KR20230172721A - 마스크 세척장치 - Google Patents

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KR20230172721A
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Abstract

본 발명은 메탈 마스크 세척장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 메탈 마스크의 세척시 세척시간을 감소시키고 메탈 마스크에 남는 잔여물을 용이하게 제거할 수 있는 마스크 세척장치에 대한 것이다.
본 발명에 따른 마스크 세척장치는 지그와, 가이드레일과, 이동몸체와, 세척노즐부와, 건조노즐부를 포함한다. 상기 지그는 메탈 마스크를 수직으로 장착시킨다. 상기 가이드레일은 수직으로 설치된다. 상기 이동몸체는 상기 가이드레일에 장착되어 상하로 슬라이딩한다. 상기 세척노즐은 제1세척노즐과, 제2세척노즐을 구비하여 상기 이동몸체에 결합된다. 상기 제1세척노즐은 상기 메탈 마스크에 부착된 이물질이 상기 메탈 마스크에서 이탈되도록 상기 메탈 마스크를 향해 수직방향으로 세척액을 분사하도록 수평으로 복수개 배치된다. 상기 제2세척노즐은 상기 제1세척노즐로 상기 메탈 마스크에서 이탈된 이물질을 상기 메탈 마스크의 하부로 떨어트리도록 상기 제1세척노즐의 하측에서 상기 메탈 마스크를 향해 하향 대각선방향으로 상기 세척액을 분사하도록 수평으로 복수개 배치된다. 상기 건조노즐부는 건조노즐을 구비하여 상기 세척노즐부의 상측에서 일정간격 이격되어 상기 이동몸체에 결합된다. 상기 건조노즐은 상기 세척액을 상기 메탈 마스크의 하부로 떨어트리도록 상기 메탈 마스크를 향해 하향 대각선방향으로 압축공기를 분사하도록 수평으로 복수개 배치된다.
본 발명에 의하면, 제1세척노즐은 메탈마스크를 향해 수직방향으로 세척액을 분사시키고, 제2세척노즐은 제1세척노즐의 하측에서 메탈마스크를 향해 하향 대각선방향으로 세척액을 분사시킨다. 이 경우, 제1세척노즐은 메탈마스크에 부착된 이물질을 메탈마스크에서 이탈시키고, 제2세척노즐은 메탈마스크에서 이탈된 이물질을 메탈마스크의 하부로 떨어트리므로 메탈마스크에 부착된 이물질을 보다 용이하게 제거할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 건조노즐은 제1세척노즐의 상측에 위치하여 메탈마스크를 향해 하향 대각선방향으로 압축공기를 분사하므로 메탈마스크로 분사된 세척액을 세척과 동시에 메탈마스크의 하부로 떨어트릴 수 있다. 그래서 메탈마스크에 세척액 등의 잔여물이 남는 것을 방지할 수 있다.

Description

마스크 세척장치{Automatic cleaning apparatus for mask}
본 발명은 메탈 마스크 세척장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 메탈 마스크의 세척시 세척시간을 감소시키고 메탈 마스크에 남는 잔여물을 용이하게 제거할 수 있는 마스크 세척장치에 대한 것이다.
마스크 세척장치는 SMD(Surface Mount Device)의 표면실장 공정에 사용되는 메탈마스크 또는 반도체 공정에 사용되는 STENCIL에 부착된 솔더페이스트(solder paster) 및 기타물질을 자동으로 제거하는 장치다.
종래의 마스크 세척장치는 노즐이 메탈마스크의 상부에 설치되어 메탈마스크에 세척액을 분사시킨다. 이 경우, 세척액에 의하여 메탈마스크에서 분리된 이물질이 메탈마스크의 하부로 흘러내릴때까지 세척액을 계속 분사시켜야 하므로 세척시간이 오래걸리다는 문제점이 있었다. 또한, 세척액을 메탈마스크의 상부에만 분사시켜 메탈마스크를 세척하므로 메탈마스크의 상부에서 하부로 이물질과 세척액이 흘러내리는 과정에서 제거되지 않고 메탈마스크에 남게 되는 문제점이 있었다.
공개특허 제10-2013-0034675호(공개일 2013.04.08)
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것이다. 본 발명은 메탈 마스크의 세척시 세척시간을 감소시키고 메탈 마스크에 남아있는 잔여물을 용이하게 제거할 수 있는 마스크 세척장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 마스크 세척장치는 지그와, 가이드레일과, 이동몸체와, 세척노즐부와, 건조노즐부를 포함한다. 상기 지그는 메탈 마스크를 수직으로 장착시킨다. 상기 가이드레일은 수직으로 설치된다. 상기 이동몸체는 상기 가이드레일에 장착되어 상하로 슬라이딩한다. 상기 세척노즐은 제1세척노즐과, 제2세척노즐을 구비하여 상기 이동몸체에 결합된다. 상기 제1세척노즐은 상기 메탈 마스크에 부착된 이물질이 상기 메탈 마스크에서 이탈되도록 상기 메탈 마스크를 향해 수직방향으로 세척액을 분사하도록 수평으로 복수개 배치된다. 상기 제2세척노즐은 상기 제1세척노즐로 상기 메탈 마스크에서 이탈된 이물질을 상기 메탈 마스크의 하부로 떨어트리도록 상기 제1세척노즐의 하측에서 상기 메탈 마스크를 향해 하향 대각선방향으로 상기 세척액을 분사하도록 수평으로 복수개 배치된다. 상기 건조노즐부는 건조노즐을 구비하여 상기 세척노즐부의 상측에서 일정간격 이격되어 상기 이동몸체에 결합된다. 상기 건조노즐은 상기 세척액을 상기 메탈 마스크의 하부로 떨어트리도록 상기 메탈 마스크를 향해 하향 대각선방향으로 압축공기를 분사하도록 수평으로 복수개 배치된다.
본 발명에 의하면, 제1세척노즐은 메탈마스크를 향해 수직방향으로 세척액을 분사시키고, 제2세척노즐은 제1세척노즐의 하측에서 메탈마스크를 향해 하향 대각선방향으로 세척액을 분사시킨다. 이 경우, 제1세척노즐은 메탈마스크에 부착된 이물질을 메탈마스크에서 이탈시키고, 제2세척노즐은 메탈마스크에서 이탈된 이물질을 메탈마스크의 하부로 떨어트리므로 메탈마스크에 부착된 이물질을 보다 용이하게 제거할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 건조노즐은 제1세척노즐의 상측에 위치하여 메탈마스크를 향해 하향 대각선방향으로 압축공기를 분사하므로 메탈마스크로 분사된 세척액을 세척과 동시에 메탈마스크의 하부로 떨어트릴 수 있다. 그래서 메탈마스크에 세척액 등의 잔여물이 남는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 마스크 세척장치의 일 실시예의 개념도이고,
도 2의 (a)는 도 1에 도시된 실시예의 동작전 개념도이고,
도 2의 (b)는 도 1에 도시된 실시예의 동작후 개념도이고,
도 3은 도 1에 도시된 실시예의 세척노즐부와 건조노즐부의 개념도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명에 따른 마스크 세척장치의 일 실시예를 설명한다.
본 발명에 따른 마스크 세척장치는 지그(10)와, 가이드레일(20)과, 이동몸체(30)와, 세척노즐부(40)와, 건조노즐부(50)와, 모터부(60)와, 세척액공급부(70)와, 공기공급부(80)를 포함한다.
지그(10)는 메탈마스크(1)를 세척조(3) 내부에 수직으로 장착시킨다.
가이드레일(20)은 세척조(3) 내부에 수직으로 설치된다. 여기서 가이드레일(20)은 한 쌍이 메탈마스크(1)의 폭방향으로 일정간격 이격되어 수직으로 설치된다. 본 실시예에서 가이드레일(20)은 한 쌍이 메탈마스크(1)의 양측면(1a,1b)에 각각 설치된다.
이동몸체(30)는 가이드레일(20)을 따라 상하로 슬라이딩할 수 있게 장착된다.
세척노즐부(40)는 메탈마스크(1)에 부착된 이물질을 제거하는 역할을 한다. 이를 위하여 세척노즐부(40)는 제1세척노즐(41)과, 제2세척노즐(43)를 구비하여 이동몸체(30)에 결합된다.
제1세척노즐(41)은 메탈마스크(1)에 부착된 이물질이 메탈마스크(1)에서 이탈되도록 메탈마스크(1)를 향해 수직방향으로 세척액을 분사한다. 이때, 제1세척노즐(41)은 메탈마스크(1)의 폭방향을 따라 세척노즐부(40)에 수평으로 복수개가 배치된다.
제2세척노즐(43)은 제1세척노즐(41)로 메탈마스크(1)에서 이탈된 이물질을 메탈마스크(1)의 하부로 떨어트리도록 제1세척노즐(41)의 하측에서 메탈마스크(1)를 향해 하향 대각선방향으로 세척액을 분사한다. 이때, 제2세척노즐(43)은 메탈마스크(1)의 폭방향을 따라 세척노즐부(40)에 수평으로 복수개가 배치된다. 이 경우, 제1세척노즐(41)에서 분사되는 세척액에 의하여 메탈마스크(1)에 부착된 이물질이 메탈마스크(1)에서 이탈되면, 제2세척노즐(43)에서 분사되는 세척액이 메탈마스크(1)에서 이탈된 이물질을 보다 빠르게 메탈마스크(1)의 하부로 떨어트릴 수 있다. 그래서 메탈마스크(1)에 부착된 이물질을 보다 용이하게 제거할 수 있다.
건조노즐부(50)는 세척액을 메탈마스크(1)의 하부로 떨어트리는 역할을 한다. 이를 위하여 건조노즐부(50)는 건조노즐(51)을 구비하여 세척노즐부(40)의 상측으로 일정간격 이격되어 이동몸체(30)에 결합된다.
건조노즐(51)은 메탈마스크(1)를 세척하는 세척액을 메탈마스크(1)의 하부로 떨어트리도록 메탈마스크(1)를 향해 하향 대각선방향으로 압축공기를 분사한다. 이때, 건조노즐(51)은 메탈마스크(1)의 폭방향을 따라 건조노즐부(50)에 수평으로 복수개가 배치된다. 이 경우, 건조노즐(51)은 제1세척노즐(41) 보다 상측에 위치되어 메탈마스크(1)를 향해 하향 대각선방향으로 압축공기를 분사하므로 제1세척노즐(41)에서 분사된 세척액을 메탈마스크(1)에서 이탈된 이물질과 함께 메탈마스크(1)의 하부로 떨어트릴 수 있다. 그래서 메탈마스크(1)에 이물질은 물론 세척액 등의 잔여물이 남는 것을 방지할 수 있다.
모터부(60)는 이동몸체(30)를 상하로 이동시키는 역할을 한다. 그래서 모터부(60)가 작동되면, 이동몸체(30)가 가이드레일(20)을 따라 상하로 이동된다. 이 경우, 세척노즐부(40)와 건조노즐부(50)가 이동몸체(30)에 결합되어 있으므로 이동몸체(30)가 가이드레일(20)을 따라 상하로 이동하면, 세척노즐부(40)와 건조노즐부(50)가 메탈마스크(1)의 상부에서 하부로 이동하면서 세척액과 압축공기를 분사할 수 있다.
세척액공급부(70)는 세척노즐부(40)로 세척액을 공급한다.
압축공기공급부(80)는 건조노즐부(50)로 압축공기를 공급한다.
본 실시예의 경우, 지그(10)에 메탈마스크(1)가 장착되면, 마스크 세척장치를 작동시킨다. 그러면 세척액공급부(70)에서 세척노즐부(40)로 세척액이 공급되고, 동시에 압축공기공급부(80)에서 건조노즐부(50)로 압축공기가 공급된다. 그리고 이동몸체(30)는 가이드레일(20)을 따라 상부에서 하부로 슬라이딩된다. 여기서, 세척노즐부(40)와 건조노즐부(50)는 이동몸체(30)에 결합되므로, 세척노즐부(40)와 건조노즐부(50)는 도 2의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이, 메탈마스크(1)의 상부에서 하부로 이동함과 동시에 메탈마스크(1)에 세척액과 압축공기를 분사시킨다.
이 경우, 세척노즐부(40) 및 건조노즐부(50)로 세척액 및 압축공기가 공급되면, 제1세척노즐(41)은 메탈마스크(1)를 향해 수직방향으로 세척액을 분사시키고, 제2세척노즐(43)은 제1세척노즐(41)의 하측에서 메탈마스크(1)를 향해 하향 대각선방향으로 세척액을 분사시키고, 건조노즐(51)은 메탈마스크(1)를 향해 하향 대각선방향으로 압축공기를 분사시킨다. 그러면 제1세척노즐(41)에서 분사되는 세척액에 의하여 메탈마스크(1)에 부착된 이물질이 메탈마스크(1)에서 이탈되고, 메탈마스크(1)에서 이탈된 이물질은 제2세척노즐(43)에서 분사되는 세척액에 의하여 메탈마스크(1)의 하부로 떨어지게 된다. 그리고 메탈마스크(1)로 분사된 세척액은 건조노즐(51)에서 분사되는 압축공기에 의하여 메탈마스크(1)의 하부로 떨어지게 된다. 즉, 세척노즐부(40)와 건조노즐부(50)는 메탈마스크(1)의 상부에서 하부로 이동하면서 메탈마스크(1)를 향해 세척액과 압축공기를 분사하므로 보다 용이하게 메탈마스크(1)에 부착된 이물질을 제거할 수 있을 뿐만 아니라 메탈마스크(1)에 세척액 등의 잔여물이 남는 것을 방지할 수 있다.
반면, 종래의 마스크 세척장치는 노즐이 메탈마스크의 상부에 설치되어 메탈마스크에 세척액을 분사시킨다. 이 경우, 세척액에 의하여 메탈마스크에서 분리된 이물질이 메탈마스크의 하부로 흘러내릴때까지 세척액을 계속 분사시켜야 하므로 세척시간이 오래걸리다는 문제점이 있었다. 또한, 세척액을 메탈마스크의 상부에만 분사시켜 메탈마스크를 세척하므로 메탈마스크의 상부에서 하부로 이물질과 세척액이 흘러내리는 과정에서 제거되지 않고 메탈마스크에 남게 되는 문제점이 있었다.
한편, 본 실시예에 의하면, 제1세척노즐(41)은 메탈마스크(1)를 향해 수직방향으로 세척액을 분사시키고, 제2세척노즐(43)은 제1세척노즐(41)의 하측에서 메탈마스크(1)를 향해 하향 대각선방향으로 세척액을 분사시킨다. 이 경우, 제1세척노즐(41)은 메탈마스크(1)에 부착된 이물질을 메탈마스크(1)에서 이탈시키고, 제2세척노즐(43)은 메탈마스크(1)에서 이탈된 이물질을 메탈마스크(1)의 하부로 떨어트리므로 메탈마스크(1)에 부착된 이물질을 보다 용이하게 제거할 수 있다. 또한, 본 실시예에 의하면, 건조노즐(51)은 제1세척노즐(41)의 상측에 위치하여 메탈마스크(1)를 향해 하향 대각선방향으로 압축공기를 분사하므로 메탈마스크(1)로 분사된 세척액을 세척과 동시에 메탈마스크(1)의 하부로 떨어트릴 수 있다. 그래서 메탈마스크(1)에 세척액 등의 잔여물이 남는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 실시예에 의하면, 이동몸체(30)는 수직설치된 가이드레일(200)에 장착되어 상하로 슬라이딩하고, 세척노즐부(40)와 건조노즐부(50)는 이동몸체(30)에 결합된다. 이 경우, 세척노즐부(40) 및 건조노즐부(50))가 메탈마스크(1)의 상부에서 하부로 이동함과 동시에 세척액과 압축공기를 분사시키므로 메탈마스크(1)에 부착된 이물질을 보다 빠르게 메탈마스크(1)의 하부로 떨어트려 제거할 수 있다. 그래서 세척시간을 감소시킬 수 있다.
1 : 메탈마스크 1a,1b : 양측면
3 : 세척조 10 : 지그
20 : 가이드레일 30 : 이동몸체
40 : 세척노즐부 41 : 제1세척노즐
43 : 제2세척노즐 50 : 건조노즐부
51 : 건조노즐 60 : 모터부
70 : 세척액공급부 80 : 압축공기공급부

Claims (1)

  1. 메탈마스크를 수직으로 장착시키는 지그와,
    수직으로 설치된 가이드레일과,
    상기 가이드레일에 장착되어 상하로 슬라이딩하는 이동몸체와,
    상기 메탈마스크에 부착된 이물질이 상기 메탈마스크에서 이탈되도록 상기 메탈마스크를 향해 수직방향으로 세척액을 분사하도록 수평으로 복수개 배치된 제1세척노즐과, 상기 제1세척노즐로 상기 메탈마스크에서 이탈된 이물질을 상기 메탈마스크의 하부로 떨어트리도록 상기 제1세척노즐의 하측에서 상기 메탈마스크를 향해 하향 대각선방향으로 상기 세척액을 분사하도록 수평으로 복수개 배치된 제2세척노즐을 구비하여 상기 이동몸체에 결합된 세척노즐부와,
    상기 세척액을 상기 메탈마스크의 하부로 떨어트리도록 상기 메탈마스크를 향해 하향 대각선방향으로 압축공기를 분사하도록 수평으로 복수개 배치된 건조노즐을 구비하여 상기 세척노즐부의 상측으로 일정간격 이격되어 상기 이동몸체에 결합된 건조노즐부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 세척장치.
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