KR850006791A - 미시적인 작동시스템을 교정 및 정렬시키기 위한 장치와 방법 - Google Patents

미시적인 작동시스템을 교정 및 정렬시키기 위한 장치와 방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

미시적인 작동시스템을 교정 및 정렬시키기 위한 장치와 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 제1도에 도시된 바와 같은 타게트판을 사용한 미시적인 작동시스템을 나타내는 블럭다이어그램.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 타게트판 12 : 기판
14 : 불투명판 20 : 눈금선
30 : 중심선 40 : 반사지역
50, 60 : 바둑판형 패턴
52, 62 : 반사면 54, 64 : 비반사면
70 : 매트면지역 10 : 웨이퍼 지지대
115 : 지지대 제어장치
120 : 광학조립체 130 : 제어장치
140 : 절단톱 조립체 145 : 절단날

Claims (19)

  1. 다수의 광학적 타게트를 가진 미시적인 작동시계(視界)내의 타게트판으로 구성되며, 상기 타게트들의 적어도 하나에는 작동시스템의 작동요소가 정렬될 눈금선이 포함되어 있고, 상기 타게트들의 다른 하나에는 최소한의 왜곡으로써 균일하게 밝은 시계를 보장하기 위하여 상기 작동시스템의 광학적 요소들을 교정하기 위한 반사성 수단이 포함되어 있는, 작동요소의 주위에 미시적인 작동시계를 경계짓는 광학적 요소들을 가진 미시적인 작동시스템을 정밀하게 교정(calibration) 및 정렬(alignment)시키기 위한 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 광학적 타게트들의 하나에는 상기 작동요소의 0정렬을 교정하기 위하여 상기 눈금선과 직각으로 교차하는 중심선이 포함되어 있는 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 미시적인 작동시스템의 하나에는 패턴인지(認知)수단이 더욱 포함되어 있으며 상기 광학적 타게트에는 비디오정보의 질과 계조(contrst)의 척도를 결정하기 위하여 상기 패턴인지수단에 의한 검사를 위한 매트면(matte surface)지역이 포함되어 있는 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 광학적 타게트들의 적어도 하나에는 반사면과 비반사면이 교대로 배치된 바둑판형 패턴이 포함되어 있는 장치.
  5. 반사면과 비반사면이 교대로 배치된 적어도 하나의 미시적인 바둑판형 패턴을 갖는 시스템의 미시적인 시계내에 배치될 타게트판으로 이루어지는, 미시적인 광학 및 비디오 카메라를 교정 및 정렬시키기 위한 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 타게트판에는 다수의 상기 바둑판형 패턴이 포함되어 있으며, 이들 패턴의 각각은 교대지역의 크기가 서로 상이한 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 타게트판에는 시계내의 광분포 및 화면 계조질을 교정하기 위한 적어도 하나의 연속적인 반사지역이 포함되어 있는 장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 타게트판에는 비디오 화면질을 결정하기 위하여 패턴인지시스템에 의한 검사를 위한 매트패턴이 포함되어 있는 장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 매트패턴은 크롬이 함입되어 있는 마일라(mylar)면상의 폴리카보네이트 물질로 형성되어 있는 장치.
  10. 제5항에 있어서, 상기 카게트판에는 상기 광학 및 카메라 시스템들에 의해 위치적으로 제어되는 작동요소의 구조적 정렬을 측정하기 위한 직선이 포함되어 있는 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 직선에는 예정된 값의 증분에 형성된 눈금들을 가진 정밀한 눈금선이 포함되어 있는 장치.
  12. 제10항에 있어서, 상기 패턴들의 각각은 미시적인 시계내의 공통적인 광학적 평면상에 형성되어 있는 장치.
  13. θ정확도의 교정을 위하여 직각으로 교차하는 중심선들과, 제어광학요소들의 교정 및 정렬을 위하여 반사부분과 비반사부분이 교대로 배치된 적어도 하나의 바둑판형 지역과, 미시적인 광학 발광분포의 교정을 위한 적어도 하나의 반사지역으로 구성되는, 미시적인 자동정렬수단에 의해 제어되는 웨이퍼 절단수단(wafer dicing means)과 함께 사용되기 위한, 지지대에 장착될 수 있는 광학적 교정 및 정렬판.
  14. 제13항에 있어서, 상기 중심선들중의 하나에는 상기 절단수단의 Y방향 전진의 교정을 위하여 눈금이 새겨져 있는, 지지대에 장착될 수 있는 교정 및 정렬판.
  15. 제13항에 있어서, 교대부분의 크기가 서로 상이한 다수의 상기 바둑판형 지역을 포함하는 장치.
  16. 제13항에 있어서, 패턴인지시스템의 교정을 위한 적어도 하나의 지역을 더욱 포함하는 장치.
  17. 주어진 증분만큼의 간격을 가진 다수의 정밀한 눈금들을 갖는 교정판을 웨이퍼 지지대상에 설치하고, 웨이퍼 절단수단의 절단날을 상기 눈들중의 하나와 정렬시킨 후에 이 절단날을 전진제어시스템에 따라 예정된 수효의 증분만큼 상기 눈금상에서 전진시키고, 이 눈금상에서의 상기 절단날의 실제 위치와 상기 최초로 정렬되었던 눈금으로부터 상기 예정된 수효의 증분만큼을 이동시켰을 때의 바람직한 위치사이의 차이로 정의되는 전진제어시스템 오차를 측정하고, 상기 전진제어시스템을 재정하여 이 오차를 보상하여 주는 것으로 구성되는, 전진제어시스템에 의해 도입된 고유오차를 보상하기 위하여 자동적 웨이퍼 절단수단을 재교정하는 방법.
  18. 다수의 광학적 타게트를 가진 타게트판을 웨이퍼 지지대상에 위치시키고, 광학요소들을 이 웨이퍼 지지대에 대해 위치시킴으로써 작동시계가 상기 광학적 타게트들의 제1 반사지역으로 향하게 한 후에 상기 광학요소들을 조정하여 상기 시계전체에 걸쳐서 조명도가 균일해지도록 하고, 상기 광학요소들을 상기 웨이퍼 지지대에 대해 재위치시킴으로써 상기 작동시계가 상기 광학적 타게트의 반사지역과 비반사지역이 교대로 배치된 제2의 바둑판형 패턴으로 향하게 한 후에 상기 광학요소들을 조정하여 상기 시계전체에 걸쳐서 왜곡을 최소화하고 촛점을 개선시키는 것으로 구성되는, 미시적인 작동시계를 정의하는 광학요소들과 이 작동시계내의 웨이퍼 지지대를 갖는 자동적 웨이퍼 절단수단을 재교정하는 방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 자동적 웨이퍼 절단수단에는 상기 웨이퍼 지지대의 표면전체에 걸쳐서 위치적으로 단계인 작동요소가 더욱 포함되어 있으며, 상기 단계적인 이동의 크기는 상기 작동요소들을 웨이퍼 지지대에 대해 재교정하여 상기 작동시계가 광학적 타게트들의 제3의 눈금선 부분으로 향하게 함으로써 재교정되는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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