DE69400738D1 - Geschichtete Struktur mit isolierender Dünnschicht und supraleitender Oxyddünnschicht - Google Patents

Geschichtete Struktur mit isolierender Dünnschicht und supraleitender Oxyddünnschicht

Info

Publication number
DE69400738D1
DE69400738D1 DE69400738T DE69400738T DE69400738D1 DE 69400738 D1 DE69400738 D1 DE 69400738D1 DE 69400738 T DE69400738 T DE 69400738T DE 69400738 T DE69400738 T DE 69400738T DE 69400738 D1 DE69400738 D1 DE 69400738D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
thin film
layered structure
superconducting oxide
oxide thin
insulating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69400738T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69400738T2 (de
Inventor
Hitoki Tokuda
Michitomo Iiyama
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Application granted granted Critical
Publication of DE69400738D1 publication Critical patent/DE69400738D1/de
Publication of DE69400738T2 publication Critical patent/DE69400738T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N60/00—Superconducting devices
    • H10N60/20—Permanent superconducting devices
    • H10N60/205—Permanent superconducting devices having three or more electrodes, e.g. transistor-like structures 
    • H10N60/207—Field effect devices
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N60/00—Superconducting devices
    • H10N60/01—Manufacture or treatment
    • H10N60/0268—Manufacture or treatment of devices comprising copper oxide
    • H10N60/0296—Processes for depositing or forming copper oxide superconductor layers
    • H10N60/0381—Processes for depositing or forming copper oxide superconductor layers by evaporation, e.g. MBE

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)
  • Insulators (AREA)
DE69400738T 1993-07-29 1994-07-26 Geschichtete Struktur mit isolierender Dünnschicht und supraleitender Oxyddünnschicht Expired - Fee Related DE69400738T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5207112A JPH0745880A (ja) 1993-07-29 1993-07-29 絶縁体薄膜と酸化物超電導薄膜との積層膜

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69400738D1 true DE69400738D1 (de) 1996-11-21
DE69400738T2 DE69400738T2 (de) 1997-05-22

Family

ID=16534400

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69400738T Expired - Fee Related DE69400738T2 (de) 1993-07-29 1994-07-26 Geschichtete Struktur mit isolierender Dünnschicht und supraleitender Oxyddünnschicht

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP0637087B1 (de)
JP (1) JPH0745880A (de)
CA (1) CA2117411C (de)
DE (1) DE69400738T2 (de)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08288563A (ja) * 1995-04-17 1996-11-01 Sumitomo Electric Ind Ltd 超電導電界効果型素子およびその作製方法
EP0825656A3 (de) * 1996-08-13 1999-05-19 Sumitomo Electric Industries, Limited Supraleitende Schichtstruktur mit einer supraleitenden Oxyddünnschicht mit Schutzschicht und Verfahren zu deren Herstellung
JP3011122B2 (ja) * 1996-12-03 2000-02-21 住友電気工業株式会社 積層型酸化物絶縁膜
JPH10308283A (ja) * 1997-03-04 1998-11-17 Denso Corp Ｅｌ素子およびその製造方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR910002311B1 (ko) * 1987-02-27 1991-04-11 가부시기가이샤 히다찌세이사꾸쇼 초전도 디바이스
JP2862137B2 (ja) * 1988-08-11 1999-02-24 古河電気工業株式会社 超電導トランジスタ
JPH03259576A (ja) * 1990-03-09 1991-11-19 Sumitomo Electric Ind Ltd ジョセフソン接合
DE69119022T2 (de) * 1990-10-08 1996-10-31 Sumitomo Electric Industries Supraleitende Einrichtung mit ultradünnem Kanal aus oxydisch supraleitendem Material und Verfahren zu deren Herstellung

Also Published As

Publication number Publication date
EP0637087B1 (de) 1996-10-16
CA2117411A1 (en) 1995-01-30
DE69400738T2 (de) 1997-05-22
CA2117411C (en) 1998-12-22
JPH0745880A (ja) 1995-02-14
EP0637087A1 (de) 1995-02-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69529978T2 (de) Dünne schaltvorrichtung und anzeigevorrichtung mit schalter
DE69312017D1 (de) Antireflektionsschicht und Anzeigegerät mit dieser Schicht
DE69532924D1 (de) Elektrochromische schicht und vorrichtungen mit derselben
DE69104393D1 (de) Flachgestaltete Kaltkathode mit spitzen Enden und Herstellungsverfahren derselben.
NO933966D0 (no) Stoff for senkning av hoeyt kolesterolnivaa i serum og fremgangsmaate for fremstilling av stoffet
DE69332699D1 (de) Magnetoresistive struktur mit einer legierungsschicht
DE4192215T1 (de) Transistorgeräte mit isoliertem Gate und Temperatur- und Stromfühler
DE69429319D1 (de) Offene magnetische Struktur
DE69333336T2 (de) Isolatorstruktur und zugehöriges Herstellungsverfahren
DE69430568D1 (de) Flacher bildschirm mit innerer tragstruktur
DE69305909D1 (de) Leistungsanordnung mit isoliertem Gate-Kontakt-Gebiet
DE69122030D1 (de) Herstellungsverfahren und Struktur einer elektrolumineszenten Dünnfilmvorrichtung
DE69416462D1 (de) Schichtstruktur mit isolierender Dünnschicht und Oxydsupraleiter-Dünnschicht
DE69308960D1 (de) Kühlmöbel mit Dichtungsvorrichtung und Distanzplatten aus isolierendem Material
DE69314077D1 (de) Herstellung von Oxid-Supraleitern mit grosser magnetischer Schwebekraft
DE69615412D1 (de) Metallischer gegenstand mit oxidschicht und eine verbesserte haftschicht
DE69427451D1 (de) Dämmender Schaumstoff mit niedriger Wärmeleitfähigkeit und Herstellungsverfahren
DE3853658D1 (de) Supraleitende Oxydflocken und deren Herstellungsverfahren.
DE4294870T1 (de) Fieberthermometer mit digitaler und gesprochener Anzeige
DE69402170D1 (de) Multifilamentäre Oxyd-supraleitende Drähte und Spule mit diesem Draht
DE69402302D1 (de) Honigwaben mit im winkel stehender i-foermiger struktur
DE69117378D1 (de) Supraleitende Einrichtung mit geschichteter Struktur, zusammengesetzt aus oxidischem Supraleiter und Isolatordünnschicht und deren Herstellungsmethode
DE69400738D1 (de) Geschichtete Struktur mit isolierender Dünnschicht und supraleitender Oxyddünnschicht
DE3664244D1 (en) Semiconductor device with interconnection and insulating layers
DE69430890D1 (de) Halbleiterspeichergerät mit Redundanz

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee