KR20230049509A - 주행 장치 - Google Patents

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이성호
이준호
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세메스 주식회사
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Abstract

주행 장치는 주행 대차, 주행 경로부, 및 충격 감소부를 포함하는 것으로써, 상기 주행 대차는 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에서 상기 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 탑재하여 주행하되, 주행 휠 및 상기 주행 휠보다 작은 직경을 가지면서 상기 주행 휠의 외측으로 돌출되는 보조 휠로 이루어지는 주행부를 구비할 수 있고, 상기 주행 경로부는 상기 주행 휠이 접촉 회전할 수 있는 레일 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 상기 주행 대차가 직선 주행하는 직선 경로 및 곡선 주행하는 곡선 경로를 제공하도록 구비되되, 상기 곡선 경로에는 상기 보조 휠이 접촉 회전할 수 있게 상기 주행 휠이 접촉 회전하는 주행 레일로부터 돌출되는 보조 레일이 형성되도록 구비될 수 있고, 상기 충격 감소부는 상기 주행 대차가 상기 곡선 경로를 주행할 때 상기 보조 휠과 상기 보조 레일이 접촉함에 의해 상기 보조 휠에 가해지는 충격을 감소시킬 수 있게 상기 보조 레일에 구비될 수 있다.

Description

주행 장치{TRANSFERRING APPARATUS}
본 발명은 주행 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에서 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 이송시키기 위한 주행 장치에 관한 것이다.
반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에서는 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품에 대한 이송 공정이 빈번하게 이루어지고 있는데, 최근에는 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에서도 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품에 대한 이송 공정이 이루어지고 있다.
언급한 이송 공정은 주로 집직회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 구비되는 OHT(overhaed hoist transport)를 사용함에 의해 이루어질 수 있다.
그리고 OHT에는 주행 대차가 주행할 수 있는 레일 구조를 갖는 주행 경로부가 구비될 수 있고, 주행 경로부는 주로 주행 대차가 직선 주행하는 직선 경로 및 곡선 주행하는 곡선 경로를 제공하도록 구비될 수 있고, 특히 곡선 경로에는 보조 휠이 접촉 회전할 수 있게 주행 휠이 접촉 회전하는 주행 레일로부터 돌출되는 보조 레일이 형성될 수 있다.
그런데 주행 대차의 곡선 경로 주행시 보조 휠과 보조 레일이 접촉하는 상황이 발생하는데, 이에 따른 접촉 마찰로 인하여 보조 휠, 보조 레일이 마모되는 상황이 발생할 수 있을 것이고, 나아가 다량의 파티클이 발생할 수도 있을 것이다.
한국공개특허 10-2021-0113467호
본 발명의 일 목적은 주행 대차가 곡선 경로를 주행할 때 보조 레일과 보조 휠이 접촉함에 의해 보조 레일과 보조 휠에 가해지는 충격을 충분하게 감소시킬 수 있는 주행 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 주행 대차가 직선 경로로부터 분기되는 곡선 경로를 주행할 때 보조 레일과 보조 휠이 접촉함에 의해 보조 레일과 보조 휠에 가해지는 충격을 충분하게 감소시킬 수 있는 주행 장치를 제공하는데 있다.
상기 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치는 주행 대차, 주행 경로부, 및 충격 감소부를 포함하는 것으로써, 상기 주행 대차는 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에서 상기 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 탑재하여 주행하되, 주행 휠 및 상기 주행 휠보다 작은 직경을 가지면서 상기 주행 휠의 외측으로 돌출되는 보조 휠로 이루어지는 주행부를 구비할 수 있고, 상기 주행 경로부는 상기 주행 휠이 접촉 회전할 수 있는 레일 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 상기 주행 대차가 직선 주행하는 직선 경로 및 곡선 주행하는 곡선 경로를 제공하도록 구비되되, 상기 곡선 경로에는 상기 보조 휠이 접촉 회전할 수 있게 상기 주행 휠이 접촉 회전하는 주행 레일로부터 돌출되는 보조 레일이 형성되도록 구비될 수 있고, 상기 충격 감소부는 상기 주행 대차가 상기 곡선 경로를 주행할 때 상기 보조 휠과 상기 보조 레일이 접촉함에 의해 상기 보조 휠에 가해지는 충격을 감소시킬 수 있게 상기 보조 레일에 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 충격 감소부는 상기 주행 대차가 진입함에 따라 상기 보조 휠과 접촉하는 상기 보조 레일의 선단부에 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 충격 감소부는 상기 주행 대차의 진입시 상기 보조 휠과 마주할 수 있게 상기 보조 레일의 선단부에 일면이 노출되게 삽입되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 충격 감소부는 상기 주행 대차가 진출함에 따라 상기 보조 휠이 벗어나는 상기 보조 레일의 후단부에 더 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 충격 감소부는 우레탄 재질로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 곡선 경로가 곡률 중심으로부터 곡률 반지름이 짧은 부분의 내측 레일 및 긴 부분의 외측 레일로 이루어질 때, 상기 보조 레일 및 상기 충격 감소부는 상기 내측 레일에 구비될 수 있다.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치는 주행 대차, 주행 경로부, 조향부, 및 충격 감소부를 포함하는 것으로써, 상기 주행 대차는 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에서 상기 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 탑재하여 주행하되, 주행 휠 및 상기 주행 휠보다 작은 직경을 가지면서 상기 주행 휠의 외측으로 돌출되는 보조 휠로 이루어지는 주행부를 구비할 수 있고, 상기 주행 경로부는 상기 주행 휠이 접촉 회전할 수 있는 레일 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 상기 주행 대차가 직선 주행하는 직선 경로 및 곡선 주행하는 곡선 경로를 제공하도록 구비되되, 상기 곡선 경로는 상기 직선 경로부터 분기되면서 상기 보조 휠이 접촉 회전할 수 있게 상기 주행 휠이 접촉 회전하는 주행 레일로부터 돌출되는 보조 레일이 형성되도록 이루어질 수 있고, 상기 조향부는 상기 주행 대차가 상기 직선 경로를 따라 주행하거나 또는 상기 곡선 경로를 따라 주행할 수 있게 상기 주행 대차의 주행 방향을 변경시키도록 구비될 수 있고, 상기 충격 감소부는 상기 주행 대차가 상기 직선 경로를 주행하다가 상기 조향부에 의해 상기 곡선 경로를 주행할 때 상기 보조 휠과 상기 보조 레일이 접촉함에 의해 상기 보조 휠에 가해지는 충격을 감소시킬 수 있게 상기 보조 레일에 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 충격 감소부는 상기 주행 대차가 진입함에 따라 상기 보조 휠과 접촉하는 상기 보조 레일의 선단부에 구비되되, 우레탄 재질로 이루어지면서 상기 주행 대차의 진입시 상기 보조 휠과 마주할 수 있게 상기 보조 레일의 선단부에 일면이 노출되게 삽입되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 충격 감소부는 상기 주행 대차가 진출함에 따라 상기 보조 휠이 벗어나는 상기 보조 레일의 후단부에 더 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 곡선 경로가 곡률 중심으로부터 곡률 반지름이 짧은 부분의 내측 레일 및 긴 부분의 외측 레일로 이루어질 때, 상기 보조 레일 및 상기 충격 감소부는 상기 내측 레일에 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치는 주행 대차가 곡선 경로를 주행할 때 보조 레일과 보조 휠의 접촉시 보조 레일과 보조 휠에 가해지는 충격을 충분하게 감소시킬 수 있기 때문에 접촉 마찰로 인한 보조 휠, 보조 레일이 마모되는 상황이 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라 파티클의 발생 또한 충분하게 감소시킬 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 에시적인 실시예들에 따른 주행 장치는 보조 휠, 보조 레일의 마모 감소를 통하여 유지보수에 따른 효율성의 향상을 꾀할 수 있을 뿐만 아니라 파티클의 발생 감소를 통하여 집적회로 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상까지도 꾀할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1의 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치에 구비되는 충격 감소부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이고, 도 2는 도 1의 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치에 구비되는 충격 감소부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)는 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조시 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품, 예를 들면 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 다수매 수납하는 풉(FOUP) 등과 같은 수납 용기를 이송하는 이송 공정에 사용하기 위한 것으로써, 집직회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 구비되는 OHT(overhaed hoist transport) 등일 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)는 주행 대차(11), 주행 경로부(21) 등을 포함하도록 이루어질 수 있고, 더욱이 본 발명에서는 충격 감소부(33) 등을 더 포함하도록 이루어질 수 있다.
주행 대차(11)는 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 탑재하여 주행하도록 구비되는 것으로써, 물품을 탑재할 수 있는 탑재부(13), 주행 경로부(21)를 따라 주행할 수 있는 주행부(15)를 포함하도록 이루어지 수 있는데, 주행부(15)는 주행 휠(17) 및 보조 휠(19)로 이루어질 수 있다.
그리도 도시하지는 않았지만, 주행 대차(11)는 주행부(15)에서의 주행 휠(17), 보조 휠(19) 등을 구동시키기 위한 부재인 구동 모터 등을 더 포함하도록 이루어질 수 있다.
특히, 보조 휠(19)은 주행 대차(11)가 주행 경로부(21) 중에서 후술하는 곡선 경로(25)를 주행할 때 곡선 경로(25)를 안정적으로 주행할 수 있게 보조 레일(31)을 따라 주행하도록 구비될 수 있는 것으로써, 주행 휠(17)과 동일 중심축을 갖도록 구비되되, 주행 휠(17)보다 작은 직경을 갖도록 구비됨과 아울러 주행 휠(17)의 외측으로 돌출되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
주행 경로부(21)는 주행 대차(11)에 대한 주로, 즉 주행 경로를 제공하도록 구비될 수 있는 것으로써, 주행 휠(17)이 접촉 회전함에 의해 주행 대차(11)가 주행 경로를 따라 주행할 수 있게 레일 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
주행 경로부(21)는 주행 대차(11)가 직선 주행하는 직선 경로(23), 주행 대차(11)가 곡선 주행하는 곡선 경로(25) 등 다양한 형태의 경로를 갖도록 구비될 수 있고, 더욱이 언급한 직선 경로(23)와 곡선 경로(25)가 서로 연결되거나, 분기되는 구성을 갖도록 구비될 수 있다.
여기서, 주행 경로부(21)에서의 레일 구조는 두 개가 나란하게 구비될 수 있고, 직선 경로(23)는 직선 레일을 갖도록 구비될 수 있고, 곡선 경로(25)는 곡선 레일을 갖도록 구비될 수 있다.
그리고 곡선 경로(25)는 곡률 중심으로부터 곡률 반지름이 짧은 부분의 내측 레일(27) 및 긴 부분의 외측 레일(29)로 이루어질 수 있는데, 이와 같이 곡선 경로(25)가 서로 다른 곡률 반지름을 갖는 내측 레일(27) 및 외측 레일(29)로 이루어지기 때문에 곡선 경로(25)에서는 주행 대차(11)의 주행에 따른 움직임이 다소 불안정할 수 있을 것이다.
이에, 곡선 경로(25)에는 보조 레일(31)이 형성될 수 있는데, 언급한 보조 레일(31)은 보조 휠(19)이 접촉 회전할 수 있게 주행 휠(17)이 접촉 회전하는 주행 레일로부터 돌출되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
따라서 주행 대차(11)는 직선 경로(23) 및 곡선 경로(25) 모두에서 주행 휠(17)을 사용하여 주행할 수 있을 것이고, 다만 보조 레일(31)이 형성되는 곡선 경로(25)의 내측 레일(27)에서는 주행 휠(17)과 함께 보조 휠(19)을 사용하여 주행할 수 있을 것이다.
주행 대차(11)의 곡선 경로(25) 주행시 보조 휠(19)과 보조 레일(31)이 접촉함에 의해 보조 휠(19)에는 충격이 가해질 수 있는데, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)는 언급한 보조 휠(19)과 보조 레일(31)이 접촉함에 의해 보조 휠(19)에 가해지는 충격을 감소시킬 수 있도록 구비될 수 있다.
충격 감소부(33)는 주행 대차(11)가 곡선 경로(25)를 주행할 때 보조 휠(19)과 보조 레일(31)이 접촉함에 의해 보조 휠(19)에 가해지는 충격을 감소시킬 수 있게 보조 레일(31)에 구비될 수 있는 것으로써, 주행 대차(11)가 진입함에 따라 보조 휠(19)과 접촉하는 보조 레일(31)의 선단부에 구비될 수 있고, 또한 주행 대차(11)가 진출함에 따라 보조 휠(19)이 벗어나는 보조 레일(31)의 후단부에 더 구비될 수도 있다.
충격 감소부(33)가 보조 레일(31)의 선단부 및 후단부 모두에 구비될 수 있는데, 이는 주행 대차(11)가 반대 방향으로 주행할 수 있기 때문이고, 아울러 주행 대차(11)가 후진할 수도 있기 때문이다.
따라서 언급한 보조 레일(31)의 선단부 및 후단부는 주행 대차(11)가 일방으로 주행하는 주행 경로에 근거하여 구분할 뿐 양방으로 주행하는 주행 경로에 근거할 경우에는 선단부가 후단부로 그리고 후단부가 선단부로도 구비될 수 있을 것이다.
그리고 충격 감소부(33)는 보조 휠(19)과 보조 레일(31)이 접촉함에 의해 가해지는 충격을 감소시키면 되기 때문에 보조 레일(31) 전체에 걸쳐서 구비될 필요는 없을 것이다.
이에, 충격 감소부(33)는 주행 대차(11)의 진입시 보조 휠(19)과 마주할 수 있게 보조 레일(31)의 선단부에 일면이 노출되게 삽입되는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 언급한 바에 따르면 보조 레일(31)의 후단부에 일면이 노출되게 삽입되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
보조 레일(31)의 선단부 및 후단부 각각에 일면이 노출되게 삽입되는 구조는 보조 레일(31)의 선단부 및 후단부 각각의 측단면을 터널 구조를 갖도록 일정 깊이로 파내어 그 부분에 우레탄 재질을 갖는 물질을 채워 넣음에 의해 형성할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)는 주행 대차(11)가 곡선 경로(25)를 주행할 때 보조 레일(31)과 보조 휠(19)의 접촉시 보조 레일(31)과 보조 휠(19)에 가해지는 충격을 충분하게 감소시킬 수 있을 것이고, 그 결과 접촉 마찰로 인한 보조 휠(19), 보조 레일(31)이 마모되는 상황, 파티클의 발생되는 상황 등을 충분하게 감소시킬 수 있을 것이다.
그리고 언급한 바와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)에서의 주행 경로부(21)는 직선 경로(23) 및 곡선 경로(25)를 가질 뿐만 아니라 이들이 다양한 형태로 연결되는 경로를 갖도록 구비될 수 있는데, 이하에서는 직선 경로(23)로부터 분기되는 곡선 경로(25)에서의 보조 레일(31)에 충격 감소부(33)가 구비되는 구성에 대하여 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)는 곡선 경로(25)가 분기되는 구성 그리고 조향부(35)를 구비하는 구성을 제외하고는 도 1과 실질적으로 동일 구성일 수 있고, 이에 동일 구성에 대해서는 동일 부호를 사용하고, 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.
먼저, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)에서의 조향부(35)는 주행 대차(11)가 직선 경로(23)를 따라 주행하거나 또는 곡선 경로(25)를 따라 주행할 수 있게 주행 대차(11)의 주행 방향을 변경시키도록 구비될 수 있는 것으로써, 조향 휠(37), 가이드(39), 조향 레일(41) 등으로 이루어질 수 있다.
언급한 조향 휠(37)과 가이드(39)는 주행 대차(11)에 배치되게 구비될 수 있는데, 조향 휠(37)은 주행 대차(11)가 주행하는 방향과 수직 방향인 가이드(39)의 길이 방향을 따라 위치를 변경할 수 있게 구비될 수 있고, 조향 레일(41)은 주행 경로부(21)의 직선 경로(23)와 곡선 경로(25) 사이에 배치되게 구비될 수 있다.
이에, 조향 휠(37)이 가이드(39)를 따라 곡선 경로(25)의 내측 레일(27) 쪽에 위치할 경우에는 조향 휠(37)이 조향 레일(41)을 따라 주행할 수 있을 것이고, 그 결과 주행 대차(11)는 곡선 경로(25) 쪽으로 주행할 수 있을 것이다.
이와 달리, 조향 휠(37)이 언급한 곡선 경로(25)의 내측 레일(27)과 반대편 쪽에 위치할 경우에는 조향 휠(37)은 조향 레일(41)로부터 벗어날 수 있을 것이고, 그 결과 주행 대차(11)는 직선 경로(23) 쪽으로 주행할 수 있을 것이다.
여기서, 주행 대차(11)가 직선 경로(23)로부터 분기되어 곡선 경로(25) 쪽으로 주행할 경우 보조 휠(19)과 보조 레일(31)이 서로 접촉함에 따라 보조 횔에 충격이 가해질 수 있다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)는 보조 휠(19)과 접촉할 수 있는 보조 레일(31)에 언급한 충격 감소부(33)를 구비시킴으로써 보조 휠(19)에 가해지는 충격을 감소시킬 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(100)는 주행 경로부(21)가 다양한 형태로 연결되는 경로를 갖도록 구비되어도 곡선 경로(25)에서의 보조 레일(31)에 충격 감소부(33)를 구비시킴으로써 보조 휠(19)에 가해지는 충격으로부터 안정적인 주행을 달성할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치는 적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 다수매 수납하는 풉 등과 같은 수납 용기를 이송하는 이송 공정에 사용할 수 있기에, 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 주행 대차 17 : 주행 휠
19 : 보조 휠 21 : 주행 경로부
23 : 직선 경로 25 : 곡선 경로
31 : 보조 레일 33 : 충격 감소부
35 : 조향부 100 : 주행 장치

Claims (10)

  1. 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에서 상기 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 탑재하여 주행하되, 주행 휠 및 상기 주행 휠보다 작은 직경을 가지면서 상기 주행 휠의 외측으로 돌출되는 보조 휠로 이루어지는 주행부를 구비하는 주행 대차;
    상기 주행 휠이 접촉 회전할 수 있는 레일 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 상기 주행 대차가 직선 주행하는 직선 경로 및 곡선 주행하는 곡선 경로를 제공하도록 구비되되, 상기 곡선 경로에는 상기 보조 휠이 접촉 회전할 수 있게 상기 주행 휠이 접촉 회전하는 주행 레일로부터 돌출되는 보조 레일이 형성되는 주행 경로부; 및
    상기 주행 대차가 상기 곡선 경로를 주행할 때 상기 보조 휠과 상기 보조 레일이 접촉함에 의해 상기 보조 휠에 가해지는 충격을 감소시킬 수 있게 상기 보조 레일에 구비되는 충격 감소부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주행 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 충격 감소부는 상기 주행 대차가 진입함에 따라 상기 보조 휠과 접촉하는 상기 보조 레일의 선단부에 구비되는 것을 특징으로 하는 주행 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 충격 감소부는 상기 주행 대차의 진입시 상기 보조 휠과 마주할 수 있게 상기 보조 레일의 선단부에 일면이 노출되게 삽입되는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 주행 장치.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 충격 감소부는 상기 주행 대차가 진출함에 따라 상기 보조 휠이 벗어나는 상기 보조 레일의 후단부에 더 구비되는 것을 특징으로 하는 주행 장치.
  5. 제2 항에 있어서,
    상기 충격 감소부는 우레탄 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 주행 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 곡선 경로가 곡률 중심으로부터 곡률 반지름이 짧은 부분의 내측 레일 및 긴 부분의 외측 레일로 이루어질 때, 상기 보조 레일 및 상기 충격 감소부는 상기 내측 레일에 구비되는 것을 특징으로 하는 주행 장치.
  7. 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에서 상기 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 탑재하여 주행하되, 주행 휠 및 상기 주행 휠보다 작은 직경을 가지면서 상기 주행 휠의 외측으로 돌출되는 보조 휠로 이루어지는 주행부를 구비하는 주행 대차;
    상기 주행 휠이 접촉 회전할 수 있는 레일 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 상기 주행 대차가 직선 주행하는 직선 경로 및 곡선 주행하는 곡선 경로를 제공하도록 구비되되, 상기 곡선 경로는 상기 직선 경로부터 분기되면서 상기 보조 휠이 접촉 회전할 수 있게 상기 주행 휠이 접촉 회전하는 주행 레일로부터 돌출되는 보조 레일이 형성되도록 이루어지는 주행 경로부;
    상기 주행 대차가 상기 직선 경로를 따라 주행하거나 또는 상기 곡선 경로를 따라 주행할 수 있게 상기 주행 대차의 주행 방향을 변경시키도록 구비되는 조향부; 및
    상기 주행 대차가 상기 직선 경로를 주행하다가 상기 조향부에 의해 상기 곡선 경로를 주행할 때 상기 보조 휠과 상기 보조 레일이 접촉함에 의해 상기 보조 휠에 가해지는 충격을 감소시킬 수 있게 상기 보조 레일에 구비되는 충격 감소부를 포함하는 것을 특징으로 하는 주행 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 충격 감소부는 상기 주행 대차가 진입함에 따라 상기 보조 휠과 접촉하는 상기 보조 레일의 선단부에 구비되되, 우레탄 재질로 이루어지면서 상기 주행 대차의 진입시 상기 보조 휠과 마주할 수 있게 상기 보조 레일의 선단부에 일면이 노출되게 삽입되는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 주행 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 충격 감소부는 상기 주행 대차가 진출함에 따라 상기 보조 휠이 벗어나는 상기 보조 레일의 후단부에 더 구비되는 것을 특징으로 하는 주행 장치.
  10. 제7 항에 있어서,
    상기 곡선 경로가 곡률 중심으로부터 곡률 반지름이 짧은 부분의 내측 레일 및 긴 부분의 외측 레일로 이루어질 때, 상기 보조 레일 및 상기 충격 감소부는 상기 내측 레일에 구비되는 것을 특징으로 하는 주행 장치.
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