KR101071936B1 - 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치에 관한 것으로서, 일정 직경의 제1 웨이퍼(30) 배면이 중앙에 점착된 피팽창 다이싱 테이프(20a)가 접착된 제1 웨이퍼 프레임(10)이 트랜스퍼 로더(40)에 의해 이송 로딩되는 판상의 베이스 플레이트(110) 상면의 적소에 배치되며, 제1 웨이퍼 프레임(10)과 제1 웨이퍼(30) 사이 간격(D)의 피팽창 다이싱 테이프(20a) 부분이 상부에 위치되도록 제1 웨이퍼 프레임(10)의 직경 보다 작고 제1 웨이퍼(30)의 직경 보다 큰 직경을 갖는 원환상의 제1 프레스 베이스(200)와; 상기 제1 프레스 베이스(200)가 중앙에 위치되도록 제1 웨이퍼 프레임(10)의 직경에 대응되는 폭으로 서로 대향되고, 제1 프레스 베이스(200)의 높이에 비교하여 위쪽에 승강가능하게 배치되며, 상기 제1 웨이퍼 프레임(10)이 하방으로 프레스되어 하강 이동되도록 안착 지지되는 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치에 관한 것이다. 따라서, 웨이퍼 프레임을 눌러 하강 이동시켜 다이싱 테이프가 당겨져 전방향으로 고르게 늘어나게 팽창(expanding)시켜 각각의 칩들을 하나씩 픽업시 파손없이 용이하게 분리할 수 있는 효과가 있다.
오토컨버전, 웨이퍼 프레임, 프레스 베이스, 웨이퍼 프레임 안치 레일

Description

오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치{PRESSING APPARATUS OF WAFER FRAME OF AUTO-CONVERSION TYPE}
본 발명은 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 설명하면, 웨이퍼 프레임의 규격에 따라 자동으로 전환 세팅되어 다이싱 테이프가 접착된 웨이퍼 프레임을 하강 프레스함으로서, 다이싱 테이프를 팽창시켜 다이싱 테이프 상에 조밀하게 점착된 상태의 절단된 칩들간의 간격이 일정하게 벌어지고 절단된 칩의 점착력을 줄여 각각의 칩들을 하나씩 픽업시 파손없이 용이하게 분리되도록 하는 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정에서는 링형상의 웨이퍼 프레임에 접착된 다이싱 테이프(dicing tape)의 중앙 상면에 웨이퍼(wafer)의 후면을 점착시키는 웨이퍼 테이프 마운팅 공정 후 다이싱 테이프를 통하여 웨이퍼 프레임에 지지되어 있는 웨이퍼를 소정의 크기의 칩으로 절단하는 소잉(sawing)공정을 실시하게 된다.
즉, 상기 소잉공정을 실시하여 웨이퍼로부터 칩들을 픽업 분리시키더라도 다 이싱 테이프는 완전히 절단되지 않고 그대로 있게 되므로 각각의 칩은 다이싱 테이프의 점착력에 의해 다이싱 테이프로부터 산재되지 않는다.
따라서, 후 공정인 칩 본딩공정에서 픽커(picker)에 의해 다이싱 테이프에 점착된 각각의 칩을 1개씩 픽업(pick-up)하여 기판(substrate) 상에 부착(chip attach)할 수 있게 된다. 이때, 상기 웨이퍼가 점착된 다이싱 테이프가 접착된 링형상의 웨이퍼 프레임은 별도의 트랜스퍼 로더에 의해 공정간에 이송된다.
그러나, 종래에는 웨이퍼 프레임으로부터 다이싱 테이프에 점착된 각각의 칩을 1개씩 픽업(pick-up)할 때 다이싱 테이프에 점착된 상태의 절단된 칩이 점착력에 의해 잘 떨어지지 않고, 주위의 칩 테두리 간격이 조밀하게 밀착되어 있어 픽업시 칩테두리끼리 접촉되면서 충격에 의한 파손 및 불량칩이 발생되는 문제점이 있었다.
또한, 8인치, 12인치 등 직경이 다른 웨이퍼를 점착 지지하는 각각 다른 규격의 웨이퍼 프레임에 따라 별도의 장치를 각 규격별로 구비해야 하고 웨이퍼 프레임의 규격별로 자동 전환되는 장치가 제공되지 않는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 웨이퍼 프레임을 눌러 하강 이동시켜 웨이퍼 프레임과 웨이퍼 사이 간격(D)의 다이싱 테이프 부분이 하부의 프레스 베이스 상면에 접촉되면서 하방으로 당겨져 전방향으로 고르게 늘어나 팽창(expanding)시키는 오토컨버전 프레스 작동 구조를 가진 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 이러한 목적은 일정 직경의 제1 웨이퍼(30) 배면이 중앙에 점착된 피팽창 다이싱 테이프(20a)가 접착된 제1 웨이퍼 프레임(10)이 트랜스퍼 로더(40)에 의해 이송 로딩되는 판상의 베이스 플레이트(110) 상면의 적소에 배치되며, 제1 웨이퍼 프레임(10)과 제1 웨이퍼(30) 사이 간격(D)의 피팽창 다이싱 테이프(20a) 부분이 상부에 위치되도록 제1 웨이퍼 프레임(10)의 직경 보다 작고 제1 웨이퍼(30)의 직경 보다 큰 직경을 갖는 원환상의 제1 프레스 베이스(200)와; 상기 제1 프레스 베이스(200)가 중앙에 위치되도록 제1 웨이퍼 프레임(10)의 직경에 대응되는 폭으로 서로 대향되고, 제1 프레스 베이스(200)의 높이에 비교하여 위쪽에 승강가능하게 배치되며, 상기 제1 웨이퍼 프레임(10)이 하방으로 프레스되어 하강 이동되도록 안착 지지되는 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)를 포함하는 본 발명에 따른 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치에 의하여 달성된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치는 웨이퍼 프레임의 규격에 따라 자동으로 전환 세팅되어 8인치, 12인치 등 직경이 다른 웨이퍼를 점착 지지하는 각각 다른 규격의 웨이퍼 프레임에 따라 별도의 장치를 각 규격별로 구비하지 않고, 하나의 장치에서 웨이퍼 프레임의 규격별로 웨이퍼 프레임 프레스 부재가 자동 전환되어 비용 절감 및 공간 효율성이 향상되는 효과가 있다.
또한, 웨이퍼 프레임을 눌러 하강 이동시켜 웨이퍼 프레임과 웨이퍼 사이 간격(D)의 다이싱 테이프 부분이 하부의 프레스 베이스 상면에 접촉되면서 하방으로 당겨져 전방향으로 고르게 늘어나게 팽창(expanding)시켜 다이싱 테이프 상의 절단된 칩들간의 간격이 일정하게 벌어지게해 각각의 칩들을 하나씩 픽업시 파손없이 용이하게 분리할 수 있는 효과가 있다.
또한, 하나의 Z1축 구동모터(380)의 구동에 의해 제1 프레스 베이스(200)가 중앙에 위치되도록 서로 대향되게 배치된 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)가 동시에 수평으로 하강 이동되고, 규격이 다른 웨이퍼 프레임을 눌러 압압하는 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)의 프레스 암(350a, 350b)이 웨이퍼 프레임의 곡률반경에 대응되는 곡률반경을 갖도록 자동 전환되기 때문에 웨이퍼 프레임의 상면에 균일하게 면접 프레스되어 다이싱 테이프가 전방향으로 균일하게 팽창되는 효과가 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 일실시 예에 따른 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일실시 예에 따른 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치가 도시되어 있다.
도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치를 개략적으로 도시한 사시도, 도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치를 개략적으로 도시한 우측 단면도이고, 도 3은 본 발명의 일실시 예에 따른 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치에 제1 웨이퍼 프레임이 안치 지지된 상태를 개략적으로 도시한 평단면도이다.
도 1은 승강 구동 가변 벨트 및 승강 구동 고정 벨트가 분리된 상태로 도시되고, 도 3은 승강 구동 가변 벨트 및 승강 구동 고정 벨트가 결합된 상태로 개략적으로 도시된 것이다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시 예에 따른 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치(100)는 판상의 베이스 플레이트(110) 상면의 적소에 배치된 원환상의 제1 프레스 베이스(200)와, 상기 제1 프레스 베이스(200)가 중앙에 위치되도록 서로 대향되게 배치된 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)를 포함하여 구성된다.
상기 제1 프레스 베이스(200)는 제1 웨이퍼 프레임(10)과 제1 웨이퍼(30) 사이 간격(D)의 피팽창 다이싱 테이프(20a) 부분이 상부에 위치되도록 제1 웨이퍼 프 레임(10)의 직경 보다 작고 제1 웨이퍼(30)의 직경 보다 큰 직경을 갖도록 형성된다.
상기 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)는 상기 제1 프레스 베이스(200)가 중앙에 위치되도록 제1 웨이퍼 프레임(10)의 직경에 대응되는 폭으로 서로 대향되고, 제1 프레스 베이스(200)의 높이에 비교하여 위쪽에 승강가능하게 배치된다.
그리고, 상기 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)에는 일정 직경의 제1 웨이퍼(30) 배면이 중앙에 점착된 피팽창 다이싱 테이프(20a)가 접착된 제1 웨이퍼 프레임(10)이 트랜스퍼 로더(40)에 의해 이송 로딩되어 안치 지지되고, 상기 제1 웨이퍼 프레임(10)이 하방으로 프레스되도록 하강 이동된다.
상기 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)는 상기 제1 웨이퍼 프레임(10)이 하부에 돌출된 웨이퍼 프레임 안치턱(315a, 315b)에 안착 지지되는 웨이퍼 프레임 안치 레일(310a, 310b)과, 상기 웨이퍼 프레임 안치 레일(310a, 310b)의 상부에 Y축 내측 방향으로 상기 제1 웨이퍼 프레임(10)에 대응되는 곡률반경을 갖는 형상으로 연장 돌출 형성된 프레스 암(350a, 350b)을 포함하여 구성된다.
상기 프레스 암(350a, 350b)은 하강 이동시 제1 웨이퍼 프레임(10)을 하방으로 프레스해 피팽창 다이싱 테이프(20a)가 상기 제1 프레스 베이스(200)의 상면을 팽창 중심(지지)축으로 접촉되면서 하방으로 당겨져 전방향으로 고르게 늘어나 팽창(expansion)된다. 즉, 팽창 다이싱 테이프(20b)(expanding dicing tape) 상태로 프레스함으로서 팽창 다이싱 테이프(20b) 상의 절단된 칩들간의 간격이 일정하게 벌어져 점착력이 저감되게해 각각의 칩들을 하나씩 픽업시 파손없이 용이하게 분리 할 수 있도록 한다. 이때, 상기 제1 프레스 베이스(200)의 상면은 피팽창 다이싱 테이프(20a)를 하방으로 당겨 팽창시키는 팽창 중심축 역할을 한다.
그리고, 상기 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)는 Z1축 구동모터(380)의 구동에 의해 회전되는 승강 구동 가변 벨트(398)가 전후 이동 풀리 고정판(390)과 전방 푸시 텐션유지판(395)에 고정된 가변 벨트풀리(pulley)(397a, 397b)에 연결된 상태에서 일정 텐션이 유지되도록 회전되는 상태에서 항상 수평유지된 상태로 승강 이동된다.
즉, 상기 승강 구동 가변 벨트(398)의 총 길이가 그대로 유지되면서 일정 장력으로 팽팽한 상태가 유지되도록 상기 전방 푸시 텐션유지판(395)을 전방 푸시 실린더(396)로 푸쉬해 승강 구동 가변 벨트(398)는 항상 일정 텐션(일정 장력)이 유지된다. 따라서 상기 승강 구동 가변 벨트(398)의 회전에 따라 그대로 회전되는 Y축 전후 양측에 대향되게 배치된 승강 구동 고정 벨트(399a, 399b)도 일정 텐션(tension)이 유지된 상태로 회전된다.
상기 전후 이동 풀리 고정판(390)은 Y축 내측방향(후방)으로 개방된 'ㄷ'자 말발굽 형상으로 후술하는 Y축 이동판(700a)에 일체로 고정되어 Y축 이동판(700a)이 내측으로 이동되어 좁아 질때 일체로 내측으로 이동되면서 승강 구동 가변 벨트(398)가 헐거워진다. 이러한 승강 구동 가변 벨트(398)의 헐거워지는 것을 방지하기 위해 동시에 상기 전후 이동 풀리 고정판(390)에 대향되게 엇갈리게 Y축 내측방향(전방)으로 개방된 'ㄷ'자 말발굽 형상으로 배치된 상기 전방 푸시 텐션유지판(395)이 상기 전후 이동 풀리 고정판(390)이 후방으로 이동된 거리에 대응되는 거리 만큼 자동으로 전방 푸시 실린더(396)에 의해 항상 푸시되어 승강 구동 고정 벨트(399a)가 일정 텐션의 팽팽한 상태로 유지된다. 이때, 상기 전방 푸시 텐션유지판(395)은 Y축 이동판(700a, 700b)에 고정되어 있지 않아 전방 푸시 실린더(396)에 의해 항상 Y축 내측방향(전방)으로 독립적으로 푸시 이동된다.
즉, 상기 전후 이동 풀리 고정판(390)의 Y축 전후 이동에 따라 전방 푸시 텐션유지판(395)이 그에 대응되는 거리 만큼 자동 푸시되어 승강 구동 가변 벨트(398)가 항상 일정 장력으로 유지된다(도 3 및 도 4 참조).
따라서, 일측은 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)에 고정되고 타측은 Z1축 볼스크류(370a, 370b)에 연결된 Z1축 승강 이동 브라켓(375a, 375b)이 Z1축 볼스크류(370a, 370b)의 회전에 의해 승강되어, 상기 베이스 플레이트(110) 상에 입설된 Z1축 가이드레일(360a, 360b)을 따라 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)가 항상 수평유지된 상태로 승강 이동된다.
도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치에 제2 웨이퍼 프레임이 안치 지지 작동된 상태를 개략적으로 도시한 평단면도, 도 5는 본 발명의 일실시 예에 따른 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치에 안치 지지된 제2 웨이퍼 프레임이 프레스되어 하강된 상태를 개략적으로 도시한 우측 단면도이고, 도 6는 도 5의 제2 웨이퍼 프레임에 접착된 팽창 다이싱 테이프가 제2 프레스 베이스를 팽창 중심축으로 하방으로 당겨져 팽창된 상태를 개략적으로 도시한 부분확대 단면도이다.
도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시 예에 따른 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치(100)는 상기 제1 프레스 베이스(200) 보다 직경이 작고 높이가 낮은 원환상의 제2 프레스 베이스(600)가 더 배치 고정된다.
상기 제2 프레스 베이스(600)는 상기 제1 웨이퍼(30)의 직경 보다 작은 직경의 제2 웨이퍼(35) 배면이 점착된 피팽창 다이싱 테이프(20a)가 접착된 제2 웨이퍼 프레임(15)이 상부에 위치된다. 즉, 상기 제2 웨이퍼 프레임(15)과 제2 웨이퍼(35) 사이 간격(D)의 피팽창 다이싱 테이프(20a) 부분이 상부에 위치된다.
한편, 바람직하게는 상기 제1 웨이퍼(30)는 12인치 직경, 제2 웨이퍼(35)는 8인치 직경의 웨이퍼가 사용될 수 있다.
상기 제2 프레스 베이스(600)는 제1 프레스 베이스(200)의 하부 베이스 플레이트(110) 상면으로부터 X축 방향으로 연장 고정된 X축 가이드레일(610)에 X축 좌우 슬라이딩 이동 가능하도록 X축 좌우 이동 브라켓(620)으로 고정되어 일측에 배치된 X축 실린더(630)에 의해 좌측으로 밀어져서 상기 제1 프레스 베이스(200)의 하부 내측에 이동 배치된다.
이때, 상기 베이스 플레이트(110) 상면의 상기 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)에 대응되는 위치에는 Y축 가이드레일(710a, 710)을 따라 전후 이동되어 폭이 조절되는 Y축 이동판(700a, 700b)이 더 배치 고정된다.
따라서, Y축 구동모터(740)의 구동에 의해 상기 Y축 이동판(700a, 700b)에 일체로 고정된 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b) 사이의 폭 간격이 제1 웨이퍼 프레임(10)의 직경에 대응되는 폭에서 제2 웨이퍼 프레임(15)의 직경에 대응되는 좁은 폭으로 자동 전환된다.
즉, 일측은 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)의 Z1축 가이드레일(360a, 360b)에 고정되고 타측은 Y축 볼스크류(730)에 연결된 Y축 전후 폭조절 이동 브라켓(720a)이 Y축 볼스크류(730)의 회전에 의해 Y축으로 전후 이동되어 폭조절되어, 상기 베이스 플레이트(110) 상에 고정된 Y축 가이드레일(710a, 710)을 따라 전후 이동되어 폭이 조절되는 Y축 이동판(700a, 700b)과 일체로 슬라이딩 Y축 전후 이동되어 제1 웨이퍼 프레임(10)의 직경에 대응되는 폭에서 제2 웨이퍼 프레임(15)의 직경에 대응되는 좁은 폭으로 자동 전환식으로 폭조절이 된다.
동시에, 상기 Y축 이동판(700a, 700b) 상의 일측에는 상기 제1 프레스 베이스(200)의 일측에 고정된 제1 프레스 베이스 고정판(승강판)(235a, 235b)의 축핀(236)이 승강가능하게 결합된 Z2축 승강 가이드레일(790a, 790b)이 더 배치 고정된 상태에서 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b) 사이의 폭 간격이 좁아지면 즉, 제1 웨이퍼 프레임(10)의 직경에 대응되는 폭에서 제2 웨이퍼 프레임(15)의 직경에 대응되는 좁은 폭으로 자동 전환식으로 폭조절이 되면서 제1 프레스 베이스(200)가 하방으로 하강되어 상부에 제2 프레스 베이스(600)가 노출된 상태로 자동 전환 세팅된다.
한편, 상기 Y축 이동판(700a, 700b) 외측의 베이스 플레이트(110) 상면 일측에는 제1 프레스 베이스 지지 축봉(230a, 230b)이 일정 높이로 입설되어, 상기 제1 프레스 베이스 고정판(235a, 235b) 타단에 통공된 구멍이 제1 프레스 베이스 지지 축봉(230a, 230b)에 끼워져 조립된다.
따라서, 상기 제1 프레스 베이스(200)의 일측에 고정된 제1 프레스 베이스 고정판(235a, 235b)의 축핀(236)이 상기 Z2축 승강 가이드레일(790a, 790b)의 승강 가이드 절개공에 승강가능하게 삽입된 상태에서 Y축 이동판(700a, 700b)의 전후 이동에 연동되는 Z2축 승강 가이드레일(790a, 790b)이 Y축 이동판(700a, 700b)을 따라 제2 웨이퍼 프레임(15)의 직경에 대응되는 좁은 폭으로 자동 전환식으로 폭조절이 되면 제1 프레스 베이스(200)에 고정된 제1 프레스 베이스 고정판(235a, 235b)이 상기 제1 프레스 베이스 지지 축봉(230a, 230b)과 Z2축 승강 가이드레일(790a, 790b)의 승강 가이드 절개공을 따라 하강되어 상부에 제2 프레스 베이스(600)가 노출된 상태로 자동 전환 세팅된다.
이때, 상기 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)의 프레스 암(350a, 350b)의 양단부에는 곡률 컨버전 프레스 핑거(355a, 355b)가 힌지고정되어, 프레스 핑거 회동 실린더(358a, 358b)에 의해 내측 방향으로 회동되어 접어진다.
즉, 제1 웨이퍼 프레임(10)의 곡률반경에 대응되는 곡률에서 제2 웨이퍼 프레임(15)의 곡률반경에 대응되는 작은 곡률로 자동 전환식으로 곡률조절이 된다. 따라서, Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)의 프레스 암(350a, 350b) 양단부의 곡률 컨버전 프레스 핑거(355a, 355b)가 제2 웨이퍼 프레임(15)의 상면에 일정 간격으로 균일하게 면접 프레스되어 피팽창 다이싱 테이프(20a)가 상기 제2 프레스 베이스(600)의 상면을 팽창 중심축으로 접촉되면서 하방으로 당겨져 전방향으로 균일하게 팽창된다.
한편, 상기 제1 프레스 베이스(200) 및 제2 프레스 베이스(600)가 배치된 베 이스 플레이트(110)의 하부에는 UV 조사기(도시 안함)를 더 장착하여 제1 웨이퍼 프레임(10)과 제2 웨이퍼 프레임(15)에 각각 접착된 팽창 다이싱 테이프(20b)에 UV를 조사함으로서, 팽창 다이싱 테이프(20b)의 접착력을 저감시켜 제1 웨이퍼 프레임(10)과 제2 웨이퍼 프레임(15)에서 UV 조사된 팽창 다이싱 테이프(20b)를 용이하게 제거할 수 있다.
상술한 바와 같은 구성에 의해서 본 발명의 바람직한 일실시 예에 따른 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치는 다음과 같이 작동된다.
이하에서는 도 4 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시 예에 따른 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치의 Z1축 승강 프레스 부재의 웨이퍼 프레임 안치 레일에 안치 지지된 제2 웨이퍼 프레임이 프레스되어 하강되는 작동을 간략하게 설명한다.
우선, Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b) 사이의 하부에 제1 프레스 베이스(200)가 위치된 상태에서, X축 실린더(630)로 제2 프레스 베이스(600)를 밀어 상기 제1 프레스 베이스(200)의 하부 내측에 이동 배치한다.
그 후, Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)의 웨이퍼 프레임 안치 레일(310a, 310b)로 제2 웨이퍼 프레임(15)을 이송 로딩을 위해 트랜스퍼 로더(40)로 픽업하면, Y축 구동모터(740)의 구동에 의해 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b) 사이의 폭 간격이 좁아지면서 상기 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)의 프레스 암(350a, 350b)의 양단부의 프레스 핑거 회동 실린더(358a, 358b)에 의해 내 측 방향으로 회동되어 접어지고, 동시에 제1 프레스 베이스(200)가 하방으로 하강되어 제2 프레스 베이스(600)가 상부에 노출된 상태로 자동 전환 세팅된다.
상기와 같이 자동 전환 세팅된 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)의 웨이퍼 프레임 안치 레일(310a, 310b)에 제2 웨이퍼 프레임(15)을 안치 지지한 후 Z1축 구동모터(380)의 구동에 의해 일정 텐션이 유지되면서 회전되는 승강 구동 가변 벨트(398)의 회전에 따라 Z1축 가이드레일(360a, 360b)을 따라 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)가 항상 수평유지된 상태로 승강 이동된다.
이때, Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)의 프레스 암(350a, 350b) 양단부의 곡률 컨버전 프레스 핑거(355a, 355b)가 제2 웨이퍼 프레임(15)의 상면에 일정 간격으로 균일하게 면접 프레스되어 피팽창 다이싱 테이프(20a)가 상기 제2 프레스 베이스(600)의 상면을 팽창 중심축으로 접촉되면서 하방으로 당겨져 전방향으로 균일하게 팽창된다.
상기와 같이 팽창 다이싱 테이프(20b)의 상면 중앙에 점착된 칩들간의 간격은 일정하게 벌어지고 점착력이 저감된 상태에서 각각의 칩들을 하나씩 픽업시 파손없이 용이하게 분리한다.
또한, 상기와 같이 제2 웨이퍼 프레임(15)의 저면에 점착력이 저감된 상태로 팽창 다이싱 테이프(20b)가 접착된 상태에서 팽창 다이싱 테이프(20b)에 UV를 조사해 제2 웨이퍼 프레임(15)에서 UV 조사된 팽창 다이싱 테이프(20b)를 용이하게 제거할 수 있다.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시 예에 따라 구체적으로 기술되었 으나, 상기한 실시 예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치를 개략적으로 도시한 사시도
도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치를 개략적으로 도시한 우측 단면도
도 3은 본 발명의 일실시 예에 따른 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치에 제1 웨이퍼 프레임이 안치 지지된 상태를 개략적으로 도시한 평단면도
도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치에 제2 웨이퍼 프레임이 안치 지지 작동된 상태를 개략적으로 도시한 평단면도
도 5는 본 발명의 일실시 예에 따른 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치에 안치 지지된 제2 웨이퍼 프레임이 프레스되어 하강된 상태를 개략적으로 도시한 우측 단면도
도 6는 도 5의 제2 웨이퍼 프레임에 접착된 팽창 다이싱 테이프가 제2 프레스 베이스를 팽창 중심축으로 하방으로 당겨져 팽창된 상태를 개략적으로 도시한 부분확대 단면도
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10. 제1 웨이퍼 프레임
15. 제2 웨이퍼 프레임
20a. 피팽창 다이싱 테이프
30. 제1 웨이퍼
35. 제2 웨이퍼
40. 트랜스퍼 로더
100. 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치
110. 베이스 플레이트
200. 제1 프레스 베이스
235a, 235b. 제1 프레스 베이스 고정판
236. 축핀
300a, 300b. Z1축 승강 프레스 부재
310a, 310b. 웨이퍼 프레임 안치 레일
315a, 315b. 웨이퍼 프레임 안치턱
350a, 350b. 프레스 암
355a, 355b. 곡률 컨버전 프레스 핑거
358a, 358b. 프레스 핑거 회동 실린더
360a, 360b. Z1축 가이드레일
370a, 370b. Z1축 볼스크류
375a, 375b. Z1축 승강 이동 브라켓
380. Z1축 구동모터
390. 전후 이동 풀리 고정판
395. 전방 푸시 텐션유지판
396. 전방 푸시 실린더
397a, 397b. 가변 벨트풀리
398. 승강 구동 가변 벨트
399a, 399b. 승강 구동 고정 벨트
600. 제2 프레스 베이스
700a, 700b. Y축 이동판
710a, 710. Y축 가이드레일
790a, 790b. Z2축 승강 가이드레일
D. 웨이퍼 프레임과 웨이퍼 사이 간격

Claims (6)

  1. 일정 직경의 제1 웨이퍼(30) 배면이 중앙에 점착된 피팽창 다이싱 테이프(20a)가 접착된 제1 웨이퍼 프레임(10)이 트랜스퍼 로더(40)에 의해 이송 로딩되는 판상의 베이스 플레이트(110) 상면의 적소에 배치되며, 제1 웨이퍼 프레임(10)과 제1 웨이퍼(30) 사이 간격(D)의 피팽창 다이싱 테이프(20a) 부분이 상부에 위치되도록 제1 웨이퍼 프레임(10)의 직경 보다 작고 제1 웨이퍼(30)의 직경 보다 큰 직경을 갖는 원환상의 제1 프레스 베이스(200)와;
    상기 제1 프레스 베이스(200)가 중앙에 위치되도록 제1 웨이퍼 프레임(10)의 직경에 대응되는 폭으로 서로 대향되고, 제1 프레스 베이스(200)의 높이에 비교하여 위쪽에 승강가능하게 배치되며, 상기 제1 웨이퍼 프레임(10)이 하부에 돌출된 웨이퍼 프레임 안치턱(315a, 315b)에 안착 지지되는 웨이퍼 프레임 안치 레일(310a, 310b)과,
    상기 웨이퍼 프레임 안치 레일(310a, 310b)의 상부에 Y축 내측 방향으로 상기 제1 웨이퍼 프레임(10)에 대응되는 곡률반경을 갖는 형상으로 연장 돌출 형성되어 하강 이동시 제1 웨이퍼 프레임(10)을 하방으로 프레스해 피팽창 다이싱 테이프(20a)가 상기 제1 프레스 베이스(200)의 상면을 팽창 중심축으로 접촉되면서 하방으로 당겨져 전방향으로 고르게 늘어나 팽창되도록 하는 프레스 암(350a, 350b)으로 이루어진 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)는 일측에 고정된 Z1축 승강 이동 브라켓(375a, 375b)이 승강가능하게 연결된 Z1축 볼스크류(370a, 370b)를 회전시키는 Z1축 구동모터(380)의 구동에 의해 회전되는 승강 구동 가변 벨트(398)가 가변 벨트풀리(397a, 397b)에 연결된 상태에서 일정 텐션이 유지되도록 회전되어 수평으로 상기 베이스 플레이트(110) 상에 입설된 Z1축 가이드레일(360a, 360b)을 따라 승강 이동되는 것을 특징으로 하는 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 베이스 플레이트(110) 상의 상기 제1 프레스 베이스(200)의 하부 내측에는 상기 제1 웨이퍼(30)의 직경 보다 작은 직경의 제2 웨이퍼(35) 배면이 점착된 피팽창 다이싱 테이프(20a)가 접착된 제2 웨이퍼 프레임(15)의 직경 보다 작고 제2 웨이퍼(35)의 직경 보다 큰 직경을 갖는 원환상의 제2 프레스 베이스(600)가 더 배치 고정되는 것을 특징으로 하는 오토컨버전식 웨이퍼 프레 임 프레스 장치.
  5. 제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 베이스 플레이트(110) 상면의 상기 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b)에 대응되는 위치에는 Y축 가이드레일(710a, 710)을 따라 전후 이동되어 폭이 조절되는 Y축 이동판(700a, 700b)이 더 배치 고정되어 상기 Y축 이동판(700a, 700b)에 일체로 고정된 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b) 사이의 폭 간격이 제1 웨이퍼 프레임(10) 또는 제2 웨이퍼 프레임(15)의 직경에 대응되는 폭으로 자동 전환되는 것을 특징으로 하는 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 Y축 이동판(700a, 700b) 상의 일측에는 상기 제1 프레스 베이스(200)의 일측에 고정된 제1 프레스 베이스 고정판(235a, 235b)의 축핀(236)이 승강가능하게 결합된 Z2축 승강 가이드레일(790a, 790b)이 더 배치 고정되어 Z1축 승강 프레스 부재(300a, 300b) 사이의 폭 간격이 좁아지면 제1 프레스 베이스(200)가 하방으로 하강되는 것을 특징으로 하는 오토컨버전식 웨이퍼 프레임 프레스 장치.
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