KR890702070A - 액정 광밸브 및 대응본딩 구조 - Google Patents

액정 광밸브 및 대응본딩 구조

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Abstract

내용 없음

Description

액정 광밸브 및 대응본딩 구조
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 LCLV 구조의 바람직한 실시 형태를 예시하는 측단면도이다. 제2도는 바람직한 실시 방법에 따른 LCLV 디바이스 제작 순서를 예시하는 블록 다이아그램이다. 제3도는 LCLV 디바이스의 제작 순서를 예시하는 블록 다이아그램이다.

Claims (19)

  1. (a) 기판, (b) 상기 기판에 형성된 무정형의 광도전성층, (c) 차단층, (d) 상기 차단층상에 부착된 미러층, 및 (e) 상기 차단층을 상기 무정형의 광도전성층에 본딩시키기 위한 수단으로 구성되는 액정 광밸브(LCLV) 디바이스 구조.
  2. 제1항에 있어서, 상기 차단층이 테루르화카드뮴으로 되는 것을 특징으로 하는 LCLV 디바이스 구조.
  3. 제1항에 있어서, 상기 미러층이 이산화티타늄을 포함하는 것을 특징으로 하는 LCLV 디바이스 구조.
  4. 제3항에 있어서, 상기 차단층이 텔루르화카드뮴으로 되는 것을 특징으로 하는 LCLV 디바이스 구조.
  5. 제4항에 있어서, 상기 무정형 광도전성층이 무정형 실리콘 광도전성층으로 되는 것을 특징으로 하는 LCLV 디바이스 구조.
  6. 제5항에 있어서, 상기 본딩 수단이 산소가 풍부한 이산화 실리콘을 포함하는 것을 특징으로 하는 LCLV 디바이스 구조.
  7. 제5항에 있어서, 상기 본딩 수단이 (a) 아르곤 중에서 증착시킨 이산화실리콘, (b) 아르곤과 산소 혼합물 중에서 증착시킨 이산화 실리콘과 텔루르화카드뮴, 및 (c) 아르곤 중에서 증착시킨 데루르화카드뮴으로 구성되는 것을 특징으로 하는 LCLV 디바이스 구조.
  8. 제5항에 있어서, 상기 본딩 수단이 (a) 상기 무정형의 광도전성층에 인접한 이산화실리콘층, (b) 상기 이산화실리콘층에 인접한 산소가 풍부한 이산화실리콘층, (c) 상기 산소가 풍부한 이산화실리콘층에 인접한 산소가 풍부한 텔루프화가드뮴층, 및 (d) 상기 산소가 풍부한 텔루르화카드뮴층에 인접한 텔루르화 카드뮴층을 포함하고, 층을 이루어 어닐링된 구조로 되는 것을 특징으로 하는 LCLV 디바이스 구조.
  9. 제1항에 있어서, 상기 미러층이 이산화실리콘과 이산화티타늄의 교대 층의 포함하는 유전성 미러로 되는 것을 특징으로 하는 LCLV 디바이스 구조.
  10. 제9항에 있어서, 상기 차단층이 텔루르화카드뮴으로 되는 것을 특징으로 하는 LCLV 디바이스 구조.
  11. 제10항에 있어서, 상기 무정형의 광도전성츨이 무정형의 실리콘 광도전성층으로 되는 것을 특징으로 하는 LCLV 디바이스 구조.
  12. 제11항에 있어서, 상기 본딩 수단이 산소가 풍부한 이산화실리콘을 포함하는 것을 특징으로 하는 LCLV 디바이스 구조.
  13. (a) 아르곤 중에서 증착시킨 이산화실리콘층, (b) 아르곤과 산소 혼합물 중에서 각각 증착시킨 연속적인 이산화실리콘층과 텔루르화카드뮴층, 및 (c) 아르곤 중에서 증착시킨 텔루르화카드뮴층으로 구성되는, 실리콘 함유 재료에 텔루르화카드뮴을 본딩시키기 위한 구조.
  14. 제13항에 있어서, 실리콘 함유 재료가 무정형 실리콘인 것을 특징으로 하는 구조.
  15. 제13항에 있어서, 실리콘 함유 재료가 단결성 실리콘인 것을 특징으로 하는 구조.
  16. 제13항에 있어서, 실리콘 함유 재료가 이산화실리콘인 것을 특징으로 하는 구조.
  17. 제13항에 있어서, 상기 구조를 어닐링하는 것을 특징으로 하는 구조.
  18. (a) 무정형 실리콘, 단결정 실리콘 또는 이산화실리콘으로 되어 베이스층 상에 형성된 이산화실리콘층, (b) 상기 이산화실리콘층 상에 형성된 산소가 풍부한 이산화실리콘층, (c) 상기 산소가 풍부한 이산화실리콘층 상에 형성된 산소가 풍부한 텔루르화카드뮴층, 및 (d) 상기 산소가 풍부한 텔루르화가드뮴층 상에 형성된 텔루르화카드뮴층으로 구성되는, 상기 베이스층에 델루르화카드뮴을 본딩하기 위한 구조.
  19. 제18항에 있어서, 구조를 어닐링하는 것을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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