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 NTC 온도 센서.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 감지 소자의 적층된 합성물은 함께 적층되며 고체 전해물상에 기초한 세 개의 세라믹 막(1, 2, 3)으로 형성되며, 상기 막은 상기 NTC 저항기(17)상에서 선택적으로 채워진 터널(8')을 형성하며, 적어도 두 개의 펌프 전극(21, 22)이 제공되는데 상기 두 전극은 전기(SiC) 펌핑에 의해 터널(8') 내에 산소 탱크를 유지하는 것을 특징으로 하는 NTC 온도 센서.
  8. 제 1 내지 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 적층된 합성물의 세라믹 막은 라미너간의 결합대에 의해 함께 적층되는 것을 특징으로 하는 NTC 온도 센서.
  9. 제 1 내지 3 항 그리고 제 7 내지 8 항에 따른 NTC 온도 센서에 대한 NTC 온도 감지 소자를 제작하기 위한 공정에 있어서, 1. 절연층은 인쇄되는 도체트랙의 영역내 고체 전해물 세라믹 막상에 인쇄되며 대응하는 층은 상기 막의 후측에 인쇄되며, 2. 상호 접속 홀은 상기 막내에서 형성되며, 3. 절연층은 상호 접속 홀내에서 제작되며 전기 도체는 절연층상에서 증착되며, 4. 접속 접점은 상기 막의 후측에 인쇄되며, 5. 도체 트랙은 절연층의 영역내 상기 막의 앞측에서 인쇄되며 전극은 NTC 저항기를 위해 제공된 비절연된 영역 내에서 인쇄되며 또한 밀봉 프레임이 인쇄되며, 6. 상기 막의 인쇄된 측면 상에서, 상기 도체 트랙은 또 다른 절연층을 갖고 상부 방향으로 절연되며 상기 밀봉 프레임은 보강되며, 7. 제 2 막은 라미너간의 결합재로 양측에서 코팅되며 채널은 코팅된 막에서 인쇄되며, 8. 제 2 막은 제 1 막상에 제작되며, 9. 라미너간의 결합제로 인쇄되는 제 3 막은 제 2 막상에서 제작되며, 10. 상기 막은 함께 적층되며, 11. 상기 막은 소결되는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 NTC 온도 감지 소자 제작 공정.
  10. 제 1 내지 3 항 및 제 7 내지 8 항에 따른 NTC 온도 센서에 대한 NTC 온도 감지 소자 제작 공정에 있어서, 1. 절연층은 인쇄되는 도체 트랙의 영역내 고체 전해물 세라믹 막상에서 인쇄되며 대응하는 층은 상기 막의 후측에서 인쇄되며, 2. 상호 접속 홀은 상기 막내에서 형성되며, 3. 절연층은 상호 접속 홀내에서 제작되며 전기 도체는 상기 절연층상에서 증착되며, 4. 접속 접점은 상기 막의 후측에서 인쇄되며, 5. 도체 트랙은절연층의 영역 내 상기 막의 전측에서 인쇄되며 전극은 NTC 저항기에 대해 제공된 비절연 영역상에 인쇄되며 또한 밀봉 프레임이 인쇄되며, 6. 상기 막의 인쇄된 측면에서, 상기 도체 트랙은 또 다른 절연층을 갖고 상부 방향으로 절연되며, 7. 제 2 막은 라미너간의 결합제로 양측에서 코팅되며, 소결처리중에 연소, 증발 또는 분해에 의해 형성되는 공동 형성 에이전트를 포함하는 층은 상기 막상에 인쇄되며, 8. 제 2 막은 제 1 막상에 제작되며, 9. 상기 막들은 함께 적층되며, 10. 상기 막 합성물은 소결되는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 NTC 온도 감지 소지 제작 공정.
  11. 제 1, 4 내지 6 항 및 8 항에 따른 NTC 온도 센서용 NTC 온도 감지 소자 제작 공정에 있어서, 1. 상호 접속 홀은 절연기 세라믹에 기초한 제 1 세라믹 막에서 형성되며, 2. 전기 접촉 영역은 상기 막의 후측에 인쇄되며 전지 접촉 트랙 및 NTC 저항기는 상기 막의 전측에 인쇄되며, 3. 절연기 세라믹에 기초한 적어도 하나의 제 2 막은 라미너간의 결합재를 사용하여 NTC 저항기 상에 공동을 형성하기 위해 제 1 막상에 적층되며, 4. 상기 적층된 합성물은 소결되는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 NTC 온도 감지 소자 제작 공정.
  12. 제 11 항에 있어서, 소결 처리중에 증발 또는 연소에 의해 채널을 형성하는 공동 형성 에이전트를 포함하는 층을 갖는 막은 제 2 막으로 사용되는 것을 특징으로 하는 NTC 온도 감지 소자 제작 공정.
  13. 제 16 항에 있어서, 소결 상태하에서 증발되거나 분해되는 폴리우레탄 분말, 열 매연 또는 엽분은 공동 형성 에이전트로 사용되는 것을 특징으로 하는 NTC 온도 감지 소자 제작 공정.
  14. 제 9 또는 10 항에 있어서, 고체 전해물 막과 도체 트랙 사이에서 그리고 산화물, 혼합된 산화물, 엽분 또는 5가 금속 또는 더 높은 가전자의 조직 금속 합성물을 갖는 페이스트 또는 현탁액으로부터의 상호 접속 홀내에 절연층을 형성하기 위해, 5가 양이온 또는 더 높은 가전자의 양이온은 상기 막으로 확신되는 것을 특징으로 하는 NTC 온도 감지 소자 제작 공정.
  15. 제 9 내지 14 항 중 어느 한 항에 있어서, 시작점은 두께가 0.1 내지 0.6mm 인 세라믹 막인 것을 특징으로 하는 NTC 온도 감지 소자 제작 공정.
  16. 제 9 내지 15 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 온도 감지 소자는 기계에 의해 나중으로 제작되는 것을 특징으로 하는 NTC 온도 감지 소자 제작 공정.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890700955A 1987-10-01 1988-08-30 Ntc 온도 센서 및 그 온도감지 소자 제작공정 KR970004562B1 (ko)

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