KR20230069320A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20230069320A
KR20230069320A KR1020210155207A KR20210155207A KR20230069320A KR 20230069320 A KR20230069320 A KR 20230069320A KR 1020210155207 A KR1020210155207 A KR 1020210155207A KR 20210155207 A KR20210155207 A KR 20210155207A KR 20230069320 A KR20230069320 A KR 20230069320A
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KR
South Korea
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upper wall
processing apparatus
substrate processing
nozzle assembly
shaft
Prior art date
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KR1020210155207A
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장철민
김정곤
박민규
이희용
정은
허명수
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삼성디스플레이 주식회사
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Publication date
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Abstract

기판 처리 장치는 진공 상태를 유지 가능한 작업 공간을 갖고, 작업 공간 상에 위치하는 상부벽을 포함하는 챔버, 작업 공간 내에 위치하고, 복수의 노즐들을 포함하는 노즐 어셈블리 및 노즐 어셈블리를 승강하는 승강 모듈을 포함한다. 노즐 어셈블리는 챔버의 외부에 위치하는 프레임, 프레임을 승강 가능한 승강수단 및 상부벽을 관통하여 프레임 및 노즐 어셈블리와 각각 연결되며, 중력 방향으로 연장되는 축을 포함한다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 표시 장치의 제조 공정에 이용되는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
평판 표시 장치는 경량 및 박형 등의 특성으로 인하여, 음극선관 표시 장치를 대체하는 표시 장치로서 사용되고 있다. 이러한 평판 표시 장치의 대표적인 예로서 액정 표시 장치와 유기 발광 표시 장치가 있다.
상기 표시 장치를 제조하는데 있어서, 진공 상태에서 식각 및 증착 등의 제조 공정을 수행하는 진공 챔버가 요구된다. 한편, 상기 진공 챔버가 대형화될 경우, 상기 진공 챔버의 내부에 형성되는 진공압으로 인해 상기 진공 챔버의 외벽에 가해지는 압력이 증가하게 되어, 상기 진공 챔버가 변형되는 경향이 두드러지게 된다.
본 발명의 목적은 공정 균일도가 향상된 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
그러나, 본 발명이 상술한 목적들에 의해 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
전술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 처리 장치는 진공 상태를 유지 가능한 작업 공간을 갖고, 상기 작업 공간 상에 위치하는 상부벽을 포함하는 챔버, 상기 작업 공간 내에 위치하고, 복수의 노즐들을 포함하는 노즐 어셈블리 및 상기 챔버의 외부에 위치하는 프레임, 상기 프레임을 승강 가능한 승강수단 및 상기 상부벽을 관통하여 상기 프레임 및 상기 노즐 어셈블리와 각각 연결되며, 중력 방향으로 연장되는 축을 포함하는 승강 모듈을 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 축의 일단은 상기 상부벽 상에서 상기 프레임과 연결되고, 상기 축의 타단은 상기 작업 공간 내에서 상기 노즐 어셈블리와 연결될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 승강 모듈은, 상기 상부벽과 상기 프레임 사이에 위치하고, 상기 축을 둘러싸며 상기 축에 고정되고, 평판 형상을 갖는 제1 체결부를 더 포함하고, 상기 기판 처리 장치는, 상기 제1 체결부의 저면 및 상기 상부벽의 상면에 각각 연결되고, 상기 중력 방향으로 신축 가능한 제1 탄성체를 더 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 탄성체는 상기 축을 둘러쌀 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 축은 상기 상부벽과 분리될 수 있다.
실시예들에 있어서, 평면 상에서 볼 때, 상기 노즐 어셈블리는 전체적으로 직사각형 형상을 갖고, 상기 축은 복수로 구비되고, 상기 복수의 축들은 상기 직사각형의 꼭지점들에 각각 위치할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 탄성체는 복수로 구비되고, 상기 복수의 제1 탄성체들은 상기 직사각형의 꼭지점들에 각각 위치하며 상기 복수의 축들을 각각 둘러쌀 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 기판 처리 장치는, 상기 상부벽을 관통하여 상기 노즐 어셈블리와 연결되며, 상기 노즐 어셈블리로 가스를 공급하는 가스 공급관, 상기 상부벽 상에 위치하고, 상기 가스 공급관을 둘러싸며 상기 가스 공급관에 고정되고, 평판 형상을 갖는 제2 체결부 및 상기 제2 체결부의 저면 및 상기 상부벽의 상면에 각각 연결되고, 상기 중력 방향으로 신축 가능한 제2 탄성체를 더 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제2 탄성체는 상기 가스 공급관을 둘러쌀 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 가스 공급관은 상기 상부벽과 분리될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 기판 처리 장치는, 상기 상부벽을 관통하여 상기 노즐 어셈블리와 연결되며, 상기 노즐 어셈블리로부터 상기 챔버의 상기 외부로 가스를 배기하는 가스 배기관, 상기 상부벽 상에 위치하고, 상기 가스 배기관을 둘러싸며, 상기 가스 배기관에 고정되고, 평판 형상을 갖는 제3 체결부 및 상기 제3 체결부의 저면 및 상기 상부벽의 상면에 각각 연결되고, 상기 중력 방향으로 신축 가능한 제3 탄성체를 더 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제3 탄성체는 상기 가스 배기관을 둘러쌀 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 가스 배기관은 상기 상부벽과 분리될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 챔버는 측벽을 더 포함하고, 상기 승강수단은 상기 측벽에 의해 지지될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 기판 처리 장치는, 상기 챔버의 외부에서 상기 챔버와 인접하는 지지프레임을 더 포함하고, 상기 승강수단은 상기 지지프레임에 의해 지지될 수 있다.
전술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 처리 장치는 진공 상태를 유지 가능한 작업 공간을 갖고, 상기 작업 공간 상에 위치하는 상부벽을 포함하는 챔버, 상기 작업 공간 내에 위치하고, 복수의 노즐들을 포함하는 노즐 어셈블리, 상기 챔버의 외부에 위치하는 프레임, 상기 프레임을 승강 가능한 승강수단, 상기 상부벽을 관통하고, 상기 프레임 및 상기 노즐 어셈블리와 각각 연결되며, 중력 방향으로 연장되는 축 및 상기 상부벽과 상기 프레임 사이에 위치하고, 상기 축을 둘러싸며 상기 축에 고정되고, 평판 형상을 갖는 제1 체결부를 포함하는 승강 모듈, 상기 상부벽을 관통하여 상기 노즐 어셈블리와 연결되며, 상기 노즐 어셈블리로 가스를 공급하는 가스 공급관, 상기 상부벽 상에 위치하고, 상기 가스 공급관을 둘러싸며 상기 가스 공급관에 고정되고, 평판 형상을 갖는 제2 체결부, 상기 제1 체결부의 저면 및 상기 상부벽의 상면에 각각 연결되고, 상기 중력 방향으로 신축 가능한 제1 탄성체 및 상기 제2 체결부의 저면 및 상기 상부벽의 상면에 각각 연결되고, 상기 중력 방향으로 신축 가능한 제2 탄성체를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 축의 일단은 상기 상부벽 상에서 상기 프레임과 연결되고, 상기 축의 타단은 상기 작업 공간 내에서 상기 노즐 어셈블리와 연결될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 탄성체는 상기 축을 둘러싸고, 상기 제2 탄성체는 상기 가스 공급관을 둘러쌀 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 축 및 상기 가스 공급관 각각은 상기 상부벽과 분리될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 기판 처리 장치는 상기 상부벽을 관통하여 상기 노즐 어셈블리와 연결되며, 상기 노즐 어셈블리로부터 상기 챔버의 상기 외부로 가스를 배기하는 가스 배기관, 상기 상부벽 상에 위치하고, 상기 가스 배기관을 둘러싸며, 상기 가스 배기관에 고정되고, 평판 형상을 갖는 제3 체결부 및 상기 제3 체결부의 저면 및 상기 상부벽의 상면에 각각 연결되고, 상기 중력 방향으로 신축 가능한 제3 탄성체를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 진공압에 의해 진공 챔버의 상부벽이 변형되더라도, 상기 진공 챔버 내부의 노즐 어셈블리가 변형되지 않을 수 있다. 따라서, 상기 노즐 어셈블리 전체에서 노즐들과 기판 사이의 거리가 일정하게 유지될 수 있고, 기판 처리 공정의 균일도가 향상될 수 있다.
다만, 본 발명의 효과들이 상술한 효과들로 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 기판 처리 장치에 포함되는 승강 모듈을 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 2의 승강 모듈에 포함되는 축을 나타내는 평면도이다.
도 4는 도 1의 'A' 영역을 나타내는 확대도이다.
도 5는 도 2의 승강 모듈에 포함되는 제1 체결부를 나타내는 평면도이다.
도 6은 도 1의 기판 처리 장치에 포함되는 제2 체결부 및 제3 체결부를 나타내는 평면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 도면이다.
도 8은 도 7의 기판 처리 장치에 포함되는 승강 모듈을 나타내는 평면도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면 상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(1000)는 챔버(100), 노즐 어셈블리(200), 제1 체결부(340)를 포함하는 승강 모듈(300), 가스 공급관(410), 제2 체결부(420), 가스 배기관(510), 제3 체결부(520), 제1 탄성체(610), 제2 탄성체(620) 및 제3 탄성체(630)를 포함할 수 있다.
챔버(100)는 진공 상태를 유지 가능한 작업 공간(110)을 가질 수 있고, 상부벽(120) 및 측벽(130)을 포함할 수 있다. 작업 공간(110)은 식각 공정, 증착 공정 등 기판에 대한 다양한 처리 공정이 수행되는 공간일 수 있다.
노즐 어셈블리(200)는 작업 공간(110) 내에 위치하고, 복수의 노즐들(210)을 포함할 수 있다. 복수의 노즐들(210)은 기판(1) 상에 가스를 분사할 수 있다.
도 2는 도 1의 기판 처리 장치에 포함되는 승강 모듈을 나타내는 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 승강 모듈(300)은 프레임(310), 승강수단(320), 축(330) 및 제1 체결부(340)를 포함할 수 있고, 노즐 어셈블리(200)를 승강할 수 있다.
프레임(310)은 챔버(100)의 외부에 위치할 수 있다. 예를 들어, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 프레임(310)은 챔버(100)의 상부벽(120) 상에 위치할 수 있다.
일 실시예에서, 도 1에 도시된 바와 같이, 프레임(310)은 승강수단(320) 상에 위치할 수 있고, 승강수단(320), 축(330) 및 제1 체결부(340) 각각과 중첩할 수 있다. 또한, 프레임(310)은 평면 상에서 볼 때, 직사각형 형상을 가질 수 있다. 이에 따라, 도 2에 도시된 바와 같이, 평면 상에서 볼 때, 승강 모듈(300)은 상기 직사각형 형상을 가질 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 승강수단(320)은 프레임(310)과 연결되고, 프레임(310)을 승강할 수 있다. 예를 들어, 승강수단(320)은 챔버(100)에 고정되는 잭스크류(미도시) 및 상기 잭스크류를 구동하는 모터(미도시)를 포함하고, 상기 잭스크류(미도시)는 상기 모터(미도시)의 구동에 따라 프레임(310)을 승강할 수 있다.
일 실시예에서, 도 1에 도시된 바와 같이, 챔버(100)의 측벽(130)은 승강수단(320)을 지지할 수 있다.
도 3은 도 2의 승강 모듈에 포함되는 축을 나타내는 평면도이다.
도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면, 축(330)은 챔버(100)의 상부벽(120)을 관통할 수 있고, 중력 방향(Dg)으로 연장될 수 있다. 또한, 축(330)은 프레임(310) 및 상기 노즐 어셈블리(200)와 각각 연결될 수 있다. 예를 들어, 축(330)의 일단은 상부벽(120) 상에서 프레임(310)과 연결되고, 축(330)의 타단은 작업 공간(110) 내에서 노즐 어셈블리(200)와 연결될 수 있다. 이에 따라, 축(330)은 챔버(100)의 상기 외부에서 발생한 동력을 노즐 어셈블리(200)에 전달할 수 있다.
승강수단(320)은 프레임(310)과 연결되고, 프레임(310)을 승강할 수 있다. 또한, 축(330)은 챔버(100)의 상기 외부에서 발생한 동력을 노즐 어셈블리(200)에 전달할 수 있다. 이에 따라, 승강 모듈(300)은 노즐 어셈블리(200)를 승강할 수 있다.
일 실시예에서, 프레임(310)이 승강하는 거리는 노즐 어셈블리(200)가 승강하는 거리와 실질적으로 동일할 수 있다.
일 실시예에서, 도 3에 도시된 바와 같이, 평면 상에서 볼 때, 노즐 어셈블리(200)는 전체적으로 직사각형 형상을 가질 수 있다. 또한, 축(330)은 복수로 구비되고, 복수의 축들(330a, 330b, 330c, 330d)은 상기 직사각형의 꼭지점들에 각각 위치할 수 있다.
도 4는 도 1의 'A' 영역을 나타내는 확대도이다.
도 4를 참조하면, 축(330)은 상부벽(120)과 분리될 수 있다. 예를 들어, 축(330)은 상부벽(120)과 접촉하지 않을 수 있다. 이에 따라, 축(330)은 상부벽(120)에 고정되지 않을 수 있다. 다시 말하면, 축(330)은 상부벽(120)에 구속되지 않고, 승강수단(320)에 의한 프레임(310)의 승강에 따라 중력 방향(Dg)으로 하강하거나, 중력 방향(Dg)과 반대되는 방향으로 상승할 수 있다.
도 5는 도 2의 승강 모듈에 포함되는 제1 체결부를 나타내는 평면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 제1 체결부(340)는 상부벽(120)과 프레임(310) 사이에 위치하고, 축(330)을 둘러싸며 축(330)에 고정될 수 있다. 또한, 제1 체결부(340)는 평판 형상을 가질 수 있다. 제1 체결부(340)는 축(330)과 일체로 형성되거나, 분리되어 형성된 이후 결합될 수 있다.
일 실시예에서, 도 5에 도시된 바와 같이, 평면 상에서 볼 때, 제1 체결부(340)는 원형 형상을 가질 수 있다. 다만 본 발명은 이에 제한 되지 아니한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 제1 탄성체(610)는 제1 체결부(340)의 저면 및 상부벽(120)의 상면에 각각 연결되고, 중력 방향(Dg)으로 신축할 수 있다. 또한, 제1 탄성체(610)는 축(330)을 둘러쌀 수 있다.
일 실시예에서, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 탄성체(610)는 복수로 구비될 수 있다. 이 경우, 상기 복수의 제1 탄성체들(610a, 610b, 610c, 610d)은 도 3을 참조하여 설명한 상기 직사각형의 상기 꼭지점들에 각각 위치하며 복수의 축들(330a, 330b, 330c, 330d)을 각각 둘러쌀 수 있다.
일 실시예에서, 제1 탄성체(610)는 벨로우즈일 수 있다. 이 경우, 도 1 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 탄성체(610)는 챔버(100)의 작업 공간(110)이 상기 진공 상태를 유지하도록 챔버(100)를 밀봉할 수 있다.
작업 공간(110)이 상기 진공 상태를 유지하는 경우에 있어서, 챔버(100)는 진공압에 의해 변형될 수 있다. 예를 들어, 작업 공간(110)이 상기 진공 상태를 유지하는 경우에 있어서, 상부벽(120)은 중력 방향(Dg)으로 처짐이 발생할 수 있다. 만약, 노즐 어셈블리(200)가 상부벽(120)에 고정되거나 움직임이 구속되는 경우, 노즐 어셈블리(200)는 중력 방향(Dg)으로 처짐이 발생할 수 있다. 또한, 노즐 어셈블리(200)의 중앙의 처짐량은 노즐 어셈블리(200)의 가장자리의 처짐량과 상이할 수 있다. 이에 따라, 복수의 노즐들(210)이 기판(1) 상에 가스를 분사할 때, 기판(1)의 중앙의 특성과 기판(1)의 가장자리의 특성이 상이할 수 있다.
그러나, 본 발명의 실시예들에 의하면, 노즐 어셈블리(200)를 승강하는 승강 모듈(300)은 챔버(100)의 측벽(130)에 의해 지지되며, 노즐 어셈블리(200)와 연결되는 축(330)은 상부벽(120)으로부터 분리되어 상부벽(120)에 구속되지 않을 수 있다. 또한, 축(330)에 고정된 제1 체결부(340)와 상부벽(120)을 연결하는 제1 탄성체(610)는 중력 방향(Dg)으로 신축 가능할 수 있다. 따라서, 상기 진공압에 의해 상부벽(120)이 변형되더라도, 노즐 어셈블리(200)가 변형되지 않을 수 있다. 따라서, 노즐 어셈블리(200) 전체에서 노즐들(210)과 기판(1) 사이의 거리가 일정하게 유지될 수 있고, 기판 처리 공정의 균일도가 향상될 수 있다.
도 6은 도 1의 기판 처리 장치에 포함되는 제2 체결부 및 제3 체결부를 나타내는 평면도이다.
도 1 및 도 6을 참조하면, 가스 공급관(410)은 상부벽(120)을 관통하여 노즐 어셈블리(200)와 연결될 수 있다. 가스 공급관(410)은 노즐 어셈블리(200)에 가스를 공급할 수 있다.
제2 체결부(420)는 상부벽(120) 상에 위치하고, 가스 공급관(410)을 둘러쌀 수 있다. 제2 체결부(420)는 평판 형상을 가질 수 있다.
일 실시예에서, 도 6에 도시된 바와 같이, 평면 상에서 볼 때, 제2 체결부(420)는 직사각형 형상을 가질 수 있다. 다만 본 발명은 이에 제한 되지 아니한다.
제2 탄성체(620)는 제2 체결부(420)의 저면 및 상부벽(120)의 상기 상면에 각각 연결되고, 중력 방향(Dg)으로 신축할 수 있다. 또한, 제2 탄성체(620)는 가스 공급관(410)을 둘러쌀 수 있다.
일 실시예에서, 제2 탄성체(620)는 벨로우즈일 수 있다. 이 경우, 도 1 및 도 6에 도시된 바와 같이, 제2 탄성체(620)는 챔버(100)의 작업 공간(110)이 상기 진공 상태를 유지하도록 챔버(100)를 밀봉할 수 있다.
가스 공급관(410)은 상부벽(120)과 분리될 수 있다. 예를 들어, 가스 공급관(410)은 도 4를 참조하여 설명한 축(330)과 마찬가지로 상부벽(120)과 접촉하지 않을 수 있다. 이에 따라, 가스 공급관(410)은 상부벽(120)에 고정되지 않을 수 있다. 다시 말하면, 가스 공급관(410)은 상부벽(120)에 구속되지 않고, 중력 방향(Dg)으로 상승하거나, 중력 방향(Dg)과 반대되는 방향으로 하강할 수 있다. 따라서, 상기 진공압에 의해 상부벽(120)이 변형되더라도, 노즐 어셈블리(200)가 변형되지 않을 수 있다. 따라서, 노즐 어셈블리(200) 전체에서 노즐들(210)과 기판(1) 사이의 거리가 일정하게 유지될 수 있고, 기판 처리 공정의 균일도가 향상될 수 있다.
가스 배기관(510)은 상부벽(120)을 관통하여 노즐 어셈블리(200)와 연결될 수 있다. 가스 배기관(510)은 노즐 어셈블리(200)로부터 챔버(100)의 상기 외부로 가스를 배기할 수 있다.
일 실시예에서, 도 6에 도시된 바와 같이, 가스 배기관(510)은 복수로 구비될 수 있다. 이 경우, 복수의 가스 배기관들(510a, 510b)은 가스 공급관(410)을 기준으로 대칭을 이룰 수 있다. 그러나, 본 발명은 이에 제한 되지 않는다.
제3 체결부(520)는 상부벽(120) 상에 위치하고, 가스 배기관(510)을 둘러쌀 수 있다. 제3 체결부(520)는 평판 형상을 가질 수 있다.
일 실시예에서, 도 6에 도시된 바와 같이, 제3 체결부(520)는 복수로 구비될 수 있다. 이 경우, 복수의 제3 체결부들(520a, 520b)은 복수의 가스 배기관들(510a, 510b)을 각각 둘러쌀 수 있다.
일 실시예에서, 도 6에 도시된 바와 같이, 평면 상에서 볼 때, 제3 체결부(520)는 직사각형 형상을 가질 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 제한 되지 아니한다.
제3 탄성체(630)는 제3 체결부(520)의 저면 및 상부벽(120)의 상기 상면에 각각 연결되고, 중력 방향(Dg)으로 신축할 수 있다. 또한, 제3 탄성체(630)는 가스 배기관(510)을 둘러쌀 수 있다.
일 실시예에서, 제3 탄성체(630)는 벨로우즈일 수 있다. 이 경우, 도 1 및 도 6에 도시된 바와 같이, 제3 탄성체(630)는 챔버(100)의 작업 공간(110)이 상기 진공 상태를 유지하도록 챔버(100)를 밀봉할 수 있다.
가스 배기관(510)은 상부벽(120)과 분리될 수 있다. 예를 들어, 가스 배기관(510)은 도 4를 참조하여 설명한 축(330)과 마찬가지로 상부벽(120)과 접촉하지 않을 수 있다. 이에 따라, 가스 배기관(510)은 상부벽(120)에 고정되지 않을 수 있다. 다시 말하면, 가스 배기관(510)은 상부벽(120)에 구속되지 않고, 중력 방향(Dg)으로 상승하거나, 중력 방향(Dg)과 반대되는 방향으로 하강할 수 있다. 따라서, 상기 진공압에 의해 상부벽(120)이 변형되더라도, 노즐 어셈블리(200)가 변형되지 않을 수 있다. 따라서, 노즐 어셈블리(200) 전체에서 노즐들(210)과 기판(1) 사이의 거리가 일정하게 유지될 수 있고, 기판 처리 공정의 균일도가 향상될 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 도면이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리 장치(2000)는 챔버(100), 노즐 어셈블리(200), 지지프레임(1100), 제1 체결부(1340)를 포함하는 승강 모듈(1300), 가스 공급관(410), 제2 체결부(420), 가스 배기관(510), 제3 체결부(520), 제1 탄성체(1610), 제2 탄성체(1620) 및 제3 탄성체(1630)를 포함할 수 있다.
기판 처리 장치(2000)가 포함하는 지지프레임(1100)은 챔버(100)의 상기 외부에서 챔버(100)와 인접할 수 있다.
이하에서는, 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(1000)에 관한 설명과 중복되는 설명은 생략하거나 간략화하기로 한다.
도 8은 도 7의 기판 처리 장치에 포함되는 승강 모듈을 나타내는 평면도이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 승강 모듈(1300)은 프레임(1310), 승강수단(1320), 축(1330) 및 제1 체결부(1340)를 포함할 수 있고, 노즐 어셈블리(200)를 승강할 수 있다.
프레임(1310)은 챔버(100)의 외부에 위치할 수 있다. 예를 들어, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 프레임(1310)은 지지프레임(1100) 상에 위치할 수 있다.
일 실시예에서, 도 7에 도시된 바와 같이, 프레임(1310)은 승강수단(1320) 상에 위치할 수 있고, 승강수단(1320), 축(1330) 및 제1 체결부(1340) 각각과 중첩할 수 있다. 또한, 프레임(1310)은 평면 상에서 볼 때, 직사각형 형상을 가질 수 있다. 이에 따라, 도 8에 도시된 바와 같이, 평면 상에서 볼 때, 승강 모듈(1300)은 상기 직사각형 형상을 가질 수 있다.
도 7에 도시된 바와 같이, 승강수단(1320)은 프레임(1310)과 연결되고, 프레임(1310)을 승강할 수 있다. 예를 들어, 승강수단(1320)은 지지프레임(1100)에 고정되는 잭스크류(미도시) 및 상기 잭스크류를 구동하는 모터(미도시)를 포함하고, 상기 잭스크류(미도시)는 상기 모터(미도시)의 구동에 따라 프레임(1310)을 승강할 수 있다.
일 실시예에서, 도 7에 도시된 바와 같이, 지지프레임(1100)은 승강수단(1320)을 지지할 수 있다.
축(1330)은 챔버(100)의 상부벽(120)을 관통할 수 있고, 중력 방향(Dg)으로 연장될 수 있다. 또한, 축(1330)은 프레임(1310) 및 상기 노즐 어셈블리(200)와 각각 연결될 수 있다. 예를 들어, 축(1330)의 일단은 상부벽(120) 상에서 프레임(1310)과 연결되고, 축(1330)의 타단은 작업 공간(110) 내에서 노즐 어셈블리(200)와 연결될 수 있다. 이에 따라, 축(1330)은 챔버(100)의 상기 외부에서 발생한 동력을 노즐 어셈블리(200)에 전달할 수 있다.
승강수단(1320)은 프레임(1310)과 연결되고, 프레임(1310)을 승강할 수 있다. 또한, 축(1330)은 챔버(100)의 상기 외부에서 발생한 동력을 노즐 어셈블리(200)에 전달할 수 있다. 이에 따라, 승강 모듈(1300)은 노즐 어셈블리(200)를 승강할 수 있다.
축(1330)은 상부벽(120)과 분리될 수 있다. 예를 들어, 축(330)은 상부벽(120)과 접촉하지 않을 수 있다. 이에 따라, 축(1330)은 상부벽(120)에 고정되지 않을 수 있다. 다시 말하면, 축(1330)은 상부벽(120)에 구속되지 않고, 승강수단(1320)에 의한 프레임(1310)의 승강에 따라 중력 방향(Dg)으로 상승하거나, 중력 방향(Dg)과 반대되는 방향으로 하강할 수 있다.
본 실시예에 의하면, 노즐 어셈블리(200)를 승강하는 승강 모듈(1300)은 챔버(100)의 외부에 위치하는 지지 프레임(1100)에 의해 지지되며, 노즐 어셈블리(200)와 연결되는 축(1330)은 챔버(100)의 상부벽(120)으로부터 분리되어 상부벽(120)에 구속되지 않을 수 있다. 또한, 축(1330)에 고정된 제1 체결부(1340)와 상부벽(120)을 연결하는 제1 탄성체(1610)는 중력 방향(Dg)으로 신축 가능할 수 있다. 따라서, 상기 진공압에 의해 챔버(100)의 상부벽(120) 또는 측벽(130)이 변형되더라도, 노즐 어셈블리(200)가 변형되지 않을 수 있다. 따라서, 노즐 어셈블리(200) 전체에서 노즐들(210)과 기판(1) 사이의 거리가 일정하게 유지될 수 있고, 기판 처리 공정의 균일도가 향상될 수 있다.
상술한 바에서는, 본 발명의 예시적인 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 것이다.
1000, 2000: 기판 처리 장치 1: 기판
100: 챔버 110: 작업 공간
120: 상부벽 130: 측벽
200: 노즐 어셈블리 210: 복수의 노즐들
300, 1300: 승강 모듈 310, 1310: 프레임
320, 1320: 승강수단 330, 1330: 축
340, 1340: 제1 체결부 410: 가스 공급관
420: 제2 체결부 510: 가스 배기관
520: 제3 체결부 610: 제1 탄성체
620: 제2 탄성체 630: 제3 탄성체
1100: 지지프레임

Claims (20)

  1. 진공 상태를 유지 가능한 작업 공간을 갖고, 상기 작업 공간 상에 위치하는 상부벽을 포함하는 챔버;
    상기 작업 공간 내에 위치하고, 복수의 노즐들을 포함하는 노즐 어셈블리; 및
    상기 챔버의 외부에 위치하는 프레임, 상기 프레임을 승강 가능한 승강수단 및 상기 상부벽을 관통하여 상기 프레임 및 상기 노즐 어셈블리와 각각 연결되며, 중력 방향으로 연장되는 축을 포함하는 승강 모듈을 포함하는 기판 처리 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 축의 일단은 상기 상부벽 상에서 상기 프레임과 연결되고,
    상기 축의 타단은 상기 작업 공간 내에서 상기 노즐 어셈블리와 연결되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 승강 모듈은,
    상기 상부벽과 상기 프레임 사이에 위치하고, 상기 축을 둘러싸며 상기 축에 고정되고, 평판 형상을 갖는 제1 체결부를 더 포함하고,
    상기 기판 처리 장치는,
    상기 제1 체결부의 저면 및 상기 상부벽의 상면에 각각 연결되고, 상기 중력 방향으로 신축 가능한 제1 탄성체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 탄성체는 상기 축을 둘러싸는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 축은 상기 상부벽과 분리되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 제3 항에 있어서,
    평면 상에서 볼 때, 상기 노즐 어셈블리는 전체적으로 직사각형 형상을 갖고,
    상기 축은 복수로 구비되고, 상기 복수의 축들은 상기 직사각형의 꼭지점들에 각각 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 제1 탄성체는 복수로 구비되고, 상기 복수의 제1 탄성체들은 상기 직사각형의 꼭지점들에 각각 위치하며 상기 복수의 축들을 각각 둘러싸는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는,
    상기 상부벽을 관통하여 상기 노즐 어셈블리와 연결되며, 상기 노즐 어셈블리로 가스를 공급하는 가스 공급관;
    상기 상부벽 상에 위치하고, 상기 가스 공급관을 둘러싸며 상기 가스 공급관에 고정되고, 평판 형상을 갖는 제2 체결부; 및
    상기 제2 체결부의 저면 및 상기 상부벽의 상면에 각각 연결되고, 상기 중력 방향으로 신축 가능한 제2 탄성체를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 제2 탄성체는 상기 가스 공급관을 둘러싸는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  10. 제8 항에 있어서,
    상기 가스 공급관은 상기 상부벽과 분리되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는,
    상기 상부벽을 관통하여 상기 노즐 어셈블리와 연결되며, 상기 노즐 어셈블리로부터 상기 챔버의 상기 외부로 가스를 배기하는 가스 배기관;
    상기 상부벽 상에 위치하고, 상기 가스 배기관을 둘러싸며, 상기 가스 배기관에 고정되고, 평판 형상을 갖는 제3 체결부; 및
    상기 제3 체결부의 저면 및 상기 상부벽의 상면에 각각 연결되고, 상기 중력 방향으로 신축 가능한 제3 탄성체를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 제3 탄성체는 상기 가스 배기관을 둘러싸는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  13. 제11 항에 있어서,
    상기 가스 배기관은 상기 상부벽과 분리되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  14. 제1 항에 있어서,
    상기 챔버는 측벽을 더 포함하고,
    상기 승강수단은 상기 측벽에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  15. 제1 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는,
    상기 챔버의 외부에서 상기 챔버와 인접하는 지지프레임을 더 포함하고,
    상기 승강수단은 상기 지지프레임에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  16. 진공 상태를 유지 가능한 작업 공간을 갖고, 상기 작업 공간 상에 위치하는 상부벽을 포함하는 챔버;
    상기 작업 공간 내에 위치하고, 복수의 노즐들을 포함하는 노즐 어셈블리;
    상기 챔버의 외부에 위치하는 프레임, 상기 프레임을 승강 가능한 승강수단, 상기 상부벽을 관통하고, 상기 프레임 및 상기 노즐 어셈블리와 각각 연결되며, 중력 방향으로 연장되는 축 및 상기 상부벽과 상기 프레임 사이에 위치하고, 상기 축을 둘러싸며 상기 축에 고정되고, 평판 형상을 갖는 제1 체결부를 포함하는 승강 모듈;
    상기 상부벽을 관통하여 상기 노즐 어셈블리와 연결되며, 상기 노즐 어셈블리로 가스를 공급하는 가스 공급관;
    상기 상부벽 상에 위치하고, 상기 가스 공급관을 둘러싸며 상기 가스 공급관에 고정되고, 평판 형상을 갖는 제2 체결부;
    상기 제1 체결부의 저면 및 상기 상부벽의 상면에 각각 연결되고, 상기 중력 방향으로 신축 가능한 제1 탄성체; 및
    상기 제2 체결부의 저면 및 상기 상부벽의 상면에 각각 연결되고, 상기 중력 방향으로 신축 가능한 제2 탄성체를 포함하는 기판 처리 장치.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 축의 일단은 상기 상부벽 상에서 상기 프레임과 연결되고,
    상기 축의 타단은 상기 작업 공간 내에서 상기 노즐 어셈블리와 연결되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  18. 제16 항에 있어서,
    상기 제1 탄성체는 상기 축을 둘러싸고, 상기 제2 탄성체는 상기 가스 공급관을 둘러싸는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  19. 제16 항에 있어서,
    상기 축 및 상기 가스 공급관 각각은 상기 상부벽과 분리되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  20. 제16 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는,
    상기 상부벽을 관통하여 상기 노즐 어셈블리와 연결되며, 상기 노즐 어셈블리로부터 상기 챔버의 상기 외부로 가스를 배기하는 가스 배기관;
    상기 상부벽 상에 위치하고, 상기 가스 배기관을 둘러싸며, 상기 가스 배기관에 고정되고, 평판 형상을 갖는 제3 체결부; 및
    상기 제3 체결부의 저면 및 상기 상부벽의 상면에 각각 연결되고, 상기 중력 방향으로 신축 가능한 제3 탄성체를 더 포함하는 기판 처리 장치.
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