KR20240053748A

KR20240053748A - 파지 장치 및 이를 포함하는 자율 주행 로봇

Info

Publication number: KR20240053748A
Application number: KR1020220133662A
Authority: KR
Inventors: 이승찬; 이호영
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2022-10-18
Filing date: 2022-10-18
Publication date: 2024-04-25
Also published as: US20240123630A1; JP7442612B1; CN117901149A; JP2024059536A

Abstract

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 파지 장치의 일 면(aspect)은, 끼움홀이 형성되는 헤드부가 마련되는 파지 대상물을 파지하는 파지 장치에 있어서, 프레임, 판, 박스 또는 이들의 조합으로 이루어지는 베이스부; 상기 끼움홈에 대응하여 절곡되거나 구부러지는 제1 말단부를 포함하고, 상기 베이스부에서 상기 제1 말단부의 이격 거리가 조절되며, 서로 마주하여 다수 개가 구비되는 제1 그리퍼; 상기 제1 그리퍼의 외측에 위치되고, 상기 파지 대상물의 가장자리 하단을 향해 절곡되거나 구부러지는 제2 말단부를 포함하고, 상기 베이스부에서 상기 제2 말단부의 이격 거리가 조절되며, 서로 마주하여 다수 개가 구비되는 제2 그리퍼; 상기 베이스부에 마련되며, 상기 다수의 제1 그리퍼의 상기 제1 말단부의 이격 거리와 상기 다수의 제2 그리퍼의 상기 제2 말단부의 이격 거리를 조절하는 조절부; 및 상기 조절부를 조작하는 상하 구동부를 포함한다.

Description

파지 장치 및 이를 포함하는 자율 주행 로봇{GRIPPING APPARATUS AND AUTONOMOUS MOBILE ROBOT}

본 발명은 파지 장치 및 이를 포함하는 자율 주행 로봇에 관한 것이다.

집적 회로 소자들과 같은 반도체 소자들은 일반적으로 실리콘웨이퍼와 같은 기판 상에 일련의 처리 공정들을 반복적으로 수행함으로써 형성될 수 있다. 예를 들면, 기판 상에 막을 형성하는 증착 공정, 막이 전기적 특성을 갖도록 패턴을 형성하는 식각 공정, 패턴에 불순물을 주입 또는 확산시키기 위한 이온 주입 공정 또는 확산 공정, 패턴이 형성된 기판으로부터 불순물을 제거하기 위한 세정 및 린스 공정 등을 반복적으로 수행함으로써 반도체 소자가 기판에 형성될 수 있다.

반도체 소자가 형성된 후 반도체 소자의 전기적인 특성을 검사하기 위한 전기적인 검사 공정이 수행될 수 있다. 검사 공정은 다수의 탐침을 갖는 프로브 카드를 포함하는 프로브 스테이션에 의해 수행될 수 있으며, 프로브 카드가 장착되는 프로브 스테이션의 본체 상부에는 반도체 소자들에 전기적인 신호를 제공하고 반도체 소자들로부터의 출력 신호를 분석하여 반도체 소자들의 전기적인 특성을 검사하는 테스트 헤드가 도킹될 수 있다.

한편, 프로프 카드는 25kg과 같이 무게가 상당하여 수작업으로 운반하기 어려워, 작업 효율을 위해 개선이 필요하다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 프로브 카드 또는 풉과 같이 반도체 공장에 구비되는 파지 대상물을 파지하여 운반할 수 있는 파지 장치 및 이를 포함하는 자율 주행 로봇을 제공하는 것이다.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 자율 주행 로봇의 일 면은, 끼움홀이 형성되는 헤드부가 마련되는 파지 대상물을 제1 장소에서 제2 장소로 운반하는 주행차; 및 상기 주행차에 마련되며, 상기 파지 대상물을 파지하는 파지 장치를 포함하며, 상기 파지 장치는, 프레임, 판, 박스 또는 이들의 조합으로 이루어지는 베이스부; 상기 끼움홈에 대응하여 절곡되거나 구부러지는 제1 말단부를 포함하고, 상기 베이스부에서 상기 제1 말단부의 이격 거리가 조절되며, 서로 마주하여 다수 개가 구비되는 제1 그리퍼; 상기 제1 그리퍼의 외측에 위치되고, 상기 파지 대상물의 가장자리 하단을 향해 절곡되거나 구부러지는 제2 말단부를 포함하고, 상기 베이스부에서 상기 제2 말단부의 이격 거리가 조절되며, 서로 마주하여 다수 개가 구비되는 제2 그리퍼; 상기 베이스부에 마련되며, 상기 다수의 제1 그리퍼의 상기 제1 말단부의 이격 거리와 상기 다수의 제2 그리퍼의 상기 제2 말단부의 이격 거리를 조절하는 조절부; 및 상기 조절부를 조작하는 상하 구동부를 포함한다.

상기 또 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 파지 장치의 일 면은, 다수의 칩이 마련되며, 중심부에서 내측 방향으로 오목한 끼움홈이 형성되어 상기 끼움홈에 의해 돌출 형성되는 헤드부가 구비되는 프로브 카드를 포함하는 파지 대상물을 파지하는 파지 장치에 있어서, 프레임, 판, 박스 또는 이들의 조합으로 이루어지는 베이스부; 상기 베이스부에서 수평 방향으로 슬라이딩되게 마련되며, 상기 끼움홈에 대응하여 절곡되거나 구부러지는 제1 말단부를 포함하고, 제1 경사면이 형성되는 다수의 제1 그리퍼; 상기 제1 그리퍼의 외측에 위치되고, 제2 축이 마련되어 상기 베이스부에서 축 회전되며, 상기 프로브 카드의 가장자리 하단을 향해 절곡되거나 구부러지는 제2 말단부를 포함하고, 제2 경사면이 형성되는 다수의 제2 그리퍼; 상기 베이스부에 수직 방향으로 연장되며 둘레면에 제1 나사산이 형성되는 스크류부와, 상기 스크류부와 이웃하여 평행하게 마련되는 가이드부와, 상기 스크류부를 회전시키는 모터를 포함하는 상하 구동부; 상기 가이드부가 관통되며 상기 스크류부의 제1 나사산과 맞물려 마련되며, 상기 제1 경사면에 대응하도록 하부로 갈수록 단면적이 감소되는 제1 테이퍼가 형성되고 상기 다수의 제1 그리퍼 사이에 위치되는 제1 블록 부재와, 상기 제2 경사면에 대응하도록 상부로 갈수록 단면적이 감소되는 제2 테이퍼가 형성되며 상기 다수의 제2 그리퍼 사이에 위치되는 제2 블록 부재를 포함하는 조절부; 상기 제1 그리퍼의 이동 방향을 따라 길이가 형성되며 상기 제1 그리퍼를 관통하는 리니어 가이드와, 일단은 상기 리니어 가이드의 단부에 지지되거나 연결되고 타단은 상기 다수의 제1 그리퍼 외측에 마련되어 상기 제1 그리퍼를 탄성 가압하는 탄성 스프링을 포함하는 가압부; 상기 제1 그리퍼와 상기 제1 블록 부재 사이에 마련되어, 상기 제1 그리퍼의 슬라이딩을 지지하는 LM 가이드 유닛을 포함하는 슬라이딩부; 및 일단은 상기 베이스부에 연결되고 타단은 상기 한 쌍의 제2 그리퍼에 연결되어 상기 한 쌍의 제2 그리퍼를 상부 방향으로 지지하는 인장 스프링을 포함하며, 상기 모터의 회전에 따라 상기 조절부가 상하부로 이동하여, 상기 제1 블록 부재의 상기 제1 테이퍼에 맞닿는 상기 제1 경사면의 위치가 변동되어 상기 다수의 제1 그리퍼의 이격 거리가 조절되거나, 상기 제2 블록 부재의 상기 제2 테이퍼에 맞닿는 상기 제2 경사면의 위치가 변동되어 상기 다수의 제2 그리퍼의 이격 거리가 조절되는, 파지 장치.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 자율 주행 로봇을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 파지 장치를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 파지 장치의 한 쌍의 제1 그리퍼가 이격되는 모습을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 파지 장치의 한 쌍의 제1 그리퍼가 근접되는 모습을 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 파지 장치의 한 쌍의 제2 그리퍼가 이격되는 모습을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 파지 장치의 한 쌍의 제2 그리퍼가 근접되는 모습을 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 파지 장치의 조절부를 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 제1 실시예에 따른 파지 장치의 조절부가 이동된 모습을 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 파지 장치의 제1 그리퍼를 도시한 도면이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 자율 주행 로봇을 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 파지 장치를 도시한 도면이다. 그리고 도 3 내지 도 8은 본 발명의 제1 실시예에 따른 파지 장치의 작동을 설명하는 도면이다.

도 1 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 자율 주행 로봇(10)은, 주행차(11) 및 파지 장치(100)를 포함할 수 있다. 자율 주행 로봇(10)은 파지 대상물(20)을 파지하여 운반할 수 있다. 파지 대상물(20)은 예를 들어 웨이퍼가 구비되는 풉 또는 칩이 구비되는 프로브 카드일 수 있다.

이하에서 파지 대상물(20)은 프로브 카드를 예로 설명하도록 한다. 프로브 카드로 제공되는 파지 대상물(20)은 끼움홈(22)이 형성되는 헤드부(21)가 마련될 수 있다. 다만 본 실시예의 자율 주행 로봇(10)은, 다양한 형태의 프로브 카드를 파지하는 것으로서, 끼움홈(22)과 헤드부(21)는 생략될 수도 있다(도 5 참조).

주행차(11)는 파지 대상물(20)을 제1 장소에서 제2 장소로 운반할 수 있다. 예를 들어 제1 장소는 파지 대상물(20)의 이동이 시작되는 지점으로서 스토커일 수 있다. 제2 장소는 파지 대상물(20)의 이동이 종료되는 지점으로 프로브 스테이션일 수 있다.

주행차(11)는 다수의 바퀴(12)가 형성되어 지면에 접촉된 상태로 주행할 수 있다. 주행차(11)는 제1 장소와 제2 장소의 데이터가 포함된 제어부에 의해 제어될 수 있으며, 자율 주행 기능이 탑재되어 자율적으로 이동하거나 정지할 수 있다. 주행차(11)에 파지 장치(100)가 마련될 수 있다.

도 2를 참조하면 파지 장치(100)는, 베이스부(110)(도 1 참조), 제1 그리퍼(120), 제2 그리퍼(130), 슬라이딩부(140), 조절부(150), 상하 구동부(160)(도 7 참조), 가압부(170) 및 인장부(180)를 포함할 수 있다. 간략하게 파지 장치(100)는, 2가지 방식으로 파지 대상물(20)을 파지할 수 있어, 다양한 형태의 파지 대상물(20)을 파지할 수 있다.

베이스부(110)는 프레임, 판, 박스 또는 이들의 조합으로 이루어질 수 있다. 베이스부(110)는 제1 그리퍼(120)의 제1 축(121)이 수평 방향으로 이동되도록, 가이드 공(111)이 형성될 수 있다. 가이드 공(111)의 단축은, 제1 축(121)의 직경과 동일할 수 있다. 가이드 공(111)의 장축은, 제1 축(121)의 이동 길이로 이루어질 수 있다.

제1 그리퍼(120)는 파지 대상물(20)의 중심부를 파지하는 구성이다. 예로 제1 그리퍼(120)는 서로 마주하여 다수 개가 구비되어, 다수 개의 제1 그리퍼(120)가 파지 대상물(20)의 끼움홈(22)에 간섭/끼움되어 헤드부(21)를 파지할 수 있다.

제1 그리퍼(120)는 한 쌍이 서로 마주하여 마련되거나, 3개가 마주하거나, 또는 2쌍이 마주하여 마련될 수 있는 바와 같이 다양한 변형예가 가능하다. 이하에서 설명 및 이해의 편의를 위해 한 쌍의 제1 그리퍼(120)로 설명하도록 한다.

제1 그리퍼(120)는 베이스부(110)에서 이격 거리가 조절되게 수평 방향으로 슬라이딩되거나, 축 회전되거나, 또는 축 회전과 수평 방향의 슬라이딩이 모두 가능하게 마련될 수 있다. 이하에서는 제1 그리퍼(120)가 축 회전과 수평 방향의 슬라이딩을 이루는 것을 예로 설명하도록 한다.

제1 그리퍼(120)는 축 회전을 지지하는 제1 축(121)이 마련될 수 있다. 이때 베이스부(110)의 가이드 공(111)에 제1 축(121)이 수평 방향으로 가이드 공(111)의 장축 길이 범위에서 이동 및 축 회전되게 관통될 수 있다. 다만 이에 한정되지 않으며, 다른 예로 제1 축(121)이 베이스부(110)에 마련되고, 제1 그리퍼(120)는 제1 축(121)이 이동 및 축 회전되게 관통될 수도 있다.

한 쌍의 제1 그리퍼(120)는, 조절부(150)의 작동으로 이격 거리가 조절되도록, 제1 블록 부재(151)의 제1 테이퍼(151S)에 대응하는 경사를 가지는 제1 경사면(125)이 형성될 수 있다.

제1 그리퍼(120)는 파지 대상물(20)을 파지하기 위해, 끼움홈(22)에 대응하여 절곡되거나 구부러지는 제1 말단부(123)를 포함할 수 있다. 제1 그리퍼(120)는 제1 말단부(123)의 이격 거리의 조절에 의해 파지 대상물(20)을 파지할 수 있다.

제2 그리퍼(130)는 파지 대상물(20)의 가장자리를 파지하는 구성이다. 제2 그리퍼(130)는 제1 그리퍼(120)와 동일하거나 유사하게 서로 마주하여 다수 개가 구비될 수 있다. 이하에서 설명 및 이해의 편의를 위해 한 쌍의 제2 그리퍼(130)로 설명하도록 한다.

제2 그리퍼(130)는 베이스부(110)에서 이격 거리가 조절되게 수평 방향으로 슬라이딩되거나, 축 회전되거나, 또는 축 회전과 수평 방향의 슬라이딩이 모두 가능하게 마련될 수 있고, 제1 그리퍼(120)의 외측에 위치될 수 있다. 이하에서는 제2 그리퍼(130)가 축회전 되는 것을 예로 설명하도록 한다.

제2 그리퍼(130)는 축 회전을 지지하는 제2 축(131)이 마련될 수 있다. 이때 베이스부(110)는 제2 축(131)이 축 회전되게 관통될 수 있다. 다만 이에 한정되지 않으며, 다른 예로 제2 축(131)이 베이스부(110)에 마련되고, 제2 그리퍼(130)는 제2 축(131)이 관통될 수도 있는 바와 같이 다양한 변형예가 가능하다.

한 쌍의 제2 그리퍼(130)는, 조절부(150)의 작동으로 이격 거리가 조절되도록, 제2 블록 부재(152)의 제2 테이퍼(152S)가 맞닿을 수 있으며, 제1 경사면(125)과 반대 방향의 경사를 가지는 제2 경사면(135)이 형성될 수 있다.

제2 그리퍼(130)는 파지 대상물(20)의 가장자리 하단을 향해 절곡되거나 구부러지는 제2 말단부(133)를 포함할 수 있다. 제2 그리퍼(130)는 제2 말단부(133)의 이격 거리의 조절에 의해 파지 대상물(20)을 파지할 수 있다.

슬라이딩부(140)는 제1 그리퍼(120) 및/또는 제2 그리퍼(130)의 슬라이딩을 지지하는 구성으로서, 볼베어링(141)을 포함할 수 있다. 볼베어링(141)은 제1 그리퍼(120)와 조절부(150) 사이에 마련될 수 있다. 볼베어링(141)은 제2 그리퍼(130)와 조절부(150) 사이에 마련될 수 있다. 볼베어링(141)은 볼 형태로 마련되어, 볼베어링(141)에 접촉되는 제1 그리퍼(120) 및/또는 제2 그리퍼(130)가 용이하게 이동/슬라이딩되도록 미끄럼을 형성할 수 있다. 다만 슬라이딩부(140)는 볼베어링(141)으로 한정되는 것은 아니며, 도 9를 참조하여 다른 예를 설명하도록 한다.

조절부(150)는 서로 마주하는 한 쌍의 제1 그리퍼(120)의 이격 거리를 조절하거나, 서로 마주하는 한 쌍의 제2 그리퍼(130)의 이격 거리를 조절할 수 있다. 예를 들어 조절부(150)는 서로 마주하는 한 쌍의 제1 그리퍼(120)의 제1 말단부(123)의 이격 거리를 조절할 수 있다. 더불어 조절부(150)는 서로 마주하는 한 쌍의 제2 그리퍼(130)의 제2 말단부(133)의 이격 거리를 조절할 수 있다.

조절부(150)는 베이스부(110)에서 상하 구동부(160)에 설치될 수 있다. 조절부(150)는 제1 블록 부재(151) 및 제2 블록 부재(152)를 포함할 수 있다.

제1 블록 부재(151)는 하부로 갈수록 단면적이 감소되는 제1 테이퍼(151S)가 형성될 수 있다. 제1 블록 부재(151)는 한 쌍의 제1 그리퍼(120) 사이에 위치될 수 있다.

제2 블록 부재(152)는 상부로 갈수록 단면적이 감소되는 제2 테이퍼(152S)가 형성될 수 있다. 제2 블록 부재(152)는 제1 블록 부재(151)의 상부에서 한 쌍의 제2 그리퍼(130) 사이에 위치될 수 있다.

더불어 조절부(150)는 너트 부재(163)가 더 마련될 수도 있다. 너트 부재(163)는 내주면에 스크류부(161)의 제1 나사산에 맞물리는 나사산이 형성되어, 스크류부(161)의 회전에 연동하여 이동할 수 있다.

다만 너트 부재(163)가 생략되고, 제1 블록 부재(151)와 제2 블록 부재(152) 각각에 스크류부(161)의 제1 나사산에 맞물리는 나사산이 형성될 수도 있는 바와 같이 다양한 변형예가 가능하다.

상하 구동부(160)는 조절부(150)를 조작할 수 있다.

예를 들어 도 7 및 도 8을 참조하면 상하 구동부(160)는, 스크류부(161), 가이드부(162) 및 모터(163)를 포함할 수 있다.

스크류부(161)는 베이스부(110)에 수직 방향으로 연장될 수 있고, 둘레면에 제1 나사산(부호 도시하지 않음)이 형성될 수 있다. 스크류부(161)는 제1 나사산에 조절부(150)가 맞물려서 결합될 수 있다.

가이드부(162)는 스크류부(161)와 이웃하여 평행하게 마련될 수 있다. 가이드부(162)는 조절부(150)가 관통되어 조절부(150)의 이동을 가이드할 수 있다. 예를 들어 스크류부(161)의 회전으로 제1 나사산과 맞물린 조절부(150)가 제1 나사산에 연동하여 동작될 수 있다. 이때 가이드부(162)가 조절부(150)의 회전을 차단하여, 조절부(150)는 회전하지 않으면서 가이드부(162)를 따라 상하 방향으로 이동할 수 있다.

모터(163)는 조절부(150)가 이동되도록 스크류부(161)를 회전시킬 수 있다. 일예로 모터(163)의 축이 스크류부(161)에 연결되어, 모터(163)의 회전력을 스크류부(161)에 직접 전달할 수 있다.

다른 예로 모터(163)는 스크류부(161)와 연결되는 제1 기어(도시하지 않음), 제1 기어와 쌍을 이루며 모터(163)의 축에 연결되는 제2 기어(도시하지 않음), 및 제1 기어(도시하지 않음)와 제2 기어(도시하지 않음)를 연결하는 구동벨트(도시하지 않음)를 포함할 수 있다. 모터(163)가 구동되면, 모터(163)에 연결된 제2 기어의 회전력이 구동벨트에 의해 제1 기어로 전달되어 스크류부(161)가 회전될 수 있다. 이외에 다양한 변형예가 가능하다.

다시 도 2를 참조하면 가압부(170)는, 한 쌍의 제1 그리퍼(120)를 조절부(150)에 밀착시키는 구성이다. 가압부(170)는, 일단은 베이스부(110)에 연결되고 타단은 한 쌍의 제1 그리퍼(120) 외측에 마련되어, 한 쌍의 제1 그리퍼(120)가 근접되는 방향으로 가압할 수 있다. 다만 가압부(170)는 베이스부(110)에 직접 연결되지 않고, 후술되는 리니어 가이드(172)(도 9 참조)에 지지될 수도 있는 바와 같이 다양한 변형예가 가능하다.

가압부(170)는 조절부(150)의 가압력보다 낮은 가압력으로 가압하여, 조절부(150)에 의한 제1 그리퍼(120)의 이동은 허용하면서 제1 그리퍼(120)가 설계 위치로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.

예시로 가압부(170)는 탄성 스프링(171)을 구비할 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않으며, 가압부(170)는 공압 또는 유압을 사용하는 액츄에이터로서 잭(jack)을 포함할 수 있다. 가압부(170)가 공압 또는 유압으로 제1 그리퍼(120)를 가압하면, 공압/유압에 의한 가압 정도는, 조절부(150)의 위치와 연계되어 제어부에 의해 제어될 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않는다.

인장부(180)는 일단은 베이스부(110)에 연결되고 타단은 한 쌍의 제2 그리퍼(130)에 연결되어 한 쌍의 제2 그리퍼(130)를 상부 방향으로 지지할 수 있다.

예시로 인장부(180)는 인장 스프링을 구비할 수 있다. 인장 스프링은, 제2 그리퍼(130)를 상부 방향으로 당겨 제2 그리퍼(130)가 파지 대상물(20)에 부딪히지 않도록 방지할 수 있다. 이와 더불어 인장부(180)의 인장력(장력을 포함할 수 있음)은, 제2 블록 부재(152)가 한 쌍의 제2 그리퍼(130)를 미는 크기보다 작게 형성되어, 한 쌍의 제2 그리퍼(130)가 제2 블록 부재(152)에 의해 오므려지는 동작을 허용할 수 있음은 물론이다. 여기서 오므려지는 동작은, 제2 말단부(133)의 이격 거리가 감소된 것을 의미할 수 있다.

이와 달리 인장부(180)는 와이어를 구비할 수 있으며, 와이어의 감김량 조절에 의해 인장부(180)가 제2 그리퍼(130)를 상부 방향으로 지지할 수 있다. 와이어의 감김량은 설정된 장력이 유지되도록 제어되어, 제2 말단부(133)의 쳐짐을 방지할 수 있는 바와 같이 다양한 변형예가 가능하다.

이하에서 도 3 및 도 4를 참조하여 파지 대상물(20)의 헤드부(21)를 파지하는 제1 그리퍼(120)의 파지 동작을 설명하도록 한다.

도 3을 참조하면, 끼움홈(22)에 제1 말단부(123)가 삽입되도록, 한 쌍의 제1 그리퍼(120)는 이격될 수 있다.

이를 위해 상하 구동부(160)가 동작되어, 즉 모터(163)의 구동으로 스크류부(161)가 제1 방향으로 회전되고, 이에 연동하여 조절부(150)가 가이드부(162)를 따라 하부로 내려갈 수 있다.

제1 블록 부재(151)의 제1 테이퍼(151S)가 내려가면, 제1 경사면(125)에 맞닿는 위치의 제1 테이퍼(151S)의 단면적이 커지므로, 즉 한 쌍의 제1 그리퍼(120) 사이의 폭이 커지므로, 제1 테이퍼(151S)를 따라 제1 경사면(125)이 형성된 한 쌍의 제1 그리퍼(120)는 서로 멀어지는 방향으로 밀릴 수 있다.

여기서 한 쌍의 제1 말단부(123)의 이격 거리는, 제1 말단부(123)가 헤드부(21)에 간섭되지 않으면서 끼움홈(22)에 삽입되는 거리일 수 있다. 이와 같이 제1 말단부(123)가 헤드부(21)에 걸리지 않고 끼움홈(22)에 삽입되도록 거리가 조절된 후, 끼움홈(22)에 삽입될 수 있다.

도 4를 참조하면 제1 말단부(123)의 이격 거리가 좁혀져, 헤드부(21)를 파지할 수 있다.

이를 위해 상하 구동부(160)가 동작되어, 즉 모터(163)의 구동으로 스크류부(161)가 제2 방향으로 회전되어, 조절부(150)가 가이드부(162)를 따라 상부로 올라갈 수 있다.

제1 블록 부재(151)의 제1 테이퍼(151S)가 올라가면, 제1 경사면(125)에 맞닿는 위치의 제1 테이퍼(151S)의 단면적이 작아지고, 즉 한 쌍의 제1 그리퍼(120) 사이의 폭은 작아지고, 이때 가압부(170)는 탄성 가압을 하므로, 제1 테이퍼(151S)를 따라 제1 경사면(125)이 밀려 한 쌍의 제1 말단부(123)가 근접해질 수 있다.

이와 같이, 파지 대상물(20)는 한 쌍의 제1 말단부(123)의 이격 거리 조절에 따라 파지가 이루어질 수 있다. 그리고 앞서 언급된 일련의 동작과 반대 동작을 수행하여 파지 상태는 해제될 수 있다.

그리고 제1 그리퍼(120)의 파지 동작을 위한 조절부(150)의 상하 이동은, 한 쌍의 제2 그리퍼(130)가 오므려지는 동작이 수행되지 않는 범위에서 이루어질 수 있다. 이는 제2 그리퍼(130)가 파지 대상물(20)을 간섭하지 않기 위함이다. 따라서 한 쌍의 제2 그리퍼(130)의 동작에 관계없이, 제2 그리퍼(130)가 파지 대상물(20)을 간섭하지 않는다면, 제1 그리퍼(120)의 파지 동작을 위한 조절부(150)의 상하 이동은 제2 그리퍼(130)가 오므려지는 동작이 수행되는 상태에서도 이루어질 수 있는 바와 같이, 다양한 변형예가 가능하다.

제1 그리퍼(120)의 파지 동작을 위한 조절부(150)의 상하 이동이, 한 쌍의 제2 그리퍼(130)가 오므려지는 동작이 수행되지 않는 범위에서 이루어지면 아래와 같다.

예를 들어 제1 그리퍼(120)가 동작되는 상태에서, 조절부(150)의 최고 높이는 제1 위치로서 한 쌍의 제1 그리퍼(120)가 헤드부(21)를 파지한 상태일 수 있다(도 4 참조).

한편, 제1 위치보다 높은 제2 위치에서 제1 말단부(123)가 축 회전되어 오므려질 수 있다. 이는 제1 그리퍼(120)가 헤드부(21)를 파지하기 위한 상태와 무관할 수 있다. 즉 제2 그리퍼(130)의 파지 동작을 수행하도록, 제1 말단부(123)가 대기하기 위해 오므려진 상태일 수 있으므로, 제1 그리퍼(120)의 파지 동작과 구분하여 설명하도록 한다.

조절부(150)의 제2 위치는 제1 위치보다 높은 위치로서, 제1 말단부(123)는 동작을 수행하지 않고 대기 상태를 이루고, 한 쌍의 제2 그리퍼(130)는 파지 대상물(20)에 간섭되지 않는 범위로 벌어진 상태일 수 있다(도 5 참조).

조절부(150)의 제3 위치는 제2 위치보다 높은 위치로서, 제1 말단부(123)는 조절부(150)의 동작으로부터 영향이 벗어난 상태일 수 있고, 제2 그리퍼(130)가 파지 대상물(20)을 파지한 상태일 수 있다(도 6 참조).

이러한 제2 위치와 제3 위치와 더불어, 도 5 및 도 6을 참조하여 파지 대상물(20)의 가장자리를 파지하는 제2 그리퍼(130)의 파지 동작을 설명하도록 한다.

도 5를 참조하면, 한 쌍의 제2 그리퍼(130)는 파지 대상물(20)의 가장자리보다 벌어진 상태일 수 있다.

예를 들어 모터(163)의 구동으로 제1 위치보다 높은 제2 위치에 조절부(150)가 위치하도록, 스크류부(161)가 제2 방향으로 더 회전되어, 조절부(150)가 가이드부(162)를 따라 상부로 올라갈 수 있다.

조절부(150)가 제1 위치에서 제2 위치로 올라가면, 제1 경사면(125)에 맞닿는 위치의 제1 테이퍼(151S)의 단면적이 더 작아지고, 즉 한 쌍의 제1 그리퍼(120) 사이의 폭은 더 작아지고, 이때 가압부(170)는 탄성 가압을 하므로, 한 쌍의 제1 말단부(123)는 축 회전으로 오므려질 수 있다.

이때 한 쌍의 제2 그리퍼(130)는 제1 위치의 조절부(150) 보다 제2 위치의 조절부(150)에 의해 더 오므려진 상태일 수 있으나, 파지 대상물(20)의 가장자리보다 벌어진 상태일 수 있다. 더불어 인장부(180)에 의해 제2 그리퍼(130)가 상부로 당겨져, 제2 그리퍼(130)가 상부 방향으로 탄성 지지된 상태일 수 있다.

도 6을 참조하면, 제2 위치보다 높은 제3 위치로 조절부(150)가 올라가면, 즉 스크류부(161)가 제2 방향으로 좀 더 회전되어, 조절부(150)가 가이드부(162)를 따라 상부로 더 올라갈 수 있다.

그러면 제2 경사면(135)에 맞닿는 위치의 제2 테이퍼(152S)의 단면적이 더 커지고, 즉 한 쌍의 제2 그리퍼(130) 사이의 폭은 더 커져, 한 쌍의 제2 말단부(133)는 축 회전으로 오므려질 수 있다. 이때 한 쌍의 제2 말단부(133) 사이에 파지 대상물(20)이 놓여있어, 파지 대상물(20)은 한 쌍의 제2 그리퍼(130)에 파지될 수 있다. 그리고 앞서 언급된 일련의 동작과 반대 동작을 수행하여 파지 상태는 해제될 수 있다.

이하에서는 도 9를 참조하여 본 실시예의 변형예를 설명하도록 하며, 동일한 기능을 하는 동일한 구성의 중복되는 설명은 생략하도록 한다.

도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 파지 장치의 제1 그리퍼를 도시한 도면이다. 도 9를 참조하여, 도 2 내지 8을 이용하여 설명한 것과 다른 점을 위주로 설명한다.

도 9를 참조하면 제2 실시예의 파지 장치(100)는, 제1 실시예와 동일하거나 유사하게 베이스부(110), 제1 그리퍼(120), 제2 그리퍼(130), 슬라이딩부(140), 조절부(150), 상하 구동부(160), 가압부(170) 및 인장부(180)를 포함할 수 있다.

다만 본 실시예의 슬라이딩부(140)는 앞서 언급되는 제1 실시예와 달리 LM 가이드 유닛을 포함하는 것에 차이고 있다. 더불어 본 실시예의 가압부(170)는 리니어 가이드(172)가 더 마련되는 것에 차이가 있다. 그러나 제1 실시예와 제2 실시예 및 공지 기술 중 어느 하나 이상이 조합되어 또 다른 실시예가 가능함은 물론이다. 예를 들어 제2 실시예의 리니어 가이드(172)가 제1 실시예에 포함될 수 있는 바와 같이, 본 발명에 상충되지 않는다면 다양한 변형예가 가능하다.

먼저 LM 가이드 유닛(151G, 151B)은, LM 가이드(151G)와 LM 블록(151B)을 포함할 수 있다.

LM 가이드(151G)는 제1 블록 부재(151)의 제1 테이퍼(151S)에 마련되어 LM 블록(151B)의 이동 경로를 형성할 수 있다. 예를 들어 LM 가이드(151G)는 제1 테이퍼(151S)의 상하 방향으로 연장되는 레일 구조로 마련될 수 있다. LM 블록(151B)은 LM 가이드(151G)를 따라 슬라이딩될 수 있다. LM 블록(151B)은 제1 그리퍼(120)에 맞닿아 제1 그리퍼(120)가 제1 테이퍼(151S)에 대하여 미끄러짐이 용이하도록 할 수 있다. 그리고 LM 블록(151B)은, 제1 그리퍼(120)의 제1 경사면(125)에 고정된 형태로 마련될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

그리고 본 실시예에서 LM 가이드 유닛(151G, 151B)은 제1 블록 부재(151)에 마련되는 것을 예시하였으나, LM 가이드 유닛(151G, 151B)은 미끄러짐을 용이하게 하는 구성으로서, 제2 블록 부재(152)에 마련될 수 있다. 더불어, 제1 블록 부재(151)에는 LM 가이드 유닛(151G, 151B)이 설치되고 제2 블록 부재(152)에는 볼베어링(141)이 설치될 수 있는 바와 같이 다양한 변형예가 가능하다.

리니어 가이드(172)는 제1 그리퍼(120)의 이동 방향을 따라 길이가 형성될 수 있다. 리니어 가이드(172)는 탄성 스프링(171)의 탄성 방향을 가이드할 수 있다. 이와 더불어 리니어 가이드(172)는 제1 그리퍼(120)를 관통하여 제1 그리퍼(120)의 이동 경로를 가이드할 수도 있다.

그러나 이에 한정되지 않으므로, 리니어 가이드(172)는 제1 그리퍼(120)를 관통하지 않는 다른 변형예가 가능하다. 즉 리니어 가이드(172)가 탄성 스프링(171)의 탄성 방향을 가이드하고, 제1 그리퍼(120)의 이동 경로는 가이드하지 않을 수 있다. 이때 제1 그리퍼(120)는 제1 실시예와 같이 축 회전을 이루는 구조를 가질 수 있다.

이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

10: 자율 주행 로봇 100: 파지 장치
110: 베이스부 120: 제1 그리퍼
130: 제2 그리퍼 150: 조절부
160: 상하 구동부

Claims

끼움홀이 형성되는 헤드부가 마련되는 파지 대상물을 파지하는 파지 장치에 있어서,
프레임, 판, 박스 또는 이들의 조합으로 이루어지는 베이스부;
상기 끼움홈에 대응하여 절곡되거나 구부러지는 제1 말단부를 포함하고, 상기 베이스부에서 상기 제1 말단부의 이격 거리가 조절되며, 서로 마주하여 다수 개가 구비되는 제1 그리퍼;
상기 제1 그리퍼의 외측에 위치되고, 상기 파지 대상물의 가장자리 하단을 향해 절곡되거나 구부러지는 제2 말단부를 포함하고, 상기 베이스부에서 상기 제2 말단부의 이격 거리가 조절되며, 서로 마주하여 다수 개가 구비되는 제2 그리퍼;
상기 베이스부에 마련되며, 상기 다수의 제1 그리퍼의 상기 제1 말단부의 이격 거리와 상기 다수의 제2 그리퍼의 상기 제2 말단부의 이격 거리를 조절하는 조절부; 및
상기 조절부를 조작하는 상하 구동부를 포함하는, 파지 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 그리퍼는 상기 베이스부에 축 회전되게 마련되거나, 수평 방향으로 슬라이딩되거나, 또는 축 회전과 수평 방향의 슬라이딩이 모두 가능하게 마련되며,
상기 베이스부와 상기 제1 그리퍼 중 어느 하나는 상기 제1 그리퍼의 축 회전을 지지하는 제1 축이 마련되고, 나머지 하나는 상기 제1 축이 수평 방향으로 이동 및 축 회전되게 관통되고,
상기 베이스부와 상기 제2 그리퍼 중 어느 하나는 제2 축이 마련되고, 나머지 하나는 상기 제2 축이 축 회전되게 연결되어 상기 제2 그리퍼가 상기 베이스부에 축 회전되게 마련되는, 파지 장치.
제2항에 있어서,
상기 베이스부 또는 상기 제1 그리퍼는,
상기 제1 축이 수평 방향으로 이동되도록, 상기 제1 축의 직경과 동일한 단축의 길이와 상기 제1 축의 수평 방향 이동 길이로 이루어지는 장축의 길이를 가지는 가이드 공이 형성되는, 파지 장치.
제1항에 있어서,
상기 조절부는, 하부로 갈수록 단면적이 감소되는 제1 테이퍼가 형성되며 상기 다수의 제1 그리퍼 사이에 위치되는 제1 블록 부재와, 상부로 갈수록 단면적이 감소되는 제2 테이퍼가 형성되며 상기 제1 블록 부재의 상부에서 상기 다수의 제2 그리퍼 사이에 위치되는 제2 블록 부재를 포함하고,
상기 제1 그리퍼는, 상기 제1 테이퍼에 대응하는 경사를 가지는 제1 경사면이 형성되고,
상기 제2 그리퍼는, 상기 제1 경사면과 반대 방향의 경사를 가지는 제2 경사면이 형성되는, 파지 장치.
제4항에 있어서,
상기 상하 구동부는,
상기 베이스부에 수직 방향으로 연장되며 둘레면에 제1 나사산이 형성되고, 상기 제1 나사산에 상기 조절부가 맞물려서 결합되는 스크류부;
상기 스크류부와 이웃하여 평행하게 마련되며, 상기 조절부가 관통되어 상기 조절부의 상하 방향 이동을 가이드하는 가이드부; 및
상기 조절부가 이동되도록 상기 스크류부를 회전시키는 모터를 포함하는, 파지 장치.
제1항에 있어서,
상기 다수의 제1 그리퍼 외측에 마련되어, 상기 다수의 제1 그리퍼가 근접되는 방향으로 가압하되, 상기 조절부의 가압력보다 낮은 가압력으로 가압하여 상기 조절부에 의한 상기 제1 그리퍼의 이동은 허용하면서 상기 제1 그리퍼가 이탈되는 것을 방지하는 가압부를 더 포함하는, 파지 장치.
제6항에 있어서,
일단은 상기 베이스부에 연결되고 타단은 상기 다수의 제2 그리퍼에 연결되어 상기 다수의 제2 그리퍼를 상부 방향으로 지지하는 인장부를 포함하는, 파지 장치.
제7항에 있어서,
상기 가압부는, 상기 제1 그리퍼의 이동 방향을 따라 길이가 형성되는 리니어 가이드와 상기 리니어 가이드에서 탄성 가압하는 탄성 스프링을 포함하거나, 액츄에이터를 구비하고,
상기 인장부는, 인장 스프링 또는 와이어 중 어느 하나를 구비하는, 파지 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 그리퍼와 상기 조절부 사이와 상기 제2 그리퍼와 상기 조절부 사이에 마련되어, 상기 제1 그리퍼와 상기 제2 그리퍼의 슬라이딩을 지지하는 볼베어링 또는 LM 가이드 유닛을 포함하는 슬라이딩부를 더 포함하는, 파지 장치.
제1항에 있어서,
상기 파지 대상물은,
칩을 구비하는 프로브 카드 또는 웨이퍼가 구비되는 풉을 포함하는, 파지 장치.
끼움홀이 형성되는 헤드부가 마련되는 파지 대상물을 제1 장소에서 제2 장소로 운반하는 주행차; 및
상기 주행차에 마련되며, 상기 파지 대상물을 파지하는 파지 장치를 포함하며,
상기 파지 장치는,
프레임, 판, 박스 또는 이들의 조합으로 이루어지는 베이스부;
상기 끼움홈에 대응하여 절곡되거나 구부러지는 제1 말단부를 포함하고, 상기 베이스부에서 상기 제1 말단부의 이격 거리가 조절되며, 서로 마주하여 다수 개가 구비되는 제1 그리퍼;
상기 제1 그리퍼의 외측에 위치되고, 상기 파지 대상물의 가장자리 하단을 향해 절곡되거나 구부러지는 제2 말단부를 포함하고, 상기 베이스부에서 상기 제2 말단부의 이격 거리가 조절되며, 서로 마주하여 다수 개가 구비되는 제2 그리퍼;
상기 베이스부에 마련되며, 상기 다수의 제1 그리퍼의 상기 제1 말단부의 이격 거리와 상기 다수의 제2 그리퍼의 상기 제2 말단부의 이격 거리를 조절하는 조절부; 및
상기 조절부를 조작하는 상하 구동부를 포함하는, 자율 주행 로봇.
제11항에 있어서,
상기 제1 그리퍼는 상기 베이스부에 축 회전되게 마련되거나, 수평 방향으로 슬라이딩되거나, 또는 축 회전과 수평 방향의 슬라이딩이 모두 가능하게 마련되며,
상기 베이스부와 상기 제1 그리퍼 중 어느 하나는 상기 제1 그리퍼의 축 회전을 지지하는 제1 축이 마련되고, 나머지 하나는 상기 제1 축이 수평 방향으로 이동 및 축 회전되게 관통되고,
상기 베이스부와 상기 제2 그리퍼 중 어느 하나는 제2 축이 마련되고, 나머지 하나는 상기 제2 축이 축 회전되게 연결되어 상기 제2 그리퍼가 상기 베이스부에 축 회전되게 마련되는, 자율 주행 로봇.
제12항에 있어서,
상기 베이스부 또는 상기 제1 그리퍼는,
상기 제1 축이 수평 방향으로 이동되도록, 상기 제1 축의 직경과 동일한 단축의 길이와 상기 제1 축의 수평 방향 이동 길이로 이루어지는 장축의 길이를 가지는 가이드 공이 형성되는, 자율 주행 로봇.
제11항에 있어서,
상기 조절부는, 하부로 갈수록 단면적이 감소되는 제1 테이퍼가 형성되며 상기 다수의 제1 그리퍼 사이에 위치되는 제1 블록 부재와, 상부로 갈수록 단면적이 감소되는 제2 테이퍼가 형성되며 상기 제1 블록 부재의 상부에서 상기 다수의 제2 그리퍼 사이에 위치되는 제2 블록 부재를 포함하고,
상기 제1 그리퍼는, 상기 제1 테이퍼에 대응하는 경사를 가지는 제1 경사면이 형성되고,
상기 제2 그리퍼는, 상기 제1 경사면과 반대 방향의 경사를 가지는 제2 경사면이 형성되는, 자율 주행 로봇.
제14항에 있어서,
상기 상하 구동부는,
상기 베이스부에 수직 방향으로 연장되며 둘레면에 제1 나사산이 형성되고, 상기 제1 나사산에 상기 조절부가 맞물려서 결합되는 스크류부;
상기 스크류부와 이웃하여 평행하게 마련되며, 상기 조절부가 관통되어 상기 조절부의 상하 방향 이동을 가이드하는 가이드부; 및
상기 조절부가 이동되도록 상기 스크류부를 회전시키는 모터를 포함하는, 자율 주행 로봇.
제11항에 있어서,
상기 다수의 제1 그리퍼 외측에 마련되어, 상기 다수의 제1 그리퍼가 근접되는 방향으로 가압하되, 상기 조절부의 가압력보다 낮은 가압력으로 가압하여 상기 조절부에 의한 상기 제1 그리퍼의 이동은 허용하면서 상기 제1 그리퍼가 이탈되는 것을 방지하는 가압부를 더 포함하는, 자율 주행 로봇.
제16항에 있어서,
일단은 상기 베이스부에 연결되고 타단은 상기 다수의 제2 그리퍼에 연결되어 상기 다수의 제2 그리퍼를 상부 방향으로 지지하는 인장부를 포함하는, 자율 주행 로봇.
제17항에 있어서,
상기 가압부는, 상기 제1 그리퍼의 이동 방향을 따라 길이가 형성되는 리니어 가이드와 상기 리니어 가이드에서 탄성 가압하는 탄성 스프링을 포함하거나, 액츄에이터를 구비하고,
상기 인장부는, 인장 스프링 또는 와이어 중 어느 하나를 구비하는, 자율 주행 로봇.
제11항에 있어서,
상기 제1 그리퍼와 상기 조절부 사이와 상기 제2 그리퍼와 상기 조절부 사이에 마련되어, 상기 제1 그리퍼와 상기 제2 그리퍼의 슬라이딩을 지지하는 볼베어링 또는 LM 가이드 유닛을 포함하는 슬라이딩부를 더 포함하고,
상기 파지 대상물은, 웨이퍼가 구비되는 풉 또는 칩이 구비되는 프로브 카드를 포함하는, 자율 주행 로봇.
다수의 칩이 마련되며, 중심부에서 내측 방향으로 오목한 끼움홈이 형성되어 상기 끼움홈에 의해 돌출 형성되는 헤드부가 구비되는 프로브 카드를 포함하는 파지 대상물을 파지하는 파지 장치에 있어서,
프레임, 판, 박스 또는 이들의 조합으로 이루어지는 베이스부;
상기 베이스부에서 수평 방향으로 슬라이딩되게 마련되며, 상기 끼움홈에 대응하여 절곡되거나 구부러지는 제1 말단부를 포함하고, 제1 경사면이 형성되는 다수의 제1 그리퍼;
상기 제1 그리퍼의 외측에 위치되고, 제2 축이 마련되어 상기 베이스부에서 축 회전되며, 상기 프로브 카드의 가장자리 하단을 향해 절곡되거나 구부러지는 제2 말단부를 포함하고, 제2 경사면이 형성되는 다수의 제2 그리퍼;
상기 베이스부에 수직 방향으로 연장되며 둘레면에 제1 나사산이 형성되는 스크류부와, 상기 스크류부와 이웃하여 평행하게 마련되는 가이드부와, 상기 스크류부를 회전시키는 모터를 포함하는 상하 구동부;
상기 가이드부가 관통되며 상기 스크류부의 제1 나사산과 맞물려 마련되며, 상기 제1 경사면에 대응하도록 하부로 갈수록 단면적이 감소되는 제1 테이퍼가 형성되고 상기 다수의 제1 그리퍼 사이에 위치되는 제1 블록 부재와, 상기 제2 경사면과 맞닿으며 상부로 갈수록 단면적이 감소되는 제2 테이퍼가 형성되며 상기 다수의 제2 그리퍼 사이에 위치되는 제2 블록 부재를 포함하는 조절부;
상기 제1 그리퍼의 이동 방향을 따라 길이가 형성되며 상기 제1 그리퍼를 관통하는 리니어 가이드와, 일단은 상기 리니어 가이드의 단부에 지지되거나 연결되고 타단은 상기 다수의 제1 그리퍼 외측에 마련되어 상기 제1 그리퍼를 탄성 가압하는 탄성 스프링을 포함하는 가압부;
상기 제1 그리퍼와 상기 제1 블록 부재 사이에 마련되어, 상기 제1 그리퍼의 슬라이딩을 지지하는 LM 가이드 유닛을 포함하는 슬라이딩부; 및
일단은 상기 베이스부에 연결되고 타단은 상기 한 쌍의 제2 그리퍼에 연결되어 상기 한 쌍의 제2 그리퍼를 상부 방향으로 지지하는 인장 스프링을 포함하며,
상기 모터의 회전에 따라 상기 조절부가 상하부로 이동하여, 상기 제1 블록 부재의 상기 제1 테이퍼에 맞닿는 상기 제1 경사면의 위치가 변동되어 상기 다수의 제1 그리퍼의 이격 거리가 조절되거나, 상기 제2 블록 부재의 상기 제2 테이퍼에 맞닿는 상기 제2 경사면의 위치가 변동되어 상기 다수의 제2 그리퍼의 이격 거리가 조절되는, 파지 장치.