KR20240047750A - 기판 처리 방법 및 장치 - Google Patents

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KR20240047750A
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Abstract

본 발명은 기판 처리 방법 및 장치를 제공한다. 상기 방법은, 공정 챔버에 기판을 투입하는 단계; 기판 위치를 정렬하는 단계; 상기 공정 챔버의 내부에 NJI 제팅(Nozzle Jetting Inspection jetting) 작업을 실행하는 단계; 약액 예비 토출 공정(prejet 공정)의 동작 조건을 확인하고, 상기 동작 조건이 만족되는지 모니터링하는 단계; 상기 동작 조건이 만족될 경우에만 상기 약액 예비 토출 공정을 진행하는 단계; 상기 기판의 표면에 약액을 토출하여 메인 프린팅 공정을 진행하는 단계; 및 상기 메인 프린팅 공정이 종료된 상기 기판을 상기 공정 챔버의 밖으로 배출하는 단계; 를 포함할 수 있다. 상기 장치는, 기판 상에 약액을 토출하기 위한 것으로써, 공정 챔버, 슬릿 노즐, 공급 펌프, 센서부, 저장부, 제어부, 운영부를 포함할 수 있다.

Description

기판 처리 방법 및 장치{APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING SUBSTRATE}
본 발명의 기술적 사상은 기판 처리 방법 및 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명의 기술적 사상은 기판 상에 약액을 토출하는 메인 프린팅 공정 전 진행하는 약액 예비 토출 공정(prejet 공정)의 진행 여부를 조건부 판단하는 기판 처리 방법 및 장치에 관한 것이다.
디스플레이 소자의 제조에서는 기판 상에 약액을 토출하는 제팅 공정을 수행할 수 있다. 제팅 공정에서는 약액을 토출하는 토출 압력 등과 같은 공정 조건이 적합하게 세팅되지 않을 경우 토출 불량이 발생할 수 있다. 이에, 실제 제팅 공정을 수행하기 이전에 약액 예비 토출 공정(prejet 공정)을 수행하여 실제 제팅 공정에 대한 공정 조건을 세팅할 수 있다.
여기서, 종래에는 약액 예비 토출 공정이 필요하지 않은 경우에 해당함에도 불구하고 약액 예비 토출 공정을 수행하도록 이루어지기 때문에 약액 소모량이 불필요하게 많아지는 문제점이 발생함과 아울러 기판 프린팅 공정을 진행하는 전체 시간이 연장되는 문제점이 발생할 수 있다.
본 발명의 기술적 사상이 해결하고자 하는 과제는, 잉크젯 설비에서 메인 프린팅 공정을 진행하기 전에 실시되는 약액 예비 토출 공정의 진행 여부를 조건부 판단하여 약액 소모량을 최소화하는 것이다.
또한, 본 발명의 기술적 사상이 해결하고자 하는 과제는, 이상에서 언급한과제에 제한되지 않으며, 다른 과제들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있다.
상술한 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 기술적 사상은, 공정 챔버에 기판을 투입하는 단계; 상기 기판의 위치를 정렬하는 단계; 상기 공정 챔버의 내부에 NJI 제팅(Nozzle Jetting Inspection jetting) 작업을 실행하는 단계; 약액 예비 토출 공정(prejet 공정)의 동작 조건을 확인하고, 상기 동작 조건이 만족되는지 모니터링하는 단계; 상기 동작 조건이 만족될 경우에만 상기 약액 예비 토출 공정을 진행하는 단계; 상기 기판의 표면에 약액을 토출하여 메인 프린팅 공정을 진행하는 단계; 및 상기 메인 프린팅 공정이 종료된 상기 기판을 상기 공정 챔버의 밖으로 배출하는 단계; 를 포함하는, 기판 처리 방법을 제공한다.
일 실시예에 따르면, 상기 동작 조건은, 상기 공정 챔버 내부에서 마지막으로 진행된 약액 예비 토출 공정 또는 메인 프린팅 공정이 종료된 시점으로부터 경과된 시간을 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 처리 방법을 제공한다.
일 실시예에 따르면, 상기 기판 처리 방법은, 상기 약액 예비 토출 공정의 동작 조건을 설정하는 단계; 를 더 포함하는, 기판 처리 방법을 제공한다.
상술한 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 기술적 사상은, 프린팅 공정을 위한 기판이 삽입되는 공정 챔버; 상기 기판의 이송 방향과 수직 방향으로 배치되고, 상기 기판 상에 약액을 토출하도록 구비되는 슬릿 노즐; 상기 슬릿 노즐로 상기 약액이 공급되게 펌핑 작동하도록 구비되는 공급 펌프; 상기 공급 펌프의 약액 예비 토출 공정 또는 메인 프린팅 공정이 진행되는 시각을 시각 데이터로 인지하는 센서부; 상기 센서부에서 시각 데이터가 인지될 때마다 해당 데이터를 전달받아 차례대로 저장하는 저장부; 상기 저장부에 저장된 시각 데이터를 수신하고, 상기 저장부에 가장 최근에 저장된 시각 데이터로부터 경과된 시간을 계산하는 제어부; 및 상기 경과된 시간이, 상기 제어부에서 설정된 약액 예비 토출 공정의 동작 조건의 임계값을 초과하는 경우에만, 상기 슬릿 노즐에 상기 약액 예비 토출 공정을 진행하도록 명령하는 승인 신호를 전송하는 운영부; 를 더 포함하는, 기판 처리 장치를 제공한다.
일 실시예에 따르면, 상기 제어부는, 상기 약액이 토출됨에 따라 상기 저장부에 새로 저장된 시각 데이터를 수신하고, 상기 새로 저장된 시각 데이터를 기존의 시각 데이터에 추가하여 업데이트하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치를 제공한다.
일 실시예에 따르면, 상기 슬릿 노즐은, 상기 기판 상에 스캔 방식으로 상기 약액의 토출이 가능하도록 상기 기판의 폭 방향을 커버하는 길이를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치를 제공한다.
일 실시예에 따르면, 상기 슬릿 노즐은, 상기 운영부가 상기 동작 조건에 대한 판단을 수행하는 것과 관계 없이, 상기 공정 챔버 내에 상기 기판이 삽입되면 NJI 제팅 동작을 수행하는 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치를 제공한다.
일 실시예에 따르면, 상기 기판 처리 장치는, 상기 동작 조건의 임계값을 변경하는 명령부; 를 더 포함하는, 기판 처리 장치를 제공한다.
일 실시예에 따르면, 상기 운영부는, 상기 슬릿 노즐이 메인 프린팅 공정을 진행하기 전에, 상기 승인 신호를 전송하는 것을 특징으로 하는, 기판 처리 장치를 제공한다.
일 실시예에 따르면, 상기 슬릿 노즐은 약액을 토출하는 복수의 헤드를 포함하고, 상기 복수의 헤드는, 상기 운영부에서 전송되는 승인 신호에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치를 제공한다.
본 발명의 기술적 사상에 기판 처리 방법 및 장치는, 잉크젯 설비에서 메인 프린팅 공정을 진행하기 전에 실시되는 약액 예비 토출 공정(prejet 공정)의 진행 여부를 조건부 판단하여 불필요한 약액의 소모량을 최소화할 수 있다.
또한, 본 발명의 기술적 사상에 의한 기판 처리 방법 및 장치는, 약액 예비 토출 공정을 선택적으로 진행하여 공정 챔버 내의 미스트(mist) 날림 등에 의한 오염을 최소화하고, 전체 공정에 소요되는 시간을 단축시켜, 공정 설비의 수율 증가 효과를 가져올 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 프린팅 공정 시퀀스를 설명하기 위한 개략적인 공정도이다.
도 2a 및 도 2b는 슬릿 노즐에서 약액이 토출되는 원리를 설명하기 위한 그림이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치가 작동하는 매커니즘을 나타내는 흐름도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.
본 발명의 다른 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
만일 정의되지 않더라도, 여기서 사용되는 모든 용어들(기술 혹은 과학 용어들을 포함)은 이 발명이 속한 종래 기술에서 보편적 기술에 의해 일반적으로 수용되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적인 사전들에 의해 정의된 용어들은 관련된 기술 그리고/혹은 본 출원의 본문에 의미하는 것과 동일한 의미를 갖는 것으로 해석될 수 있고, 그리고 여기서 명확하게 정의된 표현이 아니더라도 개념화되거나 혹은 과도하게 형식적으로 해석되지 않을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 프린팅 공정 시퀀스를 설명하기 위한 개략적인 공정도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 방법은 기판 상에 약액을 토출하는 토출 공정에 적용하기 위한 것으로서, 특히 메인 프린팅 공정 전에 실시되는 약액 예비 토출 공정에 대한 공정 조건을 세팅함과 아울러 세팅된 공정 조건을 만족하는 경우에만 약액 예비 토출 공정을 수행하는 데에 적용하기 위한 것이다. 상기 메인 프린팅 공정은 기판의 표면에 약액을 토출하는 과정일 수 있다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 방법에서의 약액 예비 토출 공정에 대한 공정 조건은, 공정 챔버 내부에서 마지막으로 진행된 약액 예비 토출 공정 또는 메인 프린팅 공정이 종료된 시점으로부터 경과된 시간에 대한 것을 예로 들 수 있다.
이에, 이하에서는 도 1을 참조하여 약액 예비 토출 공정의 공정 조건 만족 여부에 따른 공정 시퀀스에 대해 설명하기로 한다.
우선, 프린팅 공정을 진행하기 위해 공정 챔버 내에 기판을 투입한다. 투입된 상기 기판의 위치를 정렬하고 공정 챔버 내부에 NJI 제팅(Nozzle Jetting Inspection jetting) 작업을 실행한다.
NJI 제팅이란, 전체 슬릿 노즐 중 메인 프린팅 공정에 사용하고자 하는 노즐을 선택하여 실제 프린팅 공정이 진행되는 것과 비슷한 환경에서 공정 챔버 내부의 빈 공간에 제팅 작업을 수행하는 것일 수 있다. 상기 NJI 제팅 작업은 약액 예비 토출 공정의 진행 여부와 관계 없이 수행되는 작업일 수 있다. 약액 예비 토출 공정은 사용할 노즐을 특정하지 않고 모든 노즐에 대해 제팅 작업을 수행한다는 점에서 NJI 제팅 작업과 차이가 있다.
그러나 NJI 제팅 작업 자체도 대부분의 노즐을 사용하여 모사 프린팅 공정을 진행하는 것인바, NJI 제팅 작업을 거침으로써 메인 프린팅 공정 전에 약액 예비 토출 공정을 진행하는 것과 비슷한 효과를 거둘 수 있다. 따라서, 본 발명의 기술적 사상은, 약액 예비 토출 공정이 불필요한 경우 이러한 약액 예비 토출 공정을 생략함으로써 기판 상에 진행되는 프린팅 공정의 전체적인 흐름을 가변적으로 운영할 수 있다.
공정 챔버 내부에 NJI 제팅 작업 및 스캔 작업이 끝나면, 후술할 운영부에서 약액 예비 토출 공정의 동작 조건을 만족하는지 판단하는 작업을 진행할 수 있다. 상기 동작 조건을 판단한 결과, 슬릿 노즐이 운영부로부터 승인 신호를 전송받게 되면 약액 예비 토출 공정을 진행한 후에 메인 프린팅 공정을 진행하게 된다. 운영부로부터 승인 신호를 전송받지 못한 경우에는 약액 예비 토출 공정을 생략하고 바로 메인 프린팅 공정을 진행하게 된다.
메인 프린팅 공정이 종료되면, 프린팅 작업이 완료된 기판은 불필요한 체류를 거치지 않고 바로 공정 챔버 밖으로 배출된다. 기판 상에 프린팅된 약액이 일정 시간 내에 경화되어야 하므로, 메인 프린팅 공정이 종료된 기판에 대하여 다시 약액 예비 토출 공정의 동작 조건을 판단하거나 메인 프린팅 공정을 진행하지 않는다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치의 메인 프린팅 공정은 디스플레이 소자 등으로 제조되는 기판 상에 약액을 토출하기 위한 것으로서, 특히 기판 상에 막을 증착하는 등과 같은 약액을 토출하기 위한 것이다.
도 2a 및 도 2b는 슬릿 노즐에서 약액이 토출되는 원리를 설명하기 위한 그림이다.
도 2a 및 도 2b를 함께 참조하면, 잉크젯 헤드에서 약액이 토출되는 과정은 피에조 원리를 통해 이해될 수 있다. 본 발명의 예시적인 실시예에서는 압전판(100)을 참고하면 이해될 수 있다. 피에조 원리란, 전기와 물리적 현상에 따른 압전효과를 말한다. 피에조 잉크젯은 약액이 토출되는 노즐에 압전판(100)이 있어 전기적 진동이나 기타 물리적 충격을 주어서 약액을 토출하는 방식을 사용한다. 마주보는 2개의 압전판(100)을, 각각 마주보고 있는 압전판(100)과 멀어지는 방향으로 당겼다가 당긴 방향과 반대 방향으로 순간적으로 밀어낸 다음, 즉시 압전판(100)을 밀어낸 방향과 반대 방향으로 끌어당기면 원형의 깨끗한 약액이 토출된다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치가 작동하는 매커니즘을 나타내는 흐름도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 기술적 사상의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치는 공정 챔버, 슬릿 노즐, 공급 펌프, 센서부, 저장부, 제어부, 운영부 등을 포함할 수 있다.
공정 챔버는 기판 상에 프린팅 공정을 진행하는 환경을 제공하도록 구비될 수 있다. 프린팅 공정을 진행하기 위해 공정 챔버 내로 기판이 삽입되며, 프린팅 공정이 종료된 기판은 기판 상에 프린팅된 약액을 경화시키기 위해 공정 챔버 내로 배출된다.
슬릿 노즐은 기판 상에 약액을 토출하도록 구비될 수 있는 것으로써, 특히 기판 상에 포토레지스트를 토출하도록 구비될 수 있다. 슬릿 노즐은 기판의 이송 방향과 수직 방향으로 배치되도록 구비될 수 있다. 슬릿 노즐은 기판 상에 스캔 방식으로 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 슬릿 노즐은 기판의 이송 방향과 수직 방향인 기판의 폭 방향을 충분하게 커버하는 길이를 갖도록 구비될 수 있다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치는 기판의 폭 방향을 충분하게 커버하도록 구비되는 슬릿 노즐을 사용하여 스캔 방식으로 기판 전체 영역에 약액을 토출할 수 있을 것이고, 기판의 일단부로부터 타단부까지 스캔 방식으로 약액을 일정하게 토출할 경우 기판 전체 영역에는 균일한 두께를 갖는 박막이 형성될 수 있을 것이다.
공급 펌프는 슬릿 노즐로 약액이 공급되게 펌핑 동작하도록 구비될 수 있다. 공급 펌프는 약액을 저장하는 저장 탱크와 슬릿 노즐 사이에 배치되게 구비될 수 있다. 이에, 공급 펌프는 펌핑 동작을 통하여 저장 탱크에 저장되어 있는 약액을 슬릿 노즐로 공급할 수 있을 것이다.
공급 펌프의 펌핑 시, 슬릿 노즐의 헤드 부분 표면의 약액이 마르는 등으로 인해 최적의 상태를 유지하지 못할 경우에는 슬릿 노즐이 약액을 일정하게 토출하지 못하여 기판 상에 토출되는 약액의 토출량이 기판 전체 영역에 따라 달라지는 이상 탄착 현상이 발생할 수 있다.
슬릿 노즐마다 탄착 정도가 달라지는 이상 탄착 현상이 발생하게 되면, 그 결과 기판 상에는 균일한 두께를 갖는 박막이 형성되지 못할 수 있다. 따라서 슬릿 노즐 헤드의 상태 최적화를 위해 슬릿 노즐 헤드에 특정 고주파 신호를 인가하여 메인 프린팅 공정을 진행하기 전에 약액 예비 토출 공정 동작을 진행해야 하는 경우가 있다. 통상의 잉크젯 설비의 약액 예비 토출 공정은 노즐 헤드를 warm-up 할 목적으로 개별 헤드에 1 khz의 주파수를 인가하여 총 5000 drop 의 약액을 제팅한다. 즉, 5000 drop / 1000 hz = 5 sec 이므로 5초마다 제팅 동작을 수행하는 것이다. 통상의 QD(Quantum dot) 잉크젯 양산기는 현재 90ea 헤드를 사용하며, 기존의 프린팅 공정에서는 상기와 같은 약액 예비 토출 공정을 메인 프린팅 공정 전에 항상 진행한다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치는, 메인 프린팅 공정 전 약액 예비 토출 공정의 동작 조건을 체크하여 해당 조건을 만족하는 경우에만 약액 예비 토출 공정을 진행한 후 메인 프린팅 공정을 진행할 수 있다.
약액 예비 토출 공정의 동작 조건은, 가장 마지막으로 약액 예비 토출 공정 또는 메인 프린팅 공정이 진행된 시각으로부터 경과된 시간이 제어부에서 설정한 임계값을 초과하는지 판단하는 과정을 포함할 수 있다. 임계값을 초과한 경우 약액 예비 토출 공정을 진행한 후 메인 프린팅 공정을 진행하고, 임계값 이하에 해당하는 경우 약액 예비 토출 공정을 진행하지 않고 바로 메인 프린팅 공정을 진행할 수 있다.
센서부는 공급 펌프에서 약액 예비 토출 공정 또는 메인 프린팅 공정이 진행될 때마다 상기 공정이 진행된 시각을 시각 데이터로 인지할 수 있다(S110).
저장부는 상기 센서부에서 인지하는 시각 데이터들을 모두 전달받아 차례대로 저장(S120)할 수 있고, 제어부는 상기 저장부에 저장된 시각 데이터들을 수신하여 가장 최근에 저장된 시각 데이터로부터 경과된 시간을 계산(S130)할 수 있다.
제어부는 약액 예비 토출 공정의 동작 조건을 결정하는 임계값이 저장되어 있게 구비될 수 있다. 제어부는 약액이 토출됨에 따라 저장부에 새로 저장된 시각 데이터를 수신하고, 상기 새로 저장된 시각 데이터를 기존의 시각 데이터에 추가하여 업데이트하는 과정을 포함할 수 있다.
여기서, 동작 조건을 결정하는 임계값은 슬릿 노즐의 헤드 특성, 공정 챔버에 삽입된 기판의 두께 및 넓이 등에 따라 변경될 수 있다. 명령부는 상기 동작 조건의 임계값을 변경할 수 있다. 또한, 임계값은 약액의 물성 특성에 따라 변경될 수 있다. 이와 같이, 임계값은 30분 이하의 시간에서 프린팅 공정 환경에 따라 변경될 수 있다.
운영부는 제어부에서 계산된 결과값이 제어부에서 설정된 약액 예비 토출 공정의 동작 조건의 임계값을 초과하는지 판단하고(S140), 제어부에서 설정된 임계값을 초과하는 경우에 상기 슬릿 노즐에 승인 신호를 전달할 수 있다.
슬릿 노즐은 승인 신호를 전송받은 경우 약액 예비 토출 공정을 진행한 후 메인 프린팅 공정을 진행하며, 승인 신호를 전송받지 못한 경우 약액 예비 토출 공정 없이 바로 메인 프린팅 공정을 수행(S150)한다. 슬릿 노즐은 약액을 토출하는 복수의 헤드를 포함하며, 상기 복수의 헤드는 운영부에서 전송되는 승인 신호에 의해 제어될 수 있다. 메인 프린팅 공정이 완료된 기판은 바로 공정 챔버 바깥으로 배출된다.
슬릿 노즐에서 약액 예비 토출 공정 또는 메인 프린팅 공정이 진행되면, 센서부에서 해당 공정이 진행된 시간을 인지(S110)하며, 프린팅 공정을 거치기 위해 다른 기판이 공정 챔버 내로 삽입되면 위에서 서술한 마찬가지의 과정이 다시 반복된다.
본 발명의 기술적 사상은, 메인 프린팅 공정을 진행하기 전에 수행하는 약액 예비 토출 공정의 진행 여부를 판단하는 별도의 과정을 추가함으로써, 약액 예비 토출 공정을 가변적으로 운영하여 약액이 필요 이상으로 소모되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 기술적 사상은, 약액 예비 토출 공정의 불필요한 진행을 최소화하여 약액 예비 토출 공정 시 발생되는 미스트(mist)의 생성을 감소시킬 수 있다. 공정 챔버 내부에 약액 미스트가 생성되면 미스트의 날림 현상이 일어나게 되고, 이는 공정 챔버의 내부 및 기판 상면에 오염을 발생시키는 원인이 될 수 있다.
또한, 본 발명의 기술적 사상은, 약액 예비 토출 공정을 가변적으로 운영함으로써 전체적인 공정 진행 시간을 단축시키고, 불필요한 공정이 생략됨에 따라 공정 설비의 전반적인 수율 개선을 가져오는 효과를 기대할 수 있다.
이상의 실시 예들은 본 발명의 이해를 돕기 위하여 제시된 것으로, 본 발명의 범위를 제한하지 않으며, 이로부터 다양한 변형 가능한 실시 예들도 본 발명의 범위에 속하는 것임을 이해하여야 한다. 본 발명에서 제공되는 도면은 본 발명의 최적의 실시 예를 도시한 것에 불과하다. 본 발명의 기술적 보호범위는 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이며, 본 발명의 기술적 보호범위는 특허청구범위의 문언적 기재 그 자체로 한정되는 것이 아니라 실질적으로는 기술적 가치가 균등한 범주의 발명까지 미치는 것임을 이해하여야 한다.
100: 압전판

Claims (10)

  1. 공정 챔버에 기판을 투입하는 단계;
    상기 기판의 위치를 정렬하는 단계;
    상기 공정 챔버의 내부에 NJI 제팅(Nozzle Jetting Inspection jetting) 작업을 실행하는 단계;
    약액 예비 토출 공정(prejet 공정)의 동작 조건을 확인하고, 상기 동작 조건이 만족되는지 모니터링하는 단계;
    상기 동작 조건이 만족될 경우에만 상기 약액 예비 토출 공정을 진행하는 단계;
    상기 기판의 표면에 약액을 토출하여 메인 프린팅 공정을 진행하는 단계; 및
    상기 메인 프린팅 공정이 종료된 상기 기판을 상기 공정 챔버의 밖으로 배출하는 단계; 를 포함하는,
    기판 처리 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 동작 조건은,
    상기 공정 챔버 내부에서 마지막으로 진행된 상기 약액 예비 토출 공정 또는 상기 메인 프린팅 공정이 종료된 시점으로부터 경과된 시간을 포함하는 것을 특징으로 하는,
    기판 처리 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 약액 예비 토출 공정의 동작 조건을 설정하는 단계; 를 더 포함하는,
    기판 처리 방법.
  4. 프린팅 공정을 위한 기판이 삽입되는 공정 챔버;
    상기 기판의 이송 방향과 수직 방향으로 배치되고, 상기 기판 상에 약액을 토출하도록 구비되는 슬릿 노즐;
    상기 슬릿 노즐로 상기 약액이 공급되게 펌핑 작동하도록 구비되는 공급 펌프;
    상기 공급 펌프의 약액 예비 토출 공정 또는 메인 프린팅 공정이 진행되는 시각을 시각 데이터로 인지하는 센서부;
    상기 센서부에서 시각 데이터가 인지될 때마다 해당 데이터를 전달받아 차례대로 저장하는 저장부;
    상기 저장부에 저장된 시각 데이터를 수신하고, 상기 저장부에 가장 최근에 저장된 시각 데이터로부터 경과된 시간을 계산하는 제어부; 및
    상기 경과된 시간이, 상기 제어부에서 설정된 약액 예비 토출 공정의 동작 조건의 임계값을 초과하는 경우에만, 상기 슬릿 노즐에 상기 약액 예비 토출 공정을 진행하도록 명령하는 승인 신호를 전송하는 운영부; 를 더 포함하는,
    기판 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 약액이 토출됨에 따라 상기 저장부에 새로 저장된 시각 데이터를 수신하고, 상기 새로 저장된 시각 데이터를 기존의 시각 데이터에 추가하여 업데이트하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는,
    기판 처리 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 슬릿 노즐은, 상기 기판 상에 스캔 방식으로 상기 약액의 토출이 가능하도록 상기 기판의 폭 방향을 커버하는 길이를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는,
    기판 처리 장치.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 슬릿 노즐은,
    상기 운영부가 상기 동작 조건에 대한 판단을 수행하는 것과 관계 없이, 상기 공정 챔버 내에 상기 기판이 삽입되면 NJI 제팅 동작을 수행하는 것을 특징으로 하는,
    기판 처리 장치.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 동작 조건의 임계값을 변경하는 명령부; 를 더 포함하는,
    기판 처리 장치.
  9. 제4항에 있어서,
    상기 운영부는,
    상기 슬릿 노즐이 메인 프린팅 공정을 진행하기 전에, 상기 승인 신호를 전송하는 것을 특징으로 하는,
    기판 처리 장치.
  10. 제4항에 있어서,
    상기 슬릿 노즐은 약액을 토출하는 복수의 헤드를 포함하고,
    상기 복수의 헤드는,
    상기 운영부에서 전송되는 승인 신호에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는
    기판 처리 장치.
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