KR20230099558A - 조향 어셈블리 및 이를 포함하는 주행 장치 - Google Patents

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신윤성
장보순
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세메스 주식회사
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Abstract

조향 어셈블리는 주행 대차의 경로 변경시 조향 레일과 접촉하도록 구비되는 것으로써, 조향휠과 가이드 레일을 포함하도록 이루어질 수 있다. 그리고 상기 조향휠은 상기 조향 레일의 양측면에 접촉하여 주행할 수 있게 두 개가 서로 마주하여 상기 조향 레일을 통과하는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 상기 가이드 레일은 상기 두 개의 조향휠이 배치되는 방향과 동일한 방향을 따라 연장되는 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 상기 조향휠이 상기 조향 레일을 통과하도록 위치시킬 수 있거나 또는 상기 조향 레일을 벗어나도록 위치시킬 수 있게 상기 조향휠의 위치를 가이드하도록 구비될 수 있다.

Description

조향 어셈블리 및 이를 포함하는 주행 장치{STEERING ASSEMBLY AND TRANSFERRING APPARATUS HAVING THE SAME}
본 발명은 조향 어셈블리 및 이를 포함하는 주행 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에서 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 이송시키도록 구비되는 조향 어셈블리 및 이를 포함하는 주행 장치에 관한 것이다.
반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에서는 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품에 대한 이송 공정이 빈번하게 이루어지고 있는데, 최근에는 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에서도 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품에 대한 이송 공정이 빈번하게 이루어지고 있다.
언급한 이송 공정은 주로 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 구비되는 OHT(overhaed hoist transport) 등과 같은 주행 장치를 사용함에 의해 이루어질 수 있다.
OHT 등과 같은 주행 장치는 물품을 적재하는 주행 대차가 주행 경로를 제공하는 주행 레일을 따라 주행하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.
그리고 주행 레일은 서로 분기되는 경로를 갖도록 구비될 수 있고, 이에 주행 대차가 주행하는 주행 경로를 변경시킬 수 있게 이송 장치는 조향 레일, 조향 어셈블리 등을 더 포함하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.
조향 어셈블리는 주행 대차의 상부에 전방 및 후방 각각에 조향 레일과 나란한 방향을 따라 두 개가 한 쌍을 이루는 구조를 갖도록 구비되는 조향휠, 및 두 개의 조향휠이 배치되는 방향과 수직한 방향을 따라 연장됨과 아울러 조향휠의 위치를 가이드하도록 구비되는 가이드 레일 등으로 이루어질 수 있다.
이에, 종래에는 주행 대차의 경로 변경시 가이드 레일의 일면만을 따라 4 개의 조향휠이 접촉하는 구조이기 때문에 보다 정밀한 조향을 요구할 뿐만 아니라 경로 변경을 위한 주행 중 많은 흔들림이 발생할 수 있을 것이고, 특히 경로 변경이 급격하게 이루어질 경우 적어도 두 번에 걸쳐 조향이 이루어지기 때문에 언급한 흔들림 및 소음이 보다 심각하게 발생할 수 있을 것이다.
한국등록특허 10-2207873호
본 발명의 일 목적은 주행 대차의 경로 변경을 보다 용이하게 수행할 수 있을 뿐만 아니라 흔들림 및 소음 발생을 최소화할 수 있는 조향 어셈블리를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 주행 대차의 경로 변경을 보다 용이하게 수행할 수 있을 뿐만 아니라 흔들림 및 소음 발생을 최소화할 수 있는 조향 어셈블리를 포함하는 이송 장치를 제공하는데 있다.
상기 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 어셈블리는 주행 대차의 경로 변경시 조향 레일과 접촉하도록 구비되는 것으로써, 조향휠과 가이드 레일을 포함하도록 이루어질 수 있다. 그리고 상기 조향휠은 상기 조향 레일의 양측면에 접촉하여 주행할 수 있게 두 개가 서로 마주하여 상기 조향 레일을 통과하는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 상기 가이드 레일은 상기 두 개의 조향휠이 배치되는 방향과 동일한 방향을 따라 연장되는 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 상기 조향휠이 상기 조향 레일을 통과하도록 위치시킬 수 있거나 또는 상기 조향 레일을 벗어나도록 위치시킬 수 있게 상기 조향휠의 위치를 가이드하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 조향휠은 두 개가 상기 조향 레일의 양측면에 접촉할 수 있는 간격을 갖도록 마주하게 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 가이드 레일은 LM 가이드로 이루어질 수 있다.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치는 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에서 상기 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 이송하기 위한 것으로써, 상기 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 주행 경로를 제공하도록 구비되는 주행 레일과, 상기 주행 레일을 따라 주행하도록 구비되는 주행 대차와, 상기 주행 대차가 주행하는 주행 경로를 변경시키도록 구비되는 조향 레일과, 상기 주행 대차의 주행 경로 변경시 상기 조향 레일과 접촉하도록 구비되는 조향 어셈블리를 포함하도록 이루어질 수 있다. 그리고 상기 조향 어셈블리는 조향휠과 가이드 레일을 포함하고, 상기 조향휠은 상기 조향 레일의 양측면에 접촉하여 주행할 수 있게 두 개가 서로 마주하여 상기 조향 레일을 통과하는 구조를 갖도록 구비되고, 상기 가이드 레일은 상기 두 개의 조향휠이 배치되는 방향과 동일한 방향을 따라 연장되는 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 상기 조향휠이 상기 조향 레일을 통과하도록 위치시킬 수 있거나 또는 상기 조향 레일을 벗어나도록 위치시킬 수 있게 상기 조향휠의 위치를 가이드하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 조향휠은 두 개가 상기 조향 레일의 양측면에 접촉할 수 있는 간격을 갖도록 마주하게 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 가이드 레일은 LM 가이드로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 조향 레일은 상기 주행 레일보다 상부 쪽에 배치되도록 구비되고, 상기 조향 어셈블리는 상기 주행 대차의 상부 쪽에 배치되도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 조향 레일은 서로 끊어지는 부분없이 연속해서 연장되는 라인 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 어셈블리 및 이송 장치는 두 개가 서로 마주하여 조향 레일을 통과하는 구조를 갖는 조향휠을 구비함에 의해 주행 대차의 조향에 따른 흔들림 및 소음 발생을 최소화할 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 어셈블리 및 이송 장치는 주행 대차의 조향을 보다 안정적으로 수행할 수 있을 것이고, 그 결과 집적회로 소자의 제조에 따른 물품에 대한 이송 공정을 보다 안정적으로 수행할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 어셈블리 및 이송 장치는 집적회로 소자의 제조에 따른 물품에 대한 이송 공정을 보다 안정적으로 수행함으로써 집적회로 소자의 제조에 따른 공정 안정성의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 어셈블리를 포함하는 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 어셈블리를 포함하는 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)는 집적회로 소자, 즉 반도체 소자, 디스플레이 소자 등의 제조에 사용되는 물품, 예를 들면 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 다수매 적재, 수납하는 풉(FOUP), 포스비(FOSB) 등을 이송하는 이송 공정에 사용하기 위한 것으로써, 그 예로서는 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 구비되는 OHT(overhaed hoist transport) 등일 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)는 주행 레일(11), 주행 대차(13), 조향 레일(15), 조향 어셈블리(17) 등을 포함하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.
주행 대차(13)는 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 탑재하여 주행하도록 구비되는 것으로써, 물품을 탑재할 수 있는 탑재부(25), 주행 레일(11)을 따라 주행할 수 있는 주행휠(23) 등을 포함하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있고, 도시하지는 않았지만 주행휠(23)을 구동시키기 위한 구동 모터 등과 같은 구동 부재를 더 포함하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.
주행 레일(11)은 집적회로 소자의 제조 라인에서의 천장 쪽에 배치되도록 구비되는 것으로써, 주행 대차(13)의 주행에 따른 주행 경로를 제공하도록 구비될 수 있다.
조향 레일(15)은 주행 대차(13)의 주행 경로를 변경시키도록 구비되는 것으로써, 주행 레일(11)보다 상부에 배치되게 구비될 수 있고, 주행 레일(11) 사이에서 곡선 경로를 따라 일정 길이를 갖도록 구비될 수 있고, 후술하는 조향휠(19)과 접촉하도록 구비될 수 있다.
조향 어셈블리(17)는 주행 대차(13)의 주행 경로의 변경시 주행 대차(13)가 조향 레일(15)을 따라 주행할 수 있게 구비될 수 있는 것으로써, 조향휠(19), 가이드 레일(21) 등을 포함하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
조향휠(19)은 조향 레일(15)의 양측면에 접촉하여 주행할 수 있게 두 개가 서로 마주하여 조향 레일(15)을 통과하는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 주행 대차(13)의 주행 방향을 y 방향이라 할 때 두 개의 조향휠(19)은 x 방향을 따라 서로 마주하게 구비될 수 있다.
언급한 바와 같이, 조향휠(19)은 마주하는 두 개가 조향 레일(15)을 통과하는 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 두 개가 조향 레일(15)을 통과할 때 조향 레일(15)의 양측면에 접촉하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
조향휠(19)은 조향 레일(15)을 통과할 때 마주하는 두 개가 조향 레일(15)의 양측면에 접촉하는 구조를 갖도록 구비될 수 잇기 때문에 마주하는 두 개가 조향 레일(15)의 양측면에 접촉할 수 있는 간격을 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 조향 레일(15)이 규격화되어 있을 경우에는 마주하는 두 개의 조향휠(19)에 대한 간격은 초기 세팅에 의해 조정될 수 있을 것이고, 이와 달리 조향 레일(15)의 규격화되어 있지 않을 경우에는 가이드 레일(21)을 따라 두 개의 조향휠(19)의 간격을 좁히도록 하거나 또는 넓히도록 함에 의해 조정될 수 있을 것이다.
본 발명에서의 조향휠(19)은 두 개 중 어느 하나가 가이드 레일(21)을 따라 움직이거나 또는 두 개 모두가 가이드 레일(21)을 따라 움직이는 구조를 갖도록 구비될 수도 있을 것이다.
가이드 레일(21)은 두 개가 마주하게 구비되는 조향휠(19)이 배치되는 방향과 동일한 방향을 따라 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 언급한 바와 같이 조향휠(19)이 x 방향을 따라 마주하게 구비될 수 있기 때문에 가이드 레일(21) 또한 x 방향을 따라 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
가이드 레일(21)은 조향휠(19)의 위치를 가이드하도록 구비될 수 있는 것으로써, 조향휠(19)이 조향 레일(15)을 통과하도록 위치시킬 수 있게 가이드하도록 구비되거나 또는 조향휠(19)이 조향 레일(15)을 벗어나도록 위치시킬 수 있게 가이드하도록 구비될 수 있을 것이다.
즉, 가이드 레일(21)은 주행 대차(13)의 주행 경로를 변경시킬 때에는 서로 마주하는 두 개의 조향휠(19)이 조향 레일(15)을 통과할 수 있는 위치로 가이드하도록 구비될 수 있거나 또는 주행 대차(13)가 경로에 대한 변경 없이 주행 경로를 계속해서 주행할 때에는 서로 마주하는 두 개의 조향휠(19)이 조향 레일(15)을 벗어날 수 있은 위치로 가이드하도록 구비될 수 있을 것이다.
또한 언급한 바와 같이, 가이드 레일(21)은 서로 마주하는 두 개의 조향휠(19)의 간격을 조정할 수 있게 구비될 수도 있을 것이다.
이와 같이, 가이드 레일(21)은 서로 마주하는 두 개의 조향휠(19)의 움직임에 대한 경로, 즉 서로 마주하는 두 개의 조향휠(19)을 x 방향을 따라 움직이도록 할 수 있는 것으로써, x 방향으로의 직선 경로를 제공할 수 있는 LM 가이드로 이루어질 수 있을 것이다.
그리고 언급한 바와 같이, 조향 레일(15)이 주행 레일(11)보다 상부 쪽에 배치되도록 구비될 수 있기에, 조향휠(19) 및 가이드 레일(21)로 이루어지는 조향 어셈블리(17)의 경우에도 주행 대차(13)의 상부 쪽에 배치되도록 구비될 수 있을 것이다.
조향 어셈블리(17)는 주행 대차(13)의 상부에 전방 및 후방 각각에 배치되도록 구비될 수 있는 것으로써, 하나의 주행 대차(13)에 두 개의 조향 어셈블리(17)가 구비될 수 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)는 경로 변경시 조향휠(19)이 조향 레일(15)의 양측면에 접촉하도록 이루어질 수 있는 것으로써, 조향에 따른 경로 변경시 주행의 안정성을 도모할 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)는 주행 대차(13)의 조향에 따른 흔들림 및 소음 발생을 최소화할 수 있을 것이다.
또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)는 경로 변경시 조향휠(19)이 조향 레일(15)의 양측면에 접촉하는 구조를 갖기 때문에 조향 레일(15)의 경우에도 서로 끊어지는 부분, 즉 분기되는 부분없이 연속해서 연장되는 라인 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 이송 장치(100)는 경로 변경이 급격한 구간에도 원하는 곡률 반경을 갖도록 휘어질 수 있게 조향 레일(15)을 구비할 수 있기 때문에 경로 변경시 조향 어셈블리(17)와의 접촉에 기인한 흔들림 및 소음의 발생을 충분하게 감소시킬 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 어셈블리 및 이송 장치는 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 다수매 수납하는 풉, 포스비 등을 이송하는 이송 공정에 사용할 수 있기에, 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 주행 레일 13 : 주행 대차
15 : 조향 레일 17 : 조향 어셈블리
19 : 조향휠 21 : 가이드 레일
23 : 주행휠 25 : 탑재부
100 : 이송 장치

Claims (8)

  1. 주행 대차의 경로 변경시 조향 레일과 접촉하도록 구비되는 조향 어셈블리에 있어서,
    상기 조향 어셈블리는 조향휠과 가이드 레일을 포함하되,
    상기 조향휠은 상기 조향 레일의 양측면에 접촉하여 주행할 수 있게 두 개가 서로 마주하여 상기 조향 레일을 통과하는 구조를 갖도록 구비되고,
    상기 가이드 레일은 상기 두 개의 조향휠이 배치되는 방향과 동일한 방향을 따라 연장되는 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 상기 조향휠이 상기 조향 레일을 통과하도록 위치시킬 수 있거나 또는 상기 조향 레일을 벗어나도록 위치시킬 수 있게 상기 조향휠의 위치를 가이드하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 조향 어셈블리.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 조향휠은 두 개가 상기 조향 레일의 양측면에 접촉할 수 있는 간격을 갖도록 마주하게 구비되는 것을 특징으로 하는 조향 어셈블리.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 가이드 레일은 LM 가이드로 이루어지는 것을 특징으로 하는 조향 어셈블리.
  4. 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에서 상기 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 이송하기 위한 이송 장치에 있어서,
    상기 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 주행 경로를 제공하도록 구비되는 주행 레일;
    상기 주행 레일을 따라 주행하도록 구비되는 주행 대차;
    상기 주행 대차가 주행하는 주행 경로를 변경시키도록 구비되는 조향 레일;
    상기 주행 대차의 주행 경로 변경시 상기 조향 레일과 접촉하도록 구비되는 조향 어셈블리를 포함하되,
    상기 조향 어셈블리는 조향휠과 가이드 레일을 포함하고, 상기 조향휠은 상기 조향 레일의 양측면에 접촉하여 주행할 수 있게 두 개가 서로 마주하여 상기 조향 레일을 통과하는 구조를 갖도록 구비되고, 상기 가이드 레일은 상기 두 개의 조향휠이 배치되는 방향과 동일한 방향을 따라 연장되는 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 상기 조향휠이 상기 조향 레일을 통과하도록 위치시킬 수 있거나 또는 상기 조향 레일을 벗어나도록 위치시킬 수 있게 상기 조향휠의 위치를 가이드하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 조향휠은 두 개가 상기 조향 레일의 양측면에 접촉할 수 있는 간격을 갖도록 마주하게 구비되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 가이드 레일은 LM 가이드로 이루어지는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  7. 제4 항에 있어서,
    상기 조향 레일은 상기 주행 레일보다 상부 쪽에 배치되도록 구비되고, 상기 조향 어셈블리는 상기 주행 대차의 상부 쪽에 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  8. 제4 항에 있어서,
    상기 조향 레일은 서로 끊어지는 부분없이 연속해서 연장되는 라인 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
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