KR20240058999A - 기판 결함들을 감소시키기 위한 건조 환경들 - Google Patents

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KR20240058999A
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에드윈 벨라스케즈
짐 켈로그 애트킨슨
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어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Abstract

본원에 설명된 하나 이상의 실시예는 일반적으로, 반도체 처리 시스템들 내의 건조 환경들에 관한 것이다. 이러한 실시예들에서, 기판들은 팩토리 인터페이스로 복귀하기 전에 건조 환경 내에서 세정되고 건조된다. 그러나, 팩토리 인터페이스와 건조 환경 사이의 개구부로 인해, 공기는 팩토리 인터페이스로부터 건조 환경 내로 유동하고, 종종, 건조 프로세스들의 유효성을 감소시킨다. 본원에 설명된 실시예들에서, 공기 유동은, 기판이 건조 환경 내에 위치된 건조기의 건조 부분에 들어갈 때 폐쇄 위치까지 상승하는 슬라이딩 도어에 의해 차단된다. 기판이 건조기를 빠져나간 후, 그리고 기판이 팩토리 인터페이스에 진입하기 전에, 슬라이딩 도어는 기판이 팩토리 인터페이스에 진입할 수 있도록 개방 위치로 하강한다. 이로써, 이러한 프로세스들은 다수의 기판들이 시스템 내에서 신속하고 일관되게 건조되는 것을 허용하고, 처리량을 개선한다.

Description

기판 결함들을 감소시키기 위한 건조 환경들{DRYING ENVIRONMENTS FOR REDUCING SUBSTRATE DEFECTS}
본원에 설명된 하나 이상의 실시예는 일반적으로, 반도체 처리 시스템들에 관한 것으로, 더 구체적으로, 반도체 처리 시스템들 내의 건조 환경들에 관한 것이다.
반도체 디바이스 기하형상들이 계속 감소함에 따라, 초청정 처리의 중요성이 증가한다. 유체 탱크(또는 배스) 및 후속하는 헹굼 배스 내에서의(예를 들어, 개별 탱크 내에서의, 또는 세정 탱크 유체를 교체하는 것에 의한) 수성 세정이 채용될 수 있다. 헹굼 배스로부터의 제거 후에, 건조 장치의 사용 없이, 배스 유체가 기판의 표면으로부터 증발할 수 있고, 기판의 표면 상에 배스 잔류물을 남기고/거나 스트리킹, 스포팅을 야기할 수 있다. 그러한 스트리킹, 스포팅 및 잔류물은 후속 디바이스 고장을 야기할 수 있다. 이에 따라, 기판이 수성 배스로부터 제거될 때 기판을 건조시키기 위한 개선된 방법들에 대해 많은 주의를 기울여왔다.
마랑고니(Marangoni) 건조로 알려진 방법은, 기판에 배스 유체를 사실상 남기지 않는 방식으로 배스 유체가 기판으로부터 유동하도록 유도하기 위해 표면 장력 구배를 생성하며, 따라서 스트리킹, 스포팅 및 잔류물 표식들을 회피할 수 있다. 구체적으로, 마랑고니 건조 동안, 배스 유체와 혼화가능한 용매(예를 들어, 이소프로필 알콜(IPA) 증기)는 기판이 배스로부터 들어올려질 때 또는 배스 유체가 기판을 지나 배수될 때 형성되는 유체 메니스커스(fluid meniscus)에 도입된다. 용매 증기는 유체의 표면을 따라 흡수되고, 흡수된 증기의 농도는 표면 장력이 배스 유체의 벌크에서보다 메니스커스의 첨단에서 더 낮아지게 하고, 배스 유체가 건조 메니스커스로부터 벌크 배스 유체를 향해 유동하게 한다. 그러한 유동은 "마랑고니 유동"으로 알려져 있고, 기판 상의 스트리킹들, 스포팅 또는 배스 잔류물을 감소시키면서 기판 건조를 달성하기 위해 채용될 수 있다.
그러나, 기판의 균일한 마랑고니 건조를 달성하는 것은 팩토리 인터페이스로부터 건조기 내로 유동하는 공기로 인해 부분적으로 어려울 수 있다. 종래의 접근법들은 팩토리 인터페이스와 기판 프로세스 환경 사이에 개방된 접근을 갖는다. 많은 경우들에서, 팩토리 인터페이스는 더 높은 압력들에서 작동해야 하고, 더 높은 압력들은 높은 공기 유동으로 이어진다. 높은 공기 유동은 기판이 건조되고 있을 때 기판 바로 위를 지나가고, 기판 결함들에 기여한다.
이에 따라, 더 적은 기판 결함들을 초래하는 건조 환경들이 필요하다.
본원의 하나 이상의 실시예는 반도체 처리 시스템들 내의 건조 환경들에 관한 것이다.
일 실시예에서, 건조 환경은, 제1 건조기 개구부 및 제2 건조기 개구부를 갖는 덮개를 포함하는 건조기 - 덮개는 적어도 하나의 기판을 제1 건조기 개구부를 통해 건조기 내로 수용하고, 적어도 하나의 기판이 제2 건조기 개구부를 통해 건조기를 빠져나가는 것을 허용하도록 구성됨 -; 건조 환경 내에서 건조기 위에 위치된 최상부 부분 - 최상부 부분은 건조 환경과 팩토리 인터페이스 사이에 건조 환경 개구부를 가짐 -; 길이 및 폭을 갖는 적어도 하나의 슬라이딩 도어 - 적어도 하나의 슬라이딩 도어는 건조 환경 내에 위치되고, 적어도 하나의 슬라이딩 도어는 적어도 하나의 슬라이딩 도어의 길이가 건조 환경 개구부 전체를 커버하도록 하는 위치까지 상향 이동하도록 구성되고, 적어도 하나의 기판이 건조 환경 내에 있는 동안 적어도 하나의 슬라이딩 도어의 길이가 완전히 건조 환경 개구부 아래에 있도록 하는 위치까지 하향 이동하도록 구성됨 -; 및 최상부 부분 내의 회전 플랫폼 - 회전 플랫폼은 적어도 하나의 기판을 건조기 환경 개구부를 통해 팩토리 인터페이스로 이송하도록 구성됨 - 을 포함한다.
다른 실시예에서, 건조 환경은, 건조기 - 건조기는, 제1 건조기 개구부 및 제2 건조기 개구부를 갖는 덮개 - 덮개는 적어도 하나의 기판을 제1 건조기 개구부를 통해 건조기 내로 수용하고, 적어도 하나의 기판이 제2 건조기 개구부를 통해 건조기를 빠져나가는 것을 허용하도록 구성됨 -, 액체의 튜브를 갖는 헹굼 부분, 및 액체의 튜브 바로 위에 위치된 복수의 스프레이 바들을 갖는 건조 부분을 포함함 -; 건조 환경 내에서 건조기 위에 위치된 최상부 부분 - 최상부 부분은 건조 환경과 팩토리 인터페이스 사이에 건조 환경 개구부를 가짐 -; 길이 및 폭을 갖고 건조 환경 내에 위치된 적어도 하나의 슬라이딩 도어 - 슬라이딩 도어는 적어도 하나의 기판이 복수의 스프레이 바들 아래에 있는 동안 길이의 적어도 일부가 건조 환경 개구부 아래에 있도록 위치되고, 슬라이딩 도어는 적어도 하나의 기판이 복수의 스프레이 바들을 지나서 상승되는 동안 슬라이딩 도어의 길이가 건조 환경 개구부 전체를 커버하도록 위치됨 -; 최상부 부분 내의 회전 플랫폼 - 회전 플랫폼은 적어도 하나의 기판을 건조기 환경 개구부를 통해 팩토리 인터페이스로 이송하도록 구성됨 - 을 포함한다.
본원의 하나 이상의 실시예는 또한, 기판들을 건조시키기 위한 방법들에 관한 것이다.
일 실시예에서, 기판들을 건조시키기 위한 방법은, 길이 및 폭을 갖는 슬라이딩 도어가, 슬라이딩 도어의 전체 길이가 건조 환경 개구부 아래에 있도록 건조 환경 내에 위치되어 있는 동안, 제1 기판을 제1 건조기 개구부를 통해 건조기 내로 이송하는 단계 - 건조기는 건조 환경 내에 위치되고, 건조 환경 개구부는 건조 환경과 팩토리 인터페이스 사이에 있음 -; 제1 기판이, 건조기 내에 위치된 복수의 스프레이 바들 바로 아래의 위치로 이송되는 동안 슬라이딩 도어의 길이가 건조 환경 개구부를 부분적으로 커버하도록 하는 위치까지 슬라이딩 도어를 상승시키는 단계; 슬라이딩 도어의 전체 길이가 건조 환경 개구부를 커버하도록 슬라이딩 도어가 제 위치에 있는 동안 제1 기판을 복수의 스프레이 바들을 지나 제2 건조기 개구부를 통해 건조기 밖으로 상승시킴으로써 제1 기판을 건조시키는 단계; 제1 기판이 건조 환경 내의 회전 플랫폼 상에 로딩되어 있는 동안 슬라이딩 도어의 길이가 건조 환경 개구부를 부분적으로 커버하도록 하는 위치까지 슬라이딩 도어를 하강시키는 단계; 및 슬라이딩 도어의 전체 길이가 건조 환경 개구부 아래에 있도록 슬라이딩 도어가 제 위치에 있는 동안 제1 기판을 건조 환경 개구부를 통해 팩토리 인터페이스로 이송하는 동시에, 제2 기판을 제1 건조기 개구부를 통해 건조기 내로 이송하는 단계를 포함한다.
본 개시내용의 위에서 언급된 특징들이 상세히 이해될 수 있도록, 위에 간략히 요약된 본 개시내용의 더 구체적인 설명이 실시예들을 참조하여 이루어질 수 있으며, 이들 중 일부는 첨부 도면들에 예시되어 있다. 그러나, 본 개시내용은 동등한 효과의 다른 실시예들을 허용할 수 있기 때문에, 첨부 도면들은 본 개시내용의 전형적인 실시예들만을 예시하고 그러므로 본 개시내용의 범위를 제한하는 것으로 간주되어서는 안 된다는 점에 주목해야 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 시스템의 개략도이고;
도 2는 본원에 설명된 적어도 하나의 실시예에 따른 시스템의 개략도이고;
도 3은 본원에 설명된 적어도 하나의 실시예에 따른 건조 환경의 단면도이고;
도 4는 본원에 설명된 적어도 하나의 실시예에 따른 방법의 흐름도이고;
도 5a-5e는 도 4에 설명된 방법의 각각의 단계에서의 건조 환경을 도시한다.
이하의 설명에서, 본 개시내용의 실시예들의 더 완전한 이해를 제공하기 위해 다수의 특정한 세부 사항들이 열거된다. 그러나, 본 개시내용의 실시예들 중 하나 이상이, 이러한 구체적인 세부 사항들 중 하나 이상 없이 실시될 수 있다는 점이 관련 기술분야의 통상의 기술자에게 명백할 것이다. 다른 경우들에서, 잘 알려진 특징들은 본 개시내용의 실시예들 중 하나 이상을 모호하게 하는 것을 회피하기 위해 설명되지 않았다.
본원에 설명된 하나 이상의 실시예는 일반적으로, 반도체 처리 시스템들 내의 건조 환경들에 관한 것이다. 이러한 실시예들에서, 기판들은 팩토리 인터페이스를 떠나고, 그 다음, 물질들이 기판들의 표면들 상에 퇴적되고, 반도체 디바이스들을 형성한다. 물질들이 기판들의 표면들 상에 퇴적된 후에, 기판들은 팩토리 인터페이스로 복귀하기 전에 건조 환경 내에서 세정되고 건조된다. 위에서 논의된 바와 같이, 건조 프로세스들 및 건조 환경들은 반도체 디바이스 성능에 중요하다. 이러한 실시예들에서, 마랑고니 건조기들은 기판의 표면 상에 형성되는 배스 잔류물, 스포팅, 및 스트리킹의 부정적인 효과들을 감소시키는 것을 돕기 위해 기판들을 건조시키는 데 사용된다. 그러나, 팩토리 인터페이스와 건조 환경 사이의 개구부로 인해, 팩토리 인터페이스로부터 건조 환경 내로의 공기 유동은 종종, 건조 프로세스들의 유효성을 감소시킨다. 팩토리 인터페이스로부터의 공기 유동은 기판이 건조되고 있을 때 기판 바로 위를 지나가고, 반도체 디바이스 성능을 감소시키는 기판 결함들을 초래한다.
본원에 설명된 실시예들에서는, 기판들이 건조되고 있을 때, 팩토리 인터페이스와 건조 환경 사이의 개구부가 차단되고, 팩토리 인터페이스로부터의 공기 유동이 건조 환경에 진입하는 것을 차단한다. 공기 유동은, 기판이, 건조 환경 내에 위치된 건조기의 건조 부분에 진입할 때 폐쇄 위치까지 상승하는 슬라이딩 도어에 의해 차단된다. 공기가 건조 환경 내로 유동하는 것을 차단하는 것은 유리하게, 기판 결함들을 감소시키고, 반도체 디바이스 성능을 개선한다. 기판이 건조기를 빠져나간 후, 그리고 기판이 팩토리 인터페이스에 진입하기 전에, 슬라이딩 도어는 기판이 팩토리 인터페이스에 진입할 수 있도록 개방 위치로 하강한다. 기판이 팩토리 인터페이스에 진입하고 있고 슬라이딩 도어가 개방 위치에 있는 동안, 다른 기판이 건조 환경에 진입할 수 있다. 프로세스는, 슬라이딩 도어가, 기판이 건조되고 있을 때에는 폐쇄되지만, 기판이 팩토리 인터페이스에 진입하고 있고 다른 기판이 동시에 건조 환경에 진입하고 있을 때에는 개방되도록 하는 동기 방식으로 반복될 수 있다. 이로써, 이러한 프로세스들은 다수의 기판들이 시스템 내에서 신속하고 일관되게 건조되는 것을 허용하고, 전체에 걸쳐 개선하고 비용을 감소시킨다.
도 1은 종래 기술에 따른 시스템(100)의 개략도이다. 시스템(100)은 건조 환경(102) 및 팩토리 인터페이스(106)를 포함한다. 기판들은 종종, 팩토리 인터페이스(106) 옆에 위치된 카세트(116) 내에 저장된다. 그 후에, 기판들은 팩토리 인터페이스(106)로 이송되고, 그 다음, 물질들이 기판들의 표면들 상에 퇴적되고, 반도체 디바이스들을 형성하는, 시스템(100)의 처리 영역들로 이송된다. 반도체 프로세스가 완료되기 전에, 기판들은 종종, 스프레이 제트 모듈(118) 및 브러쉬 박스 모듈(120)로 이송되고, 거기에서 기판들이 세정된다. 세정 이후에, 기판들은 건조 환경(102) 내로 이송된다. 건조 환경(102)은 최상부 부분(103) 및 건조기(104)를 포함한다. 건조기(104)는 마랑고니 건조기일 수 있다. 위에서 논의된 바와 같이, 마랑고니 건조기들은 기판들을 건조시키기 위해 "마랑고니 유동"을 생성하는 데 사용되고, 기판의 표면 상에 형성되는 배스 잔류물, 스포팅, 및 스트리킹의 부정적인 효과들을 감소시키는 것을 돕는다. 기판(112)과 같은 기판들이 마랑고니 건조기에서 건조되고 있는 동안, 기판들은 화살표(114)에 의해 도시된 바와 같이 건조기(104) 밖으로 그리고 건조 환경(102)의 최상부 부분(103) 내로 상승되며, 이는 아래에 더 상세하게 설명될 것이다.
종래의 실시예들에서, 팬들(108)로부터 유동하는 공기는 화살표들(110)에 의해 도시된 바와 같이 팩토리 인터페이스(106)로부터 건조 환경 개구부(105)를 통해 건조 환경(102)의 최상부 부분(103) 내로 이동한다. 건조 환경(102) 내로 유동하는 공기는 기판(112)이 건조 중인 동안 기판(112) 바로 위를 지나가고, 건조 프로세스의 유효성을 감소시킨다. 기판(112)은 종종, 공기 유동으로 인해 건조 프로세스 후에 결함들을 포함하고, 반도체 성능을 감소시킨다. 이로써, 도 1에 도시된 구성은 종종 문제가 되며, 개선이 필요하다.
도 2는 본원에 설명된 적어도 하나의 실시예에 따른 시스템(200)의 개략도이다. 이러한 실시예들에서, 시스템(200)은 건조 환경(202) 및 팩토리 인터페이스(206)를 포함한다. 기판들은 종종, 팩토리 인터페이스(206) 옆에 위치된 카세트(216) 내에 저장된다. 그 후에, 기판들은 팩토리 인터페이스(206)로 이송되고, 그 다음, 물질들이 기판들의 표면들 상에 퇴적되고, 반도체 디바이스들을 형성하는, 시스템(200)의 처리 영역들로 이송된다. 반도체 프로세스가 완료되기 전에, 기판들은 종종, 스프레이 제트 모듈(218) 및 브러쉬 박스 모듈(220)로 이송되고, 거기에서 기판들이 세정된다. 세정 이후에, 기판들은 건조 환경(202) 내로 이송된다. 건조 환경(202)은 최상부 부분(203) 및 건조기(204)를 포함한다. 건조기(204)는 마랑고니 건조기일 수 있다. 위에서 논의된 바와 같이, 마랑고니 건조기들은 기판들을 건조시키기 위해 "마랑고니 유동"을 생성하는 데 사용되고, 기판의 표면 상에 형성되는 배스 잔류물, 스포팅, 및 스트리킹의 부정적인 효과들을 감소시키는 것을 돕는다. 기판(212)과 같은 기판들이 마랑고니 건조기에서 건조되고 있는 동안, 기판들은 화살표(214)에 의해 도시된 바와 같이 건조기(204) 밖으로 그리고 건조 환경(202)의 최상부 부분(203) 내로 상승되며, 이는 아래에 더 상세하게 설명될 것이다.
도 1에 도시된 종래의 실시예들에서와 매우 유사하게, 팬들(208)로부터 유동하는 공기는 화살표들(210)에 의해 도시된 바와 같이 팩토리 인터페이스(206)를 통해 건조 환경 개구부(205) 내로 이동한다. 그러나, 종래의 실시예들과 달리, 본원에 설명된 실시예들은 슬라이딩 도어(222)를 포함한다. 슬라이딩 도어(222)는 길이(224) 및 폭(226)을 갖는다. 이러한 실시예들에서, 길이(224)는 폭(226)보다 크다. 슬라이딩 도어(222)는, 도 2에 도시된 바와 같이 슬라이딩 도어(222)가 폐쇄 위치로 상승될 때 공기 유동이 건조 환경(202)의 최상부 부분(203)에 진입하는 것을 차단하도록 작용한다. 슬라이딩 도어(222)의 폐쇄 위치는, 슬라이딩 도어(222)의 길이(224)가 전체 건조 환경 개구부(205) 위로 연장되어, 공기가 건조 환경(202)에 진입하는 것을 완전히 차단하도록 하는 위치이다. 그러므로, 팩토리 인터페이스(206)로부터의 공기 유동은, 기판(212)이 건조되고 있는 동안 건조 환경(202) 밖에 머무르고, 건조 프로세스의 유효성을 증가시킨다. 이로써, 이러한 실시예들은 건조 프로세스가 완료된 후의 기판(212) 상의 결함들을 감소시키는 작용을 하여, 반도체 성능을 증가시킨다.
도 3은 본원에 설명된 적어도 하나의 실시예에 따른 건조 환경(202)의 단면도이다. 도 3에서, 건조 환경(202)은 건조 환경(202) 내에 존재하는 기판 없이 도시된다. 이러한 실시예들에서, 건조 환경(202)은 위에서 논의된 바와 같이 최상부 부분(203) 및 건조기(204)를 포함한다. 건조기(204)는 제1 건조기 개구부(320) 및 제2 건조기 개구부(322)를 갖는 덮개(301)를 포함한다. 아래에 도 4-5e에서 더 상세히 설명될 바와 같이, 적어도 하나의 기판이 제1 건조기 개구부(320)를 통해 건조기(204)에 진입할 수 있고, 제2 건조기 개구부(322)를 통해 건조기(204)를 빠져나갈 수 있다.
이러한 실시예들에서, 건조기(204)는 헹굼 부분(302), 건조 부분(304) 및 월류보(overflow weir)(306)를 포함한다. 헹굼 부분(302)은 기판들이 건조기(204)에 진입할 때 기판들을 헹굼하도록 작용하는 액체(318), 예컨대, 배스 유체를 포함한다. 액체 공급원(303), 예컨대, 배스 유체 공급원은 배스 유체를 건조기(204)의 헹굼 부분(302)에 공급하도록 작용한다. 헹굼 부분(302) 내에는 크래들(324) 및 푸셔(326)가 존재한다. 크래들(324)은 기판들이 헹굼 부분(302)에 진입할 때 기판들을 수용하도록 구성된다. 그 후, 크래들(324)은 화살표(325)에 의해 도시된 바와 같이 기판들을 푸셔(326)로 이송한다. 푸셔(326)는 기판들을 헹굼 부분(302)으로부터 건조 부분(304) 내로 상승시키도록 구성된다. 건조 부분(304) 내에서, 액체(318)의 표면 바로 위에 스프레이 바들(316)이 있다. 스프레이 바들(316)은 기판들이 액체(318) 밖으로 상승될 때 기판들 상에 증기, 예컨대, IPA 증기의 유동을 지향시킨다. IPA 증기는 기판이 액체(318)로부터 들어올려지고 액체(318)가 기판으로부터 배수될 때 형성되는 유체 메니스커스에 도입된다. 용매 증기는 액체(318)의 표면을 따라 흡수되고, 흡수된 증기의 농도는 표면 장력이 액체(318)의 벌크에서보다 메니스커스의 첨단에서 더 낮아지게 하고, 액체(318)가 건조 메니스커스로부터 액체(318)의 벌크를 향해 유동하게 한다. 그러한 유동은 "마랑고니 유동"으로 알려져 있고, 기판 상의 스트리킹들, 스포팅 또는 배스 잔류물을 감소시키면서 기판 건조를 달성하기 위해 채용될 수 있다.
월류보(306)는 유체(318)가 건조기의 헹굼 부분(302)으로 범람될 수 있도록 헹굼 부분을 둘러싼다. 유체(318)는 유체가 월류보(306)로 계속 범람하도록 유체 공급원(303)에 의해 계속 공급될 수 있다. 배기부(310)로 출력하는 배기 포트(308)가 건조기(204)의 바닥에 결합될 수 있다. 추가적으로, 배수 포트(314)로 출력하는 배수 포트(312)가 건조기(204)의 바닥에 결합될 수 있고, 이는 건조기(204) 밖으로의 액체(318)의 배수를 용이하게 하도록 작용할 수 있다.
이러한 실시예들에서, 건조 환경(202)은 또한, 회전 플랫폼(328)을 포함한다. 회전 플랫폼(328)은 건조 환경(202)의 최상부 부분(203) 내에 위치된다. 회전 플랫폼(328)은 제2 건조 개구부(322)를 빠져나간 후에 건조기(204)를 빠져나가는 기판들을 수용하도록 구성된다. 그 후, 회전 플랫폼(328)은 화살표(321)에 의해 도시된 바와 같이 회전하고 기판들을 건조 환경 개구부(205)로부터 팩토리 인터페이스(206) 내로 이송하도록 작용한다. 회전 플랫폼(328)은 캐처(330) 및 핑거(332)를 포함한다. 캐처(330)는 건조기(204)를 빠져나간 기판들이 푸셔(326)에 의해 상승된 후에 기판들을 수용하도록 구성된다. 일부 실시예들에서, 캐처(330)는 각각의 단부에 스토퍼를 갖는 선형 볼 슬라이드(도시되지 않음) 상에 장착될 수 있다. 캐처(330)는 중력으로 인해 선형 볼 슬라이드의 바닥으로 이동한다. 기판들이 건조기(204)의 건조 부분(304)을 빠져나갈 때, 기판들은 캐처(330)를 밀어내고, 캐처(330)가 중력에 반하여 기판과 함께 상향 이동하게 한다. 도 4-5e에 도시되고 더 상세히 설명되는 바와 같이, 캐처(330)가 그의 고점에 도달할 때, 핑거(332)는 기판들을 회전 플랫폼(328) 상에 잠그고 고정시키도록 구성된다.
추가적으로, 건조 환경(202)은 위에서 설명된 바와 같이 슬라이딩 도어(222)를 포함한다. 본원에서는 하나의 슬라이딩 도어(222)가 도시되고 설명되지만, 다른 실시예들에서는 2개 이상의 슬라이딩 도어들(222)이 존재할 수 있다. 슬라이딩 도어(222)는 장착 암(340) 상에 장착된다. 장착 암(340)은 액추에이터(342)에 장착된다. 이러한 실시예들에서, 액추에이터(342)는, 도 3에 화살표(334)로 도시된 바와 같이, 슬라이딩 도어(222)를 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 상승 및 하강시키도록 작용하는 공압 슬라이드 실린더이다. 일부 실시예들에서, 액추에이터(342)는 동력식일 수 있다. 추가적으로, 액추에이터는 건조 프로세스에 대한 슬라이딩 도어(222)의 위치설정을 검출하는 센서들(도시되지 않음)을 포함할 수 있다. 슬라이딩 도어(222)가 개방 위치에 있을 때, 슬라이딩 도어(222)의 길이(224)는 완전히 건조 환경 개구부(205) 아래에 있다. 슬라이딩 도어(222)가 폐쇄 위치에 있을 때, 슬라이딩 도어(222)의 길이(224)는 건조 환경 개구부(205) 전체를 커버한다. 위에서 설명된 바와 같이, 슬라이딩 도어(222)는 슬라이딩 도어가 폐쇄 위치에 있을 때 팩토리 인터페이스(206)로부터의 공기 유동이 건조 환경(202)에 진입하는 것을 차단하고, 건조 환경(202) 내에서의 기판들의 건조 프로세스를 증진시키며, 더 적은 기판 결함들을 초래한다. 추가적으로, 슬라이딩 도어(222)는 또한, 서비스 및 유지보수 동안 팩토리 인터페이스(206) 내에서의 로봇들의 임의의 우발적인 침범을 방지한다.
도 4는 본원에 설명된 적어도 하나의 실시예에 따른 방법(400)의 흐름도이다. 이러한 실시예들에서, 방법(400)은 도 1-3에 설명된 시스템들 및 디바이스들을 사용하여 수행되지만, 이러한 시스템들 및 디바이스들에 제한되지 않으며, 다른 유사한 시스템들 및 디바이스들을 사용하여 수행될 수 있다. 도 5a-5e는 도 4에 설명된 방법(400)의 각각의 단계에서의 건조 환경(202)을 도시한다.
블록(402)에서, 도 5a에 도시된 바와 같이, 슬라이딩 도어(222)의 길이(224)가 완전히 건조 환경 개구부(205) 아래에 위치된 동안, 제1 기판(502)이 제1 건조기 개구부(320)를 통해 건조기(204) 내로 이송된다. 블록(402)에서 슬라이딩 도어(222)는 건조 환경(202)이 건조 환경 개구부(205)를 통해 팩토리 인터페이스(206)에 노출되도록 개방 위치에 있다. 크래들(324)은, 도 5a에 도시된 바와 같이, 제1 기판(502)이 헹굼 부분(302)에 진입할 때 제1 기판을 수용한다.
블록(404)에서, 도 5b에 도시된 바와 같이, 슬라이딩 도어(222)는, 제1 기판(502)이, 건조기(204) 내에 위치된 복수의 스프레이 바들(316) 바로 아래의 위치로 이송되는 동안 슬라이딩 도어(222)의 길이(224)가 건조 환경 개구부(205)를 부분적으로 커버하도록 하는 위치로 (화살표(504)에 의해 도시된 바와 같이) 상승된다. 제1 기판(502)은 크래들(324)로부터 푸셔(326)로 이송된다. 푸셔(326)는, 도 5b에 도시된 바와 같이, 제1 기판(502)을 스프레이 바들(316) 바로 아래의 액체(318)의 표면 근처까지 상승시킨다.
블록(406)에서, 도 5c에 도시된 바와 같이, 슬라이딩 도어(222)의 전체 길이(224)가 건조 환경 개구부(205)를 커버하도록 하는 위치에 슬라이딩 도어(222)가 있는 동안 제1 기판(502)을 복수의 스프레이 바들(316)을 지나 제2 건조기 개구부(322)를 통해 건조기(204) 밖으로 상승시킴으로써 제1 기판(502)이 건조된다. 블록(406)에서 슬라이딩 도어(222)는, 건조 환경 개구부(205) 내로 유동하는, 팩토리 인터페이스(206)로부터의 공기 유동이 건조 환경(202)에 진입하는 것이 차단되도록 폐쇄 위치에 있다. 제1 기판(502)은 위에서 설명된 바와 같이 제1 기판이 스프레이 바들(316)을 지나 상승될 때 마랑고니 건조 프로세스에 의해 건조된다. 푸셔(326)는 제1 기판(502)이 회전 플랫폼(328)의 캐처(330)와 맞물리도록 제2 건조기 개구부(322)를 통해 건조기(204) 밖으로 제1 기판(502)을 계속 상승시킨다. 도 5c에 도시된 바와 같이, 캐처(330)는 제1 기판(502)을 먼저 수용할 때 회전 플랫폼(328)의 바닥에 위치된다.
블록(408)에서, 도 5d에 도시된 바와 같이, 슬라이딩 도어(222)는, 제1 기판(502)이 건조 환경(202) 내의 회전 플랫폼(328) 상에 로딩되는 동안 슬라이딩 도어(222)의 길이(224)가 건조 환경 개구부(205)를 부분적으로 커버하도록 하는 위치로 (화살표(506)에 의해 도시된 바와 같이) 하강된다. 제1 기판(502)은 캐처(330)를 밀어내고 캐처(330)가 중력에 반하여 기판과 함께 상향 이동하게 하도록 상승된다. 캐처(330)가 그의 고점에 도달할 때, 핑거(332)는, 도 5d에 도시된 바와 같이, 제1 기판(502)을 회전 플랫폼(328) 상에 잠그고 고정시키도록 구성된다.
블록(410)에서, 도 5e에 도시된 바와 같이, 슬라이딩 도어(222)의 전체 길이(224)가 건조 환경 개구부(205) 아래에 있도록 하는 위치에 슬라이딩 도어(222)가 있는 동안 제1 기판(502)이 건조 환경 개구부(205)를 통해 팩토리 인터페이스(206)로 이송된다. 동시에, 제2 기판(508)이 제1 건조기 개구부(320)를 통해 건조기(204) 내로 이송된다. 블록(410)에서 슬라이딩 도어(222)는, 블록(402)에서와 같이, 건조 환경(202)이 건조 환경 개구부(205)를 통해 팩토리 인터페이스(206)에 노출되도록 개방 위치에 있다. 슬라이딩 도어(222)의 개방된 위치는 제1 기판(502)이 회전 플랫폼(328)에 의해 건조 환경 개구부(205)를 통해 팩토리 인터페이스(206)로 이송되는 것을 허용한다. 회전 플랫폼(328)은, 제1 기판(502)이 수평 배향으로 있고 팩토리 인터페이스(206) 내의 이송 로봇(도시되지 않음) 상에 로딩될 수 있도록 90 도 회전한다. 추가적으로, 제1 기판(502)이 건조 환경(202)을 빠져나가고 있을 때 제2 기판(508)이 건조 환경(202)에 진입하고, 동기 방식으로 반복될 수 있는 프로세스를 제공한다.
방법(400)은 유리하게, 기판(예컨대, 제1 기판(502))이 건조되고 있을 때에는 슬라이딩 도어(222)가 폐쇄되지만, 기판(예컨대, 제1 기판(502))이 팩토리 인터페이스(206)로 이송되고 동시에 다른 기판(예컨대, 제2 기판(508))이 건조 환경(202)으로 이송될 때에는 개방되도록 하는 프로세스를 제공한다. 이로써, 이러한 프로세스들은 다수의 기판들이 프로세스 시스템(200) 내에서 신속하고 일관되게 건조되는 것을 허용하고, 전체에 걸쳐 개선하고 비용을 감소시킨다.
전술한 내용은 본 발명의 구현들에 관한 것이지만, 본 발명의 다른 및 추가적인 구현들은 그의 기본 범위로부터 벗어나지 않고 안출될 수 있으며, 그의 범위는 이하의 청구항들에 의해 결정된다.

Claims (15)

  1. 건조 환경으로서,
    제1 건조기 개구부 및 제2 건조기 개구부를 갖는 덮개를 포함하는 건조기 - 상기 덮개는 적어도 하나의 기판을 상기 제1 건조기 개구부를 통해 상기 건조기 내로 수용하고, 상기 적어도 하나의 기판이 상기 제2 건조기 개구부를 통해 상기 건조기를 빠져나가는 것을 허용하도록 구성됨 -;
    상기 건조 환경 내에서 상기 건조기 위에 위치된 최상부 부분 - 상기 최상부 부분은 상기 건조 환경과 팩토리 인터페이스 사이에 건조 환경 개구부를 가짐 -;
    길이 및 폭을 갖는 적어도 하나의 슬라이딩 도어 - 상기 적어도 하나의 슬라이딩 도어는 상기 건조 환경 내에 위치되고, 상기 적어도 하나의 슬라이딩 도어는 상기 적어도 하나의 슬라이딩 도어의 길이가 상기 건조 환경 개구부 전체를 커버하도록 하는 위치까지 상향 이동하도록 구성되고, 상기 적어도 하나의 기판이 상기 건조 환경 내에 있는 동안 상기 적어도 하나의 슬라이딩 도어의 길이가 완전히 상기 건조 환경 개구부 아래에 있도록 하는 위치까지 하향 이동하도록 구성됨 -; 및
    상기 최상부 부분 내의 회전 플랫폼 - 상기 회전 플랫폼은 상기 적어도 하나의 기판을 상기 건조기 환경 개구부를 통해 상기 팩토리 인터페이스로 이송하도록 구성됨 -
    을 포함하는, 건조 환경.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 건조기는, 상기 적어도 하나의 기판이 상기 건조기에 진입할 때 상기 적어도 하나의 기판을 수용하도록 구성된 크래들을 더 포함하는, 건조 환경.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 건조기는 상기 적어도 하나의 기판을 상기 건조기 밖으로 상승시키도록 구성된 푸셔를 더 포함하고, 상기 푸셔는 상기 적어도 하나의 기판을 상기 크래들로부터 수용하는, 건조 환경.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 회전 플랫폼은, 상기 적어도 하나의 기판이 상기 건조기를 빠져나갈 때 상기 적어도 하나의 기판을 상기 푸셔로부터 수용하도록 구성되는 캐처를 더 포함하는, 건조 환경.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 회전 플랫폼은 상기 적어도 하나의 기판을 상기 회전 플랫폼에 고정시키도록 구성된 핑거를 더 포함하는, 건조 환경.
  6. 건조 환경으로서,
    건조기 - 상기 건조기는,
    제1 건조기 개구부 및 제2 건조기 개구부를 갖는 덮개 - 상기 덮개는 적어도 하나의 기판을 상기 제1 건조기 개구부를 통해 상기 건조기 내로 수용하고, 상기 적어도 하나의 기판이 상기 제2 건조기 개구부를 통해 상기 건조기를 빠져나가는 것을 허용하도록 구성됨 -;
    액체의 튜브를 갖는 헹굼 부분; 및
    상기 액체의 튜브 바로 위에 위치된 복수의 스프레이 바들을 갖는 건조 부분을 포함함 -;
    상기 건조 환경 내에서 상기 건조기 위에 위치된 최상부 부분 - 상기 최상부 부분은 상기 건조 환경과 팩토리 인터페이스 사이에 건조 환경 개구부를 가짐 -;
    상기 건조 환경 내에 위치된, 길이 및 폭을 갖는 슬라이딩 도어 -
    상기 슬라이딩 도어는 상기 적어도 하나의 기판이 상기 복수의 스프레이 바들 아래에 있는 동안 상기 길이의 적어도 일부가 상기 건조 환경 개구부 아래에 있도록 위치되고;
    상기 슬라이딩 도어는, 상기 적어도 하나의 기판이 상기 복수의 스프레이 바들을 지나 상승되는 동안 상기 슬라이딩 도어의 길이가 상기 건조 환경 개구부 전체를 커버하도록 위치됨 -;
    상기 최상부 부분 내의 회전 플랫폼 - 상기 회전 플랫폼은 상기 적어도 하나의 기판을 상기 건조기 환경 개구부를 통해 상기 팩토리 인터페이스로 이송하도록 구성됨 -
    을 포함하는, 건조 환경.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 복수의 스프레이 바들은 이소프로필 알콜(IPA) 증기로 상기 적어도 하나의 기판을 분무하도록 구성되는, 건조 환경.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 슬라이딩 도어의 길이는 상기 슬라이딩 도어의 폭보다 큰, 건조 환경.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 건조기는, 상기 적어도 하나의 기판이 상기 건조기에 진입할 때 상기 적어도 하나의 기판을 수용하도록 구성된 크래들을 더 포함하는, 건조 환경.
  10. 기판들을 건조시키기 위한 방법으로서,
    길이 및 폭을 갖는 슬라이딩 도어가, 상기 슬라이딩 도어의 전체 길이가 건조 환경 개구부 아래에 있도록 건조 환경 내에 위치되어 있는 동안, 제1 기판을 제1 건조기 개구부를 통해 건조기 내로 이송하는 단계 - 상기 건조기는 상기 건조 환경 내에 위치되고, 상기 건조 환경 개구부는 상기 건조 환경과 팩토리 인터페이스 사이에 있음 -;
    상기 제1 기판이 상기 건조기 내에 위치된 복수의 스프레이 바들 바로 아래의 위치로 이송되는 동안 상기 슬라이딩 도어의 길이가 상기 건조 환경 개구부를 부분적으로 커버하도록 하는 위치까지 상기 슬라이딩 도어를 상승시키는 단계;
    상기 슬라이딩 도어의 전체 길이가 상기 건조 환경 개구부를 커버하도록 상기 슬라이딩 도어가 제 위치에 있는 동안 상기 제1 기판을 상기 복수의 스프레이 바들을 지나 제2 건조기 개구부를 통해 상기 건조기 밖으로 상승시킴으로써 상기 제1 기판을 건조시키는 단계;
    상기 제1 기판이 상기 건조 환경 내의 회전 플랫폼 상에 로딩되어 있는 동안 상기 슬라이딩 도어의 길이가 상기 건조 환경 개구부를 부분적으로 커버하도록 하는 위치까지 상기 슬라이딩 도어를 하강시키는 단계; 및
    상기 슬라이딩 도어의 전체 길이가 상기 건조 환경 개구부 아래에 있도록 상기 슬라이딩 도어가 제 위치에 있는 동안 상기 제1 기판을 상기 건조 환경 개구부를 통해 상기 팩토리 인터페이스로 이송하는 동시에, 제2 기판을 상기 제1 건조기 개구부를 통해 상기 건조기 내로 이송하는 단계
    를 포함하는, 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1 기판은 상기 건조기 내에 위치된 푸셔에 의해 상기 복수의 스프레이 바들 바로 아래의 위치로 이송되고, 상기 푸셔는 상기 건조기 내에 위치된 크래들로부터 상기 제1 기판을 수용하는, 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제1 기판이 상기 건조기를 빠져나갈 때 상기 제1 기판을 상기 푸셔로부터 수용하도록 구성된 캐처에 의해 상기 제1 기판이 상기 회전 플랫폼 상에 로딩되는, 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 회전 플랫폼은 상기 제1 기판을 상기 회전 플랫폼에 고정시키도록 구성된 핑거를 더 포함하는, 방법.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 복수의 스프레이 바들은 이소프로필 알콜(IPA) 증기로 상기 제1 기판을 분무하도록 구성되는, 방법.
  15. 제10항에 있어서,
    상기 슬라이딩 도어는 장착 암에 장착된 액추에이터에 의해 상승 및 하강되고, 상기 장착 암은 상기 슬라이딩 도어에 장착되는, 방법.
KR1020247014020A 2019-03-04 2020-02-24 기판 결함들을 감소시키기 위한 건조 환경들 KR20240058999A (ko)

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