KR20230140498A - 광반도체 소자 밀봉용 시트 및 표시체 - Google Patents

광반도체 소자 밀봉용 시트 및 표시체 Download PDF

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KR20230140498A
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료코 아사이
다케시 나카노
슈헤이 후쿠토미
슘페이 다나카
다이키 우에노
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닛토덴코 가부시키가이샤
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Abstract

광반도체 소자를 밀봉함으로써, 반사 방지성이 우수하고, 휘도가 높은 표시체를 제작 가능한 광반도체 소자 밀봉용 시트를 제공한다.
광반도체 소자 밀봉용 시트(1)는, 기판(5) 위에 배치된 1 이상의 광반도체 소자(6)를 밀봉하기 위한 시트이다. 광반도체 소자 밀봉용 시트(1)는, 착색층(22) 및 비착색층(23)을 적어도 포함하는 밀봉용 수지층(2)을 구비한다. 비착색층(23)의 경도를 A, 착색층(22)의 경도를 B로 했을 때, A>B를 충족한다.

Description

광반도체 소자 밀봉용 시트 및 표시체{SHEET FOR OPTICAL SEMICONDUCTOR DEVICE ENCAPSULATION AND DISPLAY BODY}
본 발명은 광반도체 소자 밀봉용 시트에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은, 미니/마이크로 LED 등의 자발광형 표시 장치의 광반도체 소자의 밀봉에 적합한 시트에 관한 것이다.
근년, 차세대형의 표시 장치로서, 미니/마이크로 LED 표시 장치(Mini/Micro Light Emitting Diode Display)로 대표되는 자발광형 표시 장치가 고안되어 있다. 미니/마이크로 LED 표시 장치는, 기본 구성으로서, 다수의 미소한 광반도체 소자(LED 칩)가 고밀도로 배열된 기판이 표시 패널로서 사용되고, 당해 광반도체 소자는 밀봉재로 밀봉되고, 최표층에 수지 필름이나 유리판 등의 커버 부재가 적층되는 것이다.
미니/마이크로 LED 표시 장치 등의 자발광형 표시 장치를 구비하는 표시체에서는, 표시 패널의 기판 위에 금속이나 ITO 등의 금속 산화물의 배선(금속 배선)이 배치되어 있다. 이러한 표시 장치는, 예를 들어 소등 시에 있어서 상기 금속 배선 등에 의해 광이 반사해서 화면의 미관이 나쁘고 의장성이 떨어지는 문제가 있었다. 이 때문에, 광반도체 소자를 밀봉하는 밀봉재로서, 금속 배선에 의한 반사를 방지하기 위한 반사 방지층을 사용하는 기술이 채용되고 있다.
특허문헌 1에는, 착색 점착제층과 무색 점착제층의 적층체이며, 무색 점착제층이 광반도체 소자와 접촉하도록 위치하고 있는 점착 시트가 개시되어 있다. 상기 점착 시트에 의하면, 기판과 당해 기판에 설치된 광반도체 소자로 형성되는 요철 형상에 접촉시켜 추종시킨 경우, 표시체의 소등 시에 의장성을 향상시킬 수 있고, 또한 휘도 불균일을 억제할 수 있다고 기재되어 있다.
일본 특허 공개 제2020-169262호 공보
그러나, 착색 점착제층을 구비하는 점착 시트는, 광반도체 소자를 밀봉했을 때에 금속 배선에 의한 반사를 방지하거나, 휘도 불균일을 억제하는 효과가 기대되지만, 광반도체 소자가 발하는 광의 투과성이 저하되고, 그 결과, 표시체의 정면 휘도가 저하되는 문제가 있었다. 정면 휘도가 저하되면, 휘도를 높이기 위해서 소비 전력이 증가한다. 이 때문에, 반사 방지성이 우수하고, 휘도가 높은 표시체가 요구되고 있다.
본 발명은, 이러한 사정을 기초로 생각해낸 것으로서, 그 목적은, 광반도체 소자를 밀봉함으로써, 반사 방지성이 우수하고, 휘도가 높은 표시체를 제작 가능한 광반도체 소자 밀봉용 시트를 제공하는 데 있다.
본 발명자들은, 상기 목적을 달성하기 위해서 예의 검토한 결과, 착색층 및 비착색층을 포함하는 밀봉용 수지층을 구비하고, 상기 비착색층의 경도가 상기 착색층의 경도보다 딱딱한 광반도체 소자 밀봉용 시트에 의하면, 기판 위에 설치된 광반도체 소자를 밀봉했을 때에, 반사 방지성이 우수하고, 휘도가 높은 표시체가 얻어지는 것을 발견했다. 본 발명은, 이들의 지견에 기초해서 완성된 것이다.
즉, 본 발명은, 기판 위에 배치된 1 이상의 광반도체 소자를 밀봉하기 위한 시트이며, 상기 시트는, 착색층 및 비착색층을 포함하는 밀봉용 수지층을 구비하고, 상기 비착색층의 경도 A 및 상기 착색층의 경도 B는 A>B를 충족하는, 광반도체 소자 밀봉용 시트를 제공한다.
상기 광반도체 소자 밀봉용 시트를, 상기 비착색층보다 상기 착색층측을 광반도체 소자측으로 해서 광반도체 소자를 밀봉했을 때, 광반도체 소자측에서부터, 상기 착색층, 상기 비착색층의 순서로 적층되는 것이 된다. 이때, 표시체의 정면측이 되는 상기 비착색층의 경도 A는, 광반도체 소자측이 되는 상기 착색층의 경도 B보다 딱딱하다. 이에 의해, 광반도체 소자의 밀봉 상태에 있어서, 광반도체 소자의 정면에 위치하는 상기 착색층은, 광반도체 소자 및 비착색층에 끼움 지지되어 압축되어서, 광반도체 소자가 발하는 광을 정면측으로 효율적으로 투과시킬 수 있다. 한편, 광반도체 소자가 배치되어 있지 않은 기판 위에 위치하는 상기 착색층은, 광반도체 소자의 정면에 위치하는 상기 착색층보다 압축되는 정도는 작기 때문에, 기판 위의 금속 배선의 반사를 충분히 억제할 수 있다. 이 때문에, 상기 광반도체 소자 밀봉용 시트에 의해 광반도체 소자를 밀봉한 표시체는, 반사 방지성이 우수하고, 휘도가 높다.
상기 경도는, 잔존 응력, 탄성률, 영률 및 나노인덴테이션법에 의해 측정되는 경도로 이루어지는 군에서 선택되는 1 이상이어도 된다.
상기 경도는 잔존 응력이며, 상기 착색층의 잔존 응력 B1에 대한 상기 비착색층의 잔존 응력 A1의 비[잔존 응력 A1/잔존 응력 B1]는 1.2 이상이어도 된다. 상기 비가 1.2 이상인 것에 의해, 광반도체 소자의 밀봉 시에 있어서 광반도체 소자의 정면에 위치하는 상기 착색층이 보다 압축되어, 휘도가 보다 높아진다.
상기 밀봉용 수지층은, 상기 착색층의 상기 비착색층과는 반대측에, 경도 C를 갖는 비착색층을 더 구비하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 비착색층의 경도 C 및 상기 착색층의 경도 B는 C>B를 충족하는 것이 바람직하다. 이와 같은 구성을 가지면, 광반도체 소자의 정면에 위치하고, 2개의 비착색층의 사이에 위치하는 착색층은, 광반도체 소자의 밀봉 시에 있어서 양 비착색층에 의해 끼움 지지되어 충분히 압축되어서, 휘도가 보다 높아진다.
상기 밀봉용 수지층은 확산 기능층을 포함하는 것이 바람직하다. 이와 같은 구성을 가짐으로써, 광반도체 소자가 발하는 광을 상기 확산 기능층 중에서 확산시켜, 정면 휘도를 보다 높게 할 수 있다.
또한, 본 발명은, 기판과, 상기 기판 위에 배치된 광반도체 소자와, 상기 광반도체 소자를 밀봉하는 상기 광반도체 소자 밀봉용 시트 또는 그 경화물을 구비하는 표시체를 제공한다. 이러한 광 표시체는, 반사 방지성이 우수하고, 휘도가 높다.
상기 표시체는 자발광형 표시 장치를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 표시체는 화상 표시 장치인 것이 바람직하다.
본 발명의 광반도체 소자 밀봉용 시트에 의하면, 광반도체 소자를 밀봉함으로써, 반사 방지성이 우수하고, 휘도가 높은 표시체를 제공할 수 있다. 이 때문에, 상기 표시체는 소비 전력을 높게 하지 않아도 밝고 미관이 좋으며, 소등 시에 있어서 의장성이 우수하다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 관한 광반도체 소자 밀봉용 시트의 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시하는 광반도체 소자 밀봉용 시트를 사용한 표시체의 일 실시 형태를 도시하는 부분 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시하는 광반도체 소자 밀봉용 시트를 사용한 표시체의 다른 일 실시 형태를 도시하는 부분 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시하는 광반도체 소자 밀봉용 시트를 사용한 표시체의 또 다른 일 실시 형태를 도시하는 부분 단면도이다.
[광반도체 소자 밀봉용 시트]
본 발명의 광반도체 소자 밀봉용 시트는, 착색층 및 비착색층을 포함하는 밀봉용 수지층을 적어도 구비한다. 또한, 본 명세서에 있어서, 광반도체 소자 밀봉용 시트란, 기판 위에 배치된 1 이상의 광반도체 소자를 밀봉용 수지층에 의해 밀봉하기 위한 시트를 말하는 것으로 한다. 또한, 본 명세서에 있어서, 「광반도체 소자를 밀봉하는」이란, 광반도체 소자의 적어도 일부를 밀봉용 수지층 내에 매립하는 것 또는, 상기 밀봉용 수지층에 의해 추종하여 피복하는 것을 말한다. 상기 밀봉용 수지층은, 광반도체 소자의 적어도 일부를 매립하는 또는, 상기 밀봉용 수지층에 의해 추종하여 피복하는 것이 가능한 유연성을 갖는다.
<밀봉용 수지층>
상기 밀봉용 수지층에 있어서, 상기 비착색층의 경도를 A, 상기 착색층의 경도를 B로 했을 때, A>B를 충족한다. 즉, 상기 밀봉용 수지층은, A>B를 충족하는 경도 A의 비착색층 및 경도 B의 착색층을 적어도 구비한다. 경도 A의 비착색층을 「비착색층 A」, 경도 B의 착색층을 「착색층 B」라고 칭하는 경우가 있다. 상기 밀봉 수지층은, 비착색층 A 및 착색층 B 이외의 층을 갖고 있어도 된다. 또한, 상기 밀봉 수지층을 구성하는 층의 총 수는, 비착색층 A 및 비착색층 B를 포함하여 2 이상이며, 3 이상이어도 된다. 상기 층의 총 수는, 광반도체 소자 밀봉용 시트 및 광반도체 장치의 두께를 얇게 하는 관점에서, 예를 들어 10 이하이며, 5 이하 또는 4 이하이어도 된다.
상기 밀봉용 수지층을 구성하는 각 층(착색층 및 비착색층)은, 각각, 상기 밀봉용 수지층 내에 있어서 단층이어도 되고, 동일 또는 다른 조성을 갖는 복층이어도 된다. 착색층이나 비착색층이 복층 포함되는 경우, 상기 복층은 접촉해서 적층되어 있어도 되고, 격리해서 적층(예를 들어 2개의 착색층이 1개의 비착색층을 개재하여 적층)되어 있어도 된다. 상기 밀봉용 수지층이 착색층 및 비착색층의 1 이상을 복층 구비할 경우, 적어도 하나의 착색층은 착색층 B이며, 적어도 하나의 비착색층은 비착색층 A이다. 또한, 상기 밀봉용 수지층에 포함되는 비착색층은, 각각 독립적으로, 후술하는 확산 기능층이어도 되고, 비확산 기능층이어도 된다.
상기 광반도체 소자 밀봉용 시트를, 비착색층 A보다 착색층 B 측을 광반도체 소자측으로 해서 광반도체 소자를 밀봉했을 때, 광반도체 소자측에서, 착색층 B, 비착색층 A의 순으로 적층되는 것이 된다. 이때, 표시체의 정면측이 되는 비착색층 A의 경도 A는, 광반도체 소자측이 되는 착색층 B의 경도 B보다 딱딱하다. 이에 의해, 광반도체 소자의 밀봉 상태에 있어서, 광반도체 소자의 정면에 위치하는 착색층 B는, 광반도체 소자 및 비착색층 A에 끼움 지지되어 압축되어서, 광반도체 소자가 발하는 광을 정면측으로 효율적으로 투과시킬 수 있다. 한편, 광반도체 소자가 배치되어 있지 않은 기판 위에 위치하는 착색층 B는, 광반도체 소자의 정면에 위치하는 착색층 B보다 압축되는 정도는 작기 때문에, 기판 위의 금속 배선의 반사를 충분히 억제할 수 있다. 이 때문에, 상기 광반도체 소자 밀봉용 시트에 의해 광반도체 소자를 밀봉한 표시체는, 반사 방지성이 우수하고, 휘도가 높다.
상기 착색층 및 상기 비착색층의 경도로서는, 잔존 응력, 탄성률, 영률 등 을 들 수 있다. 상기 경도는, 나노인덴테이션법에 의해 측정되는 경도이어도 된다. 상기 나노인덴테이션법에서는, 예를 들어 상기 착색층 및 상기 비착색층의 표면이나, 단면에 있어서의 상기 착색층 및 상기 비착색층의 노출면에 대해서 측정을 행할 수 있다. 상기 나노인덴테이션법에 의한 경도는, 압자를 대상 표면에 압입했을 때의, 압자에의 부하 하중과 압입 깊이를, 부하 시 및 제하 시에 걸쳐 연속적으로 측정하고, 얻어진 부하 하중-압입 깊이 곡선으로부터 구해진다. 상기 경도로서는, 그 중에서도, 층의 점성에 의한 측정 결과의 경도에의 영향을 억제하는 관점에서, 잔존 응력이 바람직하다. 또한, 상기 경도는, 공지 내지 관용의 방법에 의해 조정할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들어 각 층을 구성하는 수지를 제작할 때의 경화제나 가교제, 다관능성 모노머 등의 가교성을 갖는 화합물, 혹은 중합 개시제의 양 등을 조정함으로써 층의 경도를 제어할 수 있다.
비착색층 A의 잔존 응력(「잔존 응력 A1」이라고 칭하는 경우가 있음)과, 착색층 B의 잔존 응력(「잔존 응력 B1」이라고 칭하는 경우가 있음)의 차[잔존 응력 A1-잔존 응력 B1]는, 특별히 한정되지 않지만, 1.0N/cm2 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 3.0N/cm2 이상, 더욱 바람직하게는 5.0N/cm2 이상이다. 상기 차가 1.0N/cm2 이상이면 광반도체 소자의 밀봉 시에 있어서 광반도체 소자의 정면에 위치하는 착색층 B가 보다 압축되어, 휘도가 보다 높아진다. 상기 차는, 밀봉용 수지층에 의한 광반도체 소자의 밀봉성이 우수한 관점에서, 예를 들어 30.0N/cm2 이하이며, 20.0N/cm2 이하이어도 된다.
잔존 응력 B1에 대한 잔존 응력 A1의 비[잔존 응력 A1/잔존 응력 B1]는, 특별히 한정되지 않지만, 1.2 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 1.5 이상, 더욱 바람직하게는 2.0 이상이다. 상기 비가 1.2 이상이면 광반도체 소자의 밀봉 시에 있어서 광반도체 소자의 정면에 위치하는 착색층 B가 보다 압축되어, 휘도가 보다 높아진다. 상기 비는, 밀봉용 수지층에 의한 광반도체 소자의 밀봉성이 우수한 관점에서, 예를 들어 10.0 이하이며, 5.0 이하이어도 된다.
잔존 응력 A1은, A>B를 충족하는 범위 내에서, 6.0N/cm2 초과가 바람직하고, 보다 바람직하게는 7.0N/cm2 이상, 더욱 바람직하게는 10.0N/cm2 이상이다. 잔존 응력 A1은, A>B를 충족하는 범위 내에서, 50.0N/cm2 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 40.0N/cm2 이하, 더욱 바람직하게는 30.0N/cm2 이하이다.
잔존 응력 B1은, A>B를 충족하는 범위 내에서, 0.5N/cm2 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 1.0N/cm2 이상, 더욱 바람직하게는 3.0N/cm2 이상이다. 잔존 응력 B1은, A>B를 충족하는 범위 내에서, 20.0N/cm2 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 15.0N/cm2 이하, 더욱 바람직하게는 10.0N/cm2 이하이다.
본 발명의 광반도체 소자 밀봉용 시트에 있어서, 상기 밀봉용 수지층은, 광반도체 소자를 밀봉했을 때에 있어서, 상기 광반도체 소자측에서, 착색층 B 및 비착색층 A를 이 순으로 구비한다. 상기 밀봉용 수지층은, 착색층 B의 비착색층 A와는 반대측(즉, 광반도체 소자를 밀봉한 상태에 있어서 착색층 B보다 광반도체 소자측)에 또한 비착색층을 구비하고 있어도 된다. 상기 밀봉용 수지층이, 착색층 B의 비착색층 A와는 반대측에 더 구비하는, 비착색층 A 이외의 상기 비착색층을 「비착색층 C」라고 칭하는 경우가 있다.
상기 밀봉용 수지층에 있어서, 비착색층 C의 경도를 C로 했을 때, C>B를 충족하는 것이 바람직하다. 이와 같은 구성을 갖으면, 광반도체 소자의 정면에 위치하고, 비착색층 A 및 비착색층 C의 사이에 위치하는 착색층 B는, 광반도체 소자의 밀봉 시에 있어서 비착색층 A 및 비착색층 C에 의해 끼움 지지되어 충분히 압축되어서, 휘도가 보다 높아진다. 비착색층 C의 경도로서는, 예를 들어 비착색층 A 및 착색층 B의 경도로서 예시된 것을 들 수 있다.
비착색층 C의 잔존 응력(「잔존 응력 C1」이라고 칭하는 경우가 있음)과 잔존 응력 B1과의 차[잔존 응력 C1-잔존 응력 B1]는, 특별히 한정되지 않지만, 0.01N/cm2 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.05N/cm2 이상, 더욱 바람직하게는 0.1N/cm2 이상이며, 0.5N/cm2 이상, 1.0N/cm2 이상 또는 2.0N/cm2 이상이어도 된다. 상기 차가 0.01N/cm2 이상이면 광반도체 소자의 밀봉 시에 있어서 광반도체 소자의 정면에 위치하는 착색층 B가 보다 압축되어, 휘도가 보다 높아진다. 상기 차는, 예를 들어 20.0N/cm2 이하이며, 10.0N/cm2 이하이어도 된다.
잔존 응력 B1에 대한 잔존 응력 C1의 비[잔존 응력 C1/잔존 응력 B1]는, 특별히 한정되지 않지만, 0.05 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.1 이상, 더욱 바람직하게는 0.5 이상이며, 1.1 이상, 1.2 이상 또는 1.3 이상이어도 된다. 상기 비가 0.05 이상이면 광반도체 소자의 밀봉 시에 있어서 광반도체 소자의 정면에 위치하는 착색층 B가 보다 압축되어, 휘도가 보다 높아진다. 상기 비는, 예를 들어 10.0 이하이며, 5.0 이하이어도 된다.
잔존 응력 C1은, 3.0N/cm2 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 4.0N/cm2 이상, 더욱 바람직하게는 7.0N/cm2 이상이다. 잔존 응력 C1은, 50.0N/cm2 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 40.0N/cm2 이하, 더욱 바람직하게는 30.0N/cm2 이하이다.
상기 밀봉용 수지층에 있어서, A>C를 충족하는 것이 바람직하다. 이와 같은 구성을 가지면, 광반도체 소자 위의, 비착색층 A 및 비착색층 C의 사이에 위치하는 착색층 B는, 광반도체 소자의 밀봉 시에 있어서 비착색층 A에 의해 충분히 압축되어, 휘도가 보다 높아진다.
잔존 응력 A1과 잔존 응력 C1과의 차[잔존 응력 A1-잔존 응력 C1]는, 특별히 한정되지 않지만, 0.5N/cm2 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 1.0N/cm2 이상, 더욱 바람직하게는 2.0N/cm2 이상이다. 상기 차가 0.5N/cm2 이상이면 광반도체 소자의 밀봉 시에 있어서 광반도체 소자의 정면에 위치하는 착색층 B가 보다 압축되어, 휘도가 보다 높아진다. 상기 차는, 예를 들어 30.0N/cm2 이하이며, 20.0N/cm2 이하이어도 된다.
잔존 응력 C1에 대한 잔존 응력 A1의 비[잔존 응력 A1/잔존 응력 C1]는, 특별히 한정되지 않지만, 1.1 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 1.2 이상, 더욱 바람직하게는 1.3 이상이다. 상기 비가 1.1 이상이면 광반도체 소자의 밀봉 시에 있어서 광반도체 소자의 정면에 위치하는 착색층 B가 보다 압축되어, 휘도가 보다 높아진다. 상기 비는, 예를 들어 10.0 이하이며, 5.0 이하이어도 된다.
상기 밀봉용 수지층은 확산 기능층을 포함하는 것이 바람직하다. 이와 같은 구성을 가짐으로써, 광반도체 소자가 발하는 광을 상기 확산 기능층 중에서 확산시켜, 정면 휘도를 보다 높게 할 수 있다. 상기 확산 기능층은 본 명세서에 있어서의 비착색층에 해당하는 층인 것이 바람직하다. 그 중에서도, 비착색층 A 및/또는 비착색층 C가 확산 기능층인 것이 바람직하고, 비착색층 C가 확산 기능층인 것이 바람직하다.
상기 밀봉용 수지층이 상기 확산 기능층을 구비할 경우, 상기 밀봉용 수지층은, 상기 광반도체 소자측에서, 상기 확산 기능층, 상기 착색층 및 상기 비착색층을 이 순으로 구비하는 것이 바람직하다. 상기 비착색층은, 확산 기능층 및 비확산 기능층의 어느 것이어도 된다. 이와 같은 구성을 가짐으로써, 정면 휘도를 보다 높게 하면서, 소등 시 및 발광 시의 양쪽에 있어서 표시체의 미관을 보다 향상시킬 수 있다.
상기 밀봉용 수지층에 있어서, 비착색층 A는, 광반도체 소자를 밀봉하는 측과는 반대측의 면이 평면(플랫)으로 되어 있는 것이 바람직하다. 이 경우, 광반도체 소자를 밀봉한 상태에 있어서 상기 밀봉용 수지층 표면에서 외광의 난반사를 일어나기 어렵게 해서, 소등 시 및 발광 시의 양쪽에 있어서 표시체의 미관이 향상된다.
상기 밀봉용 수지층을 구성하는 각 층(상기 착색층 및 상기 비착색층)은, 각각 독립적으로, 점착성 및/또는 접착성을 갖고 있어도 되고, 갖고 있지 않아도 된다. 그 중에서도, 점착성 및/또는 접착성을 갖는 것이 바람직하다. 이와 같은 구성을 가짐으로써, 상기 밀봉용 수지층은 광반도체 소자를 용이하게 밀봉할 수 있고, 또한, 각 층간의 밀착성 및/또는 접착성이 우수하고, 광반도체 소자의 밀봉성이 보다 우수하다. 특히, 적어도 광반도체 소자에 접촉하는 층은 점착성 및/또는 접착성을 갖는 것이 바람직하다. 이와 같은 구성을 가짐으로써, 밀봉용 수지층에 의한 광반도체 소자의 추종성 및 매립성이 우수하다. 그 결과, 광반도체 소자에 의한 단차가 높은 경우이어도 의장성이 우수하다. 또한, 광반도체 소자에 접촉하는 층 이외의 층은 점착성 및/또는 접착성을 갖지 않아도 된다. 이 경우, 타일링 상태에 있어서 인접하는 밀봉용 수지층끼리의 밀착성이 낮고, 인접한 소 사이즈의 적층체(기판 위에 배치된 광반도체 소자를 밀봉용 수지층이 밀봉한 적층체)끼리를 분리할 때, 시트의 결손이나 인접하는 밀봉용 수지층의 부착이 일어나기 어렵다.
상기 밀봉용 수지층을 구성하는 각 층(상기 착색층 및 상기 비착색층)은, 각각 독립적으로, 방사선 조사에 의해 경화하는 성질을 갖는 수지층(방사선 경화성 수지층)이어도 되고, 방사선 조사에 의해 경화하는 성질을 갖지 않는 수지층(방사선 비경화성 수지층)이어도 된다. 상기 방사선으로서는, 예를 들어 전자선, 자외선, α선, β선, γ선 또는 X선 등을 들 수 있다.
(착색층)
상기 밀봉용 수지층에 있어서의 착색층은, 표시체에 있어서 기판 위에 마련된 금속 배선 등에 의한 광의 반사를 방지하는 것을 목적으로 하는 층이다. 상기 착색층은 착색제를 적어도 포함한다. 상기 착색층은, 수지로 구성되는 수지층인 것이 바람직하다. 상기 착색제는, 상기 착색층에 용해 또는 분산 가능한 것이라면, 염료이어도 안료이어도 된다. 소량의 첨가로도 낮은 헤이즈를 달성할 수 있고, 안료와 같이 침강성이 없고 균일하게 분포시키기 쉽기 때문에, 염료가 바람직하다. 또한, 소량의 첨가로도 색 발현성이 높기 때문에, 안료도 바람직하다. 착색제로서 안료를 사용하는 경우는, 도전성이 낮거나, 없는 것이 바람직하다. 상기 착색제는, 1종만을 사용해도 되고, 2종 이상을 사용해도 된다.
상기 착색제로서는, 흑색계 착색제가 바람직하다. 상기 흑색계 착색제로서는, 공지 내지 관용의 흑색을 나타내기 위한 착색제(안료, 염료 등)를 사용할 수 있고, 예를 들어 카본 블랙(퍼니스 블랙, 채널 블랙, 아세틸렌 블랙, 서멀 블랙, 램프 블랙, 송연 등), 그래파이트, 산화구리, 이산화망간, 아닐린 블랙, 페릴렌 블랙, 티타늄 블랙, 시아닌 블랙, 활성탄, 페라이트(비자성 페라이트, 자성 페라이트 등), 마그네타이트, 산화크롬, 산화철, 이황화몰리브덴, 크롬 착체, 안트라퀴논계 착색제, 질화지르코늄 등을 들 수 있다. 또한, 흑색 이외의 색을 나타내는 착색제를 조합하여 배합해서 흑색계 착색제로서 기능하는 착색제를 사용해도 된다.
상기 착색층이 방사선 경화성 수지층일 경우, 상기 착색제는, 가시광을 흡수하며, 또한 상기 방사선 경화성 수지층이 경화할 수 있는 파장의 광의 투과성을 갖는 것이 바람직하다.
상기 착색층에 있어서의 착색제의 함유 비율은, 적절한 반사 방지능을 표시체에 부여하는 관점에서는, 착색층의 총량 100질량%에 대하여, 0.2질량% 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.4질량% 이상이다. 또한, 상기 착색제의 함유 비율은, 예를 들어 10질량% 이하이며, 바람직하게는 5질량% 이하, 보다 바람직하게는 3질량% 이하이다. 상기 함유 비율은, 착색제의 종류나, 표시체의 색조 및 광투과율 등에 따라서 적절히 설정하면 된다. 착색제는, 적당한 용매에 용해 또는 분산시킨 용액 또는 분산액으로 해서, 조성물에 첨가해도 된다.
상기 착색층의 헤이즈값(초기 헤이즈값)은, 특별히 한정되지 않지만, 정면 휘도 및 표시체의 시인성을 확보하는 관점에서, 50% 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 40% 이하, 더욱 바람직하게는 30% 이하, 특히 바람직하게는 20% 이하이다. 또한, 상기 착색층의 헤이즈값은, 표시체의 휘도 불균일을 효율적으로 저감하는 관점에서, 1% 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 3% 이상, 더욱 바람직하게는 5% 이상, 특히 바람직하게는 8% 이상이며, 10% 이상이어도 된다.
상기 착색층의 전광선 투과율은, 특별히 한정되지 않지만, 표시체에 있어서의 금속 배선 등의 반사 방지 기능, 콘트라스트를 보다 향상시킨다는 관점에서, 80% 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 60% 이하, 더욱 바람직하게는 40% 이하, 특히 바람직하게는 30% 이하이다. 또한, 상기 착색층의 전광선 투과율은, 표시체의 휘도를 확보한다고 하는 관점에서, 0.5% 이상인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 1% 이상, 더욱 바람직하게는 1.5% 이상, 특히 바람직하게는 2% 이상이며, 2.5% 이상 또는 3% 이상이어도 된다.
상기 착색층의 헤이즈값 및 전광선 투과율은, 각각, 단층의 값이며, JIS K7136, JIS K7361-1에서 정하는 방법에 의해 측정할 수 있는 것이며, 종류나 두께, 착색제의 종류나 배합량 등에 의해 제어할 수 있다.
(비착색층)
상기 비착색층은, 상기 착색층과는 다른 층이며, 표시체에 있어서 기판 위에 마련된 금속 배선 등에 의한 광의 반사를 방지하는 것을 목적으로 하지 않는 층이다. 상기 비착색층은, 무색층이어도 되고, 조금 착색되어 있어도 된다. 또한, 상기 비착색층은, 예를 들어 광을 확산하는 기능을 발휘하는 것을 목적으로 하는 확산 기능층이어도 되고, 광을 확산하는 기능을 발휘하는 것을 목적으로 하지 않는 비확산 기능층이어도 된다. 상기 비착색층은, 투명하여도 되고, 비투명하여도 된다. 상기 비착색층은 수지로 구성되는 수지층인 것이 바람직하다.
상기 비착색층에 있어서의 착색제의 함유 비율은, 비착색층의 총량 100질량% 에 대하여, 0.2질량% 미만이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.1질량% 미만, 더욱 바람직하게는 0.05질량% 미만이고, 0.01질량% 미만 또는 0.005질량% 미만이어도 된다.
상기 비착색층의 전광선 투과율은, 특별히 한정되지 않지만, 휘도를 확보한다는 관점에서, 40% 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 60% 이상, 더욱 바람직하게는 70% 이상, 특히 바람직하게는 80% 이상이다. 또한, 상기 비착색층의 전광선 투과율의 상한값은 특별히 한정되지 않지만, 100% 미만이어도 되고, 99.9% 이하 또는 99% 이하이어도 된다.
상기 비착색층의 전광선 투과율은, 단층의 값이며, JIS K7136, JIS K7361-1에서 정하는 방법에 의해 측정할 수 있는 것이며, 비착색층의 종류나 두께 등에 의해 제어할 수 있다.
상기 확산 기능층은, 광을 확산하는 것을 목적으로 하는 층이다. 상기 밀봉용 수지층이 상기 확산 기능층을 가지면, 광반도체 소자로부터 발해지는 광이 확산 기능층 중에서 확산하고, 예를 들어 광반도체 소자의 측면으로부터 발해지는 광이 표시체의 정면 방향으로 방출되고, 표시체의 정면 휘도가 향상된다. 상기 확산 기능층은 수지로 구성되는 수지층인 것이 바람직하다. 상기 확산 기능층은, 한정되지 않지만, 광확산성 미립자를 포함하는 것이 바람직하다. 즉, 상기 확산 기능층은, 수지층 중에 분산한 광확산성 미립자를 포함하는 것이 바람직하다. 상기 광확산성 미립자는, 1종만을 사용해도 되고, 2종 이상을 사용해도 된다.
상기 광확산성 미립자는, 확산 기능층을 구성하는 수지와의 적절한 굴절률 차를 갖고, 확산 기능층에 확산 성능을 부여하는 것이다. 광확산성 미립자로서는, 무기 미립자, 고분자 미립자 등을 들 수 있다. 무기 미립자의 재질로서는, 예를 들어 실리카, 탄산칼슘, 수산화알루미늄, 수산화마그네슘, 클레이, 탈크, 금속 산화물 등을 들 수 있다. 고분자 미립자의 재질로서는, 예를 들어 실리콘 수지, 아크릴계 수지(예를 들어, 폴리메타크릴산메틸 등의 폴리메타크릴레이트 수지를 포함함), 폴리스티렌 수지, 폴리우레탄 수지, 멜라민 수지, 폴리에틸렌 수지, 에폭시 수지 등을 들 수 있다.
상기 고분자 미립자로서는, 실리콘 수지로 구성되는 미립자가 바람직하다. 또한, 상기 무기 미립자로서는, 금속 산화물로 구성되는 미립자가 바람직하다. 상기 금속 산화물로서는, 산화티타늄, 티타늄산바륨이 바람직하고, 보다 바람직하게는 산화티타늄이다. 이와 같은 구성을 가짐으로써, 상기 확산 기능층의 광확산성이 보다 우수하고, 휘도 불균일이 보다 억제된다.
상기 광확산성 미립자의 형상은, 특별히 한정되지 않고 예를 들어, 진구상, 편평상, 부정형상이어도 된다.
상기 광확산성 미립자의 평균 입자경은, 적절한 광확산 성능을 부여하는 관점에서는, 0.1μm 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.15μm 이상, 더욱 바람직하게는 0.2μm 이상, 특히 바람직하게는 0.25μm 이상이다. 또한, 상기 광확산성 미립자의 평균 입자경은, 헤이즈값이 지나치게 높아지는 것을 방지하고, 고정밀의 화상을 표시하는 관점에서, 12μm 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 10μm 이하, 더욱 바람직하게는 8μm 이하이다. 평균 입자경은, 예를 들어 코울터 카운터를 사용하여 측정할 수 있다.
상기 광확산성 미립자의 굴절률은, 1.2 내지 5가 바람직하고, 보다 바람직하게는 1.25 내지 4.5, 더욱 바람직하게는 1.3 내지 4, 특히 바람직하게는 1.35 내지 3이다.
상기 광확산성 미립자와 확산 기능층을 구성하는 수지(확산 기능층에 있어서 광확산성 미립자를 제외한 수지층)의 굴절률 차의 절댓값은, 표시체의 휘도 불균일을 보다 효율적으로 저감하는 관점에서, 0.001 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.01 이상, 더욱 바람직하게는 0.02 이상, 특히 바람직하게는 0.03 이상이며, 0.04 이상 또는 0.05 이상이어도 된다. 또한, 광확산성 미립자와 수지의 굴절률 차의 절댓값은, 헤이즈값이 지나치게 높아지는 것을 방지하고, 고정밀의 화상을 표시하는 관점에서, 5 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 4 이하, 더욱 바람직하게는 3 이하이다.
상기 확산 기능층 중의 상기 광확산성 미립자의 함유량은, 적절한 광확산 성능을 광반도체 소자 밀봉용 시트에 부여하는 관점에서는, 확산 기능층을 구성하는 수지 100질량부에 대하여, 0.01질량부 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.05질량부 이상, 더욱 바람직하게는 0.1질량부 이상, 특히 바람직하게는 0.15질량부 이상이다. 또한, 광확산성 미립자의 함유량은, 헤이즈값이 지나치게 높아지는 것을 방지하고, 고정밀의 화상을 표시하는 관점에서, 확산 기능층을 구성하는 수지 100질량부에 대하여, 80질량부 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 70질량부 이하이다.
상기 확산 기능층의 헤이즈값(초기 헤이즈값)은, 특별히 한정되지 않지만, 휘도 불균일을 효율적으로 저감하는 관점에서, 30% 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 40% 이상, 더욱 바람직하게는 50% 이상, 특히 바람직하게는 60% 이상이며, 70% 이상, 80% 이상, 90% 이상, 95% 이상, 97% 이상이어도 되고, 또한 99.9% 부근의 것이 휘도 불균일 개선 효과가 보다 우수해서 바람직하다. 또한, 상기 확산 기능층의 헤이즈값의 상한은, 특별히 한정되지 않고 즉, 100%이어도 된다.
상기 확산 기능층의 전광선 투과율은, 특별히 한정되지 않지만, 휘도를 확보한다고 하는 관점에서, 40% 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 60% 이상, 더욱 바람직하게는 70% 이상, 특히 바람직하게는 80% 이상이다. 또한, 상기 확산 기능층의 전광선 투과율의 상한값은 특별히 한정되지 않지만, 100% 미만이어도 되고, 99.9% 이하 또는 99% 이하이어도 된다.
상기 확산 기능층의 헤이즈값 및 전광선 투과율은, 각각, 단층의 값이며, JIS K7136, JIS K7361-1에서 정하는 방법에 의해 측정할 수 있는 것이며, 확산 기능층의 종류나 두께, 광확산성 미립자의 종류나 배합량 등에 의해 제어할 수 있다.
상기 비확산 기능층의 헤이즈값(초기 헤이즈값)은, 특별히 한정되지 않지만, 표시체의 휘도를 우수한 것으로 하는 관점에서, 30% 미만이 바람직하고, 보다 바람직하게는 10% 이하, 더욱 바람직하게는 5% 이하, 특히 바람직하게는 1% 이하이며, 0.5% 이하이어도 된다. 또한, 상기 비확산 기능층의 헤이즈값의 하한은 특별히 한정되지 않는다.
상기 비확산 기능층의 전광선 투과율은, 특별히 한정되지 않지만, 표시체의 휘도를 확보한다고 하는 관점에서, 60% 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 70% 이상, 더욱 바람직하게는 80% 이상, 특히 바람직하게는 90% 이상이다. 또한, 상기 비확산 기능층의 전광선 투과율의 상한값은 특별히 한정되지 않지만, 100% 미만이어도 되고, 99.9% 이하 또는 99% 이하이어도 된다.
상기 비확산 기능층의 헤이즈값 및 전광선 투과율은, 각각, 단층의 값이며, JIS K7136, JIS K7361-1에서 정하는 방법에 의해 측정할 수 있는 것이며, 비확산 기능층의 종류나 두께 등에 의해 제어할 수 있다.
상기 비확산 기능층 중의 착색제 및/또는 광확산성 미립자의 함유량은, 표시체의 휘도를 우수한 것으로 하는 관점에서, 비확산 기능층을 구성하는 수지 100질량부에 대하여, 0.01질량부 미만이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.005질량부 미만이다.
상기 밀봉용 수지층의 적층 구조로서는, [착색층/확산 기능층], [착색층/비확산 기능층], [착색층/확산 기능층/비확산 기능층], [착색층/비확산 기능층/확산 기능층], [착색층/확산 기능층/확산 기능층], [착색층/비확산 기능층/비확산 기능층], [확산 기능층/착색층/비확산 기능층], [비확산 기능층/착색층/확산 기능층], [확산 기능층/착색층/확산 기능층], [비확산 기능층/착색층/비확산 기능층], [착색층/확산 기능층/착색층/비확산 기능층](이상, 광반도체 소자 측으로부터의 순서) 등을 들 수 있다.
도 1은, 본 발명의 광반도체 소자 밀봉용 시트의 일 실시 형태를 도시하는 단면도이다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 광반도체 소자 밀봉용 시트(1)는, 기판 위에 배치된 1 이상의 광반도체 소자를 밀봉하기 위해서 사용할 수 있는 것이며, 기재부(4)와 기재부(4) 위에 형성된 밀봉용 수지층(2)을 구비한다. 기재부(4)는, 기재 필름(41) 및 표면 처리층인 기능층(42)으로 구성되어 있지만, 기능층(42)을 갖지 않고 기재 필름(41)으로 구성되어 있어도 된다. 밀봉용 수지층(2)은, 확산 기능층(21)과, 착색층(22)과, 비착색층(23)의 적층체로 형성되어 있다. 착색층(22)은 확산 기능층(21)에 직접 적층되어 있고, 비착색층(23)은 착색층(22)에 직접 적층되어 있다. 확산 기능층(21)에는 박리 라이너(3)가 첩부되어 있고, 비착색층(23)에는 기재부(4)가 첩부되어 있다. 확산 기능층(21)은 비착색층 C이고, 착색층(22)은 착색층 B이며, 비착색층(23)은 비착색층 A이다. 비착색층(23)의 경도는 착색층(22)의 경도보다 딱딱하다. 비착색층(23)의 경도는 확산 기능층(21)의 경도보다 딱딱하다. 확산 기능층(21)의 경도는 착색층(22)의 경도보다 딱딱하다.
또한, 도 1에는, 밀봉용 수지층이 2층의 비착색층 및 1층의 착색층에 의해 구성되는 3층 구성인 예를 게재했지만, 밀봉용 수지층을 구성하는 층의 총 수는, 비착색층 A 및 착색층 B를 각 1층 포함하는 2층 이상이면 되고, 특별히 한정되지 않는다.
(수지층)
상기 착색층 및 상기 비착색층이 상기 수지층일 경우, 상기 수지층을 구성하는 수지로서는, 공지 내지 관용의 수지를 들 수 있고, 예를 들어 아크릴계 수지, 우레탄아크릴레이트계 수지, 우레탄계 수지, 고무계 수지, 에폭시계 수지, 에폭시아크릴레이트계 수지, 옥세탄계 수지, 실리콘 수지, 실리콘아크릴계 수지, 폴리에스테르계 수지, 폴리에테르계 수지(폴리비닐에테르 등), 폴리아미드계 수지, 불소계 수지, 아세트산비닐/염화비닐 코폴리머, 변성 폴리올레핀 등을 들 수 있다. 상기 수지는, 1종만을 사용해도 되고, 2종 이상을 사용해도 된다. 상기 밀봉용 수지층의 각 층을 구성하는 수지는, 서로 동일하여도 되고 다르게 되어 있어도 된다.
상기 수지층이 점착성을 갖는 층(점착층)일 경우, 상기 수지로서, 공지 내지 관용의 감압형의 점착제를 사용할 수 있다. 상기 점착제로서는, 예를 들어 아크릴계 점착제, 고무계 점착제(천연 고무계, 합성 고무계, 이들의 혼합계 등), 실리콘계 점착제, 폴리에스테르계 점착제, 우레탄계 점착제, 폴리에테르계 점착제, 폴리아미드계 점착제, 불소계 점착제 등을 들 수 있다. 상기 점착제는, 1종만을 사용해도 되고, 2종 이상을 사용해도 된다.
상기 아크릴계 수지는, 폴리머의 구성 단위로서, 아크릴계 모노머(분자 중에 (메트)아크릴로일기를 갖는 모노머 성분)에서 유래하는 구성 단위를 포함하는 폴리머이다. 상기 아크릴계 수지는, 1종만을 사용해도 되고, 2종 이상을 사용해도 된다.
상기 아크릴계 수지는, (메트)아크릴산에스테르에서 유래하는 구성 단위를 질량 비율로 가장 많이 포함하는 폴리머인 것이 바람직하다. 또한, 본 명세서에 있어서, 「(메트)아크릴」이란, 「아크릴」 및/또는 「메타크릴」(「아크릴」 및 「메타크릴」 중, 어느 한쪽 또는 양쪽)을 나타내고, 다른 것도 마찬가지이다.
상기 (메트)아크릴산에스테르로서는, 예를 들어 탄화수소기 함유 (메트)아크릴산에스테르를 들 수 있다. 상기 탄화수소기 함유 (메트)아크릴산에스테르로서는, 직쇄상 또는 분지쇄상의 지방족 탄화수소기를 갖는 (메트)아크릴산알킬에스테르, (메트)아크릴산시클로알킬에스테르 등의 지환식 탄화수소기를 갖는 (메트)아크릴산에스테르, (메트)아크릴산아릴에스테르 등의 방향족 탄화수소기를 갖는 (메트)아크릴산에스테르 등을 들 수 있다. 상기 탄화수소기 함유 (메트)아크릴산에스테르는, 1종만을 사용해도 되고, 2종 이상을 사용해도 된다.
상기 (메트)아크릴산알킬에스테르로서는, 예를 들어 (메트)아크릴산메틸, (메트)아크릴산에틸, (메트)아크릴산프로필, (메트)아크릴산이소프로필, (메트)아크릴산부틸, (메트)아크릴산이소부틸, (메트)아크릴산s-부틸, (메트)아크릴산t-부틸, (메트)아크릴산펜틸, (메트)아크릴산이소펜틸, (메트)아크릴산헥실, (메트)아크릴산헵틸, (메트)아크릴산옥틸, (메트)아크릴산2-에틸헥실, (메트)아크릴산이소옥틸, (메트)아크릴산노닐, (메트)아크릴산이소노닐, (메트)아크릴산데실, (메트)아크릴산이소데실, (메트)아크릴산운데실, (메트)아크릴산도데실((메트)아크릴산라우릴), (메트)아크릴산트리데실, (메트)아크릴산테트라데실, (메트)아크릴산펜타데실, (메트)아크릴산헥사데실, (메트)아크릴산헵타데실, (메트)아크릴산옥타데실, (메트)아크릴산노나데실, (메트)아크릴산에이코실 등을 들 수 있다.
상기 (메트)아크릴산알킬에스테르로서는, 그 중에서도, 탄소수가 1 내지 20(바람직하게는 1 내지 14, 보다 바람직하게는 2 내지 10)의 직쇄상 또는 분지쇄상의 지방족 탄화수소기를 갖는 (메트)아크릴산알킬에스테르가 바람직하다. 상기 탄소수가 상기 범위 내이면, 상기 아크릴계 수지의 유리 전이 온도의 조정이 용이하고, 수지층의 점착성을 보다 적절한 것으로 하기 쉽다.
상기 지환식 탄화수소기를 갖는 (메트)아크릴산에스테르로서는, 예를 들어 (메트)아크릴산시클로펜틸, (메트)아크릴산시클로헥실, (메트)아크릴산시클로헵틸, (메트)아크릴산시클로옥틸 등의 일환식의 지방족 탄화수소 환을 갖는 (메트)아크릴산에스테르; (메트)아크릴산이소보르닐 등의 2환식의 지방족 탄화수소 환을 갖는 (메트)아크릴산에스테르; 디시클로펜타닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜타닐옥시에틸(메트)아크릴레이트, 트리시클로펜타닐(메트)아크릴레이트, 1-아다만틸(메트)아크릴레이트, 2-메틸-2-아다만틸(메트)아크릴레이트, 2-에틸-2-아다만틸(메트)아크릴레이트 등의 3환 이상의 지방족 탄화수소 환을 갖는 (메트)아크릴산에스테르 등을 들 수 있다.
상기 방향족 탄화수소기를 갖는 (메트)아크릴산에스테르로서는, 예를 들어 (메트)아크릴산페닐에스테르, (메트)아크릴산벤질에스테르 등을 들 수 있다.
상기 탄화수소기 함유 (메트)아크릴산에스테르로서는, 그 중에서도, 직쇄상 또는 분지쇄상의 지방족 탄화수소기를 갖는 (메트)아크릴산알킬에스테르를 포함하는 것이 바람직하고, 또한 지환식 탄화수소기를 갖는 (메트)아크릴산에스테르를 포함하는 것이 보다 바람직하다. 이 경우, 수지층의 점착성 밸런스가 좋고, 광반도체 소자의 밀봉성이 보다 우수하다.
상기 탄화수소기 함유 (메트)아크릴산에스테르에 의한 점착성이나 광반도체 소자에 대한 밀착성 등의 기본 특성을 상기 수지층에 있어서 적절하게 발현시키기 위해서는, 상기 아크릴계 수지를 구성하는 전체 모노머 성분에 있어서의 상기 탄화수소기 함유 (메트)아크릴산에스테르의 비율은, 상기 전체 모노머 성분의 총량(100질량%)에 대하여, 40질량% 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 50질량% 이상, 더욱 바람직하게는 60질량% 이상이다. 또한, 상기 비율은, 기타의 모노머 성분을 공중합 가능하게 하고 당해 기타의 모노머 성분의 효과를 얻는 관점에서, 95질량% 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 80질량% 이하이다.
상기 아크릴계 수지를 구성하는 전체 모노머 성분에 있어서의 직쇄상 또는 분지쇄상의 지방족 탄화수소기를 갖는 (메트)아크릴산알킬에스테르의 비율은, 상기 전체 모노머 성분의 총량(100질량%)에 대하여, 30질량% 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 40질량% 이상이다. 또한, 상기 비율은, 90질량% 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 70질량% 이하이다.
상기 아크릴계 수지를 구성하는 전체 모노머 성분에 있어서의 지환식 탄화수소기를 갖는 (메트)아크릴산에스테르의 비율은, 상기 전체 모노머 성분의 총량(100질량%)에 대하여, 1질량% 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 5질량% 이상이다. 또한, 상기 비율은, 30질량% 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 20질량% 이하이다.
상기 아크릴계 수지는, 후술하는 제1 관능기를 도입하는 목적이나, 응집력, 내열성 등의 개질을 목적으로 해서, 상기 탄화수소기 함유 (메트)아크릴산에스테르와 공중합 가능한 기타의 모노머 성분에서 유래하는 구성 단위를 포함하고 있어도 된다. 상기 기타의 모노머 성분으로서는, 예를 들어 카르복시기 함유 모노머, 산 무수물 모노머, 히드록시기 함유 모노머, 글리시딜기 함유 모노머, 술폰산기 함유 모노머, 인산기 함유 모노머, 질소 원자 함유 모노머 등의 극성기 함유 모노머 등을 들 수 있다. 상기 기타의 모노머 성분은, 각각, 1종만을 사용해도 되고, 2종 이상을 사용해도 된다.
상기 카르복시기 함유 모노머로서는, 예를 들어 아크릴산, 메타크릴산, 카르복시에틸(메트)아크릴레이트, 카르복시펜틸(메트)아크릴레이트, 이타콘산, 말레산, 푸마르산, 크로톤산 등을 들 수 있다. 상기 산 무수물 모노머로서는, 예를 들어 무수 말레산, 무수 이타콘산 등을 들 수 있다.
상기 히드록시기 함유 모노머로서는, 예를 들어 (메트)아크릴산2-히드록시에틸, (메트)아크릴산2-히드록시프로필, (메트)아크릴산4-히드록시부틸, (메트)아크릴산6-히드록시헥실, (메트)아크릴산8-히드록시옥틸, (메트)아크릴산10-히드록시데실, (메트)아크릴산12-히드록시라우릴, (4-히드록시메틸시클로헥실)메틸(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다.
상기 글리시딜기 함유 모노머로서는, 예를 들어 (메트)아크릴산글리시딜, (메트)아크릴산메틸글리시딜 등을 들 수 있다.
상기 술폰산기 함유 모노머로서는, 예를 들어 스티렌술폰산, 알릴술폰산, 2- (메트)아크릴아미드-2-메틸프로판술폰산, (메트)아크릴아미도프로판술폰산, 술포프로필(메트)아크릴레이트, (메트)아크릴로일옥시나프탈렌술폰산 등을 들 수 있다.
상기 인산기 함유 모노머로서는, 예를 들어 2-히드록시에틸아크릴로일포스페이트 등을 들 수 있다.
상기 질소 원자 함유 모노머로서는, 예를 들어 (메트)아크릴로일모르폴린 등의 모르폴리노기 함유 모노머, (메트)아크릴로니트릴 등의 시아노기 함유 모노머, (메트)아크릴아미드 등의 아미드기 함유 모노머 등을 들 수 있다.
상기 아크릴계 수지를 구성하는 상기 극성기 함유 모노머로서 히드록시기 함유 모노머를 포함하는 것이 바람직하다. 히드록시기 함유 모노머를 사용함으로써 후술하는 제1 관능기의 도입이 용이하다. 또한, 아크릴계 수지 및 상기 수지층의 내수성이 우수하고, 광반도체 소자 밀봉용 시트는 고습도가 되는 환경 하에서 사용된 경우이어도 흐려지기 어렵고 내백화성이 우수하다.
상기 히드록시기 함유 모노머로서는, (메트)아크릴산2-히드록시에틸, (메트)아크릴산4-히드록시부틸이 바람직하고, 보다 바람직하게는 (메트)아크릴산2-히드록시에틸이다.
상기 탄화수소기 함유 (메트)아크릴산에스테르에 의한 점착성이나 광반도체 소자에 대한 밀착성 등의 기본 특성을 상기 수지층에 있어서 적절하게 발현시키기 위해서는, 상기 아크릴계 수지를 구성하는 전체 모노머 성분(100질량%)에 있어서의, 상기 극성기 함유 모노머의 비율은, 5 내지 50질량%가 바람직하고, 보다 바람직하게는 10 내지 40질량%이다. 특히, 상기 수지층의 내수성도 보다 우수한 관점에서, 히드록시기 함유 모노머의 비율이 상기 범위 내인 것이 바람직하다.
상기 기타의 모노머 성분으로서는, 또한, (메트)아크릴산의 카프로락톤 부가물, 아세트산비닐, 프로피온산비닐, 스티렌, α-메틸스티렌 등의 비닐계 모노머; (메트)아크릴산폴리에틸렌글리콜, (메트)아크릴산폴리프로필렌글리콜, (메트)아크릴산메톡시에틸렌글리콜, (메트)아크릴산메톡시폴리프로필렌글리콜 등의 글리콜계 아크릴에스테르 모노머; (메트)아크릴산테트라히드로푸르푸릴, 불소 (메트)아크릴레이트, 실리콘 (메트)아크릴레이트, 알콕시기 치환 탄화수소기 함유 (메트)아크릴레이트((메트)아크릴산2-메톡시에틸, 3-페녹시벤질(메트)아크릴레이트 등)의 아크릴산에스테르계 모노머 등을 포함하고 있어도 된다.
상기 아크릴계 수지를 구성하는 전체 모노머 성분(100질량%)에 있어서의, 상기 기타의 모노머 성분의 비율은, 예를 들어 3 내지 50질량% 정도이고, 5 내지 40질량% 또는 10 내지 30질량%이어도 된다.
상기 아크릴계 수지는, 그 폴리머 골격 중에 가교 구조를 형성하기 위해서, 아크릴계 수지를 구성하는 모노머 성분과 공중합 가능한 다관능 (메트)아크릴레이트에서 유래하는 구성 단위를 포함하고 있어도 된다. 상기 다관능 (메트)아크릴레이트로서는, 예를 들어 헥산디올디(메트)아크릴레이트, (폴리)에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, (폴리)프로필렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨디(메트)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 상기 다관능성 모노머는, 1종만을 사용해도 되고, 2종 이상을 사용해도 된다.
상기 탄화수소기 함유 (메트)아크릴산에스테르에 의한 점착성이나 광반도체 소자에 대한 밀착성 등의 기본 특성을 상기 수지층에 있어서 적절하게 발현시키기 위해서는, 상기 아크릴계 수지를 구성하는 전체 모노머 성분(100질량%)에 있어서의 상기 다관능성 모노머의 비율은, 40질량% 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 30질량% 이하이다.
상기 수지층이 방사선 경화성 수지층일 경우, 상기 수지층으로서는, 예를 들어 베이스 폴리머와 방사선 중합성의 탄소-탄소 이중 결합 등의 관능기를 갖는 방사선 중합성의 모노머 성분이나 올리고머 성분을 함유하는 층, 방사선 중합성 관능기를 갖는 폴리머(특히, 아크릴계 수지)를 베이스 폴리머로서 포함하는 층 등을 들 수 있다.
상기 방사선 중합성 관능기로서는, 에틸렌성 불포화기 등의 탄소-탄소 불포화 결합을 포함하는 기 등의 방사선 라디칼 중합성기나, 방사선 양이온 중합성기 등을 들 수 있다. 상기 탄소-탄소 불포화 결합을 포함하는 기로서는, 예를 들어 비닐기, 프로페닐기, 이소프로페닐기, 아크릴로일기, 메타크릴로일기 등을 들 수 있다. 상기 방사선 양이온 중합성기로서는, 에폭시기, 옥세타닐기, 옥솔라닐기 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 탄소-탄소 불포화 결합을 포함하는 기가 바람직하고, 보다 바람직하게는 아크릴로일기, 메타크릴로일기이다. 상기 방사선 중합성 관능기는, 1종만이어도 되고, 2종 이상이어도 된다. 상기 방사선 중합성 관능기의 위치는, 폴리머 측쇄, 폴리머 주쇄 중, 폴리머 주쇄 말단의 어느 것이어도 된다.
상기 방사선 중합성 관능기를 갖는 폴리머는, 예를 들어 반응성 관능기(제1 관능기)를 갖는 폴리머와, 상기 제1 관능기와의 사이에서 반응을 일으켜 결합을 형성할 수 있는 관능기(제2 관능기) 및 상기 방사선 중합성 관능기를 갖는 화합물을, 상기 방사선 중합성 관능기의 방사선 중합성을 유지한 채 반응시켜서 결합시키는 방법에 의해 제작할 수 있다. 이 때문에, 상기 방사선 중합성 관능기를 갖는 폴리머는, 상기 제1 관능기를 갖는 폴리머에서 유래하는 구조부와, 상기 제2 관능기 및 방사선 중합성 관능기를 갖는 화합물에서 유래하는 구조부를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 제1 관능기와 상기 제2 관능기의 조합으로서는, 예를 들어 카르복시기와 에폭시기, 에폭시기와 카르복시기, 카르복시기와 아지리딜기, 아지리딜기와 카르복시기, 히드록시기와 이소시아네이트기, 이소시아네이트기와 히드록시기 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 반응 추적의 용이함 관점에서, 히드록시기와 이소시아네이트기의 조합, 이소시아네이트기와 히드록시기의 조합이 바람직하다. 상기 조합은, 1종만이어도 되고, 2종 이상이어도 된다.
상기 방사선 중합성 관능기 및 이소시아네이트기를 갖는 화합물로서는, 메타크릴로일이소시아네이트, 2-아크릴로일옥시에틸이소시아네이트, 2-메타크릴로일옥시에틸이소시아네이트(MOI), m-이소프로페닐-α,α-디메틸벤질이소시아네이트 등을 들 수 있다. 상기 화합물은, 1종만을 사용해도 되고, 2종 이상을 사용해도 된다.
상기 방사선 중합성 관능기를 갖는 아크릴계 수지 중의, 상기 제2 관능기 및 방사선 중합성 관능기를 갖는 화합물에서 유래하는 구조부의 함유량은, 방사선 경화성 수지층의 경화를 보다 진행시킬 수 있는 관점에서, 상기 제1 관능기를 갖는 아크릴계 수지에서 유래하는 구조부의 총량 100몰에 대하여, 0.5몰 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 1몰 이상, 더욱 바람직하게는 3몰 이상, 더욱 바람직하게는 10몰 이상이다. 상기 함유량은, 예를 들어 100몰 이하이다.
상기 방사선 중합성 관능기를 갖는 아크릴계 수지 중의, 상기 제1 관능기에 대한, 상기 제2 관능기의 몰비[제2 관능기/제1 관능기]는, 방사선 경화성 수지층의 경화를 보다 진행시킬 수 있는 관점에서, 0.01 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.05 이상, 더욱 바람직하게는 0.2 이상, 특히 바람직하게는 0.4 이상이다. 또한, 상기 몰비는, 방사선 경화성 수지층 중의 저분자량 물질을 보다 저감시키는 관점에서, 1.0 미만이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.9 이하이다.
상기 아크릴계 수지는, 상술한 각종 모노머 성분을 중합함으로써 얻어진다. 이 중합 방법으로서는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 용액 중합 방법, 유화 중합 방법, 괴상 중합 방법, 활성 에너지선 조사에 의한 중합 방법(활성 에너지선 중합 방법) 등을 들 수 있다. 또한, 얻어지는 아크릴계 수지는, 랜덤 공중합체, 블록 공중합체, 그래프트 공중합체 등 어느 것이어도 된다.
상기 방사선 중합성 관능기를 갖는 아크릴계 수지는, 예를 들어 제1 관능기를 갖는 모노머 성분을 포함하는 원료 모노머를 중합(공중합)시켜서 제1 관능기를 갖는 아크릴계 수지를 얻은 후, 상기 제2 관능기 및 방사선 중합성 관능기를 갖는 화합물을, 방사선 중합성 관능기의 방사선 중합성을 유지한 채 아크릴계 수지에 대하여 축합 반응 또는 부가 반응시키는 방법에 의해 제작할 수 있다.
모노머 성분의 중합 시에는, 각종 일반적인 용제가 사용되어도 된다. 상기 용제로서는, 예를 들어 아세트산에틸, 아세트산n-부틸 등의 에스테르류; 톨루엔, 벤젠 등의 방향족 탄화수소류; n-헥산, n-헵탄 등의 지방족 탄화수소류; 시클로헥산, 메틸시클로헥산 등의 지환식 탄화수소류; 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤 등의 케톤류 등의 유기 용제를 들 수 있다. 상기 용제는, 1종만을 사용해도 되고, 2종 이상을 사용해도 된다.
모노머 성분의 라디칼 중합에 사용되는 중합 개시제, 연쇄 이동제, 유화제 등은 특별히 한정되지 않고 적절히 선택해서 사용할 수 있다. 또한, 아크릴계 수지의 중량 평균 분자량은, 중합 개시제, 연쇄 이동제의 사용량, 반응 조건에 의해 제어 가능하고, 이들의 종류에 따라 적절히 그 사용량이 조정된다.
모노머 성분의 중합에 사용되는 중합 개시제로서는, 중합 반응의 종류에 따라, 열중합 개시제나 광중합 개시제(광 개시제) 등이 사용 가능하다. 상기 중합 개시제는, 1종만을 사용해도 되고, 2종 이상을 사용해도 된다.
상기 열 중합 개시제로서는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 아조계 중합 개시제, 과산화물계 중합 개시제, 산화 환원계 중합 개시제 등을 들 수 있다. 상기 열 중합 개시제의 사용량은, 상기 제1 관능기를 갖는 아크릴계 수지를 구성하는 전체 모노머 성분의 총량 100질량부에 대하여, 1질량부 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.005 내지 1질량부, 더욱 바람직하게는 0.02 내지 0.5질량부이다.
상기 광중합 개시제로서는, 예를 들어 벤조인에테르계 광중합 개시제, 아세토페논계 광중합 개시제, α-케톨계 광중합 개시제, 방향족 술포닐클로라이드계 광중합 개시제, 광활성 옥심계 광중합 개시제, 벤조인계 광중합 개시제, 벤질계 광중합 개시제, 벤조페논계 광중합 개시제, 케탈계 광중합 개시제, 티오크산톤계 광중합 개시제, 아실포스핀옥사이드계 광중합 개시제, 티타노센계 광중합 개시제 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 아세토페논계 광중합 개시제가 바람직하다.
상기 아세토페논계 광중합 개시제로서는, 예를 들어 2,2-디에톡시아세토페논, 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 4-페녹시디클로로아세토페논, 4-(t-부틸)디클로로아세토페논, 1-[4-(2-히드록시에톡시)-페닐]-2-히드록시-2-메틸-1-프로판-1-온, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐-프로판-1-온, 메톡시 아세토페논 등을 들 수 있다.
상기 광중합 개시제의 사용량은, 상기 아크릴계 수지를 구성하는 전체 모노머 성분의 총량 100질량부에 대하여, 0.005 내지 1질량부인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.01 내지 0.7질량부, 더욱 바람직하게는 0.18 내지 0.5질량부이다. 상기 사용량이 0.005질량부 이상(특히, 0.18질량부 이상)이면, 아크릴계 수지의 분자량을 작게 제어하기 쉽고, 수지층의 잔존 응력이 높아져서 단차 흡수성이 보다 양호해지는 경향이 있다.
상기 제1 관능기를 갖는 아크릴계 수지와 상기 제2 관능기 및 방사선 중합성 관능기를 갖는 화합물의 반응은, 예를 들어 용제 중에서, 촉매의 존재하에 교반해서 행할 수 있다. 상기 용제로서는 상술한 것을 예로 들 수 있다. 상기 촉매는, 제1 관능기 및 제2 관능기의 조합에 따라서 적절히 선택된다. 상기 반응에 있어서의 반응 온도는 예를 들어 5 내지 100℃, 반응 시간은 예를 들어 1 내지 36시간이다.
상기 아크릴계 수지는, 가교제에서 유래하는 구조부를 갖고 있어도 된다. 예를 들어, 상기 아크릴계 수지를 가교시켜, 상기 수지층 중의 저분자량 물질을 보다 저감시킬 수 있다. 또한, 아크릴계 수지의 중량 평균 분자량을 높일 수 있다. 또한, 상기 아크릴계 수지가 방사선 중합성 관능기를 갖는 경우, 상기 가교제는, 방사선 중합성 관능기 이외의 관능기끼리(예를 들어, 제1 관능기끼리, 제2 관능기끼리 또는 제1 관능기와 제2 관능기)를 가교하는 것이다. 상기 가교제는, 1종만을 사용해도 되고, 2종 이상을 사용해도 된다.
상기 가교제로서는, 예를 들어 이소시아네이트계 가교제, 에폭시계 가교제, 멜라민계 가교제, 과산화물계 가교제, 요소계 가교제, 금속 알콕시드계 가교제, 금속 킬레이트계 가교제, 금속염계 가교제, 카르보디이미드계 가교제, 옥사졸린계 가교제, 아지리딘계 가교제, 아민계 가교제, 실리콘계 가교제, 실란계 가교제 등을 들 수 있다. 상기 가교제로서는, 그 중에서도, 광반도체 소자에 대한 밀착성이 우수한 관점, 불순물 이온이 적은 관점에서, 이소시아네이트계 가교제, 에폭시계 가교제가 바람직하고, 보다 바람직하게는 이소시아네이트계 가교제이다.
상기 이소시아네이트계 가교제(다관능 이소시아네이트 화합물)로서는, 예를 들어 1,2-에틸렌디이소시아네이트, 1,4-부틸렌디이소시아네이트, 1,6-헥사메틸렌 디이소시아네이트 등의 저급 지방족 폴리이소시아네이트류; 시클로펜틸렌디이소시아네이트, 시클로헥실렌디이소시아네이트, 이소포론디이소시아네이트, 수소 첨가 톨릴렌디이소시아네이트, 수소 첨가 크실렌디이소시아네이트 등의 지환족 폴리이소시아네이트류; 2,4-톨릴렌디이소시아네이트, 2,6-톨릴렌디이소시아네이트, 4,4'-디페닐메탄디이소시아네이트, 크실릴렌디이소시아네이트 등의 방향족 폴리이소시아네이트류 등을 들 수 있다. 또한, 상기 이소시아네이트계 가교제로서는, 예를 들어 트리메틸올프로판/톨릴렌디이소시아네이트 부가물, 트리메틸올프로판/헥사메틸렌 디이소시아네이트 부가물, 트리메틸올프로판/크실릴렌디이소시아네이트 부가물 등도 들 수 있다.
상기 가교제에서 유래하는 구조부의 함유량은, 특별히 한정되지 않지만, 상기 아크릴계 수지의, 상기 가교제에서 유래하는 구조부를 제외한 총량 100질량부에 대하여, 5질량부 이하 함유하는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.001 내지 5질량부, 더욱 바람직하게는 0.01 내지 3질량부이다.
상기 수지층은, 상기 각 층에 있어서 본 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 상술한 각 성분 이외의 기타의 성분을 포함하고 있어도 된다. 상기 기타의 성분으로서는, 경화제, 가교 촉진제, 점착 부여 수지(로진 유도체, 폴리테르펜 수지, 석유 수지, 유용성 페놀 등), 올리고머, 노화 방지제, 충전제(금속 분말, 유기 충전제, 무기 충전제 등), 산화 방지제, 가소제, 연화제, 계면 활성제, 대전 방지제, 표면 윤활제, 레벨링제, 광안정제, 자외선 흡수제, 중합 금지제, 입상물, 박상물 등을 들 수 있다. 상기 기타의 성분은, 각각, 1종만을 사용해도 되고, 2종 이상을 사용해도 된다.
<기재부>
본 발명의 광반도체 소자 밀봉용 시트에 있어서, 상기 밀봉용 수지층은, 기재부의 적어도 한쪽 면에 구비되어 있어도 된다. 본 발명의 광반도체 소자 밀봉용 시트가 상기 기재부를 구비할 경우, 상기 밀봉용 수지층의, 비착색층 A의 착색층 B와는 반대측이 기재부와 접촉하는 측이 된다. 상기 기재부는, 상기 광반도체 소자 밀봉용 시트에 있어서 밀봉용 수지층의 광반도체 소자측과는 반대측에 구비하면, 밀봉용 수지층 표면을 플랫하게 할 수 있고, 이것에 의해 광의 난반사를 일어나기 어렵게 하여, 소등 시 및 발광 시의 양쪽에 있어서 표시체의 미관이 향상된다. 또한, 상기 기재부에 후술하는 안티글레어층이나 반사 방지층을 형성함으로써 표시체에 안티글레어성이나 반사 방지성을 부여할 수 있다. 또한, 상기 광반도체 소자 밀봉용 시트에 있어서 밀봉용 수지층의 지지체가 되어, 상기 기재부를 구비함으로써 광반도체 소자 밀봉용 시트의 취급성이 우수하다. 또한, 기재부는 반드시 마련되지는 않아도 된다.
상기 기재부는, 단층이어도 되고, 동일 또는 조성이나 두께 등이 다른 복층이어도 된다. 상기 기재부가 복층인 경우, 각 층은 점착제층 등의 다른 층에 의해 접합되어 있어도 된다. 또한, 기재부에 사용되는 기재층은, 밀봉용 수지층과 함께 광반도체 소자를 구비하는 기판에 첩부되는 부분이며, 광반도체 소자 밀봉용 시트의 사용 시(첩부 시)에 박리되는 박리 라이너나, 기재부 표면을 보호하는 것에 지나지 않는 표면 보호 필름은 「기재부」에는 포함되지 않는다.
상기 기재부를 구성하는 기재층으로서는, 예를 들어 유리나 플라스틱 기재(특히, 플라스틱 필름) 등을 들 수 있다. 상기 플라스틱 기재를 구성하는 수지로서는, 예를 들어 저밀도 폴리에틸렌, 직쇄상 저밀도 폴리에틸렌, 중밀도 폴리에틸렌, 고밀도 폴리에틸렌, 초저밀도 폴리에틸렌, 랜덤 공중합 폴리프로필렌, 블록 공중합 폴리프로필렌, 호모폴리프롤렌, 폴리부텐, 폴리메틸펜텐, 아이오노머, 에틸렌-(메트)아크릴산 공중합체, 에틸렌-(메트)아크릴산에스테르(랜덤, 교호) 공중합체, 에틸렌-아세트산비닐 공중합체(EVA), 에틸렌-프로필렌 공중합체, 환상 올레핀계 폴리머, 에틸렌-부텐 공중합체, 에틸렌-헥센 공중합체 등의 폴리올레핀 수지; 폴리우레탄; 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트(PBT) 등의 폴리에스테르; 폴리카르보네이트; 폴리이미드계 수지; 폴리에테르에테르케톤; 폴리에테르이미드; 아라미드, 전방향족 폴리아미드 등의 폴리아미드; 폴리페닐술피드; 불소 수지; 폴리염화비닐; 폴리염화비닐리덴; 트리아세틸셀룰로오스(TAC) 등의 셀룰로오스 수지; 실리콘 수지; 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 등의 아크릴계 수지; 폴리술폰; 폴리아릴레이트; 폴리아세트산비닐 등을 들 수 있다. 상기 수지는, 1종만을 사용해도 되고, 2종 이상을 사용해도 된다. 상기 기재층은, 반사 방지(AR) 필름, 편광판, 위상차판 등의 각종 광학 필름이어도 된다.
상기 플라스틱 필름의 두께는, 20 내지 300μm인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 40 내지 250μm이다. 상기 두께가 20μm 이상이면, 광반도체 소자 밀봉용 시트의 지지성 및 취급성이 보다 향상된다. 상기 두께가 300μm 이하이면, 표시체를 보다 얇게 할 수 있다.
상기 기재부의 상기 밀봉용 수지층을 구비하는 측의 표면은, 밀봉용 수지층과의 밀착성, 보유 지지성 등을 높이는 목적에서, 예를 들어 코로나 방전 처리, 플라스마 처리, 샌드매트 가공 처리, 오존 폭로 처리, 화염 폭로 처리, 고압 전격 폭로 처리, 이온화 방사선 처리 등의 물리적 처리; 크롬산 처리 등의 화학적 처리; 코팅제(하도제)에 의한 접착 용이화 처리 등의 표면 처리가 실시되어 있어도 된다. 밀착성을 높이기 위한 표면 처리는, 기재부에 있어서의 밀봉용 수지층 측의 표면 전체에 실시되어 있는 것이 바람직하다.
상기 기재부의 두께는, 지지체로서의 기능 및 표면의 내찰상성이 우수한 관점에서, 5μm 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 10μm 이상이다. 상기 기재부의 두께는, 투명성이 보다 우수한 관점에서, 300μm 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 250μm 이하이다.
<광반도체 소자 밀봉용 시트>
상기 광반도체 소자 밀봉용 시트는, 안티글레어성 및/또는 반사 방지성을 갖는 층을 구비하고 있어도 된다. 이와 같은 구성을 가짐으로써, 광반도체 소자를 밀봉했을 때에 있어서 광택이나 광의 반사를 억제하여, 미관을 보다 좋게 할 수 있다. 상기 안티글레어성을 갖는 층으로서는 안티글래어 처리층을 들 수 있다. 상기 반사 방지성을 갖는 층으로서는 반사 방지 처리층을 들 수 있다. 안티글래어 처리 및 반사 방지 처리는, 각각, 공지 내지 관용의 방법으로 실시할 수 있다. 상기 안티글레어성을 갖는 층 및 상기 반사 방지성을 갖는 층은, 동일층이어도 되고, 서로 다른 층이어도 된다. 상기 안티글레어성 및/또는 반사 방지성을 갖는 층은, 1층만 갖고 있어도 되고, 2층 이상을 갖고 있어도 된다.
상기 광반도체 소자 밀봉용 시트의 헤이즈값(초기 헤이즈값)은, 특별히 한정되지 않지만, 휘도 불균일의 억제 효과와 의장성이 보다 우수한 것으로 하는 관점에서, 80% 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 85% 이상, 더욱 바람직하게는 90% 이상, 특히 바람직하게는 95% 이상이다. 또한, 상기 헤이즈값의 상한은 특별히 한정되지 않는다.
상기 광반도체 소자 밀봉용 시트의 전광선 투과율은, 특별히 한정되지 않지만, 금속 배선 등의 반사 방지 기능, 콘트라스트를 보다 향상시킨다는 관점에서, 40% 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 30% 이하, 더욱 바람직하게는 20% 이하이다. 또한, 상기 전광선 투과율은, 휘도를 확보한다는 관점에서, 0.5% 이상인 것이 바람직하다.
상기 헤이즈값 및 전광선 투과율은, 각각, JIS K7136, JIS K7361-1에서 정하는 방법에 의해 측정할 수 있는 것이며, 상기 밀봉용 수지층 및 상기 기재부를 구성하는 각 층의 적층 순서나 종류, 두께 등에 의해 제어할 수 있다.
상기 광반도체 소자 밀봉용 시트의 두께는, 금속 배선 등의 반사 방지 기능, 콘트라스트를 향상시키면서, 컬러 시프트를 보다 효율적으로 저감하는 관점에서, 10 내지 600μm인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 20 내지 550μm, 더욱 바람직하게는 30 내지 500μm, 더욱 바람직하게는 40 내지 450μm, 특히 바람직하게는 50 내지 400μm이다. 또한, 박리 라이너는 상기 두께에는 포함되지 않는 것으로 한다.
비착색층 A의 두께는, 30 내지 480μm가 바람직하고, 보다 바람직하게는 40 내지 380μm, 더욱 바람직하게는 50 내지 280μm이다. 비착색층 A의 두께가 30μm 이상이면 착색층 B와는 반대측의 표면이 플랫하게 되기 쉽고, 광반도체 소자를 밀봉한 상태에 있어서 상기 밀봉용 수지층 표면에서 외광의 난반사를 일어나기 어렵게 해서, 소등 시 및 발광 시의 양쪽에 있어서 표시체의 미관이 향상된다. 비착색층 A의 두께가 480μm 이하이면, 광반도체 소자 밀봉용 시트의 두께를 얇게 할 수 있다.
착색층 B의 두께는, 5 내지 100μm가 바람직하고, 보다 바람직하게는 10 내지 80μm, 더욱 바람직하게는 20 내지 70μm이다. 착색층 B의 두께가 5μm 이상이면 광반도체 소자를 밀봉했을 때의 반사 방지성이 보다 우수하다. 착색층 B의 두께가 100μm 이하이면, 광반도체 소자를 밀봉했을 때에 비착색층 A에 의해 압축된 상태에 있어서 두께가 충분히 얇아지고, 광반도체 소자의 발광 시의 휘도를 보다 확보하기 쉽다. 또한, 착색층 B의 두께는, 광반도체 소자의 높이(기판 표면으로부터 광반도체 소자 정면측의 단부까지의 높이)보다 얇은 것이 바람직하다.
비착색층 C의 두께는, 예를 들어 5 내지 480μm이며, 바람직하게는 5 내지 100μm, 보다 바람직하게는 10 내지 80μm, 더욱 바람직하게는 20 내지 70μm이다. 비착색층 C의 두께가 5μm 이상이면 광반도체 소자의 밀봉성이 보다 양호해진다. 비착색층 C의 두께가 480μm 이하이면, 광반도체 소자의 발광 시의 휘도를 보다 확보하기 쉽다.
상기 밀봉용 수지층의 두께는, 예를 들어 100 내지 500μm이며, 바람직하게는 120 내지 400μm, 더욱 바람직하게는 150 내지 300μm이다. 상기 두께가 100μm 이상이면 광반도체 소자의 밀봉성이 보다 양호해진다. 상기 두께가 500μm 이하이면, 표시체의 두께가 보다 얇아진다.
상기 광반도체 소자 밀봉용 시트는, 그 한면에 기능층을 적층한 상태에 있어서, 비착색층 A에 대하여 착색층 B를 갖는 측의 밀봉용 수지층을 높이 120μm로 볼록 가공한 웨이퍼에 접합한 상태에서, 상기 기능층 측에서 10° 시야, 광원 D65의 조건에서 측정했을 때의 L*a*b*(SCI)에 있어서의 L*(SCI)는, 54 미만이 바람직하고, 보다 바람직하게는 40 이하, 더욱 바람직하게는 30 이하이다. 물체가 반사하는 광은 정반사광 및 확산 반사광을 포함하는 바, 정반사광은 육안으로 인식하는 것이 곤란한 광이다. L*(SCE)는 정반사광을 포함하지 않는 반사광을 측정한 것인 것에 대해, L*(SCI)는 정반사광을 포함하는 반사광을 측정한 것이며, 육안으로의 시인성과는 관련성이 낮지만, 물체의 진정 색조에 가까운 색조를 측정 가능하다. 이 때문에, L*(SCI)가 54 미만이면, 표시체의 시인성에 대해서 환경에 의한 영향이 있을 경우이어도 의장성이 우수하다.
상기 L*a*b*(SCI)에 있어서의 a*(SCI)는, -5.0 내지 5.0이 바람직하고, 보다 바람직하게는 -3.0 내지 3.0, 더욱 바람직하게는 -2.0 내지 2.0이다. 상기L*a*b*(SCI)에 있어서의 b*(SCI)는, -5.0 내지 5.0이 바람직하고, 보다 바람직하게는 -3.0 내지 3.0, 더욱 바람직하게는 -2.5 내지 2.5이다. a*(SCI) 및/또는 b*(SCI)가 각각 상기 범위 내이면, 광반도체 소자가 발하는 광의 색감이 좋고 시인성이 우수하다.
상기 L*a*b*(SCI)에 있어서의 L*(SCI), a*(SCI) 및 b*(SCI)는 공지 내지 관용의 분광 측색계를 사용하여 측정할 수 있고, 구체적으로는 실시예에 기재된 방법으로 측정할 수 있다.
상기 기능층은, 상기 밀봉용 수지층에 포함되지 않는 층이며, 본 발명의 광반도체 소자 밀봉용 시트에 각종 기능을 부여할 수 있는 층을 들 수 있다. 상기 기능층으로서는, 예를 들어 표면 처리층을 포함하는 층을 들 수 있다. 이와 같은 구성을 가짐으로써, 표면 처리층을 포함하는 기능층이 적층된 광반도체 소자 밀봉용 시트의 광확산성이 우수하고, 또한 광취출 효율이 우수하다. 상기 표면 처리층으로서는, 안티글래어 처리층(방현 처리층), 반사 방지 처리층, 하드 코트 처리층 등을 들 수 있다. 상기 기능층은, 본 발명의 광반도체 소자 밀봉용 시트에 있어서의 상기 밀봉용 수지층에 적층되어도 되고, 상기 기재부를 구비할 경우는 상기 기재부에 적층되어도 되지만, 상기 기재부에 적층되는 것이 바람직하고, 상기 기재부의 상기 밀봉용 수지층을 구비하는 측과는 반대측에 적층되는 것이 바람직하다.
본 발명의 광반도체 소자 밀봉용 시트는 상기 기능층을 구비하고 있어도 된다. 상기 기능층을 구비할 경우, 별도 기능층을 적층하지 않고 상기 L*a*b*(SCI)의 측정을 행할 수 있다. 본 발명의 광반도체 소자 밀봉용 시트가 상기 기능층을 구비하지 않을 경우, 별도 기능층을 적층해서 상기 L*a*b*(SCI)의 측정을 행한다. 상기 기능층은, 착색층 B 측에 대하여 비착색층 A 측에 적층되는 것이 바람직하다.
상기 광반도체 소자 밀봉용 시트는, 비착색층 A에 대하여 착색층 B를 갖는 측의 밀봉용 수지층을 높이 120μm로 볼록 가공한 웨이퍼에 부착해서 밀봉용 수지층측에서 마이크로스코프로 관찰했을 때, 오목부 평균 밝기가 10 내지 30, 및/또는, 볼록부 최대 밝기가 143 초과인 것이 바람직하다. 상기 볼록부 최대 밝기는, 보다 바람직하게는 150 이상, 더욱 바람직하게는 160 이상이다. 오목부 평균 밝기 및/또는 볼록부 최대 밝기가 상기 범위 내이면, 광반도체 소자를 밀봉했을 때의 반사 방지성 및 휘도의 높이가 보다 우수하다.
[박리 라이너]
상기 밀봉용 수지층은, 박리 라이너 위의 박리 처리면에 형성되어 있어도 된다. 상기 밀봉용 수지층이 상기 박리 라이너에 형성되어 있는 경우, 상기 박리 라이너는 상기 밀봉용 수지층의, 착색층 B의 비착색층 A와는 반대측이 박리 라이너와 접촉하는 측이 된다. 상기 기재부를 갖지 않을 경우는 상기 밀봉용 수지층의 양면이 박리 라이너와 접촉하는 측이어도 된다. 박리 라이너는 상기 광반도체 소자 밀봉용 시트의 보호재로서 사용되고, 광반도체 소자를 밀봉할 때에 박리된다. 또한, 박리 라이너는 반드시 마련되지는 않아도 된다.
상기 박리 라이너는, 상기 광반도체 소자 밀봉용 시트 표면을 피복해서 보호하기 위한 요소이며, 광반도체 소자가 배치된 기판에 광반도체 소자 밀봉용 시트를 접합할 때에는 당해 시트로부터 박리된다.
상기 박리 라이너로서는, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 필름, 폴리에틸렌 필름, 폴리프로필렌 필름, 불소계 박리제나 장쇄 알킬아크릴레이트계 박리제 등의 박리제에 의해 표면 코팅된 플라스틱 필름이나 종이류 등을 들 수 있다.
상기 박리 라이너의 두께는, 예를 들어 10 내지 200μm, 바람직하게는 15 내지 150μm, 보다 바람직하게는 20 내지 100μm이다. 상기 두께가 10μm 이상이면 박리 라이너의 가공 시에 절입에 의해 파단하기 어렵다. 상기 두께가 200μm 이하이면, 사용 시에 상기 광반도체 소자 밀봉용 시트로부터 박리 라이너를 보다 박리하기 쉽다.
[광반도체 소자 밀봉용 시트의 제조 방법]
본 발명의 광반도체 소자 밀봉용 시트의 제조 방법의 일 실시 형태에 대해서 설명한다. 예를 들어, 도 1에 도시하는 광반도체 소자 밀봉용 시트(1)는, 예를 들어 각각 2매의 박리 라이너의 박리 처리면에 끼움 지지된, 확산 기능층(21), 착색층(22) 및 비착색층(23)을 개별로 제작한다. 확산 기능층(21)에 접합된 한쪽의 박리 라이너는 박리 라이너(3)이다.
이어서, 비착색층(23)에 첩부된 박리 라이너의 한쪽을 박리해서 비착색층(23) 표면을 노출시키고, 노출면을 기재부(4)에 접합한다. 그 후, 착색층(22)에 첩부된 박리 라이너의 한쪽을 박리하고, 비착색층(23) 표면의 박리 라이너를 박리해서 노출한 비착색층(23) 표면에 착색층(22)의 노출면을 접합한다.
이어서, 확산 기능층(21)에 첩부된 박리 라이너의 한쪽(박리 라이너(3)가 아닌 박리 라이너)을 박리하고, 착색층(22) 표면의 박리 라이너를 박리해서 노출한 착색층(22) 표면에 확산 기능층(21)의 노출면을 접합한다. 또한, 각종 층의 적층은, 공지의 롤러나 라미네이터를 사용해서 행할 수 있다. 이와 같이 하여, 기재부(4) 위에 비착색층(23), 착색층(22), 확산 기능층(21) 및 박리 라이너(3)가 이 순으로 적층된, 도 1에 도시하는 광반도체 소자 밀봉용 시트(1)를 제작할 수 있다.
[광반도체 장치]
본 발명의 광반도체 소자 밀봉용 시트를 사용해서 표시체 등의 광반도체 장치를 제작할 수 있다. 본 발명의 광반도체 소자 밀봉용 시트를 사용해서 제조되는 표시체는, 기판과, 상기 기판 위에 배치된 광반도체 소자와, 상기 광반도체 소자를 밀봉하는 본 발명의 광반도체 소자 밀봉용 시트 또는 당해 시트가 경화한 경화물을 구비한다. 상기 경화물은, 본 발명의 광반도체 소자 밀봉용 시트가 방사선 경화성 수지층을 구비할 경우에 있어서 상기 방사선 경화성 수지층이 방사선 조사에 의해 경화된 경화물이다.
상기 광반도체 소자로서는, 예를 들어 청색 발광 다이오드, 녹색 발광 다이오드, 적색 발광 다이오드, 자외선 발광 다이오드 등의 발광 다이오드(LED)를 들 수 있다.
상기 광반도체 장치에 있어서, 본 발명의 광반도체 소자 밀봉용 시트는, 광반도체 소자를 볼록부, 복수의 광반도체 소자 간의 간극을 오목부로 했을 때의 요철에 대한 추종성이 우수하여 광반도체 소자의 추종성 및 매립성이 우수하기 때문에, 복수의 광반도체 소자를 일괄해서 밀봉하고 있는 것이 바람직하다.
상기 기판 위의 상기 광반도체 소자의 높이(기판 표면으로부터 광반도체 소자 정면측의 단부까지의 높이)는 500μm 이하인 것이 바람직하다. 상기 높이가 500μm 이하이면, 상기 요철 형상에 대한 밀봉 수지층의 추종성이 보다 우수하다.
도 2에, 도 1에 도시하는 광반도체 소자 밀봉용 시트(1)를 사용한 광반도체 장치의 일 실시 형태를 나타낸다. 도 2에 도시하는 광반도체 장치(10)는, 기판(5)과, 기판(5)의 한쪽 면에 배치된 복수의 광반도체 소자(6)와, 광반도체 소자(6)를 밀봉하는 밀봉 수지층(7)과, 밀봉 수지층(7)에 적층된 기재부(4)를 구비한다. 복수의 광반도체 소자(6)는, 일괄하여 밀봉 수지층(7)에 밀봉되어 있다. 밀봉 수지층(7)은 확산 기능층(71), 착색층(72) 및 비착색층(73)이 적층되어 형성되어 있 다. 확산 기능층(21)은, 복수의 광반도체 소자(6)로 형성된 요철 형상에 추종해서 광반도체 소자(6) 및 기판(5)에 밀착하여, 광반도체 소자(6)를 매립하고 있다. 또한, 확산 기능층(71)은 상기 요철 형상에 추종해서 광반도체 소자(6) 측의 계면이 요철 형상을 갖고 있고, 다른 쪽의 계면이 플랫하게 되어 있다.
밀봉 수지층(7)은 밀봉용 수지층(2)에 의해 형성된다. 구체적으로는, 광반도체 소자 밀봉용 시트(1)에 있어서 밀봉용 수지층(2)이 방사선 경화성 수지층을 갖지 않을 경우, 밀봉용 수지층(2)은 광반도체 장치(10)에 있어서의 밀봉 수지층(7)이 된다. 한편, 광반도체 소자 밀봉용 시트(1)에 있어서 밀봉용 수지층(2)이 방사선 경화성 수지층을 갖는 경우, 예를 들어 착색층(22)이 방사선 경화성 수지층일 경우, 착색층(22)을 경화시킴으로써 착색층(72)을 형성하여, 밀봉 수지층(7)이 된다.
또한, 도 2에 도시하는 광반도체 장치(10)에 있어서, 광반도체 소자(6)는, 확산 기능층(71) 내에 완전히 매립되어 밀봉되어 있고, 또한, 착색층(72) 및 비착색층(73)에 의해 간접적으로 밀봉되어 있다. 즉, 광반도체 소자(6)는, 확산 기능층(71), 착색층(72) 및 비착색층(73)의 적층체로 이루어지는 밀봉 수지층(7)에 의해 밀봉되어 있다. 상기 광반도체 장치는, 이러한 양태에 한정되지 않고, 예를 들어 도 3에 도시한 바와 같이, 광반도체 소자(6)가, 확산 기능층(71) 및 착색층(72) 내에 완전히 매립되어 밀봉되어 있고, 또한, 비착색층(73)에 의해 간접적으로 밀봉되어 있는 양태이어도 된다. 또한, 도 4에 도시하는 바와 같이, 광반도체 소자(6)가, 확산 기능층(71), 착색층(72) 및 비착색층(73) 내에 완전히 매립되어 밀봉되어 있는 양태이어도 된다.
상기 광반도체 장치에 있어서, 비착색층 A로부터 형성되는 상기 밀봉 수지층 중의 비착색층, 착색층 B로부터 형성되는 상기 밀봉 수지층 중의 착색층 및 비착색층 C로부터 형성되는 상기 밀봉 수지층 중의 비착색층에 대해서도, 각각, 상술한 경도 A, 경도 B 및 경도 C의 관계를 충족하는 것이 바람직하다.
상기 광반도체 장치는, 개개의 광반도체 장치가 타일링된 것이어도 된다. 즉, 상기 광반도체 장치는, 복수의 광반도체 장치가 평면 방향으로 타일 상으로 배치된 것이어도 된다.
상기 표시체는, 자발광형 표시 장치를 구비하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 자발광형 표시 장치와, 필요에 따라 표시 패널을 조합함으로써 화상 표시 장치인 표시체로 할 수 있다. 이 경우의 광반도체 소자는 LED 소자이다. 상기 자발광형 표시 장치로서는, LED 디스플레이나 백라이트, 혹은 유기 일렉트로루미네센스(유기 EL) 표시 장치 등을 들 수 있다. 상기 백라이트는 특히 전체면 직하형의 백라이트인 것이 바람직하다. 상기 백라이트는 예를 들어 상기 기판과 당해 기판 위에 배치된 복수의 광반도체 소자를 구비하는 적층체를 구성 부재의 적어도 일부로서 포함한다. 예를 들어, 상기 자발광형 표시 장치에 있어서, 상기 기판 위에는, 각 LED 소자에 발광 제어 신호를 보내기 위한 금속 배선층이 적층되어 있다. 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 각 색의 광을 발하는 각 LED 소자는, 기판 위에 금속 배선 층을 개재하여 교호로 배열되어 있다. 금속 배선층은, 구리 등의 금속에 의해 형성되어 있고, 각 LED 소자의 발광 정도를 조정해서 각 색을 표시시킨다.
본 발명의 광반도체 소자 밀봉용 시트는, 절곡해서 사용되는 광반도체 장치, 예를 들어 절곡 가능한 화상 표시 장치(플렉시블 디스플레이)(특히, 절첩 가능한 화상 표시 장치(폴더블 디스플레이))를 갖는 광반도체 장치에 사용할 수 있다. 구체적으로는, 절첩 가능한 백라이트 및 절첩 가능한 자발광형 표시 장치 등에 사용할 수 있다.
본 발명의 광반도체 소자 밀봉용 시트는, 광반도체 소자의 추종성 및 매립성이 우수하기 때문에, 상기 광반도체 장치가 미니 LED 표시 장치일 경우 및 마이크로 LED 표시 장치일 경우의 어느 것에도 바람직하게 사용할 수 있다.
[광반도체 장치의 제조 방법]
상기 광반도체 장치는, 예를 들어 본 발명의 광반도체 소자 밀봉용 시트를, 광반도체 소자가 배치된 기판에 접합하고, 밀봉용 수지층에 의해 광반도체 소자를 밀봉함으로써 제조할 수 있다.
(밀봉 공정)
상기 광반도체 소자 밀봉용 시트를 사용해서 광반도체 장치를 제조하는 방법에 있어서, 상기 광반도체 소자 밀봉용 시트를, 광반도체 소자가 배치된 기판에 접합하고, 밀봉용 수지층에 의해 광반도체 소자를 밀봉하는 밀봉 공정을 갖는다. 상기 밀봉 공정에서는, 구체적으로는, 먼저, 상기 광반도체 소자 밀봉용 시트로부터 박리 라이너를 박리해서 밀봉용 수지층을 노출시킨다. 그리고, 기판과, 상기 기판 위에 배치된 광반도체 소자(바람직하게는 복수의 광반도체 소자)를 구비하는 적층체(광학 부재 등)의, 광반도체 소자가 배치된 기판면에, 상기 광반도체 소자 밀봉용 시트의 노출면인 밀봉용 수지층면을 접합하고, 상기 적층체가 복수의 광반도체 소자를 구비할 경우는 또한 복수의 광반도체 소자 간의 간극을 상기 밀봉용 수지층이 충전하도록 배치하여, 복수의 광반도체 소자를 일괄해서 밀봉한다. 구체적으로는, 도 1에 도시하는 광반도체 소자 밀봉용 시트(1)로부터 박리 라이너(3)를 박리해서 노출한 확산 기능층(21)을, 기판(5)의 광반도체 소자(6)가 배치된 면에 대향하도록 배치하고, 광반도체 소자 밀봉용 시트(1)를 기판(5)의 광반도체 소자(6)가 배치된 면에 접합하여, 광반도체 소자(6)를 밀봉용 수지층(2)에 매립한다.
상기 접합 시의 온도는, 예를 들어 실온으로부터 110℃의 범위 내이다. 또한, 상기 접합 시, 감압 또는 가압해도 된다. 감압이나 가압에 의해 밀봉용 수지층과 기판 또는 광반도체 소자와의 사이에 공극이 형성되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 상기 밀봉 공정에서는, 감압 하에서 광반도체 소자 밀봉용 시트를 접합하고, 그 후 가압하는 것이 바람직하다. 감압할 경우의 압력은 예를 들어 1 내지 100Pa이며, 감압 시간은 예를 들어 5 내지 600초이다. 또한, 가압할 경우의 압력은 예를 들어 0.05 내지 0.5MPa이며, 가압 시간은 예를 들어 5 내지 600초이다.
(방사선 조사 공정)
상기 밀봉용 수지층이 방사선 경화성 수지층을 구비할 경우, 상기 제조 방법은, 또한, 상기 기판과, 상기 기판 위에 배치된 광반도체 소자와, 상기 광반도체 소자를 밀봉하는 상기 광반도체 소자 밀봉용 시트를 구비하는 적층체에 방사선을 조사해서 상기 방사선 경화성 수지층을 경화시켜서 경화물층을 형성하는 방사선 조사 공정을 구비하고 있어도 된다. 상기 방사선으로서는 상술한 바와 같이, 전자선, 자외선, α선, β선, γ선, X선 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 자외선이 바람직하다. 방사선 조사 시의 온도는, 예를 들어 실온으로부터 100℃의 범위 내이며, 조사 시간은 예를 들어 1분 내지 1시간이다.
(다이싱 공정)
상기 제조 방법은, 또한, 상기 기판과, 상기 기판 위에 배치된 광반도체 소자와, 상기 광반도체 소자를 밀봉하는 상기 광반도체 소자 밀봉용 시트를 구비하는 적층체를 다이싱하는 다이싱 공정을 구비하고 있어도 된다. 상기 적층체는, 상기 방사선 조사 공정을 거친 적층체에 대해서 행해도 된다. 상기 적층체가, 상기 방사선 조사에 의해 방사선 경화성 수지층이 경화한 경화물층을 구비할 경우, 상기 다이싱 공정에서는, 광반도체 소자 밀봉용 시트의 경화물층 및 기판의 측단부를 다이싱해서 제거한다. 이에 의해, 충분히 경화해서 점착성이 낮게 저감된 경화물층의 면을 측면에 노출시킬 수 있다. 상기 다이싱은, 공지 내지 관용의 방법에 의해 행할 수 있고, 예를 들어 다이싱 블레이드를 사용한 방법이나, 레이저 조사에 의해 행할 수 있다.
(타일링 공정)
상기 제조 방법은, 또한, 상기 다이싱 공정에서 얻은 복수의 광반도체 장치를 평면 방향으로 접촉하도록 배열하는 타일링 공정을 구비하고 있어도 된다. 상기 타일링 공정에서는, 상기 다이싱 공정에서 얻은 복수의 적층체를 평면 방향으로 접촉하도록 배열하여 타일링한다. 이와 같이 하여, 1개의 큰 표시체를 제조할 수 있다.
이상과 같이 하여, 광반도체 장치를 제조할 수 있다. 광반도체 소자 밀봉용 시트(1)에 있어서 밀봉용 수지층(2)이 방사선 경화성 수지층을 갖지 않을 경우, 밀봉용 수지층(2)은 광반도체 장치(10)에 있어서의 밀봉 수지층(7)이 된다. 한편, 광반도체 소자 밀봉용 시트(1)에 있어서 밀봉용 수지층(2)이 방사선 경화성 수지층을 갖는 경우, 예를 들어 착색층(22)이 방사선 경화성 수지층일 경우, 착색층(22)을 경화시킴으로써 착색층(72)을 형성하여, 밀봉 수지층(7)이 된다.
[실시예]
이하에 실시예를 들어서 본 발명을 보다 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예에 의해 전혀 한정되는 것은 아니다.
제조예 1
(아크릴계 프리폴리머 용액 A의 조제)
온도계, 교반기, 환류 냉각관 및 질소 가스 도입관을 구비한 세퍼러블 플라스크에, 모노머 성분으로서, 아크릴산2-에틸헥실(2-EHA) 78질량부, N-비닐-2-피롤리돈(NVP) 18질량부, 2-히드록시에틸아크릴레이트(HEA) 5질량부, 광중합 개시제(상품명 「omnirad 184」, IGM Resins Italia Srl사제) 0.035질량부 및 광중합 개시제(상품명 「omnirad 651」, IGM Resins Italia Srl사제) 0.035질량부를 투입한 후, 질소 가스를 흘리고, 교반하면서 약 1시간 질소 치환을 행했다. 그 후, 5mW/cm2로 자외선을 조사하여 중합을 행하고, 반응률이 5 내지 15%로 되도록 조정하여, 아크릴계 프리폴리머 용액 A를 얻었다.
제조예 2
(아크릴계 올리고머 용액의 조제)
톨루엔 100질량부, 디시클로펜타닐메타크릴레이트(DCPMA)(상품명 「FA-513M」, 히타치 가세이 고교 가부시키가이샤제) 60질량부, 메틸메타크릴레이트(MMA) 40질량부 및 연쇄 이동제로서 α-티오글리세롤 3.5질량부를 4구 플라스크에 투입했다. 그리고, 70℃에서 질소 분위기 하에서 1시간 교반한 후, 열중합 개시제로서 AIBN을 0.2질량부 투입하여, 70℃에서 2시간 반응시키고, 계속해서 80℃에서 2시간 반응시켰다. 그 후, 반응액을 130℃의 온도 분위기 하에 투입하고, 톨루엔, 연쇄 이동제 및 미반응 모노머를 건조 제거함으로써, 고형상의 아크릴계 올리고머를 얻었다. 이 아크릴계 올리고머의 Tg는 144℃이고, Mw는 4300이었다. 상기 아크릴 올리고머 50질량부에, 아크릴산2-에틸헥실(2-EHA) 50질량부를 첨가하여, 용해시켜서, 아크릴계 올리고머 용액을 얻었다.
제조예 3
(점착제 조성물 A의 조제)
제조예 1에서 조제한 아크릴계 프리폴리머 용액 A(프리폴리머 전량을 100질량부로 함)에, 2-히드록시에틸아크릴레이트(HEA) 17.6질량부, 제조예 2에서 조제한 아크릴계 올리고머 용액 11.8질량부, 2관능 모노머(상품명 「NK에스테르 A-HD-N」, 신나까무라 가가꾸 고교 가부시키가이샤제) 0.088질량부, 실란 커플링제(상품명 「KBM-403」, 신에쯔 가가꾸 고교 가부시키가이샤제, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란) 0.353질량부를 첨가하여, 점착제 조성물 A를 얻었다.
제조예 4
(점착제 조성물 B의 조제)
제조예 1에서 조제한 아크릴계 프리폴리머 용액 A(프리폴리머 전량을 100질량부로 함)에, 2-히드록시에틸아크릴레이트(HEA) 17.6질량부, 제조예 2에서 조제한 아크릴계 올리고머 용액 11.8질량부, 2관능 모노머(상품명 「NK에스테르 A-HD-N」, 신나까무라 가가꾸 고교 가부시키가이샤제) 0.294질량부, 실란 커플링제(상품명 「KBM-403」, 신에쯔 가가꾸 고교 가부시키가이샤제, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란) 0.353질량부를 첨가하여, 점착제 조성물 B를 얻었다.
제조예 5
(아크릴계 프리폴리머 용액 B의 조제)
온도계, 교반기, 환류 냉각관 및 질소 가스 도입관을 구비한 세퍼러블 플라스크에, 모노머 성분으로서, 부틸아크릴레이트(BA) 67질량부, 시클로헥실아크릴레이트(CHA) 14질량부, 4-히드록시부틸아크릴레이트(4-HBA) 19질량부, 광중합 개시제(상품명 「omnirad 184」, IGM Resins Italia Srl사제) 0.09질량부 및 광중합 개시제(상품명 「omnirad 651」, IGM Resins Italia Srl사제) 0.09질량부를 투입한 후, 질소 가스를 흘리고, 교반하면서 약 1시간 질소 치환을 행했다. 그 후, 5mW/cm2으로 자외선을 조사해 중합을 행하고, 반응률이 5 내지 15%로 되도록 조정하여, 아크릴계 프리폴리머 용액 B를 얻었다.
제조예 6
(점착제 조성물 C의 조제)
제조예 5에서 조제한 아크릴계 프리폴리머 용액 B(프리폴리머 전량을 100질량부로 함)에, 2-히드록시에틸아크릴레이트(HEA) 9질량부, 4-히드록시부틸아크릴레이트(4-HBA) 8질량부, 다관능 모노머로서 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트(상품명 「KAYARAD DPHA」, 신나까무라 가가꾸 고교 가부시키가이샤제) 0.1질량부, 실란 커플링제(상품명 「KBM-403」, 신에쯔 가가꾸 고교 가부시키가이샤제, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란) 0.4질량부를 첨가하여, 점착제 조성물 C를 얻었다.
제조예 7
(점착제 조성물 D의 조제)
제조예 5에서 조제한 아크릴계 프리폴리머 용액 B(프리폴리머 전량을 100질량부로 함)에, 2-히드록시에틸아크릴레이트(HEA) 9질량부, 4-히드록시부틸아크릴레이트(4-HBA) 8질량부, 다관능 모노머로서 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트(상품명 「KAYARAD DPHA」, 신나까무라 가가꾸 고교 가부시키가이샤제) 0.02질량부, 실란 커플링제(3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 신에쯔 가가꾸 고교 가부시키가이샤제, 상품명 「KBM-403」) 0.35질량부 및 광중합 개시제(상품명 「omnirad 651」, IGM Resins Italia Srl사제) 0.3질량부를 첨가하여, 점착제 조성물 D를 얻었다.
제조예 8
(비광확산 점착제층 1 내지 8의 제작)
점착제 조성물 A 내지 D 및 첨가제를 표 1에 나타내는 질량비로 혼합했다. 이 혼합물을, 박리 라이너(상품명 「MRE38」, 미쓰비시 케미컬 가부시키가이샤제, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름의 한면에 박리 처리가 실시된 것, 두께 38μm)의 박리 처리면 위에 도포해서 수지 조성물층을 형성하고 나서, 당해 수지 조성물층 위에도 박리 라이너(상품명 「MRF38」, 미쓰비시 케미컬 가부시키가이샤제)의 박리 처리면을 접합했다. 이어서, 블랙 라이트에 의해, 표 1 기재의 조도의 자외선을, 적산 광량이 3600mJ/cm2이 될 때까지 조사해서 중합을 행하여, 점착성을 갖는 비확산 기능층(비광확산 점착제층) 1 내지 8을 제작했다.
제조예 9
(반사 방지층 1 내지 2의 제작)
점착제 조성물 D 및 첨가제를 표 1의 질량비로 혼합했다. 이 혼합물을, 박리 라이너(상품명 「MRE38」, 미쓰비시 케미컬 가부시키가이샤제, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름의 한면에 박리 처리가 실시된 것, 두께 38μm)의 박리 처리면 위에 도포해서 수지 조성물층을 형성하고 나서, 당해 수지 조성물층 위에도 박리 라이너(상품명 「MRF38」, 미쓰비시 케미컬 가부시키가이샤제)의 박리 처리면을 접합했다. 이어서, 블랙 라이트에 의해, 표 1 기재의 조도의 자외선을, 적산 광량이 3600mJ/cm2이 될 때까지 조사해서 중합을 행하여, 착색층(반사 방지층) 1 내지 2를 제작했다. 또한 9256BLACK이란 흑색 안료의 20% 분산액(상품명 「9256BLACK」, 가부시키가이샤 도쿠시키제)이다.
제조예 10
(광확산 점착제층 1의 제작)
점착제 조성물 D 및 첨가제를 표 1의 질량비로 혼합했다. 이 혼합물을, 박리 라이너(상품명 「MRE38」, 미쓰비시 케미컬 가부시키가이샤제, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름의 한면에 박리 처리가 실시된 것, 두께 38μm)의 박리 처리면 위에 도포해서 수지 조성물층을 형성하고 나서, 당해 수지 조성물층 위에도 박리 라이너(상품명 「MRF38」, 미쓰비시 케미컬 가부시키가이샤제)의 박리 처리면을 접합했다. 이어서, 블랙 라이트에 의해, 표 1 기재의 조도의 자외선을, 적산 광량이 3600mJ/cm2이 될 때까지 조사해서 중합을 행하여, 점착성을 갖는 확산 기능층(광확산 점착제층) 1을 제작했다. 또한 토스펄 145란 상품명 「토스펄 145」(모멘티브·퍼포먼스·머티리얼즈·재팬사제, 굴절률: 1.42, 평균 입경: 4.5μm의 실리콘 수지)이다. 또한 POB-A란 상품명 「라이트 아크릴레이트 POB-A」(교에샤 가가꾸 가부시키가이샤제)이다.
제조예 11
(방현 처리층 구비 기재 필름의 제작)
방현 처리층 형성 재료에 포함되는 수지로서, 자외선 경화형 다관능 아크릴레이트 수지(상품명 「UA-53H」, 신나까무라 가가꾸 고교 가부시키가이샤제) 40질량부 및 펜타에리트리톨트리아크릴레이트를 주성분으로 하는 다관능 아크릴레이트(상품명 「비스코트#300」오사까 유끼 가가꾸 고교 가부시키가이샤제) 60질량부를 준비했다. 상기 수지의 수지 합계 고형분 100질량부당, 방현 처리층 형성 입자로서 아크릴과 스티렌의 공중합 입자(상품명 「테크폴리머SSX-103DXE」, 세키스이 가세힝 고교 가부시키가이샤제)를 7.0질량부, 실리콘 수지(상품명 「TOSPEARL130」, 모멘티브·퍼포먼스·머티리얼즈·재팬사제)를 3질량부, 틱소트로피 부여제로서 합성 스멕타이트(상품명 「스멕톤SAN」, 구니미네 고교 가부시키가이샤제)를 2.5질량부, 광중합 개시제(상품명 「OMNIRAD907」, BASF사제)를 3질량부 및 레벨링제(상품명 「GRANDIC PC4100」, DIC 가부시키가이샤제)를 0.15질량부 혼합했다. 이 혼합물을 고형분 농도가 40질량%로 되도록, 톨루엔/시클로펜타논 혼합 용매(질량비80/20)로 희석하여, 방현 처리층 형성 재료(도공액)를 조제했다.
투광성 기재로서, 투명 플라스틱 필름 기재(상품명 「KC4UY」, TAC, 코니카 미놀타 가부시키가이샤제)를 준비했다. 상기 투명 플라스틱 필름 기재의 한면에, 상기 방현 처리층 형성 재료(도공액)를, 바 코터를 사용해서 도막을 형성했다. 그리고, 이 도막이 형성된 투명 플라스틱 필름 기재를 건조 공정으로 반송했다. 건조 공정에 있어서, 80℃에서 1분간 가열함으로써 상기 도막을 건조시켰다. 그 후, 고압 수은 램프로 적산 광량 300mJ/cm2의 자외선을 조사하여, 상기 도막을 경화 처리해서 두께 8.5μm의 방현 처리층을 형성하여, 헤이즈 25%가 되는 방현성 필름(방현 처리층 구비 기재 필름)을 얻었다.
실시예 1
(광반도체 소자 밀봉용 시트의 제작)
제조예 8에서 얻은 비광확산 점착제층 1로부터 박리 라이너(상품명 「MRE38」)를 박리하여, 점착면을 노출시켰다. 상기 광확산 점착제층 1의 노출면을 제조예 11에서 제작한 방현 처리층 구비 기재 필름의 접착 용이화 처리면에 접합하여, 기재 필름 위에 비광확산 점착제층 1을 형성했다.
이어서, 비광확산 점착제층 1 표면으로부터 박리 라이너(상품명 「MRF38」)를 박리하여, 점착면을 노출시켰다. 제조예 9에서 얻은 반사 방지층 1로부터 박리 라이너(상품명 「MRE38」)를 박리해서 노출시킨 점착면을, 비광확산 점착제층 1의 노출면에 접합하여, 비광확산 점착제층 1 위에 반사 방지층 1을 형성했다.
이어서, 반사 방지층 1 표면으로부터 박리 라이너(상품명 「MRF38」)를 박리하여, 점착면을 노출시켰다. 제조예 10에서 얻은 광확산 점착제층 1로부터 박리 라이너(상품명 「MRE38」)를 박리해서 노출시킨 점착면을, 반사 방지층 1의 노출면에 접합하여, 반사 방지층 1 위에 광확산 점착제층 1을 형성했다.
그리고, 실온(23℃)에 있어서 핸드 롤러로 기포가 들어가지 않도록 접합하여, 차광 하에서 2일간 방치했다. 이와 같이 하여, [박리 라이너/광확산 점착제층 1(50μm)/반사 방지층 1(50μm)/비광확산 점착제층 1(100μm)/기재 필름]으로 이루어지는 광반도체 소자 밀봉용 시트를 얻었다.
실시예 2
비광확산 점착제층 1 대신에 비광확산 점착제층 2를 사용한 것 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 하여, [박리 라이너/광확산 점착제층 1(50μm)/반사 방지층 1(50μm)/비광확산 점착제층 2(100μm)/기재 필름]으로 이루어지는 광반도체 소자 밀봉용 시트를 얻었다.
실시예 3
비광확산 점착제층 1 대신에 비광확산 점착제층 3을 사용한 것 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 하여, [박리 라이너/광확산 점착제층 1(50μm)/반사 방지층 1(50μm)/비광확산 점착제층 3(100μm)/기재 필름]으로 이루어지는 광반도체 소자 밀봉용 시트를 얻었다.
실시예 4
비광확산 점착제층 1 대신에 비광확산 점착제층 4를 사용한 것 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 하여, [박리 라이너/광확산 점착제층 1(50μm)/반사 방지층 1(50μm)/비광확산 점착제층 4(100μm)/기재 필름]으로 이루어지는 광반도체 소자 밀봉용 시트를 얻었다.
실시예 5
비광확산 점착제층 1 대신에 비광확산 점착제층 5를 사용한 것 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 하여, [박리 라이너/광확산 점착제층 1(50μm)/반사 방지층 1(50μm)/비광확산 점착제층 5(100μm)/기재 필름]으로 이루어지는 광반도체 소자 밀봉용 시트를 얻었다.
실시예 6
비광확산 점착제층 1 대신에 비광확산 점착제층 6을 사용한 것 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 하여, [박리 라이너/광확산 점착제층 1(50μm)/반사 방지층 1(50μm)/비광확산 점착제층 6(100μm)/기재 필름]으로 이루어지는 광반도체 소자 밀봉용 시트를 얻었다.
실시예 7
제조예 8에서 얻은 비광확산 점착제층 7로부터 박리 라이너(상품명 「MRE38」)를 박리하여, 점착면을 노출시켰다. 상기 광확산 점착제층 7의 노출면을 제조예 11에서 제작한 방현 처리층 구비 기재 필름의 접착 용이화 처리면에 접합하여, 기재 필름 위에 비광확산 점착제층 7을 형성했다.
이어서, 비광확산 점착제층 7 표면으로부터 박리 라이너(상품명 「MRF38」)를 박리하여, 점착면을 노출시켰다. 제조예 9에서 얻은 반사 방지층 2로부터 박리 라이너(상품명 「MRE38」)를 박리해서 노출시킨 점착면을, 비광확산 점착제층 7의 노출면에 접합하여, 비광확산 점착제층 7 위에 반사 방지층 2를 형성했다.
그리고, 실온(23℃)에 있어서 핸드 롤러로 기포가 들어가지 않도록 접합하고, 차광 하에서 2일간 방치했다. 이와 같이 하여, [박리 라이너/반사 방지층 2(50μm)/비광확산 점착제층 7(100μm)/기재 필름]으로 이루어지는 광반도체 소자 밀봉용 시트를 얻었다.
비교예 1
비광확산 점착제층 1 대신에 비광확산 점착제층 8을 사용한 것 이외에는 실시예 1과 마찬가지로 하여, [박리 라이너/광확산 점착제층 1(50μm)/반사 방지층 1(50μm)/비광확산 점착제층 8(100μm)/기재 필름]으로 이루어지는 광반도체 소자 밀봉용 시트를 얻었다.
비교예 2
제조예 9에서 얻은 반사 방지층 1로부터 박리 라이너(상품명 「MRE38」)를 박리하여, 점착면을 노출시켰다. 상기 반사 방지층 1의 노출면을 제조예 11에서 제작한 방현 처리층 구비 기재 필름의 접착 용이화 처리면에 접합하여, 기재 필름 위에 반사 방지층 1을 형성했다.
이어서, 반사 방지층 1 표면으로부터 박리 라이너(상품명 「MRF38」)를 박리하여, 점착면을 노출시켰다. 제조예 8에서 얻은 비광확산 점착제층 8로부터 박리 라이너(상품명 「MRE38」)를 박리해서 노출시킨 점착면을, 반사 방지층 1의 노출면에 접합하여, 반사 방지층 1 위에 비광확산 점착제층 8을 형성했다.
그리고, 실온(23℃)에 있어서 핸드 롤러로 기포가 들어가지 않도록 접합하여, 차광 하에서 2일간 방치했다. 이와 같이 하여, [박리 라이너/비광확산 점착제층 8(150μm)/반사 방지층 1(50μm)/기재 필름]으로 이루어지는 광반도체 소자 밀봉용 시트를 얻었다.
비교예 3
제조예 8에서 얻은 비광확산 점착제층 8로부터 박리 라이너(상품명 「MRE38」)를 박리하여, 점착면을 노출시켰다. 상기 비광확산 점착제층 8의 노출면을 제조예 11에서 제작한 방현 처리층 구비 기재 필름의 접착 용이화 처리면에 접합하여, 기재 필름 위에 비광확산 점착제층 8을 형성했다.
그리고, 실온(23℃)에 있어서 핸드 롤러로 기포가 들어가지 않도록 접합하여, 차광 하에서 2일간 방치했다. 이와 같이 하여, [박리 라이너/비광확산 점착제층 8(200μm)/기재 필름]으로 이루어지는 광반도체 소자 밀봉용 시트를 얻었다.
<평가>
각 제조예에서 제작한 각 층, 그리고, 실시예 및 비교예에서 얻은 광반도체 소자 밀봉용 시트에 대해서, 이하의 평가를 행했다. 결과를 표 2에 나타낸다.
(1) 잔존 응력
각 제조예에서 제작한 광확산 점착제층, 반사 방지층(반사 방지성을 갖는 점착제층) 및 비광확산 점착제층에 대해서, 40mm×40mm로 잘라내고, 한쪽으로부터 점착제층을 둥글게 하여, 길이 40mm의 끈 모양의 권회 시험편을 제작했다. 상기 시험편에 대해서, 만능 시험기(상품명 「오토그래프AG-IS」, 가부시키가이샤 시마즈 세이사쿠쇼제)를 사용하여, 초기 척간 거리 20mm로 하고, 인장 배율 300%(인장후 척간 거리 80mm), 인장 속도 300mm/초로 인장하여, 인장한 상태에서 300초 유지한 후의 잔존 응력을 측정했다.
(2) 밝기
(평가 샘플의 제작)
광반도체 소자 밀봉용 시트로부터 박리 라이너를 박리하여, 노출한 점착면을 높이 120μm로 볼록 가공한 8인치 웨이퍼에 첩부했다. 첩부에는 닛토 세이키 가부시키가이샤제 장치 「MSV300」을 사용해서 차압 첩부했다. 차압 첩부의 조건은, 진공도: 20Pa, 첩부 압력: 0.1MPa, 웨이퍼 표면 온도: 60℃로 했다.
(밝기 측정)
마이크로스코프(상품명 「VHX-7000」, 가부시키가이샤 키엔스제) 및 고성능 저배율 줌렌즈(상품명 「VH-Z00R」, 가부시키가이샤 키엔스제)를 사용하여, 50배율, 링 조명(밝기 최대)으로 방현 처리층 구비 기재 필름측으로부터 요철 웨이퍼의 볼록부에 초점을 맞추어, 복수의 볼록부 및 오목부를 포함하는 범위의 화상을 취득했다. 화상 해석에는 「ImageJ」를 사용했다. 취득한 화상에 있어서, 볼록부 3개를 선택해서 히스토그램을 추출하고, 볼록부 최대 밝기를 기록하여, n3의 평균값을 볼록부 최대 밝기로 했다. 또한, 취득한 화상에 있어서, 오목부 3개를 선택해서 히스토그램을 추출하고, n3의 평균값을 오목부 평균 밝기로 했다.
볼록부 최대 밝기는, 값이 높을수록 볼록부에 있어서의 마이크로스코프가 발하는 광의 반사가 관찰되어, 볼록부에 있어서의 투과성이 우수하다고 판단된다. 투과성이 우수할 경우, 광반도체 소자가 발하는 광의 취출 효율이 우수하여, 높은 휘도가 되는 것을 나타낸다. 표 2에서는, 볼록부 최대 밝기가 150 이상인 경우를 휘도 「○」, 볼록부 최대 밝기가 150 미만인 경우를 휘도 「×」라고 평가했다. 또한, 오목부 평균 밝기는, 값이 낮을수록 오목부에 있어서의 마이크로스코프가 발하는 광의 반사를 억제할 수 있는 것을 나타내고, 10 내지 30이면 충분히 반사 방지 효과가 있다(반사 방지 「○」)고 판단된다. 한편, 비교예 3에 대해서는 140보다 낮게 할 수 없어서 반사 방지 「×」라고 판단되었다.
(반사 방지와 휘도의 양립)
반사 방지 및 휘도의 양쪽이 「○」의 경우를 「○」, 반사 방지 및 휘도의 적어도 한쪽이 「×」의 경우를 「×」라고 평가했다.
(3) L*a*b*(SCI)
광반도체 소자 밀봉용 시트의 기재 필름면이 겉을 향하도록, 상기 (2) 밝기의 평가에서 제작한 평가 샘플을 평평한 면에 정치시켰다. 분광 측색계(상품명 「CM-26dG」, 코니카 미놀타 가부시키가이샤제)의 측정부 전체면이 광반도체 소자 밀봉용 시트의 기재 필름면에 설치되도록 하고, L*(SCI), a*(SCI) 및 b*(SCI)의 측정을 행했다. 또한, 측색계의 측정 영역이 측정 샘플의 중앙에 오도록 설치하여, 하기 조건으로 측정했다. 또한, 상기 분광 측색계로 측정을 행하기 전에는, 제로점 교정, 백색 교정, GROSS 교정을 메이커 매뉴얼을 따라 실시했다. 또한, 요철 웨이퍼만으로 측정한 경우, L*(SCI)는 66.8, a*(SCI)는 0.6, b*(SCI)는 -6.1이었다.
<측정 조건>
측정 방법: 색 & 광택
지오메트리: di:8°, de:8°
정반사광 처리: SCI+SCE
관찰 광원: D65
관찰 조건: 10° 시야
측정 직경: MAV(8mm)
UV 조건: 100% Full
자동 평균 측정: 3회
제로 교정 스킵: 유효
Figure pat00001
Figure pat00002
이하, 본 개시에 관한 발명의 베리에이션을 기재한다.
[부기 1] 기판 위에 배치된 1 이상의 광반도체 소자를 밀봉하기 위한 시트로서,
상기 시트는, 착색층 및 비착색층을 포함하는 밀봉용 수지층을 구비하고,
상기 비착색층의 경도 A 및 상기 착색층의 경도 B는 A>B를 충족하는, 광반도체 소자 밀봉용 시트.
[부기 2] 상기 경도는, 잔존 응력, 탄성률, 영률 및 나노인덴테이션법에 의해 측정되는 경도로 이루어지는 군에서 선택되는 1 이상인, 부기 1에 기재된 광반도체 소자 밀봉용 시트.
[부기 3] 상기 경도는 잔존 응력이며, 상기 착색층의 잔존 응력 B1에 대한 상기 비착색층의 잔존 응력 A1의 비[잔존 응력 A1/잔존 응력 B1]는 1.2 이상인, 부기 1에 기재된 광반도체 소자 밀봉용 시트.
[부기 4] 상기 밀봉용 수지층은, 상기 착색층의 상기 비착색층과는 반대측에, 경도 C를 갖는 비착색층을 더 구비하는, 부기 1 내지 3의 어느 하나에 기재된 광반도체 소자 밀봉용 시트.
[부기 5] 상기 비착색층의 경도 C 및 상기 착색층의 경도 B는 C>B를 충족하는, 부기 4에 기재된 광반도체 소자 밀봉용 시트.
[부기 6] 상기 밀봉용 수지층은 확산 기능층을 포함하는 부기 1 내지 5의 어느 하나에 기재된 광반도체 소자 밀봉용 시트.
[부기 7] 기판과, 상기 기판 위에 배치된 광반도체 소자와, 상기 광반도체 소자를 밀봉하는, 부기 1 내지 6의 어느 하나에 기재된 광반도체 소자 밀봉용 시트 또는 그 경화물을 구비하는 표시체.
[부기 8] 자발광형 표시 장치를 구비하는 부기 7에 기재된 표시체.
[부기 9] 화상 표시 장치인 부기 7 또는 8에 기재된 표시체.
1: 광반도체 소자 밀봉용 시트
2: 밀봉용 수지층
21: 확산 기능층(비착색층 C)
22: 착색층(착색층 B)
23: 비착색층(비착색층 A)
3: 박리 라이너
4: 기재부
41: 기재 필름
42: 기능층
5: 기판
6: 광반도체 소자
7: 밀봉 수지층
71: 확산 기능층
72: 착색층
73: 비착색층
10: 광반도체 장치

Claims (8)

  1. 기판 위에 배치된 1 이상의 광반도체 소자를 밀봉하기 위한 시트로서,
    상기 시트는, 착색층 및 비착색층을 포함하는 밀봉용 수지층을 구비하고,
    상기 비착색층의 경도 A 및 상기 착색층의 경도 B는 A>B를 충족하는, 광반도체 소자 밀봉용 시트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 경도는, 잔존 응력, 탄성률, 영률 및 나노인덴테이션법에 의해 측정되는 경도로 이루어지는 군에서 선택되는 1 이상인, 광반도체 소자 밀봉용 시트.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 경도는 잔존 응력이며, 상기 착색층의 잔존 응력 B1에 대한 상기 비착색층의 잔존 응력 A1의 비[잔존 응력 A1/잔존 응력 B1]는 1.2 이상인, 광반도체 소자 밀봉용 시트.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 밀봉용 수지층은, 상기 착색층의 상기 비착색층과는 반대측에, 경도 C를 갖는 비착색층을 더 구비하는, 광반도체 소자 밀봉용 시트.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 밀봉용 수지층은 확산 기능층을 포함하는 광반도체 소자 밀봉용 시트.
  6. 기판과, 상기 기판 위에 배치된 광반도체 소자와, 상기 광반도체 소자를 밀봉하는, 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 광반도체 소자 밀봉용 시트 또는 그 경화물을 구비하는 표시체.
  7. 제6항에 있어서,
    자발광형 표시 장치를 구비하는 표시체.
  8. 제6항에 있어서,
    화상 표시 장치인 표시체.
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