KR20230127895A - 액추에이터, 스테이지장치, 노광장치, 검사장치 - Google Patents

액추에이터, 스테이지장치, 노광장치, 검사장치 Download PDF

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KR20230127895A
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타츠야 요시다
하루카 스즈키
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스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
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Abstract

가이드의 변형을 억제할 수 있는 액추에이터 등을 제공한다.
액추에이터(10)는, 이동방향(X방향)을 따른 가동역 내를 구동되는 슬라이더(20)와, X방향으로 뻗어 슬라이더(20)를 안내하는 가이드(12)로서, X방향에 수직인 단면에 있어서, 슬라이더(20)의 외주를 포위함과 함께, 그 적어도 일부가 개방된 개구부(40)를 포함하는 포위구조를 구비하는 가이드(12)와, 슬라이더(20)와 가이드(12)의 사이에 압축공기를 공급하는 에어패드(30)와, 개구부(40)를 관통하여 포위구조 내의 슬라이더(20)와 포위구조 외의 테이블(200)을 연결하는 슬라이더연결부재(44)와, 개구부(40)의 가장자리끼리를 연결하는 가이드연결부재(45)로서, 슬라이더(20)가 가동역 내를 이동할 때에 슬라이더연결부재(44)가 접촉하지 않는 위치에 마련되는 가이드연결부재(45)를 구비한다.

Description

액추에이터, 스테이지장치, 노광장치, 검사장치{ACTUATOR, STAGE DEVICE, EXPOSURE DEVICE, AND INSPECTION DEVICE}
본 출원은 2022년 2월 25일에 출원된 일본 특허출원 제2022-028320호에 근거하여 우선권을 주장한다. 그 출원의 전체 내용은 이 명세서 중에 참고로 원용되어 있다.
본 발명은, 액추에이터, 스테이지장치, 노광장치, 검사장치에 관한 것이다.
특허문헌 1에는, 진공환경에서 사용되는 기체압액추에이터로서, 기체압에 의하여 소정의 이동방향을 따라 구동되는 슬라이더와, 당해 이동방향으로 뻗어 슬라이더를 안내하는 가이드를 구비하는 것이 개시되어 있다. 에어패드를 통하여 슬라이더의 외주와 가이드의 내주의 사이에 공급되는 압축공기가 형성하는 에어베어링에 의하여, 슬라이더는 가이드로부터 부상하여 원활히 이동할 수 있다.
특허문헌 1: 일본 특허공보 제6893170호
특허문헌 1의 기체압액추에이터에서는, 가이드가 슬라이더의 외주의 전체(전체둘레)를 포위하지 않고, 그 정면(頂面)의 중앙이 개방된 개구부를 구비한다. 여기에서, 에어패드를 통하여 슬라이더의 외주와 가이드의 내주의 사이에 공급되는 압축공기는, 가이드를 내측으로부터 밀어 넓히는 압력을 가한다. 이 결과, 강성이 비교적 낮은 개구부가 넓어져 버릴 우려가 있다. 특히, 진공환경에서는 가이드의 외주에 가해지는 압력이 낮기 때문에, 가이드의 내주에 가해지는 높은 압력과의 큰 압력차에 의하여, 가이드가 개구부를 통하여 크게 변형되어 버릴 우려가 있다.
본 발명은 이러한 상황을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 가이드의 변형을 억제할 수 있는 액추에이터 등을 제공하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 양태의 액추에이터는, 소정의 이동방향을 따른 가동역 내를 구동되는 슬라이더와, 이동방향으로 뻗어 슬라이더를 안내하는 가이드로서, 이동방향에 수직인 단면에 있어서, 슬라이더의 외주를 포위함과 함께, 그 적어도 일부가 개방된 개구부를 포함하는 포위구조를 구비하는 가이드와, 슬라이더와 가이드의 사이에 유체를 공급하는 유체공급부와, 개구부를 관통하여 포위구조 내의 슬라이더와 포위구조 외의 피구동체를 연결하는 슬라이더연결부재와, 개구부의 가장자리끼리를 연결하는 가이드연결부재로서, 슬라이더가 가동역 내를 이동할 때에 슬라이더연결부재가 접촉하지 않는 위치에 마련되는 가이드연결부재를 구비한다.
이 양태에서는, 가이드의 개구부 가장자리끼리를 연결하는 가이드연결부재에 의하여 강성이 높아지기 때문에, 유체공급부가 슬라이더와 가이드의 사이에 공급하는 유체의 압력에 의한 가이드의 변형을 억제할 수 있다. 다만, 가이드연결부재는, 슬라이더가 가동역 내를 이동할 때에 슬라이더연결부재가 접촉하지 않는 위치에 마련되기 때문에, 슬라이더의 통상의 구동을 저해하는 경우도 없다.
본 발명의 다른 양태는, 스테이지장치이다. 이 장치는, 처리대상의 위치를 제어하는 스테이지장치로서, 처리대상을 지지하는 테이블과, 테이블을 변위시키는 상기의 액추에이터를 구비한다.
본 발명의 또 다른 양태도, 스테이지장치이다. 이 장치는, 소정의 이동방향을 따른 가동역 내를 구동되는 슬라이더와, 이동방향으로 뻗어 슬라이더를 안내하는 가이드로서, 이동방향에 수직인 단면에 있어서, 슬라이더의 외주를 포위함과 함께, 그 적어도 일부가 개방된 개구부를 포함하는 포위구조를 구비하는 가이드와, 슬라이더와 가이드의 사이에 기체를 공급하는 기체공급부와, 기체공급부가 공급한 기체를, 슬라이더의 외주와 포위구조의 내주의 사이로부터 배출하는 기체배출부와, 개구부를 관통하여 포위구조 내의 슬라이더와 포위구조 외의 피구동체를 연결하는 슬라이더연결부재와, 개구부의 가장자리끼리를 연결하는 가이드연결부재로서, 슬라이더가 가동역 내를 이동할 때에 슬라이더연결부재가 접촉하지 않는 위치에 마련되는 가이드연결부재와, 슬라이더, 가이드, 기체공급부, 기체배출부, 슬라이더연결부재, 가이드연결부재를 진공상태인 내부에 수용하는 진공챔버를 구비한다.
본 발명의 또 다른 양태는, 노광장치이다. 이 장치는, 테이블에 의하여 지지되는 노광대상의 위치를 제어하는 상기의 스테이지장치를 구비한다.
본 발명의 또 다른 양태는, 검사장치이다. 이 장치는, 테이블에 의하여 지지되는 검사대상의 위치를 제어하는 상기의 스테이지장치를 구비한다.
다만, 이상의 구성요소의 임의의 조합, 본 발명의 표현을 방법, 장치, 시스템, 기록매체, 컴퓨터프로그램 등의 사이에서 변환한 것도 또한, 본 발명의 양태로서 유효하다.
본 발명에 의하면, 액추에이터에 있어서의 가이드의 변형을 억제할 수 있다.
도 1은 액추에이터를 모식적으로 나타내는 사시도(斜視圖)이다.
도 2는 슬라이더의 이동방향(X방향)에 수직인 YZ평면의 단면도이다.
도 3은 개구부를 포함하는 ZX평면의 단면도이다.
도 4는 가이드연결부재의 변형예를 나타낸다.
도 5는 가이드연결부재의 구성예를 나타낸다.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대하여 상세하게 설명한다. 설명 또는 도면에 있어서 동일 또는 동등한 구성요소, 부재, 처리에는 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명은 생략한다. 도시(圖示)되는 각부의 축척이나 형상은, 설명을 용이하게 하기 위하여 편의적으로 설정되어 있고, 특별히 언급이 없는 한은 한정적으로 해석되는 것은 아니다. 실시형태는 예시이며, 본 발명의 범위를 결코 한정하는 것은 아니다. 실시형태에 기재되는 모든 특징이나 그 조합은, 반드시 발명의 본질적인 것이라고는 한정하지 않는다.
도 1은, 본 발명의 실시형태에 관한 스테이지장치 또는 액추에이터(10)를 모식적으로 나타내는 사시도이다. 액추에이터(10)는, 진공챔버 내 등의 진공환경에서 사용되는 기체압액추에이터이며, 기체압에 의하여 소정의 이동방향을 따라 구동 또는 변위되는 슬라이더(20)와, 당해 이동방향으로 뻗어 슬라이더(20)를 안내하는 가이드(12)를 구비한다. 이하에서는 슬라이더(20)의 이동방향 및 가이드(12)의 연재방향을 X방향이라고도 한다. 또, X방향에 직교하고, 또한, 서로 직교하는 2개의 방향을 Y방향 및 Z방향이라고도 한다. 전형적으로는, X방향 및 Y방향은 수평면 내에서 직교하는 방향이며, Z방향은 연직(鉛直)방향이다.
슬라이더(20)는 이동방향으로 장척(長尺)의 대략 직육면체형상을 하고 있고, 가이드(12)는 슬라이더(20)를 이동 가능하게 수용하는 대략 직육면체형상의 내부공간을 갖는다. 슬라이더(20)가 가이드(12)의 내부공간을 이동방향을 따라 이동할 수 있도록, 당해 내부공간의 X방향의 길이는 슬라이더(20)의 X방향의 길이보다 크다. 여기에서, 가이드(12)의 내부공간의 X방향의 길이와 슬라이더(20)의 X방향의 길이의 차가, 슬라이더(20)의 가동역 폭의 최댓값이 된다. 가이드(12)의 X방향의 양단부는 제1 엔드플레이트(41) 및 제2 엔드플레이트(42)에 의하여 폐색되어 있고, 이들의 내주면의 사이의 거리가 가이드(12)의 내부공간의 X방향의 길이가 된다.
후술하는 도 2에도 나타나는 바와 같이, 가이드(12)는, 이동방향(X방향)에 수직인 단면(YZ평면)에 있어서, 슬라이더(20)의 직사각형상의 외주를 포위함과 함께, 그 적어도 일부가 개방된 개구부(40)를 포함하는 포위구조를 구비한다. 도 1의 예에서는, 가이드(12)의 정면(43) 또는 상면에 개구부(40)가 마련된다. 개구부(40)는 슬라이더(20)의 이동방향으로 장척의 직사각형상의 구멍이며, 제1 엔드플레이트(41) 및 제2 엔드플레이트(42)에서 종단하기 때문에 X방향의 길이는 가이드(12)의 내부공간과 동일하고, Y방향의 폭은 도 2에 나타나는 바와 같이 슬라이더연결부재(44)가 통과할 수 있는 크기로 되어 있다. 슬라이더연결부재(44)는, 개구부(40)를 Z방향으로 관통하여 가이드(12)의 포위구조 내의 슬라이더(20)의 정부(頂部)와, 가이드(12)의 포위구조 외의 피구동체로서의 스테이지 또는 테이블(200)의 바닥부를 연결한다. 다만, 슬라이더(20)의 단면형상은 직사각형에 한정하지 않고, 특허문헌 1에 개시되어 있는 사다리꼴 그 외의 다각형이나, 원형, 타원형 등의 임의의 형상이어도 된다.
본 실시형태의 액추에이터(10)는, 예를 들면, 노광장치, 이온주입장치, 열처리장치, 애싱장치, 스퍼터링장치, 다이싱장치, 검사장치, 세정장치 등의 반도체제조장치나 FPD(Flat Panel Display) 제조장치에 적용할 수 있지만, 이 경우의 테이블(200)은, 처리대상(노광장치의 경우는 노광대상, 검사장치의 경우는 검사대상이라고도 한다)의 반도체웨이퍼 등을 지지하거나, 또는, 처리대상의 반도체웨이퍼 등이 재치(載置)된다. 후술하는 바와 같이 기체압에 의하여 슬라이더(20)를 X방향으로 구동하면, 슬라이더연결부재에 의하여 슬라이더(20)와 연결된 테이블(200)이 X방향으로 이동한다. 이 때문에, 테이블(200)에 재치된 처리대상의 반도체웨이퍼 등의 위치를 정밀하게 제어하면서, 그 각부에 원하는 처리를 정확하게 실행할 수 있다. 다만, 도 1에서는 설명의 간소화를 위하여 X방향의 구동 또는 변위를 담당하는 액추에이터(10)만을 예시했지만, 이것에 더하여 Y방향이나 Z방향 등의 다른 병진(竝進)방향의 구동 또는 변위를 담당하는 액추에이터를 동일하게 구성하여 병설해도 된다.
도 2는, 슬라이더(20)의 이동방향(X방향)에 수직인 YZ평면의 단면도이며, 도 3은, 개구부(40)를 포함하는 ZX평면의 단면도이다. 도 2 및 도 3의 단면은, 후술하는 가이드연결부재(45)가 나타나도록 선택되어 있다. 도 2는 도 3의 II-II 단면도이며, 도 3은 도 2의 III-III 단면도이다.
도 2에 나타나는 바와 같이, 가이드(12)는, 슬라이더(20)의 직사각형상의 외주를 포위하는 포위구조를 구비한다. 이 포위구조는, 슬라이더(20)의 바닥부(22)에 대향하는 바닥판(37)과, 슬라이더(20)의 제1 측부(24)에 대향하는 제1 측판(38)과, 슬라이더(20)의 제2 측부(26)에 대향하는 제2 측판(39)과, 슬라이더(20)의 정부에 대향하는 정판(38b, 39b)에 의하여 구성된다. 가이드(12)의 정판은, Y방향의 중앙을 X방향으로 뻗거나 또는 횡단하는 개구부(40)에 의하여, 2개의 대략 동일한 부분(38b, 39b)으로 분단되어 있다고도 할 수 있다. 이와 같이, 가이드(12)는, 바닥판(37), 제1 측판(38), 제2 측판(39)의 삼면에 의하여 슬라이더(20)의 바닥부(22), 제1 측부(24), 제2 측부(26)을 전체적으로 구속(삼면구속)하고, 개구부(40)에서 2분된 정판(38b, 39b)에 의하여 슬라이더(20)의 정부를 부분적으로 구속한다.
가이드(12)의 포위구조에 의하여 사방으로부터 구속된 슬라이더(20)는, 가이드(12)로 안내되어 X방향으로 이동 가능하다. 슬라이더(20)의 바닥부(22), 제1 측부(24), 제2 측부(26), 정부에는, 슬라이더(20)의 외주와 가이드(12)의 포위구조의 내주의 사이에 유체 또는 기체를 공급하는 유체공급부 또는 기체공급부로서의 복수의 에어패드(30)가 마련된다. 구체적으로는, 각 에어패드(30)는, 도시하지 않은 급배기계로부터 공급되는 압축공기 등의 고압의 기체를 분출하여 에어베어링을 형성하고, 슬라이더(20)를 가이드(12)로부터 부상시킨다. 슬라이더(20)의 외주와 가이드(12)의 포위구조의 내주의 사이에 형성되는 압축공기 등의 미소(微小)한 간극 또는 층을 개재하여, 슬라이더(20)는 가이드(12)와 실질적으로 비접촉으로 매끄럽게 X방향으로 이동할 수 있다.
본 실시형태의 액추에이터(10)는 진공챔버 내 등의 진공환경에서 사용되기 때문에, 에어패드(30)가 분출한 압축공기가 개구부(40) 등을 통하여 진공환경에 누출되어서는 안 된다. 이 때문에, 슬라이더(20)에는, 각 에어패드(30)를 둘러싸도록, 차동배기용의 배기홈(32, 34, 36)이 마련된다. 각 배기홈(32, 34, 36)은, 유체공급부 또는 기체공급부로서의 각 에어패드(30)가 공급한 유체 또는 기체를, 슬라이더(20)의 외주와 가이드(12)의 포위구조의 내주의 사이로부터 액추에이터(10) 외로 배출하는 유체배출부 또는 기체배출부를 구성한다. 각 배기홈(32, 34, 36)은, 슬라이더(20)의 X방향의 대략 전체 길이에 걸쳐 형성되는 장척의 홈이다.
모든 에어패드(30)의 양 이웃(양옆)에 마련되는 각 배기홈(32)은 대기개방되어 있다. 각 배기홈(32)과 대기의 사이에는 배기펌프를 마련해도 된다. 배기홈(34, 36)은, 개구부(40)에 인접 또는 근접하는 위치에 마련되고, 개구부(40)를 통한 진공환경으로의 압축공기의 누출을 확실하게 방지한다. 배기홈(34)은, 저진공압력(100kPa~100Pa)을 생성하는 저진공배기펌프에 접속되고, 개구부(40)에 보다 가까운 배기홈(36)은, 배기홈(34)보다 높은 진공레벨(낮은 압력레벨), 예를 들면 중진공(100Pa~0.1Pa)의 압력을 생성하는 중진공배기펌프에 접속된다.
도 2에 나타나는 바와 같이, 슬라이더(20)의 측면(제1 측부(24) 및/또는 제2 측부(26))에는, 가이드(12)의 제1 측판(38) 및/또는 제2 측판(39)의 내주에 대향하는 위치에 차압구동공간으로서의 에어서보실(28)이 마련된다. 이하에서는, 슬라이더(20)의 제1 측부(24)에 마련되는 에어서보실(28)을 에어서보실(281)이라고도 하고, 슬라이더(20)의 제2 측부(26)에 마련되는 에어서보실(28)을 에어서보실(282)이라고도 하며, 양자를 구별할 필요가 없는 경우는 에어서보실(28)이라고 총칭한다. 가이드(12)의 제1 측판(38)은, 에어서보실(281) 내에 연장하는 구획부로서의 피스톤블록(131)을 구비하고, 가이드(12)의 제2 측판(39)은, 에어서보실(282) 내에 연장되는 구획부로서의 피스톤블록(132)를 구비한다. 이하에서는, 피스톤블록(131, 132)을 피스톤블록(13)이라고 총칭한다.
도 3에 나타나는 바와 같이, 각 에어서보실(28) 내에 Y방향으로 삽입된 각 피스톤블록(13)은, 당해 각 에어서보실(28)을 X방향을 따라 제1 압력실로서의 제1 서보실(28A) 및 제2 압력실로서의 제2 서보실(28B)로 구획한다. 도 3에 모식적으로 나타나는 바와 같이, 각 서보실(28A, 28B)의 사이에서 압축공기 등의 압력제어유체 또는 압력제어기체의 공급 및/또는 배출을 행하는 차압구동부로서의 급배기계(17A, 17B)가 마련된다. 급배기계(17A, 17B)는, 각각, 압축기체를 공급하는 압축기체공급원(18A, 18B)과, 당해 압축기체의 압력을 제어하여 서보실(28A, 28B)의 사이에서 급배하는 서보밸브(16A, 16B)를 구비한다. 급배기계(17A)에 의하여 제어되는 제1 서보실 (28A)의 압력과, 급배기계(17B)에 의하여 제어되는 제2 서보실(28B)의 압력의 차압에 따라, 슬라이더(20)가 이동방향을 따라 구동된다.
여기에서, 에어서보실(28)의 X방향의 범위가, 슬라이더(20)의 이동방향(X방향)을 따른 가동역을 정한다. 에어서보실(28)(슬라이더(20)) 내를 X방향으로 상대이동하는 피스톤블록(13)(가이드(12)) 자체가 X방향으로 의미가 있는 길이를 갖기 때문에, 슬라이더(20)가 실제로 이동할 수 있는 X방향의 거리인 가동역의 폭(의 최댓값)은, 에어서보실(28)의 X방향의 길이와 피스톤블록(13)의 X방향의 길이의 차이다. 바꿔 말하면, 차압구동공간으로서의 에어서보실(28)의 X방향의 길이는, 슬라이더(20)의 가동역의 폭보다 피스톤블록(13)의 X방향의 길이의 정도만큼 크다.
도 3에 나타나는 바와 같이, 가이드(12)의 정면(43)의 개구부(40)를 Z방향으로 관통하여 슬라이더(20)의 정부와 테이블(200)의 바닥부를 연결하는 슬라이더연결부재(44)는, 슬라이더(20)의 가동역의 폭 및/또는 에어서보실(28)의 X방향의 길이 이상의 간격으로 X방향을 따라 마련된 제1 슬라이더연결부재(441) 및 제2 슬라이더연결부재(442)를 구비한다. 이하에서는, 제1 슬라이더연결부재(441) 및 제2 슬라이더연결부재(442)를 슬라이더연결부재(44)라고 총칭한다. 도 2에 나타나는 바와 같이, 각 슬라이더연결부재(44)의 Y방향의 폭은, 가이드(12)의 개구부(40)의 Y방향의 폭보다 작다. 각 슬라이더연결부재(44)는, X방향으로 뻗는 개구부(40) 내를, 슬라이더(20) 및 테이블(200)과 일체적으로 X방향(도 3에 있어서의 좌우방향)으로 이동 가능하다.
도 2에 나타나는 바와 같이, 가이드연결부재(45)는, 가이드(12)의 개구부(40)의 가장자리끼리를 Y방향으로 연결하는 기둥상 또는 봉상의 부재이다. 여기에서, 가이드연결부재(45)가 개구부(40)의 가장자리끼리를 연결하는 Y방향은, 슬라이더연결부재(44)가 슬라이더(20)와 테이블(200)을 연결하는 Z방향과 직교하고 있다. 또, 가이드연결부재(45)가 개구부(40)의 가장자리끼리를 연결하는 Y방향, 및, 슬라이더연결부재(44)가 슬라이더(20)와 테이블(200)을 연결하는 Z방향은, 슬라이더(20)의 이동방향인 X방향과 직교하고 있다.
도 3에 나타나는 바와 같이, 가이드연결부재(45)는, 슬라이더(20)가 가동역 내를 이동할 때에 제1 슬라이더연결부재(441) 및 제2 슬라이더연결부재(442)가 접촉하지 않는 위치에 마련된다. 구체적으로는, 가이드연결부재(45)는, 슬라이더(20)의 가동역 내 및/또는 에어서보실(28)의 X방향의 범위 내이며, 피스톤블록(13)과 X방향을 따라 겹쳐진 위치에 마련된다. 또, 가이드연결부재(45)는, X방향을 따라 제1 슬라이더연결부재(441) 및 제2 슬라이더연결부재(442)의 사이에 마련된다.
가이드연결부재(45)는, 슬라이더(20)가 가동역 내를 이동하면, 제1 슬라이더연결부재(441) 및 제2 슬라이더연결부재(442)에 대하여 X방향으로 상대이동하지만, 제1 슬라이더연결부재(441) 및 제2 슬라이더연결부재(442)가 X방향에 있어서 슬라이더(20)의 가동역 외 및/또는 에어서보실(28)의 범위 외에 마련되기 때문에, 제1 슬라이더연결부재(441) 및 제2 슬라이더연결부재(442)의 어느 것과도 접촉하지 않는다. 즉, 가이드연결부재(45)는, 슬라이더(20)의 통상의 구동을 저해하지 않는다.
본 실시형태에 의하면, 도 2에 나타나는 바와 같이, 가이드(12)의 개구부(40)의 가장자리끼리를 연결하는 가이드연결부재(45)에 의하여 강성이 높아지기 때문에, 복수의 에어패드(30)가 슬라이더(20)의 외주와 가이드(12)의 내주의 사이에 공급하는 압축공기의 압력에 의한 가이드(12)의 변형을 억제할 수 있다. 도 1에 나타나는 바와 같이, 개구부(40)는, 제1 엔드플레이트(41) 및 제2 엔드플레이트(42)에 고정되어 있는 X방향의 양단부에서는 변형되기 어려워져 있는 한편, 중앙부에서는 에어패드(30)의 압축공기의 압력에 의하여 밀려 넓어지기 쉽게 되어 있다. 본 실시형태에서는, 도 3에 나타나는 바와 같이, 특히 변형되기 쉬운 개구부(40)의 X방향을 따른 중앙부에 가이드연결부재(45)를 마련함으로써, 가이드(12)의 변형을 효과적으로 억제할 수 있다.
다만, 개구부(40)의 X방향의 양단부 부근에서의 변형을 억제하기 위하여, 도 4에 나타나는 제1 단가이드연결부재(451) 및 제2 단가이드연결부재(452)를, 개구부(40)의 중앙부의 가이드연결부재(45)에 더하여 또는 대신하여 마련해도 된다. 개구부(40)의 중앙부의 가이드연결부재(45)가 마련되지 않는 경우는, 제1 슬라이더연결부재(441) 및 제2 슬라이더연결부재(442) 대신에, 하나의 슬라이더연결부재(44)에 의하여 슬라이더(20)와 테이블(200)을 연결해도 된다. 제1 단가이드연결부재(451) 및 제2 단가이드연결부재(452)는, 슬라이더(20)의 가동역의 양단보다 X방향을 따른 외측에 마련되기 때문에, 슬라이더(20)가 가동역 내를 이동해도 슬라이더연결부재(44)와 접촉하지 않는다.
도 5는, 가이드연결부재(45)의 구성예를 나타낸다. 도 5의 (A)의 예의 가이드연결부재(45)는, 변형됨으로써 응력을 완화하는 응력완화부(453)를 구비한다. 가이드연결부재(45)를 가이드(12)의 개구부(40)에 장착할 때의 응력에 의하여 개구부(40)가 밀려 넓어지지 않도록, 응력완화부(453)가 변형되어 응력을 없앤다. 응력완화부(453)는, 도 5의 (A)에 나타나는 바와 같이, 다른 부분보다 폭 등이 좁고 휠 수 있는 가요부(可撓部) 또는 탄성변형부에 의하여 구성해도 되고, 힌지 등의 개폐동작이나 굴곡동작을 허용하는 기계부품에 의하여 구성해도 된다.
가이드연결부재(45)는, 도 5의 (B)와 같이 단순한 기둥상 또는 봉상의 부재여도 된다. 이 경우, 가이드연결부재(45)를 장착할 때에 가이드(12)의 개구부(40)에 과대한 부하가 걸리지 않도록, 정밀가공된 가이드연결부재(45)를 사용하는 것이 바람직하다. 가이드연결부재(45)는, 도 5의 (C)와 같이 개구부(40)를 넓히는 변형에 대하여 저항을 부여하는 저항부여부(454)를 구비해도 된다. 도 5의 (C)의 예에서는, 통상의 실린더(455)와 당해 실린더(455)에 삽입되는 기둥상의 피스톤(456)에 의하여 저항부여부(454)가 구성된다. 실린더(455)의 내부공간의 Y방향의 길이는 피스톤(456)의 Y방향의 길이보다 길고, 피스톤(456)의 선단(우단)과 실린더(455)의 기단(우단)의 사이의 공간은 진공상태 등의 저압력상태가 된다. 에어패드(30)의 압축공기가 개구부(40)를 밀어 넓히는 압력을 가한 경우, 즉 실린더(455)와 피스톤(456)을 Y방향을 따라 떼어 놓는 압력이 가해진 경우, 저압력상태의 실린더(455)의 내부공간이 항력을 발생시키기 때문에, 개구부(40)가 밀려 넓어지는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 다만, 저항부여부(454)는, 실린더(455), 피스톤(456)과 같이 가이드(12)의 개구부(40)를 Y방향으로 넓히는 압력에 따라 수동적으로 항력을 발생시키는 것에 한정하지 않고, 능동적 또는 적응적으로 개구부(40)의 확대 또는 변형을 방지하기 위한 저항 또는 힘을 부여하는 압전소자 등의 액추에이터에 의하여 구성되어도 된다.
이상, 본 발명을 실시형태에 근거하여 설명했다. 실시형태는 예시이며, 그들의 각 구성요소나 각 처리프로세스의 조합에 다양한 변형예가 가능한 것, 또 그러한 변형예도 본 발명의 범위에 있는 것은 당업자에게 이해되는 것이다.
다만, 실시형태에서 설명한 각 장치의 기능구성은 하드웨어자원 또는 소프트웨어자원에 의하여, 혹은 하드웨어자원과 소프트웨어자원의 협동에 의하여 실현할 수 있다. 하드웨어자원으로서 프로세서, ROM, RAM, 그 외의 LSI를 이용할 수 있다. 소프트웨어자원으로서 오퍼레이팅시스템, 애플리케이션 등의 프로그램을 이용할 수 있다.
10 액추에이터
12 가이드
13 피스톤블록
17A 급배기계
17B 급배기계
20 슬라이더
28 에어서보실
30 에어패드
32 배기홈
34 배기홈
36 배기홈
40 개구부
41 제1 엔드플레이트
42 제2 엔드플레이트
43 정면
44 슬라이더연결부재
45 가이드연결부재
200 테이블
441 제1 슬라이더연결부재
442 제2 슬라이더연결부재
451 제1 단가이드연결부재
452 제2 단가이드연결부재
453 응력완화부
454 저항부여부

Claims (12)

  1. 소정의 이동방향을 따른 가동역 내를 구동되는 슬라이더와,
    상기 이동방향으로 뻗어 상기 슬라이더를 안내하는 가이드로서, 상기 이동방향에 수직인 단면에 있어서, 상기 슬라이더의 외주를 포위함과 함께, 그 적어도 일부가 개방된 개구부를 포함하는 포위구조를 구비하는 가이드와,
    상기 슬라이더와 상기 가이드의 사이에 유체를 공급하는 유체공급부와,
    상기 개구부를 관통하여 상기 포위구조 내의 상기 슬라이더와 상기 포위구조 외의 피구동체를 연결하는 슬라이더연결부재와,
    상기 개구부의 가장자리끼리를 연결하는 가이드연결부재로서, 상기 슬라이더가 상기 가동역 내를 이동할 때에 상기 슬라이더연결부재가 접촉하지 않는 위치에 마련되는 가이드연결부재를 구비하는 액추에이터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 슬라이더연결부재는, 상기 이동방향을 따라 상기 가동역의 폭 이상의 간격으로 마련된 제1 슬라이더연결부재 및 제2 슬라이더연결부재를 구비하고,
    상기 가이드연결부재는, 상기 제1 슬라이더연결부재 및 상기 제2 슬라이더연결부재의 사이에 마련되는, 액추에이터.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 가이드연결부재는 상기 가동역 내에 마련되는, 액추에이터.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가이드연결부재는, 상기 가동역의 양단보다 상기 이동방향을 따른 외측에 마련되는 제1 단가이드연결부재 및 제2 단가이드연결부재를 구비하는, 액추에이터.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가이드연결부재는, 변형됨으로써 응력을 완화하는 응력완화부를 구비하는, 액추에이터.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가이드연결부재는, 상기 개구부를 넓히는 변형에 대하여 저항을 부여하는 저항부여부를 구비하는, 액추에이터.
  7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 슬라이더연결부재가 상기 슬라이더와 상기 피구동체를 연결하는 방향과, 상기 가이드연결부재가 상기 개구부의 가장자리끼리를 연결하는 방향은 서로 직교하는, 액추에이터.
  8. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가이드의 양단부는 폐색되어 있는, 액추에이터.
  9. 처리대상의 위치를 제어하는 스테이지장치로서,
    상기 처리대상을 지지하는 테이블과,
    상기 테이블을 변위시키는 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 액추에이터를 구비하는 스테이지장치.
  10. 상기 테이블에 의하여 지지되는 노광대상의 위치를 제어하는 제9항에 기재된 스테이지장치를 구비하는 노광장치.
  11. 상기 테이블에 의하여 지지되는 검사대상의 위치를 제어하는 제9항에 기재된 스테이지장치를 구비하는 검사장치.
  12. 소정의 이동방향을 따른 가동역 내를 구동되는 슬라이더와,
    상기 이동방향으로 뻗어 상기 슬라이더를 안내하는 가이드로서, 상기 이동방향에 수직인 단면에 있어서, 상기 슬라이더의 외주를 포위함과 함께, 그 적어도 일부가 개방된 개구부를 포함하는 포위구조를 구비하는 가이드와,
    상기 슬라이더와 상기 가이드의 사이에 기체를 공급하는 기체공급부와,
    상기 기체공급부가 공급한 기체를, 상기 슬라이더의 외주와 상기 포위구조의 내주의 사이로부터 배출하는 기체배출부와,
    상기 개구부를 관통하여 상기 포위구조 내의 상기 슬라이더와 상기 포위구조 외의 피구동체를 연결하는 슬라이더연결부재와,
    상기 개구부의 가장자리끼리를 연결하는 가이드연결부재로서, 상기 슬라이더가 상기 가동역 내를 이동할 때에 상기 슬라이더연결부재가 접촉하지 않는 위치에 마련되는 가이드연결부재와,
    상기 슬라이더, 상기 가이드, 상기 기체공급부, 상기 기체배출부, 상기 슬라이더연결부재, 상기 가이드연결부재를 진공상태인 내부에 수용하는 진공챔버를 구비하는 스테이지장치.
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