KR101286125B1 - 마스크 세척장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 마스크 세척장치에 대한 것으로서, 전면과 후면이 개방되고 메탈마스크나 메쉬마스크가 장착될 수 있는 마스크거치대, 마스크 거치대의 상부에 설치되어 메탈 마스크나 메쉬마스크를 상, 하로 이동시키는 실린더, 마스크 거치대의 전방에 설치된 롤러, 실린더가 마스크 거치대를 하방으로 이동시킬 때 마스크 거치대가 전방으로 이동하도록 롤러를 안내하는 레일, 마스크거치대의 전면에서 마스크거치대에 거치된 메탈마스크나 메쉬마스크에 접촉하여 메탈마스크나 메쉬마스크를 진동시키는 초음파진동부, 메탈마스크나 상기 메쉬마스크에 세척액을 분사할 수 있도록 마스크거치대의 상단의 전후에 위치한 제1노즐수단 및 마스크거치대의 후면에서 좌우로 이동하여 메탈마스크나 메쉬마스크에 세척액을 분사할 수 있도록 제2노즐수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 세척장치를 제공한다.

Description

마스크 세척장치{Automatic cleaning apparatus for mask}
본 발명은 마스크 세척장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 SMD(Surface Mount Device)의 표면실장 공정에 사용되는 메탈마스크 또는 반도체 공정에 사용되는 메쉬마스크에 부착된 솔더페이스트(solder paste)및 기타물질을 자동으로 제거하는 마스크 자동 세척장치에 대한 것이다.
도 1은 종래의 마스크 세척장치의 개념도이다. 종래에는 메탈마스크(1)의 상단에 전후로 두 개의 노즐(3)을 위치시키고, 모터캠(5)으로 메탈마스크(1)를 전후로 이동시켰다. 노즐(3)에서는 세척액이 메탈마스크(1)로 분사되며, 도 1의 (a)와 같이 모터캠(5)에 의하여 메탈마스크(1)가 초음파진동부(7)에 접촉하면 초음파진동부(7)가 가진하여 메탈마스크(1)에 부착된 솔더페이스트를 제거한다. 그리고 도 1의 (b)와 같이 모터캠(5)에 의하여 메탈마스크(1)가 초음파진동부(7)로부터 분리되면 세척액에 의하여 메탈마스크(1)가 세척된다.
종래의 마스크 세척장치의 경우 노즐(3)이 메탈마스크(1)의 상부에 설치되어 메탈마스크(1)에 세척액을 분사시킨다. 이 경우 메탈마스크(1)에 분사되는 세척액의 세척압이 약하여 세척이 깨끗하게 되지 못한다는 문제점이 있었다.
또한 종래의 마스크 세척장치의 경우 모터캠(5)을 회전시켜서 메탈마스크(1)를 초음파진동부(7)에 접촉시키거나 분리시킨다. 이 경우 모터캠(5)의 회전속도가 일정하여 메탈마스크(1)가 초음파 진동부(7)에 접촉하는 시간을 조절할 수 없어서 세척시간이 증가된다는 문제점이 있었다.
또한 종래의 마스크 세척장치의 경우 메탈마스크(1)를 마스크거치대에 삽입시키면 그 위치가 정확하게 고정되지 않아 초음파 진동부(7)와 정확한 간격을 맞추기가 어렵다는 문제점이 있었다.
본 발명은 메탈마스크(1) 전체에 고압으로 세척액을 분사하여 세척력을 증가시킬 수 있는 마스크 세척장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한 본 발명은 메탈마스크(1)와 초음파진동부(7)가 접촉된 상태를 유지할 수 있으며, 접촉하고 있는 시간을 조절가능하여, 초음파진동부(7)에 의하여 메탈마스크(1)가 가진되는 시간을 늘림으로써 세척시간을 단축시킬 수 있는 마스크 세척장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한 본 발명은 메탈마스크를 마스크거치대에 삽입시 초음파 진동부와 정확한 간격을 유지시킬 수 있는 마스크 세척장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 전면과 후면이 개방되고 메탈마스크나 메쉬마스크가 장착될 수 있는 마스크거치대, 마스크 거치대의 상부에 설치되어 메탈 마스크나 메쉬마스크를 상, 하로 이동시키는 실린더, 마스크 거치대의 전방에 설치된 롤러, 실린더가 마스크 거치대를 하방으로 이동시킬 때 마스크 거치대가 전방으로 이동하도록 롤러를 안내하는 레일, 마스크거치대의 전면에서 마스크거치대에 거치된 메탈마스크나 메쉬마스크에 접촉하여 메탈마스크나 메쉬마스크를 진동시키는 초음파진동부, 메탈마스크나 상기 메쉬마스크에 세척액을 분사할 수 있도록 마스크거치대의 상단의 전후에 위치한 제1노즐수단 및 마스크거치대의 후면에서 좌우로 이동하여 메탈마스크나 메쉬마스크에 세척액을 분사할 수 있도록 제2노즐수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 세척장치를 제공한다.
또한 본 발명의 다른 일 예로, 마스크거치대의 하부에 설치되며, 실린더에 의해 메탈마스크나 메쉬마스크가 하방으로 이동될 때, 메탈마스크나 메쉬마스크를 전방으로 밀착시키는 쐐기 모양의 밀착 바, 마스크 거치대의 하부에 설치되어, 메탈마스크나 메쉬마스크의 하단을 상부로 가압하며 지지하는 지지바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 세척 장치를 제공한다.
또한 본 발명의 다른 일 예로, 실린더의 상, 하 이동을 조절하여 메탈마스크나 메쉬마스크와 초음파진동부가 접촉되는 시간을 조절할 수 있는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 세척장치를 제공한다.
또한 본 발명의 다른 일 예로, 공기압공급수단, 세척액을 저장하는 세척액탱크, 제1노즐수단 및 제2노즐수단에서 분사된 세척액이 세척액탱크로 배출되도록 하는 배수밸브, 세척액탱크에 저장된 세척액을 제1 노즐수단 및 제2 노즐수단에 공급하기 위한 세척액펌프, 공기압공급수단에서 공급되는 공기압을 실린더에 공급하는 것을 제어하는 제1 솔레노이드밸브, 공기압공급수단에서 공급되는 공기압으로 세척액펌프를 작동시키기 위하여 세척액펌프로 공급하는 것을 제어하는 제2 솔레노이드밸브, 제1 노즐수단 및 제2 노즐수단이 메탈마스크나 메쉬마스크에 공기를 분사하여 건조시킬 수 있도록 공기압공급수단에서 공급되는 공기압을 제1 노즐수단 및 제2 노즐수단에 공급하는 것을 제어하는 제3 솔레노이드밸브 및 제3 솔레노이드밸브가 잠겨지면 세척액펌프에서 공급되는 세척액을 제1 노즐수단 및 제2 노즐수단에 공급하고, 제3 솔레노이브밸브가 개방되면 공기압공급수단에서 공급되는 공기압을 상기 제1 노즐수단 및 상기 제2 노즐수단에 공급하는 3웨이 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 세척장치를 제공한다.
본 발명에 의하면, 밀착바와 높이 조절바를 구비한 마스크 세척장치를 제공함으로 인하여 메탈마스크나 메쉬마스크를 마스크거치대에 삽입시 메탈마스크나 메쉬마스크를 마스크거치대의 끝부분에 밀착시킬 수 있다. 이로 인하여 메탈마스크나 메쉬마스크를 초음파 진동부와 정확한 간격을 유지시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면 회동실린더를 사용하여 마스크거치대를 회동시킬 수 있다. 이 경우 메탈마스크나 메쉬마스크가 초음파진동부에 접촉된 후 마스크거치대를 정지시키고, 정지된 시간을 제어할 수 있다. 그래서 세척력의 증가와 세척시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면 메탈마스크나 메쉬마스크의 상단의 전후에 위치한 제1노즐수단 뿐만 아니라, 메탈마스크나 메쉬마스크의 후면에서 좌우로 이동하여 세척액을 분사하는 제2노즐수단을 구비한 마스크 세척장치를 제공함으로 인하여 메탈마스크 전체에 세척액을 고압으로 분사할 수 있다. 따라서 세척 효과를 높일 뿐만 아니라 메탈마스크나 메쉬마스크의 표면 및 개구부를 함께 세척할 수 있다.
도 1은 종래의 마스크 세척장치의 개념도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 세척장치의 일 실시예의 개념도,
도 3은 도 1에 도시된 실시예에 따른 마스크 세척장치의 마스크 세척 시동작원리를 나타낸 개념도.
도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명에 따른 마스크 세척장치의 일 실시예를 설명한다.
본 발명에 일 실시예에 따른 마스크 세척장치는 마스크거치대(11), 마스크 거치대 내에서 마스크를 상,하로 밀어주는 실린더(15), 초음파진동부(17), 제1노즐수단(19), 제2노즐수단(21), 밀착바(23), 지지바(25), 공기압공급수단(27), 세척액탱크(29), 배수밸브(31), 세척액펌프(33), 제1솔레노이드밸브(35), 제2솔레노이드밸브(37), 제3솔레노이드밸브(39), 및 3웨이밸브(41)를 포함한다.
마스크거치대(11)는 전면(11a)과 후면(11b)이 개방되고 메탈마스크(1)가 장착될 수 있다. 메탈마스크(1)는 마스크거치대(11)의 상면(11c)으로 삽입될 수 있다. 본 실시예에서는 마스크거치대(11)에 메탈마스크(1)를 장착하였지만, 메탈마스크(1)와 동일하게 메쉬마스크를 장착할 수 있다.
실린더(15)는 지지바(25)에 의해 지지되고 있는 마스크거치대(11)를 상부에서 눌러 마스크 거치대(11)가 상하로 이동시켜주는 역할을 한다. 실린더(15)는 공기압공급수단(27)에서 공급되는 공기압으로 피스톤이 슬라이딩을 하여 마스크거치대(11)를 상하로 이동시킨다. 마스크거치대(11)의 전방에는 레일(30)이 구비되고, 마스크거치대(11)에는 레일(30)에 맞물려 마스크거치대(11)의 이동을 안내하는 롤러(32)가 설치된다. 따라서 실린더(15)의 피스톤이 전진하여 마스크거치대(11)의 상부를 가압하면, 레일(30)을 따라 롤러(32)가 이동하며 마스크거치대(11)를 전진시켜 초음파진동부(17)에 접촉시킨다. 피스톤이 후진하면 마스크거치대(11)는 초음파진동부(17)에서 멀어지며 상부로 이동한다. 바람직하게는, 실린더(15)의 피스톤이 후진할 경우, 마스크거치대(11)를 상부로 밀어줄 수 있도록 마스크거치대(11)의 하부에 탄성부재(미도시)가 구비된다.
초음파진동부(17)는 마스크거치대(11)의 전면에 설치되어 마스크거치대(11)에 거치된 메탈마스크(1)가 접촉할 경우 메탈마스크(1)를 진동시킨다. 제1 노즐수단(19)은 마스크거치대(11)의 상단의 전후에 위치하여 메탈마스크(1)에 세척액을 분사한다. 제2 노즐수단(21)은 마스크거치대(11)의 후면에 위치하여 메탈마스크(1)에 세척액을 분사한다. 이때 제2노즐수단(21)은 메탈마스크(1) 전체를 고압으로 세척할 수 있도록 좌우로 이동한다.
밀착바(23)는 메탈마스크(1)의 하단을 안내하여 메탈마스크(1)가 마스크거치대(11)의 내부에서 마스크거치대(11)의 전면에 밀착될 수 있도록 한다. 이를 위하여 밀착바(23)는 쐐기 모양으로서 마스크거치대(11)에 삽입된다. 메탈마스크(1)가 마스크거치대(11)에 용이하게 삽입되고 꺼내어져야 하므로 메탈마스크(1)가 마스크거치대(11)에 삽입되더라도 빈 공간이 남는다. 이 경우 메탈마스크(1)는 마스크거치대(11) 내부에서 일정한 위치에 삽입되는 것이 아니라 삽입될 때마다 그 위치가 달라질 수 있다. 메탈마스크(1)는 마스크거치대(11)가 이동시 초음파진동부(17)에 접촉하여야 하므로 메탈마스크(1)가 마스크거치대(11)에 삽입시 항상 일정한 위치에 장착되어야 한다. 밀착바(23)는 쐐기 모양으로 형성되므로 메탈마스크(1)가 삽입되면 하단이 밀착바(23)의 경사면에 접촉하여 마스크거치대(11)의 전면으로 안내된다. 즉 밀착바(23)는 메탈마스크(1)가 마스크거치대(11) 내부에서 일정한 위치로 삽입될 수 있도록 안내하는 역할을 한다.
지지바(25)는 마스크거치대(11)에 삽입되어 메탈마스크(1)의 하단을 지지한다. 지지바(25)가 마스크거치대(11)의 내부에서 메탈마스크(1)의 하단을 지지하고 있으므로 메탈마스크(1)는 하단은 밀착바(23)에 의하여 고정된다.
공기압공급수단(27)은 압축공기를 공급한다.
세척액탱크(29)는 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에서 분사되는 세척액을 저장한다.
배수밸브(31)는 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에서 분사된 세척액이 세척액탱크(29)로 배출되도록 한다. 즉 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에서 분사된 세척액은 메탈마스크(1)를 세척한 후 다시 세척액탱크(29)로 공급된다.
세척액펌프(33)는 세척액탱크(29)에 저장된 세척액을 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에 공급한다.
제1솔레노이드밸브(35)는 공기압공급수단(27)에서 공급되는 공기압을 회동실린더(15)에 공급하는 것을 제어한다. 즉 제1솔레노이드밸브(35)가 온되면 공기압공급수단(27)의 공기압이 실린더(15)로 공급된다. 그러면 실린더(15)가 작동하여 마스크거치대(11)를 전후로 회동시킬 수 있다.
제2솔레노이드밸브(37)는 공기압공급수단(27)에서 공급되는 공기압으로 세척액펌프(33)를 작동시키기 위하여 세척액펌프(33)로 공급하는 것을 제어한다. 즉 제2솔레노이드밸브(37)가 온되면 공기압공급수단(27)의 공기압이 세척액펌프(33)로 제공된다. 그러면 세척액펌프(33)가 작동하여 세척액탱크(29)의 세척액이 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에 제공된다.
제3솔레노이드밸브(39)는 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)이 메탈마스크(1)에 공기를 분사하여 건조시킬 수 있도록 상기 공기압공급수단에서 공급되는 공기압을 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에 공급하는 것을 제어한다. 즉 즉 제3솔레노이드밸브(39)가 온되면 공기공급수단(27)의 공기압이 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에 제공된다. 그러면 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)은 고압의 공기를 메탈마스크(1)에 분사시켜 메탈마스크(1)를 건조시킨다. 따라서 제2솔레노이드밸브(27)가 온되면 제3솔레노이드밸브(39)가 오프되며, 제3솔레노이드밸브(39)가 온되면 제2솔레노이드밸브(37)가 오프된다.
3웨이밸브(41)는 제3솔레노이드밸브(39)가 잠겨지면 세척액펌프(33)에서 공급되는 세척액을 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에 공급하고, 제3솔레노이브밸브(39)가 열려지면 공기압공급수단(27)에서 공급되는 공기압을 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에 공급한다.
미설명부호인 34는 세척액 필터이다. 세척액펌프(33)에서 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에 공급되는 세척액에서 불순물을 필터링한다.
이하에서는 본 실시예의 동작에 대하여 설명한다.
메탈마스크(1)를 세척하기 위하여 사용자가 마스크거치대(11)에 삽입하면 도 3의 (a)와 같이 메탈마스크(1)가 장착된다. 이때 메탈마스크(1)는 밀착바(23)에 의하여 마스크거치대(11)의 전면에 밀착된다. 그래서 메탈마스크(1)를 항상 일정한 위치로 삽입시킬 수 있다.
메탈마스크 세착장치를 작동시키면 제1솔레노이드밸브(35)가 온되어 공기압이 회동실린더(15)에 공급되고, 동시에 제2솔레노이드밸브(37)가 온되어 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)으로 세척액이 제공된다. 공기압에 의하여 실린더(15)의 피스톤이 동작하여 마스크거치대(11)를 하방으로 가압한다. 피스톤이 전진하면 마스크거치대(11)가 레일(30)과 롤러(32)의 안내에 의해 초음파진동부(17) 방향으로 이동한다. 그러면 도 3의 (b)와 같이 마스크거치대(11) 내부의 메탈마스크(1)가 초음파진동부(17)에 접촉된다.
초음파진동부(17)가 가진하여 메탈마스크(1)를 진동시킨다. 이때 초음파진동부(17)가 가진함과 동시에 제2노즐수단(19)은 좌우로 이동하면서 메탈마스크(1)에 고압의 세척액을 분사시킨다. 이 경우에는 메탈마스크(1)의 세척 및 헹굼작용이 동시에 이루어진다.
그리고 일정한 시간이 지나면 실린더(15)가 작동하면 마스크거치대(11)는 도 3의 (a)와 같이 후진하며 상방으로 들어올려져 초음파진동부(17)로부터 분리된다. 이때에는 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)으로부터 세척액이 제공되어 메탈마스크(1)의 행굼작용이 일어난다.
도 3의 (a) 및 (b)와 같은 동작이 반복적으로 수행되면 메탈마스크(1)에 부착된 솔더페이스트는 제거된다. 그러면 제2솔레노이드밸브(37)는 오프되고 제3솔레노이드밸브(39)가 온되어 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)으로 압축공기를 공급한다. 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)은 메탈마스크(1)에 압축공기를 분사시켜 메탈마스크(1)를 건조시킨다. 상기의 과정을 통하며 메탈마스크(1)에 부착된 솔더페이스트를 제거할 수 있다.

Claims (4)

  1. 전면과 후면이 개방되고 메탈마스크나 메쉬마스크가 장착될 수 있는 마스크거치대;
    마스크 거치대의 상부에 설치되어 메탈 마스크나 메쉬마스크를 상, 하로 이동시키는 실린더;
    마스크 거치대의 전방에 구비되며, 요홈 구조를 구비하는 레일;
    마스크 거치대의 전방에 설치되며, 실린더가 마스크 거치대를 하방으로 이동시킬 때 레일을 따라 레일의 요홈으로 이동하여 마스크 거치대가 전방으로 이동하도록 안내하는 롤러;
    마스크거치대의 전면에서 마스크거치대에 거치된 메탈마스크나 메쉬마스크에 접촉하여 메탈마스크나 메쉬마스크를 진동시키는 초음파진동부;
    메탈마스크나 상기 메쉬마스크에 세척액을 분사할 수 있도록 마스크거치대의 상단의 전후에 위치한 제1노즐수단; 및
    마스크거치대의 후면에서 좌우로 이동하여 메탈마스크나 메쉬마스크에 세척액을 분사할 수 있도록 제2노즐수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 세척장치.
  2. 제1항에 있어서,
    마스크거치대의 하부에 설치되며, 실린더에 의해 메탈마스크나 메쉬마스크가 하방으로 이동될 때, 메탈마스크나 메쉬마스크를 전방으로 밀착시키는 쐐기 모양의 밀착 바;
    마스크 거치대의 하부에 설치되어, 메탈마스크나 메쉬마스크의 하단을 상부로 가압하며 지지하는 지지바;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 세척 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    실린더의 상, 하 이동을 조절하여 메탈마스크나 메쉬마스크와 초음파진동부가 접촉되는 시간을 조절할 수 있는 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 세척장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    공기압공급수단;
    세척액을 저장하는 세척액탱크;
    제1노즐수단 및 제2노즐수단에서 분사된 세척액이 세척액탱크로 배출되도록 하는 배수밸브;
    세척액탱크에 저장된 세척액을 제1 노즐수단 및 제2 노즐수단에 공급하기 위한 세척액펌프;
    공기압공급수단에서 공급되는 공기압을 실린더에 공급하는 것을 제어하는 제1 솔레노이드밸브;
    공기압공급수단에서 공급되는 공기압으로 세척액펌프를 작동시키기 위하여 세척액펌프로 공급하는 것을 제어하는 제2 솔레노이드밸브;
    제1 노즐수단 및 제2 노즐수단이 메탈마스크나 메쉬마스크에 공기를 분사하여 건조시킬 수 있도록 공기압공급수단에서 공급되는 공기압을 제1 노즐수단 및 제2 노즐수단에 공급하는 것을 제어하는 제3 솔레노이드밸브; 및
    제3 솔레노이드밸브가 잠겨지면 세척액펌프에서 공급되는 세척액을 제1 노즐수단 및 제2 노즐수단에 공급하고, 제3 솔레노이브밸브가 개방되면 공기압공급수단에서 공급되는 공기압을 상기 제1 노즐수단 및 상기 제2 노즐수단에 공급하는 3웨이 밸브;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 세척장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110000142A (zh) * 2019-04-30 2019-07-12 云谷（固安）科技有限公司 掩膜版清洁装置及方法
CN110280534A (zh) * 2019-06-27 2019-09-27 云谷（固安）科技有限公司 一种掩膜版的清洁系统及掩膜版的清洁方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010000240U (ko) * 1999-06-05 2001-01-05 한봉수 초음파 세척기
KR20010083500A (ko) * 2000-02-15 2001-09-01 홍성국 자동세척기의 세척 장치
KR200272137Y1 (ko) 2002-01-07 2002-04-13 안용욱 공압을 이용한 자동세척기

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010000240U (ko) * 1999-06-05 2001-01-05 한봉수 초음파 세척기
KR20010083500A (ko) * 2000-02-15 2001-09-01 홍성국 자동세척기의 세척 장치
KR200272137Y1 (ko) 2002-01-07 2002-04-13 안용욱 공압을 이용한 자동세척기

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110000142A (zh) * 2019-04-30 2019-07-12 云谷（固安）科技有限公司 掩膜版清洁装置及方法
CN110280534A (zh) * 2019-06-27 2019-09-27 云谷（固安）科技有限公司 一种掩膜版的清洁系统及掩膜版的清洁方法

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