KR20240010781A - 도포액 검사 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

도포액 검사 장치 및 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 도포액 검사 장치는, 평면판, 상기 평면판을 일 방향으로 이동시키는 이동부, 상기 이동하는 평면판에 도포액을 토출하는 디스펜서, 상기 도포액에 레이저 빔을 조사하는 레이저 조사부, 상기 도포액으로부터 반사된 레이저 빔의 영상을 획득하는 영상 획득부, 상기 영상으로부터 상기 도포액이 토출되는 일정 기간에 대응되는 상기 도포액의 높이의 평균 값을 산출하는 영상 처리부 및 상기 평균 값을 기초로 상기 디스펜서의 높낮이를 조절하는 검사 장치 제어부를 포함한다.

Description

도포액 검사 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR COATING SOLUTION}
본 발명은 도포액 검사 기술과 관련된다.
도포액 검사 장치는 물체에 도포된 투명 도포액을 검사하는 장치이다. 이때, 도포액은 접착재, 유기 물질 등 다양할 수 있다.
종래에는 디스펜서에서 토출되는 도포액의 높이가 일정하지 않기 때문에 도포액의 상단면이 평평하지 않게 된다. 이 경우, 검사 장치는 도포액의 상단면을 향하여 레이저 빔을 송출하지만, 도포액의 상단면이 평평하지 않기 때문에 도포액으로부터 반사되는 레이저 빔의 각도가 불규칙하게 된다. 따라서, 종래의 검사 장치는 정확도가 떨어진다는 문제점이 있다.
본 발명의 실시 예들은 실시간으로 측정된 도포액의 높이를 기초로 디스펜서의 높낮이를 조절할 수 있는 도포액 검사 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 도포액 검사 장치는, 평면판, 상기 평면판을 일 방향으로 이동시키는 이동부, 상기 이동하는 평면판에 도포액을 토출하는 디스펜서, 상기 도포액에 레이저 빔을 조사하는 레이저 조사부, 상기 도포액으로부터 반사된 레이저 빔의 영상을 획득하는 영상 획득부, 상기 영상으로부터 상기 도포액이 토출되는 일정 기간에 대응되는 상기 도포액의 높이의 평균 값을 산출하는 영상 처리부 및 상기 평균 값을 기초로 상기 디스펜서의 높낮이를 조절하는 검사 장치 제어부를 포함한다.
상기 영상 처리부는, 상기 일정 기간 동안에 상기 도포액의 높이 값들을 측정하고, 상기 측정된 도포액의 높이 값들 중 이상 값을 제외한 나머지 높이 값들을 기초로 상기 평균 값을 산출할 수 있다.
상기 이상 값은, 상기 측정된 도포액의 높이 값들 중 기 설정된 최대 값보다 크거나 기 설정된 최소 값보다 작은 값일 수 있다.
상기 영상 처리부는, 기 설정된 주기마다 상기 평균 값을 산출할 수 있다.
상기 검사 장치 제어부는, 상기 평균 값이 상기 도포액의 기준 높이 값에 근접해지도록 상기 디스펜서의 높낮이를 조절할 수 있다.
상기 검사 장치 제어부는, 상기 평균 값이 상기 기준 높이 값보다 크면, 상기 디스펜서의 높이를 높이고, 상기 평균 값이 상기 기준 높이 값보다 작으면, 상기 디스펜서의 높이를 낮출 수 있다.
본 발명의 실시 예들에 따르면, 디스펜서에서 토출되는 도포액의 높이를 실시간으로 측정하고, 측정된 도포액의 높이를 기초로 디스펜서의 높낮이를 조절함으로써, 도포액의 상단면을 평평하게 유지시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명은 불규칙한 도포액의 높이에 의해 발생되는 오차를 줄여 도포액 검사 장치의 정확도를 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 도포액 검사 장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 디스펜서의 높낮이를 조절하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 디스펜서의 높낮이를 조절하는 다른 예를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하기로 한다. 이하의 상세한 설명은 본 명세서에서 기술된 방법, 장치 및/또는 시스템에 대한 포괄적인 이해를 돕기 위해 제공된다. 그러나 이는 예시에 불과하며 본 발명은 이에 제한되지 않는다.
본 발명의 실시예들을 설명함에 있어서, 본 발명과 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. 상세한 설명에서 사용되는 용어는 단지 본 발명의 실시예들을 기술하기 위한 것이며, 결코 제한적이어서는 안 된다. 명확하게 달리 사용되지 않는 한, 단수 형태의 표현은 복수 형태의 의미를 포함한다. 본 설명에서, "포함" 또는 "구비"와 같은 표현은 어떤 특성들, 숫자들, 단계들, 동작들, 요소들, 이들의 일부 또는 조합을 가리키기 위한 것이며, 기술된 것 이외에 하나 또는 그 이상의 다른 특성, 숫자, 단계, 동작, 요소, 이들의 일부 또는 조합의 존재 또는 가능성을 배제하도록 해석되어서는 안 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 도포액 검사 장치의 구성도이다.
도 1을 참조하면, 도포액 검사 장치(100)는 평면판(110), 이동부(120), 디스펜서(130), 레이저 조사부(140), 영상 획득부(150), 영상 처리부(160) 및 검사 장치 제어부(170)를 포함할 수 있다.
평면판(110)에는 검사 대상 물체가 놓여진다. 검사 대상 물체는 도포액(10) 또는 도포액(10)이 도포된 물체일 수 있다. 예를 들어, 평면판(110)에는 디스펜서(130)에 의해 토출되는 도포액(10)이 놓여질 수 있다. 도 1에 도시된 예에서는 도포액(10)이 놓여진 것으로 예시하였으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 평면판(110)에는 도포액(10) 이외에 도포액 검사 장치(100)를 통해 검사하려는 다양한 물체가 놓여질 수 있다.
이동부(120)는 평면판(110)을 일 방향으로 이동시킬 수 있다. 도시되어 있지는 않지만, 이동부(120)는 평면판(110)을 일 방향으로 이동시키기 위한 레일, 모터 등을 포함할 수 있다. 일 실시 예에서, 이동부(120)는 기 설정된 속도에 따라 평면판(110)을 이동시킬 수 있다.
디스펜서(130)는 이동하는 평면판(110)에 도포액(10)을 토출할 수 있다. 디스펜서(130)는 평면판(110)과 수직하도록 배치될 수 있다. 일 실시 예에서, 디스펜서(130)는 도포액(10)의 높이를 기초로 높낮이가 조절될 수 있다.
레이저 조사부(140)는 도포액(10)의 상방에 배치된다. 레이저 조사부(140)는 도포액(10)에 레이저 빔(141)을 조사할 수 있다.
일 실시 예에서, 레이저 빔(141)은 단파장 레이저 빔일 수 있다. 예를 들어, 레이저 빔(141)은 가시광선 중 파장이 380~500nm에 포함되는 청색광의 레이저 빔일 수 있다. 단파장 레이저 빔은 가시광선 중 파장이 가장 짧고, 강한 에너지를 가질 수 있다. 레이저 빔(141)의 파장에 따라 물체에 대한 투과 흡수 반사 정도는 다르다. 예를 들어, 레이저 빔(141)의 파장이 짧을수록 물체에 대한 투과율이 좋고, 레이저 빔(141)의 파장이 길수록 물체에 대한 반사가 잘될 수 있다. 따라서, 레이저 빔(141)의 파장이 짧을수록 투명체는 용이하게 검출될 수 있다. 또한, 청색광의 레이저 빔(141)은 얇은 두께로 조사가 가능하다. 이때, 레이저 빔(141)의 두께가 얇으면, 조건이 나쁜 상황에도 품질이 좋은 데이터가 획득될 수 있다.
일 실시 예에서, 레이저 조사부(140)는 레이저 빔(141)의 노출량(Exposure) 또는 밝기(Brightness)를 조절할 수 있다.
영상 획득부(150)는 도포액(10)의 상방에 배치된다. 영상 획득부(150)는 도포액(10)으로부터 반사된 레이저 빔(142)의 영상을 획득할 수 있다. 예를 들어, 영상 획득부(150)는 반사된 레이저 빔(142)을 촬영하는 카메라, 반사된 레이저 빔(142)을 전기 신호로 변환하는 수광 소자 등으로 구성될 수 있다. 영상 획득부(150)는 반사된 레이저 빔(142)을 촬영함으로써 영상을 획득할 수 있다.
레이저 조사부(140)는 일정한 각도로 기울어져서 레이저 빔(141)을 조사할 수 있다. 이는 도포액(10)의 표면에서의 레이저 빔(141)의 반사율을 높이기 위함이다.
일 실시 예에서, 레이저 조사부(140)는 도포액(10)의 상방에 평면판(110)에 수직한 선과 제1 각도를 형성하도록 배치되고, 영상 획득부(150)는 도포액(10)의 상방에 레이저 조사부(140)와 제2 각도를 형성하도록 배치될 수 있다. 제2 각도는 사용자의 설정에 따라 다양하게 설정될 수 있다. 도포액(10)과 레이저 조사부(140) 사이의 거리는 사용자의 설정에 따라 조절될 수 있다. 또한, 도포액(10)과 영상 획득부(150) 사이의 거리는 사용자의 설정에 따라 조절될 수 있다.
일 실시 예에서, 레이저 조사부(140)는 도포액(10)에 제1 각도로 레이저 빔(141)을 조사할 수 있다. 제1 각도는 도포액(10)의 표면에서 조사된 레이저 빔(141)에 대한 전반사가 발생되는 각도일 수 있다. 전반사는 특정 임계각보다 큰 입사각으로 입사한 빛이 굴절하지 않고 100% 반사되는 현상을 의미할 수 있다. 즉, 제1 각도는 도포액(10)의 표면에서 조사된 레이저 빔(141)이 굴절하지 않고 100% 반사되는 각도일 수 있다.
반사된 레이저 빔(142)의 영상을 처리하여 도포액(10)의 3차원 형상 정보를 생성하기 위해서는 도포액(10)에 대한 포인트 클라우드 데이터를 획득하여야 한다. 이때, 일반적인 정반사를 발생시키기 위해 도포액(10)에 레이저 빔(141)을 조사하면, 도포액(10)의 특성 상 레이저 빔(141)에 대한 난반사가 발생하여 포인트 클라우드 데이터를 정확하게 획득하기 어렵다. 따라서, 레이저 빔(141)이 조사되는 각도를 조절하여 레이저 빔(141)에 대한 전반사를 발생시킨다면, 포인트 클라우드 데이터의 정확도는 높아질 수 있다. 따라서, 레이저 조사부(140)는 도포액(10)에 제1 각도로 레이저 빔(141)을 조사함으로써, 도포액(10) 표면에서의 레이저 빔(141)의 반사율을 높일 수 있다. 이에 따라, 영상 획득부(150)는 도포액(10)의 표면으로부터 반사된 레이저 빔(142)에 대한 정보를 더 정확하게 획득할 수 있다.
일 실시 예에서, 제1 각도는 18도~23도 사이에 포함될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 제1 각도는 사용자의 설정에 따라 다양한 각도로 설정될 수 있다. 다른 예로, 도포액 검사 장치(100)는 도포액(10) 또는 도포액(10)이 도포된 물체의 특성을 고려하여 제1 각도를 조절하는 각도 조절부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 도포액(10)의 특성을 고려한 제1 각도를 결정하기 위한 테스트 과정이 수행될 수 있다. 구체적으로, 각도 조절부는 테스트 과정에서 레이저 조사부(140)가 레이저 빔(141)을 조사할 때마다 제1 각도를 조절할 수 있다. 각도 조절부는 기준 각도를 기준으로 제1 각도의 크기를 키우거나 줄이는 방식을 통해 제1 각도를 조절할 수 있다. 이 경우, 레이저 조사부(140)는 제1 각도가 변경될 때마다 레이저 빔(141)을 조사함으로써, 도포액(10) 특성에 따라 레이저 빔(141)의 전반사가 발생하는 제1 각도를 결정할 수 있다. 이후, 레이저 조사부(140)는 결정된 제1 각도로 레이저 빔(141)을 조사하고, 영상 획득부(150)는 반사된 레이저 빔(142)의 영상을 획득할 수 있다. 이후, 획득된 영상은 영상 처리부(160)로 제공될 수 있다.
영상 처리부(160)는 영상 획득부(150)에 의해 획득된 영상으로부터 도포액(10)과 관련된 다양한 정보를 생성할 수 있다. 도포액(10)과 관련된 정보는 예를 들어, 도포액(10)의 높이 정보, 부피 정보, 지름 정보, 단면적 넓이 정보, 3차원 형상 정보 등을 포함할 수 있다. 도포액(10)과 관련된 정보는 도포액(10)의 결함, 기포 존재 여부 등을 검사하는데 이용될 수 있다. 예를 들어, 도포액(10)과 관련된 정보들은 PCB(Printed Circuit Board), 배터리 등과 같은 전자 부품 검사, 디스플레이, 케이스 등과 같은 디바이스 외관 검사, 용접 이음새 검사, 자동차 부품 검사 등에 이용될 수 있다.
일 실시 예에서, 영상 처리부(160)는 광삼각법을 이용하여 도포액(10)의 높이 정보 및 3차원 형상 정보를 생성할 수 있다. 예를 들어, 레이저 빔(141)이 도포액(10) 표면에 입사되면, 도포액(10) 곡면의 높이 변화에 따라 CCD와 같은 수광소자의 촬상면에 결상되는 반사된 레이저 빔(142)의 형상이 변화하게 된다. 이 경우, 영상 처리부(160)는 광삼각법을 적용하여 반사된 레이저 빔(142)의 형상 변화로부터 도포액(10)의 높이 정보를 생성할 수 있다. 또한, 영상 처리부(160)는 도포액(10) 표면에서 반사된 레이저 빔(142)과 평면판(110) 상단에서 반사된 레이저 빔(142) 사이의 특성 차이를 이용하여 도포액(10)의 높이 정보를 생성할 수 있다. 이를 통해, 영상 처리부(160)는 도포액(10) 표면의 곡면 형상의 변화를 측정하여 도포액(10)에 대해 x축, y축 및 z축으로 구성된 3차원 공간 좌표 값을 획득함으로써, 도포액(10)의 3차원 형상 정보를 생성할 수 있다.
한편, 상술한 예에서는 영상 처리부(160)가 광삼각법을 이용하여 도포액(10)과 관련된 정보를 생성하는 예를 설명하였으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 영상 처리부(160)는 광삼각법 이외에 다양한 기법을 통해 도포액(10)과 관련된 정보를 생성할 수 있다.
또한, 영상 처리부(160)는 영상 획득부(150)를 통해 획득된 영상으로부터 도포액(10)이 토출되는 일정 기간에 대응되는 도포액(10)의 높이의 평균 값을 산출할 수 있다.
일 실시 예에서, 영상 처리부(160)는 일정 기간 동안에 도포액(10)의 높이 값들을 측정할 수 있다. 즉, 영상 처리부(160)는 일정 기간 동안에 도포액(10)의 높이 값을 여러 번 측정할 수 있다. 이때, 영상 처리부(160)는 일정 기간 동안에 일정 간격마다 도포액(10)의 높이 값을 측정하거나 기 설정된 횟수에 따라 랜덤한 간격으로 도포액(10)의 높이 값들을 측정할 수 있다.
또한, 영상 처리부(160)는 일정 기간 동안 측정된 도포액(10)의 높이 값들 중 이상 값을 제외한 나머지 높이 값들을 기초로 평균 값을 산출할 수 있다. 이때, 이상 값은 도포액(10)의 기준 높이 값보다 극단적으로 높거나 낮은 값을 의미한다. 이상 값은 측정된 도포액(10)의 높이 값들 중 기 설정된 최대 값보다 크거나 기 설정된 최소 값보다 작은 값일 수 있다. 예를 들어, 일정 기간 동안에 도포액(10)의 제1 높이 값 내지 제4 높이 값이 측정되고 이 값들 중 제3 높이 값이 이상 값인 것으로 가정하면, 영상 처리부(160)는 제1 높이 값, 제2 높이 값 및 제4 높이 값에 대한 평균 값을 도포액(10)의 높이의 평균 값으로 결정할 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따르면, 도포액(10)의 평균 값을 산출할 때 이상 값을 제거함으로써, 도포액(10)의 평균 값이 정확하게 산출될 수 있다.
또한, 영상 처리부(160)는 기 설정된 주기마다 도포액(10)의 높이의 평균 값을 산출할 수 있다.
검사 장치 제어부(170)는 도포액 검사 장치(100)의 전반적인 동작을 제어한다.
예를 들어, 검사 장치 제어부(170)는 일정한 속도로 이동하도록 이동부(120)를 제어할 수 있다. 검사 장치 제어부(170)는 도포액(10)을 토출하거나 토출을 중단하도록 디스펜서(130)를 제어할 수 있다. 또한, 검사 장치 제어부(170)는 도포액(10)의 높이를 기초로 디스펜서(130)의 높낮이를 조절할 수 있다. 검사 장치 제어부(170)는 레이저 조사부(140) 및 영상 획득부(150)의 각도를 조절할 수 있다.
검사 장치 제어부(170)는 도포액 검사 장치(100)의 각 구성을 제어하기 위한 모터를 포함할 수 있다. 또한, 검사 장치 제어부(170)는 영상 처리부(160)에 의해 생성되는 도포액(10)과 관련된 정보를 디지털 값에서 아날로그 값으로 변환하기 위한 DAC(Digital to Analog Converter)를 포함할 수 있다.
검사 장치 제어부(170)는 도포액(10)의 높이의 평균 값을 기초로 디스펜서(130)의 높낮이를 조절할 수 있다. 예를 들어, 검사 장치 제어부(170)는 도포액(10)의 높이의 평균 값을 기준 높이 값과 비교하여 디스펜서(130)의 높이를 높이거나 낮출 수 있다. 이때, 도포액(10)의 기준 높이 값은 사용자에 의해 설정되는 값일 수 있다. 이 경우, 디스펜서(130)의 높낮이에 따라 도포액(10)의 높이도 변하기 때문에, 검사 장치 제어부(170)는 디스펜서(130)의 높낮이를 조절함으로써 도포액(10)의 높이를 일정하게 유지시킬 수 있다.
일 실시 예에서, 검사 장치 제어부(170)는 도포액(10)의 높이의 평균 값이 기준 높이 값에 근접해지도록 디스펜서(130)의 높낮이를 조절할 수 있다.
예를 들어, 검사 장치 제어부(170)는 도포액(10)의 높이의 평균 값이 도포액(10)의 기준 높이 값보다 크면, 디스펜서(130)의 높이를 높일 수 있다. 이 경우, 평면판(110)에 놓이는 도포액(10)의 양이 적어지고 도포액(10)의 높이의 평균 값이 낮아질 수 있다. 이에 따라, 도포액(10)의 높이의 평균 값은 기준 높이 값에 근접해질 수 있다.
다른 예로, 검사 장치 제어부(170)는 도포액(10)의 높이의 평균 값이 도포액(10)의 기준 높이 값보다 작으면, 디스펜서(130)의 높이를 낮출 수 있다. 이 경우, 평면판(110)에 놓이는 도포액(10)의 양이 많아지고 도포액(10)의 높이의 평균 값이 높아질 수 있다. 이에 따라, 도포액(10)의 높이의 평균 값은 기준 높이 값에 근접해질 수 있다.
한편, 검사 장치 제어부(170)는 다양한 기법으로 높아지거나 낮아지는 디스펜서(130)의 높이를 결정할 수 있다. 예를 들어, 검사 장치 제어부(170)는 평균 값과 기준 높이 값의 차이만큼 디스펜서(130)의 높낮이를 제어할 수 있다. 다른 예로, 검사 장치 제어부(170)는 평균 값과 기준 높이 값을 기초로 결정된 특정 수식에 따라 디스펜서(130)의 높낮이를 제어할 수 있다.
이하에서는 도 2 및 도 3을 참조하여, 도포액 검사 장치(100)가 도포액(10)의 높이의 평균 값을 기초로 디스펜서(130)의 높낮이를 조절하는 예를 자세하게 설명하도록 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 디스펜서의 높낮이를 조절하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참조하면, t1에서, 도포액(10)의 높이의 평균 값이 기준 높이 값(y0)과 비교하여 y1만큼 클 수 있다. 이 경우, 검사 장치 제어부(170)는 디스펜서(130)의 높이를 높일 수 있다. 디스펜서(130)의 높이가 높아질수록 디스펜서(130)와 평면판(110)의 거리가 멀어지게 된다.
t2에서, 디스펜서(130)의 높이가 높아지면서 디스펜서(130)에 의해 토출되어 평면판(110)에 놓이는 도포액(10)의 양은 적어지게 된다. 이에 따라 도포액(10)의 높이는 이전보다 낮아지게 되면서 기준 높이 값(y0)에 근접해질 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 디스펜서의 높낮이를 조절하는 다른 예를 설명하기 위한 도면이다.
t1'에서, 도포액(10)의 높이의 평균 값이 기준 높이 값(y0)과 비교하여 y2만큼 작을 수 있다. 이 경우, 검사 장치 제어부(170)는 디스펜서(130)의 높이를 낮출 수 있다. 디스펜서(130)의 높이가 낮아질수록 디스펜서(130)와 평면판(110)의 거리가 가까워지게 된다.
t2'에서, 디스펜서(130)의 높이가 낮아지면서 디스펜서(130)에 의해 토출되어 평면판(110)에 놓이는 도포액(10)의 양은 많아지게 된다. 이에 따라 도포액(10)의 높이는 이전보다 높아지게 되면서 기준 높이 값(y0)에 근접해질 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시 예에 따르면, 도포액(10)의 높이의 평균 값을 기초로 디스펜서(130)의 높낮이를 조절함으로써, 불규칙한 도포액(10)의 높이에 의해 발생되는 오차를 줄여 도포액 검사 장치(100)의 정확도를 높일 수 있다.
이상에서 본 발명의 대표적인 실시예들을 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100: 도포액 검사 장치
110: 평면판
120: 이동부
130: 디스펜서
140: 레이저 조사부
150: 영상 획득부
160: 영상 처리부
170: 검사 장치 제어부

Claims (6)

  1. 평면판;
    상기 평면판을 일 방향으로 이동시키는 이동부;
    상기 이동하는 평면판에 도포액을 토출하는 디스펜서;
    상기 도포액에 레이저 빔을 조사하는 레이저 조사부;
    상기 도포액으로부터 반사된 레이저 빔의 영상을 획득하는 영상 획득부;
    상기 영상으로부터 상기 도포액이 토출되는 일정 기간에 대응되는 상기 도포액의 높이의 평균 값을 산출하는 영상 처리부; 및
    상기 평균 값을 기초로 상기 디스펜서의 높낮이를 조절하는 검사 장치 제어부;를 포함하는 도포액 검사 장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 영상 처리부는,
    상기 일정 기간 동안에 상기 도포액의 높이 값들을 측정하고, 상기 측정된 도포액의 높이 값들 중 이상 값을 제외한 나머지 높이 값들을 기초로 상기 평균 값을 산출하는 도포액 검사 장치.
  3. 제2 항에 있어서, 상기 이상 값은,
    상기 측정된 도포액의 높이 값들 중 기 설정된 최대 값보다 크거나 기 설정된 최소 값보다 작은 값인 도포액 검사 장치.
  4. 제1 항에 있어서, 상기 영상 처리부는,
    기 설정된 주기마다 상기 평균 값을 산출하는 도포액 검사 장치.
  5. 제1 항에 있어서, 상기 검사 장치 제어부는,
    상기 평균 값이 상기 도포액의 기준 높이 값에 근접해지도록 상기 디스펜서의 높낮이를 조절하는 도포액 검사 장치.
  6. 제5 항에 있어서, 상기 검사 장치 제어부는,
    상기 평균 값이 상기 기준 높이 값보다 크면, 상기 디스펜서의 높이를 높이고,
    상기 평균 값이 상기 기준 높이 값보다 작으면, 상기 디스펜서의 높이를 낮추는 도포액 검사 장치.
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