KR20230062549A - 전자석 장치, 전자석 장치의 구동 방법 및 전자석 제어 시스템 - Google Patents

전자석 장치, 전자석 장치의 구동 방법 및 전자석 제어 시스템 Download PDF

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도모노리 오하시
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가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
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Abstract

전자석 장치에 있어서의 발열을 저감한다. 전자석 장치는, 요크와, 상기 요크에 권회된 코일과, 상기 요크 및 상기 코일을 수용하는 하우징이며, 자력에 의해 대상물이 흡착되는 흡착면을 갖는 하우징과, 상기 요크의 선단부와 상기 하우징의 상기 흡착면측의 내면 사이에 배치된 단열층을 구비한다.

Description

전자석 장치, 전자석 장치의 구동 방법 및 전자석 제어 시스템
본 발명은, 전자석 장치, 전자석 장치의 구동 방법 및 전자석 제어 시스템에 관한 것이다.
전자석 장치는, 코일에 전류를 흘림으로써 자력을 발생한다. 코일을 흐르는 전류에 기인하여 코일에는 발열이 발생한다. 또한, 예를 들어 특허문헌 1에 개시되는 바와 같은 유기 전계 발광 소자의 제조 장치에 있어서, 메탈 마스크를 기판에 대하여 밀착시키기 위해 영구 자석이 이용되는 구성이 주류이다.
일본 특허 공개 제2010-062125호 공보 일본 특허 공개 제2002-105622호 공보
전자석 장치에 있어서의 발열을 저감하는 것이 요망된다. 예를 들어, 전자석 장치로부터 발생한 열에 의해 메탈 마스크가 변형되어 버릴 우려가 있다.
또한, 전자석 장치가 발생하는 자력을 증강하는 것이 요망된다. 전자석 장치의 자력을 증강하는 것은, 예를 들어, 유기 전계 발광 소자 제조 장치에 있어서 메탈 마스크와 기판의 밀착성을 높이는데 유리하다.
또한, 예를 들어 메탈 마스크와 같은 얇은 피흡착물을 흡착면에 고정할 때, 이 얇은 피흡착물이 휘어져서 피흡착물과 흡착면의 밀착성이 저하되어 버리는 경우가 있다. 예를 들어, 특허문헌 2에 기재되어 있는 바와 같이, 진공 증착에 의한 박막 형성에 있어서, 투명 기판과 증착 마스크 사이에 간극이 있으면, 그 간극을 통하여 증발 재료가 불필요한 에어리어까지 돌아들어가 버리므로, 마스킹 정밀도가 저하된다. 따라서, 전자석 장치를 사용하여 밀착성 좋게 피흡착물을 흡착면에 고정하는 것이 요망된다.
상술한 과제의 하나를 해결하기 위해, 요크와, 상기 요크에 권회된 코일과, 상기 요크 및 상기 코일을 수용하는 하우징이며, 자력에 의해 대상물이 흡착되는 흡착면을 갖는 하우징과, 상기 요크의 선단부와 상기 하우징의 상기 흡착면측의 내면 사이에 배치된 단열층을 구비하는 전자석 장치가 개시된다.
상술한 과제의 하나를 해결하기 위해, 요크와, 상기 요크에 권회된 코일을 구비하는 전자석 장치이며, 상기 요크는 상기 코일이 권회되어 있는 부분보다도 넓은 폭으로 형성된 선단부를 갖는 전자석 장치가 개시된다.
상술한 과제의 하나를 해결하기 위해, 요크 및 상기 요크에 권회된 코일을 구비하는 복수의 전자석 유닛이 배열되어 구성된 전자석 장치의 구동 방법이며, 상기 복수의 전자석 유닛을 복수의 에어리어로 나누고, 중앙에 위치하는 에어리어로부터 주연부에 위치하는 에어리어를 향하여 에어리어마다 순번대로 상기 전자석 유닛을 온으로 하는, 전자석 장치의 구동 방법이 개시된다.
도 1은 일 실시 형태에 관한 전자석 장치의 구성을 도시하는 부분 단면도이다.
도 2a는 일 실시 형태에 관한 전자석 장치에 있어서의 요크의 구성을 도시하는 단면도이다.
도 2b는 일 실시 형태에 관한 전자석 장치에 있어서의 요크의 구성을 도시하는 단면도이다.
도 3은 일 실시 형태에 관한 전자석 장치에 있어서의 하부 하우징의 전체 구성을 도시하는 상면도이다.
도 4는 일 실시 형태에 관한 전자석 장치가 적용되는 것이 가능한 유기 전계 발광 소자 제조 장치를 도시하는 도면이다.
도 5는 일 실시 형태에 관한 전자석 제어 시스템의 구성도이다.
도 6은 복수의 전자석 유닛을 복수의 에어리어로 분할하는 다른 예를 도시하는 도면이다.
도 7은 복수의 전자석 유닛을 복수의 에어리어로 분할하는 또 다른 예를 도시하는 도면이다.
도 8은 각 에어리어 내의 전자석 유닛의 코일에 흘리는 전류의 시간적 관계의 일례를 도시하는 도면이다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 형태에 대하여 상세하게 설명한다. 첨부 도면에 있어서, 동일하거나 또는 유사한 요소에는 동일하거나 또는 유사한 참조 부호가 붙여지고, 각 실시 형태의 설명에 있어서 동일하거나 또는 유사한 요소에 관한 중복되는 설명은 생략하는 경우가 있다. 또한, 각 실시 형태에서 나타내어지는 특징은, 서로 모순되지 않는 한 다른 실시 형태에도 적용 가능하다.
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 전자석 장치(100)의 구성을 도시하는 부분 단면도이다. 전자석 장치(100)는, 복수의 전자석 유닛(110), 냉각 플레이트(140), 상부 하우징(150) 및 하부 하우징(160)을 구비한다.
하부 하우징(160)의 내면에는, 하부 하우징(160)의 강성을 증강하기 위한 복수의 빔(162)이 마련되어 있다. 빔(162)이 마련됨으로써, 전자석 장치(100)의 흡인면(105)측에 있어서의 하부 하우징(160)의 두께 t를 얇게 할 수 있다. 또한 하부 하우징(160)의 두께 t가 얇음으로써, 전자석 유닛(110)으로부터 발생한 자계를 효율적으로 전자석 장치(100)의 외부에 전달할 수 있다.
복수의 전자석 유닛(110)의 각각은, 하부 하우징(160)의 빔(162)에 의해 칸막이된 하부 하우징(160) 내측의 개개의 작은 스페이스 내에 배치되어 있다. 각 전자석 유닛(110)은 요크(112)와, 요크(112)에 권회되어 수지 재료(116)로 몰드된 코일(114)을 구비한다. 수지 몰드재(116)로서, 열전도율이 크고, 높은 내열성을 갖고, 선팽창 계수가 작은 것(예를 들어 에폭시)을 사용하는 것이 바람직하다. 코일(114)을 흐르는 전류에 의해, 요크(112)의 선단에는 자극 MP1(N극과 S극의 한쪽) 및 자극 MP2(N극과 S극의 다른 쪽)가 형성된다. 각 전자석 유닛(110)은 요크(112)의 선단이 하부 하우징(160)의 저부와 대향하는 방향에 배치되고, 각 전자석 유닛(110)의 자극 MP1 및 MP2에 의해, 하부 하우징(160)의 저부, 즉 전자석 장치(100)의 흡인면(105)의 하측에 배치되는 피흡인물을 흡인할 수 있다.
전자석 유닛(110)의 상부는, 비교적 높은 열전도율을 갖는 전열 시트(145)를 통해 냉각 플레이트(140)와 열적으로 접촉하고 있다. 냉각 플레이트(140)는 그 내부에 수랭 배관(142)을 구비하고, 전자석 유닛(110)을 냉각하는 능력을 갖는다. 이에 의해, 전자석 유닛(110)의 구동 시에 코일(114)에서 발생한 열을, 냉각 플레이트(140) 및 수랭 배관(142)을 통해 전자석 장치(100)의 외부로 폐열할 수 있다.
본 실시 형태의 전자석 장치(100)는, 전자석 유닛(110)의 요크(112)의 선단 부분(자극 MP1 및 MP2가 형성되는 부분)과 하부 하우징(160)의 저부 사이에 단열층(120)을 더 구비한다. 단열층(120)이 존재함으로써, 전자석 유닛(110)의 구동 시에 코일(114)에서 발생한 열이 전자석 장치(100)의 흡인면(105)에 전해지기 어렵게 할 수 있다. 이에 의해, 흡인면(105)을 통해 피흡인물이 가열되는 것에 의한 문제의 발생을 회피할 수 있다. 예를 들어, 본 실시 형태의 전자석 장치(100)가 유기 전계 발광 소자의 제조 프로세스에 있어서 메탈 마스크를 기판에 흡착시키기 위해 사용되는 경우 메탈 마스크의 열에 의한 변형이나 기판에의 밀착 불량을 방지할 수 있다.
단열층(120)은, 예를 들어 공기층 또는 진공층으로 구성될 수 있다. 혹은, 단열층(120)은 기체 또는 액체의 냉매가 전자석 유닛(110)의 요크(112)의 선단 부분과 하부 하우징(160)의 저부 사이의 공극을 유통하도록 구성되는 것이어도 된다.
단열층(120)으로서의 냉매를 요크(112)의 선단 부분과 하부 하우징(160)의 저부 사이의 공극에 유통시키는 구성에 있어서, 전자석 유닛(110)의 구동 시에 냉매의 온도, 유량, 또는 유속을 동적으로 변화시켜도 된다. 일 양태에 있어서, 전자석 장치(100)는 코일(114)을 흐르는 전류를 계측하는 전류계(도시하지 않음)를 더 구비한다. 이 전류계에 의해 계측한 전류값으로부터, 코일(114)의 발열량을 산출 또는 추정하는 것이 가능하다. 산출된 코일(114)의 발열량에 따라서, 또는 전류계에 의해 계측된 코일(114)을 흐르는 전류의 크기에 직접 응하여, 냉매의 온도, 유량, 혹은 유속을 조정한다. 예를 들어, 코일(114)의 발열량이 클수록 냉매의 온도를 낮게 하고, 또는 냉매의 유량 혹은 유속을 크게 함으로써, 전자석 유닛(110)으로부터 전자석 장치(100)의 흡인면(105)에의 단열 효과를 보다 높일 수 있다.
또 다른 양태에 있어서, 전자석 장치(100)는 전자석 장치(100)의 각 부의 온도를 계측하는 온도 센서(도시하지 않음)를 더 구비한다. 온도 센서는, 예를 들어, 요크(112), 하부 하우징(160)의 저부(흡인면(105)), 또는 단열층(120)으로서의 냉매의 각 온도를 계측 가능한 위치에 배치된다. 혹은, 온도 센서는, 전자석 장치(100)의 흡인면(105)에 흡인된 물체의 온도를 계측할 수 있도록 배치되어도 된다. 온도 센서에 의해 계측된 전자석 장치(100)의 각 부의 온도, 또는 흡인면(105)에의 피흡착물의 온도에 따라서, 요크(112)의 선단 부분과 하부 하우징(160)의 저부 사이의 공극에 유통시키는 단열층(120)으로서의 냉매의 온도, 유량, 또는 유속을 조정한다. 예를 들어, 하부 하우징(160)의 저부(흡인면(105))의 온도 상승이 검지된 경우에 냉매의 온도를 낮게 하고, 또는 냉매의 유량 혹은 유속을 크게 함으로써, 전자석 유닛(110)으로부터 전자석 장치(100)의 흡인면(105)에의 단열 효과를 보다 높일 수 있다.
또한, 냉각 플레이트(140)의 냉각 능력을, 상기와 마찬가지로 코일(114)의 발열량 또는 전자석 장치(100)의 각 부 또는 피흡인물의 온도에 따라서 동적으로 변화시켜도 된다.
도 2a 및 도 2b는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 전자석 장치(100)에 있어서의 요크(112)의 구성을 도시하는 단면도이다. 본 실시 형태의 전자석 장치(100)에 있어서, 각 전자석 유닛(110)의 요크(112)는, 코일(114)이 권회되어 있는 부분(112b)보다도 넓은 폭으로 형성된 선단부(112a)를 갖는다. 요크(112)의 선단부(112a)에 있어서 자속이 요크(112)를 관통하는 단면적은, 요크(112)의 코일 권회부(112b)에 있어서 자속이 요크(112)를 관통하는 단면적보다도 크다. 요크(112)의 선단부(112a)가 넓은 폭으로 형성되어 있음으로써, 전자석 유닛(110)이 발생하는 자계를 증대시킬 수 있다.
요크는 비투자율이 크고 자로 저항이 작으므로, 요크(112)의 선단부(112a)의 단면적을 크게 함으로써, 전자석 유닛(110)은 광범위에 걸쳐서 큰 자속 밀도를 발생할 수 있고, 광범위를 큰 힘으로 흡인할 수 있다. 한편, 요크(112)에 권회되는 코일(114)의 단면적이 클수록 코일(114)의 발열량을 억제할 수 있다. 코일 스페이스를 크게 취하므로, 코일 권회부(112b)에 있어서의 요크(112)의 단면적은, 자속 밀도가 포화되지 않는 정도로 작게 하는 것이 바람직하다.
도 3은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 전자석 장치(100)에 있어서의 하부 하우징(160)의 전체 구성을 도시하는 상면도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 하부 하우징(160)은 빔(162)에 의해 칸막이된 복수의 섹터(164)를 갖는다. 도 3에 예시되는 하부 하우징(160)은, 세로로 4열, 가로로 16열로 배열된 합계 64개의 섹터(164)를 갖고 있다. 또한, 섹터(164)의 종횡 배열수는 이것에 한정되지 않고, 임의의 수여도 된다. 전술한 바와 같이, 이들 각 섹터(164) 내에 각각 전자석 유닛(110)(도 3에 있어서 도시하지 않음)이 배치되어, 전자석 장치(100)가 구성된다.
도 4는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 전자석 장치(100)가 적용되는 것이 가능한 유기 전계 발광 소자 제조 장치(500)를 도시한다. 유기 전계 발광 소자 제조 장치(500)는 예를 들어 증착 장치이다. 도시된 바와 같이, 전자석 장치(100)의 흡인면(105)에 처리 대상의 기판(502)(예를 들어 유리 기판)이 배치되고, 기판(502)을 통해 메탈 마스크(504)가 배치된다. 전자석 장치(100)로부터 발생하는 자력에 의해, 메탈 마스크(504)가 기판(502)의 표면에 흡착된다. 증착 소스(506)로부터 챔버(508)로 방출된 증착 원료(예를 들어 금속 또는 유기 재료)가 메탈 마스크(504)를 통해 기판(502) 상에 퇴적함으로써, 유기 전계 발광 소자 제조 프로세스가 실시된다.
도 5는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 전자석 제어 시스템(200)의 구성도이다. 전자석 제어 시스템(200)은, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명된 전술한 전자석 장치(100)와, 전자석 장치(100)의 각 전자석 유닛(110)(도시하지 않음)을 개별로 구동 가능한 컨트롤러(250)를 구비한다.
컨트롤러(250)는, 복수의 전자석 유닛(110)을 복수의 에어리어마다 구동한다. 도 5의 예에 있어서, 복수의 전자석 유닛(110)은, 도면의 좌측으로부터 우측으로 순서대로 제1 에어리어(201), 제2 에어리어(202), 제3 에어리어(203), 제4 에어리어(204), 제5 에어리어(205), 제6 에어리어(206), 제7 에어리어(207) 및 제8 에어리어(208)의 합계 8개의 에어리어로 분할되어 있다. 각 에어리어(201 내지 208)에 포함되는 전자석 유닛(110)의 수는 임의여도 되고, 그 때문에 도 5에 전자석 유닛(110)은 명시되어 있지 않다. 또한 에어리어의 분할수도 8로 한정되지 않고 임의의 수여도 된다.
예를 들어, 컨트롤러(250)는, 처음에 제4 에어리어(204) 및 제5 에어리어(205) 내의 전자석 유닛(110)을 온으로 하고, 다음에 제3 에어리어(203) 및 제6 에어리어(206) 내의 전자석 유닛(110)을 온으로 하고, 다음에 제2 에어리어(202) 및 제7 에어리어(207) 내의 전자석 유닛(110)을 온으로 하고, 마지막으로 제1 에어리어(201) 및 제8 에어리어(208) 내의 전자석 유닛(110)을 온으로 한다. 이렇게 전자석 장치(100)의 중앙에 위치하는 에어리어로부터 주연부에 위치하는 에어리어를 향하여 에어리어마다 순번대로 전자석 유닛(110)을 온으로 함(코일(114)에 전류를 흘림)으로써, 예를 들어 도 4에 관해 상술한 메탈 마스크(504)와 같은 얇은 피흡인물을, 휨을 발생시키지 않고 전자석 장치(100)의 흡인면(105) 혹은 기판(502)의 표면에 흡착할 수 있다. 이에 의해, 당해 얇은 피흡인물과 전자석 장치(100) 또는 기판(502)과의 양호한 밀착성을 확보할 수 있다.
또한 예를 들어, 컨트롤러(250)는, 제1 에어리어(201), 제2 에어리어(202), 제3 에어리어(203), 제4 에어리어(204), 제5 에어리어(205), 제6 에어리어(206), 제7 에어리어(207), 제8 에어리어(208)의 순으로 전자석 유닛(110)을 온으로 해도 된다. 이렇게 전자석 장치(100)의 한쪽 단부에 위치하는 에어리어로부터 다른 쪽 단부에 위치하는 에어리어를 향하여 에어리어마다 순번대로 전자석 유닛(110)을 온으로 함으로써도, 상기와 마찬가지로 얇은 피흡인물을 휨없이 전자석 장치(100) 또는 기판(502)에 흡착시킬 수 있어, 양호한 밀착성을 확보할 수 있다.
복수의 전자석 유닛(110)을 복수의 에어리어로 분할하는 방법은 도 5에 도시되는 것에 한정되지 않는다. 다른 예로서, 도 6에 도시된 바와 같이, 복수의 전자석 유닛(110)은, 도면 위로부터 아래로 순서대로 제1 에어리어(211), 제2 에어리어(212), 제3 에어리어(213), 제4 에어리어(214), 제5 에어리어(215), 제6 에어리어(216), 제7 에어리어(217) 및 제8 에어리어(218)의 합계 8개의 에어리어로 분할되어도 된다. 도 6의 예에 있어서, 컨트롤러(250)는, 예를 들어 처음에 제4 에어리어(214) 및 제5 에어리어(215) 내의 전자석 유닛(110)을 온으로 하고, 다음에 제3 에어리어(213) 및 제6 에어리어(216) 내의 전자석 유닛(110)을 온으로 하고, 다음에 제2 에어리어(212) 및 제7 에어리어(217) 내의 전자석 유닛(110)을 온으로 하고, 마지막으로 제1 에어리어(211) 및 제8 에어리어(218) 내의 전자석 유닛(110)을 온으로 한다. 또한 컨트롤러(250)는, 제1 에어리어(211), 제2 에어리어(212), 제3 에어리어(213), 제4 에어리어(214), 제5 에어리어(215), 제6 에어리어(216), 제7 에어리어(217), 제8 에어리어(218)의 순으로 전자석 유닛(110)을 온으로 해도 된다.
또 다른 예로서, 도 7에 도시된 바와 같이, 복수의 전자석 유닛(110)은, 전자석 장치(100)의 중앙에 위치하는 제1 에어리어(221), 제1 에어리어(221)를 내포하도록 그 주위를 둘러싸는 제2 에어리어(222), 제2 에어리어(222)를 내포하도록 다시 그 주위를 둘러싸는 제3 에어리어(223), 제3 에어리어(223)를 내포하도록 다시 그 주위를 둘러싸는 제4 에어리어(224) 및 제4 에어리어(224)를 내포하도록 다시 그 주위를 둘러싸는 최외주에 위치하는 제5 에어리어(225)의 합계 5개의 에어리어로 분할되는 것이어도 된다. 도 7의 예에 있어서, 예를 들어 컨트롤러(250)는 내측(중앙)에 위치하는 에어리어로부터 외측(주연부)에 위치하는 에어리어를 향하여 순번대로, 즉, 제1 에어리어(221), 제2 에어리어(222), 제3 에어리어(223), 제4 에어리어(224), 제5 에어리어(225)의 순으로, 전자석 유닛(110)을 온으로 한다. 이에 의해, 도 5 및 도 6의 경우와 마찬가지로, 메탈 마스크(504)와 같은 얇은 피흡인물과 전자석 장치(100) 또는 기판(502)과의 양호한 밀착성을 확보할 수 있다.
도 8은, 각 에어리어 내의 전자석 유닛(110)의 코일(114)에 흘리는 전류의 시간적 관계의 일례를 도시하는 도면이다. 이하, 전술한 도 5의 에어리어 배치를 예로 들어 설명한다. 도 8에 도시된 바와 같이, 시각 T10에 있어서, 제4 에어리어(204) 및 제5 에어리어(205) 내의 전자석 유닛(110)의 코일(114)에 전류 I1이 공급되기 시작한다. 전류 I1은, 전류값 제로로부터 점차 증가하여 시각 T11에 있어서 소정의 최댓값에 도달하도록 제어된다. 또한 제3 에어리어(203) 및 제6 에어리어(206) 내의 전자석 유닛(110)의 코일(114)에는, 시각 T10과 시각 T11 사이의 시각 T20(즉, 제4 에어리어(204) 및 제5 에어리어(205) 내의 전자석 유닛(110)의 코일(114)에 전류 I1이 공급되기 시작한 후로부터 최댓값에 도달할 때까지의 시각)에 있어서, 전류 I2가 공급되기 시작한다. 전류 I2는, 전류 I1과 마찬가지로, 전류값 제로로부터 점차 증가하여 시각 T21에 있어서 소정의 최댓값에 도달하도록 제어된다. 마찬가지로, 제2 에어리어(202) 및 제7 에어리어(207) 내의 전자석 유닛(110)의 코일(114)에는, 시각 T20과 시각 T21 사이의 시각 T30에 있어서 전류 I3이 공급되기 시작하고, 전류 I3은, 전류값 제로로부터 점차 증가하여 시각 T31에 있어서 소정의 최댓값에 도달하도록 제어된다. 또한 제1 에어리어(201) 및 제8 에어리어(208) 내의 전자석 유닛(110)의 코일(114)에는, 시각 T30과 시각 T31 사이의 시각 T40에 있어서 전류 I4가 공급되기 시작하고, 전류 I4는, 전류값 제로로부터 점차 증가하여 시각 T41에 있어서 소정의 최댓값에 도달하도록 제어된다. 이와 같이, 어느 에어리어(예를 들어 제4 에어리어(204) 및 제5 에어리어(205))에 속하는 전자석 유닛(110)의 코일(114)에 전류가 공급되기 시작한 후로부터 소정값에 도달할 때까지의 사이에, 당해 에어리어에 인접하는 에어리어(예를 들어 제3 에어리어(203) 및 제6 에어리어(206))에 속하는 전자석 유닛(110)의 코일(114)에의 전류 공급을 개시함으로써, 얇은 피흡착물의 흡착 시에 있어서의 휨의 발생을 보다 효과적으로 억제할 수 있어, 피흡착물의 밀착성을 한층 향상시킬 수 있다.
이상, 몇 가지의 예에 기초하여 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명해 왔지만, 상기한 발명의 실시 형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위한 것이고, 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 본 발명은 그 취지를 일탈하지 않고, 변경, 개량될 수 있음과 함께, 본 발명에는 그 균등물이 포함되는 것은 물론이다. 또한, 상술한 과제의 적어도 일부를 해결할 수 있는 범위, 또는 효과의 적어도 일부를 발휘하는 범위에 있어서, 특허 청구 범위 및 명세서에 기재된 각 구성 요소의 임의의 조합, 또는 생략이 가능하다.
100: 전자석 장치
105: 흡인면
110: 전자석 유닛
112: 요크
114: 코일
116: 수지 몰드재
120: 단열층
140: 냉각 플레이트
142: 수랭 배관
145: 전열 시트
150: 상부 하우징
160: 하부 하우징
162: 빔
164: 섹터
200: 전자석 제어 시스템
201 내지 225: 에어리어
250: 컨트롤러
500: 유기 전계 발광 소자 제조 장치
502: 기판
504: 메탈 마스크
506: 증착 소스
508: 챔버
MP1, MP2: 자극

Claims (17)

  1. 요크와,
    상기 요크에 권회된 코일과,
    상기 요크 및 상기 코일을 수용하는 하우징이며, 자력에 의해 대상물이 흡착되는 흡착면을 갖는 하우징과,
    상기 요크의 선단부와 상기 하우징의 상기 흡착면측의 내면 사이에 배치된 단열층
    을 구비하는 전자석 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 단열층은 공기층 또는 진공층인, 전자석 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 단열층은 냉매가 유통되도록 구성된 층인, 전자석 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 코일의 발열량에 따라서 상기 냉매의 유통이 제어되는, 전자석 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 코일을 흐르는 전류를 계측하는 전류계를 더 구비하고, 상기 전류계에 의한 계측값에 기초하여 상기 코일의 발열량을 산출하도록 구성되는, 전자석 장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 요크, 상기 하우징, 상기 대상물, 또는 상기 냉매 중 적어도 하나의 온도를 계측하는 적어도 하나의 온도 센서를 더 구비하고, 상기 적어도 하나의 온도 센서에 의해 계측된 온도에 따라서 상기 냉매의 유통이 제어되는, 전자석 장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 요크의 상기 선단부와는 다른 부분에 열적으로 접촉하도록 배치된 냉각 부품을 더 구비하는, 전자석 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 코일의 발열량에 따라서 상기 냉각 부품의 냉각 능력이 제어되는, 전자석 장치.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 요크와 상기 냉각 부품 사이에 개재 삽입된 전열 부재를 더 구비하는, 전자석 장치.
  10. 요크와,
    상기 요크에 권회된 코일
    을 구비하는 전자석 장치이며,
    상기 요크는 상기 코일이 권회되어 있는 부분보다도 넓은 폭으로 형성된 선단부를 갖는 전자석 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 요크의 상기 코일이 권회되어 있는 부분에 있어서의 자속 밀도가 포화 자속 밀도보다도 작아지도록 상기 코일을 흐르는 전류가 조정되는, 전자석 장치.
  12. 요크 및 상기 요크에 권회된 코일을 구비하는 복수의 전자석 유닛이 배열되어 구성된 전자석 장치의 구동 방법이며,
    상기 복수의 전자석 유닛을 복수의 에어리어로 나누고, 중앙에 위치하는 에어리어로부터 주연부에 위치하는 에어리어를 향하여 에어리어마다 순번대로 상기 전자석 유닛을 온으로 하는,
    전자석 장치의 구동 방법.
  13. 요크 및 상기 요크에 권회된 코일을 구비하는 복수의 전자석 유닛이 배열되어 구성된 전자석 장치의 구동 방법이며,
    상기 복수의 전자석 유닛을 복수의 에어리어로 나누고, 한쪽 단부에 위치하는 에어리어로부터 다른 쪽 단부에 위치하는 에어리어를 향하여 에어리어마다 순번대로 상기 전자석 유닛을 온으로 하는,
    전자석 장치의 구동 방법.
  14. 제12항 또는 제13항에 있어서,
    각 에어리어의 상기 전자석 유닛의 상기 코일에 제로로부터 소정값까지 시간적으로 점차 증가하는 전류를 공급함으로써 각 전자석 유닛을 온으로 하는, 전자석 장치의 구동 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    제1 에어리어에 속하는 상기 전자석 유닛의 상기 코일에 전류가 공급되기 시작한 후로부터 상기 소정값에 도달할 때까지의 사이에, 상기 제1 에어리어에 인접하는 제2 에어리어에 속하는 상기 전자석 유닛의 상기 코일에의 전류 공급이 개시되는, 전자석 장치의 구동 방법.
  16. 요크 및 상기 요크에 권회된 코일을 구비하는 복수의 전자석 유닛의 어레이와,
    상기 복수의 전자석 유닛을 복수의 에어리어마다 구동하는 컨트롤러이며, 중앙에 위치하는 에어리어로부터 주연부에 위치하는 에어리어를 향하여 순번대로 상기 전자석 유닛을 온으로 하는 컨트롤러
    를 구비하는 전자석 제어 시스템.
  17. 요크 및 상기 요크에 권회된 코일을 구비하는 복수의 전자석 유닛의 어레이와,
    상기 복수의 전자석 유닛을 복수의 에어리어마다 구동하는 컨트롤러이며, 한쪽 단부에 위치하는 에어리어로부터 다른 쪽 단부에 위치하는 에어리어를 향하여 순번대로 상기 전자석 유닛을 온으로 하는 컨트롤러
    를 구비하는 전자석 제어 시스템.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002105622A (ja) 2000-10-04 2002-04-10 Sony Corp 蒸着用治具及び蒸着方法
JP2010062125A (ja) 2008-09-01 2010-03-18 Samsung Mobile Display Co Ltd 薄膜蒸着用マスク及びこれを用いた有機電界発光素子の製造方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009071972A (ja) * 2007-09-13 2009-04-02 Nissan Motor Co Ltd 回転電機の冷却構造
JP2011195907A (ja) * 2010-03-19 2011-10-06 Tokyo Electron Ltd マスク保持装置及び薄膜形成装置
JP6302150B1 (ja) * 2017-08-21 2018-03-28 堺ディスプレイプロダクト株式会社 蒸着装置、蒸着方法及び有機ｅｌ表示装置の製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002105622A (ja) 2000-10-04 2002-04-10 Sony Corp 蒸着用治具及び蒸着方法
JP2010062125A (ja) 2008-09-01 2010-03-18 Samsung Mobile Display Co Ltd 薄膜蒸着用マスク及びこれを用いた有機電界発光素子の製造方法

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