KR200418110Y1 - 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치 - Google Patents

마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치 Download PDF

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Abstract

개시된 내용은 마스크가 보관된 운송박스의 개구부를 마감하고 있는 박스커버를 그립유닛을 상승시켜 운송박스로부터 박스커버를 분리시키는 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치에 관한 것이다.
이러한 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치는 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치에 있어서, 베이스(111), 베이스(111)상에 고정되는 모터(112)와, 모터(112)에 의해 회전하는 구동/종동풀리(113,114)와, 이 구동/종동풀리(113,114)에 권취되는 벨트(115)와, 벨트(115)상에 고정되는 벨트고정부(116a)와, 벨트고정부(116a)에 고정되는 이동판체(116), 베이스(111)상에 수직방향으로 고정되는 안내레일(117), 이동판체에 고정되어 안내레일(117)상을 슬라이딩하는 슬라이더(116b)를 형성한 리프팅유닛(110); 및, 상기 이동판체(116)에 고정되는 판체(121)와, 양측하단에 그리퍼(123)를 형성하여 판체(121)의 양측에 배치되는 이동체(122)와, 상기 이동체(122)를 상호 대향측으로 이동시키는 간격조절수단(130)과, 그리퍼(123)의 박스커버(C) 파지여부를 검출하는 센서부(140)를 형성한 그립유닛(120)을 포함하여 달성된다.
마스크, 운송박스, 그립유닛, 그리퍼, 승강유닛

Description

마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치{Gripper for photomask boxcover opener}
도 1은 본 고안 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치의 사시도,
도 2는 본 고안 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치의 리프팅유닛의 발췌사시도,
도 3은 본 고안 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치의 그립유닛의 발췌분해사시도,
도 4는 본 고안 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치의 그립유닛의 평단면도,
도 5는 본 고안 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치의 그립유닛의 측단면도이다.
※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
110:리프팅유닛, 111:베이스, 112:모터, 113,114:구동/종동풀리, 115:벨트,
116:이동판체, 116a:벨트고정부, 116b:슬라이더, 116c:검출편,
117:안내레일, 118a,118b:상한/하한센서, 120:그립유닛, 121:판체,
122:이동체, 123:그리퍼, 130:간격조절수단, 131:모터, 132,133:구동/종동풀리,
134:벨트, 135:스크류, 136:볼너트, 137:LM가이드, 138:슬라이더,
140:센서부, 141:접촉부, 142:샤프트, 143:검출편, 144:감지센서,
145:탄성부재
본 고안은 마스크가 보관된 운송박스의 개구부를 마감하고 있는 박스커버를 그립유닛으로 고정한 상태에서 승강유닛을 통해 그립유닛을 상승시켜 운송박스로부터 박스커버를 분리시키는 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체소자를 제조하기 위하여 포토리소그래피(Photo lithography), 확산, 식각, 화학기상증착 등 다양한 단위공정을 진행하며, 이러한 단위공정중 포토리소그래피 공정은 반도체 웨이퍼상에 소정의 패턴을 형성시키기 위한 공정으로서, 반도체 웨이퍼의 상면에 PR(Photoresist)층을 균일하게 도포 형성시킨 후 소정 레이아웃으로 형성된 마스크(또는 레티클)을 위치시켜 조도가 높은 파장의 광을 조사하여 불필요한 PR층을 분리 세정함으로써 반도체 웨이퍼상에 요구되는 패턴을 형성한다.
이러한 반도체 웨이퍼상에 소정의 패턴을 형성하기 위한 마스크는 포토마스크 운반박스 내에 보관된다.
이와같이 운반박스내에 보관되는 마스크를 인출하기 위해서는 운반박스의 박스커버를 제거하기 위한 박스커버 오프너가 필요로 하게 된다.
따라서, 본 고안 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치는 운송박스의 박스커버를 고정한 상태로 상승하여 운송박스로부터 박스커버를 분리시키는 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 박스커버를 고정하는 그립유닛을 승강시키는 승강폭이 센서에 의해 제어되는 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치를 제공하는데에도 그 목적이 있다.
또한, 박스커버를 고정하는 그립유닛의 그리퍼에 박스커버를 감지하는 센서부를 마련하여 그리퍼에 의해 박스커버가 파손되는 것을 방지하는 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치를 제공하는데에도 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 고안 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치는 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치에 있어서, 베이스, 베이스상에 고정되는 모터와, 모터에 의해 회전하는 구동/종동풀리와, 이 구동/종동풀리에 권취되는 벨트와, 벨트상에 고정되는 벨트고정부와, 벨트고정부에 고정되는 이동판체, 베이스상에 수직방향으로 고정되는 안내레일, 이동판체에 고정되어 안내레일상을 슬라이딩하는 슬라이더를 형성한 리프팅유닛;및, 상기 이동판체에 고정되는 판체와, 양측 하단에 그리퍼를 형성하여 판체의 양측에 배치되는 이동체와, 상기 이동체를 상호 대향측으로 이동시키는 간격조절수단과, 그리퍼의 박스커버 파지여부를 검출하는 센서부를 형성한 그립유닛을 포함하는 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치를 제공함으로써 달성된다.
본 고안 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치의 상기 리프팅유닛은 이동판체의 상하이동폭을 제한하도록 이동판체에 고정되는 검출편과, 베이스의 상하에 각각 고정되어 검출편을 감지하는 상한/하한센서를 구비하는 것이 바람직하다.
본 고안 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치의 상기 간격조절수단은 판체에 고정되는 모터와, 모터에 의해 회전하는 구동/종동풀리와, 구동/종동풀리에 권취되는 벨트와, 양단에 서로반대방향의 나사산을 형성하여 종동풀리에 고정되는 볼스크류와, 볼스크류(135)상에 결합되어 슬라이딩하며 이동체에 고정되는 볼너트와, 판체에 고정되는 LM가이드와, 이동체에 고정되어 LM가이드상에서 슬라이딩하는 슬라이더로 이루어지는 것이 바람직하다.
본 고안 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치의 상기 센서부는 그리퍼의 선단에 형성되는 접촉부와, 후단에 검출편을 형성하여 접촉부에 고정되는 샤프트와, 그리퍼 후방에 고정되어 검출편을 감지하는 감지센서와, 그리퍼로부터 접촉부를 탄성지지하는 탄성부재로 이루어지는 것이 바람직하다.
이하, 본 고안 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
첨부 도면중 도 1은 본 고안 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치의 사시도이고, 도 2는 본 고안 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치의 리프팅유닛의 발췌사시도이며, 도 3은 본 고안 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치의 그립유닛의 발췌분해사시도이다.
상기 도면에서 도시하는 바와 같이 본 고안 마스크 박스커버 오프너의 그리 핑장치는 마스크가 보관된 운송박스의 박스커버를 파지하는 그립유닛(120)과, 이 그립유닛(120)을 상승시키는 리프팅유닛(110)으로 이루어진다.
상기 리프팅유닛(110)은 베이스(111)와, 베이스(111)상에 고정되는 모터(112)와, 모터(112)에 의해 회전하는 구동/종동풀리(113,114)와, 이 구동/종동풀리(113,114)에 권취되는 벨트(115)와, 벨트(115)상에 고정되는 벨트고정부(116a)와, 벨트고정부(116a)에 고정되는 이동판체(116)와, 베이스(111)상에 수직방향으로 고정되는 안내레일(117)과, 이동판체(116)에 고정되어 안내레일(117)상을 슬라이딩하는 슬라이더(116b)와, 이동판체(116)에 고정되는 검출편(116c)과, 베이스(111)의 상하에 각각 고정되어 검출편(116c)을 감지하는 상한/하한센서(118a,118b)를 형성한다.
상기 그립유닛(120)은 상기 리프팅유닛(110)의 이동판체(116)에 고정되는 판체(121)와, 양측 하단에 그리퍼(123)를 형성하여 판체(121)의 양측에 배치되는 이동체(122)와, 상기 이동체(122)를 상호 대향측으로 이동시키는 간격조절수단(130)과, 그리퍼(123)의 박스커버 파지여부를 검출하는 감지센서(140)를 형성한 그립유닛(120)으로 구성된다.
여기서, 상기 간격조절수단(130)은 판체(121)에 고정되는 모터(131)와, 모터(131)에 의해 회전하는 구동/종동풀리(132,133)와, 구동/종동풀리(132,133)에 권취되는 벨트(134)와, 양단에 서로반대방향의 나사산을 형성하여 종동풀리(133)에 의해 회전하는 볼스크류(135)와, 볼스크류(135)상에 결합되어 슬라이딩하며 이동체(122)에 고정되는 볼너트(136)와, 판체(121)에 고정되는 LM가이드(137)와, 이동체 (122)에 고정되어 LM가이드(137)상에서 슬라이딩하는 슬라이더(138)로 이루어지고,
상기 센서부(140)는 그리퍼(123)의 선단에 형성되는 접촉부(141)와, 후단에 검출편(143)을 형성하여 접촉부(141)에 고정되는 샤프트(142)와, 그리퍼(123) 후방에 고정되어 검출편(143)을 감지하는 감지센서(144)와, 그리퍼(123)로부터 접촉부(141)를 탄성지지하는 탄성부재(145)로 이루어진다.
리프팅유닛은 상기 구동/종동풀리(113,114)에 권취된 벨트(115)가 모터(112)의 회전에 의해 일주하면 이 벨트(115)상에 벨트고정부에 의해 고정된 이동판체(116)가 승강하게 되는 데, 이 이동판체(116)은 안내레일(117)상에서 슬라이딩하는 슬라이더(116b)에 의해 승강된다.
또한, 이동판체(116)의 일측에 고정된 검출편(116c)을 베이스(111)의 상하에 각각 고정된 상한/하한센서(118a,118b)가 감지하여 감지신호에 의해 승하강 높이를 제어하여 이동판체(116)의 승강폭을 제한하게 된다.
이하, 상기와 같은 구성을 갖는 본 고안 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치의 작용을 설명한다.
첨부 도면중 도 4는 본 고안 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치의 그립유닛의 평단면도, 도 5는 본 고안 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치의 그립유닛의 측단면도이다.
상기 도면들에서 도시하는 그립유닛(120)의 작용을 살펴보면, 서로 반대방향의 나사산을 형성한 볼스크류(135)의 양단으로 이동체(122)에 고정된 볼너트(136)가 조립되고, 이 볼스크류(135)의 일단이 종동풀리(133)에 고정되어 벨트(134)에 의해 권취된 구동풀리(132)와 함께 모터(131)에 의해 회전하게 된다.
따라서, 이러한 간격조절수단(130)의 볼스크류(135)의 정역회전에 따라 볼너트(136)에 고정된 양측 이동체(122)는 정역/이동하여 그 간격이 좁아지거나 넓어지게 되며, 이동체(122)의 저면에 고정된 슬라이더(138)가 판면상에 고정된 LM가이드(137)상에서 슬라딩하면서 이동체(122)의 이동을 안내한다.
이러한 이동체(122)가 판면(121)의 중앙측으로 이동하는 경우 이동체(122)의 양단하부에 형성된 그리퍼(123)가 박스커버(C)를 파지하게 되며, 그리퍼(123)에 형성된 센서부(140)에 의해 박스커버(C)의 파지여부가 감지되어 간격조절수단(130)의 모터(131)의 회전을 제어하게 된다.
즉, 그리퍼(123)의 선단에 형성된 접촉부(141)가 박스커버(C)에 접촉하게 되면 접촉부(141) 후방에 고정된 샤프트(142)가 후진하면서 후단의 검출편(143)이 그리퍼(123)에 고정된 감지센서(144)에 접촉되어 감지신호를 발생시키게 되며, 이러한 감지신호에 의해 간격조절수단(130)의 모터(131)를 제어하여 그 이동을 제한하게 된다.
한편, 그리퍼(123)가 박스커버(C)로부터 이탈하는 경우 그리퍼(123)과 접촉부(141) 사이에 탄입된 탄성부재(145)에 의해 접촉부(141)가 원위치로 돌출되면서 샤프트(142)의 검출편(143)과 감지센서(144)의 접촉부분이 다시 벌어져 있게 된다.
이러한 본 고안의 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치는 양단하부에 그리퍼(123)를 고정한 이동체(122)가 간격조절수단(130)에 의해 서로 반대방향으로 이동하면서 박스커버(C)를 고정/고정해제하며, 그리퍼(123)가 박스커버(C)에 접촉하 는 경우 그리퍼(123)에 형성된 센서부(140)를 통해 간격조절수단(130)의 모터(131)를 제어하여 이동체(122)의 이동을 제한하여 고정상태를 유지시킨 다음, 리프팅유닛의 모터를 구동시켜 그립유닛(120)이 고정된 이동판체(116)를 상승시킴으로써 마스크가 보관된 운송박스의 박스커버(C)를 열게 된다.
한편, 도 5에서 나타나는 바와 같이 판체(121)의 저면에 흡반(Vacuum pad,V)을 설치하여 그립유닛(120)을 통해 양측면을 잡은 상태에서 박스커버(C)의 상면을 이 흡반(V)이 흡착시켜 박스커버(C)를 상향 이동시켜 열게 된다.
상기한 바와 같은 본 고안 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치는 운송박스의 박스커버를 상승/분리시켜 운송박스내 마스크를 분리시키는 무인 박스오픈 기능을 가능하게 함에 따라 마스크 운반의 자동화공정에 맞는 시스템을 제공하게 되며, 마스크의 오염 및 훼손을 방지하는 효과를 갖는다.
또한, 그립유닛을 승강시키는 승강유닛의 승강폭이 센서에 의해 제어되게 하고, 박스커버를 고정하는 그립유닛의 그리퍼에 박스커버를 감지하는 센서부를 마련하여 그립유닛 또는 승강유닛의 이동중 마스크가 파손되는 것을 방지하는 효과도 있다.

Claims (2)

  1. 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치에 있어서,
    이동판체(116)에 직각방향 고정되는 판체(121);
    판체(121)의 양측에 하단에 그리퍼(123)를 형성한 이동체(122);
    상기 판체(121)에 고정되는 모터(131);
    상기 모터(131)에 의해 회전하는 구동/종동풀리(132,133);
    상기 구동/종동풀리(132,133)에 권취되는 벨트(134);
    양단에 서로반대방향의 나사산을 형성하여 종동풀리(133)에 고정되는 볼스크류(135);
    상기 볼스크류(135)상에 관통되고, 상기 이동체(122)와 결합되어 상기 모터(131)구동으로 이동체(122)를 마주보게 혹은 멀어지게 이동시키는 볼너트(136);
    상기 이동체(122)의 이동을 안내하도록 이동체(122)하단 양측에 설치된 슬라이더(138);및
    상기 슬라이더(138)에 결합되고, 상기 판체(121)에 나란히 설치된 LM가이드(137)를 포함하여,
    LM가이드(137)상에서 슬라이더(138)로서 이동이 안내되고, 그 사이 이동체(122)는 간격을 조절하므로서 상기 그리퍼(123)의 파지 간격이 조절되는 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 센서부(140)는 그리퍼(123)의 선단에 형성되는 접촉부(141)와, 후단에 검출편(143)을 형성하여 접촉부(141)에 고정되는 샤프트(142)와, 그리퍼(123) 후방에 고정되어 검출편(143)을 감지하는 감지센서(144)와, 그리퍼(123)로부터 접촉부(141)를 탄성지지하는 탄성부재(145)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크 박스커버 오프너의 그리핑장치.
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