KR880008711A - 플라즈마장치 - Google Patents
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제7도는 본 발명의 플라즈마장치의 다른 실시예의 종 단면도.
제9도는 본 발명의 플라즈마장치에 있어서 자계생성기의 다른 실시예의 종 단면도.
제10도는 본 발명의 플라즈마장치의 다른 실시예의 종 단면도.
Claims (27)
- 전자사이클로트론 공명을 이용하여 플라즈마생성실(1)내에 플라즈마를 발생시켜 그 플라즈마생성실(1)의 주위에 배치한 여자코일(4)에 의하여 형성되는 자계를 이용하여 이 플라즈마를 플라즈마인출창(ld)에서 시료를 재치하는 재치대(5)를 갖춘 시료실에 도출하도록 한 플라즈마장치에 있어서, 전기한 재치대(5)의 시료(100)에 대하여 플라즈마인츨창(ld)과 반대측에 시료둘레가장자리부의 자속밀도가 시료중앙부의 자속밀도보다 높게되는 자계를 생성하는 자계생성기를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제1항에 있어서, 전기한 자계생성기(6)는 전기한 재치대(5)에 대하여 전기한 플라즈마인출창(ld)과 반대측에 배설되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제1항에 있어서, 전기한 자계생성기는 전기한 시료(100)와 전기한 재치대(5)와의 사이에 배설되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제1항에 있어서, 전기한 자계생성기(6)는 전기한 시료실(3)의 외부에 배설되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제1항에 있어서, 전기한 자계생성기(6)는 원통형의 자성체(6)를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제5항에 있어서, 전기한 자성체(6)의 외경은 전기한 시료(100)의 직경과 거의 같든가 또는 이것보다 큰것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제5항에 있어서, 전기한 자성체(6)의 주위에는 코일이 배설되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제7항에 있어서, 전기한 코일은 전기한 자성체(6)의 주위에 두루감기어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제1항에 있어서, 전기한 자계생성기(6)는 원통형의 영구자석인 것을 특징으로 하는 플라즈마장치
- 제1항에 있어서, 전기한 자계생성기(6)는 시료둘레가장자리부의 자속밀도와 시료중앙부의 자속밀도를 각독립적으로 조절하는 것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제10항에 있어서, 전기한 자계생성기(6)는 전기한 여자코일(4)에 의하여 형성되는 자계와 같은 방향의 자계 및 반대방향의 자계를 생성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제10항에 있어서, 전기한 자계생성기(6)는 2개의 원통형(8)(9)의 자성체를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제12항에 있어서, 전기한 2개의 자성체(8)(9)는 서로 동심상으로 배설되고 그 직경이 상이한 것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제12항에 있어서, 전기한 2개의 자성체(8)(9)의 주위에는 코일이 배설되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 장치.
- 제10항에 있어서, 전기한 자계생성기(6)는 주위에 코일이 배설되고 중앙부가 두꺼운 대략 원기둥형의 자성체(18)와 그 자성체의 지름보다 그 내경이 크고 주위에 코일이 배설된 원통형의 자성체(9)를 갖는 것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제10항에 있어서, 전기한 자계생성기(6)는 그 편면중앙에 원기둥형부(23c)를, 그 편면둘레가장자리부 가까이에는 편면중앙을 중심으로 하는 원통형부(28d)를 배설하고 있고, 그 원통형부(28d)주위에 코일이 배설되어 있는 원판형의 자성체와 그 자성체의 외경보다 그의 내경이 크고 주위에 코일이 배설된 원통형의 자성체를 갖는 것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제10항에 있어서, 전기한 자계생성기(6)는 2개의 원통형의 영구자석인 것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제1항에 있어서, 전기한 자계생성기(6)는 원통형의 자성체의 안, 바깥둘레에 코일이 일체적으로 배치되었고, 축방향이 전기한 시료(100)의 두께방향과 일치하도록 배설되어 있는 것을 특징으로 하는 프라즈마장치.
- 제18항에 있어서, 전기한 자계생성기(6)는 전기한 재치대(5)에 대하여 전기한 플라즈마인출창(ld)과 반대측에 배설있고, 전기한 자성체(6)의 외경은 전기한 재치대(5)의 지름과 거의 같은 것을 특징으로 하는 플라즈마 장치.
- 제18항에 있어서, 전기한 자성체(6)의 시료(100)와 반대측의 부분이 지름축소되고 이축경부에 전기한 코일이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제18항에 있어서, 전기한 자성체(6)의 시료(100)와 반대측의 부분이 지름확대되고 이 확경부에 전기한 코일이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 장치.
- 제18항에 있어서, 전기한 자성체(6)의 시료(100)와 반대측의 끝부분에 지름축소방향 및 지름확대방향에 장출부가 부설되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제1항에 있어서, 전기한 자계생성기(6)는 영구자석과 자성체를 조합하여 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제23항에 있어서, 전기한 자계생성기(6)는 중심에 봉형의 자성체가, 이것과 동심상에 고리형의 자성체가 배설되고, 봉형의 자성체와 고리형의 자성체와의 사이의 공간안에 복수의 영구자석(6f)아 배설되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제24항에 있어서, 전기한 고리형의 자성체와 동심상에 별도의 고리형의 자성체가 배설되고, 이 고리형의 자성체는 재치대(5)에 대하여 원근하는 방향으로 이동이 가능한 것을 특징으로 하는 플라즈마 장치.
- 제24항에 있어서, 전기한 복수의 영구자석(6f)은 봉자석이고, 각 봉자석은 한쪽극을 중심측에, 다른쪽극을 둘레가장자리부측에 위치시켜서 방사상으로 배설되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마장치.
- 제23항에 있어서, 전기한 자계생성기(6)는 원반형의 자성체상의 중심부에 한쪽의 극을 재치대측으로 하여 봉형의 영구자석(26d)이, 또 이것과 동심상에 다른쪽의 극을 재치대측으로 하여 고리형의 영구자석(26e)이 배설되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 장치※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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