KR20230088187A - 적층형 압전소자 - Google Patents

Abstract

본 발명은 적층형 압전소자와 관련된다. 본 발명은 실시예로, 압전세라믹 소결체로 이루어지는 제1압전체, 상기 제1압전체와 동일한 압전세라믹 소결체로 이루어지는 제2압전체, 상기 제1압전체와 상기 제2압전체 사이에 개재되도록 형성되고 상기 제1압전체와 제2압전체를 결합시키는 접착층 및 상기 제1압전체와 상기 제2압전체에서 외부로 드러난 표면에 형성되는 전극을 포함하는 적층형 압전소자를 제시한다.

Description

적층형 압전소자{Stacked piezoelectric element}

본 발명은 압전소자에 관한 것으로서, 상세하게는 압전소자를 적층시켜 형성한 적층형 압전소자와 관련된다.

일반적으로 압전소자는 진동이 가해졌을 때 전압이 발생하고, 전압이 가해졌을 때 기계적인 변형이 일어나는 소자로서 기계적인 진동에너지를 전기에너지로, 전기에너지를 기계적인 진동에너지로 상호 변환이 가능하며 변환효율이 매우 높은 소자로 알려져 있다.

이에 따라 압전소자는, 진동을 전기적인 에너지로 변환할 수 있는 원리를 이용하여 가속도센서 등으로 이용되거나 전기적인 에너지를 가청영역의 소리로 상호 변환할 수 있는 원리를 이용하여 레코드 디스크의 픽 업, 마이크로 폰, 스피커, 버저 등의 소자로 이용된다.

최근에는, 전자 기기의 슬림화 및 박형화와 휴대성에 대한 수요자의 요구가 증가하고 있다. 이에 따라, 스마트폰이나 박형 디스플레이 장치, 휴대용 컴퓨터, 자동차의 오디오 등에 적용하는 스피커 또한 그 크기나 두께가 소형화될 것이 요구되고 있다.

이를 만족시키기 위해서, 기존의 보이스 코일 모터형 스피커에 비해 얇고 가벼우며 소비전력이 적고 응답속도가 상대적으로 우수한 압전스피커를 채용하는 경향이 커지고 있다.

하지만, 압전스피커는 기존 보이스 코일 모터형 스피커 대비 음압 성능의 저하가 발생하여 상용화하기 어려움이 있었으며, 이를 해결하는 한 방법으로서 적층형 압전소자의 형태로 사용하여 압전성능의 향상을 도모하고 있다.

적층형 압전소자는 압전세라믹에 전극을 형성하고 전극이 형성된 상태의 압전세라믹을 적층 후 열처리하여 제작하는 것이 일반적이다. 이때 전극은 접합재의 역할을 하게 된다. 하지만 이 경우 다수의 전극이 필요하게 되고 공정도 복잡해 지므로 이에 대한 고려가 필요하다.

대한민국 공개특허공보 제10-2005-0073000호 (2005.07.13.)

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 압전세라믹 소결체로 이루어진 복수의 압전소재를 접착층을 개재하여 서로 접합하고 양 표면에 전극을 형성하여 적층형 압전소자를 구성함으로써 단순화된 공정으로 제조가 가능한 적층형 압전소자를 제시한다.

그 외 본 발명의 세부적인 목적은 이하에 기재되는 구체적인 내용을 통하여 이 기술분야의 전문가나 연구자에게 자명하게 파악되고 이해될 것이다.

위 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 본 발명은 실시예로, 압전세라믹 소결체로 이루어지는 제1압전체, 상기 제1압전체와 동일한 압전세라믹 소결체로 이루어지는 제2압전체, 상기 제1압전체와 상기 제2압전체 사이에 개재되도록 형성되고 상기 제1압전체와 제2압전체를 결합시키는 접착층 및 상기 제1압전체와 상기 제2압전체에서 외부로 드러난 표면에 형성되는 전극을 포함하는 적층형 압전소자를 제시한다.

이때 상기 접착층은, 에폭시, 우레탄, UV경화형, 전동성 접착제 중 적어도 어느 하나로 이루어질 수 있고, 주제와 경화제가 혼합되어 이루어지는 접착제일 수 있다.

한편 상기 접착층은 양면테이프로 형성될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 적층형 압전소자에 따르면 압전세라믹 소결체로 이루어진 복수의 압전소재를 접착층을 개재하여 서로 접합함으로써 단순화된 공정으로 제조가 가능하고 사용시에도 변형 없이 진동 변위를 증대시킬 수 있다.

그 외 본 발명의 효과들은 이하에 기재되는 구체적인 내용을 통하여, 또는 본 발명을 실시하는 과정 중에 이 기술분야의 전문가나 연구자에게 자명하게 파악되고 이해될 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 압전소자를 나타내는 도면.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 압전소자의 접착층의 두께 측정 지점을 나타내는 도면.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 압전소자에서 접착층의 종류와 두께에 따른 음압을 측정하여 비교한 그래프.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 압전소자에서 접착층의 종류와 두께에 따른 음압을 측정하여 비교한 그래프.
도 5는 본 발명 실시예에 따른 압전소자에서 접착층의 고점도와 저점도에 따른 음압을 측정하여 비교한 그래프.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예를 예시하고 상세하게 설명하고자 한다.

그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함 한다. 본 출원에서의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 적층형 압전소자에 대하여 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 적층형 압전소자를 나타내는 도면이다.

본 발명의 실시예에 따른 적층형 압전소자는, 제1압전체, 제2압전체, 접착층및 전극을 포함한다.

제1압전체는 압전세라믹 소결체로 이루어진다. 압전세라믹의 성분으로는 알려진 각종 압전세라믹 성분을 사용할 수 있다.

제1압전체는 압전세라믹 소결체로 이루어진다. 압전세라믹의 성분으로는 알려진 각종 압전세라믹 성분을 사용할 수 있다. 한편 제2압전체는 제1압전체와 동일한 종류의 재료로 이루어진 것이 바람직하다.

이와 같이 제1압전체와 제2압전체는 압전 특성이 동일한 것을 사용할 수 있으며, PbO를 기반으로 제작된 PZT 압전체, NKN, BNT계열의 무연압전 세라믹을 적용할 수 있다.

한편 제1압전체와 제2압전체는 필름 형태로 형성된 것일 수 있다. 이 경우 압전소자의 접합시 파손 위험을 최소화할 수 있다.

접착층은 제1압전체와 제2압전체 사이에 개재되어 제1압전체와 제2압전체를 결합시킨다.

이에 따라 접착층은 제1압전체와 제2압전체를 일체화시켜 하나의 압전체로서 기능하게 한다. 또한 접착층은 제1압전체와 제2압전체가 견고하게 결합될 수 있도록 하는 기능을 수행한다. 접착층은 에폭시 접착제, 우레탄 접착제, UV경화형 접착제, 전동성 접착제를 이용하여 형성할 수도 있고 양면 접합 테이프를 이용하여 형성할 수도 있다.

이 중 접착제는 접착제 주제만을 사용할 수도 있지만 접착제 주제에 경화제를 혼합하여 사용할 수도 있다. 이때 주제와 경화제 비율은 변경될 수 있으며 주제의 비율이 경화제의 비율에 비해 같거나 더 높은 것이 바람직하다.

접착제의 점도는 200cps~20000cps의 범위에서 다양하게 채택할 수 있고, 경도는 60~90(Shore A)으로 다양하게 사용할 수 있다. 또한 경화시간 역시 5min~24hr의 범위에서 다양하게 할 수 있다.

접착제로 접착층을 형성하기 위하여 접착제를 압전소자의 단수 또는 복수의 지점에 일정량 떨어뜨린 후 롤러를 왕복시켜 압전소자의 전 영역에 골고루 도포할 수 있다.

한편 접착 테이프는 PET 테이프 유형이나 핫 멜트(Hot Melt) 테이프 유형일 수 있다. 이때 접착 테이프의 점착력은 180도 박리실험(Peel TEST)에서 PET기준으로 300~500 gf/25mm가 되도록 함이 바람직하다.

이와 같이 접착층은 복수의 압전체를 겹겹이 쌓아주는 구조로 만들어 준다. 적층 형태는 2개 레이어가 될 수도 있고 그 이상이 될 수도 있다. 또한 제1압전체와 제2압전체에는 보호필름이 코팅되어 있을 수도 있다.

전극은 압전체에 전기를 인가하여 압전체의 진동을 발생시키거나 압전체에서 발생한 진동에 따라 생성되는 전기가 이동하는 통로가 된다. 전극으로는 Ag, Cu 등 알려진 전극소재가 사용될 수 있다.

한편 전극은 제1압전체의 하측과 제2압전체의 상측에 각각 형성된다. 즉 제1압전체, 접착층, 제2압전체로 일체화되어 이루어진 적층된 압전체의 외부로 드러나는 양 측면에 각각 형성된다.

이와 같이 소결체로 이루어진 복수의 압전체를 접착층을 개재하여 서로 접합하고 외부로 드러나는 양 측면에 전극을 형성하여 압전소자를 구성함에 따라 간단한 공정으로 압전소자를 제작할 수 있고 사용시에도 큰 변형이 없이 진동 변위를 증대시킬 수 있다.

이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 적층형 압전소자의 제조방법에 대하여 설명한다.

본 발명에 따른 적층형 압전소자의 제조방법은, 제1압전체를 작업대에 위치시키고, 제1압전체에 접착층을 형성하고, 접착층 위에 제2압전체를 놓고 양 압전소자를 접합하는 방식으로 진행된다. 이하 각 단계에 대하여 구체적으로 살펴본다.

먼저 제1압전체를 작업대 위에 위치시킨다. 제1압전체는 클램프 등의 고정 기구에 의해 고정된다.

이어서 제1압전체 위에 접착층을 형성한다. 이를 위해 제1압전체의 일정 지점에 접착제를 낙하시키고 롤러를 왕복시켜 접착제가 제1압전체의 전 영역에 고르게 도포될 수 있도록 할 수 있다.

이어서 제1압전체와 제2압전체를 접합시킨다. 접착층이 형성된 위로 제2압전체를 올려놓고 가압하여 제1압전체와 제2압전체가 접합되도록 한다.

이어서 접착제를 경화시킨다. 제2압전체를 제1압전체에 대해 가압한 상태에서 열을 가해 경화시킨다. 이때 경화시간은 1시간 이내로 함이 바람직하다. 한편 상온에서 경화시키는 경우 경화시간은 40~60시간 정도로 할 수 있다.

이와 같이 형성된 적층 소결체의 표면에 외부전극을 만들고 분극하여 압전소자를 제작할 수 있다.

구체적으로 적층 소결체의 상하면에 전극의 역할을 위하여 Ag 페이스트를 도포한다. 페이스트의 두께는 5㎛ 정도로 할 수 있다. 도포된 Ag 페이스트는 건조 후, 600℃이상에서 소성될 수 있다.

또한 제6단계에서는 전극이 형성된 압전소자 소결체에 압전성능을 부여하기 위하여 분극을 진행한다. 분극은 실리콘 오일에서 DC 2kV/㎜를 5분 동안 인가하여 수행할 수 있다.

이러한 과정을 거쳐 적층형 압전소자를 제작할 수 있다.

다음으로 본 발명의 일 실시예에 따른 압전소자를 제조하는 실시예에 대하여 상세하게 설명한다. 하기 실시예는 본 발명의 한 형태를 예시하는 것에 불과할 뿐이며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 의해 제한되는 것은 아니다.

[실시예 1]

제1압전체를 작업대 위에 위치시키고 클램프에 의해 고정하였다. 이어서 제1압전체의 중앙에 주제(에폭시 접착제) 50, 경화제 50 비율로 희석된 에폭시 접착제를 0.52g(그램) 낙하시켰다. 이어서 붓이 장착된 롤러를 1회 왕복하여 접착제를 제1압전체의 상측면에 골고루 도포하였다. 이후 도포면에 제2압전체를 올려놓고 가압하여 제1압전체와 제2압전체를 접합시켰다. 가압상태를 유지하면서 상온에서 40시간 동안 접착제를 경화시킴으로써 2층으로 이루어진 적층형 압전체를 완성한 후 양 표면에 전극을 형성하고 분극하여 압전소자를 완성하였다.

[실시예 2]

제1압전체를 작업대 위에 위치시키고 클램프에 의해 고정하였다. 이어서 이어서 제1압전체의 중앙에 주제(에폭시 접착제) 50, 경화제 50 비율로 희석된 에폭시 접착제를 0.70g 낙하시켰다. 이어서 스퀴지가 장착된 롤러를 1회 왕복하여 접착제를 제1압전체의 상측면에 골고루 도포하였다. 이후 도포면에 제2압전체를 올려놓고 가압하여 제1압전체와 제2압전체를 접합시켰다. 가압상태를 유지하면서 상온에서 40시간 동안 접착제를 경화시킴으로써 2층으로 이루어진 적층형 압전체를 완성한 후 양 표면에 전극을 형성하고 분극하여 압전소자를 완성하였다.

[실시예 3]

PET 양면 테이프가 부착된 제1압전체를 작업대 위에 위치시키고 클램프에 의해 고정하였다. 양면 테이프 상측의 이형지를 제거하고 그 위에 제2압전체를 올려놓은 후 가압하여 제1압전체와 제2압전체를 접합시켰다. 가압상태를 10분 동안 유지한 후 해제하여 2층으로 이루어진 적층형 압전체를 완성한 후 양 표면에 전극을 형성하고 분극하여 압전소자를 완성하였다.

[실시예 4]

제1압전체를 작업대 위에 위치시키고 클램프에 의해 고정하였다. 이어서 제1압전체의 중앙에 주제(에폭시 접착제) 50, 경화제 50 비율로 희석된 에폭시 접착제를 1.0g 낙하시켰다. 어어서 이어서 붓이 장착된 롤러를 1회 왕복하여 접착제를 제1압전체의 상측면에 골고루 도포하였다. 이후 도포면에 제2압전체를 올려놓고 가압하여 제1압전체와 제2압전체를 접합시켰다. 가압상태를 유지하면서 상온에서 40시간 동안 접착제를 경화시킴으로써 2층으로 이루어진 적층형 압전체를 완성한 후 양 표면에 전극을 형성하고 분극하여 압전소자를 완성하였다.

[실시예 5]

제1압전체를 작업대 위에 위치시키고 클램프에 의해 고정하였다. 이어서 제1압전체의 중앙에 주제(에폭시 접착제) 50, 경화제 50 비율로 희석된 에폭시 접착제를 2.0g 낙하시켰다. 이어서 붓이 장착된 롤러를 1회 왕복하여 접착제를 제1압전체의 상측면에 골고루 도포하였다. 이후 도포면에 제2압전체를 올려놓고 가압하여 제1압전체와 제2압전체를 접합시켰다. 가압상태를 유지하면서 상온에서 40시간 동안 접착제를 경화시킴으로써 2층으로 이루어진 적층형 압전체를 완성한 후 양 표면에 전극을 형성하고 분극하여 압전소자를 완성하였다.

[실시예 6]

PET 양면 테이프가 부착된 제1압전체를 작업대 위에 위치시키고 클램프에 의해 고정하였다. 양면 테이프 상측의 이형지를 제거하고 그 위에 제2압전체를 올려놓은 후 가압하여 제1압전체와 제2압전체를 접합시켰다. 가압상태를 5분 동안 유지한 후 해제하여 2층으로 이루어진 적층형 압전체를 완성한 후 양 표면에 전극을 형성하고 분극하여 압전소자를 완성하였다.

[실시예 7]

제1압전체를 작업대 위에 위치시키고 클램프에 의해 고정하였다. 이어서 제1압전체의 중앙에 주제(에폭시 접착제) 100, 경화제 100 비율로 희석된 에폭시 접착제를 2.0g 낙하시켰다. 이어서 붓이 장착된 롤러를 1회 왕복하여 접착제를 제1압전체의 상측면에 골고루 도포하였다. 이후 도포면에 제2압전체를 올려놓고 가압하여 제1압전체와 제2압전체를 접합시켰다. 가압상태를 유지하면서 상온에서 40시간 동안 접착제를 경화시킴으로써 2층으로 이루어진 적층형 압전체를 완성한 후 양 표면에 전극을 형성하고 분극하여 압전소자를 완성하였다.

[실시예 8]

제1압전체를 작업대 위에 위치시키고 클램프에 의해 고정하였다. 이어서 제1압전체의 중앙에 주제(에폭시 접착제) 100, 경화제 50 비율로 희석된 에폭시 접착제를 2.0g 낙하시켰다. 이어서 붓이 장착된 롤러를 1회 왕복하여 접착제를 제1압전체의 상측면에 골고루 도포하였다. 이후 도포면에 제2압전체를 올려놓고 가압하여 제1압전체와 제2압전체를 접합시켰다. 가압상태를 유지하면서 상온에서 40시간 동안 접착제를 경화시킴으로써 2층으로 이루어진 적층형 압전체를 완성한 후 양 표면에 전극을 형성하고 분극하여 압전소자를 완성하였다.

위와 같이 제조된 압전소자에 형성된 접착층에 대하여 두께측정장치를 이용하여 두께를 측정하고 음압측정기를 사용하여 5Vrms, d=30cm, 20Hz~20kHz Sine Sweep, 1/3 Octave smoothing 조건에서 압전소자의 음압을 측정하였다.

[평가예 1]

실시예 1, 실시예 2 및 실시예 3의 방법에 의해 제조된 압전소자의 접착층의 두께를 도 2에 도시된 바와 같이 압전소자의 테두리를 따라 14개 지점을 설정하고 각각 측정한 다음 측정 결과를 표 1에 나타내었다. 또한 이들 압전소자의 음압을 측정하여 도 3에 도시하였다.

측정포인트	P1	P2	P3	P4	P5	P6	P7	P8	P9	P10	P11	P12	P13	P14	평균(㎛)
실시예 1	19	13	7	20	6	8	7	14	16	7	6	9	7	10	10.6
실시예 2	12	11	1	9	5	5	2	17	8	0	6	1	3	9	6.3
실시예 3	0	2	1	1	2	4	4	1	4	3	1	2	0	0	1.79

표 1과 도 3으로부터 실시예 1과 실시예 2의 경우 접착층의 전체적인 평균 두께도 차이가 있고 각 지점의 도포 두께도 편차가 있기는 하지만 음압은 서로 동등한 수준이며 안정적임을 확인하였다. 다만 양면 테이프를 채용한 실시예 3의 경우는 평균두께가 더 작지만 음압은 더 높은 편임을 확인하였다.

[평가예 2]

실시예 4, 실시예 5 및 실시예 6의 방법에 의해 제조된 압전소자의 접착층의 두께를 도 2에 도시된 바와 같이 압전소자의 테두리를 따라 14개 지점을 설정하고 각각 측정한 다음 측정 결과를 표 2에 나타내었다. 또한 이들 압전소자의 음압을 측정하여 도 4에 도시하였다.

측정포인트	P1	P2	P3	P4	P5	P6	P7	P8	P9	P10	P11	P12	P13	P14	평균(㎛)
실시예 4	52	65	66	57	75	61	30	57	66	57	57	57	83	66	60.6
실시예 5	63	48	81	78	69	62	96	75	83	90	92	85	82	72	76.9
실시예 6	0	2	2	0	0	0	0	7	6	3	4	2	4	4	2.4

표 1과 도 3으로부터 실시예 4 내지 실시예 6의 경우 접착층의 전체적인 평균 두께도 차이가 있고 각 지점의 도포 두께도 편차가 있기는 하지만 음압은 서로 동등한 수준이며 안정적임을 확인하였다. 또한 실시예 1, 실시예 2와 비교하였을 때 도포량이 일정량 이상으로 증가(실시예 4는 1g, 실시예 5는 2g)하면 양면 테이프를 채용한 경우와 동등한 수준으로 음압이 상승하는 점을 확인하였다.

[평가예 3]

실시예 7와 실시예 8에 사용된 접착제의 물성을 측정하여 표 3에 나타내고 이들 실시예의 방법에 의해 제조된 압전소자의 음압을 측정하여 도 5에 도시하였다.

구분항목	실시예 7		실시예 8
구성	주제	경화제	주제	경화제
혼합비	100%	100%	100%	50%
점도	15,000±3,000cps		450±100cps
경도	85±3		85±3
경화 시작 시간	18min		60min
가사 시간	10min		45min

실시예 7과 실시예 8은 접착제를 주제와 경화제로 구성한 예이다 도 5로부터 접착층을 경화제를 이용하여 점도를 달리하여 구성하여도 음압은 서로 동등한 수준이며 안정적임을 확인하였다.

이와 같이 압전세라믹 소결체로 이루어진 복수의 압전소재를 접착층을 개재하여 서로 접합하고 양 표면에 전극을 형성하여 적층형 압전소자를 구성하는 경우 단순화된 공정으로 제조가 가능하고 음압 특성도 우수함을 확인하였다. 특히 양면 테이프를 사용하는 경우 접착층의 두께를 적게 하여도 음압 특성이 우수하여 컴팩트한 압전소자를 얻을 수 있다.

상술한 본 발명의 특정한 설명은 당업자에 의하여 다양하게 실시될 가능성이 있는 것이 자명한 일이다.

이와 같이 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 이와 같이 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위 내에 속한다고 할 것이다.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

1 : 제1압전체 2 : 제2압전체 3 : 접착층 4 : 전극
10 : 적층형 압전소자

Claims (4)

1. 압전세라믹 소결체로 이루어지는 제1압전체,
   상기 제1압전체와 동일한 압전세라믹 소결체로 이루어지는 제2압전체,
   상기 제1압전체와 상기 제2압전체 사이에 개재되도록 형성되고 상기 제1압전체와 제2압전체를 결합시키는 접착층 및
   상기 제1압전체와 상기 제2압전체에서 외부로 드러난 표면에 형성되는 전극
   을 포함하는 적층형 압전소자.
2. 제1항에 있어서,
   상기 접착층은, 에폭시, 우레탄, UV경화형, 전동성 접착제 중 적어도 어느 하나로 이루어지는 적층형 압전소자.
3. 제1항에 있어서,
   상기 접착층은, 주제와 경화제가 혼합되어 이루어지는 접착제인 적층형 압전소자.
4. 제1항에 있어서,
   상기 접착층은 양면테이프로 형성되는 적층형 압전소자.

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