KR20240043686A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20240043686A
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sheet
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KR1020230122461A
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Inventor
겐지 아마히사
신이치 다니구치
아키히로 이와사키
Original Assignee
가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

기판 처리 장치의 처리 블록은, 배치 처리 영역 및 매엽 기판 반송 영역에 인접하는 습식 반송 영역을 구비한다. 습식 반송 영역에는, 6 개의 배치 처리조의 열의 연장선 상에 형성되고, 침지 처리가 실시된 복수 장의 기판을 연직 자세로부터 수평 자세로 변환시키는 제 2 자세 변환부와, 제 2 자세 변환부로부터 수평 자세의 기판을 1 장씩 수취하여 매엽 기판 반송 영역에 반송하는 벨트 컨베이어 기구와, 벨트 컨베이어 기구에 의해 반송되는 기판을 젖게 하기 위해서 액체를 공급하는 액체 공급부가 형성된다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE TREATING APPARATUS}
본 발명은, 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 기판은, 예를 들어, 반도체 기판, FPD (Flat Panel Display) 용 기판, 포토마스크용 유리 기판, 광 디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 세라믹 기판, 태양 전지용 기판 등을 들 수 있다. FPD 는, 예를 들어, 액정 표시 장치, 유기 EL (electroluminescence) 표시 장치 등을 들 수 있다.
종래의 기판 처리 장치로서 복수 장의 기판을 일괄적으로 처리하는 배치식 처리 모듈 (배치 처리부) 과, 배치식 처리 모듈에서 처리된 기판을 한 장씩 처리하는 매엽식 처리 모듈 (매엽 처리부) 을 구비한 하이브리드식 기판 처리 장치가 있다 (예를 들어 일본 공표특허공보 2016-502275호 및 일본 공개특허공보 2021-064652호 참조). 배치식 처리 모듈에서 처리된 복수 장의 기판은, 수평 자세로 변환된 후에, 반송 로봇에 의해 매엽식 처리 모듈에 1 장씩 반송된다.
또, 일본 공고실용신안공보 평03-006581호에는, 액조와, 다수의 박판재를 수납하는 카세트 (캐리어) 를 재치 (載置) 하는 아암과, 아암을 승강시키는 승강 장치와, 카세트로부터 박판재를 컨베이어에 압출하는 푸셔 (압출 부재) 를 구비한 액중 로더가 개시되어 있다. 액중 로더는, 아암에 재치된 카세트를 액에 몰입시킨다. 액중 로더는, 박판재를 사용할 때에, 상단측의 박판재를 1 장씩 액면 위에 꺼내고, 액면 위에 꺼낸 박판재를 푸셔에 의해 컨베이어에 압출한다. 압출된 박판재는, 다음의 처리 장치에 보내진다.
그러나, 종래의 기판 처리 장치는, 다음 문제를 갖는다. 배치식 처리 모듈에서 처리된 복수 장의 기판은, 배치식 처리 모듈이 형성되는 배치 처리 영역으로부터 매엽식 처리 모듈이 형성되는 매엽 처리 영역에 반송할 필요가 있다. 이 반송 중에 기판이 건조되면, 기판에 형성된 패턴이 도괴되어 버린다.
본 발명은, 이와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 배치 처리 영역으로부터 매엽 처리 영역으로의 기판 반송에 있어서, 기판의 건조를 방지할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 이와 같은 목적을 달성하기 위해서, 다음과 같은 구성을 취한다. 즉, 본 발명에 관련된 기판 처리 장치는, 복수 장의 기판을 일괄적으로 처리하는 배치 처리와, 기판을 1 장씩 처리하는 매엽 처리를 연속해서 실시하는 기판 처리 장치로서, 복수 장의 기판을 수평 자세에서 소정 간격을 두고 연직 방향으로 수납하는 캐리어를 재치하는 캐리어 재치 선반과, 상기 캐리어 재치 선반에 인접하는 이송 재치 블록과, 상기 이송 재치 블록에 인접하는 처리 블록을 구비하고, 상기 이송 재치 블록은, 상기 캐리어로부터 취출된 상기 복수 장의 기판을 수평 자세로부터 연직 자세로 변환시키는 제 1 자세 변환 기구와, 상기 캐리어 재치 선반에 재치된 상기 캐리어로부터 상기 복수 장의 기판을 일괄적으로 취출하여 상기 제 1 자세 변환 기구에 반송하고, 또한, 상기 캐리어 재치 선반에 재치된 상기 캐리어에 상기 매엽 처리된 기판을 되돌리는 기판 핸들링 기구를 구비하고, 상기 처리 블록은, 상기 이송 재치 블록으로부터 멀어지는 방향으로 연장되는 배치 처리 영역과, 상기 배치 처리 영역을 따라 형성되며, 일단측이 상기 이송 재치 블록에까지 연장되고, 타단측이 상기 이송 재치 블록으로부터 멀어지는 방향으로 연장되는 배치 기판 반송 영역과, 상기 이송 재치 블록으로부터 멀어지는 방향으로 연장되는 매엽 기판 반송 영역과, 상기 매엽 기판 반송 영역을 따라 형성된 매엽 처리 영역과, 상기 배치 처리 영역 및 상기 매엽 기판 반송 영역에 인접하는 습식 반송 영역을 구비하고, 상기 배치 처리 영역에는, 그 영역이 연장되는 방향으로 복수 장의 기판을 일괄적으로 침지 처리하는 복수 개의 배치 처리조가 나열되고, 상기 습식 반송 영역에는, 상기 복수 개의 배치 처리조의 열의 연장선 상에 형성되고, 상기 침지 처리가 실시된 상기 복수 장의 기판을 연직 자세로부터 수평 자세로 변환시키는 제 2 자세 변환 기구와, 상기 제 2 자세 변환 기구로부터 수평 자세의 기판을 1 장씩 수취하여 상기 매엽 기판 반송 영역에 반송하는 벨트 컨베이어 기구와, 상기 벨트 컨베이어 기구에 의해 반송되는 기판을 젖게 하기 위해서 액체를 공급하는 액체 공급부가 형성되고, 상기 매엽 처리 영역에는, 그 영역이 연장되는 방향으로 기판을 1 장씩 처리하는 복수 개의 매엽 처리 챔버가 나열되고, 상기 매엽 기판 반송 영역에는, 상기 벨트 컨베이어 기구에 의해 반송되어 온 수평 자세의 기판을 수취하여 상기 매엽 처리 챔버에 반송하고, 상기 매엽 처리 챔버에서 처리된 기판을 반출할 수 있는 매엽 기판 반송 기구가 형성되고, 상기 배치 기판 반송 영역에는, 상기 이송 재치 블록 내에 정해진 기판 수수 위치와 상기 복수 개의 배치 처리조와 상기 제 2 자세 변환 기구의 사이에서 복수 장의 기판을 일괄적으로 반송하는 배치 기판 반송 기구가 형성되는 것을 특징으로 하는 것이다.
본 발명에 관련된 기판 처리 장치에 따르면, 습식 반송 영역은, 배치 처리 영역 및 매엽 기판 반송 영역에 인접한다. 습식 반송 영역에는, 제 2 자세 변환 기구, 벨트 컨베이어 기구 및 액체 공급부가 형성된다. 제 2 자세 변환 기구는, 복수 개의 배치 처리조의 열의 연장선 상에 형성되고, 침지 처리가 실시된 복수 장의 기판을 연직 자세로부터 수평 자세로 변환시킨다. 벨트 컨베이어 기구는, 제 2 자세 변환 기구로부터 수평 자세의 기판을 1 장씩 수취하여 매엽 기판 반송 영역에 반송한다. 액체 공급부는, 벨트 컨베이어 기구에 의해 반송되는 기판을 젖게 하기 위해서 액체를 공급한다. 벨트 컨베이어 기구는, 액체 공급부에 의해 젖은 기판을, 제 2 자세 변환 기구로부터 매엽 기판 반송 영역측으로 반송한다. 매엽 기판 반송 영역의 매엽 기판 반송 기구는, 벨트 컨베이어 기구에 의해 반송되어 온 수평 자세의 기판을 수취하여 매엽 처리 챔버에 반송한다. 그러므로, 배치 처리 영역으로부터 매엽 처리 영역으로의 기판 반송에 있어서, 기판의 건조를 방지할 수 있다.
또한, 매엽 기판 반송 영역이 배치 처리 영역으로부터 떨어져 있어도, 벨트 컨베이어 기구가 기판을 반송하므로, 매엽 기판 반송 기구는, 기판을 수취하는 것이 용이하다. 또, 벨트 컨베이어 기구 및 액체 공급부는, 기판의 건조를 방지할 수 있다. 그러므로, 반송 경로를 길게 할 수 있고, 이로써, 배치 처리 영역과 매엽 처리 영역의 배치 자유도를 늘릴 수 있다.
또한, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 매엽 기판 반송 영역은, 상기 배치 처리 영역과 상기 매엽 처리 영역의 사이에 개재되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 이송 재치 블록, 배치 처리 영역 및 매엽 처리 영역은, 매엽 기판 반송 영역을 중심으로 하여 배치할 수 있다.
또한, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 매엽 처리 영역에는, 상기 복수 개의 매엽 처리 챔버로서 제 1 매엽 처리 챔버와 제 2 매엽 처리 챔버가 형성되고, 양 챔버의 사이에서 기판을 반송하는 제 2 매엽 기판 반송 기구가 추가로 형성되고, 상기 매엽 기판 반송 기구는, 상기 벨트 컨베이어 기구에 의해 반송되어 온 수평 자세의 기판을 수취하여 상기 제 1 매엽 처리 챔버에 반송하고, 상기 제 2 매엽 처리 챔버에서 처리된 기판을 반출하는 것이 바람직하다. 이에 따라, 기판은, 2 대의 매엽 기판 반송 기구에 의해 반송되므로, 스루풋을 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 매엽 처리 영역은, 상기 배치 처리 영역과 상기 매엽 기판 반송 영역의 사이에 개재되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 매엽 기판 반송 영역을 개재하고 매엽 처리 영역의 반대측 영역을 제 2 매엽 처리 영역으로서 이용할 수 있으므로, 많은 매엽 처리 챔버를 배치할 수 있다.
또한, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 습식 반송 영역은, 상기 배치 처리 영역의 일단측으로, 상기 이송 재치 블록이 형성된 측과는 반대측에 형성되고, 상기 벨트 컨베이어 기구는, 상기 매엽 처리 영역이 개재됨으로써, 상기 제 2 자세 변환 기구로부터 상기 매엽 기판 반송 영역에 직선상으로 기판을 반송할 수 없는 경우에, 평면에서 보았을 때, 상기 매엽 처리 영역을 돌아 들어가도록 형성되어 있는 것이 바람직하다. 벨트 컨베이어 기구가 장해물을 돌아 들어가면서 기판을 반송할 수 있으므로, 매엽 처리 영역 등의 배치 자유도를 높일 수 있다.
또한, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 습식 반송 영역은, 상기 이송 재치 블록과 상기 배치 처리 영역의 사이에 개재되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 습식 반송 영역은, 이송 재치 블록의 근처에 배치된다. 그러므로, 매엽 기판 반송 기구는, 이송 재치 블록측을 기점으로 하여 기판을 반송할 수 있다. 또, 약액 처리조를 이송 재치 블록으로부터 떨어진 위치에 둘 수 있으므로, 이송 재치 블록의 기판 핸들링 기구 등의 기구가 약액 분위기에 의해 부식되는 등의 악영향을 억제할 수 있다.
또한, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 매엽 처리 영역에는, 상기 복수 개의 매엽 처리 챔버로서 제 1 매엽 처리 챔버와 제 2 매엽 처리 챔버가 형성되고, 양 챔버의 사이에 배치된 제 2 매엽 기판 반송 영역이 추가로 형성되고, 상기 습식 반송 영역은, 상기 배치 처리 영역의 일단측으로, 상기 이송 재치 블록이 형성된 측과는 반대측에 형성되고, 상기 매엽 기판 반송 영역은, 상기 이송 재치 블록측의 이송 재치 블록측 반송 영역과, 상기 벨트 컨베이어 기구측의 벨트 컨베이어측 반송 영역을 갖고, 상기 제 2 매엽 기판 반송 영역 및 상기 벨트 컨베이어측 반송 영역에는, 상기 벨트 컨베이어 기구에 의해 반송되어 온 수평 자세의 기판을 수취하여, 상기 제 1 매엽 처리 챔버에 반송하고, 또한, 상기 제 1 매엽 처리 챔버에서 처리된 기판을 상기 제 2 매엽 처리 챔버에 반송하는 제 2 매엽 기판 반송 기구가 형성되고, 상기 매엽 기판 반송 기구는, 상기 제 2 매엽 처리 챔버에서 처리된 기판을 반출하는 것이 바람직하다.
이에 따라, 매엽 기판 반송 기구는, 건조 처리 후의 기판만을 반송할 수 있음과 함께, 제 2 매엽 기판 반송 기구는, 젖은 기판만을 반송할 수 있다.
또한, 상기 서술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 제 2 자세 변환 기구는, 기판을 출입시키기 위한 출입구를 가짐과 함께, 상기 출입구를 통과한 상기 복수 장의 기판을 수납하기 위한 복수 쌍의 유지 홈이 각각 대향하도록 형성된 2 개의 측벽을 갖는 조내 (槽內) 캐리어로서, 상기 복수 장의 기판을 개재하며 상기 출입구에 대향하여 배치되고, 각 기판의 직경 방향에서 각 기판의 직경보다 작은 폭을 갖는 이측 (裏側) 개구를 구비한 상기 조내 캐리어와, 상기 조내 캐리어를 침지액에 침지시키기 위해서 침지액을 저류하는 침지조와, 상기 조내 캐리어를 하측에서부터 지지하는 캐리어 지지부와, 상기 캐리어 지지부를 승강시키는 캐리어 승강부와, 상기 복수 장의 기판을 연직 자세로부터 수평 자세로 변환시키기 위해서, 수평 방향으로 연장되는 2 개의 회전 샤프트로 상기 조내 캐리어의 상기 2 개의 측벽을 클램핑하면서, 상기 2 개의 회전 샤프트 둘레로 상기 조내 캐리어를 회전시키는 회전 기구와, 상기 조내 캐리어에 수납되는 1 장의 기판을 압출하기 위한 압출 부재와, 상기 압출 부재를 수평 방향으로 진퇴시키는 압출 부재 진퇴부를 구비하고, 상기 압출 부재 진퇴부는, 상기 조내 캐리어에 수납된 상기 복수 장의 기판이 수평 자세일 때에, 상기 이측 개구로부터 상기 조내 캐리어 내에 상기 압출 부재를 진입시키면서, 상기 출입구를 통해서 상기 1 장의 기판을 압출하는 것이 바람직하다.
제 2 자세 변환 기구는, 조내 캐리어를 침지액에 침지시킬 수 있는 침지조를 구비한다. 그러므로, 조내 캐리어에 수납되는 기판의 건조를 방지할 수 있다. 또한, 압출 부재 진퇴부는, 압출 부재로 조내 캐리어에 수납되는 기판을 압출할 수 있다. 그러므로, 매엽 기판 반송 기구의 핸드를 진입시키지 않고도, 조내 캐리어로부터 기판을 취출할 수 있다.
본 발명에 관련된 기판 처리 장치에 따르면, 배치 처리 영역으로부터 매엽 처리 영역으로의 기판 반송에 있어서, 기판의 건조를 방지할 수 있다.
발명을 설명하기 위해서 현재 바람직하다고 사료되는 몇 가지 형태가 도시되어 있지만, 발명이 도시된 바와 같은 구성 및 방책에 한정되는 것은 아니라는 점을 이해해야 한다.
도 1 은, 실시예 1 에 관련된 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
도 2 는, 기판 핸들링 기구를 나타내는 측면도이다.
도 3a ∼ 도 3c 는, 제 1 자세 변환 기구 (자세 변환부와 푸셔 기구) 를 설명하기 위한 측면도이다.
도 4 는, 제 2 자세 변환부를 정면에서 본 종단면도이다.
도 5a 는, 제 2 자세 변환부를 좌측면에서 본 종단면도이고, 도 5b 는, 제 2 자세 변환부를 나타내는 평면도이다.
도 6a 는, 벨트 컨베이어 기구를 나타내는 평면도이고, 도 6b 는, 벨트 컨베이어 기구와 샤워 헤드를 나타내는 좌측면도이다.
도 7 은, 기판 처리 장치의 동작을 설명하기 위한 플로 차트이다.
도 8a ∼ 도 8c 는, 자세 변환부의 동작을 설명하기 위한 정면도이다.
도 9a ∼ 도 9c 는, 자세 변환부의 동작을 설명하기 위한 정면도이다.
도 10 은, 자세 변환부의 동작을 설명하기 위한 정면도이다.
도 11a, 도 11b 는, 조내 캐리어로부터의 기판 반출의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 12 는, 실시예 2 에 관련된 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
도 13 은, 실시예 2 의 변형예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
도 14a, 도 14b 는, 벨트 컨베이어 기구의 방향 변환부의 동작을 설명하기 위한 측면도이다.
도 15 는, 실시예 3 에 관련된 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
도 16 은, 실시예 4 에 관련된 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
도 17 은, 변형예에 관련된 벨트 컨베이어 기구를 나타내는 측면도이다.
[실시예 1]
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 1 을 설명한다. 도 1 은, 실시예 1 에 관련된 기판 처리 장치 (1) 의 개략 구성을 나타내는 평면도이다. 도 2 는, 기판 핸들링 기구 (HTR) 를 나타내는 측면도이다. 도 3a ∼ 도 3c 는, 제 1 자세 변환 기구 (15) (자세 변환부 (23) 와 푸셔 기구 (25)) 를 설명하기 위한 측면도이다.
＜1. 전체 구성＞
도 1 을 참조한다. 기판 처리 장치 (1) 는, 스토커 블록 (3), 이송 재치 블록 (5) 및 처리 블록 (7) 을 구비한다. 스토커 블록 (3), 이송 재치 블록 (5) 및 처리 블록 (7) 은, 이 순번으로 수평 방향으로 1 열로 배치된다.
기판 처리 장치 (1) 는, 기판 (W) 에 대하여, 예를 들어 약액 처리, 세정 처리, 건조 처리 등을 실시한다. 기판 처리 장치 (1) 는, 기판 (W) 에 대하여, 배치 처리와 매엽 처리를 연속해서 실시한다. 즉, 기판 처리 장치 (1) 는, 배치 처리를 실시한 후에, 기판 (W) 에 대하여 매엽 처리를 실시한다. 배치 처리는, 복수 장의 기판 (W) 을 일괄적으로 처리하는 처리 방식이다. 매엽 처리는, 기판 (W) 을 한 장씩 처리하는 처리 방식이다.
본 명세서에서는, 편의상, 스토커 블록 (3), 이송 재치 블록 (5) 및 처리 블록 (7) 이 나열되는 방향을, 「전후 방향 X」라고 부른다. 전후 방향 X 는 수평이다. 전후 방향 X 중, 이송 재치 블록 (5) 으로부터 스토커 블록 (3) 을 향하는 방향을 「전방」이라고 부른다. 전방과 반대인 방향을 「후방」이라고 부른다. 전후 방향 X 와 직교하는 수평 방향을 「폭 방향 Y」라고 부른다. 폭 방향 Y 의 일 방향을 적절하게 「우방」이라고 부른다. 우방과 반대인 방향을 「좌방」이라고 부른다. 수평 방향에 대하여 수직인 방향을 「연직 방향 Z」라고 부른다. 예를 들어 도 1 에서는, 참고로서 전, 후, 우, 좌, 상, 하를 적절하게 나타낸다.
＜2. 스토커 블록＞
스토커 블록 (3) 은, 적어도 1 개의 캐리어 (C) 를 수용하는 것이다. 스토커 블록 (3) 에는, 1 또는 2 이상 (예를 들어 2 개) 의 로드 포트 (9) 가 형성된다. 스토커 블록 (3) 은, 캐리어 반송 기구 (로봇) (11) 와 선반 (13) 을 구비한다.
캐리어 반송 기구 (11) 는, 로드 포트 (9) 와 선반 (13) 의 사이에서 캐리어 (C) 를 반송한다. 캐리어 반송 기구 (11) 는, 캐리어 (C) 의 상면의 돌기부를 파지하는 파지부, 혹은 캐리어 (C) 의 저면에 접촉하면서 캐리어 (C) 를 지지하는 핸드를 구비한다. 선반 (13) 은, 기판 (W) 을 취출·수납하기 위한 선반 (13A) 과, 보관용 선반 (13B) 으로 분류된다.
선반 (13A) 은, 이송 재치 블록 (5) 에 인접하여 배치된다. 선반 (13A) 은, 캐리어 (C) 의 덮개부를 착탈하는 기구가 형성되어 있어도 된다. 선반 (13A) 은, 적어도 1 개 형성된다. 선반 (13A) 은, 캐리어 (C) 가 재치된다. 캐리어 (C) 는, 복수 장 (예를 들어 25 장) 의 기판 (W) 을 수평 자세에서 소정 간격 (예를 들어 10 ㎜ 간격) 을 두고 연직 방향 Z 로 수납한다. 또, 기판 (W) 은, 기판 (W) 의 두께 방향으로 정렬된다. 캐리어 (C) 로서, 예를 들어 FOUP (Front Opening Unify Pod) 가 사용된다. FOUP 는, 밀폐형 용기이다. 캐리어 (C) 는, 개방형 용기여도 되며, 종류를 불문한다. 또, 선반 (13A) 은, 본 발명의 캐리어 재치 선반에 상당한다.
＜3. 이송 재치 블록＞
이송 재치 블록 (5) 은, 스토커 블록 (3) 의 후방 X 에 인접하여 배치된다. 이송 재치 블록 (5) 은, 기판 핸들링 기구 (로봇) (HTR) 와 제 1 자세 변환 기구 (15) 를 구비한다.
기판 핸들링 기구 (HTR) 는, 이송 재치 블록 (5) 내의 우방 Y 측에 형성된다. 기판 핸들링 기구 (HTR) 는, 재치 선반 (13A) 에 재치된 캐리어 (C) 로부터 복수 장 (예를 들어 25 장) 의 기판 (W) 을 일괄적으로 취출하여 제 1 자세 변환 기구 (15) 에 반송한다. 또한, 기판 핸들링 기구 (HTR) 는, 재치 선반 (13A) 에 재치된 캐리어 (C) 에, 매엽 처리된 기판 (W) 을 되돌린다. 예를 들어, 기판 핸들링 기구 (HTR) 는, 버퍼부 (33) 로부터 복수 장 (예를 들어 25 장) 의 기판 (W) 을 취출하여, 그 복수 장의 기판 (W) 을 재치 선반 (13A) 에 재치된 캐리어 (C) 에 되돌린다. 기판 핸들링 기구 (HTR) 는, 선반 (13A) 에 재치된 캐리어 (C), 제 1 자세 변환 기구 (15) 및 버퍼부 (33) 의 사이에서 복수 장의 기판 (W) 을 반송할 수 있다.
도 2 를 참조한다. 기판 핸들링 기구 (HTR) 는, 복수 개 (예를 들어 25 개) 의 핸드 (17) 를 구비한다. 도 2 에 있어서, 도시의 편의상, 기판 핸들링 기구 (HTR) 는, 3 개의 핸드 (17) 를 구비하는 것으로 한다. 각 핸드 (17) 는, 1 장의 기판 (W) 을 유지한다.
또한, 기판 핸들링 기구 (HTR) 는, 핸드 지지부 (19), 진퇴부 (20) 및 승강 회전부 (21) 를 구비한다. 핸드 지지부 (19) 는, 복수 개의 핸드 (17) 를 지지한다. 이에 따라, 복수 개의 핸드 (17) 는, 일체적으로 이동한다. 진퇴부 (20) 는, 핸드 지지부 (19) 를 통해서 복수 개의 핸드 (17) 를 전진 및 후퇴시킨다. 승강 회전부 (21) 는, 연직축 (AX1) 둘레로 진퇴부 (20) 를 회전시킴으로써, 연직축 (AX1) 둘레로 복수 개의 핸드 (17) 등을 회전시킨다. 또한, 승강 회전부 (21) 는, 진퇴부 (20) 를 승강시킴으로써, 복수 개의 핸드 (17) 등을 승강시킨다. 승강 회전부 (21) 는, 플로어면에 고정되어 있다. 즉, 승강 회전부 (21) 는, 수평 방향으로 이동하지 않는다. 또, 진퇴부 (20) 및 승강 회전부 (21) 는 각각 전동 모터를 구비한다. 또, 기판 핸들링 기구 (HTR) 는, 핸드 (17) 및 핸드 지지부 (19) 와는 별도로, 1 장의 기판 (W) 을 반송하기 위한 핸드 (도시되지 않음) 를 구비해도 된다.
도 1 을 참조한다. 제 1 자세 변환 기구 (15) 는, 복수 장의 기판 (W) 을 수평 자세로부터 연직 자세로 일괄적으로 변환시킨다. 제 1 자세 변환 기구 (15) 는, 자세 변환부 (23) 와 푸셔 기구 (25) 를 구비한다. 도 1 에 있어서, 기판 핸들링 기구 (HTR), 자세 변환부 (23) 및 푸셔 기구 (25) 는, 이 순번으로 좌방 Y 에 배치된다. 도 3a ∼ 도 3c 는, 제 1 자세 변환 기구 (15) 를 설명하기 위한 도면이다.
도 3a 에 나타내는 바와 같이, 자세 변환부 (23) 는, 지지대 (23A), 1 쌍의 수평 유지부 (23B), 1 쌍의 연직 유지부 (23C), 및 회전 구동부 (23D) 를 구비한다. 1 쌍의 수평 유지부 (23B) 및 1 쌍의 연직 유지부 (23C) 는, 지지대 (23A) 에 형성된다. 수평 유지부 (23B) 및 연직 유지부 (23C) 는, 기판 핸들링 기구 (HTR) 에 의해 반송된 복수 장의 기판 (W) 을 수취한다. 기판 (W) 이 수평 자세일 때, 1 쌍의 수평 유지부 (23B) 는, 각 기판 (W) 의 하면에 접촉하면서, 기판 (W) 을 하방에서부터 지지한다. 또한, 기판 (W) 이 연직 자세일 때, 1 쌍의 연직 유지부 (23C) 는, 기판 (W) 을 유지한다.
회전 구동부 (23D) 는, 수평축 (AX2) 둘레로 지지대 (23A) 를 회전할 수 있게 지지한다. 또한, 회전 구동부 (23D) 는, 수평축 (AX2) 둘레로 지지대 (23A) 를 회전시킴으로써, 유지부 (23B, 23C) 에 유지된 복수 장의 기판 (W) 의 자세를 수평에서 연직으로 변환시킨다.
도 3c 에 나타내는 바와 같이, 푸셔 기구 (25) 는, 푸셔 (25A), 승강 회전부 (25B), 수평 이동부 (25C) 및 레일 (25D) 을 구비한다. 푸셔 (25A) 는, 연직 자세의 복수 장 (예를 들어 25 장) 의 기판 (W) 각각의 하부를 지지한다. 또, 도 3a ∼ 도 3c 에 있어서, 도시의 편의상, 푸셔 (25A) 는, 3 장의 기판 (W) 을 지지하는 것으로 한다.
승강 회전부 (25B) 는, 푸셔 (25A) 의 하면에 연결된다. 승강 회전부 (25B) 는, 신축됨으로써 푸셔 (25A) 를 상하 방향으로 승강시킨다. 또한, 승강 회전부 (25B) 는, 연직축 (AX3) 둘레로 푸셔 (25A) 를 회전시킨다. 이에 따라, 화살표 AR 로 나타내는 기판 (W) 의 디바이스면의 방향을 임의의 방향으로 할 수 있다. 수평 이동부 (25C) 는, 승강 회전부 (25B) 를 지지한다. 수평 이동부 (25C) 는, 푸셔 (25A) 및 승강 회전부 (25B) 를 레일 (25D) 을 따라 수평 이동시킨다. 레일 (25D) 은, 폭 방향 Y 로 연장되도록 형성된다. 또, 회전 구동부 (23D), 승강 회전부 (25B) 및 수평 이동부 (25C) 는 각각 전동 모터를 구비한다.
여기서, 제 1 자세 변환 기구 (15) 의 동작을 설명한다. 처리 블록 (7) 의 후술하는 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 는, 1 개분의 캐리어 (C) 의 예를 들어 25 장의 기판 (W) 을 일괄적으로 처리한다. 그러므로, 제 1 자세 변환 기구 (15) 는, 캐리어 (C) 로부터 취출된 25 장의 기판 (W) 을 수평 자세로부터 연직 자세로 일괄적으로 변환시킨다.
도 3a 를 참조한다. 자세 변환부 (23) 는, 기판 핸들링 기구 (HTR) 에 의해 반송된 25 장의 기판 (W) 을 유지부 (23B, 23C) 에서 수취한다. 이 때, 25 장의 기판 (W) 은 수평 자세이고, 디바이스면은 위를 향한다. 25 장의 기판 (W) 은, 소정의 간격 (풀 피치) 으로 배치된다. 풀 피치는, 예를 들어 10 ㎜ 간격이다. 풀 피치는, 노멀 피치라고도 불린다. 또, 하프 피치는, 풀 피치의 절반의 간격이다.
또한, 기판 (W) 의 디바이스면이란, 전자 회로가 형성되는 면으로, 「표면」이라고 불린다. 또, 기판 (W) 의 이면이란, 전자 회로가 형성되지 않은 면을 말한다. 디바이스면의 반대측의 면이 이면이다.
도 3b 를 참조한다. 자세 변환부 (23) 는, 유지부 (23B, 23C) 를 수평축 (AX2) 둘레로 90 도 (degree) 회전시키고, 25 장의 기판 (W) 을 수평 자세로부터 연직 자세로 변환시킨다. 도 3c 를 참조한다. 푸셔 기구 (25) 는, 자세 변환부 (23) 의 유지부 (23B, 23C) 보다 높은 위치로 푸셔 (25A) 를 상승시킨다. 이에 따라, 푸셔 (25A) 는, 유지부 (23B, 23C) 로부터 25 장의 기판 (W) 을 수취한다. 푸셔 (25A) 에 유지된 25 장의 기판 (W) 은, 좌방 Y 를 향한다. 또, 화살표 AR 은, 기판 (W) 의 디바이스면의 방향을 나타낸다.
그 후, 푸셔 기구 (25) 는, 25 장의 기판 (W) 을 유지하는 푸셔 (25A) 를 반송 기구 (WTR) (후술한다) 의 1 쌍의 척 (29, 30) 하방의 기판 수수 위치 (PP) 에 레일 (25D) 을 따라 이동시킨다.
＜4. 처리 블록 (7)＞
처리 블록 (7) 은, 이송 재치 블록 (5) 에 인접한다. 처리 블록 (7) 은, 이송 재치 블록 (5) 의 후방 X 에 배치된다. 처리 블록 (7) 은, 배치 처리 영역 (R1), 배치 기판 반송 영역 (R2), 매엽 기판 반송 영역 (R3), 매엽 처리 영역 (R4) 및 습식 반송 영역 (R5) 을 구비한다.
＜4-1. 배치 처리 영역 (R1)＞
배치 처리 영역 (R1) 은, 이송 재치 블록 (5), 배치 기판 반송 영역 (R2), 매엽 기판 반송 영역 (R3) 및 습식 반송 영역 (R5) 에 인접한다. 또한, 배치 처리 영역 (R1) 은, 폭 방향 Y 에 있어서, 배치 기판 반송 영역 (R2) 과 매엽 기판 반송 영역 (R3) 의 사이에 개재된다. 또한, 배치 처리 영역 (R1) 은, 전후 방향 X 에 있어서, 이송 재치 블록 (5) 과 습식 반송 영역 (R5) 의 사이에 개재된다. 배치 처리 영역 (R1) 의 일단측은, 이송 재치 블록 (5) 에 인접한다. 배치 처리 영역 (R1) 의 타단측 (즉, 배치 처리 영역 (R1)) 은, 이송 재치 블록 (5) 으로부터 멀어지는 방향 (후방 X) 으로 연장된다.
배치 처리 영역 (R1) 에는, 예를 들어 6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 가 형성된다. 6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 는, 배치 처리 영역 (R1) 이 연장되는 방향 (전후 방향 X) 으로 일렬로 나열된다. 6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 는 각각 복수 장의 기판 (W) 을 일괄적으로 침지 처리한다. 예를 들어, 6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 는, 4 개의 약액 처리조 (BT1 ∼ BT4) 와 2 개의 수세 처리조 (BT5, BT6) 로 구성된다. 구체적으로는, 2 개의 약액 처리조 (BT1, BT2) 와 수세 처리조 (BT5) 를 1 세트로 한다. 그리고, 2 개의 약액 처리조 (BT3, BT4) 와 수세 처리조 (BT6) 를 다른 1 세트로 한다. 또, 약액 처리조와 수세 처리조의 조합은, 이 예에 한정되지 않는다. 또한, 배치 처리조의 개수는, 6 개에 한정되지 않고, 복수 개이면 된다.
4 개의 약액 처리조 (BT1 ∼ BT4) 는 각각 약액에 의한 에칭 처리를 실시한다. 약액으로서 예를 들어 인산이 사용된다. 약액 처리조 (BT1) 는, 도시되지 않은 약액 분출관으로부터 공급된 약액을 저류한다. 약액 분출관은, 약액 처리조 (BT1) 의 내벽에 형성된다. 3 개의 약액 처리조 (BT2 ∼ BT4) 는 각각 약액 처리조 (BT1) 와 동일하게 구성된다.
2 개의 수세 처리조 (BT5, BT6) 는 각각 복수 장의 기판 (W) 에 부착되어 있는 약액을 순수로 씻어내는 순수 세정 처리를 실시한다. 순수로서, 예를 들어 탈이온수 (DIW : Deionized Water) 가 사용된다. 2 개의 수세 처리조 (BT5, BT6) 는 각각 도시되지 않은 세정액 분출관으로부터 공급된 순수를 저류한다. 세정액 분출관은, 각 수세 처리조 (BT5, BT6) 의 내벽에 형성된다.
6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 에는, 6 개의 리프터 (LF1 ∼ LF6) 가 각각 형성된다. 예를 들어, 리프터 (LF1) 는, 소정 간격 (예를 들어 10 ㎜ (풀 피치)) 으로 배치된 연직 자세의 복수 장의 기판 (W) 을 유지한다. 또한, 리프터 (LF1) 는, 배치 처리조 (약액 처리조) (BT1) 의 내부의 처리 위치와 배치 처리조 (BT1) 의 상방의 수수 위치의 사이에서, 복수 장의 기판 (W) 을 승강시킨다. 다른 5 개의 리프터 (LF2 ∼ LF6) 는, 리프터 (LF1) 와 동일하게 구성된다.
＜4-2. 배치 기판 반송 영역 (R2)＞
배치 기판 반송 영역 (R2) 은, 이송 재치 블록 (5), 배치 처리 영역 (R1) 및 습식 반송 영역 (R5) 에 인접한다. 배치 기판 반송 영역 (R2) 은, 배치 처리 영역 (R1) 을 따라 형성된다. 배치 기판 반송 영역 (R2) 의 일단측이 이송 재치 블록 (5) 까지 연장되고, 그 타단측이 이송 재치 블록 (5) 으로부터 멀어지는 방향 (후방 X) 으로 연장된다. 배치 기판 반송 영역 (R2) 은, 배치 처리 영역 (R1) 에 대하여 평행하게 연장된다.
배치 기판 반송 영역 (R2) 은, 반송 기구 (로봇) (WTR) 를 갖는다. 즉, 배치 기판 반송 영역 (R2) 에는, 반송 기구 (WTR) 가 형성된다. 반송 기구 (WTR) 는, 이송 재치 블록 (5) 내에 정해진 기판 수수 위치 (PP) 와, 예를 들어 6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 와, 제 2 자세 변환부 (55) 의 사이에서 연직 자세의 복수 장 (예를 들어 25 장) 의 기판 (W) 을 일괄적으로 반송한다.
반송 기구 (WTR) 는, 1 쌍의 척 (29, 30), 및 가이드 레일 (31) 을 구비한다. 척 (29, 30) 은 각각 예를 들어, 25 장의 기판 (W) 을 유지하기 위해서 25 개의 유지 홈을 구비한다. 2 개의 척 (29, 30) 은 각각 평면에서 보았을 때, 폭 방향 Y (도 1) 으로 평행하게 연장된다. 반송 기구 (WTR) 는, 2 개의 척 (29, 30) 을 열거나 닫거나 한다. 반송 기구 (WTR) 는, 1 쌍의 척 (29, 30) 을 가이드 레일 (31) 을 따라 이동시킨다. 반송 기구 (WTR) 는, 전동 모터에 의해 구동된다.
＜4-3. 매엽 기판 반송 영역 (R3)＞
매엽 기판 반송 영역 (R3) 은, 이송 재치 블록 (5), 배치 처리 영역 (R1), 매엽 처리 영역 (R4) 및 습식 반송 영역 (R5) 에 인접한다. 또한, 매엽 기판 반송 영역 (R3) 은, 배치 처리 영역 (R1) 과 매엽 처리 영역 (R4) 의 사이에 개재된다. 매엽 기판 반송 영역 (R3) 의 일단측은, 이송 재치 블록 (5) 에 인접한다. 또한, 매엽 기판 반송 영역 (R3) 의 타단측 (즉 매엽 기판 반송 영역 (R3)) 은, 이송 재치 블록 (5) 으로부터 멀어지는 방향 (후방 X) 으로 연장된다.
매엽 기판 반송 영역 (R3) 에는, 제 1 센터 로봇 (CR1) 및 버퍼부 (33) 가 형성된다. 제 1 센터 로봇 (CR1) 은, 벨트 컨베이어 기구 (57) (후술한다), 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) (후술한다), 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) (후술한다) 및 버퍼부 (33) 의 사이에서 수평 자세의 기판 (W) 을 반송한다. 제 1 센터 로봇 (CR1) 은, 2 개의 핸드 (35), 진퇴부 (37), 승강 회전부 (39), 및 수평 이동부 (41) (가이드 레일 포함한다) 를 구비한다.
2 개의 핸드 (35) 는 각각 수평 자세의 1 장의 기판 (W) 을 유지한다. 또, 제 1 핸드 (35) 는, 젖은 기판 (W) 을 반송하기 위해서 사용되고, 제 2 핸드 (35) 는, 건조 후의 기판 (W) 을 반송하기 위해서 사용된다. 진퇴부 (37) 는, 2 개의 핸드 (35) 를 이동할 수 있게 지지함과 함께, 2 개의 핸드 (35) 를 개개로 진퇴시킨다. 승강 회전부 (39) 는, 핸드 (35) 및 진퇴부 (37) 을 연직축 (AX4) 둘레로 회전시킨다. 또한, 승강 회전부 (39) 는, 핸드 (35) 및 진퇴부 (37) 를 승강시킨다. 가이드 레일은, 매엽 기판 반송 영역 (R3) 이 연장되는 방향을 따라 형성됨과 함께, 매엽 기판 반송 영역 (R3) 의 플로어면에 형성된다. 수평 이동부 (41) 는, 가이드 레일을 따라 전후 방향 X 로 2 개의 핸드 (35) 및 진퇴부 (37) 등을 이동시킨다. 또, 진퇴부 (37), 승강 회전부 (39) 및 수평 이동부 (41) 는 각각 전동 모터를 구비한다.
예를 들어, 진퇴부 (37) 는, 제 1 핸드 (35) 를 전진시키고 벨트 컨베이어 기구 (57) 로부터 기판 (W) 을 수취한다. 그 후, 진퇴부 (37) 는, 제 1 핸드 (35) 를 전진시키고 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 에 1 장의 기판 (W) 을 반송한다. 또, 제 1 센터 로봇 (CR1) 은, 3 개 이상의 핸드 (35) 를 구비해도 된다. 3 개 이상의 핸드 (35) 를 구비하는 경우, 제 1 센터 로봇 (CR1) 은, 3 개 이상의 핸드 (35) 를 개개로 진퇴시킨다.
버퍼부 (33) 는, 복수 개의 재치 선반을 구비하고 있다. 복수 개의 재치 선반은 각각 수평 자세이다. 복수 개의 재치 선반은 각각 1 장의 기판 (W) 을 재치할 수 있다. 버퍼부 (33) 는, 복수 장의 기판 (W) 을 수평 자세에서 소정 간격 (풀 피치) 을 두고 연직 방향 Z 로 재치된다. 즉, 복수 개의 재치 선반은, 소정 간격 (풀 피치) 으로 또한 연직 방향 Z 로 배치된다. 버퍼부 (33) 는, 예를 들어, 기판 핸들링 기구 (HTR) 가 반송 가능한 25 장의 기판 (W) 을 적어도 재치할 수 있도록 구성된다. 또, 버퍼부 (33) 는, 2 장 이상 25 장 미만의 기판 (W) 을 재치할 수 있도록 구성되어 있어도 된다.
또, 버퍼부 (33) 는, 이송 재치 블록 (5) 과 매엽 기판 반송 영역 (R3) 에 걸쳐서 배치되어도 된다. 즉, 버퍼부 (33) 는, 이송 재치 블록 (5) 과 매엽 기판 반송 영역 (R3) 의 경계에 형성되어도 된다. 또한, 버퍼부 (33) 는, 이송 재치 블록 (5) 에만 형성되어도 된다. 그러므로, 버퍼부 (33) 는, 이송 재치 블록 (5) 과 매엽 기판 반송 영역 (R3) 의 경계, 이송 재치 블록 (5), 및 매엽 기판 반송 영역 (R3) 중 어느 것에 고정시켜 형성되어 있으면 된다. 제 1 센터 로봇 (CR1) 은, 본 발명의 매엽 기판 반송 기구에 상당한다.
＜4-4. 매엽 처리 영역 (R4)＞
매엽 처리 영역 (R4) 은, 이송 재치 블록 (5) 및 매엽 기판 반송 영역 (R3) 에 인접한다. 매엽 처리 영역 (R4) 의 일단측은, 이송 재치 블록 (5) 에 인접하고, 그 타단측은, 이송 재치 블록 (5) 으로부터 멀어지는 방향 (후방 X) 으로 연장된다. 또한, 매엽 처리 영역 (R4) 은, 배치 처리 영역 (R1) 및 매엽 기판 반송 영역 (R3) 을 따라 형성된다.
매엽 처리 영역 (R4) 에는, 복수 개 (예를 들어 2 개) 의 매엽 처리 챔버 (SW1, SW2) 가 형성된다. 2 개의 매엽 처리 챔버 (SW1, SW2) 는, 매엽 처리 영역 (R4) 이 연장되는 전후 방향 X 로 나열된다. 각 매엽 처리 챔버 (SW1, SW2) 는, 기판 (W) 을 1 장씩 처리한다. 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 는, 이송 재치 블록 (5) 으로부터 가장 먼 위치에 배치된다. 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 는, 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 의 전방 X 에 배치된다. 2 개의 매엽 처리 챔버 (SW1, SW2) 는, 복수 단으로 구성되어 있어도 된다. 예를 들어, 6 개의 매엽 처리 챔버가 전후 방향 X (수평 방향) 으로 2 개이며 또한 연직 방향 Z 로 3 개로 배치되어 있어도 된다.
예를 들어, 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 는, 회전 처리부 (45) 와 노즐 (47) 을 구비한다. 회전 처리부 (45) 는, 1 장의 기판 (W) 을 수평 자세에서 유지하는 스핀 척과, 그 기판 (W) 의 중심을 통과하는 연직축 둘레로 스핀 척을 회전시키는 전동 모터를 구비한다.
노즐 (47) 은, 회전 처리부 (45) 에 의해 유지된 기판 (W) 에 처리액을 공급한다. 노즐 (47) 은, 회전 처리부 (45) 로부터 떨어진 대기 위치와 회전 처리부 (45) 의 상방의 공급 위치에 걸쳐서 이동된다. 처리액으로서 예를 들어, 순수 (DIW) 및 IPA (이소프로필알코올) 가 사용된다. 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 는, 예를 들어, 기판 (W) 에 대하여 순수로 세정 처리를 실시한 후, IPA 로 예비적인 건조 처리를 실시해도 되고, 기판 (W) 의 상면에 IPA 의 액막을 형성해도 된다.
제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 는, 예를 들어, 초임계 유체에 의한 건조 처리를 실시한다. 유체로서 예를 들어 이산화탄소가 사용된다. 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 는, 챔버 본체 (용기) (48), 지지 트레이 (49), 덮개부 (51), 3 개의 리프트 핀 (52) 을 구비한다. 챔버 본체 (48) 는, 내부에 형성된 처리 공간 (48A) 과 이 처리 공간 (48A) 에 기판 (W) 을 넣기 위한 개구와, 공급구와, 배기구를 구비한다. 지지 트레이 (49) 는, 3 개의 리프트 핀 (52) 을 통과시키기 위한 3 개의 구멍부 (49A) 를 구비한다. 3 개의 리프트 핀 (52) 은, 승강 가능하다. 도 1 에 나타내는 지지 트레이 (49) 가 처리 공간 (48A) 으로부터 취출된 상태일 때에, 3 개의 리프트 핀 (52) 은, 3 개의 구멍부 (49A) 를 각각 통과할 수 있다. 이에 따라, 3 개의 리프트 핀 (52) 은, 기판 (W) 을 지지 트레이 (49) 로부터 들어 올리거나, 기판 (W) 을 지지 트레이 (49) 에 내리거나 할 수 있다. 제 1 센터 로봇 (CR1) 및 제 2 센터 로봇 (CR2) (후술한다) 은 각각 3 개의 리프트 핀 (52) 이 상승되었을 때에, 기판 (W) 을 주고 받을 수 있다.
기판 (W) 은, 지지 트레이 (49) 에 지지되면서 처리 공간 (48A) 에 수용된다. 덮개부 (51) 는 챔버 본체 (48) 의 개구를 막는다. 예를 들어, 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 는, 유체를 초임계 상태로 하고, 공급구로부터 챔버 본체 (48) 내의 처리 공간에 초임계 유체를 공급한다. 이 때, 챔버 본체 (48) 내의 처리 공간 (48A) 의 기체는, 배기구로부터 배기된다. 처리 공간 (48A) 에 공급된 초임계 유체에 의해, 기판 (W) 에 대한 건조 처리가 실시된다.
초임계 상태는, 유체에 고유한 임계 온도와 임계 압력으로 함으로써 얻어진다. 구체적으로는, 유체가 이산화탄소인 경우, 임계 온도가 31 ℃ 이며, 임계 압력이 7.38 MPa 이다. 초임계 상태에서는, 유체의 표면 장력이 거의 제로가 된다. 그러므로, 기판 (W) 의 패턴에 기액 계면의 영향이 발생하지 않는다. 따라서, 기판 (W) 에 있어서의 패턴 도괴가 발생하기 어렵다.
또한, 매엽 처리 영역 (R4) 에는, 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 와 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 의 사이에서 기판 (W) 을 반송하는 제 2 센터 로봇 (CR2) 이 추가로 형성되어 있다. 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 로부터 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 에 기판 (W) 을 반송한다. 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 승강 회전부 (39) 의 하단부가 플로어면에 고정되어 있는 것 이외에는, 제 1 센터 로봇 (CR1) 과 동일하게 구성된다. 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 2 개의 핸드 (35), 진퇴부 (37) 및 승강 회전부 (39) 를 구비하고 있다. 각 핸드 (35) 는, 젖은 기판 (W) 을 반송한다.
＜4-5. 습식 반송 영역 (R5)＞
습식 반송 영역 (R5) 은, 배치 처리 영역 (R1), 배치 기판 반송 영역 (R2) 및 매엽 기판 반송 영역 (R3) 에 인접한다. 습식 반송 영역 (R5) 은, 배치 처리 영역 (R1) 의 일단측으로, 이송 재치 블록 (5) 이 형성된 측과는 반대측에 형성된다. 습식 반송 영역 (R5) 에는, 제 2 자세 변환부 (수중 자세 변환부) (55), 벨트 컨베이어 기구 (57) 및 샤워 헤드 (59) 가 형성된다.
또, 제 2 자세 변환부 (55) 는, 본 발명의 제 2 자세 변환 기구에 상당한다. 샤워 헤드 (59) 는, 본 발명의 액체 공급부에 상당한다.
＜4-5-1. 제 2 자세 변환부 (55)＞
도 1 에 나타내는 바와 같이, 제 2 자세 변환부 (55) 는, 6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 의 열의 연장선 상에 형성된다. 제 2 자세 변환부 (55) 는, 침지 처리가 실시된 복수 장의 기판 (W) 을 연직 자세로부터 수평 자세로 변환시킨다. 도 4 는, 제 2 자세 변환부 (55) 를 정면에서 본 종단면도이다. 도 5a 는, 제 2 자세 변환부 (55) 를 좌측면에서 본 종단면도이다. 도 5b 는, 제 2 자세 변환부 (55) 를 나타내는 평면도이다.
제 2 자세 변환부 (55) 는, 조내 캐리어 (61), 침지조 (63), 회전 기구 (65), 리프터 (LF9) 및 푸셔 (67) 를 구비하고 있다. 조내 캐리어 (61) 는, 복수 장 (예를 들어 25 장) 의 기판 (W) 을 수납할 수 있다. 이 경우, 조내 캐리어 (61) 는, 25 장의 기판 (W) 을 소정의 간격 (예를 들어 풀 피치) 을 두고 수납한다. 25 장의 기판 (W) 은, 각 기판 (W) 의 두께 방향으로 정렬된다.
조내 캐리어 (61) 는, 출입구 (69), 2 개의 측벽 (71) 및 이측 개구 (73) 를 구비한다. 출입구 (69) 는, 기판 (W) 을 출입시키기 위한 개구이다. 2 개의 측벽 (71) 은, 복수 쌍 (예를 들어 25 쌍) 의 유지 홈 (75) 이 형성된다. 25 쌍의 유지 홈 (75) 은 각각 대향한다. 25 쌍의 유지 홈 (75) 은, 출입구 (69) 를 통과한 25 장의 기판 (W) 을 수납한다. 즉, 각 쌍의 유지 홈 (75) 은, 1 장의 기판 (W) 을 수납한다. 이측 개구 (73) 는, 조내 캐리어 (61) 에 수납되는 25 장의 기판 (W) 을 개재하며 출입구 (69) 에 대향하여 배치된다. 이측 개구 (73) 는, 각 기판 (W) 의 직경 방향 (전후 방향 X) 에서 각 기판 (W) 의 직경보다 작은 폭을 갖는다. 이에 따라, 각 기판 (W) 은, 이측 개구 (73) 로부터 출입할 수 없다. 또, 조내 캐리어 (61) 의 출입구 (69) 가 위를 향할 때, 푸셔 (67) 는, 출입구 (69) 및 이측 개구 (73) 를 통과할 수 있다.
침지조 (63) 는, 조내 캐리어 (61) 와 리프터 (LF9) 의 2 개의 캐리어 지지부 (85) (후술한다) 를 수용한다. 침지조 (63) 는, 침지액으로서 예를 들어 순수를 저류한다. 이에 따라, 침지조 (63) 내의 순수에 조내 캐리어 (61) 를 침지시킬 수 있다. 그러므로, 기판 (W) 의 건조를 방지할 수 있다. 또, 침지액은, 순수에 한정되지 않고 알코올이어도 된다. 또한, 순수는, 예를 들어 탈이온수 (DIW) 가 사용된다. 침지조 (63) 는, 저면에 있어서의 전후 방향 X 의 양 끝에 분출관 (77) 을 구비하고 있다. 각 분출관 (77) 은, 통 형상으로 형성됨과 함께, 폭 방향 Y 로 연장되도록 형성된다. 각 분출관 (77) 은 침지조 (63) 내에 순수를 분출한다.
회전 기구 (65) 는, 조내 캐리어 (61) 에 수납된 25 장의 기판 (W) 을 연직 자세로부터 수평 자세로 변환시키기 위해서, 후술하는 2 개의 작동축 (79A) 으로 조내 캐리어 (61) 를 클램핑하면서, 후술하는 2 개의 작동축 (79A) 둘레로 조내 캐리어 (61) 를 회전시킨다. 회전 기구 (65) 는, 2 개의 에어 실린더 (79) 와 2 개의 전동 모터 (81) 를 구비하고 있다.
에어 실린더 (79) 는 각각 전후 방향 X 를 따라 연장되는 작동축 (79A) 을 구비한다. 침지조 (63) 에는, 2 개의 관통구멍 (74) 이 형성된다. 2 개의 작동축 (79A) 은 2 개의 관통구멍 (74) 에 각각 통과되어 있다. 2 개의 에어 실린더 (79) 는, 2 개의 작동축 (79A) 을 전후 방향 X 를 따라 전진시킴으로써, 2 개의 작동축 (79A) 으로 조내 캐리어 (61) 의 2 개의 측벽 (71) 을 클램핑한다. 이에 따라, 2 개의 작동축 (79A) 과 조내 캐리어 (61) 는 일체가 된다. 또한, 2 개의 에어 실린더 (79) 는, 2 개의 작동축 (79A) 을 전후 방향 X 를 따라 후퇴시킴으로써, 2 개의 작동축 (79A) 으로 조내 캐리어 (61) 를 클램핑한 상태를 해방시킨다. 각 작동축 (79A) 은, 본 발명의 회전 샤프트에 상당한다.
2 개의 전동 모터 (81) 는, 2 개의 작동축 (79A) (수평축) 둘레로 2 개의 에어 실린더 (79) 를 회전시킨다. 이에 따라, 2 개의 전동 모터 (81) 는, 2 개의 작동축 (79A) 사이에 끼워진 조내 캐리어 (61) 를 회전시킬 수 있다.
리프터 (LF9) 는, 배판부 (背板部) (83), 2 개의 캐리어 지지부 (85) 및 캐리어 승강부 (87) 를 구비한다. 배판부 (83) 는, 연직 방향 Z 로 연장되어 있다. 배판부 (83) 는, 후술하는 압출 부재 (96) 를 통과시키기 위한 배판 개구 (83A) 를 갖는다. 2 개의 캐리어 지지부 (85) 는, 배판부 (83) 의 하단부에 장착되고, 또한, 폭 방향 Y 를 따라 각각 연장되어 있다. 2 개의 캐리어 지지부 (85) 의 간격은, 이측 개구 (73) 의 전후 방향 X 의 폭보다 넓게 되어 있다. 2 개의 캐리어 지지부 (85) 는, 조내 캐리어 (61) 를 하측에서부터 지지한다. 캐리어 승강부 (87) 는, 배판부 (83) 및 2 개의 캐리어 지지부 (85) 를 승강시킴으로써, 2 개의 캐리어 지지부 (85) 에 의해 지지되는 조내 캐리어 (61) 를 승강시킨다. 캐리어 승강부 (87) 는, 전동 모터를 구비한다.
또한, 제 2 자세 변환부 (55) 는, 푸셔 (67) 에 추가하여, 연직 샤프트 (89) 와 푸셔 승강 회전부 (91) 를 구비하고 있다. 푸셔 (67) 는, 복수 장 (예를 들어 25 장) 의 기판 (W) 을 연직 자세에서 하측에서부터 유지한다. 푸셔 (67) 의 하면에는 연직 샤프트 (89) 의 상단이 접속된다. 연직 샤프트 (89) 는, 연직 방향 Z 를 따라 연장되어 있다. 도 4 에 나타내는 바와 같이, 침지조 (63) 의 저부에는, 관통구멍 (93) 이 형성되어 있다. 연직 샤프트 (89) 는, 관통구멍 (93) 에 통과되어 있다. 푸셔 승강 회전부 (91) 는, 푸셔 (67) 및 연직 샤프트 (89) 를 승강시키고, 또한, 이것들을 연직축 (AX5) 둘레로 회전시킨다. 푸셔 승강 회전부 (91) 는, 예를 들어 복수 개의 전동 모터를 구비한다.
또한, 제 2 자세 변환부 (55) 는, 도 5a 에 나타내는 바와 같이, 압출 부재 (96) 와 압출 부재 진퇴부 (98) 를 구비한다. 압출 부재 (96) 는, 조내 캐리어 (61) 에 수납되는 1 장의 기판 (W) 을 압출하는 것이다. 압출 부재 진퇴부 (98) 의 진퇴 가능한 로드 (98A) 의 선단부에는, 압출 부재 (96) 가 접속된다. 압출 부재 진퇴부 (98) 는, 압출 부재 (96) 를 수평 방향으로 진퇴시킨다. 압출 부재 진퇴부 (98) 는, 전동 모터 또는 에어 실린더를 구비한다. 압출 부재 진퇴부 (98) 는, 조내 캐리어 (61) 에 수납된 복수 장 (예를 들어 25 장) 의 기판 (W) 이 수평 자세일 때에, 배판 개구 (83A) 및 이측 개구 (73) 로부터 조내 캐리어 (61) 내에 압출 부재 (96) 를 진입시키면서, 출입구 (69) 를 통해서 1 장의 기판 (W) 을 압출한다. 또, 기판 (W) 의 끝에 액체를 분출함으로써 조내 캐리어 (61) 로부터 기판 (W) 을 압출해도 된다.
＜4-5-2. 벨트 컨베이어 기구 (57)＞
도 6a 는, 벨트 컨베이어 기구 (57) 를 나타내는 평면도이다. 도 6b 는, 벨트 컨베이어 기구 (57) 와 샤워 헤드 (59) 를 나타내는 좌측면도이다. 압출 부재 (96) 에 의해 조내 캐리어 (61) 로부터 압출된 1 장의 기판 (W) 은, 벨트 컨베이어 기구 (57) 에 전달된다. 벨트 컨베이어 기구 (57) 는, 제 2 자세 변환부 (55) 로부터 수평 자세의 기판 (W) 을 1 장씩 수취하여 매엽 기판 반송 영역 (R3) 측으로 반송한다.
벨트 컨베이어 기구 (57) 는, 벨트 컨베이어 (101) 와 전달부 (103) 를 구비한다. 벨트 컨베이어 (101) 는, 제 2 자세 변환부 (55) 로부터 전달부 (103) 에 기판 (W) 을 반송한다. 벨트 컨베이어 (101) 는, 3 개의 풀리 (105, 106, 107) 와 3 개의 벨트 (109A, 109B, 109C) 와 전동 모터 (112) 를 구비한다.
3 개의 풀리 (105, 106, 107) 는, 제 2 자세 변환부 (55) 측에서부터 폭 방향 Y 를 따라 이 순번으로 배치된다. 3 개의 풀리 (105, 106, 107) 는, 수평축 (AX7, AX8, AX9) 둘레로 회전할 수 있게 각각 지지되고 있다. 또한, 풀리 (107) 는, 전달부 (103) 의 후술하는 3 개의 리프트 핀 (123) 의 근처에 배치된다.
3 개의 벨트 (109A, 109B, 109C) 는 각각 링형으로 형성되어 있다. 3 개의 벨트 (109A, 109B, 109C) 각각의 단면은, 예를 들어 원형으로 형성되어 있다. 2 개의 벨트 (109A, 109B) 는 각각 2 개의 풀리 (105, 106) 에 감겨 있다. 또한, 벨트 (109C) 는, 2 개의 벨트 (109A, 109B) 의 사이에 배치됨과 함께, 3 개의 풀리 (105, 106, 107) 에 감겨 있다.
전동 모터 (112) 가 예를 들어 풀리 (105) 를 회전시킴으로써, 3 개의 벨트 (109A ∼ 109C) 에 재치된 기판 (W) 이 반송된다. 또한, 벨트 컨베이어 (101) 는, 벨트 (109C) 가 풀리 (107) 에 감겨 있으므로, 3 개의 리프트 핀 (123) 의 근처까지 기판 (W) 을 이동시킬 수 있다.
전달부 (103) 는, 3 개의 풀리 (115, 116, 117) 와, 2 개의 벨트 (119, 121) 와, 3 개의 리프트 핀 (123) 과, 리프트 핀 승강부 (125) 를 구비한다. 3 개의 풀리 (115, 116, 117) 는 각각 자유롭게 회전할 수 있다. 2 개의 풀리 (115, 116) 는, 수평축 (AX9) 을 따라 배치되고, 또한, 벨트 컨베이어 (101) 의 제 3 풀리 (107) 를 끼워넣는다. 2 개의 풀리 (115, 116) 는 각각 수평축 (AX9) 둘레로 회전할 수 있게 지지된다. 풀리 (117) 는, 수평축 (AX10) 둘레로 회전할 수 있게 지지된다. 벨트 (119) 는, 2 개의 풀리 (115, 117) 에 감겨 있다. 또한, 벨트 (121) 는, 2 개의 풀리 (116, 117) 에 감겨 있다.
전달부 (103) 는, 전동 모터를 갖지 않으므로, 자력으로 2 개의 벨트 (119, 121) 를 구동시킬 수 없다. 그러나, 전달부 (103) 는, 전동 모터를 가짐으로써, 벨트 (119, 121) 를 구동시켜도 된다.
또, 벨트 컨베이어 (101) 는, 전달부 (103) 의 벨트 (119, 121) 와 별도로 벨트 (109A ∼ 109C) 를 갖는다. 그러므로, 벨트 (119, 121) 상에 기판 (W) 이 있는 경우에도, 벨트 (109A ∼ 109C) 상의 다른 기판 (W) 을 이동시킬 수 있다.
도 6a 에 나타내는 바와 같이, 3 개의 리프트 핀 (123) 은, 2 개의 벨트 (119, 121) 사이에 배치된다. 리프트 핀 승강부 (125) 는, 3 개의 리프트 핀 (123) 을 하측의 대기 위치와 상측의 전달 위치의 사이에서 승강시킨다. 3 개의 리프트 핀 (123) 이 전달 위치로 상승되었을 때, 기판 (W) 은 벨트 (119, 121) 로부터 들어 올려진다. 또한, 3 개의 리프트 핀 (123) 이 대기 위치로 하강되었을 때, 기판 (W) 의 반송을 방해하지 않도록, 각 리프트 핀 (123) 의 상단이 2 개의 벨트 (119, 121) 의 반송면 (127) 보다 낮은 위치에 배치된다. 리프트 핀 승강부 (125) 는, 전동 모터 또는 에어 실린더를 구비한다.
도 6b 에 나타내는 바와 같이, 샤워 헤드 (59) 는, 벨트 컨베이어 기구 (57) 에 의해 반송되는 기판 (W) 을 젖게 하기 위해서 액체를 공급한다. 액체로서 예를 들어 순수 (DIW) 가 공급된다. 또한, 액체는, IPA 등의 알코올이어도 된다. 복수 개의 샤워 헤드 (59) 는, 벨트 컨베이어 (101) 의 3 개의 벨트 (109A ∼ 109C) (반송 방향) 를 따라 1 열로 배치된다. 벨트 컨베이어 (101) 상의 수평 자세의 기판 (W) 의 디바이스면의 방향 (화살표 AR) 은 위를 향한다. 그러므로, 기판 (W) 의 디바이스면에 순수의 액막을 형성시킬 수 있다. 또, 습식 반송 영역 (R5) 은, 1 개의 벨트 컨베이어 (101) 에 대하여 1 개의 샤워 헤드 (59) 를 구비하도록 해도 된다.
＜5. 제어부＞
기판 처리 장치 (1) 는, 제어부 (131) (도 1 참조) 와 기억부 (도시되지 않음) 를 구비하고 있다. 제어부 (131) 는, 기판 처리 장치 (1) 의 각 구성을 제어한다. 제어부 (131) 는, 예를 들어 중앙 연산 처리 장치 (CPU) 등의 1 개 이상의 프로세서를 구비한다. 기억부는, 예를 들어, ROM (Read-Only Memory), RAM (Random-Access Memory), 및 하드 디스크 중 적어도 1 개를 구비하고 있다. 기억부는, 기판 처리 장치 (1) 의 각 구성을 제어하기 위해서 필요한 컴퓨터 프로그램을 기억한다.
＜6. 동작 설명＞
다음으로, 도 7 의 플로 차트를 참조하면서, 기판 처리 장치 (1) 의 동작에 대해서 설명한다. 도 1 을 참조한다. 도시되지 않은 외부 반송 로봇은, 1 개의 캐리어 (C) 를 로드 포트 (9) 에 반송한다.
〔스텝 S01〕캐리어로부터의 기판 반송
스토커 블록 (3) 의 캐리어 반송 기구 (11) 는, 로드 포트 (9) 로부터 선반 (13A) 에 캐리어 (C) 를 반송한다. 이송 재치 블록 (5) 의 기판 핸들링 기구 (HTR) 는, 선반 (13A) 에 재치된 캐리어 (C) 로부터 수평 자세의 25 장의 기판 (W) 을 취출하여, 자세 변환부 (23) 에 반송한다.
〔스텝 S02〕연직 자세로의 자세 변환
도 3a ∼ 도 3c 에 나타내는 바와 같이, 자세 변환부 (23) 는, 25 장의 기판 (W) 을 수평 자세로부터 연직 자세로 변환시키고, 연직 자세의 25 장의 기판 (W) 을 푸셔 기구 (25) 에 전달한다. 푸셔 기구 (25) 는, 이송 재치 블록 (5) 내에 정해진 기판 수수 위치 (PP) 에 연직 자세의 25 장의 기판 (W) 을 반송한다.
〔스텝 S03〕약액 처리 (배치 처리)
반송 기구 (WTR) 는, 기판 수수 위치 (PP) 에서 푸셔 기구 (25) 로부터 연직 자세의 25 장의 기판 (W) 을 수취하고, 4 개의 약액 처리조 (BT1 ∼ BT4) 의 4 개의 리프터 (LF1 ∼ LF4) 중 어느 것에 25 장의 기판 (W) 을 반송한다.
예를 들어, 반송 기구 (WTR) 는, 약액 처리조 (BT1) 의 리프터 (LF1) 에 25 장의 기판 (W) 을 반송한다. 리프터 (LF1) 는, 약액 처리조 (BT1) 의 상방의 위치에서 25 장의 기판 (W) 을 수취한다. 리프터 (LF1) 는, 약액 처리조 (BT1) 내의 약액으로서의 인산에 25 장의 기판 (W) 을 침지시킨다. 이에 따라, 에칭 처리가 25 장의 기판 (W) 에 대하여 실시된다. 에칭 처리 후, 리프터 (LF1) 는, 25 장의 기판 (W) 을 약액 처리조 (BT1) 의 인산으로부터 끌어올린다. 또, 25 장의 기판 (W) 이 다른 약액 처리조 (BT2 ∼ BT4) 의 리프터 (LF2 ∼ LF4) 의 각각에 반송된 경우에도 약액 처리조 (BT1) 와 동일한 처리가 실시된다.
〔스텝 S04〕순수 세정 처리 (배치 처리)
반송 기구 (WTR) 는, 예를 들어 리프터 (LF1) (또는 리프터 (LF2)) 로부터 연직 자세의 25 장의 기판 (W) 을 수취하고, 수세 처리조 (BT5) 의 리프터 (LF5) 에 25 장의 기판 (W) 을 반송한다. 리프터 (LF5) 는, 수세 처리조 (BT5) 의 상방의 위치에서 25 장의 기판 (W) 을 수취한다. 리프터 (LF5) 는, 수세 처리조 (BT5) 내의 순수에 25 장의 기판 (W) 을 침지시킨다. 이에 따라, 25 장의 기판 (W) 은 세정 처리가 실시된다.
또, 반송 기구 (WTR) 가 리프터 (LF3, LF4) 의 일방으로부터 연직 자세의 25 장의 기판 (W) 을 수취하는 경우, 반송 기구 (WTR) 는, 수세 처리조 (BT6) 의 리프터 (LF6) 에 25 장의 기판 (W) 을 반송한다. 리프터 (LF6) 는, 수세 처리조 (BT6) 내의 순수에 25 장의 기판 (W) 을 침지시킨다.
본 실시예에서는, 제 2 자세 변환부 (55) 는, 6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 를 개재하며 이송 재치 블록 (5) 의 반대측에 형성되어 있다. 반송 기구 (WTR) 는, 이송 재치 블록 (5) 에 가까운 측의 예를 들어 배치 처리조 (BT1 (BT3)) 로부터 이송 재치 블록 (5) 으로부터 먼 측의 배치 처리조 (BT5 (BT6)) 를 거쳐 제 2 자세 변환부 (55) 에 25 장의 기판 (W) 을 일괄적으로 반송한다.
〔스텝 S05〕수평 자세로의 자세 변환
도 8a ∼ 도 10 은, 제 2 자세 변환부 (55) 의 동작을 설명하기 위한 정면도이다. 또, 리프터 (LF9) 의 캐리어 지지부 (85) 가 제 1 높이 위치 (P1) 에 위치할 때, 캐리어 지지부 (85) 가 침지조 (63) 의 저면 부근에 위치한다. 캐리어 지지부 (85) 가 제 1 높이 위치 (P1) 에 위치할 때, 회전 기구 (65) 는 조내 캐리어 (61) 를 침지조 (63) 내에서 세로 회전할 수 있다. 캐리어 지지부 (85) 가 제 2 높이 위치 (P2) 에 위치할 때, 조내 캐리어 (61) 의 전체가 침지조 (63) 의 액면 아래에 위치한다. 캐리어 지지부 (85) 가 제 2 높이 위치 (P2) 에 위치할 때, 회전 기구 (65) 는, 출입구 (69) 가 위를 향한 조내 캐리어 (61) 에 대하여 클램핑 동작을 실시할 수 있다.
캐리어 지지부 (85) 가 제 3 높이 위치 (P3) 에 위치할 때, 조내 캐리어 (61) 와 푸셔 (67) 의 사이에서 25 장의 기판 (W) 을 주고 받을 수 있다. 캐리어 지지부 (85) 가 제 4 높이 위치 (P4) 에 위치할 때, 수평 자세의 25 장의 기판 (W) 이 수납된 조내 캐리어 (61) 가 침지조 (63) 내의 수면 아래에 위치한다.
도 8a 를 참조한다. 제 2 자세 변환부 (55) 의 조내 캐리어 (61) 의 출입구 (69) 는 위를 향한다. 반송 기구 (WTR) 는, 조내 캐리어 (61) 의 상방에 25 장의 기판 (W) 을 반송한다. 도 8b 를 참조한다. 그 후, 푸셔 승강 회전부 (91) 는, 25 장의 기판 (W) 을 연직 자세에서 유지할 수 있는 높이로 푸셔 (67) 를 상승시킨다. 이에 따라, 푸셔 (67) 는, 반송 기구 (WTR) 로부터 25 장의 기판 (W) 을 수취한다. 또, 푸셔 (67) 는, 2 개의 캐리어 지지부 (85) 의 사이, 이측 개구 (73) 및 출입구 (69) 를 순번으로 통과하여, 25 장의 기판 (W) 까지 상승된다.
도 8c 를 참조한다. 그 후, 반송 기구 (WTR) 는, 2 개의 척 (29, 30) 을 열어, 25 장의 기판 (W) 의 유지를 해제하고, 그 후, 조내 캐리어 (61) 의 상방에서부터 이동한다. 그 후, 캐리어 승강부 (87) 는, 캐리어 지지부 (85) 를 제 3 높이 위치 (P3) 로 상승시킨다. 이에 따라, 푸셔 (67) 에 의해 연직 자세에서 유지된 25 장의 기판 (W) 을 조내 캐리어 (61) 에 수납시킨다.
도 9a 를 참조한다. 그 후, 푸셔 승강 회전부 (91) 는, 침지조 (63) 의 저부까지 푸셔 (67) 를 하강시킨다. 또한, 캐리어 승강부 (87) 는, 캐리어 지지부 (85) 를 제 2 높이 위치 (P2) 로 하강시킨다. 이에 따라, 25 장의 기판 (W) 을 수납한 조내 캐리어 (61) 를 침지조 (63) 내의 순수에 침지시킨다. 그러므로, 각 기판 (W) 의 건조가 방지된다. 도 9b 를 참조한다. 그 후, 회전 기구 (65) 의 2 개의 에어 실린더 (79) 는, 2 개의 작동축 (79A) 을 전진시킴으로써, 2 개의 작동축 (79A) 으로 조내 캐리어 (61) (2 개의 측벽 (71)) 를 클램핑한다 (클램핑 동작).
도 9c 를 참조한다. 그 후, 캐리어 승강부 (87) 는, 캐리어 지지부 (85) 를 제 1 높이 위치 (P1) 로 하강시킨다. 이에 따라, 조내 캐리어 (61) 는, 2 개의 작동축 (79A) 에 의해서만 지지된다. 또한, 조내 캐리어 (61) 의 세로 회전이 가능하다. 회전 기구 (65) 는, 2 개의 작동축 (79A) (수평축) 둘레로 조내 캐리어 (61) 를 90 도 회전시킨다. 이에 따라, 디바이스면이 위를 향하면서, 25 장의 기판 (W) 은 연직 자세로부터 수평 자세로 변환된다. 또, 이 90 도의 회전은, 이측 개구 (73) 가 배판부 (83) 를 향하도록 실시된다 (도 5a 참조).
도 10 을 참조한다. 그 후, 캐리어 승강부 (87) 는, 캐리어 지지부 (85) 를 제 4 높이 위치 (P4) 로 상승시킨다. 그 후, 회전 기구 (65) 의 2 개의 에어 실린더 (79) 는, 2 개의 작동축 (79A) 을 후퇴시킴으로써, 2 개의 작동축 (79A) 에 의한 조내 캐리어 (61) 의 클램핑을 해방시킨다. 이에 따라, 조내 캐리어 (61) 는, 캐리어 지지부 (85) 에 의해서만 지지된다.
〔스텝 S06〕벨트 컨베이어에 의한 기판 반송
그 후, 제 2 자세 변환부 (55) 는, 조내 캐리어 (61) 에 수납된 수평 자세의 25 장의 기판 (W) 을 최상단의 기판 (W) 에서부터 순번으로 반출한다. 캐리어 승강부 (87) 는, 도 11a 에 나타내는 바와 같이 최상단의 기판 (W) 이 액면으로부터 나오도록, 조내 캐리어 (61) 를 지지하는 캐리어 지지부 (85) 를 상승시킨다. 또, 최상단의 기판 (W) 이외는, 순수 중에서 대기한다. 그 후, 압출 부재 진퇴부 (98) 는, 배판 개구 (83A) 및 이측 개구 (73) 로부터 조내 캐리어 (61) 내에 압출 부재 (96) 를 진입시키면서, 출입구 (69) 를 통해서 최상단의 기판 (W) 을 압출한다.
출입구 (69) 를 통해서 압출된 기판 (W) (적절하게 「1 번째의 기판 (W)」이라고 부른다) 은, 벨트 컨베이어 (101) 의 3 개의 벨트 (109A, 109B, 109C) 위에 재치된다. 도 6a, 도 6b 를 참조한다. 벨트 컨베이어 (101) 의 전동 모터 (112) 는, 풀리 (105) 를 회전시킴으로써, 1 번째의 기판 (W) 을 전달부 (103) 측으로 이동시킨다. 이 1 번째의 기판 (W) 이 2 개의 풀리 (105, 106) 사이의 소정의 위치를 통과하면, 제 2 자세 변환부 (55) 는, 2 번째의 기판 (W) 을 반출한다. 그 소정의 위치는, 예를 들어 광학 센서 (135) 로 검출한다. 광학 센서 (135) 가 1 번째의 기판 (W) 의 통과를 검출하면, 캐리어 승강부 (87) 는, 상측의 1 장의 기판 (W) 이 액면으로부터 나오도록, 캐리어 지지부 (85) 를 상승시킨다. 그 후, 도 11b 에 나타내는 바와 같이, 압출 부재 진퇴부 (98) 는, 압출 부재 (96) 로 2 번째의 기판 (W) 을 압출한다.
벨트 컨베이어 (101) 는, 전달부 (103) 에 기판 (W) 을 반송한다. 여기서, 복수 개의 샤워 헤드 (59) 는, 벨트 컨베이어 (101) 의 3 개의 벨트 (109A ∼ 109C) 를 따라 배치된다. 그러므로, 벨트 컨베이어 (101) 에서 기판 (W) 의 반송 중에 기판 (W) 이 건조되는 것을 방지할 수 있다. 벨트 컨베이어 (101) 의 벨트 (109C) 가 3 개의 리프트 핀 (123) 의 근처까지 배치되어 있으므로, 3 개의 리프트 핀 (123) 의 상방까지 기판 (W) 을 반송할 수 있다. 3 개의 리프트 핀 (123) 의 상방에 기판 (W) 이 반송되면, 리프트 핀 승강부 (125) 는, 리프트 핀 (123) 을 상승시킴으로써, 2 개의 벨트 (119, 121) 상의 기판 (W) 을 들어 올릴 수 있다. 그리고, 도 1 에 나타내는 제 1 센터 로봇 (CR1) 은, 3 개의 리프트 핀 (123) 으로 들어 올린 기판 (W) 을 제 1 핸드 (35) 로 유지하면서 반송한다.
〔스텝 S07〕제 1 매엽 처리
도 1 을 참조한다. 제 1 센터 로봇 (CR1) 은, 리프트 핀 (123) 으로부터 수취한 기판 (W) 을 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 에 반송한다. 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 는, 예를 들어, 회전 처리부 (45) 에 의해 디바이스면이 위를 향한 기판 (W) 을 회전시키면서, 노즐 (47) 로부터 디바이스면에 순수를 공급한다. 그 후, 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 는, 기판 (W) 의 디바이스면 (상면) 에 대하여 노즐 (47) 로부터 IPA 를 공급하여, 기판 (W) 의 순수를 IPA 로 치환한다.
〔스텝 S08〕제 2 매엽 처리 (건조 처리)
그 후, 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 로부터 IPA 로 젖어져 있는 기판 (W) 을 취출하고, 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 의 3 개의 리프트 핀 (52) 에 그 기판 (W) 을 반송한다. 그 후, 3 개의 리프트 핀 (52) 이 하강됨으로써, 지지 트레이 (49) 에 기판 (W) 이 재치된다. 그 후, 지지 트레이 (49) 가 챔버 본체 (48) 의 처리 공간 (48A) 으로 이동된다.
제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 는, 초임계 상태인 이산화탄소 (초임계 유체) 에 의해, 기판 (W) 에 대하여 건조 처리를 실시한다. 초임계 유체를 사용한 건조 처리에 의해, 기판 (W) 의 패턴면 (디바이스면) 의 패턴 도괴가 억제된다. 건조 처리 후, 지지 트레이 (49) 가 처리 공간 (48A) 으로부터 취출된다. 그 후, 지지 트레이 (49) 의 3 개의 구멍부 (49A) 를 통과하면서, 3 개의 리프트 핀 (52) 이 상승하여, 건조 처리 후의 기판 (W) 을 들어 올린다.
〔스텝 S09〕버퍼부에서 캐리어로의 기판 반송
제 1 센터 로봇 (CR1) 은, 제 2 핸드 (35) 를 사용하여, 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 의 3 개의 리프트 핀 (52) 으로부터 버퍼부 (33) 의 재치 선반 중 어느 하나에 기판 (W) 을 반송한다. 버퍼부 (33) 에 1 로트분 (25 장) 의 기판 (W) 이 반송되면, 기판 핸들링 기구 (HTR) 는, 버퍼부 (33) 로부터 선반 (13A) 에 재치된 비어 있는 캐리어 (C) 내에, 25 장의 기판 (W) 을 일괄 반송한다. 그 후, 스토커 블록 (3) 내의 캐리어 반송 기구 (11) 는, 처리 후의 기판 (W) 이 수납된 캐리어 (C) 를 로드 포트 (9) 에 반송한다. 도시되지 않은 외부 반송 로봇은, 로드 포트 (9) 의 캐리어 (C) 를 다음 목적지에 반송한다. 또, 기판 핸들링 기구 (HTR) 는, 버퍼부 (33) 로부터 선반 (13A) 에 재치된 캐리어 (C) 에 기판 (W) 을 1 장씩 되돌려도 된다.
본 실시예에 따르면, 습식 반송 영역 (R5) 은, 배치 처리 영역 (R1) 및 매엽 기판 반송 영역 (R3) 에 인접한다. 습식 반송 영역 (R5) 에는, 제 2 자세 변환부 (55), 벨트 컨베이어 기구 (57) 및 샤워 헤드 (59) 가 형성된다. 제 2 자세 변환부 (55) 는, 6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 의 열의 연장선 상에 형성되고, 침지 처리가 실시된 복수 장의 기판 (W) 을 연직 자세로부터 수평 자세로 변환시킨다. 벨트 컨베이어 기구 (57) 는, 제 2 자세 변환부 (55) 로부터 수평 자세의 기판 (W) 을 1 장씩 수취하여 매엽 기판 반송 영역 (R3) 에 반송한다. 샤워 헤드 (59) 는, 벨트 컨베이어 기구 (57) 에 의해 반송되는 기판 (W) 을 젖게 하기 위해서 액체를 공급한다. 벨트 컨베이어 기구 (57) 는, 샤워 헤드 (59) 에 의해 젖은 기판 (W) 을, 제 2 자세 변환부 (55) 로부터 매엽 기판 반송 영역 (R3) 측으로 반송한다. 매엽 기판 반송 영역 (R3) 의 제 1 센터 로봇 (CR1) 은, 벨트 컨베이어 기구 (57) 에 의해 반송되어 온 수평 자세의 기판 (W) 을 수취하여 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 에 반송한다. 그러므로, 배치 처리 영역 (R1) 으로부터 매엽 처리 영역 (R4) 으로의 기판 반송에 있어서, 기판 (W) 의 건조를 방지할 수 있다.
또한, 매엽 기판 반송 영역 (R3) 이 배치 처리 영역 (R1) 으로부터 떨어져 있어도, 벨트 컨베이어 기구 (57) 가 기판 (W) 을 반송하므로, 제 1 센터 로봇 (CR1) 은, 기판 (W) 을 수취하는 것이 용이하다. 또한, 벨트 컨베이어 기구 (57) 및 샤워 헤드 (59) 는, 기판 (W) 의 건조를 방지할 수 있다. 그러므로, 반송 경로를 길게 할 수 있고, 이로써, 배치 처리 영역 (R1) 과 매엽 처리 영역 (R4) 의 배치 자유도를 늘릴 수 있다.
또한, 매엽 기판 반송 영역 (R3) 은, 배치 처리 영역 (R1) 과 매엽 처리 영역 (R4) 의 사이에 개재된다. 이에 따라, 이송 재치 블록 (5), 배치 처리 영역 (R1) 및 매엽 처리 영역 (R4) 은, 매엽 기판 반송 영역 (R3) 을 중심으로 하여 배치할 수 있다.
또한, 매엽 처리 영역 (R4) 에는, 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 와 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 가 형성되고, 양 챔버 (SW1, SW2) 의 사이에서 기판 (W) 을 반송하는 제 2 센터 로봇 (CR2) 이 추가로 형성된다. 제 1 센터 로봇 (CR1) 은, 벨트 컨베이어 기구 (57) 에 의해 반송되어 온 수평 자세의 기판 (W) 을 수취하여 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 에 반송하고, 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 에서 처리된 기판 (W) 을 반출한다. 이에 따라, 기판 (W) 은, 2 대의 센터 로봇 (CR1, CR2) 에 의해 반송되므로, 스루풋을 향상시킬 수 있다.
제 2 자세 변환부 (55) 는, 조내 캐리어 (61) 를 순수에 침지시킬 수 있는 침지조 (63) 를 구비한다. 그러므로, 조내 캐리어 (61) 에 수납되는 기판 (W) 의 건조를 방지할 수 있다. 또한, 압출 부재 진퇴부 (98) 는, 압출 부재 (96) 로 조내 캐리어 (61) 에 수납되는 기판 (W) 을 압출할 수 있다. 그러므로, 제 1 센터 로봇 (CR1) 의 핸드 (35) 를 진입시키지 않고도, 조내 캐리어 (61) 로부터 기판 (W) 을 취출할 수 있다.
[실시예 2]
다음으로, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 2 를 설명한다. 또, 실시예 1 과 중복되는 설명은 생략한다. 도 12 는, 실시예 2 에 관련된 기판 처리 장치 (1) 의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
실시예 1 에서는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 매엽 기판 반송 영역 (R3) 은, 배치 처리 영역 (R1) 과 매엽 처리 영역 (R4) 의 사이에 개재되었다. 이 점, 실시예 2 에서는, 도 12 에 나타내는 바와 같이, 매엽 처리 영역 (R4) 은, 배치 처리 영역 (R1) 과 매엽 기판 반송 영역 (R3) 의 사이에 개재된다.
즉, 배치 처리 영역 (R1), 매엽 처리 영역 (R4) 및 매엽 기판 반송 영역 (R3) 은, 이 순번으로 우방 Y 에 배치된다. 그러므로, 도 12 에 있어서, 매엽 기판 반송 영역 (R3) 의 우방에 제 2 매엽 처리 영역 (R6) 을 배치할 수 있다. 이에 따라, 매엽 기판 반송 영역 (R3) 을 통해 매엽 처리 영역 (R4) 의 반대측 영역을 제 2 매엽 처리 영역 (R6) 으로서 이용할 수 있으므로, 많은 매엽 처리 챔버를 배치할 수 있다. 또, 배치 처리 영역 (R1) 과 매엽 처리 영역 (R4) 의 사이에는, 메인터넌스를 위한 영역 (R7) 이 존재하지만, 영역 (R7) 은 존재하지 않아도 된다. 또한, 이송 재치 블록 (5) 은, 버퍼부 (33) 를 구비한다. 기판 핸들링 기구 (HTR) 는, 레일 (136) 을 따라 폭 방향 Y 로 이동할 수 있다.
또한, 도 12 에 나타내는 기판 처리 장치 (1) 에서는, 벨트 컨베이어 기구 (57) 는, 제 2 자세 변환부 (55) 로부터 매엽 기판 반송 영역 (R3) 에 직선상으로 기판 (W) 을 반송하였다. 이 점, 벨트 컨베이어 기구 (57) 는, 기판 (W) 을 직선상으로 반송할 수 없는 경우에, 평면에서 보았을 때, 방해하는 요소를 돌아 들어가도록 형성되어도 된다. 이에 따라, 벨트 컨베이어 기구 (57) 가 장해물을 돌아 들어가면서 기판 (W) 을 반송할 수 있으므로, 매엽 처리 영역 (R4) 등의 배치 자유도를 높일 수 있다.
도 13 을 참조한다. 매엽 처리 영역 (R4) 에는, 2 개의 매엽 처리 챔버 (SW1, SW2) 의 후방 X 에 예를 들어 사이드 캐비닛 (137) 이 형성되는 경우가 있다. 사이드 캐비닛 (137) 에는, 예를 들어, 약액을 공급하기 위한 보틀, 약액 배관, 순수 배관 및 배기 덕트의 적어도 1 개가 형성된다. 이 경우, 매엽 처리 영역 (R4) 의 사이드 캐비닛 (137) 이 개재됨으로써, 벨트 컨베이어 기구 (57) 는, 제 2 자세 변환부 (55) 로부터 매엽 기판 반송 영역 (R3) 에 직선상으로 기판 (W) 을 반송할 수 없다. 장해물은, 사이드 캐비닛 (137) 에 한정되지 않고, 예를 들어 매엽 처리 챔버여도 된다.
그래서, 벨트 컨베이어 기구 (139) 는, 예를 들어 3 대 (n 대) 의 벨트 컨베이어 (141, 143, 145) 와, 예를 들어 2 대 (n-1 대) 의 방향 변환부 (147, 149) 를 구비한다. 또, 「n」는 2 이상의 자연수이다. 제 2 자세 변환부 (55) 는, 후방 X 를 향하고 있다. 즉, 압출 부재 진퇴부 (98) 는, 압출 부재 (96) 를 전후 방향 X 를 따라 진퇴시킨다.
제 2 자세 변환부 (55) 의 후방 X 에는, 제 1 벨트 컨베이어 (141) 가 형성된다. 제 1 벨트 컨베이어 (141) 의 후방 X 에는, 제 1 방향 변환부 (147) 가 형성된다. 제 1 방향 변환부 (147) 의 우방 Y 에는, 제 2 벨트 컨베이어 (143) 가 형성된다. 제 2 벨트 컨베이어 (143) 의 우방 Y 에는, 제 2 방향 변환부 (149) 가 형성된다. 제 2 방향 변환부 (149) 의 전방 X 에는, 제 3 벨트 컨베이어 (145) 가 형성된다. 제 3 벨트 컨베이어 (145) 의 전방 X 에는, 전달부 (103) (도 6b 참조) 가 형성된다.
3 대의 벨트 컨베이어 (141 ∼ 145) 와 2 대의 방향 변환부 (147, 149) 는 각각 벨트 (151 (151A)) 를 구동시키기 위해서 전동 모터를 구비한다. 또한, 제 1 방향 변환부 (147) 는, 반송 방향이 상이한 2 대의 벨트 컨베이어 (141, 143) 의 사이에서 기판 (W) 을 반송하기 위해서, 기판 (W) 의 반송 방향을 바꾼다. 제 1 방향 변환부 (147) 는, 도 14a 에 나타내는 바와 같이, 2 개의 풀리 (153, 154) 와, 풀리 (153, 154) 에 감겨진 2 개의 벨트 (151A) 와, 2 개의 풀리 (153, 154) 를 회전할 수 있게 지지하는 지지 부재 (155) 와, 승강 회전부 (157) 를 구비한다. 승강 회전부 (157) 는, 지지 부재 (155) 를 승강시키고, 또한, 지지 부재 (155) 를 연직축 (AX15) 둘레로 회전시킨다. 또, 제 2 방향 변환부 (149) 는, 제 1 방향 변환부 (147) 와 동일하게 구성된다. 또, 승강 회전부 (157) 는, 예를 들어 복수 개의 전동 모터를 구비한다.
또, 도 14a, 도 14b 에 있어서, 2 대의 벨트 컨베이어 (141, 143) 는 각각 풀리 (158) 를 갖는다. 또, 제 3 벨트 컨베이어 (145) (도 13) 도, 풀리 (158) 를 갖는다. 도 14a 에 나타내는 바와 같이, 예를 들어 제 2 벨트 컨베이어 (143) 는, 제 1 벨트 컨베이어 (141) 보다 높은 위치에 배치된다. 또한, 제 3 벨트 컨베이어 (145) 는, 제 2 벨트 컨베이어 (143) 보다 낮은 위치에 배치된다. 또, 제 3 벨트 컨베이어 (145) 는, 제 2 벨트 컨베이어 (143) 보다 높은 위치에 배치되어도 된다.
여기서, 제 1 방향 변환부 (147) 의 동작을 설명한다. 도 14a 를 참조한다. 기판 (W) 은, 제 1 벨트 컨베이어 (141) 에 의해 제 1 방향 변환부 (147) 에 반송된다. 제 1 방향 변환부 (147) 는, 도 14b 에 나타내는 바와 같이, 2 대의 벨트 컨베이어 (141, 143) 와 간섭되지 않는 높이에서, 2 개의 풀리 (153, 154) 및 지지 부재 (155) 등을 연직축 (AX15) 둘레로 회전시킨다. 그 후, 제 1 방향 변환부 (147) 는, 2 개의 풀리 (153, 154) 를 제 2 벨트 컨베이어 (143) (풀리 (158)) 와 동일한 높이로 상승시킨다. 그 후, 제 1 방향 변환부 (147) 는, 전동 모터에 의해 벨트 (151A) 를 구동시킴으로써, 제 2 벨트 컨베이어 (143) 에 기판 (W) 을 반송한다.
다음으로, 벨트 컨베이어 기구 (139) 의 동작을 설명한다. 제 2 자세 변환부 (55) 의 푸셔 (67) 는, 반송 기구 (WTR) 에 의해 폭 방향 Y 로 정렬되는 25 장의 기판 (W) 을 수취한다. 그 후, 푸셔 승강 회전부 (91) 는, 연직축 (AX5) 둘레로 푸셔 (67) 를 90 도 회전시킨다. 이에 따라, 25 장의 기판 (W) 은, 전후 방향 X 로 정렬된다. 제 2 자세 변환부 (55) 는, 침지조 (63) 에 저류되는 순수 중에서, 전후 방향 X 로 정렬된 25 장의 기판 (W) 을 연직 자세로부터 수평 자세로 변환시킨다.
그 후, 제 2 자세 변환부 (55) 는, 압출 부재 (96) 에 의해 제 1 벨트 컨베이어 (141) 에 기판 (W) 을 압출한다. 제 1 벨트 컨베이어 (141) 는, 제 1 방향 변환부 (147) 에 기판 (W) 을 반송한다. 제 1 방향 변환부 (147) 는, 기판 (W) 을 상승시키면서, 기판 (W) 의 반송 방향을 바꾸어, 제 2 벨트 컨베이어 (143) 에 기판 (W) 을 반송한다. 제 2 벨트 컨베이어 (143) 는, 제 2 방향 변환부 (149) 에 기판 (W) 을 반송한다. 제 2 방향 변환부 (149) 는, 기판 (W) 을 하강시키면서, 기판 (W) 의 반송 방향을 바꾸어, 제 3 벨트 컨베이어 (145) 에 기판 (W) 을 반송한다. 제 3 벨트 컨베이어 (145) 는, 전달부 (103) 에 기판 (W) 을 반송한다. 전달부 (103) 는, 3 개의 리프트 핀 (123) 으로 기판 (W) 을 들어 올린다. 그리고, 제 1 센터 로봇 (CR1) 은, 제 1 핸드 (35) 를 사용하여, 3 개의 리프트 핀 (123) 에 의해 들어 올려진 기판 (W) 을 유지하고, 그 후, 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 에 기판 (W) 을 반송한다.
3 대의 벨트 컨베이어 (141, 143, 145) 의 각각의 벨트 (151) 를 따라, 복수 개의 샤워 헤드 (59) 가 형성되어 있다. 샤워 헤드 (59) 는, 반송되는 기판 (W) 에 순수를 샤워 형상으로 공급한다. 그러므로, 벨트 컨베이어 기구 (139) 에 있어서, 기판 (W) 의 건조를 방지할 수 있다. 또, 각 방향 변환부 (147, 149) 에도, 샤워 헤드 (59) 가 형성되어도 된다.
[실시예 3]
다음으로, 도면을 참조하며 본 발명의 실시예 3 을 설명한다. 또, 실시예 1, 2 와 중복되는 설명은 생략한다. 도 15 는, 실시예 3 에 관련된 기판 처리 장치 (1) 의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
실시예 1 에서는, 제 1 센터 로봇 (CR1) 은, 벨트 컨베이어 기구 (57) 로부터 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 에 기판 (W) 을 반송하고, 또한, 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 로부터 버퍼부 (33) 에 기판 (W) 을 반송하였다. 또한, 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 로부터 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 에 기판 (W) 을 반송하였다. 이 점, 실시예 3 에서는, 제 1 센터 로봇 (CR1) 은, 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 로부터 버퍼부 (33) 에 기판 (W) 을 반송한다. 또한, 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 벨트 컨베이어 기구 (57) 로부터 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 에 기판 (W) 을 반송하고, 또한, 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 로부터 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 에 기판 (W) 을 반송한다.
매엽 처리 영역 (R4) 에는, 2 개의 매엽 처리 챔버 (SW1, SW2) 가 형성되고, 양 챔버 (SW1, SW2) 의 사이에 배치된 제 2 매엽 기판 반송 영역 (R8) 이 추가로 형성된다. 습식 반송 영역 (R5) 은, 배치 처리 영역 (R1) 의 일단측으로, 이송 재치 블록 (5) 이 형성된 측과는 반대측에 형성된다. 매엽 기판 반송 영역 (R3) 은, 이송 재치 블록 (5) 측의 이송 재치 블록측 반송 영역 (R31) 과 벨트 컨베이어 기구 (57) 측의 벨트 컨베이어측 반송 영역 (R32) 을 갖는다.
이송 재치 블록측 반송 영역 (R31) 에는, 제 1 센터 로봇 (CR1) 이 형성된다. 제 1 센터 로봇 (CR1) 은, 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 에서 처리된 기판 (W) 을 반출한다. 즉, 제 1 센터 로봇 (CR1) 은, 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 에서 처리된 기판 (W) 을 버퍼부 (33) 에 반송한다. 제 2 매엽 기판 반송 영역 (R8) 및 벨트 컨베이어측 반송 영역 (R32) 에는, 제 2 센터 로봇 (CR2) 이 형성된다. 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 벨트 컨베이어 기구 (57) 에 의해 반송되어 온 수평 자세의 기판 (W) 을 수취하여, 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 에 반송한다. 또한, 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 에 의해 처리된 기판 (W) 을 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 에 반송한다. 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 제 2 매엽 기판 반송 영역 (R8) 과 벨트 컨베이어측 반송 영역 (R32) 의 사이를 폭 방향 Y 로 이동할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 제 1 센터 로봇 (CR1) 은, 건조 처리 후의 기판 (W) 만을 반송할 수 있음과 함께, 제 2 센터 로봇 (CR2) 은, 젖은 기판 (W) 만을 반송할 수 있다.
[실시예 4]
다음으로, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 4 를 설명한다. 또, 실시예 1 ∼ 3 과 중복되는 설명은 생략한다. 도 16 은, 실시예 4 에 관련된 기판 처리 장치 (1) 의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
실시예 1 에서는, 습식 반송 영역 (R5) 은, 배치 처리 영역 (R1) 의 일단측으로, 이송 재치 블록 (5) 이 형성된 측과는 반대측에 형성되었다. 이 점, 실시예 4 에서는, 습식 반송 영역 (R5) 은, 이송 재치 블록 (5) 과 배치 처리 영역 (R1) 의 사이에 개재되어 있다.
본 실시예에 따르면, 습식 반송 영역 (R5) 은, 이송 재치 블록 (5) 의 근처에 배치된다. 그러므로, 제 1 센터 로봇 (CR1) 은, 이송 재치 블록 (5) 측을 기점으로 하여 기판 (W) 을 반송할 수 있다. 또한, 약액 처리조 (BT1 ∼ BT4) 를 이송 재치 블록 (5) 으로부터 떨어진 위치에 둘 수 있으므로, 이송 재치 블록 (5) 의 기판 핸들링 기구 (HTR) 등의 기구가 약액 분위기에 의해 부식되는 등의 악영향을 억제할 수 있다.
또한, 습식 반송 영역 (R5) 은, 배치 처리 영역 (R1) 의 예를 들어 2 개의 배치 처리조 (BT3, BT4) 의 사이에 개재되어도 된다. 이에 따라, 6 개의 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 의 열의 중앙측을 기점으로 하여 기판 (W) 을 반송할 수 있다.
본 발명은, 상기 실시형태에 한정되는 일은 없고, 하기와 같이 변형 실시할 수 있다.
(1) 상기 서술한 각 실시예에서는, 벨트 컨베이어 기구 (57 (139)) 는, 복수 개의 샤워 헤드 (59) 를 갖고 있어, 반송 중인 기판 (W) 의 건조를 방지하였다. 이 점, 벨트 컨베이어 기구 (57 (139)) 는, 예를 들어, 도 17 에 나타내는 바와 같이, 침지조 (63) 에 저류된 순수 중에서 기판 (W) 을 반송해도 된다. 이 경우, 예를 들어, 분출관 (77) 이 본 발명의 액체 공급부에 상당한다. 또한, 액체 공급부로서 샤워 헤드 (59) 는, 기판 (W) 에 대하여 샤워 형상의 순수를 공급하였다. 이 점, 액체 공급부는, 기판 (W) 에 대하여 미스트 형상의 순수를 공급 해도 된다.
(2) 상기 서술한 각 실시예 및 변형예 (1) 에서는, 처리 블록 (7) 은, 제 1 센터 로봇 (CR1) 에 추가하여, 제 2 센터 로봇 (CR2) 을 구비하였다. 이 점, 필요에 따라, 처리 블록 (7) 은, 제 2 센터 로봇 (CR2) 을 형성하지 않아도 된다. 이 경우, 제 1 센터 로봇 (CR1) 은, 제 1 매엽 처리 챔버 (SW1) 로부터 제 2 매엽 처리 챔버 (SW2) 에 기판 (W) 을 반송한다.
(3) 상기 서술한 각 실시예 및 각 변형예에서는, 각 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 는, 풀 피치 (예를 들어 10 ㎜) 로 또한 페이스·투·백 형식으로 정렬된 25 장의 기판 (W) 을 처리하였다. 페이스·투·백 형식은, 모든 기판 (W) 의 디바이스면이 같은 방향을 향하는 나열 방식이다. 그 점, 각 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 는, 풀 피치의 절반의 간격인 하프 피치 (예를 들어 5 ㎜) 로 정렬된 50 장의 기판 (W) 을 처리해도 된다.
또, 도 5a 에 나타내는 압출 부재 (96) 는, 수평 자세의 기판 (W) 의 단부에 접촉하면서, 기판 (W) 을 수평으로 압출하고 있다. 그러므로, 50 장의 기판 (W) 이 하프 피치로 또한 페이스·투·백 방식으로 정렬되어 있어도, 2 장의 기판 (W) 의 간격을 넓히지 않고 1 장의 기판 (W) 을 압출 부재 (96) 에 의해 취출할 수 있다.
또한, 각 배치 처리조 (BT1 ∼ BT6) 는, 페이스·투·페이스 방식으로 정렬된 50 장의 기판 (W) 을 처리해도 된다. 페이스·투·페이스 방식은, 인접하는 2 장의 기판 (W) 의 2 개의 디바이스면 (또는 2 개의 이면) 이 마주보고 있는 나열 방식이다. 이 경우, 배치 기판 반송 영역 (R2) 은, 하프 피치로 정렬된 50 장의 기판 (W) 을 반송하는 반송 기구 (WTR) 에 추가하여, 하프 피치로 정렬된 50 장의 기판 (W) 으로부터 1 장 간격으로 정렬된 25 장의 기판 (W) 을 발출할 수 있는 제 2 반송 기구를 구비한다. 제 2 반송 기구는, 예를 들어 수세 처리조 (BT5) 의 리프터 (LF5) 로부터 푸셔 (67) 에 25 장의 기판 (W) 을 반송한다.
(4) 상기 서술한 각 실시예 및 각 변형예에서는, 매엽 처리 챔버 (SW2) 는, 초임계 유체를 사용하여 기판 (W) 의 건조 처리를 실시하였다. 이 점, 매엽 처리 챔버 (SW2) 는, 매엽 처리 챔버 (SW1) 와 동일하게 회전 처리부 (45) 와 노즐 (47) 을 구비해도 된다. 이 경우, 매엽 처리 챔버 (SW1, SW2) 는 각각 예를 들어 순수 및 IPA 를 이 순번으로 기판 (W) 에 공급한 후, 기판 (W) 의 건조 처리 (스핀 건조) 를 실시한다.
본 발명은, 그 사상 또는 본질로부터 일탈되지 않고 다른 구체적인 형태로 실시할 수 있으며, 따라서, 발명의 범위를 나타내는 것으로서, 이상의 설명이 아니라, 부가된 클레임을 참조해야 한다.
1 … 기판 처리 장치
5 … 이송 재치 블록
7 … 처리 블록
13A … 선반
HTR … 기판 핸들링 기구
15 … 제 1 자세 변환 기구
PP … 기판 수수 위치
R1 … 배치 처리 영역
R2 … 배치 기판 반송 영역
R3 … 매엽 기판 반송 영역
R4 … 매엽 처리 영역
R5 … 습식 반송 영역
BT1 ∼ BT6 … 배치 처리조
WTR … 반송 기구
CR1 … 제 1 센터 로봇
CR2 … 제 2 센터 로봇
55 … 제 2 자세 변환부
57, 139 … 벨트 컨베이어 기구
59 … 샤워 헤드
61 … 조내 캐리어
63 … 침지조
65 … 회전 기구
69 … 출입구
71 … 2 개의 측벽
73 … 이측 개구
75 … 유지 홈
79A … 작동축
85 … 캐리어 지지부
96 … 압출 부재
98 … 압출 부재 진퇴부

Claims (8)

  1. 복수 장의 기판을 일괄적으로 처리하는 배치 처리와, 기판을 1 장씩 처리하는 매엽 처리를 연속해서 실시하는 기판 처리 장치로서,
    복수 장의 기판을 수평 자세에서 소정 간격을 두고 연직 방향으로 수납하는 캐리어를 재치하는 캐리어 재치 선반과,
    상기 캐리어 재치 선반에 인접하는 이송 재치 블록과,
    상기 이송 재치 블록에 인접하는 처리 블록을 구비하고,
    상기 이송 재치 블록은,
    상기 캐리어로부터 취출된 상기 복수 장의 기판을 수평 자세로부터 연직 자세로 변환시키는 제 1 자세 변환 기구와,
    상기 캐리어 재치 선반에 재치된 상기 캐리어로부터 상기 복수 장의 기판을 일괄적으로 취출하여 상기 제 1 자세 변환 기구에 반송하고, 또한, 상기 캐리어 재치 선반에 재치된 상기 캐리어에 상기 매엽 처리된 기판을 되돌리는 기판 핸들링 기구를 구비하고,
    상기 처리 블록은,
    상기 이송 재치 블록으로부터 멀어지는 방향으로 연장되는 배치 처리 영역과,
    상기 배치 처리 영역을 따라 형성되며, 일단측이 상기 이송 재치 블록에까지 연장되고, 타단측이 상기 이송 재치 블록으로부터 멀어지는 방향으로 연장되는 배치 기판 반송 영역과,
    상기 이송 재치 블록으로부터 멀어지는 방향으로 연장되는 매엽 기판 반송 영역과,
    상기 매엽 기판 반송 영역을 따라 형성된 매엽 처리 영역과,
    상기 배치 처리 영역 및 상기 매엽 기판 반송 영역에 인접하는 습식 반송 영역을 구비하고,
    상기 배치 처리 영역에는, 그 영역이 연장되는 방향으로 복수 장의 기판을 일괄적으로 침지 처리하는 복수 개의 배치 처리조가 나열되고,
    상기 습식 반송 영역에는, 상기 복수 개의 배치 처리조의 열의 연장선 상에 형성되고, 상기 침지 처리가 실시된 상기 복수 장의 기판을 연직 자세로부터 수평 자세로 변환시키는 제 2 자세 변환 기구와, 상기 제 2 자세 변환 기구로부터 수평 자세의 기판을 1 장씩 수취하여 상기 매엽 기판 반송 영역에 반송하는 벨트 컨베이어 기구와, 상기 벨트 컨베이어 기구에 의해 반송되는 기판을 젖게 하기 위해서 액체를 공급하는 액체 공급부가 형성되고,
    상기 매엽 처리 영역에는, 그 영역이 연장되는 방향으로 기판을 1 장씩 처리하는 복수 개의 매엽 처리 챔버가 나열되고,
    상기 매엽 기판 반송 영역에는, 상기 벨트 컨베이어 기구에 의해 반송되어 온 수평 자세의 기판을 수취하여 상기 매엽 처리 챔버에 반송하고, 상기 매엽 처리 챔버에서 처리된 기판을 반출할 수 있는 매엽 기판 반송 기구가 형성되고,
    상기 배치 기판 반송 영역에는, 상기 이송 재치 블록 내에 정해진 기판 수수 위치와 상기 복수 개의 배치 처리조와 상기 제 2 자세 변환 기구의 사이에서 복수 장의 기판을 일괄적으로 반송하는 배치 기판 반송 기구가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 매엽 기판 반송 영역은, 상기 배치 처리 영역과 상기 매엽 처리 영역의 사이에 개재되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 매엽 처리 영역에는, 상기 복수 개의 매엽 처리 챔버로서 제 1 매엽 처리 챔버와 제 2 매엽 처리 챔버가 형성되고, 양 챔버의 사이에서 기판을 반송하는 제 2 매엽 기판 반송 기구가 추가로 형성되고,
    상기 매엽 기판 반송 기구는, 상기 벨트 컨베이어 기구에 의해 반송되어 온 수평 자세의 기판을 수취하여 상기 제 1 매엽 처리 챔버에 반송하고, 상기 제 2 매엽 처리 챔버에서 처리된 기판을 반출하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 매엽 처리 영역은, 상기 배치 처리 영역과 상기 매엽 기판 반송 영역의 사이에 개재되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 습식 반송 영역은, 상기 배치 처리 영역의 일단측으로, 상기 이송 재치 블록이 형성된 측과는 반대측에 형성되고,
    상기 벨트 컨베이어 기구는, 상기 매엽 처리 영역이 개재됨으로써, 상기 제 2 자세 변환 기구로부터 상기 매엽 기판 반송 영역에 직선상으로 기판을 반송할 수 없는 경우에, 평면에서 보았을 때, 상기 매엽 처리 영역을 돌아 들어가도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 습식 반송 영역은, 상기 이송 재치 블록과 상기 배치 처리 영역의 사이에 개재되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 매엽 처리 영역에는, 상기 복수 개의 매엽 처리 챔버로서 제 1 매엽 처리 챔버와 제 2 매엽 처리 챔버가 형성되고, 양 챔버의 사이에 배치된 제 2 매엽 기판 반송 영역이 추가로 형성되고,
    상기 습식 반송 영역은, 상기 배치 처리 영역의 일단측으로, 상기 이송 재치 블록이 형성된 측과는 반대측에 형성되고,
    상기 매엽 기판 반송 영역은, 상기 이송 재치 블록측의 이송 재치 블록측 반송 영역과, 상기 벨트 컨베이어 기구측의 벨트 컨베이어측 반송 영역을 갖고,
    상기 제 2 매엽 기판 반송 영역 및 상기 벨트 컨베이어측 반송 영역에는, 상기 벨트 컨베이어 기구에 의해 반송되어 온 수평 자세의 기판을 수취하여, 상기 제 1 매엽 처리 챔버에 반송하고, 또한, 상기 제 1 매엽 처리 챔버에서 처리된 기판을 상기 제 2 매엽 처리 챔버에 반송하는 제 2 매엽 기판 반송 기구가 형성되고,
    상기 매엽 기판 반송 기구는, 상기 제 2 매엽 처리 챔버에서 처리된 기판을 반출하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 2 자세 변환 기구는,
    기판을 출입시키기 위한 출입구를 가짐과 함께, 상기 출입구를 통과한 상기 복수 장의 기판을 수납하기 위한 복수 쌍의 유지 홈이 각각 대향하도록 형성된 2 개의 측벽을 갖는 조내 캐리어로서, 상기 복수 장의 기판을 개재하며 상기 출입구에 대향하여 배치되고, 각 기판의 직경 방향에서 각 기판의 직경보다 작은 폭을 갖는 이측 개구를 구비한 상기 조내 캐리어와,
    상기 조내 캐리어를 침지액에 침지시키기 위해서 침지액을 저류하는 침지조와,
    상기 조내 캐리어를 하측에서부터 지지하는 캐리어 지지부와,
    상기 캐리어 지지부를 승강시키는 캐리어 승강부와,
    상기 복수 장의 기판을 연직 자세로부터 수평 자세로 변환시키기 위해서, 수평 방향으로 연장되는 2 개의 회전 샤프트로 상기 조내 캐리어의 상기 2 개의 측벽을 클램핑하면서, 상기 2 개의 회전 샤프트 둘레로 상기 조내 캐리어를 회전시키는 회전 기구와,
    상기 조내 캐리어에 수납되는 1 장의 기판을 압출하기 위한 압출 부재와,
    상기 압출 부재를 수평 방향으로 진퇴시키는 압출 부재 진퇴부를 구비하고,
    상기 압출 부재 진퇴부는, 상기 조내 캐리어에 수납된 상기 복수 장의 기판이 수평 자세일 때에, 상기 이측 개구로부터 상기 조내 캐리어 내에 상기 압출 부재를 진입시키면서, 상기 출입구를 통해서 상기 1 장의 기판을 압출하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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