KR20230150135A - 지지구조체, 기판지지장치 및 기판처리설비 - Google Patents

지지구조체, 기판지지장치 및 기판처리설비 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 지지구조체는, 기판을 지지하는 지지플레이트; 상기 지지플레이트의 하부를 커버하는 하부커버; 및 상기 지지플레이트와 상기 하부커버가 서로 회전되어 조립되도록 서로 대응되는 요철구조로 구성되는 걸림유닛;을 포함한다.

Description

지지구조체, 기판지지장치 및 기판처리설비{SUPPORTING STRUCTURE, APPARATUS FOR SUPPORTING SUBSTRATE AND FACILITY FOR PROCESSING SUBSTRATE}
본 발명은 기판을 지지하는 지지구조체와, 이를 포함하는 기판지지장치 및 기판처리설비에 관한 것이다.
워터 클린 및 약액(케미컬액)을 이용하여 식각 공정이 이루어지는 클린설비에 있어서, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 척(chuck)(10)은 상부플레이트(1)와 하부커버(2)가 서로 체결된 구조를 이루며, 내부에는 웨이퍼의 홀딩을 유지하는 척핀 작동구조물(P)이 설치되어 있으며, 하부커버(2)가 이러한 척핀 작동구조물(P)을 약액으로부터 보호한다.
하부커버(2)는 볼트(접시머리 볼트)(B)로 상부플레이트(1)에 체결되어 있는데, 식각 공정 시 약액 일부가 볼트(B)로 스며들어 나사산이 부식되면서 체결력이 약화되어 볼트 풀림을 야기시킨다.
또한 고온의 약액을 사용할 때 마다 상하부 온도차에 따른 반복된 열변형으로 잦은 볼트 풀림의 원인이 된다.
나아가, 완전히 풀려 떨어져 나간 볼트는 종종 약액 드레인부를 막아 사용된 약액이 흘러 넘쳐 처리용기(Bowl) 전체를 오염시킨다.
이를 방지하기 위해 볼트코팅 및 헬리코일 등 여러 개선안 적용으로 볼트 풀림이 감소되긴 했으나, 여전히 발생되고 있어 근본적인 해결이 필요한 실정이다.
대한민국 공개특허공보 제10-2015-0068917호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 볼트를 사용하지 않고 조립되는 지지구조체와, 이를 포함하는 기판지지장치 및 기판처리설비를 제공하는 데에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 지지구조체는, 기판을 지지하는 지지플레이트; 상기 지지플레이트의 하부를 커버하는 하부커버; 및 상기 지지플레이트와 상기 하부커버가 서로 회전되어 조립되도록 서로 대응되는 요철구조로 구성되는 걸림유닛;을 포함한다.
여기에서, 상기 걸림유닛은, 상기 지지플레이트와 상기 하부커버 중 하나에 형성된 걸림홈부; 및 상기 지지플레이트와 상기 하부커버 중 나머지 하나에 형성되며 상기 걸림홈부에 회전되어 걸림되는 걸림돌기부;를 포함할 수 있다.
이때, 상기 걸림홈부는 상기 지지플레이트에서 하방절곡된 외측테두리의 내면에 형성된 외측걸림홈을 포함하고, 상기 걸림돌기부는 상기 하부커버의 외측테두리에 형성된 외측걸림돌기를 포함할 수 있다.
아울러, 상기 외측걸림돌기가 상기 외측걸림홈에 걸림되도록 회전하는 방향으로, 상기 외측걸림홈은 상방 경사진 홈하면이 형성되고, 상기 외측걸림돌기는 상방 경사진 돌기하면이 형성될 수 있다.
나아가, 상기 외측걸림홈은 상기 지지플레이트의 외측테두리를 따라 복수 개가 배치되고, 상기 외측걸림돌기는 상기 하부커버의 외측테두리를 따라 복수 개가 배치될 수 있다.
그리고, 상기 지지플레이트는 중앙에 플레이트홀이 형성되고, 상기 하부커버는 중앙에 상기 플레이트홀과 대응되는 커버홀이 형성되며, 상기 걸림홈부는 상기 플레이트홀의 테두리로서 상기 지지플레이트의 내측테두리에 형성된 내측걸림홈을 포함하고, 상기 걸림돌기부는 상기 커버홀의 테두리로서 상기 커버의 내측테두리에 형성된 내측걸림돌기를 포함할 수 있다.
아울러, 상기 내측걸림돌기가 상기 내측걸림홈에 걸림되도록 회전하는 방향으로, 상기 내측걸림홈은 상방 경사진 홈하면이 형성되고, 상기 내측걸림돌기는 상방 경사진 돌기하면이 형성될 수 있다.
나아가, 상기 내측걸림홈은 상기 지지플레이트의 내측테두리를 따라 복수 개가 배치되고, 상기 내측걸림돌기는 상기 하부커버의 내측테두리를 따라 복수 개가 배치될 수 있다.
한편, 본 발명은 상기 지지플레이트와 상기 하부커버가 조립된 상태로 잠금되도록 구성되는 잠금유닛;을 더 포함하며, 상기 잠금유닛은, 상기 지지플레이트의 하부홈에 내장된 탄성부재; 상기 하부홈에 배치되며, 상기 탄성부재에 연결되어 상기 하부홈으로부터 하측으로 돌출되게 탄성지지되는 잠금바; 및 상기 하부커버에 상기 잠금바가 삽입가능하게 형성된 잠금홀부;를 포함할 수 있다.
이때, 상기 잠금유닛은, 상기 잠금홀부의 내부에서 승강되게 배치된 잠금해제버튼;을 더 포함하며, 상기 잠금홀부는 내부에 측부홈이 형성되고, 상기 잠금해제버튼은 측부돌기가 형성되며, 상기 측부돌기는 상기 측부홈에서 승강가능하고, 상기 측부홈의 하부에 지지 시 상기 잠금해제버튼이 상기 잠금홀부의 하측으로 돌출된 상태를 이루는 구조를 취할 수 있다.
그리고, 상기 지지플레이트와 상기 하부커버는 서로 접촉하는 부분이 라비린스 구조로 형성될 수 있다.
이러한 상기 라비린스 구조는 상기 지지플레이트의 외측테두리와 상기 하부커버의 외측테두리의 접촉부분에 형성될 수 있다.
다른 실시예로서, 본 발명의 상기 지지플레이트의 외측테두리와 상기 하부커버의 외측테두리는 서로의 접촉부분에 실리콘패드링이 각각 설치될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판을 지지하는 지지구조체; 상기 지지구조체의 하부에 배치되며 상기 지지구조체를 지지하는 지지축; 및 상기 지지축의 하단에 연결되며 상기 지지축을 회전시키는 구동부재;를 포함하며, 상기 지지구조체는, 상기 기판을 지지하는 지지플레이트; 상기 지지플레이트의 하부를 커버하는 하부커버; 및 상기 지지플레이트와 상기 하부커버가 서로 회전되어 조립되도록 서로 대응되는 요철구조로 구성되는 걸림유닛;을 포함하며, 상기 걸림유닛은, 상기 지지플레이트와 상기 하부커버 중 하나에 형성된 걸림홈부; 및 상기 지지플레이트와 상기 하부커버 중 나머지 하나에 형성되며 상기 걸림홈부에 회전되어 걸림되는 걸림돌기부;를 포함하는 기판지지장치가 제공될 수 있다.
나아가, 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 공정챔버; 상기 공정챔버 내에 설치되며 기판을 처리하는 처리공간을 가진 처리용기; 상기 기판에 약액을 토출하는 노즐유닛; 및 상기 처리공간에서 상기 기판을 지지하는 기판지지장치;를 포함하며, 상기 기판지지장치는, 상기 기판을 지지하는 지지구조체; 상기 지지구조체의 하부에 배치되며 상기 지지구조체를 지지하는 지지축; 및 상기 지지축의 하단에 연결되며 상기 지지축을 회전시키는 구동부재;를 포함하며, 상기 지지구조체는, 상기 기판을 지지하는 지지플레이트; 상기 지지플레이트의 하부를 커버하는 하부커버; 및 상기 지지플레이트와 상기 하부커버가 서로 회전되어 조립되도록 서로 대응되는 요철구조로 구성되는 걸림유닛;을 포함하며, 상기 걸림유닛은, 상기 지지플레이트와 상기 하부커버 중 하나에 형성된 걸림홈부; 및 상기 지지플레이트와 상기 하부커버 중 나머지 하나에 형성되며 상기 걸림홈부에 회전되어 걸림되는 걸림돌기부;를 포함하는 기판처리설비가 제공될 수 있다.
본 발명은 지지플레이트와 하부커버가 서로 회전되어 조립되도록 걸림유닛이 구성됨으로써, 볼트가 사용되지 않는 볼트 프리(Bolt Free) 체결구조를 취함에 따라, 볼트 풀림 등과 같은 조립해제를 방지할 수 있다.
도 1 및 도 2는 종래기술에 따른 지지구조체를 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 2의 지지구조체를 나타낸 종단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리설비를 나타낸 도면이다.
도 5 및 도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 지지구조체의 내부구조를 나타낸 도면이다.
도 7은 도 5 및 도 6의 지지구조체에서 잠금유닛의 잠금 및 잠금해제 과정을 나타낸 도면이다.
도 8은 도 5 및 도 6의 지지구조체의 라비린스 구조를 나타낸 수직단면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따라 실리콘패드링이 설치된 지지구조체를 나타낸 수직단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다. 또한, 본 명세서에서, '상', '상부', '상면', '하', '하부', '하면', '측면' 등의 용어는 도면을 기준으로 한 것이며, 실제로는 구성요소가 배치되는 방향에 따라 달라질 수 있을 것이다.
덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할 때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 구성요소를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판처리설비를 나타낸 도면이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 기판처리설비(3000)는 약액으로 기판(W)에 대한 공정을 수행하는 공정챔버(3100)를 포함한다. 이러한 공정챔버(3100) 내에서는 기판(W)을 수평으로 유지한 상태에서 기판(W)에 대해 공정을 수행한다. 상기 공정은 기판(W) 상에 형성된 질화막을 식각하는 공정일 수 있다. 이때, 약액은 인산을 포함할 수 있다. 나아가, 공정챔버(3100)는 다양한 약액들을 사용하여 기판(W) 표면에 잔류하는 이물질 및 막질을 제거하는 공정에서 사용될 수 있다.
구체적으로, 상기 공정챔버(3100)는 밀폐된 내부공간을 제공하며, 상부에는 팬필터유닛(3110)이 설치된다. 상기 팬필터유닛(3110)은 공정챔버(3100) 내부에 수직기류를 발생시킨다. 이러한 팬필터유닛(3110)은 필터와 공기공급팬이 하나의 유닛으로 모듈화된 것으로, 청정공기를 필터링하여 공정챔버(3100) 내부로 공급해준다. 청정공기는 팬필터유닛(3110)을 통과한 후, 공정챔버(3100) 내부로 공급되어 수직기류를 형성한다. 이러한 수직기류는 기판(W) 상부에 균일한 기류를 제공하며, 처리유체에 의해 기판(W) 표면이 처리되는 과정에서 발생하는 오염물질(흄)들을 공기와 함께 처리용기(3200)의 흡입덕트들(3210, 3220, 3230)을 통해 배출라인(3131, 3132, 3133)으로 배출시켜 제거함으로써, 처리용기 내부의 고청정도를 유지하게 한다.
공정챔버(3100)는 수평격벽(3101)에 의해 구획되는 공정영역(3100a)과 유지보수영역(3100b)을 포함한다. 상기 수평격벽(3101)에는 승강유닛(3290)의 구동부재(3293)와, 노즐유닛(3300)의 구동부재(3390)가 설치된다. 또한 유지보수영역(3100b)에는 처리용기(3200)와 연결되는 배출라인(3131, 3132, 3133), 배기부재(3120)가 위치되는 공간으로, 이러한 유지보수영역(3100b)은 기판(W) 처리가 이루어지는 공정영역(3100a)으로부터 격리되는 것이 바람직하다.
본 발명의 기판처리설비(3000)는, 공정챔버(3100) 내에 처리용기(3200), 기판지지장치(2000), 및 노즐유닛(3300)을 포함할 수 있다. 상기 처리용기(3200)는 공정챔버(3100)의 내부에 설치되며, 상부가 개구된 원통 형상을 갖고, 기판(W)을 처리하기 위한 처리공간을 제공한다. 처리용기(3200)의 개구된 상면은 기판(W)의 반출 및 반입 통로로 제공된다. 여기에서, 상기 처리공간에는 기판지지장치(2000)가 위치된다. 이때, 기판지지장치(2000)는 공정 진행시 기판(W)을 지지하고, 기판(W)을 회전시킨다.
또한, 처리용기(3200)는 기판지지장치(2000)의 지지구조체(1000)가 위치되는 상부공간(3200a)과, 강제 배기가 이루어지도록 하부에는 배기덕트(3250)가 연결된 하부공간(3200b)을 제공한다. 이러한 배기덕트(3250)는 공정챔버(3100)의 외부로 연장된 배기부재(3120)와 연결된다. 처리용기(3200)의 상부공간(3200a)에는 회전되는 기판(W) 상에서 비산되는 약액과 기체를 유입 및 흡입하는 환형의 제1, 제2 및 제3 흡입덕트(3210, 3220, 3230)가 다단으로 배치된다. 상기 제1, 제2 및 제3 흡입덕트(3210, 3220, 3230)는 하나의 공통된 환형공간(처리용기의 하부공간에 해당)과 통하는 배기구(h)들을 갖는다.
여기에서, 제1, 제2 및 제3 흡입덕트(3210, 3220, 3230)는 기판(W)으로부터 비산된 약액 및 흄이 포함된 기류가 유입되는 제1 내지 제3 회수공간(RS1, RS2, RS3)을 제공한다. 제1 회수공간(RS1)은 제1 흡입덕트(3210)에 의해 구획되어 형성되고, 제2 회수공간(RS2)은 제1 흡입덕트(3210)와 제2 흡입덕트(3220) 간의 이격공간으로 형성되며, 제3 회수공간(RS3)은 제2 흡입덕트(3220)와 제3 흡입덕트(3230) 간의 이격공간으로 형성된다.
이에 더하여, 상기 처리용기(3200)는 처리용기(3200)의 수직위치를 변경시키는 승강유닛(3290)과 결합된다. 승강유닛(3290)은 처리용기(3200)를 상하방향으로 직선이동시킨다. 처리용기(3200)가 상하로 이동됨에 따라 지지구조체(1000)에 대한 처리용기(3200)의 상대 높이가 변경된다. 이러한 승강유닛(3290)은 브라켓(3291), 이동축(3292), 및 구동부재(3293)를 가진다. 브라켓(3291)은 처리용기(3200)의 외벽에 고정설치되고, 브라켓(3291)에는 구동부재(3293)에 의해 상하방향으로 이동되는 이동축(3292)이 고정결합된다. 기판(W)이 지지구조체(1000)에 로딩 또는 지지구조체(1000)로부터 언로딩될 때 지지구조체(1000)가 처리용기(3200)의 상부로 돌출되도록 처리용기(3200)는 하강한다.
또한, 공정이 진행시에는 기판(W)에 공급된 약액의 종류에 따라 약액이 기설정된 흡입덕트(3210, 3220, 3230)로 유입될 수 있도록 처리용기(3200)의 높이가 조절된다. 이에 따라, 처리용기(3200)와 기판(W) 간의 상대적인 수직위치가 변경된다. 따라서, 처리용기(3200)는 각 회수공간(RS1, RS2, RS3) 별로 회수되는 약액과 오염 가스의 종류를 다르게 할 수 있다.
한편, 상기 노즐유닛(3300)은 기판지지장치(2000)에 지지된 기판(W)에 약액을 토출한다. 이때 약액은 기판(W) 상에 형성된 막을 식각하도록 식각액을 포함할 수 있다.
그리고, 상기 기판지지장치(2000)는 지지구조체, 지지축, 및 구동부재를 포함한다. 이때 지지구조체(1000)는 원형의 상부면을 가지며 기판(W)을 지지하고, 공정이 진행되는 동안 구동부재(2200)에 의해 회전될 수 있다. 또한 지지축(2100)은 지지구조체(1000)의 하부에 배치되어 지지구조체(1000)를 지지한다. 아울러 구동부재(2200)는 지지축(2100)의 하단에 연결되며 지지축(2100)을 회전시킨다. 이때, 구동부재(2200)는 모터 등으로 마련되며, 이러한 구동부재(2200)에 의해 지지축(2100)이 회전함에 따라 지지구조체(1000) 및 기판(W)이 회전하게 된다.
도 5 및 도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 지지구조체의 내부구조를 나타낸 도면이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 지지구조체(1000)는 기판을 지지하는 구성으로서 정전척으로도 지칭된다. 이러한 지지구조체(1000)는 기판은 견고하면서도 안정적으로 지지하도록 구성된다.
구체적으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 지지구조체(1000)는 지지플레이트(100), 하부커버(200), 및 걸림유닛(300)을 포함한다.
상기 지지플레이트(100)는 기판을 지지하는 부재로서, 유전체 소재로 이루어질 수 있다. 이러한 지지플레이트(100)는 전원을 인가받아서 정전기력을 발생시키는 전극(미도시)이 내부에 설치될 수 있는데, 전극에 전류가 인가되면 전극과 기판 사이에 정전기력이 발생되며, 정전기력으로 기판을 흡착하여 기판의 이동을 제한할 수 다. 이와 같은 지지플레이트(100)의 하부에는 기판의 홀딩을 유지하는 구조물이 설치될 수 있는데, 일례로서 기판을 정렬하는 척핀 작동구조물(도 3의 P)이 설치될 수 있다.
또한, 상기 하부커버(200)는 지지플레이트(100)의 하부를 커버하는 부재로서, 상술된 바와 같은 지지플레이트(100)의 하부 구조물을 약액으로부터 보호하는 역할을 수행한다.
이러한 지지플레이트(100)와 하부커버(200)는 그 구체적인 형상구조에 있어서, 기판을 견고하면서도 안정적으로 지지하는 형상을 취하면 될 뿐 본 발명에 의해 한정되지 않음은 물론이다.
한편, 상기 걸림유닛(300)은 지지플레이트(100)와 하부커버(200)가 서로 회전되어 조립되도록 서로 대응되는 요철구조로 구성된다.
구체적으로, 걸림유닛(300)은 걸림홈부(310)와, 걸림돌기부(320)를 포함한다.
상기 걸림홈부(310)는 지지플레이트(100)와 하부커버(200) 중 하나에 형성될 수 있다.
또한 상기 걸림돌기부(320)는 지지플레이트(100)와 하부커버(200) 중 나머지 하나에 형성되며, 걸림홈부(310)에 회전되어 걸림되는 구조를 취한다.
구체적으로, 상기 걸림홈부(310)는 외측걸림홈(311)을 포함하고, 걸림돌기부(320)는 외측걸림돌기(321)를 포함한다. 여기에서, 상기 외측걸림홈(311)은 지지플레이트(100)에서 하방절곡된 외측테두리의 내면에 형성되고, 상기 외측걸림돌기(321)는 하부커버(200)의 외측테두리에 형성될 수 있다.
그리고, 지지플레이트(100)는 중앙에 플레이트홀(100a)이 형성되고, 하부커버(200)는 중앙에 플레이트홀(100a)과 대응되는 커버홀(200a)이 형성될 수 있다.
이때 걸림홈부(310)는 내측걸림홈(312)을 더 포함하고 걸림돌기부(320)는 내측걸림돌기(322)를 더 포함할 수 있다. 여기에서, 상기 내측걸림홈(312)은 플레이트홀(100a)의 테두리로서 지지플레이트(100)의 내측테두리에 형성되고, 상기 내측걸림돌기(322)는 커버의 내측테두리에 형성될 수 있다.
이와 같이 본 발명은 지지플레이트(100)와 하부커버(200)가 서로 회전되어 조립되도록 걸림유닛(300)이 구성됨으로써, 볼트가 사용되지 않는 볼트 프리(Bolt Free) 체결구조를 취함에 따라, 볼트의 부식(약액에 의한)에 따른 체결력 약화로 발생되는 볼트 풀림과 열변형을 인한 볼트 풀림 등 볼트 체결구조로 인한 조립해제를 방지할 수 있다.
나아가, 상기 걸림돌기부(320)가 걸림홈부(310)에 걸림되도록 회전하는 방향으로, 외측걸림홈(311)과 내측걸림홈(312) 각각은 상방 경사진 홈하면(311a)(312a)이 형성되고, 외측걸림돌기(321)와 내측걸림돌기(322) 각각은 상방 경사진 돌기하면(321a)(322a)이 형성된다.
이에 따라, 하부커버(200)의 걸림돌기부(320)가 지지플레이트(100)의 걸림홈부(310)에 걸림되기 위해 회전하는 과정에서, 외측걸림돌기(321)의 상방 경사진 돌기하면(321a)이 외측걸림홈(311)의 상방 경사진 홈하면(311a)에 접촉하면서 점차적으로 접촉면이 늘면서 종국적으로 전체적인 면이 접하게 되고, 내측걸림돌기(322)의 상방 경사진 돌기하면(322a)이 내측걸림홈(312)의 상방 경사진 홈하면(312a)에 접촉하면서 점차적으로 접촉면이 늘면서 종국적으로 전체적인 면이 접하게 된다.
이때 외측걸림돌기(321)의 상방 경사진 돌기하면(321a)과 외측걸림홈(311)의 상방 경사진 홈하면(311a) 구조로 인하여, 외측걸림홈(311)에 인입되는 외측걸림돌기(321)의 선단부는 상측에서 좁은 두께로 형성되고, 외측걸림돌기(321)가 인입되는 외측걸림홈(311)의 입구는 크게 형성됨으로써 외측걸림돌기(321)가 외측걸림홈(311)에 원활하면서도 용이하게 인입되며, 회전할수록 점차적으로 견고한 억지끼움이 이루어진다. 이와 마찬가지로 내측걸림돌기(322)의 상방 경사진 돌기하면(322a)과 내측걸림홈(312)의 상방 경사진 홈하면(312a) 구조로 인하여, 내측걸림홈(312)에 인입되는 내측걸림돌기(322)의 선단부는 상측에서 좁은 두께로 형성되고, 내측걸림돌기(322)가 인입되는 내측걸림홈(312)의 입구는 크게 형성됨으로써 내측걸림돌기(322)가 내측걸림홈(312)에 원활하면서도 용이하게 인입되며, 회전할수록 점차적으로 견고한 억지끼움이 이루어진다.
상술된 바와 같이 구성되는 외측걸림홈(311)은 지지플레이트(100)의 외측테두리를 따라 복수 개가 배치되고, 외측걸림돌기(321)는 하부커버(200)의 외측테두리를 따라 복수 개가 배치될 수 있는데, 이에 의해 지지플레이트(100)와 하부커버(200)의 조립 시 고정력을 증대시킬 수 있다. 또한 내측걸림홈(312)은 지지플레이트(100)의 내측테두리를 따라 복수 개가 배치되고, 내측걸림돌기(322)는 하부커버(200)의 내측테두리를 따라 복수 개가 배치될 수 있는데, 이에 의해 지지플레이트(100)와 하부커버(200)의 조립 시 고정력을 더욱더 증대시킬 수 있다.
도 7은 도 5 및 도 6의 지지구조체에서 잠금유닛의 잠금 및 잠금해제 과정을 나타낸 도면이다.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 지지구조체(1000)는 잠금유닛(400)을 더 포함할 수 있다. 상기 잠금유닛(400)은 지지플레이트(100)와 하부커버(200)가 조립된 상태로 잠금되도록 구성된다.
구체적으로, 상기 잠금유닛(400)은 탄성부재(410), 잠금바(420), 및 잠금홀부(430)를 포함한다.
상기 탄성부재(410)는 지지플레이트(100)의 하부홈(100b)에 내장된다. 즉 탄성부재(410)는 지지플레이트(100)의 하부에 형성된 하부홈(100b)의 내부에 배치되며, 상단이 하부홈(100b)의 내부 상면에 연결되어 위치고정될 수 있다.
또한, 상기 잠금바(420)는 하부홈(100b)에 배치되며 상단이 탄성부재(410)에 연결된다. 이때 잠금바(420)는 탄성부재(410)에 의해 하측으로 탄성지지되는데, 외력이 없을 때는 하부홈(100b)으로부터 하측으로 돌출된 상태를 유지한다.
그리고, 상기 잠금홀부(430)는 하부커버(200)의 상부에 형성되는데, 잠금바(420)의 하부가 삽입가능한 구조를 취한다. 즉 탄성부재(410)에 의해 지지플레이트(100)에 연결된 잠금바(420)와 하부커버(200)의 잠금홀부(430)가 서로 상하방향으로 대응되게 배치되면, 탄성부재(410)의 탄성력에 의해 잠금바(420)가 하강하여 잠금바(420)의 하부가 잠금홀부(430)에 삽입된다. 이와 같이 잠금바(420)의 하부가 잠금홀부(430)에 삽입된 경우에는 지지플레이트(100)와 하부커버(200)는 서로에 대해 회전이 차단된 상태를 이룬다. 이와 반대로 외력에 의해 잠금바(420)가 밀어올려지면 잠금바(420)의 하부가 잠금홀부(430)로부터 상측으로 빠져 나오게 된다. 이와 같이 잠금바(420)의 하부가 잠금홀부(430)로부터 나온 경우에는 지지플레이트(100)와 하부커버(200)는 서로 회전가능한 상태를 이룬다.
나아가, 상기 잠금유닛(400)은 잠금해제버튼(440)을 더 포함할 수 있다.
상기 잠금해제버튼(440)은 잠금홀부(430) 내부에서 승강되게 배치된다.
구체적으로, 잠금홀부(430)는 내부에 측부홈(430a)이 형성되고 잠금해제버튼(440)은 측부에 측부돌기(440a)가 형성된다. 이때 측부홈(430a)의 상하길이가 측부돌기(440a)의 상하길이보다 크게 형성됨으로써 측부돌기(440a)는 측부홈(430a)에서 승강되는 구조를 이룬다. 아울러 잠금해제버튼(440)은 측부돌기(440a)가 측부홈(430a)의 하부에 지지 시 잠금해제버튼(440)이 잠금홀부(430)의 하측으로 돌출된 상태를 이룬다.
이와 같은 잠금해제버튼(440)은 외력에 의해 하측에서 올려지면 상측의 잠금바(420)를 밀어올림으로써, 잠금바(420)가 잠금홀부(430)로부터 상측으로 빠져 나가게 된다.
상술된 구성에 따라 지지플레이트(100)와 하부커버(200)의 잠금 및 잠금해제 과정을 설명하면 다음과 같다.
지지플레이트(100)와 하부커버(200)를 서로 밀착한 상태로 회전하여 걸림유닛(300)을 통해 걸림고정시키는 과정에서, 지지플레이트(100)와 하부커버(200)를 서로 밀착 시 하부커버(200)의 상면이 잠금바(420)를 밀어 올린 상태(탄성부재(410)가 압축된 상태)가 되고, 하부커버(200)를 회전하여 하부커버(200)의 잠금홀부(430)가 잠금바(420)의 바로 아래에 위치되면, 도 7의 아래 좌측 도면에 도시된 바와 같이 잠금바(420)의 하부가 잠금홀부(430)에 삽입된 상태(탄성부재(410)가 팽창된 상태)됨으로써, 지지플레이트(100)와 하부커버(200)가 걸림고정된 상태로 잠금완료된다.
이와 반대로 도 7의 아래 우측 도면에 도시된 바와 같이 사용자가 잠금해제버튼(440)을 상측으로 푸쉬(push)하여 잠금바(420)를 밀어 올리게 되면(탄성부재(410)가 압축된 상태), 잠금바(420)의 하부가 잠금홀부(430)로부터 빠져나오게 됨으로써 잠금해제가 이루어지며, 이러한 잠금해제 상태에서 하부커버(200)가 걸림을 위한 방향의 역방향으로 회전하게 되면 지지플레이트(100)와 하부커버(200)의 걸림고정이 풀어지게 된다.
상술된 바와 같이 본 발명은 잠금유닛(400)이 구성됨으로써, 지지플레이트(100)와 하부커버(200)의 걸림고정에 대한 잠금과 잠금해제를 원활하고 용이하게 수행할 수 있다.
도 8은 도 5 및 도 6의 지지구조체의 라비린스 구조를 나타낸 수직단면도이다.
도면을 참조하면, 지지구조체(1000)의 지지플레이트(100)와 하부커버(200)는 서로 접촉하는 부분이 라비린스(Labyrinth) 구조(L)로 형성될 수 있다. 구체적으로 이러한 라비린스 구조(L)는 지지플레이트(100)의 외측테두리와 하부커버(200)의 외측테두리의 접촉부분에 형성될 수 있는데, 이에 의해 지지구조체(1000)내부에 배치된 구조물을 안전하게 보호할 수 있다. 라비린스 구조(L)는 지지플레이트(100)와 하부커버(200)의 접촉된 부분이 복수 번에 걸쳐서 절곡된 구조로서 기밀성이 우수함에 따라, 외부로부터 내부로의 약액 침투를 최소화함으로써 지지플레이트(100)와 하부커버(200)의 사이의 내부 구성을 보호할 수 있다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따라 실리콘패드링이 설치된 지지구조체를 나타낸 수직단면도이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 지지구조체(1000)에서 지지플레이트(100)의 외측테두리와 하부커버(200)의 외측테두리는 서로의 접촉부분에 실리콘패드링(R)이 각각 설치될 수 있다. 이러한 실리콘패드링(R)은 지지플레이트(100)의 외측테두리와 하부커버(200)의 외측테두리의 접촉부분에 대한 실링작용을 할 수 있다. 나아가 실리콘패드링(R)은 지지플레이트(100)의 외측테두리를 따라 감기도록 설치됨으로써, 고온의 기판처리공정 시 지지플레이트(100)와 하부커버(200)가 열변형된 다음 다시 원상태로 복원 시 최초의 형태를 유지하도록 지지플레이트(100)와 하부커버(200)를 일정 정도의 힘으로 압박한다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
3000 : 기판처리설비 3100 : 공정챔버
3100a : 공정영역 3100b : 유지보수영역
3101 : 수평격벽 3110 : 팬필터유닛
3120 : 배기부재 3131, 3132, 3133 : 배출라인
3200 : 처리용기 3200a : 상부공간
3200b : 하부공간 3210 : 제1 흡입덕트
3220 : 제2 흡입덕트 3230 : 제3 흡입덕트
3250 : 배기덕트 3290 : 승강유닛
3291 : 브라켓 3292 : 이동축
3293 : 구동부재 3300 : 노즐유닛
2000 : 기판지지장치 2100 : 지지축
2200 : 구동부재 1000 : 지지구조체
100 : 지지플레이트 100a : 플레이트홀
100b : 하부홈 200 : 하부커버
200a : 커버홀 300 : 걸림유닛
310 : 걸림홈부 311 : 외측걸림홈
311a : (외측걸림홈의)홈하면 312 : 내측걸림홈
312a : (내측걸림홈의)홈하면 320 : 걸림돌기부
321 : 외측걸림돌기 321a : (외측걸림돌기의)돌기하면
322 : 내측걸림돌기 322a : 돌기하면
400 : 잠금유닛 410 : 탄성부재
420 : 잠금바 430 : 잠금홀부
430a : 측부홈 440 : 잠금해제버튼
440a : 측부돌기 W : 기판
h : 배기구 L : 라비린스 구조
R : 실리콘패드링

Claims (20)

  1. 기판을 지지하는 지지플레이트;
    상기 지지플레이트의 하부를 커버하는 하부커버; 및
    상기 지지플레이트와 상기 하부커버가 서로 회전되어 조립되도록 서로 대응되는 요철구조로 구성되는 걸림유닛;
    을 포함하는 지지구조체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 걸림유닛은,
    상기 지지플레이트와 상기 하부커버 중 하나에 형성된 걸림홈부; 및
    상기 지지플레이트와 상기 하부커버 중 나머지 하나에 형성되며 상기 걸림홈부에 회전되어 걸림되는 걸림돌기부;
    를 포함하는 지지구조체.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 걸림홈부는 상기 지지플레이트에서 하방절곡된 외측테두리의 내면에 형성된 외측걸림홈을 포함하고, 상기 걸림돌기부는 상기 하부커버의 외측테두리에 형성된 외측걸림돌기를 포함하는 지지구조체.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 외측걸림돌기가 상기 외측걸림홈에 걸림되도록 회전하는 방향으로, 상기 외측걸림홈은 상방 경사진 홈하면이 형성되고, 상기 외측걸림돌기는 상방 경사진 돌기하면이 형성된 지지구조체.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 외측걸림홈은 상기 지지플레이트의 외측테두리를 따라 복수 개가 배치되고, 상기 외측걸림돌기는 상기 하부커버의 외측테두리를 따라 복수 개가 배치된 지지구조체.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 지지플레이트는 중앙에 플레이트홀이 형성되고, 상기 하부커버는 중앙에 상기 플레이트홀과 대응되는 커버홀이 형성되며,
    상기 걸림홈부는 상기 플레이트홀의 테두리로서 상기 지지플레이트의 내측테두리에 형성된 내측걸림홈을 포함하고, 상기 걸림돌기부는 상기 커버홀의 테두리로서 상기 커버의 내측테두리에 형성된 내측걸림돌기를 포함하는 지지구조체.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 내측걸림돌기가 상기 내측걸림홈에 걸림되도록 회전하는 방향으로, 상기 내측걸림홈은 상방 경사진 홈하면이 형성되고, 상기 내측걸림돌기는 상방 경사진 돌기하면이 형성된 지지구조체.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 내측걸림홈은 상기 지지플레이트의 내측테두리를 따라 복수 개가 배치되고, 상기 내측걸림돌기는 상기 하부커버의 내측테두리를 따라 복수 개가 배치된 지지구조체.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 지지플레이트와 상기 하부커버가 조립된 상태로 잠금되도록 구성되는 잠금유닛;을 더 포함하며,
    상기 잠금유닛은,
    상기 지지플레이트의 하부홈에 내장된 탄성부재;
    상기 하부홈에 배치되며, 상기 탄성부재에 연결되어 상기 하부홈으로부터 하측으로 돌출되게 탄성지지되는 잠금바; 및
    상기 하부커버에 상기 잠금바가 삽입가능하게 형성된 잠금홀부;
    를 포함하는 지지구조체.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 잠금유닛은, 상기 잠금홀부의 내부에서 승강되게 배치된 잠금해제버튼;을 더 포함하며,
    상기 잠금홀부는 내부에 측부홈이 형성되고, 상기 잠금해제버튼은 측부돌기가 형성되며,
    상기 측부돌기는 상기 측부홈에서 승강가능하고, 상기 측부홈의 하부에 지지 시 상기 잠금해제버튼이 상기 잠금홀부의 하측으로 돌출된 상태를 이루는 지지구조체.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 지지플레이트와 상기 하부커버는 서로 접촉하는 부분이 라비린스 구조로 형성된 지지구조체.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 라비린스 구조는 상기 지지플레이트의 외측테두리와 상기 하부커버의 외측테두리의 접촉부분에 형성된 지지구조체.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 지지플레이트의 외측테두리와 상기 하부커버의 외측테두리는 서로의 접촉부분에 실리콘패드링이 각각 설치된 지지구조체.
  14. 기판을 지지하는 지지구조체;
    상기 지지구조체의 하부에 배치되며 상기 지지구조체를 지지하는 지지축; 및
    상기 지지축의 하단에 연결되며 상기 지지축을 회전시키는 구동부재;를 포함하며,
    상기 지지구조체는,
    상기 기판을 지지하는 지지플레이트;
    상기 지지플레이트의 하부를 커버하는 하부커버; 및
    상기 지지플레이트와 상기 하부커버가 서로 회전되어 조립되도록 서로 대응되는 요철구조로 구성되는 걸림유닛;을 포함하며,
    상기 걸림유닛은,
    상기 지지플레이트와 상기 하부커버 중 하나에 형성된 걸림홈부; 및
    상기 지지플레이트와 상기 하부커버 중 나머지 하나에 형성되며 상기 걸림홈부에 회전되어 걸림되는 걸림돌기부;
    를 포함하는 기판지지장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 걸림홈부는 상기 지지플레이트에서 하방절곡된 외측테두리의 내면에 형성된 외측걸림홈을 포함하고, 상기 걸림돌기부는 상기 하부커버의 외측테두리에 형성된 외측걸림돌기를 포함하는 기판지지장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 외측걸림돌기가 상기 외측걸림홈에 걸림되도록 회전하는 방향으로, 상기 외측걸림홈은 상방 경사진 홈하면이 형성되고, 상기 외측걸림돌기는 상방 경사진 돌기하면이 형성된 기판지지장치.
  17. 제14항에 있어서,
    상기 지지플레이트는 중앙에 플레이트홀이 형성되고, 상기 하부커버는 중앙에 상기 플레이트홀과 대응되는 커버홀이 형성되며,
    상기 걸림홈부는 상기 플레이트홀의 테두리로서 상기 지지플레이트의 내측테두리에 형성된 내측걸림홈을 포함하고, 상기 걸림돌기부는 상기 커버홀의 테두리로서 상기 커버의 내측테두리에 형성된 내측걸림돌기를 포함하는 기판지지장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 내측걸림돌기가 상기 내측걸림홈에 걸림되도록 회전하는 방향으로, 상기 내측걸림홈은 상방 경사진 홈하면이 형성되고, 상기 내측걸림돌기는 상방 경사진 돌기하면이 형성된 기판지지장치.
  19. 공정챔버;
    상기 공정챔버 내에 설치되며 기판을 처리하는 처리공간을 가진 처리용기;
    상기 기판에 약액을 토출하는 노즐유닛; 및
    상기 처리공간에서 상기 기판을 지지하는 기판지지장치;를 포함하며,
    상기 기판지지장치는,
    상기 기판을 지지하는 지지구조체;
    상기 지지구조체의 하부에 배치되며 상기 지지구조체를 지지하는 지지축; 및
    상기 지지축의 하단에 연결되며 상기 지지축을 회전시키는 구동부재;를 포함하며,
    상기 지지구조체는,
    상기 기판을 지지하는 지지플레이트;
    상기 지지플레이트의 하부를 커버하는 하부커버; 및
    상기 지지플레이트와 상기 하부커버가 서로 회전되어 조립되도록 서로 대응되는 요철구조로 구성되는 걸림유닛;을 포함하며,
    상기 걸림유닛은,
    상기 지지플레이트와 상기 하부커버 중 하나에 형성된 걸림홈부; 및
    상기 지지플레이트와 상기 하부커버 중 나머지 하나에 형성되며 상기 걸림홈부에 회전되어 걸림되는 걸림돌기부;
    를 포함하는 기판처리설비.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 걸림홈부는 상기 지지플레이트에서 하방절곡된 외측테두리의 내면에 형성된 외측걸림홈을 포함하고, 상기 걸림돌기부는 상기 하부커버의 외측테두리에 형성된 외측걸림돌기를 포함하며,
    상기 외측걸림돌기가 상기 외측걸림홈에 걸림되도록 회전하는 방향으로, 상기 외측걸림홈은 상방 경사진 홈하면이 형성되고, 상기 외측걸림돌기는 상방 경사진 돌기하면이 형성되며,
    상기 지지플레이트는 중앙에 플레이트홀이 형성되고, 상기 하부커버는 중앙에 상기 플레이트홀과 대응되는 커버홀이 형성되며,
    상기 걸림홈부는 상기 플레이트홀의 테두리로서 상기 지지플레이트의 내측테두리에 형성된 내측걸림홈을 포함하고, 상기 걸림돌기부는 상기 커버홀의 테두리로서 상기 커버의 내측테두리에 형성된 내측걸림돌기를 포함하며,
    상기 내측걸림돌기가 상기 내측걸림홈에 걸림되도록 회전하는 방향으로, 상기 내측걸림홈은 상방 경사진 홈하면이 형성되고, 상기 내측걸림돌기는 상방 경사진 돌기하면이 형성된 기판처리설비.
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