KR20230172358A

KR20230172358A - 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치 및 박리방법

Info

Publication number: KR20230172358A
Application number: KR1020220073141A
Authority: KR
Inventors: 김영태; 김태곤
Original assignee: 주식회사 코엠에스
Priority date: 2022-06-15
Filing date: 2022-06-15
Publication date: 2023-12-22

Abstract

본 발명은 반도체 기판 및 인쇄회로기판 등의 기판 보호필름 박리장치 및 박리방법에 관한 것으로, 구체적으로는 듀얼 다관절 로봇암을 구비하여 수직방식으로 기판의 보호필름을 박리할 수 있는 장치 및 방법에 관한 것이다.

Description

듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치 및 박리방법{AN APPARATUS AND METHOD FOR PEELING PROTECTIVE FILM OF SUBSTRATE WITH DUAL ROBOT ARM}

일반적으로 인쇄회로기판(Printed Circuit Board, PCB)이라 함은 에폭시(Epoxy) 또는 페놀(Phenol) 수지 등으로 제작된 얇은 판에 필요한 회로의 배선을 동박으로 인쇄하여 각 전자소자의 상호 간을 연결하고 전원을 인가 후 회로를 동작시킬 수 있는 기판을 의미한다.

따라서, 이러한 인쇄회로기판(PCB)의 설계는 제품의 동작, 성능, 수명 및 신뢰성에 직접적으로 연관되어 있으므로 전자관련 제품의 제작에서 매우 중요한 기능을 수행한다.

한편, 인쇄회로기판(PCB)은 그 제조 공정시 기판 표면에 묻게 되는 오염물질을 제거하여 제품의 이상 유무를 확인한 제품에 대하여 인쇄회로기판(PCB)의 상하부 표면에 보호필름을 부착시켜 기판 표면의 보호가 이루어지도록 하고 있다.

따라서, 이러한 인쇄회로기판에 반도체, 컨덴서, 저항 등 각종 부품을 실장하기 전에는 인쇄회로기판의 양면에 부착된 보호필름을 제거하여야 한다.

이러한 인쇄회로기판의 보호필름을 제거할 수 있는 자동화 설비들이 제안되어 있으며, 특히 수직방식의 경우 설비의 크기를 줄일 수 있다는 장점이 있으나 좀 더 빠른 공정시간을 확보할 수 있는 보호필름 박리장치 및 박리방법이 요구된다.

본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치 및 박리방법은 다음과 같은 해결과제를 목적으로 한다.

기판을 직립시킨 후 기판 양면의 보호필름을 제거하는 공정시간을 단축함으로써 공정 효율화를 도모할 수 있는 수직방식의 기판 보호필름 박리장치 및 박리방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 해결과제는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당해 기술분야에 있어서의 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해되어질 수 있을 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치는, 기판의 제1 면 및 제2 면에 각각 부착된 제1 필름 및 제2 필름을 박리하기 위한 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치에 관한 것으로, 상기 제1 면이 상부로 향하도록 상기 기판을 공급하는 로딩모듈; 상기 로딩모듈로부터 전달된 상기 기판을 정렬하는 정렬모듈; 적어도 하나의 관절 및 단부에 형성된 제1 흡착부를 포함하되, 상기 제1 흡착부가 상기 정렬모듈에서 정렬된 기판의 제1 면을 흡착하여 상기 기판을 박리영역으로 이송시키는 제1 로봇암; 적어도 하나의 관절 및 단부에 형성된 제2 흡착부를 포함하되, 상기 제2 흡착부가 상기 제1 로봇암으로부터 전달받은 기판의 제2 면을 흡착하는 제2 로봇암; 및 상기 박리영역 내에 배치되고 상기 제1 로봇암에 흡착된 기판의 제2 필름 및 제2 로봇암에 흡착된 기판의 제1 필름 중 적어도 하나를 제거하는 필름박리모듈;을 포함한다.

상기 제1 필름 및 제2 필름의 단부에 흠집을 형성시키는 흠집형성모듈;을 더 포함하는 것이 바람직하다.

상기 필름박리모듈은, 상기 박리영역 내에서 수직 방향으로 형성된 가이드유닛; 상기 가이드유닛을 따라 수직 방향으로 이동 가능하도록 구성된 수직이송유닛; 및 상기 수직이송유닛에 배치되어 상기 제1 필름 및 제2 필름 중 적어도 하나의 단부에 점착되도록 구성된 점착롤;을 포함하는 것이 바람직하다.

상기 제1 로봇암 및 제2 로봇암은 상기 박리영역 내에서 상기 제1 흡착부 및 제2 흡착부가 상호 대향 배치되도록 관절을 제어하는 것이 바람직하다.

상기 제1 로봇암 및 제2 로봇암은 상기 박리영역 내에서 상기 기판의 사각 귀퉁이가 최상부에 위치하도록 관절을 제어하는 것이 바람직하다.

상기 제1 로봇암에 의하여 상기 기판이 박리영역 내로 위치하면, 상기 기판의 최상단에 상기 점착롤이 부착되고, 상기 수직이송유닛이 상기 가이드유닛을 따라 아래 방향으로 이동하면서 상기 제2 필름이 상기 기판으로부터 박리되는 것이 바람직하다.

상기 제1 로봇암은 상기 제2필름이 박리된 기판을 상기 제2 로봇암에게 전달하고, 상기 제2 로봇암에 의하여 상기 기판이 박리영역 내로 위치하면, 상기 기판의 최상단에 상기 점착롤이 부착되고, 상기 수직이송유닛이 상기 가이드유닛을 따라 아래 방향으로 이동하면서 상기 제1 필름이 상기 기판으로부터 박리되는 것이 바람직하다.

상기 제1 필름 및 제2 필름이 박리된 기판을 상기 제2 로봇암으로부터 전달받는 언로딩모듈;을 더 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명의 일 실시예에 따른 두 개의 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리방법은, 기판의 제1면 및 제2면에 각각 부착된 제1필름 및 제2필름을 박리하기 위한 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리방법에 관한 것으로, 로딩모듈이 제1면이 상부로 향하도록 상기 기판을 공급하는 단계; 정렬모듈이 상기 기판을 정렬하는 단계; 제1 로봇암이 상기 기판의 제1면을 흡착하여 상기 기판을 박리영역으로 이송시키는 단계; 필름박리모듈이 상기 박리영역 내에서 제2 필름 및 제1 필름을 제거하는 단계;를 포함한다.

상기 기판을 정렬하는 단계 및 기판을 박리영역으로 이송시키는 단계 사이에는, 흠집형성모듈이 상기 제1필름 및 제2필름의 단부에 흠집을 형성시키는 단계;를 더 포함하는 것이 바람직하다.

상기 필름박리모듈은, 상기 박리영역 내에서 수직 방향으로 형성된 가이드유닛;과, 상기 가이드유닛을 따라 수직 방향으로 이동 가능하도록 구성된 수직이송유닛; 및 상기 수직이송유닛에 배치되어 상기 제1 필름 및 제2 필름 중 적어도 하나의 단부에 점착되도록 구성된 점착롤;을 포함하고, 상기 제2 필름 및 제1 필름을 제거하는 단계는, 상기 점착롤이 상기 기판 최상단의 제2 필름에 부착되는 단계; 상기 수직이송유닛이 가이드유닛을 따라 아래 방향으로 이동하면서 상기 제2 필름이 상기 기판으로부터 박리되는 단계; 상기 제2 로봇암이 상기 제1 로봇암으로부터 상기 제2 필름이 제거된 기판을 전달받은 단계; 상기 수직이송유닛이 가이드유닛을 따라 초기 위치로 복귀하는 단계; 상기 점착롤이 상기 기판 최상단의 제1 필름에 부착되는 단계; 상기 수직이송유닛이 가이드유닛을 따라 아래 방향으로 이동하면서 상기 제1 필름이 상기 기판으로부터 박리되는 단계;를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 제2 필름 및 제1 필름을 제거하는 단계 이후에는, 상기 제2 로봇암이 박리영역에 배치된 상기 기판을 언로딩모듈로 전달하는 단계;를 더 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치 및 박리방법은, 기판의 보호필름을 제거하는 과정에서 두 개의 다관절 로봇암을 이용하여 신속하게 보호필름을 제거할 수 있는 효과를 기대할 수 있다.

본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당해 기술분야에 있어서의 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해되어질 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치를 간략히 도시한 도면이다.
도 2 및 도 3은 흡집형성모듈에 의하여 필름의 단부에 흠집을 형성하는 내용을 설명하기 위한 도면이다.
도 4 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치를 이용하여 기판 양면에 부착된 보호필름을 제거하는 과정을 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리방법을 시계열적으로 도시한 플로우차트이다.
도 12는 도 11에서의 필름박리모듈이 제1 필름 및 제2 필름을 박리하는 단계를 세분화한 플로우차트이다.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

또한, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 발명의 사상을 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 발명의 사상이 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 됨을 유의해야 한다.

이하 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치를 도 1 내지 도 10을 참조하여 설명하도록 한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치는 도 2에 도시된 바와 같이 기판(10)의 제1 면 및 제2 면에 각각 부착된 제1 필름(11) 및 제2 필름(12)을 박리하기 위한 기판 보호필름 박리장치에 관한 것이다.

이러한 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치는 도 1에 도시된 바와 같이 로딩모듈(미도시), 정렬모듈(200), 제1 로봇암(400), 제2 로봇암(500) 및 필름박리모듈(600)을 기본적인 구성으로 하고 있다.

로딩모듈은 기판(10)의 제1 면이 상부로 향하도록 기판(10)을 정렬모듈(200)로 공급하는 기능을 수행하며, 정렬모듈(200)은 로딩모듈로부터 전달받은 기판(10)을 정렬하는 기능을 수행한다.

정렬모듈(200)에 의하여 정렬된 기판(10)은 후술할 제1 로봇암(400)에 의하여 박리영역으로 이송되며, 박리영역에서 필름박리모듈(600)이 제1 필름(11) 및 제2 필름(12)을 박리하게 되는데, 필름박리모듈(600)이 제1 필름(11) 및 제2 필름(12)을 용이하게 박리할 수 있도록 제1 필름(11) 및 제2 필름(12)의 단부에 예비박리과정이 진행되는 것이 바람직하다.

이러한 예비박리과정을 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치는 제1 필름(11) 및 제2 필름(12)의 단부에 흠집을 형성시키는 흠집형성모듈(300)을 더 포함할 수 있으며, 이에 대한 구체적인 설명은 후술하도록 한다.

제1 로봇암(400)은 적어도 하나의 관절(410) 및 단부에 형성된 제1 흡착부(420)를 포함하며, 제1 흡착부(420)가 정렬모듈(200)에서 정렬된 기판(10)의 제1 면을 흡착하여 기판(10)을 박리영역으로 이송시키는 기능을 수행한다.

제2 로봇암(500) 또한 적어도 하나의 관절(510) 및 단부에 형성된 제2 흡착부(520)를 포함하며, 제2 흡착부(520)가 제1 로봇암(400)으로부터 전달받은 기판(10)의 제2 면을 흡착하도록 구성된다.

필름박리모듈(600)은 박리영역 내에 배치되는 구성으로 제1 로봇암(400)의 제1 흡착부(420)에 흡착된 기판(10)의 제2 필름(12)을 제거하고, 또한 제2 로봇암(500)의 제2 흡착부(520)에 흡착된 기판(10)의 제1 필름(11)을 제거하는 기능을 수행한다.

이를 위하여 필름박리모듈(600)은 도 1에 도시된 바와 같이 박리영역 내에서 수직 방향으로 형성된 가이드유닛(610)과, 가이드유닛(610)을 따라 수직 방향으로 이동 가능하도록 구성된 수직이송유닛(620) 및 수직이송유닛(620)에 배치되어 상기 제1 필름 및 제2 필름 중 적어도 하나의 단부에 점착되도록 구성된 점착롤(630)을 포함하도록 구성될 수 있다.

아울러 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치는 제1 필름(11) 및 제2 필름(12)이 제거된 기판(10)을 제2 로봇암(500)으로부터 전달받는 언로딩모듈(700)을 추가적으로 구비할 수 있다.

상술한 각 구성들의 내용 및 도 1 내지 도 10에 기초하여 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치에 대하여 설명하도록 한다.

먼저 도 1에 도시된 바와 같이 기판(10)이 로딩모듈에 의하여 정렬모듈(200)에 안착되고, 이때 제1면이 상부로 향하도록 기판이 정렬모듈(200) 상에 안착되며, 이후 정렬모듈(200)은 안착된 기판(10)을 정렬하게 된다.

이후 흠집형성모듈(300)에 의한 예비박리과정이 수행될 수 있으며, 특히 흠집형성모듈(300)은 의하여 도 2의 “A”부와 같이 기판(10)의 사각 귀퉁이 부분의 제1 필름(11) 및 제2 필름(12)에 흠집을 형성시켜, 도 3에 도시된 바와 같이 기판(10)과 필름(11, 12) 사이에 틈(13)을 형성시킴으로써 후술할 필름박리모듈(600)이 원활하게 필름(11, 12)을 제거할 수 있게 된다.

이러한 흠집형성모듈(300)은 상호 대향되도록 배치된 롤러를 이용하여 흠집을 형성할 수도 있으며, 히터를 이용하여 열을 이용하거나 또는 레이저 등을 이용하여 흠집(13)을 형성할 수 있으며, 상술한 수단 이외에 다양한 수단을 통하여 흠집(13)을 형성하는 것이 가능하다.

이후 도 4에 도시된 바와 같이 제1 로봇암(400)의 제1 흡착부(410)가 정렬모듈(200)에서 정렬된 기판(10)의 제1 면을 흡착한 후 관절(420)을 구동시켜 도 5에 도시된 바와 같이 기판(10)을 박리영역을 이송한다.

이때 제1 로봇암(400)은 지면에 수평한 상태에 있던 기판(10)을 사각 귀퉁이가 최상부에 위치하도록 회전시켜서 박리영역 내에서는 기판(10)을 중력방향과 평행하게 직립으로 세우게 되며, 이때 최상부에 위치한 사각 귀퉁이의 필름(11, 12)에는 전술한 흠집형성모듈(300)에 의하여 흠집(13)이 형성되어 있다.

특히 제2 필름(12)에 형성된 흠집(13)이 필름박리모듈(600)의 접착롤(630)에 부착될 수 있도록 제1 로봇암(400) 및 수직이송유닛(620) 중 적어도 하나가 제어되며, 이 상태에서 수직이송유닛(620)을 가이드유닛(610)을 따라 아래 방향으로 이동시키면 도 6과 같이 제2 필름(12)이 기판(10)으로부터 박리되게 된다.

이후 도 7에 도시된 바와 같이 제1 로봇암(400)이 제2 로봇암(500)에게 제2 필름(12)이 박리된 기판(10)을 전달하며, 구체적으로 제1 로봇암(400)의 제1 흡착부(420)에 흡착된 기판(10)을 제2 로봇암(500)의 제2 흡착부(520)에 전달하는데, 이때 제2 흡착부(520)는 기판(10)의 제2 면을 흡착하게 된다.

이를 위해서 제2 로봇암(500)의 제2 흡착부(520)는 제1 로봇암(400)의 제1 흡착부(420)와 상호 대향되도록 배치되는 것이 바람직하며, 이를 통하여 기판(10)은 그 사각 귀퉁이가 최상부에 위치하도록 제2 로봇암(500)의 제2 흡착부(420)에 흡착된 상태로 박리영역 내에 배치된다.

이후 도 8에 도시된 바와 같이 제1 필름(11)에 형성된 흠집(13)이 필름박리모듈(600)의 접착롤(630)에 부착될 수 있도록 필름박리모듈(600)의 수직이송유닛(620)이 가이드유닛(610)을 따라 상부 방향으로 이동하며, 제2 로봇암(500) 및 수직이송유닛(620)의 제어에 의하여 접착롤(630)이 제1 필름(11)의 흠집(13)에 부착되면 수직이송유닛(620)을 가이드유닛(610)을 따라 아래 방향으로 이동시켜 도 9에서 도시된 바와 같이 제1 필름(11)이 기판(10)으로부터 박리되게 된다.

상기 과정에 의하여 제1 필름(11) 및 제2 필름(12)이 모두 박리된 기판(10)은 제2 로봇암(500)에 의하여 언로딩모듈(700)로 최종적으로 이송되게 된다.

이하에서는 도 11 및 도 12를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리방법에 대하여 설명하되, 앞서 설명한 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치의 내용과 중복되는 내용은 그 자세한 설명을 생략하도록 한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리방법은, 기판(10)의 제1 면 및 제2 면에 각각 부착된 제1 필름(11) 및 제2 필름(12)을 박리하기 위한 기판 보호필름 박리방법에 관한 것으로, 도 11에 도시된 바와 같이 크게 6단계로 진행된다.

먼저 로딩모듈이 기판(10)의 제1 면이 상부로 향하도록 기판(10)을 공급하는 단계(S100)와 정렬모듈(200)이 기판(10)을 정렬하는 단계(S200)가 수행된다.

이후 흠집형성모듈(300)이 제1 필름(11) 및 제2 필름(12)의 단부에 흠집(13)을 형성시키는 단계(S300) 및 제1 로봇암(400)이 기판(10)의 제1 면을 흡착하여 기판(10)을 박리영역으로 이송시키는 단계(S400)가 수행된다.

특히 기판(10)을 박리영역으로 이송시키는 단계(S400)는 제1 로봇암(400)은 지면에 수평한 상태에 있던 기판(10)을 사각 귀퉁이가 최상부에 위치하도록 회전시켜서 박리영역 내에서는 기판(10)을 중력방향과 평행하게 직립으로 세우게 되며, 이때 최상부에 위치한 사각 귀퉁이의 필름(11, 12)에는 전술한 흠집형성모듈(300)에 의하여 흠집(13)이 형성되어 있다.

다음으로는 필름박리모듈(600)이 박리영역 내에서 제2 필름(12) 및 제1 필름(11)을 제거하는 단계(S500)가 수행되는데, 구체적으로 도 12에 도시된 바와 같이 6개의 단계로 세분화할 수 있다.

먼저 필름박리모듈(600)의 점착롤(630)이 기판(10) 최상단의 제2 필름(12)에 부착되는 단계(S510)가 수행되며, 이때 점착롤(630)은 제2 필름(12)의 흡집부(13)에 부착되게 된다.

이후 필름박리모듈(600)의 수직이송유닛(620)이 가이드유닛(610)을 따라 아래 방향으로 이동하면서 제2 필름(12)이 기판(10)으로부터 박리되는 단계(S520)와, 제2 로봇암(500)이 상기 제1 로봇암(400)으로부터 제2 필름(12)이 제거된 기판(10)을 전달받은 단계(S530)가 수행된다.

다음으로 수직이송유닛(620)이 가이드유닛(610)을 따라 초기 위치로 복귀하는 단계(S540), 점착롤(630)이 기판(10) 최상단의 제1 필름(11)에 부착되는 단계(S550) 및 수직이송유닛(620)이 가이드유닛(610)을 따라 아래 방향으로 이동하면서 제1 필름(11)이 기판(10)으로부터 박리되는 단계(S560)가 순차적으로 진행된다.

이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.

200: 정렬모듈
300: 흠집형성모듈
400: 제1 로봇암
500: 제2 로봇암
600: 필름박리모듈
700: 언로딩모듈?

Claims

기판의 제1 면 및 제2 면에 각각 부착된 제1 필름 및 제2 필름을 박리하기 위한 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치에 있어서,
상기 제1 면이 상부로 향하도록 상기 기판을 공급하는 로딩모듈;
상기 로딩모듈로부터 전달된 상기 기판을 정렬하는 정렬모듈;
적어도 하나의 관절 및 단부에 형성된 제1 흡착부를 포함하되, 상기 제1 흡착부가 상기 정렬모듈에서 정렬된 기판의 제1 면을 흡착하여 상기 기판을 박리영역으로 이송시키는 제1 로봇암;
적어도 하나의 관절 및 단부에 형성된 제2 흡착부를 포함하되, 상기 제2 흡착부가 상기 제1 로봇암으로부터 전달받은 기판의 제2 면을 흡착하는 제2 로봇암; 및
상기 박리영역 내에 배치되고 상기 제1 로봇암에 흡착된 기판의 제2 필름 및 제2 로봇암에 흡착된 기판의 제1 필름 중 적어도 하나를 제거하는 필름박리모듈;
을 포함하는 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 필름 및 제2 필름의 단부에 흠집을 형성시키는 흠집형성모듈;
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치.
청구항 1에 있어서, 상기 필름박리모듈은,
상기 박리영역 내에서 수직 방향으로 형성된 가이드유닛;
상기 가이드유닛을 따라 수직 방향으로 이동 가능하도록 구성된 수직이송유닛; 및
상기 수직이송유닛에 배치되어 상기 제1 필름 및 제2 필름 중 적어도 하나의 단부에 점착되도록 구성된 점착롤;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치.
청구항 3에 있어서,
상기 제1 로봇암에 의하여 상기 기판이 박리영역 내로 위치하면, 상기 기판의 최상단에 상기 점착롤이 부착되고,
상기 수직이송유닛이 상기 가이드유닛을 따라 아래 방향으로 이동하면서 상기 제2 필름이 상기 기판으로부터 박리되는 것을 특징으로 하는 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치.
청구항 4에 있어서,
상기 제1 로봇암은 상기 제2필름이 박리된 기판을 상기 제2 로봇암에게 전달하고,
상기 제2 로봇암에 의하여 상기 기판이 박리영역 내로 위치하면, 상기 기판의 최상단에 상기 점착롤이 부착되고,
상기 수직이송유닛이 상기 가이드유닛을 따라 아래 방향으로 이동하면서 상기 제1 필름이 상기 기판으로부터 박리되는 것을 특징으로 하는 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 필름 및 제2 필름이 박리된 기판을 상기 제2 로봇암으로부터 전달받는 언로딩모듈;
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리장치.
기판의 제1면 및 제2면에 각각 부착된 제1필름 및 제2필름을 박리하기 위한 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리방법에 있어서,
로딩모듈이 제1면이 상부로 향하도록 상기 기판을 공급하는 단계;
정렬모듈이 상기 기판을 정렬하는 단계;
제1 로봇암이 상기 기판의 제1면을 흡착하여 상기 기판을 박리영역으로 이송시키는 단계;
필름박리모듈이 상기 박리영역 내에서 제2 필름 및 제1 필름을 제거하는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리방법.
청구항 7에 있어서,
상기 기판을 정렬하는 단계 및 기판을 박리영역으로 이송시키는 단계 사이에는,
흠집형성모듈이 상기 제1필름 및 제2필름의 단부에 흠집을 형성시키는 단계;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리방법.
청구항 7에 있어서,
상기 필름박리모듈은, 상기 박리영역 내에서 수직 방향으로 형성된 가이드유닛;과, 상기 가이드유닛을 따라 수직 방향으로 이동 가능하도록 구성된 수직이송유닛; 및 상기 수직이송유닛에 배치되어 상기 제1 필름 및 제2 필름 중 적어도 하나의 단부에 점착되도록 구성된 점착롤;을 포함하고,
상기 제2 필름 및 제1 필름을 제거하는 단계는,
상기 점착롤이 상기 기판 최상단의 제2 필름에 부착되는 단계;
상기 수직이송유닛이 가이드유닛을 따라 아래 방향으로 이동하면서 상기 제2 필름이 상기 기판으로부터 박리되는 단계;
상기 제2 로봇암이 상기 제1 로봇암으로부터 상기 제2 필름이 제거된 기판을 전달받은 단계;
상기 수직이송유닛이 가이드유닛을 따라 초기 위치로 복귀하는 단계;
상기 점착롤이 상기 기판 최상단의 제1 필름에 부착되는 단계;
상기 수직이송유닛이 가이드유닛을 따라 아래 방향으로 이동하면서 상기 제1 필름이 상기 기판으로부터 박리되는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리방법.
청구항 7에 있어서, 상기 제2 필름 및 제1 필름을 제거하는 단계 이후에는,
상기 제2 로봇암이 박리영역에 배치된 상기 기판을 언로딩모듈로 전달하는 단계;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼 다관절 로봇암을 구비한 수직방식의 기판 보호필름 박리방법.