KR20230165445A - 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 제1캐리어와 커버의 위치가 반전되어 공급되어도 칩의 탈락 없이 커버를 제거하고 칩을 이전할 수 있는 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
Description
본 발명은, 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 제1캐리어와 커버의 위치가 반전되어 공급되어도 칩의 탈락 없이 커버를 제거하고 칩을 이전할 수 있는 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
기판 제조 공정 또는 반도체 제조 공정상에는 칩이 수용된 캐리어를 공정별로 이동해야 하는 경우가 있다. 이 때에는 칩이 수용된 캐리어들을 매거진에 여러 층으로 수납하여 이동하게 된다.
이때, 공정별로 해당 특성에 따라 칩의 상면이 상방으로 노출된 채 공급되어야 하는 공정이 있는 반면, 칩의 배면이 상방으로 노출된 채 공급되어야 하는 공정도 있다. 그리고, 통상의 경우 캐리어의 상면에 칩이 수용되고 커버가 이들을 상방에서 덮도록 구성되나, 이와 반대로 커버가 하부에, 캐리어가 상부에 위치하도록 뒤집힌 경우도 있다.
한편, 어느 한 캐리어에 수용된 칩들을 후속 공정의 지그 사이즈 문제 등에 의해 다른 빈 캐리어에 이전시킬때도 종래에는 각 칩의 상부에 무수히 많은 진공 흡착구를 구비하여서 칩들을 일대일로 옮겨야 했는데, 칩의 배면이 상방으로 향하도록 옮겨야 하는 경우 이 방법은 활용할 수 없는 문제가 있었다.
따라서, 커버가 캐리어의 하부에 위치한 뒤집힌 캐리어의 커버를 칩의 이탈 없이 제거할 수 있으며, 캐리어간 칩의 이전이 한번에 이루어질 수 있도록 하는 장치의 개발이 필요로 하게 되었다.
본 발명은, 제1캐리어와 커버의 위치가 반전되어 공급되어도 칩의 탈락 없이 커버를 제거하고 칩을 이전할 수 있는 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은, 칩을 하나씩 옮기지 않고 캐리어 대 캐리어로 한번에 이전할 수 있으면서도 칩의 탈락이 없는 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은, 사전 공정으로부터 캐리어가 수납된 매거진이 캐리어의 불출 방향과 다른 방향으로 제공되더라도 이를 캐리어의 불출 방향에 맞게 회전하여 캐리어를 불출할 수 있는 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은, 제1캐리어(1)와 상기 제1캐리어(1)의 상면에 수용된 칩들의 이탈을 방지하도록 상기 제1캐리어(1)의 상방에 배치된 커버(1a)로 이루어진 제1캐리어체(1`)가 뒤집혀 상기 커버(1a)가 상기 제1캐리어(1)의 하부에 위치하도록 반전 공급 라인상으로 인입되며, 상기 제1캐리어체(1`)를 파지한 후 제1캐리어체(1`)의 일측 상방으로 180도 힌지 회전하여 제1라인상에 제1캐리어체(1`)를 위치시키는 캐리어 반전 유닛(300); 상기 캐리어 반전 유닛(300)에서 이송된 제1캐리어체(1`)에 흡착구(550)를 접촉 또는 이격시켜 제1캐리어(1)의 상단에 위치된 커버(1a)를 제거하는 커버 제거 유닛(500); 제1라인상을 따라 이동한 제1캐리어(1)를 상면이 노출되게 수납하는 제1이전부(410)와, 제2라인상을 따라 이동한 제2캐리어(2)를 상면이 노출되게 수납하는 제2이전부(420)와, 상기 제1이전부(410)와 상기 제2이전부(420)가 힌지결합되는 이전 샤프트(430)를 포함하여서, 상기 제2이전부(420)가 제1라인 방향으로 180도 힌지 회전하여 제2캐리어(2)의 상면이 제1캐리어(1)의 상면에 접하면, 상기 제1이전부(410)와 상기 제2이전부(420)가 함께 제2라인 방향으로 180도 힌지 회전하고, 상기 제1이전부(410)가 제1라인 방향으로 180도 힌지 회전하여 원위치되는 것으로 제1캐리어(1)에 수용되었던 복수의 칩이 제2캐리어(2)에 이전 수용되는 칩 이전 유닛(400);을 포함한다.
또한, 본 발명의 상기 캐리어 반전 유닛(300)은, 반전 상부 핸들(311)과, 상기 반전 상부 핸들(311)의 하방에 위치되는 반전 하부 핸들(312)과, 상기 반전 상부 핸들(311)과 상기 반전 하부 핸들(312)에 결합되어서 상기 반전 상부 핸들(311)과 상기 반전 하부 핸들(312)의 이격 거리를 가변시켜 상기 반전 상부 핸들(311)과 상기 반전 하부 핸들(312)의 사이에 위치한 물체를 파지할 수 있도록 하는 반전 그리퍼 실린더(313)와, 상기 반전 그리퍼 실린더(313)의 일측에 결합되는 반전 실린더 블록(314)을 포함하는 반전 홀딩부(310); 상기 반전 실린더 블록(314)의 일측에 결합되는 반전 회동 블록(321)과, 상기 반전 회동 블록(321)의 회전축이 회동 가능하게 장착되는 반전 지지 블록(322)과, 상기 반전 회동 블록(321)의 회전축에 회전 동력을 제공하는 반전 구동 모듈을 포함하여서, 상기 반전 구동 모듈의 구동시 상기 반전 홀딩부(310)를 상기 반전 회동 블록(321)의 회전축을 기준으로 180도 회전시키는 반전 회동부(320);를 포함한다.
또한, 본 발명의 상기 제1이전부(410)는, 제1라인상에 위치되어 제1라인상을 이동한 제1캐리어(1)가 수용되는 제1이전 블록(411)과, 상기 제1이전 블록(411)의 일측으로 돌출되어 상기 이전 샤프트(430)에 회동 가능하게 결합되는 제1이전 힌지(412)와, 상기 제1이전 힌지(412)에 회전력을 제공하는 제1이전 구동 모듈(413)을 포함하고, 상기 제2이전부(420)는, 제2라인상에 위치되어 제2라인상을 이동한 제2캐리어(2)가 수용되는 제2이전 블록(421)과, 상기 제2이전 블록(421)의 일측으로 돌출되어 상기 이전 샤프트(430)에 회동 가능하게 결합되는 제2이전 힌지(422)와, 상기 제2이전 힌지(422)에 회전력을 제공하는 제2이전 구동 모듈(423)을 포함한다.
또한, 본 발명의 상기 칩 이전 유닛(400)은, 상기 제1이전 블록(411)에 구비되는 제1이전 그리퍼 실린더(461)와, 상기 제1이전 그리퍼 실린더(461)에 상호 이격되게 결합되어 상기 제1이전 그리퍼 실린더(461)의 동작에 따라 이격 거리가 가변되는 한 쌍의 제1이전 그리퍼 핸들(462)과, 각각의 상기 제1이전 그리퍼 핸들(462)에 결합되어 제1캐리어(1) 방향으로 제1정렬핀(464)을 승강시키는 제1정렬핀 승강 수단(463)을 포함하여서, 상기 제1정렬핀 승강 수단(463)이 상기 제1정렬핀(464)을 상승시킨 후 상기 제1이전 그리퍼 실린더(461)가 상기 제1이전 그리퍼 핸들(462)의 이격 거리를 좁히면 상기 제1정렬핀(464)이 제1캐리어(1)의 양측을 가압하여 파지하는 제1정렬 모듈(460); 상기 제2이전 블록(421)에 구비되는 제2이전 그리퍼 실린더(471)와, 상기 제2이전 그리퍼 실린더(471)에 상호 이격되게 결합되어 상기 제2이전 그리퍼 실린더(471)의 동작에 따라 이격 거리가 가변되는 한 쌍의 제2이전 그리퍼 핸들(472)과, 각각의 상기 제2이전 그리퍼 핸들(472)에 결합되어 제2캐리어(2) 방향으로 제2정렬핀(474)을 승강시키는 제2정렬핀 정렬핀 승강 수단(473)을 포함하여서, 상기 제2정렬핀 정렬핀 승강 수단(473)이 상기 제2정렬핀(474)을 상승시킨 후 상기 제2이전 그리퍼 실린더(471)가 상기 제2이전 그리퍼 핸들(472)의 이격 거리를 좁히면 상기 제2정렬핀(474)이 제2캐리어(2)의 양측을 가압하여 파지하는 제2정렬 모듈(470);을 포함한다.
또한, 본 발명의 상기 제1이전부(410)는, 상호 평행하게 이격되어 상기 제1이전 블록(411)에 결합되는 한 쌍의 제1이전 홀딩 레일(414)을 포함하되, 상기 제1이전 홀딩 레일(414)은 상호 마주보는 방향의 측면 상단이 내측으로 돌출되어 상기 제1이전 블록(411)과의 사이에 제1캐리어(1)가 수납되고, 상기 제2이전부(420)는, 상호 평행하게 이격되어 상기 제2이전 블록(421)에 결합되는 한 쌍의 제2이전 홀딩 레일(424)을 포함하되, 상기 제2이전 홀딩 레일(424)은 상호 마주보는 방향의 측면 상단이 내측으로 돌출되어 상기 제2이전 블록(421)과의 사이에 제2캐리어(2)가 수납된다.
또한, 본 발명은, 상기 제1캐리어체(1`)가 수납된 제1공급 매거진(10)을 승강시키면서 제1캐리어체(1`)를 반전 공급 라인상으로 불출시키는 제1캐리어 불출 유닛(200); 상기 제2캐리어(2)가 수납된 제2공급 매거진(20)을 승강시키면서 제2캐리어(2)를 제2라인상으로 불출시키는 제2캐리어 불출 유닛(1200); 상기 제1캐리어 불출 유닛(200)에 제1공급 매거진(10)을 공급하는 제1공급 매거진 공급 유닛(100); 상기 제2캐리어 불출 유닛(1200)에 제2공급 매거진(20)을 공급하는 제2공급 매거진 공급 유닛(1100);을 포함하되, 상기 제1공급 매거진 공급 유닛(100)은, 제1공급 매거진(10)의 하단 모서리를 지지하는 한 쌍의 이격된 제1공급 매거진 버퍼(110)와, 상기 제1공급 매거진 버퍼(110)의 하방에서 상기 제1공급 매거진 버퍼(110)의 사이로 승강되며 상승시 상기 제1공급 매거진 버퍼(110)에 지지된 제1공급 매거진(10)의 하단을 지지하여 상승시키는 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)를 포함하는 제1공급 매거진 승강부(120)와, 상기 제1공급 매거진 승강부(120)의 상승 동작시 상기 제1공급 매거진 승강부(120)를 제1방향으로 이동시키고 상기 제1공급 매거진 승강부(120)의 하강 동작시 상기 제1공급 매거진 승강부(120)를 제2방향으로 이동시켜 원위치시키는 제1공급 매거진 이송부(130)를 포함하며, 상기 제2공급 매거진 공급 유닛(1100)은, 제2공급 매거진(20)의 하단 모서리를 지지하는 한 쌍의 이격된 제2공급 매거진 버퍼(1110)와, 상기 제2공급 매거진 버퍼(1110)의 하방에서 상기 제2공급 매거진 버퍼(1110)의 사이로 승강되며 상승시 상기 제2공급 매거진 버퍼(1110)에 지지된 제2공급 매거진(20)의 하단을 지지하여 상승시키는 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)를 포함하는 제2공급 매거진 승강부(1120)와, 상기 제2공급 매거진 승강부(1120)의 상승 동작시 상기 제2공급 매거진 승강부(1120)를 제1방향으로 이동시키고 상기 제2공급 매거진 승강부(1120)의 하강 동작시 상기 제2공급 매거진 승강부(1120)를 제2방향으로 이동시켜 원위치시키는 제2공급 매거진(20) 이송부를 포함한다.
또한, 본 발명의 상기 제1공급 매거진 공급 유닛(100)은, 제1공급 매거진 전달홈(141a)이 상방으로부터 인입 형성되고 상단에 제1공급 매거진(10)이 안착되는 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)와, 상기 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)의 하단에 결합되어 상기 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)를 회전시키는 제1공급 매거진 회전 스테이지(142)와, 상기 제1공급 매거진 회전 스테이지(142)를 제1방향으로 이동시키는 제1공급 매거진 전달 실린더(143)를 포함하는 제1공급 매거진 회전 및 전달부(140)를 포함하여서, 상기 제1공급 매거진 전달 실린더(143)가 상기 제1공급 매거진(10) 회전 모듈을 제1방향으로 이동시킬 때 상기 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)가 상기 제1공급 매거진 전달홈(141a)의 내측에 위치되며, 상기 제2공급 매거진 공급 유닛(1100)은, 제2공급 매거진 전달홈(1141a)이 상방으로부터 인입 형성되고 상단에 제2공급 매거진(20)이 안착되는 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)와, 상기 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)의 하단에 결합되어 상기 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)를 회전시키는 제2공급 매거진 회전 스테이지(1142)와, 상기 제2공급 매거진 회전 스테이지(1142)를 제1방향으로 이동시키는 제2공급 매거진 전달 실린더(1143)를 포함하는 제2공급 매거진 회전 및 전달부(1140)를 포함하여서, 상기 제2공급 매거진 전달 실린더(1143)가 상기 제2공급 매거진(20) 회전 모듈을 제1방향으로 이동시킬 때 상기 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)가 상기 제2공급 매거진 전달홈(1141a)의 내측에 위치된다.
본 발명은, 제1캐리어(1)와 커버(1a)의 위치가 반전되어 공급되어도 칩의 탈락 없이 커버(1a)를 제거하고 칩을 이전할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 칩을 하나씩 옮기지 않고 캐리어 대 캐리어로 한번에 이전할 수 있으면서도 칩의 탈락이 없는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 사전 공정으로부터 캐리어가 수납된 매거진이 캐리어의 불출 방향과 다른 방향으로 제공되더라도 이를 캐리어의 불출 방향에 맞게 회전하여 캐리어를 불출할 수 있는 효과가 있다.
도1은 본 발명의 실시예에 따른 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치의 사시도.
도2는 본 발명의 실시예에 따른 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치의 제1 및 제2공급 매거진 공급 유닛의 사시도.
도3은 본 발명의 실시예에 따른 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치의 제1 및 제2공급 매거진 공급 유닛의 요부 사시도.
도4는 본 발명의 실시예에 따른 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치의 제1 및 제2캐리어 불출 유닛의 사시도.
도5는 본 발명의 실시예에 따른 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치의 캐리어 반전 유닛의 사시도.
도6은 본 발명의 실시예에 따른 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치의 제1 및 제2캐리어 이송 유닛의 사시도.
도7은 본 발명의 실시예에 따른 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치의 커버 제거 유닛의 사시도.
도8은 본 발명의 실시예에 따른 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치의 칩 이전 유닛의 사시도.
도9는 본 발명의 실시예에 따른 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치의 칩 이전 유닛의 사용 상태도.
도2는 본 발명의 실시예에 따른 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치의 제1 및 제2공급 매거진 공급 유닛의 사시도.
도3은 본 발명의 실시예에 따른 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치의 제1 및 제2공급 매거진 공급 유닛의 요부 사시도.
도4는 본 발명의 실시예에 따른 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치의 제1 및 제2캐리어 불출 유닛의 사시도.
도5는 본 발명의 실시예에 따른 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치의 캐리어 반전 유닛의 사시도.
도6은 본 발명의 실시예에 따른 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치의 제1 및 제2캐리어 이송 유닛의 사시도.
도7은 본 발명의 실시예에 따른 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치의 커버 제거 유닛의 사시도.
도8은 본 발명의 실시예에 따른 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치의 칩 이전 유닛의 사시도.
도9는 본 발명의 실시예에 따른 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치의 칩 이전 유닛의 사용 상태도.
이하에서, 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명은, 상면에 복수의 칩이 수용되고 그 상단에 커버(1a)가 안착되어 칩의 이탈을 방지하도록 구성된 제1캐리어(1)의 칩들을 칩이 수용되지 않은 빈 제2캐리어(2)에 이전시키는 장치로서, 이때, 사전 공정에서 제1캐리어(1)와 커버(1a)의 위치가 반전된 채 제1공급 매거진(10)에 수납되어 공급된 경우를 상정한 발명이다.
본 발명에 의하면 제1캐리어(1)의 상부에 칩이 수용되고 그 상부를 커버(1a)가 덮고 있는 제1캐리어체(1`)가 뒤집혀 공급되고 있다. 따라서, 이 상태 그대로 제1캐리어(1)와 커버(1a)를 분리하게 되면 제1캐리어(1)에 수용되었던 칩들이 커버(1a) 방향으로 낙하하여 유실되므로, 이를 위한 기본 동작은, 우선, 제1캐리어(1)를 커버(1a)와 분리시키지 않은 채 뒤집어 반전시켜 제1캐리어(1)가 하부에 커버(1a)가 상부에 위치하게 한다. 그리고 제1캐리어(1)로부터 커버(1a)를 제거한 후, 제2캐리어(2)를 뒤집어 제1캐리어(1)의 상단에 밀착시킨다. 이러면 제2캐리어(2)의 상단과 제1캐리어(1)의 상단이 서로 접하고 되고, 이 상태 그대로 제2캐리어(2)와 제1캐리어(1)를 함께 뒤집으면 제1캐리어(1)에 수용되었던 칩들이 제2캐리어(2)로 낙하되어 수용된다. 이후 제1캐리어(1)를 제2캐리어(2)로부터 분리하여 각각 배출하는 것으로 뒤집혀 공급된 제1캐리어(1)의 칩들을 제2캐리어(2)에 안정적으로 이전 수용시킬 수 있게 된다. 이 과정에서 칩은 뒤집힌 형태로 제2캐리어(2)에 수용되게 되는데, 이는 후속되는 공정에서 뒤집힌 채로 공급되는 칩이 요구되기 때문이다.
이를 위한 본 발명은, 도1 내지 도9에 도시된 바와 같이, 복수의 칩이 상면에 배열되어 수용된 캐리어(1)와, 칩의 상단에 접하도록 커버(1a)가 구비되는 제1캐리어체(1`)의 상하단이 뒤집혀 수납된 제1공급 매거진(10)을 승강시키면서 제1캐리어체(1`)를 반전 공급 라인상으로 불출시키는 제1캐리어 불출 유닛(200)과, 칩이 수용되지 않은 제2캐리어(2)가 수납된 제2공급 매거진(20)을 승강시키면서 제2캐리어(2)를 제2라인상으로 불출시키는 제2캐리어 불출 유닛(1200)과, 제1캐리어 불출 유닛(200)으로부터 불출된 제1캐리어체(1`)를 파지한 후 제1캐리어체(1`)의 일측 상방으로 180도 힌지 회전하여 제1라인상에 제1캐리어체(1`)를 위치시키는 캐리어 반전 유닛(300)과, 제1캐리어체(1`)에 흡착구(550)가 접근하여 제1캐리어(1)의 상단에 위치된 커버(1a)를 흡착 제거하는 커버 제거 유닛(500)과, 제1라인상을 따라 이동한 제1캐리어(1)를 상면이 노출되게 수납하는 제1이전부(410), 제2라인상을 따라 이동한 제2캐리어(2)를 상면이 노출되게 수납하는 제2이전부(420), 제1이전부(410)와 제2이전부(420)가 힌지결합되는 이전 샤프트(430)를 포함하여서, 제2이전부(420)가 제1라인 방향으로 180도 힌지 회전하여 제2캐리어(2)의 상면이 제1캐리어(1)의 상면에 접하면, 제1이전부(410)와 제2이전부(420)가 함께 제2라인 방향으로 180도 힌지 회전하고, 제1이전부(410)가 제1라인 방향으로 180도 힌지 회전하여 원위치되는 것으로 제1캐리어(1)에 수용되었던 복수의 칩이 제2캐리어(2)에 이전 수용되는 칩 이전 유닛(400)과, 제1라인상의 칩 이전 유닛(400) 후단에 배치되어 제1배출 매거진(11)을 승강시키면서 제1라인상을 이동한 제1캐리어(1)를 수납하는 제1캐리어 배출 유닛(700)과, 제2라인상의 칩 이전 유닛(400) 후단에 배치되어 제2배출 매거진(21)을 승강시키면서 제2라인상을 이동한 제2캐리어(2)를 수납하는 제2캐리어 배출 유닛(1700)과, 제1라인과 평행하게 설치된 제1레일(601)상을 이동하며 캐리어 반전 유닛(300)의 제1캐리어(1)를 칩 이전 유닛(400)에 제공하거나, 칩 이전 유닛(400)의 제1캐리어(1)를 상기 제1캐리어 배출 유닛(700)에 제공하는 제1캐리어 이송 유닛(600)과, 제2라인과 평행하게 설치된 제2레일(1601)상을 이동하며 제2캐리어(2)를 칩 이전 유닛(400)에 제공하거나, 칩 이전 유닛(400)의 제2캐리어(2)를 제2캐리어 배출 유닛(1700)에 제공하는 제2캐리어 이송 유닛(1600)을 포함하여 구성된다.
그리고, 제1캐리어 불출 유닛(200)에 제1공급 매거진(10)을 공급하는 제1공급 매거진 공급 유닛(100)과, 제2캐리어 불출 유닛(1200)에 제2공급 매거진(20)을 공급하는 제2공급 매거진 공급 유닛(1100)을 더 포함하여 구성된다.
제1공급 매거진 공급 유닛(100)은, 제1공급 매거진(10)을 제1캐리어 불출 유닛(200) 방향으로 이동시키는 역할을 한다.
이를 위하여 제1공급 매거진 공급 유닛(100)은, 제1공급 매거진(10)의 하단 모서리를 지지하는 한 쌍의 이격된 제1공급 매거진(10) 버퍼와, 제1공급 매거진 버퍼(110)의 하방에서 제1공급 매거진 버퍼(110)의 사이로 승강되며 상승시 제1공급 매거진 버퍼(110)에 지지된 제1공급 매거진(10)의 하단을 지지하여 상승시키는 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)를 포함하는 제1공급 매거진 승강부(120)와, 제1공급 매거진 승강부(120)의 상승 동작시 제1공급 매거진 승강부(120)를 제1방향으로 이동시키고 제1공급 매거진 승강부(120)의 하강동작시 제1공급 매거진 승강부(120)를 제2방향으로 이동시켜 원위치시키는 제1공급 매거진 이송부(130)를 포함하여 구성된다.
제1공급 매거진 버퍼(110)는, 제1공급 매거진(10)의 이동간에 제1공급 매거진(10)을 지지하여 임시 저장하는 역할을 한다. 제1공급 매거진 버퍼(110)는 상호 평행하게 이격된 한 쌍의 막대 혹은 블록 형태로 구성되며, 이격된 사이로 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)가 상하로 통과된다.
제1공급 매거진 버퍼(110)는 도면상에는 총 3개의 제1공급 매거진(10)을 수용할 수 있는 것으로 도시되었으나, 하나만 수용할 수 있도록 구성되거나 또는 4개 이상을 수용할 수 있도록 구성될 수 있음은 물론이다.
제1공급 매거진 버퍼(110)는 제1공급 매거진(10)의 대향하는 두 측면에 인접하는 단턱이 형성될 수 있으며, 이를 통해 제1공급 매거진(10)의 틀어짐을 방지할 수 있게 된다. 이때, 어느 정도 제1공급 매거진(10)의 방향이 틀어졌더라도 단턱부 상단에 걸리지 않고 다시 원래 방향으로 돌아오면서 안착될 수 있도록 단턱에는 경사가 형성될 수 있다. 그리고, 여러 개의 제1공급 매거진(10)이 수용되는 경우 각 제1공급 매거진(10)의 사이를 구분하는 제1안착 돌기(미도시)가 제1공급 매거진 버퍼(110)의 매거진 안착면에 부착될 수 있다.
한 쌍의 제1공급 매거진 버퍼(110)의 이격된 사이로는 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)가 승강 또는 이동된다. 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)는 제1공급 매거진 버퍼(110)에 안착된 제1공급 매거진(10)의 하단을 지지하여 상승시키고, 상승된 상태에서 제1방향으로 이동하여 하강함으로써 제1공급 매거진(10)을 제1공급 매거진 버퍼(110)의 다음 안착부에 안착시킨다. 그리고 하강된 상태에서 제1방향의 반대 방향인 제2방향으로 이동하여 원위치되고, 다시 상승하여 제1방향으로 이동하는 동작을 반복함으로써 제1공급 매거진(10)을 순차적으로 제1캐리어 불출 유닛(200) 방향으로 이동시킨다.
이를 위하여 제1공급 매거진 공급 유닛(100)은, 제1공급 매거진 버퍼(110)의 하방에서 제1공급 매거진 버퍼(110)의 사이로 승강되며 상승시 제1공급 매거진 버퍼(110)에 지지된 제1공급 매거진(10)의 하단을 지지하여 상승시키는 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)를 포함하는 제1공급 매거진 승강부(120)와, 제1공급 매거진 승강부(120)의 상승 동작시 제1공급 매거진 승강부(120)를 제1방향으로 이동시키고 제1공급 매거진 승강부(120)의 하강 동작시 제1공급 매거진 승강부(120)를 제2방향으로 이동시켜 원위치시키는 제1공급 매거진 이송부(130)를 포함하여 구성된다.
제1공급 매거진 승강부(120)는 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)와, 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)를 승강시키는 제1공급 매거진 승강 실린더(122)와, 제1공급 매거진 승강 실린더(122)가 상부에 설치되는 제1공급 매거진 승강 베이스(123)와, 제1공급 매거진 승강 베이스(123)에 결합되는 제1공급 베이스 지지 블록(124)을 포함하여 구성된다. 이러한 제1공급 매거진 승강부(120)는 제1공급 매거진 승강 실린더(122)가 구동되어 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)를 승강시키고, 이를 통해 제1공급 매거진 버퍼(110)로부터 제1공급 매거진(10)을 들어올리는 역할을 한다.
이러한 제1공급 매거진 승강부(120)가 제1공급 매거진(10)을 들어올린 이후에는 제1공급 매거진(10)이 제1방향으로 이동해야하는데, 이를 위하여 제1공급 매거진(10)을 제1방향 또는 제2방향으로 이동시킬 수 있도록 제1공급 매거진 이송부(130)가 구비된다. 제1공급 매거진 이송부(130)는, 제1공급 매거진 승강 베이스(123)의 하단에서 제1공급 매거진 승강 베이스(123)에 결합되는 제1공급 매거진 이송 가이드(134)와, 제1방향과 제2방향을 잇는 라인상에 구비되어 제1공급 매거진 이송 가이드(134)가 슬라이딩 가능하게 장착되는 제1공급 매거진 이송 레일(133)과, 상기 제1공급 매거진 이송 레일(133)과 평행하게 구비되는 제1공급 매거진 이송 실린더(131)와, 제1공급 매거진 이송 실린더(131)의 셔틀에 결합되는 제1공급 매거진 이송 블록(132)과, 제1공급 매거진 이송 블록(132)으로부터 제1공급 매거진 승강부(120) 방향으로 돌출되어 제1공급 베이스 지지 블록(124)을 파지하는 제1공급 매거진 이송 핸들(132a)을 포함하여 구성된다.
이러한 제1공급 매거진 이송부(130)는, 제1공급 매거진 이송 실린더(131)가 구동되면, 셔틀에 결합된 제1공급 매거진 이송 블록(132)이 제1방향 또는 제2방향으로 이동되는데, 이때 제1공급 매거진 이송 블록(132)으로부터 돌출된 제1공급 매거진 이송 핸들(132a)이 제1공급 매거진 승강부(120)의 제1공급 베이스 지지 블록(124)을 파지하고 있으므로, 결과적으로 제1공급 매거진 승강부(120)가 제1공급 매거진 이송 레일(133)을 따라 이동하게 된다. 제1공급 매거진 이송 실린더(131)는 도면상에는 로드레스 실린더 형태로 구비된 것을 도시하였으나 이에 한정하지 않고 선형 동작되는 공지의 구동 수단이 활용될 수 있다.
이때, 제1공급 매거진 이송 실린더(131)의 구동 타이밍은, 제1공급 매거진 승강 실린더(122)가 상승 동작을 완료한 후 제1방향으로의 구동이 이루어지고, 제1공급 매거진 승강 실린더(122)가 하강 동작을 완료한 후 제2방향으로의 구동이 이루어지도록 제어되는 것이 바람직하다.
한편, 사전 공정에서 제1공급 매거진(10)이 본 발명에 공급되는 방향이 제1캐리어 불출 유닛(200)의 방향과 직교하는 방향인 경우가 있을 수 있다. 평면 형상이 직사각형 형상인 제1공급 매거진(10)은 수납 및 불출 방향이 긴축을 따라 짧은축 방향으로 이루어져야 하고, 이에 따라 제1공급 매거진 버퍼(110)도 제1공급 매거진(10)의 짧은축 모서리를 지지하도록 구성되는데, 사전 공정에서 제1공급 매거진(10)의 방향 전환이 여의치 않아 긴축이 제1공급 매거진 버퍼(110)를 향하도록 공급되는 경우가 있을 수 있다. 이러한 경우에 제1공급 매거진 버퍼(110)를 평면상 90도 회전하여 제1공급 매거진 버퍼(110)에 제공할 수 있도록 제1공급 매거진 회전 및 전달부(140)가 구성된다. 이때 90도 회전이라 함은 긴축과 짧은축의 위치를 서로 교환한다는 의미이며 시계 방향으로 90도 또는 270도, 또는, 반시계 방향으로 90도 또는 270도 회전하는 것을 모두 포함한다.
제1공급 매거진 회전 및 전달부(140)는, 제1공급 매거진 전달홈(141a)이 상방으로부터 인입 형성되고 상단에 제1공급 매거진(10)이 안착되는 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)와, 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)의 하단에 결합되어 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)를 회전시키는 제1공급 매거진 회전 스테이지(142)와, 제1공급 매거진 회전 스테이지(142)를 제1방향으로 밀거나 제2방향으로 원위치시키는 제1공급 매거진 전달 실린더(143)를 포함하여 구성된다. 제1공급 매거진 전달 실린더(143)는 도면상에는 로드레스 실린더 형태로 구비된 것을 도시하였으나 이에 한정하지 않고 선형 동작되는 공지의 구동 수단이 활용될 수 있다.
이러한 제1공급 매거진 회전 및 전달부(140)에서 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)를 굳이 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)로부터 이격시켜 구비한 후 제1공급 매거진 전달 실린더(143)를 통해 제1공급 매거진 승강 플레이트(121) 방향으로 이동시키는 이유는, 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)의 회전 방향에 따라 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)의 이동이 제한되는 경우를 배제학 위함이다. 예를 들어, 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)가 제1공급 매거진 전달홈(141a)의 방향이 제1방향과 제2방향을 잇는 가상의 라인에 직교하게 회전되어 위치된 경우 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)가 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)의 측벽에 부딪히는 사고가 발생할 우려가 있기 때문이다. 또한, 제1공급 매거진(10)은 평면 형상이 직사각형이기 때문에 제1공급 매거진(10)의 긴축이 제1방향과 제2방향을 잇는 라인과 직교하도록 회전시키려면 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)와 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)는 필연적으로 이격될수밖에 없어서 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)를 제1공급 매거진 승강 플레이트(121) 방향으로 밀어주어야만 한다.
이러한 제1공급 매거진 공급 유닛(100)의 동작을 살펴보면, 사전 공정으로부터 제1캐리어체(1`)가 상하단이 뒤집혀 수납된 제1공급 매거진(10)이 전달되어 제1공급 매거진 공급 유닛(100)의 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)에 안착된다. 그러면 제1공급 매거진 회전 스테이지(142)가 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)를 회전시켜 제1공급 매거진(10)의 긴축이 제1방향과 제2방향을 잇는 라인과 직교하도록 한다. 제1공급 매거진(10)의 회전이 완료되면 제1공급 매거진 전달 실린더(143)가 동작하여 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)를 제1공급 매거진 버퍼(110)에 근접시키며, 이 과정에서 또는 이 과정 직후 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)의 제1공급 매거진 전달홈(141a)의 내측으로 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)가 위치된다. 이후 제1공급 매거진 승강 실린더(122)가 상승 동작되면 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)가 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)에 안착되었던 제1공급 매거진(10)의 하단을 지지하여 들어올린다. 제1공급 매거진 승강 실린더(122)의 상승 동작이 완료되면 제1공급 매거진 이송 실린더(131)가 동작되어 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)를 제1방향으로 1시퀀스 이동시킨다. 제1공급 매거진 이송 실린더(131)의 제1방향 동작이 완료되면 제1공급 매거진 승강 실린더(122)가 하강 동작하여 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)를 하강시키고, 이 과정에서 제1공급 매거진(10)이 제1공급 매거진 버퍼(110)에 안착된다.
제2공급 매거진 공급 유닛(1100)은, 제2공급 매거진(20)을 제2캐리어 불출 유닛(1200) 방향으로 이동시키는 역할을 한다.
이를 위하여 제2공급 매거진 공급 유닛(1100)은, 제2공급 매거진(20)의 하단 모서리를 지지하는 한 쌍의 이격된 제2공급 매거진(20) 버퍼와, 제2공급 매거진 버퍼(1110)의 하방에서 제2공급 매거진 버퍼(1110)의 사이로 승강되며 상승시 제2공급 매거진 버퍼(1110)에 지지된 제2공급 매거진(20)의 하단을 지지하여 상승시키는 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)를 포함하는 제2공급 매거진 승강부(1120)와, 제2공급 매거진 승강부(1120)의 상승 동작시 제2공급 매거진 승강부(1120)를 제1방향으로 이동시키고 제2공급 매거진 승강부(1120)의 하강동작시 제2공급 매거진 승강부(1120)를 제2방향으로 이동시켜 원위치시키는 제2공급 매거진(20) 이송부를 포함하여 구성된다.
제2공급 매거진 버퍼(1110)는, 제2공급 매거진(20)의 이동간에 제2공급 매거진(20)을 지지하여 임시 저장하는 역할을 한다. 제2공급 매거진 버퍼(1110)는 상호 평행하게 이격된 한 쌍의 막대 혹은 블록 형태로 구성되며, 이격된 사이로 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)가 상하로 통과된다.
제2공급 매거진 버퍼(1110)는 도면상에는 총 3개의 제2공급 매거진(20)을 수용할 수 있는 것으로 도시되었으나, 하나만 수용할 수 있도록 구성되거나 또는 4개 이상을 수용할 수 있도록 구성될 수 있음은 물론이다.
제2공급 매거진 버퍼(1110)는 제2공급 매거진(20)의 대향하는 두 측면에 인접하는 단턱이 형성될 수 있으며, 이를 통해 제2공급 매거진(20)의 틀어짐을 방지할 수 있게 된다. 이때, 어느 정도 제2공급 매거진(20)의 방향이 틀어졌더라도 단턱부 상단에 걸리지 않고 다시 원래 방향으로 돌아오면서 안착될 수 있도록 단턱에는 경사가 형성될 수 있다. 그리고, 여러 개의 제2공급 매거진(20)이 수용되는 경우 각 제2공급 매거진(20)의 사이를 구분하는 제2안착 돌기(미도시)가 제2공급 매거진 버퍼(1110)의 매거진 안착면에 부착될 수 있다. 그리고 도면에 도시된 것처럼 제1공급 매거진 버퍼(110)와 제2공급 매거진 버퍼(1110)가 겹치는 중앙부분은 제1공급 매거진 버퍼(110)와 제2공급 매거진 버퍼(1110)를 일체로 형성할수도 있다.
한 쌍의 제2공급 매거진 버퍼(1110)의 이격된 사이로는 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)가 승강 또는 이동된다. 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)는 제2공급 매거진 버퍼(1110)에 안착된 제2공급 매거진(20)의 하단을 지지하여 상승시키고, 상승된 상태에서 제1방향으로 이동하여 하강함으로써 제2공급 매거진(20)을 제2공급 매거진 버퍼(1110)의 다음 안착부에 안착시킨다. 그리고 하강된 상태에서 제1방향의 반대 방향인 제2방향으로 이동하여 원위치되고, 다시 상승하여 제1방향으로 이동하는 동작을 반복함으로써 제2공급 매거진(20)을 순차적으로 제2캐리어 불출 유닛(1200) 방향으로 이동시킨다.
이를 위하여 제2공급 매거진 공급 유닛(1100)은, 제2공급 매거진 버퍼(1110)의 하방에서 제2공급 매거진 버퍼(1110)의 사이로 승강되며 상승시 제2공급 매거진 버퍼(1110)에 지지된 제2공급 매거진(20)의 하단을 지지하여 상승시키는 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)를 포함하는 제2공급 매거진 승강부(1120)와, 제2공급 매거진 승강부(1120)의 상승 동작시 제2공급 매거진 승강부(1120)를 제1방향으로 이동시키고 제2공급 매거진 승강부(1120)의 하강 동작시 제2공급 매거진 승강부(1120)를 제2방향으로 이동시켜 원위치시키는 제2공급 매거진(20) 이송부를 포함하여 구성된다.
제2공급 매거진 승강부(1120)는 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)와, 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)를 승강시키는 제2공급 매거진 승강 실린더(1122)와, 제2공급 매거진 승강 실린더(1122)가 상부에 설치되는 제2공급 매거진 승강 베이스(1123)와, 제2공급 매거진 승강 베이스(1123)에 결합되는 제2공급 베이스 지지 블록을 포함하여 구성된다. 이러한 제2공급 매거진 승강부(1120)는 제2공급 매거진 승강 실린더(1122)가 구동되어 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)를 승강시키고, 이를 통해 제2공급 매거진 버퍼(1110)로부터 제2공급 매거진(20)을 들어올리는 역할을 한다.
이러한 제2공급 매거진 승강부(1120)가 제2공급 매거진(20)을 들어올린 이후에는 제2공급 매거진(20)이 제1방향으로 이동해야하는데, 이를 위하여 제2공급 매거진(20)을 제1방향 또는 제2방향으로 이동시킬 수 있도록 제2공급 매거진(20) 이송부가 구비된다. 제2공급 매거진(20) 이송부는, 제2공급 매거진 승강 베이스(1123)의 하단에서 제2공급 매거진 승강 베이스(1123)에 결합되는 제2공급 매거진(20) 이송 가이드와, 제1방향과 제2방향을 잇는 라인상에 구비되어 제2공급 매거진(20) 이송 가이드가 슬라이딩 가능하게 장착되는 제2공급 매거진(20) 이송 레일과, 상기 제2공급 매거진(20) 이송 레일과 평행하게 구비되는 제2공급 매거진(20) 이송 실린더와, 제2공급 매거진(20) 이송 실린더의 셔틀에 결합되는 제2공급 매거진(20) 이송 블록과, 제2공급 매거진(20) 이송 블록으로부터 제2공급 매거진 승강부(1120) 방향으로 돌출되어 제2공급 베이스 지지 블록을 파지하는 제2공급 매거진(20) 이송 핸들을 포함하여 구성된다.
이러한 제2공급 매거진(20) 이송부는, 제2공급 매거진(20) 이송 실린더가 구동되면, 셔틀에 결합된 제2공급 매거진(20) 이송 블록이 제1방향 또는 제2방향으로 이동되는데, 이때 제2공급 매거진(20) 이송 블록으로부터 돌출된 제2공급 매거진(20) 이송 핸들이 제2공급 매거진 승강부(1120)의 제2공급 베이스 지지 블록을 파지하고 있으므로, 결과적으로 제2공급 매거진 승강부(1120)가 제2공급 매거진(20) 이송 레일을 따라 이동하게 된다.
이때, 제2공급 매거진(20) 이송 실린더의 구동 타이밍은, 제2공급 매거진 승강 실린더(1122)가 상승 동작을 완료한 후 제1방향으로의 구동이 이루어지고, 제2공급 매거진 승강 실린더(1122)가 하강 동작을 완료한 후 제2방향으로의 구동이 이루어지도록 제어되는 것이 바람직하다.
한편, 사전 공정에서 제2공급 매거진(20)이 본 발명에 공급되는 방향이 제2캐리어 불출 유닛(1200)의 방향과 직교하는 방향인 경우가 있을 수 있다. 평면 형상이 직사각형 형상인 제2공급 매거진(20)은 수납 및 불출 방향이 긴축을 따라 짧은축 방향으로 이루어져야 하고, 이에 따라 제2공급 매거진 버퍼(1110)도 제2공급 매거진(20)의 짧은축 모서리를 지지하도록 구성되는데, 사전 공정에서 제2공급 매거진(20)의 방향 전환이 여의치 않아 긴축이 제2공급 매거진 버퍼(1110)를 향하도록 공급되는 경우가 있을 수 있다. 이러한 경우에 제2공급 매거진 버퍼(1110)를 평면상 90도 회전하여 제2공급 매거진 버퍼(1110)에 제공할 수 있도록 제2공급 매거진 회전 및 전달부(1140)가 구성된다. 이때 90도 회전이라 함은 긴축과 짧은축의 위치를 서로 교환한다는 의미이며 시계 방향으로 90도 또는 270도, 또는, 반시계 방향으로 90도 또는 270도 회전하는 것을 모두 포함한다.
제2공급 매거진 회전 및 전달부(1140)는, 제2공급 매거진 전달홈(1141a)이 상방으로부터 인입 형성되고 상단에 제2공급 매거진(20)이 안착되는 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)와, 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)의 하단에 결합되어 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)를 회전시키는 제2공급 매거진 회전 스테이지(1142)와, 제2공급 매거진 회전 스테이지(1142)를 제1방향으로 밀거나 제2방향으로 원위치시키는 제2공급 매거진 전달 실린더(1143)를 포함하여 구성된다.
이러한 제2공급 매거진 회전 및 전달부(1140)에서 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)를 굳이 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)로부터 이격시켜 구비한 후 제2공급 매거진 전달 실린더(1143)를 통해 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121) 방향으로 이동시키는 이유는, 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)의 회전 방향에 따라 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)의 이동이 제한되는 경우를 배제학 위함이다. 예를 들어, 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)가 제2공급 매거진 전달홈(1141a)의 방향이 제1방향과 제2방향을 잇는 가상의 라인에 직교하게 회전되어 위치된 경우 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)가 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)의 측벽에 부딪히는 사고가 발생할 우려가 있기 때문이다. 또한, 제2공급 매거진(20)은 평면 형상이 직사각형이기 때문에 제2공급 매거진(20)의 긴축이 제1방향과 제2방향을 잇는 라인과 직교하도록 회전시키려면 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)와 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)는 필연적으로 이격될수밖에 없어서 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)를 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121) 방향으로 밀어주어야만 한다.
이러한 제2공급 매거진 공급 유닛(1100)의 동작을 살펴보면, 사전 공정으로부터 제2캐리어(2)가 수납된 제2공급 매거진(20)이 전달되어 제2공급 매거진 공급 유닛(1100)의 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)에 안착된다. 그러면 제2공급 매거진 회전 스테이지(1142)가 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)를 회전시켜 제2공급 매거진(20)의 긴축이 제1방향과 제2방향을 잇는 라인과 직교하도록 한다. 제2공급 매거진(20)의 회전이 완료되면 제2공급 매거진 전달 실린더(1143)가 동작하여 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)를 제2공급 매거진 버퍼(1110)에 근접시키며, 이 과정에서 또는 이 과정 직후 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)의 제2공급 매거진 전달홈(1141a)의 내측으로 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)가 위치된다. 이후 제2공급 매거진 승강 실린더(1122)가 상승 동작되면 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)가 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)에 안착되었던 제2공급 매거진(20)의 하단을 지지하여 들어올린다. 제2공급 매거진 승강 실린더(1122)의 상승 동작이 완료되면 제2공급 매거진(20) 이송 실린더가 동작되어 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)를 제1방향으로 1시퀀스 이동시킨다. 제2공급 매거진(20) 이송 실린더의 제1방향 동작이 완료되면 제2공급 매거진 승강 실린더(1122)가 하강 동작하여 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)를 하강시키고, 이 과정에서 제2공급 매거진(20)이 제2공급 매거진 버퍼(1110)에 안착된다.
제1캐리어 불출 유닛(200)은, 제1공급 매거진(10)을 안착시킨 후 승강시키면서 제1캐리어체(1`)를 반전 공급 라인상으로 불출시키는 역할을 한다. 이를 위하여 제1캐리어 불출 유닛(200)은 제1공급 매거진 공급 유닛(100)으로부터 제1공급 매거진(10)을 제공받으며, 경우에 따라 공급 매거진 크레인(미도시)을 통해 제1공급 매거진(10)을 제공받는다. 공급 매거진 크레인은 제1방향과 제2방향을 잇는 라인상에 구비되는 공급 크레인 제1실린더와, 공급 크레인 제1실린더의 셔틀에 결합되어 연직 상방으로 연장되는 공급 크레인 수직 샤프트와, 공급 크레인 수직 샤프트에 장착되어 승강 구동하는 공급 크레인 승강 실린더와, 공급 크레인 승강 실린더의 셔틀로부터 반전 공급 라인과 평행하게 연장되어 공급 크레인 승강 실린더의 동작에 따라 승강되는 공급 크레인 수평 샤프트와, 공급 크레인 수평 샤프트에 설치되어 공급 크레인 수평 샤프트의 길이 방향으로 구동하는 공급 크레인 제2실린더와, 공급 크레인 제2실린더의 셔틀에 결합되어 상단에 제1공급 매거진(10)이 안착되는 공급 크레인 포크를 포함하여 구성된다. 이때, 공급 크레인 포크는 'ㄷ'자 형상으로서 제1공급 매거진 공급 유닛(100) 방향으로 개구된 형태를 갖는다.
이러한 공급 매거진 크레인은 공급 크레인 포크가 제1공급 매거진 버퍼(110)의 후단에 위치한 채로 대기하며, 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)로부터 제1공급 매거진(10)이 옮겨지면 공급 크레인 제1실린더가 구동되어 공급 크레인 수직 샤프트가 이동하고, 이후 공급 크레인 제2실린더가 구동되어 제1공급 매거진(10)과 제1캐리어 불출 유닛(200)의 제1공급 엘리베이터 홀더(220)의 평면 위치가 정렬된다. 그리고 공급 크레인 승강 실린더가 구동되면서 공급 크레인 포크가 공급 크레인 수평 샤프트, 공급 크레인 제2실린더와 함께 하강하여 제1공급 매거진(10)을 제1공급 엘리베이터 홀더(220)에 안착시킨다. 이후의 동작은 역순이 아니게 되는데, 그 이유는 역순 구동으로 공급 크레인 포크를 상승시키면 제1공급 엘리베이터 홀더(220)로부터 제1공급 매거진(10)을 다시 이탈시키게 되므로, 이 경우에는 공급 크레인 제1실린더가 먼저 구동되어 공급 크레인 포크를 제1방향으로 이동시켜 제1공급 엘리베이터 홀더(220)로부터 이탈시킨다. 이후에는 공급 크레인 포크가 제1공급 매거진(10) 또는 제1캐리어 불출 유닛(200)에 걸리지 않는 내에서 공급 크레인 제1실린더, 공급 크레인 제2실린더, 공급 크레인 승강 실린더가 적절히 구동되어 원위치로 복귀된다.
제1캐리어 불출 유닛(200)은 제1캐리어체(1`)를 반전 공급 라인상에 불출시키기 위하여, 제1공급 매거진(10)이 안착되는 제1공급 엘리베이터 홀더(220)와, 제1공급 엘리베이터 홀더(220)가 셔틀에 결합되어서 제1공급 엘리베이터 홀더(220)를 승강시키는 제1공급 엘리베이터 실린더(210)와, 제1공급 엘리베이터 홀더(220)의 일측에 구비되어서 제1공급 매거진(10)에 수납된 제1캐리어체(1`)를 타측으로 밀어 불출시키는 제1캐리어 푸시 모듈(230)을 포함하여 구성된다.
제1공급 엘리베이터 실린더(210)는 연직 방향으로 설치되며, 셔틀이 상하로 승강하도록 구성된다. 이러한 제1공급 엘리베이터 실린더(210)는 공압 실린더 형태에 국한되지 않고 모터를 이용한 구성 역시 가능함은 물론이다. 이러한 제1공급 엘리베이터 실린더(210)의 셔틀에 제1공급 엘리베이터 홀더(220)가 결합되어 승강된다.
제1공급 엘리베이터 홀더(220)는 제1공급 매거진(10)이 안착되는 지지대 역할을 한다. 이러한 제1공급 엘리베이터 홀더(220)는 제1공급 엘리베이터 실린더(210)에 의해 승강하며 내부에 수납된 제1캐리어체(1`)가 차례로 캐리어 반전 유닛(300)에 공급될 수 있도록 한다.
제1캐리어 푸시 모듈(230)은, 제1공급 엘리베이터 홀더(220)에 안착된 제1공급 매거진(10) 내의 제1캐리어체(1`)들을 차례로 밀어 캐리어 반전 유닛(300) 방향으로 인출시키는 역할을 하며, 이를 위하여 제1캐리어 푸시 실린더(231)와, 제1캐리어 푸시 실린더(231)로부터 출납되며 제1캐리어체(1`)의 일측을 미는 제1캐리어 푸시 로드(232)를 포함하여 구성된다.
제1캐리어 푸시 모듈(230)로부터 인출된 제1캐리어체(1`)는 캐리어 반전 유닛(300)에 제공되어 180도 뒤집힘으로써 커버(1a)가 상부로, 제1캐리어(1)가 하부로 위치된다. 이를 위한 캐리어 반전 유닛(300)은, 제1캐리어체(1`)의 제1캐리어(1)와 커버(1a)를 함께 파지하여 고정하는 반전 홀딩부(310)와, 반전 홀딩부(310)를 180도 힌지 회전시켜 제1캐리어(1)와 커버(1a)의 상하 위치를 반전시키는 반전 회동부(320)를 포함하여 구성된다.
반전 홀딩부(310)는, 반전 상부 핸들(311)과, 반전 상부 핸들(311)의 하방에 위치되는 반전 하부 핸들(312)과, 반전 상부 핸들(311)과 반전 하부 핸들(312)에 결합되어서 반전 상부 핸들(311)과 반전 하부 핸들(312)의 이격 거리를 가변시키는 반전 그리퍼 실린더(313)와, 반전 그리퍼 실린더(313)의 일측에 결합되는 반전 실린더 블록(314)을 포함하는 반전 홀딩부(310)를 포함하여 구성된다.
반전 그리퍼 실린더(313)는 동작시 상호 멀어지거나 가까워지는 두 개의 셔틀이 구비되는 그리퍼 실린더를 활용하며, 두 개의 셔틀 중 하나에 반전 상부 핸들(311)이, 다른 하나에 반전 하부 핸들(312)이 결합된다. 이러한 반전 그리퍼 실린더(313)가 구동되어 반전 상부 핸들(311)과 반전 하부 핸들(312)의 이격 거리가 가까워지면 반전 상부 핸들(311)과 반전 하부 핸들(312)의 사이로 삽입되었던 제1캐리어(1)가 커버(1a)와 함께 가압 파지된다.
반전 상부 핸들(311)과 반전 하부 핸들(312)은 상호 대향하는 면이 상호 동일한 평면도상에 위치를 갖도록 형성되고 결합된다. 이는 반전 상부 핸들(311)과 반전 하부 핸들(312)의 이격 거리가 가까워져 1캐리어를 파지하였을 때 제1캐리어(1)가 휘어지는 것을 방지하기 위함이다. 그리고 제1캐리어(1)의 적어도 두 지점을 파지할 수 있도록 형성되는데 제1캐리어(1)에 수용된 칩을 직접 가압하여 파손하는 일이 없도록 가능하면 제1캐리어(1)의 테두리 부근을 파지하는 것이 바람직하나 이를 한정하는 것은 아니다.
반전 상부 핸들(311)과 반전 하부 핸들(312)은 승하강시 제1캐리어(1) 및 커버(1a)의 면에 접촉면이 동시에 접촉될 수 있도록 흔들리지 않고 안정적으로 승하강되는 것이 중요한데, 이를 위하여 반전 그리퍼 실린더(313)의 일측에는 반전 승하강 가이드가 형성되어 반전 상부 핸들(311)과 반전 하부 핸들(312)에 상하 방향으로 형성된 돌기 또는 홈이 안내될 수 있도록 구성된다. 그리고, 제1캐리어(1)가 캐리어 반전 유닛(300)에 안정적으로 공급될 수 있도록 캐리어 이송 가이드(301)가 반전 공급 라인의 양측에 구비될 수 있다.
반전 실린더 블록(314)은 반전 그리퍼 실린더(313)가 장착되는 장착대 역할을 하며, 하술할 반전 회동 블록(321)에 결합되어 반전 회동 블록(321)의 회전시에 반전 실린더 블록(314)이 회전될 수 있도록 한다.
이러한 반전 홀딩부(310)가 제1캐리어(1)와 커버(1a)를 함께 가압하여 파지하면 이를 180도 힌지 회전시켜 제1캐리어(1)가 하부에, 커버(1a)가 상부에 위치되도록 하여야 하며, 이를 위하여 반전 회동부(320)가 구비된다.
반전 회동부(320)는, 반전 실린더 블록(314)의 일측에 결합되는 반전 회동 블록(321)과, 반전 회동 블록(321)의 회전축이 회동 가능하게 장착되는 반전 지지 블록(322)과, 반전 회동 블록(321)의 회전축에 회전 동력을 제공하는 반전 구동 모듈을 포함하여서, 반전 구동 모듈의 구동시 반전 홀딩부(310)를 반전 회동 블록(321)의 회전축을 기준으로 180도 회전시킨다.
반전 회동부(320)는 이를 통해 반전 공급 라인상에 위치되었던 제1캐리어체(1`)를 제1라인상으로 이동시킴과 동시에 뒤집어서 제1캐리어(1)의 상부에 칩이 위치될 수 있도록 하고, 커버(1a)를 제거하더라도 칩이 제1캐리어(1)로부터 이탈되지 않아 제2캐리어(2)로의 이전이 이루어질 수 있도록 한다.
반전 회동 블록(321)은 반전 실린더 블록(314)이 결합되어 회전함으로써 반전 실린더 블록(314)에 결합된 반전 그리퍼 실린더(313)와, 반전 그리퍼 실린더(313)에 장착된 반전 상부 핸들(311)과 반전 하부 핸들(312)이 모두 회전될 수 있도록 한다. 반전 지지 블록(322)은 반전 회동 블록(321)의 회전축이 장착되어 회전될 수 있도록 지지하는 역할을 한다. 반전 구동 모듈은 반전 회동 블록(321)을 실질적으로 회동시키는 역할을 하며, 반전 회동 블록(321)의 회전축에 결합되는 반전 회동 풀리(323)와, 반전 회동 모터(324), 그리고, 반전 회동 모터(324)의 회전력을 반전 회동 풀리(323)에 제공하는 반전 회동 벨트(325)를 포함하여 구성된다. 이때 반전 회동 풀리(323)는 톱니 형상으로 형성되고 반전 회동 벨트(325)는 타이밍 벨트 형상으로 형성되어 미끄러지는 현상이 없도록 하는 것이 바람직하다. 그리고, 반전 회동 벨트(325)와 반전 회동 풀리(323)는 체인, 기어 등 동력 전달 수단에서 차용될 수 있으며, 반전 회동 모터(324)가 직접 반전 회동 블록(321)의 회전축에 결합되는 것 역시 가능하다.
한편, 캐리어 반전 유닛(300)은 반전 공급 라인상에서 반전 홀딩부(310)에 제1캐리어체(1`)를 유입시키는 반전 유입부(330)와, 반전이 완료된 제1캐리어체(1`)를 제1라인상에서 반전 홀딩부(310)로부터 유출시키는 반전 유출부(1330)를 더 포함하여 구성된다. 즉, 반전 유입부(330)가 반전 홀딩부(310)에 제1캐리어체(1`)를 공급하고, 반전 유출부(1330)가 반전이 완료된 제1캐리어체(1`)를 다음 동작을 위해 배출하는 역할을 하는 것이다.
반전 유입부(330)는, 제1공급 매거진(10)으로부터 유출된 제1캐리어체(1`)를 반전 홀딩부(310)의 홀딩 위치까지 안내하는 역할을 하며, 이를 위하여 유입 풀리(332)와, 유입 풀리(332)를 지나는 유입 벨트(331)와, 유입 벨트(331)를 회전시키는 유입 모터(333)를 포함하여 구성된다. 유입 풀리(332)는 제1캐리어체(1`)를 반전 공급 라인을 따라 지면과 평행하게 유입시킬 수 있도록 진행 방향으로 최상단 높이가 서로 동일한 복수 개로 구성되며, 제1캐리어체(1`)의 긴축 양 테두리를 지지하기 위하여 이격된 평행 위치에 동일하게 구비된다. 그리고 유입 벨트(331) 역시 평행하게 구비된 유입 풀리(332)들에 걸쳐지도록 쌍으로 구비된다.
이때, 제1캐리어체(1`)는 유입 풀리(332)에 걸쳐진 유입 벨트(331)의 상단에 의해 추진력을 제공받아 이동되는데, 제1캐리어체(1`)가 반전 상부 핸들(311)과 반전 하부 핸들(312)의 사이로 진입하기 위해서는 유입 벨트(331)가 반전 하부 핸들(312)을 지나치거나 반전 상부 핸들(311)과 반전 하부 핸들(312)의 사이로 지나가야 하는 문제가 발생된다. 이 경우 반전 하부 핸들(312)이 회전할 수 없게 된다. 따라서, 반전 하부 핸들(312)이 회동되는 루트상에는 유입 벨트(331)가 지나지 않아야 하며, 이를 위하여 반전 하부 핸들(312)의 하방에 유입 풀리(332)가 더 구비되어 유입 벨트(331)의 경로를 변경시킨다.
그리고, 반전 공급 라인의 반전 유입부(330) 후단에는 제1캐리어체(1`)가 더이상 진행하지 않도록 스토퍼가 구비될 수 있다.
반전 유출부(1330)는, 반전 홀딩부(310)가 180도 회전하여 제1캐리어체(1`)를 반전시키면 이를 제1라인상에 공급하는 역할을 하며, 이를 위하여 유출 풀리(1332)와, 유출 풀리(1332)를 지나는 유출 벨트(1331)와, 유출 벨트(1331)를 회전시키는 유출 모터(1333)를 포함하여 구성된다. 이때 유입 벨트(331)와 유출 벨트(1331)는 같은 방향으로 회전되므로, 유출 모터(1333)를 별도로 구성하지 않고 유입 모터(333)의 회전축을 연장하여 유출 벨트(1331)를 회전시키도록 구성할 수 있다. 유출 풀리(1332)는 제1캐리어체(1`)를 제1라인을 따라 지면과 평행하게 유출시킬 수 있도록 진행 방향으로 최상단 높이가 서로 동일한 복수 개로 구성되며, 제1캐리어체(1`)의 긴축 양 테두리를 지지하기 위하여 이격된 평행 위치에 동일하게 구비된다. 그리고 유출 벨트(1331) 역시 평행하게 구비된 유출 풀리(1332)들에 걸쳐지도록 쌍으로 구비된다.
이때, 제1캐리어체(1`)는 유출 풀리(1332)에 걸쳐진 유출 벨트(1331)의 상단에 의해 추진력을 제공받아 이동되는데, 이 경우 반전 상부 핸들(311)이 유출 벨트(1331)에 걸려 회전할 수 없게 된다. 따라서, 반전 상부 핸들(311)이 회동되는 루트상에는 유출 벨트(1331)가 지나지 않아야 하며, 이를 위하여 반전 상부 핸들(311)의 회동 경로 하방에 유출 풀리(1332)가 더 구비되어 유출 벨트(1331)의 경로를 변경시킨다.
이러한 캐리어 반전 유닛(300)에 의해 뒤집히고 반전 유출부(1330)에 의해 제1라인상에 유출된 제1캐리어체(1`)는 제2캐리어(2)에 칩을 이전시키기 위해 칩 이전 유닛(400)에 제공된다. 그리고, 제2캐리어(2)가 제2라인상으로 이동되어 칩 이전 유닛(400)의 다른 측면으로 제공되며, 이를 위하여 우선 제2라인상에 제2캐리어(2)를 제공하는 제2캐리어 불출 유닛(1200)이 구비된다.
제2캐리어 불출 유닛(1200)은, 제2공급 매거진(20)을 안착시킨 후 승강시키면서 제2캐리어(2)를 제2라인상으로 불출시키는 역할을 한다. 이를 위하여 제2캐리어 불출 유닛(1200)은 제2공급 매거진 공급 유닛(1100)으로부터 제2공급 매거진(20)을 제공받는다. 제2캐리어 불출 유닛(1200)은 경우에 따라 공급 매거진 크레인을 통해 제2공급 매거진(20)을 제공받을 수 있으나, 제2공급 엘리베이터 홀더(1220)를 제2공급 매거진 버퍼(1110)의 후단에 설치하는것만으로도 제2공급 매거진(20)을 제공받을 수 있으므로 설비 효율상 직접 제공받도록 구성되는 것이 바람직하다.
제2캐리어 불출 유닛(1200)은 제2캐리어(2)를 제2라인상에 불출시키기 위하여, 제2공급 매거진(20)이 안착되는 제2공급 엘리베이터 홀더(1220)와, 제2공급 엘리베이터 홀더(1220)가 셔틀에 결합되어서 제2공급 엘리베이터 홀더(1220)를 승강시키는 제2공급 엘리베이터 실린더(1210)와, 제2공급 엘리베이터 홀더(1220)의 일측에 구비되어서 제2공급 매거진(20)에 수납된 제2캐리어(2)를 타측으로 밀어 불출시키는 제2캐리어 푸시 모듈(1230)을 포함하여 구성된다.
제2공급 엘리베이터 실린더(1210)는 연직 방향으로 설치되며, 셔틀이 상하로 승강하도록 구성된다. 이러한 제2공급 엘리베이터 실린더(1210)는 공압 실린더 형태에 국한되지 않고 모터를 이용한 구성 역시 가능함은 물론이다. 이러한 제2공급 엘리베이터 실린더(1210)의 셔틀에 제2공급 엘리베이터 홀더(1220)가 결합되어 승강된다.
제2공급 엘리베이터 홀더(1220)는 제2공급 매거진(20)이 안착되는 지지대 역할을 한다. 이러한 제2공급 엘리베이터 홀더(1220)는 제2공급 엘리베이터 실린더(1210)에 의해 승강하며 내부에 수납된 제2캐리어(2)가 차례로 제2라인상에 공급될 수 있도록 한다.
제2캐리어 푸시 모듈(1230)은, 제2공급 엘리베이터 홀더(1220)에 안착된 제2공급 매거진(20) 내의 제2캐리어(2)들을 차례로 밀어 제2라인으로 인출시키는 역할을 하며, 이를 위하여 제2캐리어 푸시 실린더(1231)와, 제2캐리어 푸시 실린더(1231)로부터 출납되며 제2캐리어(2)의 일측을 미는 제2캐리어 푸시 로드(1232)를 포함하여 구성된다.
제1라인과 제2라인상으로 각각 칩 이전 유닛(400)의 양측으로 제1캐리어체(1`)와 제2캐리어(2)가 진입하면 제1캐리어체(1`)의 상단에 위치된 커버(1a)를 제거하여 칩을 노출시켜야 한다. 이를 위하여 칩 이전 유닛(400)의 일측에는 커버(1a)를 흡착하여 제1캐리어체(1`)로부터 제거하는 커버 제거 유닛(500)이 구비된다.
커버 제거 유닛(500)은, 연직 방향으로 연장되어 설치되는 흡착부 지지대(510), 흡착부 지지대(510)로부터 지면에 수평하게 연장되는 흡착 슬라이딩 실린더(520), 흡착 슬라이딩 실린더(520)에 설치되어 지면에 수평하게 이동되는 흡착 슬라이딩 셔틀을 포함하는 흡착 슬라이딩 모듈과, 흡착 슬라이딩 셔틀에 결합되는 흡착 승강 실린더(530), 흡착 승강 실린더(530)에 장착되어 흡착 승강 실린더(530)에 의해 승강되는 흡착 승강 블록(540)을 포함하는 흡착 승강 모듈과, 흡착 승강 블록(540)에 결합되어 하단이 흡착 승강 블록(540)의 하방에 위치되는 복수의 흡착구(550)와, 흡착부 지지대(510)의 일측에 마련되어 커버(1a)를 수용하는 커버 수용부(560)를 포함하여서, 흡착 슬라이딩 모듈 및 흡착 승강 모듈이 구동되어 흡착구(550)가 칩 이전 유닛(400)에 수용된 제1캐리어체(1`)의 커버(1a)에 접촉되고, 흡착구(550)가 제1캐리어체(1`)의 커버(1a)를 진공 흡착하여 제거한다.
커버 제거 유닛(500)에 의해 커버(1a)가 제거된 후 제1캐리어(1)는 수용된 칩이 상방으로 노출된다. 그러면 칩 이전 유닛(400)이 구동되어 제1캐리어(1)의 칩이 제2캐리어(2)에 이전된다.
칩 이전 유닛(400)은, 제1라인상을 따라 이동한 제1캐리어(1)를 상면이 노출되게 수납하는 제1이전부(410)와, 제2라인상을 따라 이동한 제2캐리어(2)를 상면이 노출되게 수납하는 제2이전부(420)와, 제1이전부(410)와 제2이전부(420)가 힌지결합되는 이전 샤프트(430)를 포함하여서, 제2이전부(420)가 제1라인 방향으로 180도 힌지 회전하여 제2캐리어(2)의 상면이 제1캐리어(1)의 상면에 접하면, 제1이전부(410)와 제2이전부(420)가 함께 제2라인 방향으로 180도 힌지 회전하고, 제1이전부(410)가 제1라인 방향으로 180도 힌지 회전하여 원위치되는 것으로 제1캐리어(1)에 수용되었던 복수의 칩이 제2캐리어(2)에 이전 수용된다.
제1이전부(410)는, 제1라인상에 위치되어 제1라인상을 이동한 제1캐리어(1)가 수용되는 제1이전 블록(411)과, 제1이전 블록(411)의 일측으로 돌출되어 이전 샤프트(430)에 회동 가능하게 결합되는 제1이전 힌지(412)와, 제1이전 힌지(412)에 회전력을 제공하는 제1이전 구동 모듈(413)을 포함하여 구성된다.
이때, 이전 샤프트(430)는 스스로 회전하지 않고 제1이전 힌지(412)가 회전할 수 있도록 축 역할만을 하며, 이러한 이전 샤프트(430)를 지지하는 이전 지지 블록(431)이 이전 샤프트(430)의 하단에 결합된다.
제1이전 구동 모듈(413)은, 제1이전 힌지(412)의 일측에 결합되는 제1이전 풀리(413a)와, 제1이전 풀리(413a)에 구동력을 전달하는 제1이전 벨트(413b)와, 제1이전 벨트(413b)에 구동력을 제공하여 제1이전 풀리(413a)를 회전시키는 제1이전 모터(413c)를 포함하여 구성된다.
이때 제1이전 풀리(413a)는 톱니 형상으로 형성되고 제1이전 벨트(413b)는 타이밍 벨트 형상으로 형성되어 구동중 미끄러지는 현상이 없도록 하는 것이 바람직하다. 그리고, 제1이전 벨트(413b)와 제1이전 풀리(413a)는 체인, 기어 등 동력 전달 수단에서 차용될 수 있으며, 제1이전 모터(413c)가 직접 제1이전 힌지(412)에 결합되는 것 역시 가능하다.
한편, 제1이전부(410)는, 상호 평행하게 이격되어 제1이전 블록(411)에 결합되는 한 쌍의 제1이전 홀딩 레일(414)을 포함하되, 제1이전 홀딩 레일(414)은 상호 마주보는 방향의 측면 상단이 내측으로 돌출되어 제1이전 블록(411)과의 사이에 제1캐리어(1)가 수납된다. 따라서, 제1이전부(410)가 180도 힌지 회전하더라도 제1이전부(410)에 수납된 제1캐리어(1)가 낙하하여 외부로 이탈되는 일이 방지된다.
제2이전부(420)는, 제2라인상에 위치되어 제2라인상을 이동한 제2캐리어(2)가 수용되는 제2이전 블록(421)과, 제2이전 블록(421)의 일측으로 돌출되어 이전 샤프트(430)에 회동 가능하게 결합되는 제2이전 힌지(422)와, 제2이전 힌지(422)에 회전력을 제공하는 제2이전 구동 모듈(423)을 포함하여 구성된다.
이때, 이전 샤프트(430)는 스스로 회전하지 않고 제1이전 힌지(412)와 마찬가지로 제2이전 힌지(422)가 회전할 수 있도록 축 역할만을 한다.
제2이전 구동 모듈(423)은, 제2이전 힌지(422)의 일측에 결합되는 제2이전 풀리(423a)와, 제2이전 풀리(423a)에 구동력을 전달하는 제2이전 벨트(423b)와, 제2이전 벨트(423b)에 구동력을 제공하여 제2이전 풀리(423a)를 회전시키는 제2이전 모터(423c)를 포함하여 구성된다.
이때 제2이전 풀리(423a)는 톱니 형상으로 형성되고 제2이전 벨트(423b)는 타이밍 벨트 형상으로 형성되어 구동중 미끄러지는 현상이 없도록 하는 것이 바람직하다. 그리고, 제2이전 벨트(423b)와 제2이전 풀리(423a)는 체인, 기어 등 동력 전달 수단에서 차용될 수 있으며, 제2이전 모터(423c)가 직접 제2이전 힌지(422)에 결합되는 것 역시 가능하다.
제2이전부(420)는, 상호 평행하게 이격되어 제2이전 블록(421)에 결합되는 한 쌍의 제2이전 홀딩 레일(424)을 포함하되, 제2이전 홀딩 레일(424)은 상호 마주보는 방향의 측면 상단이 내측으로 돌출되어 제2이전 블록(421)과의 사이에 제2캐리어(2)가 수납된다. 따라서, 제2이전부(420)가 180도 힌지 회전하더라도 제2이전부(420)에 수납된 제2캐리어(2)가 낙하하여 외부로 이탈되는 일이 방지된다.
이러한 제1이전부(410)와 제2이전부(420)의 구동에 따른 칩의 이전 과정이 도9에 도시되어 있다. 도9를 참조하면, 우선 제2이전부(420)가 제1라인 방향으로 힌지 회전하여 제2이전부(420)의 상면이 제1이전부(410)의 상면으로 접근하여 밀착된다. 이 과정에서 제1캐리어(1)의 상부에 제2캐리어(2)가 위치되는데, 이 상태로 제1이전부(410)와 제2이전부(420)가 함께 제2라인 방향으로 180도 힌지 회전한다. 이때 제1캐리어(1)와 제2캐리어(2)는 인접한 상태이므로 칩이 낙하하여 외부로 유실되는 일 없이 상하가 뒤집힌 채 제2캐리어(2)에 수용된다. 그리고나서 제1이전부(410)만 다시 제1라인 방향으로 180도 힌지 회전하면 제1캐리어(1)는 칩이 수용되지 않은 빈 캐리어가 되고, 제2캐리어(2)에 칩이 이전 수용되는 것이다.
이때, 제1이전부(410)가 제1라인상에 위치되었는지 여부를 감지하기 위하여 제1이전 블록(411)으로부터 측방으로 제1이전 감지핀(441)이 돌출되고, 제1이전 감지핀(441)이 수용되는 경우 측정값을 발생시키는 제1이전 감지 센서(451)가 제1이전 블록(411)의 일측 방향에 구비된다. 마찬가지로 제2이전부(420)가 제2라인상에 위치되었는지 여부를 감지하기 위하여 제2이전 블록(421)으로부터 측방으로 제2이전 감지핀(443)이 돌출되고, 제2이전 감지핀(443)이 수용되는 경우 측정값을 발생시키는 제2이전 감지 센서(453)가 제2이전 블록(421)의 일측 방향에 구비된다. 마지막으로 제2이전부(420)가 제1라인 방향으로 180도 힌지 회전할 때 이 회전이 완료되었는지 여부를 감지하기 위하여 제2이전 블록(421)으로부터 측방으로 제3이전 감지핀(442)이 돌출되고, 제2이전 감지핀(443)이 수용되는 경우 측정값을 발생시키는 제3이전 감지 센서(452)가 제1이전 블록(411)의 일측 방향에 구비된다. 이 경우 제3이전 감지 센서(452)는 제1이전 감지 센서(451)보다 상방에 위치되는 것이 바람직하다.
그런데, 제1이전부(410)와 제2이전부(420)에 의해 제1캐리어(1)로부터 제2캐리어(2)로 칩이 이전될 때 제1캐리어(1)와 제2캐리어(2)의 상대적 위치가 어긋나는 경우 칩이 엉뚱한 위치에 이전되거나 바르게 뒤집혀 수용되지 못하고 사선으로 걸쳐 수용되는 등의 문제가 발생될 수 있다.
따라서, 제1캐리어(1)와 제2캐리어(2)의 상대적 위치를 정렬시키기 위하여 제1이전부(410)에 제1정렬 모듈(460)이 구비되고, 제2이전부(420)에 제2정렬 모듈(470)이 구비된다.
제1정렬 모듈(460)은, 제1이전 블록(411)에 구비되는 제1이전 그리퍼 실린더(461)와, 제1이전 그리퍼 실린더(461)에 상호 이격되게 결합되어 제1이전 그리퍼 실린더(461)의 동작에 따라 이격 거리가 가변되는 한 쌍의 제1이전 그리퍼 핸들(462)과, 제1이전 그리퍼 핸들(462)로부터 제1이전 블록(411)의 상면 방향으로 돌출되는 제1정렬핀(464)을 포함하여 구성된다. 이러한 제1정렬 모듈(460)은 제1이전 그리퍼 실린더(461)가 구동되어 제1이전 그리퍼 핸들(462)의 이격 거리를 좁히면 제1정렬핀(464)이 제1캐리어(1)의 짧은축 양측면을 내측으로 가압하게 된다. 이때, 제1정렬 모듈(460)이 제1캐리어(1)의 양측면을 동시에 가압하면 제1캐리어(1)가 언제나 제1이전 블록(411)에 대하여 동일한 상대적 위치를 갖게 되고, 제1이전 블록(411)의 위치는 제2이전 블록(421)에 대하여 상대적으로 고정된 위치를 갖기 때문에, 제2정렬 모듈(470)에 의해 정렬된 제2캐리어(2)와도 동일한 상대적 위치를 갖을 수 있게 된다.
그런데, 제1정렬핀(464)이 제1캐리어(1)의 짧은축 양측면을 가압한다는 것은 제1캐리어(1)가 제1라인을 따라 제1이전 블록(411)에 수납될 때 제1정렬핀(464)에 의해 경로가 방해받는다는 것을 의미한다. 따라서, 제1정렬핀(464)이 제1캐리어(1)의 이동 경로 하방에 대기하고 있다가 제1캐리어(1)가 제1이전 블록(411)에 수납된 이후 돌출하여 제1캐리어(1)의 양측면을 가압할 수 있어야 한다.
이를 위하여 제1정렬 모듈(460)은 제1이전 그리퍼 핸들(462)에 결합되어 제1이전 블록(411)의 상면 방향으로 제1정렬핀(464)을 승강시키는 제1정렬핀 승강 수단(463)을 포함하여 구성된다.
따라서, 제1정렬핀 승강 수단(463)이 제1정렬핀(464)을 상승시킨 후 제1이전 그리퍼 실린더(461)가 제1이전 그리퍼 핸들(462)의 이격 거리를 좁히면 제1정렬핀(464)이 제1캐리어(1)의 짧은축 양측을 가압하여 파지할 수 있게 된다.
제2정렬 모듈(470)은, 제2이전 블록(421)에 구비되는 제2이전 그리퍼 실린더(471)와, 제2이전 그리퍼 실린더(471)에 상호 이격되게 결합되어 제2이전 그리퍼 실린더(471)의 동작에 따라 이격 거리가 가변되는 한 쌍의 제2이전 그리퍼 핸들(472)과, 제2이전 그리퍼 핸들(472)로부터 제2이전 블록(421)의 상면 방향으로 돌출되는 제2정렬핀(474)을 포함하여 구성된다. 이러한 제2정렬 모듈(470)은 제2이전 그리퍼 실린더(471)가 구동되어 제2이전 그리퍼 핸들(472)의 이격 거리를 좁히면 제2정렬핀(474)이 제2캐리어(2)의 짧은축 양측면을 내측으로 가압하게 된다. 이때, 제2정렬 모듈(470)이 제2캐리어(2)의 양측면을 동시에 가압하면 제2캐리어(2)가 언제나 제2이전 블록(421)에 대하여 동일한 상대적 위치를 갖게 되고, 제2이전 블록(421)의 위치는 제1이전 블록(411)에 대하여 상대적으로 고정된 위치를 갖기 때문에, 제1정렬 모듈(460)에 의해 정렬된 제1캐리어(1)와도 동일한 상대적 위치를 갖을 수 있게 된다.
그런데, 제2정렬핀(474)이 제2캐리어(2)의 짧은축 양측면을 가압한다는 것은 제2캐리어(2)가 제2라인을 따라 제2이전 블록(421)에 수납될 때 제2정렬핀(474)에 의해 경로가 방해받는다는 것을 의미한다. 따라서, 제2정렬핀(474)이 제2캐리어(2)의 이동 경로 하방에 대기하고 있다가 제2캐리어(2)가 제2이전 블록(421)에 수납된 이후 돌출하여 제2캐리어(2)의 양측면을 가압할 수 있어야 한다.
이를 위하여 제2정렬 모듈(470)은 제2이전 그리퍼 핸들(472)에 결합되어 제2이전 블록(421)의 상면 방향으로 제2정렬핀(474)을 승강시키는 제2정렬핀 정렬핀 승강 수단(473)을 포함하여 구성된다.
따라서, 제2정렬핀 정렬핀 승강 수단(473)이 제2정렬핀(474)을 상승시킨 후 제2이전 그리퍼 실린더(471)가 제2이전 그리퍼 핸들(472)의 이격 거리를 좁히면 제2정렬핀(474)이 제2캐리어(2)의 짧은축 양측을 가압하여 파지할 수 있게 된다.
이러한 칩 이전 유닛(400)에 의해 제1캐리어(1)로부터 제2캐리어(2)로 칩이 이전 수용되면, 제1캐리어(1)는 제1라인을 따라 제1캐리어 배출 유닛(700)의 제1배출 매거진(11)에 수납되어 배출되고, 제2캐리어(2)는 제2라인을 따라 제2캐리어 배출 유닛(1700)의 제2배출 매거진(21)에 수납되어 배출된다.
이러한 제1캐리어(1)의 공급과 배출, 제2캐리어(2)의 공급과 배출을 위하여 제1캐리어 이송 유닛(600)과 제2캐리어 이송 유닛(1600)이 구비된다.
제1캐리어 이송 유닛(600)은, 제1라인과 평행하게 설치된 제1레일(601)상을 이동하며 캐리어 반전 유닛(300)의 제1캐리어(1)를 칩 이전 유닛(400)에 제공하거나, 칩 이전이 완료된 칩 이전 유닛(400)의 제1캐리어(1)를 제1캐리어 배출 유닛(700)에 제공한다.
이러한 제1캐리어 이송 유닛(600)은, 캐리어 반전 유닛(300)의 제1캐리어체(1`)를 칩 이전 유닛(400)에 제공하는 제1캐리어 공급부(610)와, 칩 이전 유닛(400)의 제1캐리어(1)를 제1캐리어 배출 유닛(700)에 제공하는 제1캐리어 배출부(620)로 세분된다.
제1캐리어 공급부(610)는, 제1레일(601)에 슬라이딩 가능하게 설치되는 제1캐리어 공급 블록(611)과, 제1캐리어 공급 블록(611)에 설치되는 제1캐리어 공급 실린더(612)와, 제1캐리어 공급 실린더(612)에 결합되어 제1캐리어 공급 실린더(612)의 구동에 따라 승강되는 제1캐리어 공급 암(613)과, 제1캐리어 공급 암(613)에 결합되는 제1캐리어 파지 실린더(614)와, 제1캐리어 파지 실린더(614)에 상호 이격 설치되어 제1캐리어 파지 실린더(614)의 구동에 따라 이격 거리가 가변되는 한 쌍의 제1캐리어 파지 핸들(615)을 포함하여서, 캐리어 반전 유닛(300)에 의해 반전된 제1캐리어체(1`)의 상하단을 상기 제1캐리어 파지 핸들(615)로 가압 파지하여 칩 이전 유닛(400)에 제공할 수 있도록 구성된다.
제1캐리어 배출부(620)는, 제1레일(601)에 슬라이딩 가능하게 설치되는 제1캐리어 배출 블록(621)과, 제1캐리어 배출 블록(621)에 설치되는 제1캐리어 배출 실린더(622)와, 제1캐리어 배출 실린더(622)에 설치되어 제1캐리어 배출 실린더(622)의 동작에 따라 승강하는 제1캐리어 배출 암(623)과, 제1캐리어 배출 암(623)의 단부에 결합되는 제1캐리어 배출 핸들(624)을 포함하여서, 제1캐리어 배출 핸들(624)이 상기 칩 이전 유닛(400)에 수용된 제1캐리어(1)를 제1라인을 따라 밀어 배출하도록 구성된다.
이때, 제1캐리어 공급부(610)를 제1캐리어 배출부(620)처럼 단순히 제1캐리어체(1`)의 일측을 밀어 배출하는 구성을 사용하지 않고, 제1캐리어(1)와 커버(1a)의 상하단을 파지하여 칩 이전 유닛(400)에 공급하는 이유는, 제1캐리어체(1`)가 제1이전부(410)의 제1이전 블록(411)과 제1이전 홀딩 레일(414) 사이로 진입할 때 미세하게라도 걸려 진동 또는 탄성 충격이 발생하는 경우 제1캐리어(1)로부터 커버(1a)가 이탈되거나 칩이 이탈되는 사고가 발생할 수 있기 때문이다. 따라서, 제1캐리어체(1`)의 진행방향쪽에서 제1캐리어(1)와 커버(1a)의 상하단을 동시에 가압 파지하여 제1이전부(410)에 제공함으로써, 혹여 제1캐리어체(1`)가 제1이전부(410)의 일측에 접촉하더라도 커버(1a)가 이탈되거나 칩이 이탈되는 것을 방지할 수 있게 된다. 반대로 후술할 제2캐리어 이송 유닛(1600)은 제2캐리어 공급부(1610)와 제2캐리어 배출부(1620)가 모두 동일한 구성으로 이루어지는데, 이는 제2캐리어(2)가 칩 이전 유닛(400)에 제공될 때에는 빈 캐리어 상태로 제공되고, 칩 이전 유닛(400)으로부터 배출될 때에는 칩이 수용된 형태이지만 이후의 공정에 제2캐리어(2)가 구조물에 걸릴 우려가 없기 때문이다.
한편, 이러한 제1캐리어 공급부(610), 제1캐리어 배출부(620)는 제1캐리어(1) 이송 동력 제공 수단에 의해 제1레일(601)상을 이동하며, 제1캐리어(1) 이송 동력 제공 수단은 도6에는 제1레일(601)과 평행하게 회전하는 두 벨트에 각각 제1캐리어 공급부(610), 제1캐리어 배출부(620)가 고정되어 벨트의 회전에 따라 선형 이동하도록 도시되었으나, 이에 한정하지 아니하고 대상물의 선형 이동이 가능한 공지의 동력 제공 수단이 채용될 수 있음은 물론이다.
제2캐리어 이송 유닛(1600)은, 제2라인과 평행하게 설치된 제2레일(1601)상을 이동하며 제2캐리어(2)를 칩 이전 유닛(400)에 제공하거나, 칩 이전이 완료된 칩 이전 유닛(400)의 제2캐리어(2)를 제2캐리어 배출 유닛(1700)에 제공한다.
이러한 제2캐리어 이송 유닛(1600)은, 캐리어 불출 유닛으로부터 인출된 제2캐리어(2)를 칩 이전 유닛(400)에 제공하는 제2캐리어 공급부(1610)와, 칩 이전 유닛(400)의 제2캐리어(2)를 제2캐리어 배출 유닛(1700)에 제공하는 제2캐리어 배출부(1620)로 세분된다.
제2레일(1601)에 슬라이딩 가능하게 설치되는 제2캐리어 공급 블록(1611)과, 제2캐리어 공급 블록(1611)에 설치되는 제2캐리어 공급 실린더(1612)와, 제2캐리어 공급 실린더(1612)에 설치되어 제2캐리어 공급 실린더(1612)의 동작에 따라 승강하는 제2캐리어 공급 암(1613)과, 제2캐리어 공급 암(1613)의 단부에 결합되는 제2캐리어 공급 핸들(1614)을 포함하여서, 제2캐리어 공급 핸들(1614)이 제2캐리어 불출 유닛(1200)으로부터 인출된 제2캐리어(2)를 제2라인을 따라 밀어 칩 이전 유닛(400)에 제공하도록 구성된다.
제2캐리어 배출부(1620)는, 제2레일(1601)에 슬라이딩 가능하게 설치되는 제2캐리어 배출 블록(1621)과, 제2캐리어 배출 블록(1621)에 설치되는 제2캐리어 배출 실린더(1622)와, 제2캐리어 배출 실린더(1622)에 설치되어 제2캐리어 배출 실린더(1622)의 동작에 따라 승강하는 제2캐리어 배출 암(1623)과, 제2캐리어 배출 암(1623)의 단부에 결합되는 제2캐리어 배출 핸들(1624)을 포함하여서, 제2캐리어 배출 핸들(1624)이 상기 칩 이전 유닛(400)에 수용된 제2캐리어(2)를 제2라인을 따라 밀어 배출하도록 구성된다.
한편, 이러한 제2캐리어 공급부(1610), 제2캐리어 배출부(1620)는 제2캐리어(2) 이송 동력 제공 수단에 의해 제2레일(1601)상을 이동하며, 제2캐리어(2) 이송 동력 제공 수단은 도6에는 제2레일(1601)과 평행하게 회전하는 두 벨트에 각각 제2캐리어 공급부(1610), 제2캐리어 배출부(1620)가 고정되어 벨트의 회전에 따라 선형 이동하도록 도시되었으나, 이에 한정하지 아니하고 대상물의 선형 이동이 가능한 공지의 동력 제공 수단이 채용될 수 있음은 물론이다.
칩의 이전이 완료되어 제1라인상을 따라 배출되는 제1캐리어(1)는 제1캐리어 배출 유닛(700)의 제1배출 매거진(11)에 수납된다. 이러한 제1캐리어 배출 유닛(700)은 제1캐리어 불출 유닛(200)과 동일한 구성을 갖는데, 다만, 제1캐리어 배출 유닛(700)은 제1캐리어(1)를 수납하는 구성이므로 제1캐리어 푸시 모듈(230)에 대응되는 구성은 삭제된다.
또한, 칩의 이전이 완료되어 제2라인상을 따라 배출되는 제2캐리어(2)는 제2캐리어 배출 유닛(1700)의 제2배출 매거진(21)에 수납된다.
이러한 제1배출 매거진(11)과 제2배출 매거진(21)에 제1캐리어(1)와 제2캐리어(2)가 설정 갯수 수납되면 제1공급 매거진 공급 유닛(100)과 제2공급 매거진 공급 유닛(1100)의 구성과 동일한 구성을 갖고 제1공급 매거진 공급 유닛(100)과 제2공급 매거진 공급 유닛(1100)의 동작과 반대의 동작을 하는 제1배출 매거진 배출 유닛(800)과 제2배출 매거진 배출 유닛(1800)을 통해 외부로 후속 공정으로 반출된다. 반대의 동작이라 함은 제1공급 매거진 공급 유닛(100)은 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)가 승강한 후 제1방향으로, 하강한 후 제2방향으로 동작되나, 제1배출 매거진 배출 유닛(800)은 제1배출 매거진(11) 승강 플레이트가 승강한 후 제2방향으로, 하강한 후 제1방향으로 동작되면서 제1배출 매거진(11)을 외측으로 시퀀스 이동시키기 때문이다. 제2배출 매거진 배출 유닛(1800) 또한 이와 동일하게 제2배출 매거진(21) 승강 플레이트가 상승한 후 제2방향으로, 하강한 후 제1방향으로 이동된다.
상술한 구성으로 이루어진 본 발명은, 제1캐리어(1)와 커버(1a)의 위치가 반전되어 공급되어도 칩의 탈락 없이 커버(1a)를 제거하고 칩을 이전할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 칩을 하나씩 옮기지 않고 캐리어 대 캐리어로 한번에 이전할 수 있으면서도 칩의 탈락이 없는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 사전 공정으로부터 캐리어가 수납된 매거진이 캐리어의 불출 방향과 다른 방향으로 제공되더라도 이를 캐리어의 불출 방향에 맞게 회전하여 캐리어를 불출할 수 있는 효과가 있다.
1 : 제1캐리어
1a : 커버
1` : 제1캐리어체 2 : 제2캐리어
10 : 제1공급 매거진 11 : 제1배출 매거진
20 : 제2공급 매거진 21 : 제2배출 매거진
100 : 제1공급 매거진 공급 유닛 110 : 제1공급 매거진 버퍼
120 : 제1공급 매거진 승강부 121 : 제1공급 매거진 승강 플레이트
122 : 제1공급 매거진 승강 실린더 123 : 제1공급 매거진 승강 베이스
124 : 제1공급 베이스 지지 블록 130 : 제1공급 매거진 이송부
131 : 제1공급 매거진 이송 실린더 132 : 제1공급 매거진 이송 블록
132a : 제1공급 매거진 이송 핸들 133 : 제1공급 매거진 이송 레일
134 : 제1공급 매거진 이송 가이드 140 : 제1공급 매거진 회전 및 전달부
141 : 제1공급 매거진 회전 플레이트 141a : 제1공급 매거진 전달홈
142 : 제1공급 매거진 회전 스테이지 143 : 제1공급 매거진 전달 실린더
1100 : 제2공급 매거진 공급 유닛 1110 : 제2공급 매거진 버퍼
1120 : 제2공급 매거진 승강부 1121 : 제2공급 매거진 승강 플레이트
1122 : 제2공급 매거진 승강 실린더 1123 : 제2공급 매거진 승강 베이스
1140 : 제2공급 매거진 회전 및 전달부
1141 : 제2공급 매거진 회전 플레이트 1141a : 제2공급 매거진 전달홈
1142 : 제2공급 매거진 회전 스테이지 1143 : 제2공급 매거진 전달 실린더
200 : 제1캐리어 불출 유닛 210 : 제1공급 엘리베이터 실린더
220 : 제1공급 엘리베이터 홀더 230 : 제1캐리어 푸시 모듈
231 : 제1캐리어 푸시 실린더 232 : 제1캐리어 푸시 로드
1200 : 제2캐리어 불출 유닛 1210 : 제2공급 엘리베이터 실린더
1220 : 제2공급 엘리베이터 홀더 1230 : 제2캐리어 푸시 모듈
1231 : 제2캐리어 푸시 실린더 1232 : 제2캐리어 푸시 로드
300 : 캐리어 반전 유닛 301 : 캐리어 이송 가이드
310 : 반전 홀딩부 311 : 반전 상부 핸들
312 : 반전 하부 핸들 313 : 반전 그리퍼 실린더
314 : 반전 실린더 블록 320 : 반전 회동부
321 : 반전 회동 블록 322 : 반전 지지 블록
323 : 반전 회동 풀리 324 : 반전 회동 모터
325 : 반전 회동 벨트 330 : 반전 유입부
331 : 유입 벨트 332 : 유입 풀리
333 : 유입 모터 1330 : 반전 유출부
1331 : 유출 벨트 1332 : 유출 풀리
1333 : 유출 모터
400 : 칩 이전 유닛 410 : 제1이전부
411 : 제1이전 블록 412 : 제1이전 힌지
413 : 제1이전 구동 모듈 413a : 제1이전 풀리
413b : 제1이전 벨트 413c : 제1이전 모터
414 : 제1이전 홀딩 레일 420 : 제2이전부
421 : 제2이전 블록 422 : 제2이전 힌지
423 : 제2이전 구동 모듈 423a : 제2이전 풀리
423b : 제2이전 벨트 423c : 제2이전 모터
424 : 제2이전 홀딩 레일 430 : 이전 샤프트
431 : 이전 지지 블록 441 : 제1이전 감지핀
442 : 제3이전 감지핀 443 : 제2이전 감지핀
451 : 제1이전 감지 센서 452 : 제3이전 감지 센서
453 : 제3이전 감지 센서 460 : 제1정렬 모듈
461 : 제1이전 그리퍼 실린더 462 : 제1이전 그리퍼 핸들
463 : 제1정렬핀 승강 수단 464 : 제1정렬핀
470 : 제2정렬 모듈 471 : 제2이전 그리퍼 실린더
472 : 제2이전 그리퍼 핸들 473 : 제2정렬핀 승강 수단
474 : 제2정렬핀
500 : 커버 제거 유닛 510 : 흡착부 지지대
520 : 흡착 슬라이딩 실린더 530 : 흡착 승강 실린더
540 : 흡착 승강 블록 550 : 흡착구
560 : 커버 수용부
600 : 제1캐리어 이송 유닛 601 : 제1레일
610 : 제1캐리어 공급부 611 : 제1캐리어 공급 블록
612 : 제1캐리어 공급 실린더 613 : 제1캐리어 공급 암
614 : 제1캐리어 파지 실린더 615 : 제1캐리어 파지 핸들
620 : 제1캐리어 배출부 621 : 제1캐리어 배출 블록
622 : 제1캐리어 배출 실린더 623 : 제1캐리어 배출 암
624 : 제1캐리어 배출 핸들
1600 : 제2캐리어 이송 유닛 1601 : 제2레일
1610 : 제2캐리어 공급부 1611 : 제2캐리어 공급 블록
1612 : 제2캐리어 공급 실린더 1613 : 제2캐리어 공급 암
1614 : 제2캐리어 공급 핸들 1620 : 제2캐리어 배출부
1621 : 제2캐리어 배출 블록 1622 : 제2캐리어 배출 실린더
1623 : 제2캐리어 배출 암 1624 : 제2캐리어 배출 핸들
700 : 제1캐리어 배출 유닛 1700 : 제2캐리어 배출 유닛
800 : 제1배출 매거진 배출 유닛 1800 : 제2배출 매거진 배출 유닛
1` : 제1캐리어체 2 : 제2캐리어
10 : 제1공급 매거진 11 : 제1배출 매거진
20 : 제2공급 매거진 21 : 제2배출 매거진
100 : 제1공급 매거진 공급 유닛 110 : 제1공급 매거진 버퍼
120 : 제1공급 매거진 승강부 121 : 제1공급 매거진 승강 플레이트
122 : 제1공급 매거진 승강 실린더 123 : 제1공급 매거진 승강 베이스
124 : 제1공급 베이스 지지 블록 130 : 제1공급 매거진 이송부
131 : 제1공급 매거진 이송 실린더 132 : 제1공급 매거진 이송 블록
132a : 제1공급 매거진 이송 핸들 133 : 제1공급 매거진 이송 레일
134 : 제1공급 매거진 이송 가이드 140 : 제1공급 매거진 회전 및 전달부
141 : 제1공급 매거진 회전 플레이트 141a : 제1공급 매거진 전달홈
142 : 제1공급 매거진 회전 스테이지 143 : 제1공급 매거진 전달 실린더
1100 : 제2공급 매거진 공급 유닛 1110 : 제2공급 매거진 버퍼
1120 : 제2공급 매거진 승강부 1121 : 제2공급 매거진 승강 플레이트
1122 : 제2공급 매거진 승강 실린더 1123 : 제2공급 매거진 승강 베이스
1140 : 제2공급 매거진 회전 및 전달부
1141 : 제2공급 매거진 회전 플레이트 1141a : 제2공급 매거진 전달홈
1142 : 제2공급 매거진 회전 스테이지 1143 : 제2공급 매거진 전달 실린더
200 : 제1캐리어 불출 유닛 210 : 제1공급 엘리베이터 실린더
220 : 제1공급 엘리베이터 홀더 230 : 제1캐리어 푸시 모듈
231 : 제1캐리어 푸시 실린더 232 : 제1캐리어 푸시 로드
1200 : 제2캐리어 불출 유닛 1210 : 제2공급 엘리베이터 실린더
1220 : 제2공급 엘리베이터 홀더 1230 : 제2캐리어 푸시 모듈
1231 : 제2캐리어 푸시 실린더 1232 : 제2캐리어 푸시 로드
300 : 캐리어 반전 유닛 301 : 캐리어 이송 가이드
310 : 반전 홀딩부 311 : 반전 상부 핸들
312 : 반전 하부 핸들 313 : 반전 그리퍼 실린더
314 : 반전 실린더 블록 320 : 반전 회동부
321 : 반전 회동 블록 322 : 반전 지지 블록
323 : 반전 회동 풀리 324 : 반전 회동 모터
325 : 반전 회동 벨트 330 : 반전 유입부
331 : 유입 벨트 332 : 유입 풀리
333 : 유입 모터 1330 : 반전 유출부
1331 : 유출 벨트 1332 : 유출 풀리
1333 : 유출 모터
400 : 칩 이전 유닛 410 : 제1이전부
411 : 제1이전 블록 412 : 제1이전 힌지
413 : 제1이전 구동 모듈 413a : 제1이전 풀리
413b : 제1이전 벨트 413c : 제1이전 모터
414 : 제1이전 홀딩 레일 420 : 제2이전부
421 : 제2이전 블록 422 : 제2이전 힌지
423 : 제2이전 구동 모듈 423a : 제2이전 풀리
423b : 제2이전 벨트 423c : 제2이전 모터
424 : 제2이전 홀딩 레일 430 : 이전 샤프트
431 : 이전 지지 블록 441 : 제1이전 감지핀
442 : 제3이전 감지핀 443 : 제2이전 감지핀
451 : 제1이전 감지 센서 452 : 제3이전 감지 센서
453 : 제3이전 감지 센서 460 : 제1정렬 모듈
461 : 제1이전 그리퍼 실린더 462 : 제1이전 그리퍼 핸들
463 : 제1정렬핀 승강 수단 464 : 제1정렬핀
470 : 제2정렬 모듈 471 : 제2이전 그리퍼 실린더
472 : 제2이전 그리퍼 핸들 473 : 제2정렬핀 승강 수단
474 : 제2정렬핀
500 : 커버 제거 유닛 510 : 흡착부 지지대
520 : 흡착 슬라이딩 실린더 530 : 흡착 승강 실린더
540 : 흡착 승강 블록 550 : 흡착구
560 : 커버 수용부
600 : 제1캐리어 이송 유닛 601 : 제1레일
610 : 제1캐리어 공급부 611 : 제1캐리어 공급 블록
612 : 제1캐리어 공급 실린더 613 : 제1캐리어 공급 암
614 : 제1캐리어 파지 실린더 615 : 제1캐리어 파지 핸들
620 : 제1캐리어 배출부 621 : 제1캐리어 배출 블록
622 : 제1캐리어 배출 실린더 623 : 제1캐리어 배출 암
624 : 제1캐리어 배출 핸들
1600 : 제2캐리어 이송 유닛 1601 : 제2레일
1610 : 제2캐리어 공급부 1611 : 제2캐리어 공급 블록
1612 : 제2캐리어 공급 실린더 1613 : 제2캐리어 공급 암
1614 : 제2캐리어 공급 핸들 1620 : 제2캐리어 배출부
1621 : 제2캐리어 배출 블록 1622 : 제2캐리어 배출 실린더
1623 : 제2캐리어 배출 암 1624 : 제2캐리어 배출 핸들
700 : 제1캐리어 배출 유닛 1700 : 제2캐리어 배출 유닛
800 : 제1배출 매거진 배출 유닛 1800 : 제2배출 매거진 배출 유닛
Claims (7)
- 제1캐리어(1)와 상기 제1캐리어(1)의 상면에 수용된 칩들의 이탈을 방지하도록 상기 제1캐리어(1)의 상방에 배치된 커버(1a)로 이루어진 제1캐리어체(1`)가 뒤집혀 상기 커버(1a)가 상기 제1캐리어(1)의 하부에 위치하도록 반전 공급 라인상으로 인입되며, 상기 제1캐리어체(1`)를 파지한 후 제1캐리어체(1`)의 일측 상방으로 180도 힌지 회전하여 제1라인상에 제1캐리어체(1`)를 위치시키는 캐리어 반전 유닛(300);
상기 캐리어 반전 유닛(300)에서 이송된 제1캐리어체(1`)에 흡착구(550)를 접촉 또는 이격시켜 제1캐리어(1)의 상단에 위치된 커버(1a)를 제거하는 커버 제거 유닛(500);
제1라인상을 따라 이동한 제1캐리어(1)를 상면이 노출되게 수납하는 제1이전부(410)와, 제2라인상을 따라 이동한 제2캐리어(2)를 상면이 노출되게 수납하는 제2이전부(420)와, 상기 제1이전부(410)와 상기 제2이전부(420)가 힌지결합되는 이전 샤프트(430)를 포함하여서, 상기 제2이전부(420)가 제1라인 방향으로 180도 힌지 회전하여 제2캐리어(2)의 상면이 제1캐리어(1)의 상면에 접하면, 상기 제1이전부(410)와 상기 제2이전부(420)가 함께 제2라인 방향으로 180도 힌지 회전하고, 상기 제1이전부(410)가 제1라인 방향으로 180도 힌지 회전하여 원위치되는 것으로 제1캐리어(1)에 수용되었던 복수의 칩이 제2캐리어(2)에 이전 수용되는 칩 이전 유닛(400);
을 포함하는 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 캐리어 반전 유닛(300)은,
반전 상부 핸들(311)과, 상기 반전 상부 핸들(311)의 하방에 위치되는 반전 하부 핸들(312)과, 상기 반전 상부 핸들(311)과 상기 반전 하부 핸들(312)에 결합되어서 상기 반전 상부 핸들(311)과 상기 반전 하부 핸들(312)의 이격 거리를 가변시켜 상기 반전 상부 핸들(311)과 상기 반전 하부 핸들(312)의 사이에 위치한 물체를 파지할 수 있도록 하는 반전 그리퍼 실린더(313)와, 상기 반전 그리퍼 실린더(313)의 일측에 결합되는 반전 실린더 블록(314)을 포함하는 반전 홀딩부(310);
상기 반전 실린더 블록(314)의 일측에 결합되는 반전 회동 블록(321)과, 상기 반전 회동 블록(321)의 회전축이 회동 가능하게 장착되는 반전 지지 블록(322)과, 상기 반전 회동 블록(321)의 회전축에 회전 동력을 제공하는 반전 구동 모듈을 포함하여서, 상기 반전 구동 모듈의 구동시 상기 반전 홀딩부(310)를 상기 반전 회동 블록(321)의 회전축을 기준으로 180도 회전시키는 반전 회동부(320);
를 포함하는 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 제1이전부(410)는, 제1라인상에 위치되어 제1라인상을 이동한 제1캐리어(1)가 수용되는 제1이전 블록(411)과, 상기 제1이전 블록(411)의 일측으로 돌출되어 상기 이전 샤프트(430)에 회동 가능하게 결합되는 제1이전 힌지(412)와, 상기 제1이전 힌지(412)에 회전력을 제공하는 제1이전 구동 모듈(413)을 포함하고,
상기 제2이전부(420)는, 제2라인상에 위치되어 제2라인상을 이동한 제2캐리어(2)가 수용되는 제2이전 블록(421)과, 상기 제2이전 블록(421)의 일측으로 돌출되어 상기 이전 샤프트(430)에 회동 가능하게 결합되는 제2이전 힌지(422)와, 상기 제2이전 힌지(422)에 회전력을 제공하는 제2이전 구동 모듈(423)을 포함하는 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치.
- 제3항에 있어서,
상기 칩 이전 유닛(400)은,
상기 제1이전 블록(411)에 구비되는 제1이전 그리퍼 실린더(461)와, 상기 제1이전 그리퍼 실린더(461)에 상호 이격되게 결합되어 상기 제1이전 그리퍼 실린더(461)의 동작에 따라 이격 거리가 가변되는 한 쌍의 제1이전 그리퍼 핸들(462)과, 각각의 상기 제1이전 그리퍼 핸들(462)에 결합되어 제1캐리어(1) 방향으로 제1정렬핀(464)을 승강시키는 제1정렬핀 승강 수단(463)을 포함하여서, 상기 제1정렬핀 승강 수단(463)이 상기 제1정렬핀(464)을 상승시킨 후 상기 제1이전 그리퍼 실린더(461)가 상기 제1이전 그리퍼 핸들(462)의 이격 거리를 좁히면 상기 제1정렬핀(464)이 제1캐리어(1)의 양측을 가압하여 파지하는 제1정렬 모듈(460);
상기 제2이전 블록(421)에 구비되는 제2이전 그리퍼 실린더(471)와, 상기 제2이전 그리퍼 실린더(471)에 상호 이격되게 결합되어 상기 제2이전 그리퍼 실린더(471)의 동작에 따라 이격 거리가 가변되는 한 쌍의 제2이전 그리퍼 핸들(472)과, 각각의 상기 제2이전 그리퍼 핸들(472)에 결합되어 제2캐리어(2) 방향으로 제2정렬핀(474)을 승강시키는 제2정렬핀 정렬핀 승강 수단(473)을 포함하여서, 상기 제2정렬핀 정렬핀 승강 수단(473)이 상기 제2정렬핀(474)을 상승시킨 후 상기 제2이전 그리퍼 실린더(471)가 상기 제2이전 그리퍼 핸들(472)의 이격 거리를 좁히면 상기 제2정렬핀(474)이 제2캐리어(2)의 양측을 가압하여 파지하는 제2정렬 모듈(470);
을 포함하는 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치.
- 제3항에 있어서,
상기 제1이전부(410)는, 상호 평행하게 이격되어 상기 제1이전 블록(411)에 결합되는 한 쌍의 제1이전 홀딩 레일(414)을 포함하되, 상기 제1이전 홀딩 레일(414)은 상호 마주보는 방향의 측면 상단이 내측으로 돌출되어 상기 제1이전 블록(411)과의 사이에 제1캐리어(1)가 수납되고,
상기 제2이전부(420)는, 상호 평행하게 이격되어 상기 제2이전 블록(421)에 결합되는 한 쌍의 제2이전 홀딩 레일(424)을 포함하되, 상기 제2이전 홀딩 레일(424)은 상호 마주보는 방향의 측면 상단이 내측으로 돌출되어 상기 제2이전 블록(421)과의 사이에 제2캐리어(2)가 수납되는 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 제1캐리어체(1`)가 수납된 제1공급 매거진(10)을 승강시키면서 제1캐리어체(1`)를 반전 공급 라인상으로 불출시키는 제1캐리어 불출 유닛(200);
상기 제2캐리어(2)가 수납된 제2공급 매거진(20)을 승강시키면서 제2캐리어(2)를 제2라인상으로 불출시키는 제2캐리어 불출 유닛(1200);
상기 제1캐리어 불출 유닛(200)에 제1공급 매거진(10)을 공급하는 제1공급 매거진 공급 유닛(100);
상기 제2캐리어 불출 유닛(1200)에 제2공급 매거진(20)을 공급하는 제2공급 매거진 공급 유닛(1100);을 포함하되,
상기 제1공급 매거진 공급 유닛(100)은, 제1공급 매거진(10)의 하단 모서리를 지지하는 한 쌍의 이격된 제1공급 매거진 버퍼(110)와, 상기 제1공급 매거진 버퍼(110)의 하방에서 상기 제1공급 매거진 버퍼(110)의 사이로 승강되며 상승시 상기 제1공급 매거진 버퍼(110)에 지지된 제1공급 매거진(10)의 하단을 지지하여 상승시키는 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)를 포함하는 제1공급 매거진 승강부(120)와, 상기 제1공급 매거진 승강부(120)의 상승 동작시 상기 제1공급 매거진 승강부(120)를 제1방향으로 이동시키고 상기 제1공급 매거진 승강부(120)의 하강 동작시 상기 제1공급 매거진 승강부(120)를 제2방향으로 이동시켜 원위치시키는 제1공급 매거진 이송부(130)를 포함하며,
상기 제2공급 매거진 공급 유닛(1100)은, 제2공급 매거진(20)의 하단 모서리를 지지하는 한 쌍의 이격된 제2공급 매거진 버퍼(1110)와, 상기 제2공급 매거진 버퍼(1110)의 하방에서 상기 제2공급 매거진 버퍼(1110)의 사이로 승강되며 상승시 상기 제2공급 매거진 버퍼(1110)에 지지된 제2공급 매거진(20)의 하단을 지지하여 상승시키는 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)를 포함하는 제2공급 매거진 승강부(1120)와, 상기 제2공급 매거진 승강부(1120)의 상승 동작시 상기 제2공급 매거진 승강부(1120)를 제1방향으로 이동시키고 상기 제2공급 매거진 승강부(1120)의 하강 동작시 상기 제2공급 매거진 승강부(1120)를 제2방향으로 이동시켜 원위치시키는 제2공급 매거진(20) 이송부를 포함하는 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치.
- 제6항에 있어서,
상기 제1공급 매거진 공급 유닛(100)은, 제1공급 매거진 전달홈(141a)이 상방으로부터 인입 형성되고 상단에 제1공급 매거진(10)이 안착되는 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)와, 상기 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)의 하단에 결합되어 상기 제1공급 매거진 회전 플레이트(141)를 회전시키는 제1공급 매거진 회전 스테이지(142)와, 상기 제1공급 매거진 회전 스테이지(142)를 제1방향으로 이동시키는 제1공급 매거진 전달 실린더(143)를 포함하는 제1공급 매거진 회전 및 전달부(140)를 포함하여서, 상기 제1공급 매거진 전달 실린더(143)가 상기 제1공급 매거진(10) 회전 모듈을 제1방향으로 이동시킬 때 상기 제1공급 매거진 승강 플레이트(121)가 상기 제1공급 매거진 전달홈(141a)의 내측에 위치되며,
상기 제2공급 매거진 공급 유닛(1100)은, 제2공급 매거진 전달홈(1141a)이 상방으로부터 인입 형성되고 상단에 제2공급 매거진(20)이 안착되는 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)와, 상기 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)의 하단에 결합되어 상기 제2공급 매거진 회전 플레이트(1141)를 회전시키는 제2공급 매거진 회전 스테이지(1142)와, 상기 제2공급 매거진 회전 스테이지(1142)를 제1방향으로 이동시키는 제2공급 매거진 전달 실린더(1143)를 포함하는 제2공급 매거진 회전 및 전달부(1140)를 포함하여서, 상기 제2공급 매거진 전달 실린더(1143)가 상기 제2공급 매거진(20) 회전 모듈을 제1방향으로 이동시킬 때 상기 제2공급 매거진 승강 플레이트(1121)가 상기 제2공급 매거진 전달홈(1141a)의 내측에 위치되는 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220065155A KR102617583B1 (ko) | 2022-05-27 | 2022-05-27 | 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220065155A KR102617583B1 (ko) | 2022-05-27 | 2022-05-27 | 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20230165445A true KR20230165445A (ko) | 2023-12-05 |
| KR102617583B1 KR102617583B1 (ko) | 2023-12-27 |
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ID=89157272
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| KR1020220065155A KR102617583B1 (ko) | 2022-05-27 | 2022-05-27 | 반전 공급된 칩 캐리어의 칩 이전 장치 |
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| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102617583B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117566374A (zh) * | 2024-01-15 | 2024-02-20 | 包头江馨微电机科技有限公司 | 一种载体置入治具的倾卸装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020030581A (ko) * | 2000-10-19 | 2002-04-25 | 김영건 | 반도체패키지 자재의 리버싱 장치 및 그 방법 |
| KR100673062B1 (ko) * | 2006-05-26 | 2007-01-30 | (주)인코랩스 | 반도체 패키지의 플립 장치 및 그 방법 |
| KR20080019524A (ko) * | 2006-08-28 | 2008-03-04 | 한미반도체 주식회사 | 위치변경장치 및 반도체 패키지 가공시스템 |
| KR101986255B1 (ko) | 2018-07-19 | 2019-06-05 | 주식회사 에스엔티 | 칩 캐리어 덮개 자동 결합 장치 |
-
2022
- 2022-05-27 KR KR1020220065155A patent/KR102617583B1/ko active IP Right Grant
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| CN117566374A (zh) * | 2024-01-15 | 2024-02-20 | 包头江馨微电机科技有限公司 | 一种载体置入治具的倾卸装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR102617583B1 (ko) | 2023-12-27 |
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