KR20230099568A

KR20230099568A - Oht 주행경로 할당 시스템 및 방법

Info

Publication number: KR20230099568A
Application number: KR1020210189061A
Authority: KR
Inventors: 방명진
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2021-12-27
Filing date: 2021-12-27
Publication date: 2023-07-04

Abstract

오버헤드 호이스트 이송장치(Overhead Hoist Transport, OHT)의 실제 소비전력을 예측 및 계산하여 전력의 분배를 통해 OHT의 주행경로를 할당하는 OHT 주행경로 할당 시스템 및 방법이 개시된다. OHT 주행경로 할당 시스템은, 전원을 공급하는 전원공급장치; 천장에 설치된 제1 트랙; 천장에 설치된 제2 트랙; 상기 제1 트랙에 할당된 복수의 오버헤드 호이스트 이송장치(Overhead Hoist Transport, 이하 OHT)들을 포함하고, 상기 제1 트랙을 따라 이동하면서 전자 부품을 다수 탑재 가능한 탑재 기구를 상기 전자 부품을 제조하기 위한 설비들 사이에서 이송하는 제1 OHT부; 상기 제2 트랙에 할당된 복수의 OHT 장치들을 포함하고, 상기 제2 트랙을 따라 이동하면서 전자 부품을 다수 탑재 가능한 탑재 기구를 상기 전자 부품을 제조하기 위한 설비들 사이에서 이송하는 제2 OHT부; 및 상기 전원공급장치에서 상기 제1 OHT부 및 상기 제2 OHT부 각각에 공급되는 전력을 제어하되, 상기 제1 OHT부의 동작 제어를 위한 전력과 상기 제1 OHT부의 동작 제어를 위한 전력을 공유하도록 제어하는 OHT 제어 시스템(OHT Control System; 이하 OCS)을 포함한다.

Description

OHT 주행경로 할당 시스템 및 방법{SYSTEM AND METHOD FOR ALLOCATING DRIVING ROUTE OF OVERHEAD HOIST TRANSPORT}

본 발명은 OHT 주행경로 할당 시스템 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 오버헤드 호이스트 이송장치(Overhead Hoist Transport, OHT)의 실제 소비전력을 예측 및 계산하여 전력의 분배를 통해 OHT의 주행경로를 할당하는 OHT 주행경로 할당 시스템 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나, 카세트를 이용하여 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.

이에, 설비들이 설치된 클린룸 형태의 공장 내부의 천장에 설비들 사이에서의 경로를 제공하기 위한 트랙을 설치한 다음, 상기 트랙을 따라 이동하면서 카세트를 이송하는 오버헤드 호이스트 이송장치(Overhead Hoist Transport, OHT)를 통해서 이송 동작을 구현한다.

한편, OHT에 전원을 공급하는 무접촉 전원방식인 HID(High frequency Induction Device) 시스템은 트랙들 각각에 유효전력을 공급하도록 구성된다. 하지만, HID에 대응하여 예를 들어 20kw의 정격전력을 갖는 하나의 트랙당 OHT 가용 대수는 OHT 소비전력에 따른 제한이 아닌 OHT의 수량을 제한하여 사용하고 있으므로, OHT 반송의 제한이 있고, 하나의 트랙의 전력을 비효율적으로 사용하고 있는 실정이다.

OHT 1대의 소비전력이 대기 동작의 경우 250kw, 가속 동작의 경우 1500kw, 주행 동작의 경우 600kw, 이적재 동작의 경우 750kw인 경우를 가정하여 설명한다. 20kw의 정격전력을 갖는 하나의 트랙에 OHT 10대가 할당되어 대기 동작이 운용된다면 총 2.5kw의 전력이 소비된다.

따라서, OHT는 10대로 제한되어 OHT의 추가 주행이 불가하다. 따라서, 반송 제한이 발생되어 반송 효율이 떨어지고, 17.5kw 가용 전력이 발생되어 전력 효율이 떨어지는 문제점이 있다.

한국공개특허 제2021-0087285호(2021. 07. 12.) 한국등록특허 제10-1901029호(2018. 09. 14.)

이에 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에 착안한 것으로, 본 발명의 목적은 오버헤드 호이스트 이송장치(Overhead Hoist Transport, OHT)의 실제 소비전력을 OHT 제어 시스템(OHT Control System; OCS)을 통해 예측 및 계산하여 전력의 분배를 통해 OHT의 주행경로를 할당하는 OHT 주행경로 할당 시스템을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 상기한 OHT 주행경로 할당 시스템을 이용한 OHT 주행경로 할당 방법을 제공하는 것이다.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위하여 일실시예에 따른 OHT 주행경로 할당 시스템은, 전원을 공급하는 전원공급장치; 천장에 설치된 제1 트랙; 천장에 설치된 제2 트랙; 상기 제1 트랙에 할당된 복수의 오버헤드 호이스트 이송장치(Overhead Hoist Transport, 이하 OHT)들을 포함하고, 상기 제1 트랙을 따라 이동하면서 전자 부품을 다수 탑재 가능한 탑재 기구를 상기 전자 부품을 제조하기 위한 설비들 사이에서 이송하는 제1 OHT부; 상기 제2 트랙에 할당된 복수의 OHT 장치들을 포함하고, 상기 제2 트랙을 따라 이동하면서 전자 부품을 다수 탑재 가능한 탑재 기구를 상기 전자 부품을 제조하기 위한 설비들 사이에서 이송하는 제2 OHT부; 및 상기 전원공급장치에서 상기 제1 OHT부 및 상기 제2 OHT부 각각에 공급되는 전력을 제어하되, 상기 제1 OHT부의 동작 제어를 위한 전력과 상기 제1 OHT부의 동작 제어를 위한 전력을 공유하도록 제어하는 OHT 제어 시스템(OHT Control System; 이하 OCS)을 포함한다.

본 발명의 일실시예에서, 상기 OCS는, 상기 제1 OHT부의 작동을 위한 제1 기본전력을 예측 및 계산하고, 상기 제1 기본전력이 상기 제1 OHT부의 작동을 위한 제1 정격전력보다 크면 상기 제2 OHT부의 가용 가능한 제2 잔여전력을 상기 제1 OHT부에 분배하여 상기 제1 OHT부의 주행경로를 할당할 수 있다.

본 발명의 일실시예에서, 상기 OCS는, 상기 제2 OHT부의 작동을 위한 제2 기본전력을 예측 및 계산하고, 상기 제2 기본전력이 상기 제2 OHT부의 작동을 위한 제2 정격전력보다 크면 상기 제1 OHT부의 가용 가능한 제1 잔여전력을 상기 제2 OHT부에 분배하여 상기 제2 OHT부의 주행경로를 할당할 수 있다.

상기한 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위하여 일실시예에 따르면, 제1 트랙에 대응하여 할당된 오버헤드 호이스트 이송장치(Overhead Hoist Transport, 이하 OHT)들과 제2 트랙에 대응하여 할당된 OHT들을 구동 제어하는 OHT 주행경로 할당 방법은, (a) 상기 제1 트랙에 대응하여 할당된 OHT들을 구동 제어하되, 상기 제1 트랙에 할당된 OHT들을 구동하기 위한 전력이 상기 제1 트랙에 대응하는 정격전력보다 작은 경우, 상기 제2 트랙에 할당된 OHT들을 구동하기 위한 전력 중 잔여전력을 상기 제1 트랙에 분배하는 단계; 및 (b) 상기 제2 트랙에 대응하여 할당된 OHT들을 구동 제어하되, 상기 제2 트랙에 할당된 OHT들을 구동하기 위한 전력이 상기 제2 트랙에 대응하는 정격전력보다 작은 경우, 상기 제1 트랙에 할당된 OHT들을 구동하기 위한 전력 중 잔여전력을 상기 제2 트랙에 분배하는 단계를 포함한다.

일실시예에서, 상기 단계(a)는, (a-1) 상기 제1 트랙에 기본 할당된 OHT 별 작업을 확인하는 단계; (a-2) 상기 제1 트랙에 대응하는 OHT들의 제1 기본전력을 산출하는 단계; (a-3) 상기 제1 트랙에 OHT가 추가 할당되지 않은 경우 상기 제1 기본전력을 이용하여 상기 제1 트랙에 기본 할당된 OHT들을 구동 제어하는 단계; (a-4) 상기 제1 트랙에 OHT가 추가 할당되는 경우 상기 제1 트랙에 기본 할당 및 추가 할당된 OHT들의 제1 갱신전력을 산출하는 단계; 및 (a-5) 상기 제1 갱신전력이 상기 제1 트랙의 제1 정격전력보다 크지 않은 경우 상기 제1 갱신전력을 이용하여 상기 제1 트랙에 기본 할당 및 추가 할당된 OHT들을 구동 제어하는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 일실시예에서, 상기 단계(a)는, (a-6) 상기 제1 갱신전력이 상기 제1 정격전력보다 큰 경우 상기 제2 트랙의 가용 가능한 제2 잔여전력의 존재 여부를 체크하는 단계; (a-7) 단계(a-6)에서 상기 제2 잔여전력이 존재하는 것으로 체크되면, 상기 제2 잔여전력을 상기 제1 트랙에 분배하여 상기 제1 트랙의 제1 합산전력을 생성하는 단계; (a-8) 상기 제1 합산전력이 상기 제1 정격전력보다 큰지의 여부를 체크하는 단계; (a-9) 단계(a-8)에서 상기 제1 합산전력이 상기 제1 정격전력보다 큰 것으로 체크되면, 상기 제1 합산전력을 이용하여 상기 제1 트랙에 기본 할당 및 추가 할당된 OHT들을 구동 제어하는 단계; 및 (a-10) 단계(a-6)에서 상기 제2 잔여전력이 존재하지 않은 것으로 체크되거나 단계(a-8)에서 상기 제1 합산전력이 상기 제1 정격전력보다 크지 않은 것으로 체크되면, 상기 제2 트랙의 가용 가능한 제2 잔여전력이 없음을 통보하고 OHT 동작을 락 요청하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일실시예에서, 상기 단계(b)는, (b-1) 상기 제2 트랙에 기본 할당된 OHT 별 작업을 확인하는 단계; (b-2) 상기 제2 트랙에 대응하는 OHT들의 제2 기본전력을 산출하는 단계; (b-3) 상기 제2 트랙에 OHT가 추가 할당되지 않은 경우 상기 제2 기본전력을 이용하여 상기 제1 트랙에 기본 할당된 OHT들을 구동 제어하는 단계; (b-4) 상기 제2 트랙에 OHT가 추가 할당되는 경우 상기 제2 트랙에 기본 할당 및 추가 할당된 OHT들의 제2 갱신전력을 산출하는 단계; 및 (b-5) 상기 제2 갱신전력이 상기 제2 트랙의 제1 정격전력보다 크지 않은 경우 상기 제2 갱신전력을 이용하여 제2 트랙에 기본 할당 및 추가 할당된 OHT들을 구동 제어하는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 일실시예에서, 상기 단계(b)는, (b-6) 상기 제2 갱신전력이 상기 제2 정격전력보다 큰 경우 상기 제1 트랙의 가용 가능한 제1 잔여전력의 존재 여부를 체크하는 단계; (b-7) 단계(b-6)에서 상기 제1 잔여전력이 존재하는 것으로 체크되면, 상기 제1 잔여전력을 상기 제2 트랙에 분배하여 상기 제2 트랙의 제2 합산전력을 생성하는 단계; (b-8) 상기 제2 합산전력이 상기 제2 정격전력보다 큰지의 여부를 체크하는 단계; (b-9) 단계(b-8)에서 상기 제2 합산전력이 상기 제2 정격전력보다 큰 것으로 체크되면, 상기 제2 합산전력을 이용하여 상기 제2 트랙에 기본 할당 및 추가 할당된 OHT들을 구동 제어하는 단계; 및 (b-10) 단계(b-6)에서 상기 제1 잔여전력이 존재하지 않은 것으로 체크되거나 단계(b-8)에서 상기 제2 합산전력이 상기 제2 정격전력보다 크지 않은 것으로 체크되면, 상기 제1 트랙의 가용 가능한 제1 잔여전력이 없음을 통보하고 OHT 동작을 락 요청하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일실시예에서, 상기 단계(a)와 상기 단계(b)는 동시에 수행될 수 있다.

이러한 OHT 주행경로 할당 시스템 및 방법에 의하면, OCS에서 OHT의 실제 소비전력을 계산하여 HID 트랙 별 가용대수 유동적 설정 가능하고, 트랙의 가용 대수 불가로 불필요한 OHT의 우회주행을 제외할 수 있으며, 트랙 2개의 가용전력을 보다 효율적으로 활용할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 OHT 주행경로 할당 시스템을 설명하기 위한 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 OHT 주행경로 할당 시스템의 동작을 개략적으로 설명하기 위한 구성도이다.
도 3a, 도 3b, 도 3c 및 도 3d는 본 발명의 일실시예에 따른 OHT 주행경로 할당 방법을 설명하기 위한 흐름도들이다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

또한, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 OHT 주행경로 할당 시스템을 설명하기 위한 구성도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 OHT 주행경로 할당 시스템은 전원공급장치(100), 제1 트랙(200), 제2 트랙(300), 제1 오버헤드 호이스트 이송장치(Overhead Hoist Transport, 이하 OHT)부(400), 제2 OHT부(500) 및 OHT 제어 시스템(OHT Control System; 이하 OCS)(600)을 포함한다.

전원공급장치(100)는 제1 트랙(200)에 할당된 제1 OHT부(400) 및 제2 트랙(300)에 할당된 제2 OHT부(500)에 전원을 공급한다. 본 실시예에서, 전원공급장치(100)는 무접촉 전원방식인 HID(High frequency Induction Device) 시스템으로 구성될 수 있다. 상기한 HID 시스템은 HID 전원 공급 패널, 유도 케이블, 픽업 코일 및 전원 수신 장치를 포함한다. 전원 공급 패널은 상업용 전원 공급을 비접촉 전원 공급에 맞는 주파수로 전환해 주며, 유도케이블에 전력을 공급한다. 유도케이블은 움직이는 물체의 트랙을 따라 설치하는 특수 전력선이다. 움직이는 물체에 전력을 효율적으로 전송하기 위해 케이블 주위로 자기장이 형성된다. 픽업 코일은 유도케이블 반대쪽으로 움직이는 물체면에 설치되며, 유도케이블 주위 자기장으로부터 전력을 제공받는다. 전원 수신 장치는 픽업 코일이 수신하고 고품질의 전력을 인버터와 서보 드라이버로 전달하는 전력을 안정화시킨다.

제1 트랙(200)(또는 제1 주행트랙)은 공장 내부의 천장에 설치되고, 제2 트랙(300)(또는 제2 주행트랙)은 공장 내부의 천장에 설치된다.

제1 OHT부(400)는 웨이퍼 보관용기(또는 카세트)의 자동반송을 위해 제1 트랙(200)에 할당된 복수의 OHT들(410~460)을 포함하고, OCS(600)의 통제를 받아 제1 트랙(200)을 따라 이동하면서 전자 부품을 다수 탑재 가능한 탑재 기구를 전자 부품을 제조하기 위한 설비들 사이에서 이송한다.

제2 OHT부(500)는 웨이퍼 보관용기의 자동반송을 위해 제2 트랙(300)에 할당된 복수의 OHT 장치들(510~550)을 포함하고, OCS(600)의 통제를 받아 제2 트랙(300)을 따라 이동하면서 전자 부품을 다수 탑재 가능한 탑재 기구를 전자 부품을 제조하기 위한 설비들 사이에서 이송한다.

OCS(600)는 전원공급장치(100)에서 제1 OHT부(400) 및 제2 OHT부(500) 각각에 공급되는 전력을 제어하되, 제1 OHT부(400)의 동작 제어를 위한 전력과 제1 OHT부(400)의 동작 제어를 위한 전력을 공유하도록 제어한다. 본 실시예에서, OCS(600)는, 제1 OHT부(400)의 작동을 위한 제1 기본전력을 예측 및 계산하고, 상기 제1 기본전력이 제1 OHT부(400)의 작동을 위한 제1 정격전력보다 크면 제2 OHT부(500)의 가용 가능한 제2 잔여전력을 제1 OHT부(400)에 분배하여 제1 OHT부(400)의 주행경로를 할당한다. 또한 OCS(600)는, 제2 OHT부(500)의 작동을 위한 제2 기본전력을 예측 및 계산하고, 제2 기본전력이 제2 OHT부(500)의 작동을 위한 제2 정격전력보다 크면 제1 OHT부(400)의 가용 가능한 제1 잔여전력을 제2 OHT부(500)에 분배하여 제2 OHT부(500)의 주행경로를 할당한다.

한편, OHT 주행경로 할당 시스템은 제3 트랙(700), 제4 트랙(800), 제3 트랙(700)에 할당된 복수의 OHT들(도면부호 미부여), 제4 트랙(800)에 할당된 복수의 OHT들(도면부호 미부여)을 더 포함하고, OCS(600)의 제어에 의해 전원공급장치(100)에서 공급되는 전력에 기초하여 운용될 수 있다. 여기서, 제3 트랙(700)과 제4 트랙(800)에 할당되는 OHT들은 제1 트랙(200)과 제2 트랙(300)에 할당되는 OHT들과 유사하게 운용될 수 있다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 OHT 주행경로 할당 시스템의 동작을 개략적으로 설명하기 위한 구성도이다.

도 2를 참조하면, 제1 트랙(200) 및 제2 트랙(300)은 40kw의 전력을 공급받아 운영되고, 제3 트랙(700) 및 제4 트랙(800)은 40kw의 전력을 공급받아 운용된다. 여기서, 제1 트랙(200)과 제2 트랙(300) 간에는 가용전력을 공유하도록 구성되고, 제3 트랙(700) 및 제4 트랙(800) 역시 가용전력을 공유하도록 구성된다.

OHT 각각은 대기 동작을 위한 소비전력, 가속 동작을 위한 소비전력, 주행 동작을 위한 소비전력, 이적재 동작을 위한 소비전력을 가질 수 있다.

대기 동작을 위한 소비전력, 가속 동작을 위한 소비전력, 주행 동작을 위한 소비전력 및 이적재 동작을 위한 소비전력은 각각 250w, 1500w, 600w 및 750w이라면, 제1 트랙(200)에 대응하여 운용되는 20대의 OHT는 가속 동작을 위해 총 30kw의 전력이 소비된다. 제2 트랙(300)에 대응하여 운용되는 OHT는 없으므로 소비전력은 0w이다. 따라서, 제1 트랙(200) 및 제2 트랙(300)에 대응하여 운용되는 20대의 OHT는 가속 동작을 위해 총 30kw의 전력이 소비되므로 40kw의 전력만으로 충분히 정상적으로 동작된다.

한편, 제3 트랙(700)에 대응하여 운용되는 20대의 OHT는 가속 동작을 위해 총 30kw의 전력이 소비된다. 제4 트랙(800)에 대응하여 운용되는 16대의 OHT는 주행 동작을 위해 총 9.6kw의 전력이 소비된다. 따라서, 제3 트랙(700) 및 제4 트랙(800)에 대응하여 운용되는 36대의 OHT는 가속 동작 및 주행 동작을 위해 총 39.6kw의 전력이 소비되므로 40kw의 전력만으로 충분히 정상적으로 동작된다.

또한 OCS에서 OHT 예상 소비전력을 예측 및 계산하여 트랙 별 OHT 가용대수를 산정하도록 구성된다.

그러면, 예를 들어 1개의 트랙에 15대의 OHT들이 가속 동작을 수행하는 경우에 대해서 동작을 간략히 설명한다.

OCS는 제1 트랙(200)에 할당된 OHT 별 작업을 확인한다. 제1 트랙(200)에서 1500w로 가속 동작을 수행하는 OHT가 10대로 설정되었다면, 총 15kw의 전력이 소비된다. 이와 동시에, OCS는 제2 트랙(300)에 할당된 OHT 별 작업을 확인한다. 제2 트랙(300)에서 1500w로 가속 동작을 수행하는 OHT가 10대로 설정되었다면, 총 15kw의 전력이 소비된다.

이어, OCS는 제1 트랙(200)에 추가로 할당된 OHT별 작업을 확인한다. 예컨대, 5대의 OHT가 제1 트랙(200)에 추가로 할당되면 총 15대의 OHT는 가속 동작을 위해 총 22.5kw의 전력이 제1 트랙(200)에서 요구된다. 즉, 제1 트랙(200)의 유효전력은 22.5kw이다. 하지만, 제1 트랙(200)의 정격 전력이 20kw이므로 전력이 부족하다. 이와 동시에, OCS는 제2 트랙(300)에 추가로 할당된 OHT별 작업을 확인한다. 예컨대, OHT가 제2 트랙(300)에 추가로 할당되지 않았다면 제1 트랙(200)의 정격 전력은 15kw이다.

따라서, 제1 트랙(200)의 전력이 부족한 것을 보상하기 위해 OCS는 제2 트랙(300)의 가요 가능한 전력을 확인한다. 이때 제2 트랙(300)의 정격 전력이 20kw이라면, 제2 트랙(300)에는 5kw의 잔여 전력이 존재하는 것을 확인할 수 있으므로, OCS는 제2 트랙(300)에는 15kw만을 분배하고, 제1 트랙(200)에는 25kw의 전력을 분배한다.

이에 따라, 제1 트랙(200)에는 제1 트랙(200)의 유효전력인 22.5kw보다 큰 25kw의 전력이 공급되므로 제1 트랙(200)에 대응하는 15대의 OHT들은 가속 동작을 원활하게 수행할 수 있게 된다.

이상에서 설명된 바와 같이, OCS에서 OHT의 실제 소비전력을 계산하여 트랙 별 가용대수를 유동적으로 설정이 가능하다. 또한 트랙의 가용대수 불가한 경우 불필요한 OHT의 우회주행을 제외할 수 있다. 또한 제1 트랙(200) 및 제2 트랙(300)의 가용전력을 보다 효율적으로 활용할 수 있다.

도 3a, 도 3b, 도 3c 및 도 3d는 본 발명의 일실시예에 따른 OHT 주행경로 할당 방법을 설명하기 위한 흐름도들이다.

도 1 내지 도 3d를 참조하면, OCS(600)는 제1 트랙(200)에 기본적으로 할당된 OHT 별 작업을 확인한다(단계 S100).

이어, OCS(600)는 제1 트랙(200)에 대응하는 OHT들의 제1 기본전력을 산출한다(단계 S102). OHT 각각은 대기 동작을 위한 소비전력, 가속 동작을 위한 소비전력, 주행 동작을 위한 소비전력, 이적재 동작을 위한 소비전력을 가질 수 있다. 여기서, 제1 기본전력은 제1 트랙(200)에 대응하여 기본적으로 할당된 OHT들과 추가적으로 할당된 OHT들에 대응하는 소비전력들을 합산한 전력일 수 있다.

이어, OCS(600)는 제1 트랙(200)에 OHT가 추가적으로 할당되는지의 여부를 체크한다(단계 S104).

단계 S104에서 제1 트랙(200)에 OHT가 추가적으로 할당되지 않은 것으로 체크되면, OCS(600)는 단계 S102에서 산출된 제1 기본전력을 이용하여 제1 트랙(200)에 기본적으로 할당된 OHT들을 구동하도록 전원공급장치(100)의 동작을 제어한다(단계 S106).

단계 S104에서 제1 트랙(200)에 OHT가 추가적으로 할당되는 것으로 체크되면, OCS(600)는 제1 트랙(200)에 기본 및 추가적으로 할당된 OHT들의 제1 갱신전력을 산출한다(단계 S108).

OCS(600)는 제1 트랙(200)의 제1 갱신전력이 제1 트랙(200)의 제1 정격전력보다 큰지의 여부를 체크한다(단계 S110).

단계 S110에서 제1 트랙(200)의 제1 갱신전력이 제1 트랙(200)의 제1 정격전력보다 크지 않은 것으로 체크되면, OCS(600)는 제1 갱신전력을 이용하여 제1 트랙(200)에 기본 및 추가적으로 할당된 OHT들을 구동하도록 전원공급장치(100)의 동작을 제어한다(단계 S112).

단계 S106에 이어, 또는 단계 S112에 이어, OCS(600)는 제2 트랙(300)에 기본적으로 할당된 OHT별 적업을 확인한다(단계 S114).

이어, OCS(600)는 제2 트랙(300)에 대응하는 OHT들의 제2 기본전력을 산출한다(단계 S116). OHT 각각은 대기 동작을 위한 소비전력, 가속 동작을 위한 소비전력, 주행 동작을 위한 소비전력, 이적재 동작을 위한 소비전력을 가질 수 있다. 여기서, 제2 기본전력은 제2 트랙(300)에 대응하여 기본적으로 할당된 OHT들과 추가적으로 할당된 OHT들에 대응하는 소비전력들을 합산한 전력일 수 있다.

이어, OCS(600)는 제2 트랙(300)에 OHT가 추가적으로 할당되는지의 여부를 체크한다(단계 S118).

단계 S118에서 제2 트랙(300)에 OHT가 추가적으로 할당되지 않은 것으로 체크되면, OCS(600)는 단계 S116에서 산출된 제2 기본전력을 이용하여 제2 트랙(300)에 기본적으로 할당된 OHT들을 구동하도록 전원공급장치(100)의 동작을 제어한다(단계 S120).

단계 S118에서 제2 트랙(300)에 OHT가 추가적으로 할당되는 것으로 체크되면, OCS(600)는 제2 트랙(300)에 기본 및 추가적으로 할당된 OHT들의 제2 갱신전력을 산출한다(단계 S122).

단계 S122에 이어, OCS(600)는 제2 트랙(300)의 제2 갱신전력이 제2 트랙(300)의 제2 정격전력보다 큰지의 여부를 체크한다(단계 S124).

단계 S124에서 제2 트랙(300)의 제2 갱신전력이 제2 트랙(300)의 제2 정격전력보다 크지 않은 것으로 체크되면, OCS(600)는 제2 갱신전력을 이용하여 제2 트랙(300)에 기본 및 추가적으로 할당된 OHT들을 구동하도록 전원공급장치(100)의 동작을 제어한다(단계 S126).

OCS(600)는 제2 트랙(300)의 가용 가능한 제2 잔여전력이 존재하는지의 여부를 체크한다(단계 S130).

제2 트랙(300)의 가용 가능한 제2 잔여전력이 존재하는 것으로 체크되면, OCS(600)는 제2 잔여전력을 제1 트랙(200)에 분배하여 제1 트랙(200)의 제1 갱신전력을 생성한다(단계 S132).

OCS(600)는 제1 트랙(200)의 제1 갱신전력이 제1 트랙(200)의 제1 정격전력보다 큰지의 여부를 체크한다(단계 S134).

제1 트랙(200)의 제1 갱신전력이 제1 트랙(200)의 제1 정격전력보다 큰 것으로 체크되면, OCS(600)는 제1 갱신전력을 이용하여 제1 트랙(200)에 기본 및 추가적으로 할당된 OHT들을 구동 제어한 후 단계 S100으로 피드백한다(단계 S136).

제2 트랙(300)의 가용 가능한 제2 잔여전력이 존재하지 않은 것으로 체크되거나, 제1 트랙(200)의 제1 갱신전력이 제1 트랙(200)의 제1 정격전력보다 크지 않은 것으로 체크되면, OCS(600)는 제2 트랙(300)의 가용 가능한 제2 잔여전력이 없음을 통보하고 OHT 동작의 락 처리를 요청한 후 단계 S100으로 피드백한다(단계 S138).

단계 S124에서 제2 트랙(300)의 제2 갱신전력이 제2 트랙(300)의 제2 정격전력보다 큰 것으로 체크되면, OCS(600)는 제1 트랙(200)의 가용 가능한 제1 잔여전력이 존재하는지의 여부를 체크한다(단계 S140).

단계 S140에서 제1 트랙(200)의 가용 가능한 제1 잔여전력이 존재하는 것으로 체크되면, OCS(600)는 제1 잔여전력을 제2 트랙(300)에 분배하여 제2 트랙(300)의 제2 갱신전력을 생성한다(단계 S142).

단계 S142에 이어, OCS(600)는 제2 트랙(300)의 제2 갱신전력이 제2 트랙(300)의 제2 정격전력보다 큰지의 여부를 체크한다(단계 S144).

단계 S144에서 제2 트랙(300)의 제2 갱신전력이 제2 트랙(300)의 제2 정격전력보다 큰 것으로 체크되면, OCS(600)는 제2 갱신전력을 이용하여 제2 트랙(300)에 기본 및 추가적으로 할당된 OHT들을 구동 제어한 후 단계 S100으로 피드백한다(단계 S146).

단계 S140에서 제1 트랙(200)의 가용 가능한 제1 잔여전력이 존재하지 않은 것으로 체크되거나, 제2 트랙(300)의 제2 갱신전력이 제2 트랙(300)의 제2 정격전력보다 크지 않은 것으로 체크되면, OCS(600)는 제1 트랙(200)의 가용 가능한 제1 잔여전력이 없음을 통보하고 OHT 동작의 락 처리를 요청한 후 단계 S100으로 피드백한다(단계 S150).

이상에서 설명된 바와 같이, 본 발명은 OHT의 실제 소비전력을 OCS를 통해 예측 및 계산하여 OHT 주행경로를 할당하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 전원공급장치에 대응하여 트랙 1개에 할당되는 OHT의 가용대수를 유동적으로 조절할 수 있고, 가용대수의 제한 현상을 극복하여 불필요한 OHT의 우회주행을 제외하여 반송효율을 증대시킬 수 있다. 또한 전력 부족으로 인한 OHT 정체 발생시 다중 구성의 이웃한 트랙의 잔여전력을 사용하여 전력이 부족한 트랙의 전력을 효율적으로 사용할 수 있다.

이상에서는 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

100 : 전원공급장치 200 : 제1 트랙
300 : 제2 트랙 400 : 제1 OHT부
500 : 제2 OHT부 600 : OCS

Claims

전원을 공급하는 전원공급장치;
천장에 설치된 제1 트랙;
천장에 설치된 제2 트랙;
상기 제1 트랙에 할당된 복수의 오버헤드 호이스트 이송장치(Overhead Hoist Transport, 이하 OHT)들을 포함하고, 상기 제1 트랙을 따라 이동하면서 전자 부품을 다수 탑재 가능한 탑재 기구를 상기 전자 부품을 제조하기 위한 설비들 사이에서 이송하는 제1 OHT부;
상기 제2 트랙에 할당된 복수의 OHT 장치들을 포함하고, 상기 제2 트랙을 따라 이동하면서 전자 부품을 다수 탑재 가능한 탑재 기구를 상기 전자 부품을 제조하기 위한 설비들 사이에서 이송하는 제2 OHT부; 및
상기 전원공급장치에서 상기 제1 OHT부 및 상기 제2 OHT부 각각에 공급되는 전력을 제어하되, 상기 제1 OHT부의 동작 제어를 위한 전력과 상기 제1 OHT부의 동작 제어를 위한 전력을 공유하도록 제어하는 OHT 제어 시스템(OHT Control System; 이하 OCS)를 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 주행경로 할당 시스템.
제1항에 있어서, 상기 OCS는, 상기 제1 OHT부의 작동을 위한 제1 기본전력을 예측 및 계산하고, 상기 제1 기본전력이 상기 제1 OHT부의 작동을 위한 제1 정격전력보다 크면 상기 제2 OHT부의 가용 가능한 제2 잔여전력을 상기 제1 OHT부에 분배하여 상기 제1 OHT부의 주행경로를 할당하는 것을 특징으로 하는 OHT 주행경로 할당 시스템.
제1항에 있어서, 상기 OCS는, 상기 제2 OHT부의 작동을 위한 제2 기본전력을 예측 및 계산하고, 상기 제2 기본전력이 상기 제2 OHT부의 작동을 위한 제2 정격전력보다 크면 상기 제1 OHT부의 가용 가능한 제1 잔여전력을 상기 제2 OHT부에 분배하여 상기 제2 OHT부의 주행경로를 할당하는 것을 특징으로 하는 OHT 주행경로 할당 시스템.
제1 트랙에 대응하여 할당된 오버헤드 호이스트 이송장치(Overhead Hoist Transport, 이하 OHT)들과 제2 트랙에 대응하여 할당된 OHT들을 구동 제어하는 OHT 주행경로 할당 방법에서,
(a) 상기 제1 트랙에 대응하여 할당된 OHT들을 구동 제어하되, 상기 제1 트랙에 할당된 OHT들을 구동하기 위한 전력이 상기 제1 트랙에 대응하는 정격전력보다 작은 경우, 상기 제2 트랙에 할당된 OHT들을 구동하기 위한 전력 중 잔여전력을 상기 제1 트랙에 분배하는 단계; 및
(b) 상기 제2 트랙에 대응하여 할당된 OHT들을 구동 제어하되, 상기 제2 트랙에 할당된 OHT들을 구동하기 위한 전력이 상기 제2 트랙에 대응하는 정격전력보다 작은 경우, 상기 제1 트랙에 할당된 OHT들을 구동하기 위한 전력 중 잔여전력을 상기 제2 트랙에 분배하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 주행경로 할당 방법.
제4항에 있어서, 상기 단계(a)는,
(a-1) 상기 제1 트랙에 기본 할당된 OHT 별 작업을 확인하는 단계;
(a-2) 상기 제1 트랙에 대응하는 OHT들의 제1 기본전력을 산출하는 단계;
(a-3) 상기 제1 트랙에 OHT가 추가 할당되지 않은 경우 상기 제1 기본전력을 이용하여 상기 제1 트랙에 기본 할당된 OHT들을 구동 제어하는 단계;
(a-4) 상기 제1 트랙에 OHT가 추가 할당되는 경우 상기 제1 트랙에 기본 할당 및 추가 할당된 OHT들의 제1 갱신전력을 산출하는 단계; 및
(a-5) 상기 제1 갱신전력이 상기 제1 트랙의 제1 정격전력보다 크지 않은 경우 상기 제1 갱신전력을 이용하여 상기 제1 트랙에 기본 할당 및 추가 할당된 OHT들을 구동 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 주행경로 할당 방법.
제5항에 있어서, 상기 단계(a)는,
(a-6) 상기 제1 갱신전력이 상기 제1 정격전력보다 큰 경우 상기 제2 트랙의 가용 가능한 제2 잔여전력의 존재 여부를 체크하는 단계;
(a-7) 단계(a-6)에서 상기 제2 잔여전력이 존재하는 것으로 체크되면, 상기 제2 잔여전력을 상기 제1 트랙에 분배하여 상기 제1 트랙의 제1 합산전력을 생성하는 단계;
(a-8) 상기 제1 합산전력이 상기 제1 정격전력보다 큰지의 여부를 체크하는 단계;
(a-9) 단계(a-8)에서 상기 제1 합산전력이 상기 제1 정격전력보다 큰 것으로 체크되면, 상기 제1 합산전력을 이용하여 상기 제1 트랙에 기본 할당 및 추가 할당된 OHT들을 구동 제어하는 단계; 및
(a-10) 단계(a-6)에서 상기 제2 잔여전력이 존재하지 않은 것으로 체크되거나 단계(a-8)에서 상기 제1 합산전력이 상기 제1 정격전력보다 크지 않은 것으로 체크되면, 상기 제2 트랙의 가용 가능한 제2 잔여전력이 없음을 통보하고 OHT 동작을 락 요청하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 주행경로 할당 방법.
제4항에 있어서, 상기 단계(b)는,
(b-1) 상기 제2 트랙에 기본 할당된 OHT 별 작업을 확인하는 단계;
(b-2) 상기 제2 트랙에 대응하는 OHT들의 제2 기본전력을 산출하는 단계;
(b-3) 상기 제2 트랙에 OHT가 추가 할당되지 않은 경우 상기 제2 기본전력을 이용하여 상기 제1 트랙에 기본 할당된 OHT들을 구동 제어하는 단계;
(b-4) 상기 제2 트랙에 OHT가 추가 할당되는 경우 상기 제2 트랙에 기본 할당 및 추가 할당된 OHT들의 제2 갱신전력을 산출하는 단계; 및
(b-5) 상기 제2 갱신전력이 상기 제2 트랙의 제1 정격전력보다 크지 않은 경우 상기 제2 갱신전력을 이용하여 제2 트랙에 기본 할당 및 추가 할당된 OHT들을 구동 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 주행경로 할당 방법.
제7항에 있어서, 상기 단계(b)는,
(b-6) 상기 제2 갱신전력이 상기 제2 정격전력보다 큰 경우 상기 제1 트랙의 가용 가능한 제1 잔여전력의 존재 여부를 체크하는 단계;
(b-7) 단계(b-6)에서 상기 제1 잔여전력이 존재하는 것으로 체크되면, 상기 제1 잔여전력을 상기 제2 트랙에 분배하여 상기 제2 트랙의 제2 합산전력을 생성하는 단계;
(b-8) 상기 제2 합산전력이 상기 제2 정격전력보다 큰지의 여부를 체크하는 단계;
(b-9) 단계(b-8)에서 상기 제2 합산전력이 상기 제2 정격전력보다 큰 것으로 체크되면, 상기 제2 합산전력을 이용하여 상기 제2 트랙에 기본 할당 및 추가 할당된 OHT들을 구동 제어하는 단계; 및
(b-10) 단계(b-6)에서 상기 제1 잔여전력이 존재하지 않은 것으로 체크되거나 단계(b-8)에서 상기 제2 합산전력이 상기 제2 정격전력보다 크지 않은 것으로 체크되면, 상기 제1 트랙의 가용 가능한 제1 잔여전력이 없음을 통보하고 OHT 동작을 락 요청하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 주행경로 할당 방법.
제4항에 있어서, 상기 단계(a)와 상기 단계(b)는 동시에 수행되는 것을 특징으로 하는 OHT 주행경로 할당 방법.