KR20230062387A

KR20230062387A - Slide unit and scribe head

Info

Publication number: KR20230062387A
Application number: KR1020220135345A
Authority: KR
Inventors: 야스토모 오카지마; 유마 이와츠보; 하루카 타케하라; 료타 사카구치
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2021-10-29
Filing date: 2022-10-20
Publication date: 2023-05-09
Also published as: JP7464991B2; JP2023066825A; TW202319359A; CN116062980A

Abstract

The present invention provides a slide unit and a scribe head that can be expected to improve the degree of processing precision in scribing processing. The slide unit (100) comprises a slider (200), a holder joint (300), and an angle setting unit (500). The holder joint (300) includes a bearing part connected to the slider (200), and a turning part (320) configured to pivot with respect to the bearing part. The angle setting unit (500) is configured to set the turning angle of the turning part (320) with respect to the slider (200).

Description

Slide unit and scribe head {Slide unit and scribe head}

본 발명은 스크라이브 헤드에 마련되는 슬라이드 유닛 및 슬라이드 유닛을 구비하는 스크라이브 헤드에 관한 것이다.The present invention relates to a slide unit provided in a scribe head and a scribe head having the slide unit.

취성재료 기판 등 피가공물의 스크라이브 가공에 스크라이브 장치가 이용된다. 스크라이브 장치는 스크라이브 헤드를 포함한다. 스크라이브 헤드는 슬라이드 유닛을 포함한다. 슬라이드 유닛은 슬라이더, 홀더 조인트 및 홀더 유닛을 포함한다.A scribing device is used for scribing processing of workpieces such as brittle material substrates. The scribing device includes a scribing head. The scribe head includes a slide unit. The slide unit includes a slider, a holder joint and a holder unit.

홀더 조인트는 베어링부(軸受部) 및 선회부(旋回部)를 포함한다. 베어링부는 슬라이더에 연결된다. 선회부는 슬라이더에 대해 선회할 수 있도록 베어링부에 연결된다. 홀더 유닛은 홀더 및 스크라이빙 휠을 포함한다. 홀더는 선회부에 연결된다. 스크라이빙 휠은 홀더에 지지된다.The holder joint includes a bearing part and a pivot part. The bearing part is connected to the slider. The pivoting part is connected to the bearing part so as to be able to pivot relative to the slider. The holder unit includes a holder and a scribing wheel. The holder is connected to the pivot. The scribing wheel is supported on the holder.

스크라이브 장치에 의해 피가공물의 스크라이브 가공이 실시된다. 스크라이브 가공에서는 스크라이빙 휠이 피가공물에 접촉하도록 스크라이브 헤드의 위치가 설정된다. 스크라이브 헤드가 소정방향으로 주사된다. 스크라이빙 휠이 피가공물 위를 이동하여 피가공물에 스크라이브 라인이 형성된다. 특허문헌 1에는 종래 스크라이브 장치의 일례가 기재되어 있다.Scribing of a workpiece is performed by a scribing device. In the scribing process, the position of the scribing head is set such that the scribing wheel contacts the workpiece. The scribe head is scanned in a predetermined direction. A scribing wheel is moved over the workpiece to form a scribing line on the workpiece. Patent Document 1 describes an example of a conventional scribing device.

일본등록특허 제4484303호 공보Japanese Patent Registration No. 4484303

스크라이브 가공에 있어서의 슬라이더에 대한 스크라이빙 휠의 선회각도가 안정됨으로써 스크라이브 가공에서의 가공 정밀도가 향상될 것으로 생각된다.It is thought that processing accuracy in scribing processing is improved by stabilizing the turning angle of the scribing wheel relative to the slider in scribing processing.

본 발명에 관한 슬라이드 유닛은, 슬라이더와, 상기 슬라이더에 연결되는 베어링부와, 상기 베어링부에 대해 선회할 수 있도록 구성되는 선회부를 포함하는 홀더 조인트와, 상기 슬라이더에 대한 상기 선회부의 선회각도를 설정할 수 있도록 구성되는 각도 설정부를 구비한다.A slide unit according to the present invention includes a holder joint including a slider, a bearing part connected to the slider, and a swing part configured to be able to pivot with respect to the bearing part, and a turning angle of the swing part with respect to the slider is set. It is provided with an angle setting unit configured to be able to.

상기 슬라이드 유닛에 의하면, 예를 들어 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.각도 설정부에 의해 선회부의 선회각도를 설정할 수 있으므로 스크라이브 가공에 있어서의 선회부의 선회각도가 안정된다. 선회부에 연결되는 홀더의 선회각도 및 홀더에 지지되는 스크라이빙 휠의 선회각도도 안정된다. 이 때문에 스크라이브 가공에 있어서의 가공 정밀도의 향상을 기대할 수 있다.According to the slide unit, for example, the following effects can be obtained. Since the turning angle of the turning section can be set by the angle setting unit, the turning angle of the turning section in scribing is stable. The turning angle of the holder connected to the turning part and the turning angle of the scribing wheel supported by the holder are also stable. For this reason, an improvement in processing precision in scribing processing can be expected.

상기 슬라이드 유닛의 일례에서, 상기 각도 설정부는 상기 선회부가 제1 선회방향으로 선회하도록 상기 선회부를 가압(押壓)하는 제1 가압부 및 상기 선회부가 상기 제1 선회방향과는 반대방향인 제2 선회방향으로 선회하도록 상기 선회부를 가압하는 제2 가압부를 포함한다.In one example of the slide unit, the angle setting unit includes a first pressing unit for pressing the swing unit so that the swing unit pivots in the first swing direction, and a second rotation unit in a direction opposite to the first swing direction. and a second pressing portion for pressing the turning portion to turn in a turning direction.

상기 슬라이드 유닛에 의하면, 예를 들어 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.선회부의 선회각도를 조정하는 작업에 관한 작업성이 향상된다.According to the slide unit, for example, the following effects can be obtained. Workability related to the operation of adjusting the turning angle of the turning section is improved.

상기 슬라이드 유닛의 일례에서, 상기 제1 가압부 및 상기 제2 가압부의 한쪽은 탄성요소를 포함한다.In one example of the slide unit, one of the first pressing portion and the second pressing portion includes an elastic element.

　상기 슬라이드 유닛에 의하면, 예를 들어 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. 선회부의 선회각도를 조정하는 작업에 관한 작업성이 향상된다.According to the slide unit, for example, the following effects can be obtained. Workability related to the operation of adjusting the turning angle of the turning portion is improved.

상기 슬라이드 유닛의 일례에서, 상기 제1 가압부 및 상기 제2 가압부의 다른 쪽은 나사 요소를 포함한다.In one example of the slide unit, the other side of the first pressing portion and the second pressing portion includes a screw element.

상기 슬라이드 유닛에 의하면, 예를 들어 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.선회부의 선회각도를 조정하는 작업에 관한 작업성이 향상된다.According to the slide unit, for example, the following effects can be obtained. Workability related to the operation of adjusting the turning angle of the turning portion is improved.

상기 슬라이드 유닛의 일례에서, 상기 제1 가압부와 상기 제2 가압부의 사이에 상기 선회부가 위치되도록 배치된다.In one example of the slide unit, the pivoting portion is disposed between the first pressing portion and the second pressing portion.

상기 슬라이드 유닛에 의하면, 예를 들어 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.선회부의 선회각도가 안정된다.According to the slide unit, for example, the following effect can be obtained. The turning angle of the turning portion is stabilized.

상기 슬라이드 유닛의 일례에서, 상기 각도 설정부는 상기 제1 가압부가 배치되는 제1 가압부 배치부 및 상기 제2 가압부가 배치되는 제2 가압부 배치부를 포함한다.In one example of the slide unit, the angle setting unit includes a first pressing portion arranging portion on which the first pressing portion is disposed and a second pressing portion arranging portion on which the second pressing portion is disposed.

상기 슬라이드 유닛에 의하면, 예를 들어 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.제1 가압부 및 제2 가압부의 위치가 안정된다.According to the slide unit, for example, the following effects can be obtained. The positions of the first pressing portion and the second pressing portion are stabilized.

상기 슬라이드 유닛의 일례에서, 상기 선회부는 홀더 유닛을 연결할 수 있도록 구성되는 홀더 연결부 및 상기 베어링부에 연결되는 선회축을 포함하고, 상기 제1 가압부 및 상기 제2 가압부는 상기 홀더 연결부를 가압하도록 구성된다.In one example of the slide unit, the pivoting portion includes a holder connecting portion configured to connect a holder unit and a pivoting shaft connected to the bearing portion, and the first pressing portion and the second pressing portion are configured to press the holder connecting portion. do.

상기 슬라이드 유닛에 의하면, 예를 들어 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.베어링부의 구성이 간소화된다.According to the slide unit, for example, the following effects can be obtained. The configuration of the bearing portion is simplified.

상기 슬라이드 유닛의 일례에서, 상기 각도 설정부는 상기 선회부의 선회각도를 고정할 수 있도록 구성되는 고정부를 포함한다.In one example of the slide unit, the angle setting unit includes a fixing unit configured to fix the turning angle of the turning unit.

상기 슬라이드 유닛의 일례에서, 상기 고정부는 상기 슬라이더에 대해 착탈할 수 있도록 구성된다.In one example of the slide unit, the fixing portion is configured to be detachable from the slider.

상기 슬라이드 유닛에 의하면, 예를 들어 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.선회부의 선회각도를 조절하는 작업에 관한 작업성이 향상된다.According to the slide unit, for example, the following effects can be obtained. Workability related to the operation of adjusting the turning angle of the turning portion is improved.

상기 슬라이드 유닛의 일례에서, 상기 슬라이더는 상기 베어링부가 연결되는 슬라이더 본체를 포함하며, 상기 각도 설정부는 상기 슬라이더 본체의 저부(底部)에 마련된다.In one example of the slide unit, the slider includes a slider body to which the bearing portion is connected, and the angle setting portion is provided on a bottom portion of the slider body.

본 발명에 관한 스크라이브 헤드는 슬라이더와, 상기 슬라이더에 연결되는 베어링부와, 상기 베어링부에 대해 선회할 수 있도록 구성되는 선회부를 포함하는 홀더 조인트와, 상기 슬라이더에 대한 상기 선회부의 선회각도를 설정할 수 있도록 구성되는 각도 설정부를 구비하는 슬라이드 유닛과, 상기 슬라이드 유닛을 지지하는 베이스와, 상기 슬라이드 유닛이 상기 베이스에 대해 높이방향으로 이동할 수 있도록 상기 슬라이드 유닛과 상기 베이스를 연결하는 가이드부와, 상기 슬라이드 유닛에 하중을 부여하는 하중 조절부와, 상기 슬라이드 유닛 및 상기 하중 조절부를 지지하는 지지부를 구비한다.The scribing head according to the present invention includes a holder joint including a slider, a bearing part connected to the slider, and a pivot part configured to pivot with respect to the bearing part, and a turning angle of the pivot part relative to the slider can be set. A slide unit having an angle setting unit configured to be configured to be, a base supporting the slide unit, a guide unit connecting the slide unit and the base so that the slide unit can move in a height direction with respect to the base, and the slide unit. A load control unit for applying a load to the unit and a support unit for supporting the slide unit and the load control unit are provided.

상기 스크라이브 헤드에 의하면, 예를 들어 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. 각도 설정부에 의해 선회부의 선회각도를 설정할 수 있으므로 스크라이브 가공에 있어서의 선회부의 선회각도가 안정된다. 선회부에 연결되는 홀더의 선회각도 및 홀더에 지지되는 스크라이빙 휠의 선회각도도 안정된다. 이 때문에 스크라이브 가공에 있어서의 가공 정밀도의 향상을 기대할 수 있다.According to the scribe head, for example, the following effects can be obtained. Since the turning angle of the turning portion can be set by the angle setting unit, the turning angle of the turning portion in scribing is stable. The turning angle of the holder connected to the turning part and the turning angle of the scribing wheel supported by the holder are also stable. For this reason, an improvement in processing precision in scribing processing can be expected.

본 발명에 관한 슬라이드 유닛 및 스크라이브 헤드에 의하면, 스크라이브 가공에 있어서 가공 정밀도의 향상을 기대할 수 있다.According to the slide unit and the scribing head according to the present invention, an improvement in processing accuracy can be expected in scribing processing.

도 1은 스크라이브 헤드를 상측에서 하측으로 비스듬한 각도로 내려다 본 사시도.
도 2는 스크라이브 헤드를 하측에서 상측으로 비스듬한 각도로 올려다 본 사시도.
도 3은 스크라이브 헤드의 측면도.
도 4는 스크라이브 헤드의 정면도.
도 5는 스크라이브 헤드의 저면도.
도 6은 홀더 조인트 및 홀더 유닛 부위의 부품 분해 사시도.
도 7은 슬라이드 유닛과 홀더 조인트 부위의 부품 분해 사시도.
도 8은 홀더 유닛과 각도 설정부의 부품 분해 사시도.
도 9는 홀더 조인트의 단면도.
도 10은 조정부 본체의 사시도.
도 11은 슬라이더의 슬라이더 본체 저면에 선회부를 구비한 모습을 보여주는 슬라이드 유닛의 저면도.
도 12는 도 11에 있어 슬라이더의 슬라이더 본체 저면으로 각도설정부를 장착한 상태를 보여주는 슬라이드 유닛의 저면도.
도 13은 도 12에 있어 슬라이더의 슬라이더 본체 저면으로 홀더 조인트의 선회부 중심부에 홀더 유닛을 장착한 상태를 보여주는 슬라이드 유닛의 저면도.
도 14는 도 13에 있어 각도설정부에 고정부를 볼트 체결한 상태를 보여주는 슬라이드 유닛의 저면도.
도 15는 도 14에 있어 각도설정부의 홀더 유닛에 장착한 스크라이빙 휠을 보여주는 슬라이드 유닛의 저면도.
도 16은 슬라이드 유닛에 있어 제1 및 제2 본체 구성부를 구비한 슬라이더 본체와 홀더 조인트 부위의 부품 분해 사시도.
도 17은 슬라이드 유닛의 슬라이드 본체 부분의 저면에 장착하는 복수의 고정부를 보여주는 부품 분해 사시도.
도 18은 슬라이더 본체를 구성하는 제1 본체 구성부의 저면도.
도 19는 슬라이드 유닛에 있어 제1 및 제2 본체 구성부가 결합된 슬라이드 본체의 저면에 홀더 조인트가 장착된 모습을 보여주는 저면도.
도 20은 도 19의 홀더 조인트에 홀더 유닛이 장착된 상태를 보여주는 슬라이드 유닛의 저면도.
도 21은 도 20의 슬라이드 본체 저면에 고정부가 볼트 장착된 모습을 보여주는 슬라이드 유닛의 저면도.
도 22은 홀더에 의해 지지되는 스크라이빙 휠이 슬라이드 본체 저면에 장착된 상태를 보여주는 슬라이드 유닛의 저면도.1 is a perspective view looking down at an oblique angle from the upper side to the lower side of the scribe head.
Figure 2 is a perspective view looking up at an oblique angle from the lower side to the upper side of the scribe head.
3 is a side view of a scribing head;
Fig. 4 is a front view of a scribing head;
5 is a bottom view of a scribe head;
6 is an exploded perspective view of parts of a holder joint and a holder unit;
7 is an exploded perspective view of parts of a joint between a slide unit and a holder;
8 is an exploded perspective view of parts of a holder unit and an angle setting unit;
9 is a sectional view of a holder joint;
10 is a perspective view of an adjusting unit body;
11 is a bottom view of a slide unit showing a state in which a pivoting part is provided on a bottom surface of a slider body of a slider.
12 is a bottom view of the slide unit showing a state in which the angle setting unit is mounted on the lower surface of the slider body of the slider in FIG. 11;
13 is a bottom view of the slide unit showing a state in which the holder unit is mounted on the center of the turning portion of the holder joint as the bottom surface of the slider body of the slider in FIG. 12;
14 is a bottom view of the slide unit showing a state in which the fixing part is bolted to the angle setting part in FIG. 13;
15 is a bottom view of the slide unit showing the scribing wheel mounted on the holder unit of the angle setting unit in FIG. 14;
16 is an exploded perspective view of parts of a slider body having first and second body components and a holder joint in a slide unit;
17 is an exploded perspective view showing a plurality of fixing parts mounted on the bottom surface of the slide body of the slide unit;
Fig. 18 is a bottom view of a first body component constituting a slider body;
19 is a bottom view showing a state in which a holder joint is mounted on a bottom surface of a slide body to which first and second body components are coupled in a slide unit;
20 is a bottom view of the slide unit showing a state in which the holder unit is mounted on the holder joint of FIG. 19;
21 is a bottom view of the slide unit showing a state in which a fixing part is bolted to the bottom surface of the slide body of FIG. 20;
22 is a bottom view of the slide unit showing a state in which a scribing wheel supported by a holder is mounted on the bottom of the slide body;

(제1 실시형태)(First Embodiment)

도 1~도 15를 참조한다. 스크라이브 헤드(10)는 피가공물을 스크라이브 가공하는 스크라이브 가공장치에 내장된다. 스크라이브 가공장치의 구성은 임의로 선택할 수 있다. 스크라이브 가공장치의 구성은 예시되는 구성에 한정되지 않는다. 스크라이브 가공장치는 예를 들어 테이블, 구동장치 및 스크라이브 헤드(10) 등을 구비한다.See Figures 1-15. The scribing head 10 is built into a scribing processing device for scribing a workpiece. The configuration of the scribing machine can be selected arbitrarily. The configuration of the scribing processing device is not limited to the illustrated configuration. The scribing machine includes, for example, a table, a driving device, and a scribing head 10.

피가공물의 예로서 기판을 들 수 있다. 기판의 예로서 취성재료 기판을 들 수 있다. 취성재료 기판의 예로서 유리기판, 세라믹스 기판, 실리콘 기판, 화합물 반도체 기판, 사파이어 기판, 및 석영 기판을 들 수 있다. 세라믹스 기판의 예로서 저온 소성 세라믹스 및 고온 소성 세라믹스를 들 수 있다.An example of a workpiece is a substrate. An example of the substrate is a brittle material substrate. Examples of brittle material substrates include glass substrates, ceramic substrates, silicon substrates, compound semiconductor substrates, sapphire substrates, and quartz substrates. Examples of ceramic substrates include low-temperature fired ceramics and high-temperature fired ceramics.

구동장치는 피가공물에 대한 스크라이브 헤드(10)의 위치를 임의로 변경할 수 있도록 구성된다. 구동장치의 구성은 임의로 선택할 수 있다. 구동장치의 구성은 예시되는 구성에 한정되지 않는다. 구동장치는 예를 들어 평면 구동부 및 수직 구동부를 포함한다. 수직 구동부는 테이블에 연결된다. 평면 구동부는 수직 구동부에 연결된다. 스크라이브 헤드(10)는 평면 구동부에 연결된다.The driving device is configured to arbitrarily change the position of the scribing head 10 relative to the workpiece. The configuration of the driving device can be selected arbitrarily. The configuration of the driving device is not limited to the illustrated configuration. The drive unit includes, for example, a planar drive unit and a vertical drive unit. The vertical drive is connected to the table. The planar drive unit is connected to the vertical drive unit. Scribe head 10 is connected to the planar drive.

수직 구동부는 액추에이터를 포함한다. 수직 구동부는 평면 구동부를 스크라이브 가공장치의 높이방향으로 이동시킨다. 평면 구동부는 액추에이터를 포함한다.평면 구동부는 스크라이브 헤드(10)를 소정의 병진방향(竝進方向)으로 이동시킨다.The vertical drive includes an actuator. The vertical driving unit moves the plane driving unit in the height direction of the scribing processing device. The planar drive unit includes an actuator. The planar drive unit moves the scribing head 10 in a predetermined translational direction.

(스크라이브 헤드)(scribe head)

도 1~도 5를 참조한다. 스크라이브 헤드(10)의 구성은 임의로 선택할 수 있다. 스크라이브 헤드(10)의 구성은 예시되는 구성에 한정되지 않는다. 스크라이브 헤드(10)는 예를 들어 베이스(20), 가이드부(30), 지지부(40), 하중 조절부(50), 및 슬라이드 유닛(100)을 구비한다.See Figures 1-5. The configuration of the scribe head 10 can be arbitrarily selected. The configuration of the scribe head 10 is not limited to the illustrated configuration. The scribing head 10 includes, for example, a base 20, a guide part 30, a support part 40, a load adjusting part 50, and a slide unit 100.

스크라이브 헤드(10)에는 예를 들어 제1 폭방향, 제2 폭방향, 전방향, 후방향, 상방향 및 하방향이 규정된다. 제1 폭방향은 제2 폭방향과는 반대방향이다. 도 4의 우방향 및 도 5의 하방향은 스크라이브 헤드(10)의 제1 폭방향에 대응한다. 도 4의 좌방향 및 도 5의 상방향은 스크라이브 헤드(10)의 제2 폭방향에 대응한다. 도 3의 우방향 및 도 5의 우방향은 스크라이브 헤드(10)의 전방향에 대응한다. 도 3의 좌방향 및 도 5의 좌방향은 스크라이브 헤드(10)의 후방향에 대응한다. 도 3의 상방향 및 도 4의 상방향은 스크라이브 헤드(10)의 상방향에 대응한다. 도 3의 하방향 및 도 4의 하방향은 스크라이브 헤드(10)의 하방향에 대응한다.The scribing head 10 has, for example, a first width direction, a second width direction, a front direction, a rear direction, an upper direction, and a lower direction. The first width direction is opposite to the second width direction. The right direction in FIG. 4 and the downward direction in FIG. 5 correspond to the first width direction of the scribing head 10 . The left direction in FIG. 4 and the upward direction in FIG. 5 correspond to the second width direction of the scribing head 10 . The right direction in FIG. 3 and the right direction in FIG. 5 correspond to the forward direction of the scribing head 10 . The left direction in FIG. 3 and the left direction in FIG. 5 correspond to the rear direction of the scribing head 10 . The upward direction in FIG. 3 and the upward direction in FIG. 4 correspond to the upward direction of the scribing head 10 . The downward direction of FIG. 3 and the downward direction of FIG. 4 correspond to the downward direction of the scribing head 10 .

폭방향은 제1 폭방향 및 제2 폭방향을 총칭한다. 폭방향은 X축에 평행하다.깊이방향은 전방향 및 후방향을 총칭한다. 깊이방향은 Y축에 평행하다. 높이방향은 상방향 및 하방향을 총칭한다. 높이방향은 Z축에 평행하다. X축 및 Y축은 제1 좌표평면을 규정한다. X축 및 Z축은 제2 좌표평면을 규정한다. Y축 및 Z축은 제3 좌표평면을 규정한다.The width direction is a general term for the first width direction and the second width direction. The width direction is parallel to the X-axis. The depth direction collectively refers to the forward and backward directions. The depth direction is parallel to the Y-axis. The height direction collectively refers to the upward and downward directions. The height direction is parallel to the Z axis. The X and Y axes define the first coordinate plane. The X-axis and Z-axis define the second coordinate plane. The Y-axis and Z-axis define a third coordinate plane.

(베이스)(Base)

도 3~도 5를 참조한다. 베이스(20)는 슬라이드 유닛(100)을 지지할 수 있도록 구성된다. 베이스(20)는 예를 들어 플레이트이다. 베이스(20)는 제1 주면(主面) (20A) 및 제2 주면(20B)을 포함한다. 제1 주면(20A)은 평면이다. 제1 주면(20A)은 제1 폭방향을 향한다. 제2 주면(20B)은 평면이다. 제2 주면(20B)은 제2 폭방향을 향한다. 제1 주면(20A) 및 제2 주면(20B)은 스크라이브 헤드(10)의 기준면에 상당한다.See Figures 3-5. The base 20 is configured to support the slide unit 100 . The base 20 is, for example, a plate. The base 20 includes a first main surface 20A and a second main surface 20B. The first main surface 20A is flat. The first main surface 20A faces the first width direction. The second main surface 20B is flat. The second main surface 20B faces the second width direction. The first main surface 20A and the second main surface 20B correspond to the reference plane of the scribing head 10 .

구동장치의 평면 구동부는 연결부를 포함한다. 베이스(20)의 제1 주면(20A)은 평면 구동부의 연결부에 대향한다. 베이스(20)는 평면 구동부의 연결부에 연결된다. 베이스(20)와 평면 구동부의 연결형태는 예를 들면 기계적 접합이다. 일례에서 베이스(20)는 복수의 볼트에 의해 평면 구동부에 연결된다. 베이스(20)가 평면 구동부에 연결된 상태에서는 제1 주면(20A) 및 제2 주면(20B)은 제3 좌표평면에 평행하다.The planar driving part of the driving device includes a connecting part. The first main surface 20A of the base 20 is opposed to the connecting portion of the flat drive unit. The base 20 is connected to the connection part of the planar drive unit. The connection form of the base 20 and the planar driving part is, for example, mechanical bonding. In one example, the base 20 is connected to the planar drive by a plurality of bolts. In a state in which the base 20 is connected to the flat driving unit, the first main surface 20A and the second main surface 20B are parallel to the third coordinate plane.

베이스(20)는 예를 들어 제1 배치부(21)를 포함한다. 제1 배치부(21)는 가이드부(30)의 고정레일(31)을 배치할 수 있게 구성된다. 제1 배치부(21)는 베이스(20)의 제2 주면(20B)에 설치된다. 제1 배치부(21)는 예를 들어 홈(21A)을 포함한다. 홈(21A)은 높이방향으로 연장한다.The base 20 includes, for example, a first placement portion 21 . The first placement unit 21 is configured to be able to arrange the fixed rail 31 of the guide unit 30 . The first placement portion 21 is installed on the second main surface 20B of the base 20 . The first placement portion 21 includes, for example, a groove 21A. The groove 21A extends in the height direction.

(가이드부)(guide part)

도 4 및 도 5를 참조한다. 가이드부(30)는 슬라이드 유닛(100)이 베이스(20)에 대해 높이방향으로 이동할 수 있도록 슬라이드 유닛(100)과 베이스(20)를 연결한다. 가이드부(30)는 예를 들어 고정레일(31) 및 가동레일(32)을 포함한다.See Figures 4 and 5. The guide part 30 connects the slide unit 100 and the base 20 so that the slide unit 100 can move in the height direction with respect to the base 20 . The guide unit 30 includes, for example, a fixed rail 31 and a movable rail 32 .

고정레일(31)은 예를 들어 결합부(31A)를 포함한다. 결합부(31A)는 가동레일(32)의 결합부(32A)와 결합하도록 구성된다. 결합부(31A)는 홈(31A1)을 포함한다. 홈(31A1)은 높이방향으로 연장한다.The fixed rail 31 includes, for example, a coupling portion 31A. The engaging portion 31A is configured to engage with the engaging portion 32A of the movable rail 32. The coupling portion 31A includes a groove 31A1. The groove 31A1 extends in the height direction.

고정레일(31)은 베이스(20)의 홈(21A)에 배치된다. 고정레일(31)은 하나 또는 복수의 볼트에 의해 베이스(20)에 연결된다.The fixed rail 31 is disposed in the groove 21A of the base 20. The fixed rail 31 is connected to the base 20 by one or a plurality of bolts.

가동레일(32)은 예를 들어 결합부(32A)를 포함한다. 결합부(32A)는 고정레일(31)의 결합부(31A)와 감합되도록 구성된다. 결합부(32A)는 볼록부(32A1)를 포함한다. 볼록부(32A1)는 높이방향으로 연장한다. 가동레일(32)은 고정레일(31)에 결합된다. 가동레일(32)은 고정레일(31)에 대해 이동할 수 있다.The movable rail 32 includes, for example, a coupling portion 32A. The coupling portion 32A is configured to fit with the coupling portion 31A of the fixed rail 31. The engaging portion 32A includes a convex portion 32A1. The convex portion 32A1 extends in the height direction. The movable rail 32 is coupled to the fixed rail 31 . The movable rail 32 can move relative to the fixed rail 31 .

(지지부)(support part)

도 3 및 도 4를 참조한다. 지지부(40)는 하중 조절부(50)의 액추에이터(51) 및 슬라이드 유닛(100)의 피가압부(被押壓部)(220)를 지지할 수 있도록 구성된다. 지지부(40)는 예를 들어 블록이다.See Figures 3 and 4. The support part 40 is configured to support the actuator 51 of the load control part 50 and the pressurized part 220 of the slide unit 100 . The support 40 is a block, for example.

지지부(40)는 예를 들어 중간부(41)를 포함한다. 중간부(41)는 예를 들어 볼트 배치부(41A)를 포함한다. 볼트 배치부(41A)는 하나 또는 복수의 볼트(10B1)를 배치할 수 있도록 구성된다. 볼트 배치부(41A)는 하나 또는 복수의 구멍을 포함한다. 구멍은 중간부(41)를 관통한다. 구멍의 중심축은 폭방향에 평행하다.The support portion 40 includes, for example, an intermediate portion 41 . The intermediate portion 41 includes, for example, a bolt arranging portion 41A. The bolt placement portion 41A is configured to be able to place one or a plurality of bolts 10B1. The bolt placement portion 41A includes one or a plurality of holes. A hole passes through the middle portion (41). The central axis of the hole is parallel to the width direction.

지지부(40)는 예를 들어 상부(42)를 포함한다. 상부(42)는 중간부(41)에 대해 상방향으로 위치한다. 상부(42)는 예를 들어 제1 배치부(42A)를 포함한다.Support 40 includes, for example, top 42 . The upper part 42 is located upwardly relative to the middle part 41 . The upper portion 42 includes, for example, the first placement portion 42A.

제1 배치부(42A)는 하중 조절부(50)의 액추에이터(51)를 배치할 수 있도록 구성된다. 제1 배치부(42A)는 예를 들어 오목부(42A1)를 포함한다. 오목부(42A1)는 상부(42)의 윗면에 개구한다.The first disposing unit 42A is configured to dispose the actuator 51 of the load adjusting unit 50 . The first placement portion 42A includes, for example, a concave portion 42A1. The concave portion 42A1 opens on the upper surface of the upper portion 42 .

지지부(40)는 예를 들어 하부(43)를 포함한다. 하부(43)는 중간부(41) 및 상부(42)에 대해 하방향으로 위치한다. 상부(42)와 하부(43)의 사이에는 공간이 형성된다. 하부(43)는 예를 들어 피가압부 배치부(43A)를 포함한다.Support 40 includes, for example, lower portion 43 . The lower part 43 is positioned downward relative to the middle part 41 and the upper part 42 . A space is formed between the upper part 42 and the lower part 43. The lower portion 43 includes, for example, a portion to be pressed portion arranging portion 43A.

피가압부 배치부(43A)는 슬라이드 유닛(100)의 피가압부(220)를 배치할 수 있도록 구성된다. 피가압부 배치부(43A)는 예를 들어 슬릿(43A1)을 포함한다. 슬릿(43A1)은 높이방향에 관해 하부(43)를 관통한다. 슬릿(43A1)은 하부(43)의 제2 측면에 개구한다. 제2 측면은 제2 폭방향을 향한다.The portion to be pressed arranging portion 43A is configured to be able to place the portion to be pressed 220 of the slide unit 100. The portion to be pressed portion arranging portion 43A includes, for example, a slit 43A1. The slit 43A1 penetrates the lower part 43 in the height direction. The slit 43A1 opens on the second side of the lower part 43 . The second side faces the second width direction.

스크라이브 헤드(10)는 예를 들어 스페이서(44)를 포함한다. 스페이서(44)는 볼트 배치부를 포함한다. 볼트 배치부는 하나 또는 복수의 볼트(10B1)를 배치할 수 있도록 구성된다. 볼트 배치부는 하나 또는 복수의 구멍을 포함한다. 구멍은 볼트 배치부를 관통한다. 구멍의 중심축은 폭방향에 평행하다.Scribe head 10 includes spacers 44, for example. Spacers 44 include bolt placements. The bolt placement unit is configured to place one or a plurality of bolts 10B1. The bolt placement portion includes one or a plurality of holes. The hole passes through the bolt placement. The central axis of the hole is parallel to the width direction.

스페이서(44)는 지지부(40)와 베이스(20)의 사이에 배치된다. 스페이서(44)는 베이스(20)의 제2 주면(20B)에 대해 제2 폭방향에 위치한다. 지지부(40)는 스페이서(44)에 대해 제2 폭방향에 위치한다. 지지부(40) 및 스페이서(44)는 복수의 볼트(10B1)에 의해 베이스(20)에 연결된다.The spacer 44 is disposed between the support 40 and the base 20 . The spacer 44 is located in the second width direction with respect to the second main surface 20B of the base 20 . The support portion 40 is located in the second width direction with respect to the spacer 44 . The support part 40 and the spacer 44 are connected to the base 20 by a plurality of bolts 10B1.

(하중 조절부)(load control unit)

도 3 및 도 4를 참조한다. 하중 조절부(50)는 슬라이드 유닛(100)에 하중을 부여할 수 있도록 구성된다. 하중 조절부(50)는 예를 들어, 하방향으로 작용하는 하중을 슬라이드 유닛(100)에 부여한다. 하중 조절부(50)는 예를 들어 액추에이터(51) 및 가압부(52)를 포함한다.See Figures 3 and 4. The load control unit 50 is configured to apply a load to the slide unit 100 . The load adjusting unit 50 applies, for example, a load acting in a downward direction to the slide unit 100 . The load adjusting unit 50 includes, for example, an actuator 51 and a pressing unit 52 .

액추에이터(51)의 예로서 동력 실린더, 솔레노이드, 전동기, 서보 모터 및 리니어 액추에이터를 들 수 있다. 동력 실린더의 예로 유압 실린더, 공압 실린더, 수압 실린더 및 전동 실린더를 들 수 있다.Examples of the actuator 51 include power cylinders, solenoids, electric motors, servo motors and linear actuators. Examples of power cylinders include hydraulic cylinders, pneumatic cylinders, hydraulic cylinders and electric cylinders.

액추에이터(51)는 예를 들어 볼트 배치부(51A)를 포함한다. 볼트 배치부(51A)는 하나 또는 복수의 볼트(10B3)를 배치할 수 있도록 구성된다. 볼트 배치부(51A)는 하나 또는 복수의 구멍을 포함한다. 구멍의 중심축은 높이방향에 평행하다.The actuator 51 includes, for example, a bolt disposing portion 51A. The bolt placement portion 51A is configured to be able to place one or a plurality of bolts 10B3. The bolt placement portion 51A includes one or a plurality of holes. The central axis of the hole is parallel to the height direction.

가압부(52)는 액추에이터(51)에 연결된다. 가압부(52)는 예를 들어 피스톤(52A)을 포함한다. 가압부(52)의 선단부는 슬라이드 유닛(100)에 접촉한다. 가압부(52)는 액추에이터(51)에 대해 높이방향으로 변위할 수 있도록 구성된다. 가압부 (52)는 액추에이터(51)로부터 부여되는 힘을 슬라이드 유닛(100)에 전달한다.The pressing part 52 is connected to the actuator 51 . The pressing portion 52 includes, for example, a piston 52A. The front end of the pressing portion 52 contacts the slide unit 100 . The pressing part 52 is configured to be displaceable in the height direction with respect to the actuator 51 . The pressing part 52 transmits the force applied from the actuator 51 to the slide unit 100 .

액추에이터(51)는 지지부(40) 상부(42)의 제1 배치부(42A)에 배치된다. 가압부(52)의 선단부는 지지부(40) 상부(42)와 하부(43)의 사이에 배치된다. 액추에이터(51)는 복수의 볼트(10B3)에 의해 지지부(40)에 연결된다.The actuator 51 is disposed on the first arrangement part 42A of the upper part 42 of the support part 40 . The front end of the pressing part 52 is disposed between the upper part 42 and the lower part 43 of the support part 40 . The actuator 51 is connected to the support 40 by a plurality of bolts 10B3.

(슬라이드 유닛)(slide unit)

도 2 및 도 4를 참조한다. 슬라이드 유닛(100)의 구성은 임의로 선택할 수 있다. 슬라이드 유닛(100)의 구성은 예시되는 구성에 한정되지 않는다. 슬라이드 유닛(100)은 예를 들어 슬라이더(200), 홀더 조인트(300), 홀더 유닛(400) 및 각도 설정부(500)를 포함한다. 슬라이더(200)는 홀더 조인트(300)를 지지한다. 홀더 조인트(300)는 홀더 유닛(400)을 지지한다.See Figures 2 and 4. The configuration of the slide unit 100 can be arbitrarily selected. The configuration of the slide unit 100 is not limited to the illustrated configuration. The slide unit 100 includes, for example, a slider 200, a holder joint 300, a holder unit 400, and an angle setting unit 500. The slider 200 supports the holder joint 300 . The holder joint 300 supports the holder unit 400 .

(홀더 유닛)(holder unit)

도 6 및 도 7을 참조한다. 홀더 유닛(400)의 구성은 임의로 선택할 수 있다.홀더 유닛(400)의 구성은 예시되는 구성에 한정되지 않는다. 홀더 유닛(400)은 홀더 조인트(300)에 대해 탈착할 수 있게 구성된다. 홀더 유닛(400)은 예를 들어 홀더(410), 스크라이빙 휠(420), 핀(430) 및 발지부(拔止部/stopper)(440)를 포함한다.See Figures 6 and 7. The configuration of the holder unit 400 can be arbitrarily selected. The configuration of the holder unit 400 is not limited to the illustrated configuration. The holder unit 400 is configured to be detachable from the holder joint 300 . The holder unit 400 includes, for example, a holder 410, a scribing wheel 420, a pin 430, and a stopper 440.

홀더(410)는 예를 들어 기부(基部)(411)를 포함한다. 기부(411)는 홀더 조인트(300)에 배치할 수 있도록 구성된다. 기부(411)는 경사면(411A)을 포함한다. 경사면(411A)은 기부(411)의 전면에 마련된다. 경사면(411A)은 상방향으로 향함에 따라 후방향으로 경사진다.The holder 410 includes, for example, a base 411 . The base 411 is configured to be disposed on the holder joint 300 . The base 411 includes an inclined surface 411A. The inclined surface 411A is provided on the front surface of the base 411 . The inclined surface 411A inclines backward as it goes upward.

홀더(410)는 예를 들어 지지부(412)를 포함한다. 지지부(412)는 기부(411)에 대해 하방에 위치한다. 지지부(412)는 핀(430)을 지지할 수 있게 구성된다. 지지부(412)는 제1 지지부(412A) 및 제2 지지부(412B)를 포함한다. 각 지지부(412A, 412B)는 구멍(412C)을 포함한다. 구멍(412C)은 지지부(412)를 관통한다. 구멍(412C)의 중심축은 폭방향에 평행하다.The holder 410 includes, for example, a support 412 . The support portion 412 is located below the base portion 411 . The support part 412 is configured to support the pin 430 . The support part 412 includes a first support part 412A and a second support part 412B. Each support 412A, 412B includes an aperture 412C. Hole 412C passes through support 412 . The central axis of the hole 412C is parallel to the width direction.

홀더(410)는 예를 들어 배치부(413)를 포함한다. 배치부(413)는 스크라이빙 휠(420)을 배치할 수 있도록 구성된다. 배치부(413)는 제1 지지부(412A)의 내측부 및 제2 지지부(412B)의 내측부를 포함하는 부분에 마련된다.The holder 410 includes, for example, a placement portion 413 . The placement unit 413 is configured to place the scribing wheel 420 . The placement portion 413 is provided on a portion including an inner portion of the first support portion 412A and an inner portion of the second support portion 412B.

배치부(413)는 예를 들어 슬릿(413A)을 포함한다. 슬릿(413A)은 제1 지지부(412A)와 제2 지지부(412B)의 사이에 형성된다. 슬릿(413A)은 홀더(410)의 전면, 후면 및 저면에 개구한다.The placement portion 413 includes, for example, a slit 413A. The slit 413A is formed between the first support portion 412A and the second support portion 412B. The slit 413A opens on the front, back and bottom surfaces of the holder 410 .

스크라이빙 휠(420)은 슬릿(413A)에 배치된다. 스크라이빙 휠(420)은 예를 들어 고경도 재료로 형성된다. 고경도 재료의 예로서 초경합금, 다결정 다이아몬드 및 단결정 다이아몬드를 들 수 있다. 다결정 다이아몬드의 예로 다이아몬드 소결체(Poly-Crystalline Diamond) 및 나노 다결정 다이아몬드(Nano-Polycrystalline Diamond)를 들 수 있다.A scribing wheel 420 is disposed in the slit 413A. The scribing wheel 420 is formed of, for example, a material of high hardness. Examples of high-hardness materials include cemented carbide, polycrystalline diamond, and single-crystal diamond. Examples of polycrystalline diamond include poly-crystalline diamond and nano-polycrystalline diamond.

스크라이빙 휠(420)은 배치부(421) 및 칼날(刃先)(422)을 포함한다. 배치부(421)는 핀(430)을 배치할 수 있도록 구성된다. 배치부(421)는 예를 들어 구멍(421A)을 포함한다. 구멍(421A)은 배치부(421)를 관통한다. 구멍(421A)의 중심축은 폭방향에 평행하다.The scribing wheel 420 includes a disposition unit 421 and a blade 422 . The placement unit 421 is configured to place the pin 430 . The placement portion 421 includes, for example, a hole 421A. The hole 421A passes through the arranging portion 421 . The central axis of the hole 421A is parallel to the width direction.

칼날(422)은 피가공물을 스크라이브할 수 있도록 구성된다. 칼날(422)은 스크라이빙 휠(420)의 외주부에 마련된다. 칼날(422)은 스크라이빙 휠(420)의 중심면에 포함된다. 스크라이빙 휠(420)의 중심면은 스크라이빙 휠(420)의 중심축에 직교한다.The blade 422 is configured to scribe a workpiece. The blade 422 is provided on the outer periphery of the scribing wheel 420 . The blade 422 is included in the central plane of the scribing wheel 420 . The central plane of the scribing wheel 420 is orthogonal to the central axis of the scribing wheel 420 .

핀(430)은 스크라이빙 휠(420)을 지지할 수 있도록 구성된다. 핀(430)은 제1 지지부(412A) 구멍(412C), 제2 지지부(412B) 구멍(412C) 및 스크라이빙 휠(420) 구멍(421A)에 배치된다.The pin 430 is configured to support the scribing wheel 420 . The pins 430 are disposed in the hole 412C of the first support 412A, the hole 412C of the second support 412B and the hole 421A of the scribing wheel 420 .

스크라이빙 휠(420)은 핀(430)에 대해 회전할 수 있도록 핀(430)에 지지된다. 하중 조절부(50)로부터 슬라이드 유닛(100)에 하중이 부여되는 상태에서는 스크라이빙 휠(420)은 그 하중에 따라 피가공물에 눌려진다.The scribing wheel 420 is supported on the pin 430 so that it can rotate relative to the pin 430 . In a state in which a load is applied to the slide unit 100 from the load controller 50, the scribing wheel 420 is pressed against the workpiece according to the load.

발지부(440)는 핀(430)이 지지부(412)로부터 탈락되지 않도록 지지부(412)에 마련된다. 발지부(440)는 예를 들어 복수의 마개(441)를 포함한다. 제1 마개(441)는 제1 지지부(412A) 구멍(412C)에 배치된다. 제2 마개(441)는 제2 지지부(412B) 구멍(412C)에 배치된다.The footing part 440 is provided on the support part 412 so that the pin 430 does not come off from the support part 412 . The foot portion 440 includes, for example, a plurality of stoppers 441 . The first stopper 441 is disposed in the hole 412C of the first support part 412A. The second stopper 441 is disposed in the hole 412C of the second support part 412B.

(홀더 조인트)(holder joint)

도 6 및 도 9를 참조한다. 홀더 조인트(300)의 구성은 임의로 선택할 수 있다. 홀더 조인트(300)의 구성은 예시되는 구성에 한정되지 않는다. 홀더 조인트(300)는 슬라이더(200)에 대해 탈착할 수 있도록 구성된다. 홀더 조인트(300)는 예를 들어 베어링부(310) 및 선회부(320)를 포함한다.See Figures 6 and 9. The configuration of the holder joint 300 can be arbitrarily selected. The configuration of the holder joint 300 is not limited to the illustrated configuration. The holder joint 300 is detachable from the slider 200 . The holder joint 300 includes, for example, a bearing part 310 and a pivoting part 320 .

베어링부(310)는 선회부(320)를 지지할 수 있도록 구성된다. 베어링부(310)는 예를 들어 하나 또는 복수의 베어링(311)을 포함한다. 도시되는 예에서는 베어링부(310)는 복수의 베어링(311)을 포함한다. 복수의 베어링(311)은 예를 들어 제1 베어링(311A) 및 제2 베어링(311B)을 포함한다.The bearing part 310 is configured to support the turning part 320 . The bearing part 310 includes one or a plurality of bearings 311, for example. In the illustrated example, the bearing part 310 includes a plurality of bearings 311 . The plurality of bearings 311 include, for example, a first bearing 311A and a second bearing 311B.

베어링부(310)는 예를 들어 케이스(312)를 포함한다. 케이스(312)는 예를 들어 실린더(312A), 플랜지(312B) 및 캡(312C)을 포함한다. 제1 베어링(311A) 및 제2 베어링(311B)은 실린더(312A)의 내부에 배치된다. 제1 베어링(311A) 및 제2 베어링(311B)은 높이방향으로 늘어선다. 각 베어링(311A, 311B)의 외륜(外輪)은 실린더(312A)에 연결된다.The bearing part 310 includes a case 312, for example. Case 312 includes, for example, cylinder 312A, flange 312B and cap 312C. The first bearing 311A and the second bearing 311B are disposed inside the cylinder 312A. The first bearing 311A and the second bearing 311B are aligned in the height direction. The outer ring of each bearing 311A, 311B is connected to the cylinder 312A.

플랜지(312B)는 실린더(312A) 하부 개구부의 외주부에 설치된다. 캡(312C)은 실린더(312A) 상부 개구부에 마련된다. 실린더(312A)의 상부 개구부는 캡(312C)에 의해 폐쇄된다.The flange 312B is installed on the outer periphery of the lower opening of the cylinder 312A. The cap 312C is provided in the upper opening of the cylinder 312A. An upper opening of the cylinder 312A is closed by a cap 312C.

베어링부(310)는 예를 들어 스페이서(313) 및 하나 또는 복수의 오링(314)을 포함한다. 스페이서(313)는 실린더(312A) 내부에 배치된다. 스페이서(313)는 제1 베어링(311A)과 제2 베어링(311B)의 사이에 배치된다. 도시되는 예에서는 베어링부(310)는 복수의 오링(314)을 포함한다. 복수의 오링(314)은 실린더(312A)의 외주부에 장착된다.The bearing part 310 includes, for example, a spacer 313 and one or a plurality of O-rings 314 . A spacer 313 is disposed inside the cylinder 312A. The spacer 313 is disposed between the first bearing 311A and the second bearing 311B. In the illustrated example, the bearing part 310 includes a plurality of O-rings 314 . A plurality of O-rings 314 are mounted on the outer periphery of the cylinder 312A.

선회부(320)는 베어링부(310)의 중심축 둘레에서 선회할 수 있도록 베어링부(310)에 연결된다. 선회부(320)는 예를 들어 선회축(321), 흡착부(322), 규제부(323), 및 홀더 연결부(330)를 포함한다.The turning part 320 is connected to the bearing part 310 so as to be able to turn around the central axis of the bearing part 310 . The pivoting part 320 includes, for example, a pivoting shaft 321, a suction part 322, a regulating part 323, and a holder connecting part 330.

선회축(321)은 각 베어링(311A, 311B)의 내륜(內輪)에 연결된다. 선회축(321)은 각 베어링(311A, 311B)의 외륜 및 케이스(312)에 대해 선회한다.The pivot shaft 321 is connected to the inner race of each bearing 311A, 311B. The pivoting shaft 321 pivots with respect to the case 312 and the outer race of each of the bearings 311A and 311B.

홀더 연결부(330)는 홀더 유닛(400)을 연결할 수 있도록 구성된다. 홀더 연결부(330)는 예를 들어 실린더이다. 홀더 연결부(330)는 예를 들어 제1 배치부(331) 및 제2 배치부(332)를 포함한다.The holder connection part 330 is configured to connect the holder unit 400 . The holder connecting portion 330 is, for example, a cylinder. The holder connection part 330 includes, for example, a first arranging part 331 and a second arranging part 332 .

제1 배치부(331)는 홀더(410)를 배치할 수 있도록 구성된다. 제1 배치부(331)는 예를 들어 배치공간(331A)을 포함한다. 제2 배치부(332)는 규제부(323)를 배치할 수 있도록 구성된다. 제2 배치부(332)는 예를 들어 구멍(332A)을 포함한다. 구멍(332A)은 배치공간(331A)에 연결된다.The first placement unit 331 is configured to place the holder 410 . The first placement unit 331 includes, for example, an arrangement space 331A. The second arranging unit 332 is configured to dispose the regulating unit 323 . The second placement portion 332 includes, for example, a hole 332A. The hole 332A is connected to the placement space 331A.

선회축(321)의 하단부는 배치공간(331A)에 배치된다. 선회축(321)의 하단부는 홀더 연결부(330)에 연결된다. 선회축(321)과 홀더 연결부(330)의 연결형태는 예를 들면 기계적 접합이다. 도시되는 예에서 선회축(321)은 홀더 연결부(330)에 압입된다.The lower end of the pivot 321 is disposed in the arrangement space 331A. The lower end of the pivot shaft 321 is connected to the holder connection part 330 . The connection form of the pivot shaft 321 and the holder connection part 330 is, for example, mechanical bonding. In the illustrated example, the pivot 321 is press-fitted into the holder connection part 330 .

흡착부(322)는 홀더 유닛(400)의 홀더(410)를 자력(磁力)에 의해 흡착할 수 있도록 구성된다. 흡착부(322)는 예를 들어 자석(322A)을 포함한다. 흡착부(322)는 배치공간(331A)에 배치된다. 흡착부(322)는 선회축(321)에 대해 하방향으로 위치한다.The adsorption unit 322 is configured to adsorb the holder 410 of the holder unit 400 by magnetic force. The suction unit 322 includes, for example, a magnet 322A. The adsorption unit 322 is disposed in the placement space 331A. The adsorption unit 322 is located in a downward direction with respect to the pivot shaft 321 .

흡착부(322)는 홀더 연결부(330)에 연결된다. 흡착부(322)와 홀더 연결부(330)의 연결형태는 예를 들면 화학적 접합이다. 도시되는 예에서 흡착부(322)는 접착제에 의해 홀더 연결부(330)에 접합된다.The suction part 322 is connected to the holder connection part 330 . The connection form between the suction part 322 and the holder connection part 330 is, for example, chemical bonding. In the illustrated example, the suction part 322 is bonded to the holder connection part 330 by an adhesive.

규제부(323)는 높이방향에 관한 홀더 연결부(330)에 대한 홀더(410)의 위치를 결정하도록 구성된다. 일례에서 규제부(323)는 핀(323A)을 포함한다. 규제부(323)는 구멍(332A) 및 배치공간(331A)에 배치된다.The limiting portion 323 is configured to determine the position of the holder 410 relative to the holder connecting portion 330 with respect to the height direction. In one example, the restrictor 323 includes a pin 323A. The regulating portion 323 is disposed in the hole 332A and the arrangement space 331A.

규제부(323)는 홀더 연결부(330)에 연결된다. 규제부(323)와 홀더 연결부(330)의 연결형태는 예를 들면 기계적 접합이다. 도시되는 예에서 규제부(323)는 홀더 연결부(330)에 압입된다.The regulating part 323 is connected to the holder connection part 330 . A connection form between the regulating portion 323 and the holder connection portion 330 is, for example, mechanical bonding. In the illustrated example, the regulating portion 323 is press-fitted into the holder connecting portion 330 .

선회부(320)는 하나 또는 복수의 기준면(324)을 포함한다. 기준면(324)은 평면이다. 도시되는 예에서 선회부(320)는 복수의 기준면(324)을 포함한다. 복수의 기준면(324)은 제1 기준면(324A), 제2 기준면(324B), 제3 기준면(324C) 및 제4 기준면(324D)을 포함한다.The turning part 320 includes one or a plurality of reference surfaces 324 . The reference plane 324 is a plane. In the illustrated example, the turning portion 320 includes a plurality of reference surfaces 324 . The plurality of reference planes 324 include a first reference plane 324A, a second reference plane 324B, a third reference plane 324C, and a fourth reference plane 324D.

기준면(324)은 예를 들어 홀더 연결부(330)의 외표면을 구성한다. 제1 기준면(324A)은 폭방향에 관한 선회부(320)의 중심에 대해 제1 폭방향에 위치한다. 제2 기준면(324B)은 폭방향에 관한 선회부(320)의 중심에 대해 제2 폭방향에 위치한다. 제3 기준면(324C)은 깊이방향에 관한 선회부(320)의 중심에 대해 전방향에 위치한다. 제4 기준면(324D)은 깊이방향에 관한 선회부(320)의 중심에 대해 후방향에 위치한다.The reference surface 324 constitutes, for example, an outer surface of the holder connection part 330 . The first reference surface 324A is located in the first width direction with respect to the center of the turning portion 320 in the width direction. The second reference surface 324B is located in the second width direction with respect to the center of the turning portion 320 in the width direction. The third reference plane 324C is located in the forward direction with respect to the center of the turning portion 320 in the depth direction. The fourth reference surface 324D is located in the rear direction with respect to the center of the turning portion 320 in the depth direction.

(슬라이더)(slider)

도 3 및 도 7을 참조한다. 슬라이더(200)의 구성은 임의로 선택할 수 있다. 슬라이더(200)의 구성은 예시되는 구성에 한정되지 않는다. 슬라이더(200)는 예를 들어 슬라이더 본체(210), 피가압부(220) 및 위치 설정부(230)를 포함한다. 슬라이더 본체(210)는 예를 들어 블록이다. 피가압부(220) 및 위치 설정부(230)는 슬라이더 본체(210)에 연결된다.See Figures 3 and 7. The configuration of the slider 200 can be arbitrarily selected. The configuration of the slider 200 is not limited to the illustrated configuration. The slider 200 includes, for example, a slider body 210, a portion to be pressed 220, and a positioning portion 230. The slider body 210 is a block, for example. The part to be pressed 220 and the positioning part 230 are connected to the slider body 210.

슬라이더 본체(210)는 예를 들어 베어링부 배치부(211)를 포함한다. 베어링부 배치부(211)는 홀더 조인트(300)의 베어링부(310)를 배치할 수 있도록 구성된다. 베어링부 배치부(211)는 예를 들어 배치공간(211A)을 포함한다. 배치공간(211A)은 슬라이더 본체(210)의 저면(210FB)에 개구한다.The slider body 210 includes, for example, a bearing portion arranging portion 211 . The bearing unit arranging unit 211 is configured to dispose the bearing unit 310 of the holder joint 300 . The bearing part arranging part 211 includes, for example, an arranging space 211A. The placement space 211A is open to the lower surface 210FB of the slider body 210.

슬라이더 본체(210)는 예를 들어 중간 배치부(212)를 포함한다. 중간 배치부(212)는 하나 또는 복수의 볼트(10B2)를 배치할 수 있도록 구성된다. 중간 배치부(212)는 하나 또는 복수의 구멍(212A)을 포함한다. 구멍(212A)은 중간 배치부(212)를 관통한다. 구멍(212A)의 중심축은 폭방향으로 평행하다. 슬라이더 본체(210)는 복수의 볼트(10B2)에 의해 가동레일(32)에 연결된다.The slider body 210 includes, for example, an intermediate placement portion 212 . The intermediate placement unit 212 is configured to be able to place one or a plurality of bolts 10B2. The intermediate placement portion 212 includes one or a plurality of holes 212A. The hole 212A passes through the intermediate arrangement 212 . The central axis of the hole 212A is parallel to the width direction. The slider body 210 is connected to the movable rail 32 by a plurality of bolts 10B2.

슬라이더 본체(210)는 예를 들어 상부 배치부(213)를 포함한다. 상부 배치부(213)는 연결 볼트(221)를 배치할 수 있도록 구성된다. 상부 배치부(213)는 예를 들어 나사구멍을 포함한다. 나사구멍은 슬라이더 본체(210)의 윗면에 개구한다. 나사구멍의 중심축은 높이방향으로 평행하다.The slider body 210 includes an upper placement portion 213, for example. The upper arrangement part 213 is configured to be able to arrange the connection bolt 221 . The upper placement portion 213 includes, for example, a screw hole. A screw hole is opened on the upper surface of the slider body 210. The central axis of the screw hole is parallel to the height direction.

슬라이더 본체(210)는 예를 들어 제1 저부 배치부(214)를 포함한다. 제1 저부 배치부(214)는 하나 또는 복수의 볼트(10B4)를 배치할 수 있도록 구성된다. 제1 저부 배치부(214)는 하나 또는 복수의 나사구멍(214A)을 포함한다. 나사구멍(214A)은 슬라이더 본체(210)의 저면(210FB)에 개구한다. 나사구멍(214A)의 중심축은 높이방향에 평행하다.The slider body 210 includes, for example, a first bottom arrangement 214 . The first bottom placing portion 214 is configured to be able to place one or a plurality of bolts 10B4. The first bottom mounting portion 214 includes one or a plurality of screw holes 214A. The screw hole 214A opens in the bottom face 210FB of the slider main body 210. The central axis of the screw hole 214A is parallel to the height direction.

슬라이더 본체(210)는 예를 들어 제2 저부 배치부(215)를 포함한다. 제2 저부 배치부(215)는 하나 또는 복수의 볼트(10B5)를 배치할 수 있도록 구성된다. 제2 저부 배치부(215)는 하나 또는 복수의 나사구멍(215A)을 포함한다. 나사구멍(215A)은 슬라이더 본체(210)의 저면(210FB)에 개구한다. 나사구멍(215A)의 중심축은 높이방향으로 평행하다.The slider body 210 includes, for example, a second bottom arrangement 215 . The second bottom placing portion 215 is configured to be able to place one or a plurality of bolts 10B5. The second bottom mounting portion 215 includes one or a plurality of screw holes 215A. The screw hole 215A opens in the bottom face 210FB of the slider main body 210. The central axis of the screw hole 215A is parallel in the height direction.

슬라이더 본체(210)는 예를 들어 제3 저부 배치부(216)를 포함한다. 제3 저부 배치부(216)는 하나 또는 복수의 핀(231)을 배치할 수 있도록 구성된다. 제3 저부 배치부(216)는 하나 또는 복수의 구멍(216A)을 포함한다. 구멍(216A)은 슬라이더 본체(210)의 저면(210FB)에 개구한다. 구멍(216A)의 중심축은 높이방향에 평행하다.The slider body 210 includes, for example, a third bottom arrangement 216 . The third bottom disposing portion 216 is configured to dispose one or a plurality of pins 231 . The third bottom arrangement 216 includes one or a plurality of holes 216A. The hole 216A opens in the bottom face 210FB of the slider main body 210. The central axis of the hole 216A is parallel to the height direction.

피가압부(220)는 하중 조절부(50)의 가압부(52)에 접촉하도록 구성된다. 피가압부(220)는 예를 들어 연결볼트(221) 및 플레이트(222)를 포함한다. 연결볼트(221)의 나사는 상부 배치부(213)의 나사구멍에 배치된다. 연결볼트(221)는 슬라이더 본체(210)에 연결된다.The part to be pressed 220 is configured to contact the pressing part 52 of the load adjusting part 50 . The part to be pressed 220 includes, for example, a connecting bolt 221 and a plate 222 . The screw of the connection bolt 221 is disposed in the screw hole of the upper mounting part 213. The connection bolt 221 is connected to the slider body 210.

플레이트(222)는 연결볼트(221)의 상단부에 연결된다. 플레이트(222)는 슬라이더 본체(210)에 대해 상방향에 위치한다. 하중 조절부(50)의 가압부(52)는 플레이트(222)에 접촉한다. 가압부(52)는 피가압부(220)를 하방향으로 누름으로써 슬라이더(200)에 하중을 부여한다.The plate 222 is connected to the upper end of the connecting bolt 221. The plate 222 is positioned upward relative to the slider body 210 . The pressing portion 52 of the load adjusting portion 50 contacts the plate 222 . The pressing portion 52 applies a load to the slider 200 by pressing the portion to be pressed 220 downward.

위치 설정부(230)는 슬라이더(200)에 대한 각도 설정부(500)의 위치 결정에 이용할 수 있도록 구성된다. 위치 설정부(230)는 예를 들어 하나 또는 복수의 핀(231)을 포함한다. 핀(231)은 제3 저부 배치부(216)의 구멍(216A)에 배치된다. 핀(231)은 슬라이더 본체(210)에 연결된다. 핀(231)의 일부는 슬라이더 본체(210)의 저면(210FB)에 대해 하방향으로 돌출한다.The position setting unit 230 is configured to be used for determining the position of the angle setting unit 500 relative to the slider 200 . The position setting unit 230 includes one or a plurality of pins 231, for example. The pin 231 is disposed in the hole 216A of the third bottom mounting portion 216 . The pin 231 is connected to the slider body 210. A part of the pin 231 protrudes downward from the bottom surface 210FB of the slider body 210 .

(각 요소의 연결)(connection of each element)

도 6 및 도 7을 참조한다. 홀더 유닛(400)은 홀더 조인트(300)에 연결된다. 홀더(410)의 기부(411)는 홀더 연결부(330)의 배치공간(331A)에 배치된다. 홀더(410)는 흡착부(322)에 의해 흡착된다. 기부(411)의 경사면(411A)은 규제부(323)에 접촉한다. 기부(411)와 규제부(323)의 접촉에 의해 홀더 연결부(330)에 대한 홀더(410)의 위치가 결정된다.See Figures 6 and 7. The holder unit 400 is connected to the holder joint 300 . The base 411 of the holder 410 is disposed in the arrangement space 331A of the holder connection part 330 . The holder 410 is adsorbed by the adsorption unit 322 . The inclined surface 411A of the base 411 contacts the regulating portion 323 . The position of the holder 410 relative to the holder connection part 330 is determined by the contact between the base 411 and the regulating part 323 .

홀더 조인트(300)는 슬라이더(200)에 연결된다. 베어링부(310)는 슬라이더 본체(210)의 배치공간(211A)에 배치된다. 케이스(312) 플랜지(312B)의 저부는 슬라이더 본체(210)의 저면(210FB)에 대해 하방향으로 돌출한다.The holder joint 300 is connected to the slider 200. The bearing part 310 is disposed in the arrangement space 211A of the slider body 210. The bottom of the flange 312B of the case 312 protrudes downward from the bottom surface 210FB of the slider body 210 .

볼트(10B4)는 제1 저부 배치부(214)의 나사구멍(214A)에 배치된다. 볼트(10B4)의 헤드(10B41)는 플랜지(312B)의 저면(312BF)에 대해 하방향으로 위치한다. 볼트(10B4)의 헤드(10B41)는 플랜지(312B)의 저면(312BF)에 접촉한다. 볼트(10B4)에 의해 슬라이더 본체(210)에 대한 베어링부(310)의 위치가 결정된다.The bolt 10B4 is disposed in the screw hole 214A of the first bottom mounting portion 214. The head 10B41 of the bolt 10B4 is positioned downward relative to the bottom surface 312BF of the flange 312B. The head 10B41 of the bolt 10B4 contacts the bottom face 312BF of the flange 312B. The position of the bearing part 310 relative to the slider body 210 is determined by the bolt 10B4.

홀더 조인트(300)가 슬라이더(200)에 연결된 상태에서는 홀더 조인트(300)의 선회부(320) 및 홀더 유닛(400)은 슬라이더(200)에 대해 일체적으로 회전한다.In a state in which the holder joint 300 is connected to the slider 200, the turning portion 320 of the holder joint 300 and the holder unit 400 integrally rotate with respect to the slider 200.

선회부(320)는 베어링부(310)의 중심축 둘레에서 베어링(311)의 외륜 및 케이스(312)에 대해 제1 선회방향 또는 제2 선회방향으로 선회한다. 제1 선회방향은 제2 선회방향과는 반대방향이다. 선회방향은 제1 선회방향 및 제2 선회방향을 총칭한다. 제1 선회방향으로 선회하는 선회부(320)의 동작을 "제1 선회동작"이라 칭한다. 제2 선회방향으로 선회하는 선회부(320)의 동작을 "제2 선회동작"이라 칭한다. 선회동작은 제1 선회동작 및 제2 선회동작을 총칭한다.The turning part 320 turns around the central axis of the bearing part 310 in a first turning direction or a second turning direction with respect to the outer ring of the bearing 311 and the case 312 . The first turning direction is opposite to the second turning direction. The turning direction is a general term for the first turning direction and the second turning direction. The operation of the turning unit 320 turning in the first turning direction is referred to as a "first turning action". The operation of the turning unit 320 turning in the second turning direction is referred to as a "second turning action". The turning action is a generic name for the first turning action and the second turning action.

선회부(320) 및 선회부(320)와 일체적으로 선회하는 요소에 관한 베어링부(310)의 중심축 주위의 회전 각도를 "선회각도"라 칭한다. 선회부(320)를 제1 선회동작시키도록 작용하는 토크를 "제1 토크"라 칭한다. 선회부(320)를 제2 선회 동작시키도록 작용하는 토크를 "제2 토크"라 칭한다.A rotation angle around the central axis of the bearing portion 310 with respect to the pivoting portion 320 and an element that pivots integrally with the pivoting portion 320 is referred to as a "slewing angle". A torque acting to cause the swing unit 320 to perform a first swing operation is referred to as “first torque”. A torque acting to cause the swing unit 320 to perform a second swing operation is referred to as “second torque”.

선회부(320)의 선회각도가 0°인 상태에서는 예를 들어 다음과 같은 상태가 관찰된다. 제1 기준면(324A)은 제2 좌표평면에 평행하다. 제2 기준면(324B)은 제2 좌표평면에 평행하다. 제3 기준면(324C)은 제3 좌표평면에 평행하다. 제4 기준면(324D)은 제3 좌표평면에 평행하다. 홀더 유닛(400)의 핀(430)의 중심축은 폭방향으로 평행하다. 스크라이빙 휠(420)의 중심면은 제3 좌표평면에 평행하다.In a state where the turning angle of the turning portion 320 is 0°, for example, the following state is observed. The first reference plane 324A is parallel to the second coordinate plane. The second reference plane 324B is parallel to the second coordinate plane. The third reference plane 324C is parallel to the third coordinate plane. The fourth reference plane 324D is parallel to the third coordinate plane. The central axis of the pin 430 of the holder unit 400 is parallel in the width direction. The center plane of the scribing wheel 420 is parallel to the third coordinate plane.

(각도 설정부)(Angle setting part)

도 8 및 도 10을 참조한다. 각도 설정부(500)는 선회부(320)의 선회각도를 설정할 수 있도록 구성된다. 선회부(320)의 선회각도 설정에는 선회각도 조절 및 선회각도 유지가 포함된다. 각도 설정부(500)는 선회부(320)의 선회각도를 임의로 조절할 수 있도록 구성된다. 각도 설정부(500)는 선회부(320)의 선회각도를 임의의 선회각도로 유지할 수 있도록 구성된다.See Figures 8 and 10. The angle setting unit 500 is configured to set a turning angle of the turning unit 320 . Setting the turning angle of the turning unit 320 includes adjusting the turning angle and maintaining the turning angle. The angle setting unit 500 is configured to arbitrarily adjust the turning angle of the turning unit 320 . The angle setting unit 500 is configured to maintain the turning angle of the turning unit 320 at an arbitrary turning angle.

각도 설정부(500)의 적어도 일부는 슬라이더 본체(210)와는 개별적으로 구성된다. 도시되는 예에서 각도 설정부(500)의 전부는 슬라이더 본체(210)와는 개별적으로 구성된다. 각도 설정부(500)는 슬라이더 본체(210)에 대해 착탈이 가능하도록 구성된다. 각도 설정부(500)는 슬라이더 본체(210)의 저부에 설치된다.At least a part of the angle setting unit 500 is configured separately from the slider body 210 . In the illustrated example, all of the angle setting unit 500 is configured separately from the slider body 210. The angle setting unit 500 is configured to be detachable from the slider body 210 . The angle setting unit 500 is installed on the bottom of the slider body 210 .

(가압부)(pressing part)

도 8 및 도 10을 참조한다. 각도 설정부(500)는 예를 들어 가압부(510)를 포함한다. 가압부(510)는 선회부(320)를 가압할 수 있도록 구성된다. 가압부(510)는 선회부(320)를 제1 선회동작 또는 제2 선회동작 시키도록 구성된다. 가압부(510)는 선회부(320)의 선회각도를 유지할 수 있도록 구성된다. 가압부(510)는 예를 들어 제1 가압부(511) 및 제2 가압부(512)를 포함한다. 제1 가압부(511) 및 제2 가압부(512)는 각각 선회부(320)에서의 다른 부분을 가압할 수 있도록 구성된다.See Figures 8 and 10. The angle setting unit 500 includes, for example, a pressing unit 510 . The pressing unit 510 is configured to press the turning unit 320 . The pressing unit 510 is configured to cause the turning unit 320 to perform a first turning operation or a second turning operation. The pressing part 510 is configured to maintain the turning angle of the turning part 320 . The pressing part 510 includes, for example, a first pressing part 511 and a second pressing part 512 . The first pressing part 511 and the second pressing part 512 are configured to press different parts of the turning part 320 , respectively.

제1 가압부(511) 및 제2 가압부(512)의 한쪽은 예를 들어 탄성요소를 포함한다. 탄성요소는 선회부 320에 탄성력을 부여할 수 있도록 구성된다. 탄성요소의 예로서 플런저 및 스프링을 들 수 있다. 제1 가압부(511) 및 제2 가압부(512)의 다른 쪽은 예를 들어 나사요소를 포함한다. 나사요소의 예로서 나사 및 볼트를 들 수 있다.One of the first pressing portion 511 and the second pressing portion 512 includes, for example, an elastic element. The elastic element is configured to provide an elastic force to the turning portion 320 . Examples of elastic elements include plungers and springs. The other side of the first pressing part 511 and the second pressing part 512 includes, for example, a screw element. Examples of screw elements include screws and bolts.

제1 가압부(511) 및 제2 가압부(512)의 배치에 대해 예시한다. 제1 예에서 제1 가압부(511) 및 제2 가압부(512)는 제1 가압부(511)와 제2 가압부(512)의 사이에 선회부(320)를 끼우도록 배치된다. 제2 예에서 제1 가압부(511) 및 제2 가압부(512)는 폭방향으로 나란히 배치된다. 제3 예에서 제1 가압부(511) 및 제2 가압부(512)는 깊이방향으로 나란히 배치된다.The arrangement of the first pressing part 511 and the second pressing part 512 is illustrated. In the first example, the first pressing part 511 and the second pressing part 512 are disposed so as to sandwich the turning part 320 between the first pressing part 511 and the second pressing part 512 . In the second example, the first pressing part 511 and the second pressing part 512 are disposed side by side in the width direction. In the third example, the first pressing part 511 and the second pressing part 512 are disposed side by side in the depth direction.

선회부(320)는 제1 피접촉부(320A) 및 제2 피접촉부(320B)를 포함한다. 제1 피접촉부(320A)는 가압됨으로써 선회부(320)에 제1 토크가 작용하는 부분이다. 제2 피접촉부(320B)는 가압됨으로써 선회부(320)에 제2 토크가 작용하는 부분이다. 일례에서 선회부(320)의 기준면(324)은 제1 피접촉부(320A) 및 제2 피접촉부(320B)를 포함한다.The turning portion 320 includes a first contacted portion 320A and a second contacted portion 320B. The first contacted portion 320A is a portion on which a first torque acts on the turning portion 320 by being pressurized. The second contacted portion 320B is a portion on which the second torque acts on the turning portion 320 by being pressurized. In one example, the reference surface 324 of the turning portion 320 includes a first contacted portion 320A and a second contacted portion 320B.

제1 가압부(511)는 선회부(320)의 제1 피접촉부(320A)에 접촉한 상태에서, 제1 가압부(511)의 중심축을 따르는 방향으로 선회부(320)를 가압할 수 있도록 구성된다. 제1 가압부(511)에 의해 제1 피접촉부(320A)가 가압된 경우, 제1 토크가 선회부(320)에 작용한다. 제1 가압부(511)가 제1 피접촉부(320A)에 접촉한 상태에서는 선회부(320)의 제2 선회동작이 제1 가압부(511)에 의해 규제된다.The first pressing part 511 can press the turning part 320 in a direction along the central axis of the first pressing part 511 in a state of being in contact with the first contacted part 320A of the turning part 320. It consists of When the first contacted portion 320A is pressed by the first pressing portion 511, the first torque acts on the turning portion 320. In a state in which the first pressing portion 511 is in contact with the first contacted portion 320A, the second turning motion of the turning portion 320 is restricted by the first pressing portion 511 .

제2 가압부(512)는 선회부(320)의 제2 피접촉부(320B)에 접촉한 상태에서, 제2 가압부(512)의 중심축을 따르는 방향으로 선회부(320)를 가압할 수 있도록 구성된다. 제2 가압부(512)에 의해 제2 피접촉부(320B)가 가압된 경우, 제2 토크가 선회부(320)에 작용한다. 제2 가압부(512)가 제2 피접촉부(320B)에 접촉한 상태에서는 선회부(320)의 제1 선회동작이 제2 가압부(512)에 의해 규제된다.The second pressing part 512 presses the turning part 320 in a direction along the central axis of the second pressing part 512 while being in contact with the second contacted part 320B of the turning part 320. It consists of When the second contacted portion 320B is pressed by the second pressing portion 512, the second torque acts on the turning portion 320. In a state where the second pressing portion 512 is in contact with the second contacted portion 320B, the first turning motion of the turning portion 320 is restricted by the second pressing portion 512 .

제1 가압부(511)가 제1 피접촉부(320A)에 접촉하고, 또한 제2 가압부(512)가 제2 피접촉부(320B)에 접촉한 상태에서는 각 가압부(511, 512)에 의해 선회부(320)의 선회동작이 규제된다. 각 가압부(511, 512)에 의해 선회각도가 유지된다.In a state where the first pressing portion 511 is in contact with the first contacted portion 320A and the second pressing portion 512 is in contact with the second contacted portion 320B, each pressing portion 511, 512 A turning operation of the turning unit 320 is regulated. The turning angle is maintained by each of the pressing parts 511 and 512 .

제1 가압부(511)에 탄성요소가 포함되는 예에서는 제1 가압부(511)가 제1 피접촉부(320A)에 접촉하고, 또한 탄성요소의 탄성력에 기초한 제1 토크보다 큰 제2 토크가 선회부(320)에 작용하는 경우, 선회부(320)가 제2 선회동작한다.In an example in which an elastic element is included in the first pressing part 511, the first pressing part 511 contacts the first contacted part 320A, and a second torque greater than the first torque based on the elastic force of the elastic element is applied. When acting on the turning portion 320, the turning portion 320 performs a second turning operation.

제2 가압부(512)에 탄성요소가 포함되는 예에서는, 제2 가압부(512)가 제2 피접촉부(320B)에 접촉하고, 또한, 탄성요소의 탄성력에 기초한 제2 토크보다 큰 제1 토크가 선회부(320)에 작용하는 경우, 선회부(320)가 제1 선회동작한다.In an example in which an elastic element is included in the second pressing portion 512, the second pressing portion 512 contacts the second contacted portion 320B, and a first torque greater than the second torque based on the elastic force of the elastic element. When the torque acts on the turning portion 320, the turning portion 320 performs a first turning operation.

(설정부 본체)(setting unit body)

도 8 및 도 10을 참조한다. 각도 설정부(500)는 예를 들어 설정부 본체(600)를 포함한다. 설정부 본체(600)는 슬라이더(200)에 착탈이 가능하도록 구성된다. 설정부 본체(600)는 예를 들어 플레이트이다. 설정부 본체(600)는 예를 들어 제1 구성부(601), 제2 구성부(602), 제3 구성부(603), 제4 구성부(604)를 포함한다.See Figures 8 and 10. The angle setting unit 500 includes, for example, the setting unit body 600 . The setting unit body 600 is configured to be detachable from the slider 200. The setting unit body 600 is, for example, a plate. The setting unit main body 600 includes, for example, a first component 601, a second component 602, a third component 603, and a fourth component 604.

제1 구성부(601)는 폭방향에 관한 설정부 본체(600)의 중심에 대해 제1 폭방향에 위치한다. 제2 구성부(602)는 폭방향에 관한 설정부 본체(600)의 중심에 대해 제2 폭방향으로 위치한다. 제3 구성부(603)는 깊이방향에 관한 설정부 본체(600)의 중심에 대해 전방향으로 위치한다. 제4 구성부(604)는 깊이방향에 관한 설정부 본체 600의 중심에 대해 후방향으로 위치한다.The first configuration part 601 is located in the first width direction with respect to the center of the setting part main body 600 with respect to the width direction. The second configuration part 602 is located in the second width direction with respect to the center of the setting part main body 600 with respect to the width direction. The third configuration part 603 is located in the forward direction with respect to the center of the setting part main body 600 with respect to the depth direction. The fourth configuration part 604 is located rearward with respect to the center of the setting part main body 600 in the depth direction.

설정부 본체(600)는 제1 접속부(605), 제2 접속부(606), 제3 접속부(607) 및 제4 접속부(608)를 포함한다. 제1 접속부(605)는 제1 구성부(601)와 제3 구성부(603)를 접속한다. 제2 접속부(606)는 제1 구성부(601)와 제4 구성부(604)를 접속한다. 제3 접속부(607)는 제2 구성부(602)와 제3구성부(603)를 접속한다. 제4 접속부(608)는 제2 구성부(602)와 제4 구성부(604)를 접속한다.The setting part main body 600 includes a first connection part 605 , a second connection part 606 , a third connection part 607 and a fourth connection part 608 . The first connector 605 connects the first component 601 and the third component 603 . The second connector 606 connects the first component 601 and the fourth component 604 . The third connector 607 connects the second component 602 and the third component 603 . The fourth connector 608 connects the second component 602 and the fourth component 604 .

설정부 본체(600)는 예를 들어 선회부 배치부(610)를 포함한다. 선회부 배치부(610)는 선회부(320)를 배치할 수 있도록 구성된다. 선회부 배치부(610)는 제1 구성부(601)의 내측부, 제2 구성부(602)의 내측부, 제3 구성부(603)의 내측부 및 제4 구성부(604)의 내측부를 포함하는 부분에 마련된다. 선회부 배치부(610)는 예를 들어, 구멍(611) 및 내주면(612)을 포함한다. 구멍(611)은 선회부 배치부(610)를 관통한다. 구멍(611)의 중심축은 높이방향에 평행하다. 내주면(612)은 구멍(611)을 규정한다.The setting unit main body 600 includes, for example, a turning unit arranging unit 610 . The turning unit arranging unit 610 is configured to dispose the turning unit 320 . The turning portion arranging portion 610 includes an inner portion of the first component 601, an inner portion of the second component 602, an inner portion of the third component 603, and an inner portion of the fourth component 604. provided in the part. The turning portion arranging portion 610 includes, for example, a hole 611 and an inner circumferential surface 612 . A hole 611 passes through the pivot arranging portion 610 . The central axis of the hole 611 is parallel to the height direction. The inner circumferential surface 612 defines an aperture 611 .

설정부 본체(600)는 예를 들어 가압부 배치부(620)를 포함한다. 가압부 배치부(620)는 가압부(510)를 배치할 수 있도록 구성된다. 가압부 배치부(620)는 예를 들어 제1 가압부 배치부(621) 및 제2 가압부 배치부(622)를 포함한다. 제1 가압부 배치부(621)는 제1 구성부(601)에 설치된다. 제2 가압부 배치부(622)는 제2 구성부 (602)에 설치된다.The setting unit main body 600 includes, for example, a pressing unit arranging unit 620 . The pressing unit arranging unit 620 is configured to dispose the pressing unit 510 . The pressing part arranging unit 620 includes, for example, a first pressing unit arranging unit 621 and a second pressing unit arranging unit 622 . The first pressing unit arranging unit 621 is installed in the first configuration unit 601 . The second pressing unit arranging unit 622 is installed in the second configuration unit 602 .

제1 가압부 배치부(621)는 제1 가압부(511)를 배치할 수 있도록 구성된다. 제1 가압부 배치부(621)는 예를 들어 구멍(621A)을 포함한다. 구멍(621A)은 제1 가압부 배치부(621)를 관통한다. 구멍(621A)의 중심축은 폭방향에 평행하다. 제1 가압부 배치부(621)는 깊이방향에 관한 선회부 배치부(610)의 중심에 대해 전방향 또는 후방향에 위치한다. 도시되는 예에서, 제1 가압부 배치부(621)는 깊이방향에 관한 선회부 배치부(610)의 중심에 대해 후방향에 위치한다.The first pressing unit arranging unit 621 is configured to dispose the first pressing unit 511 . The first pressing portion arranging portion 621 includes, for example, a hole 621A. The hole 621A passes through the first pressing portion arranging portion 621 . The central axis of the hole 621A is parallel to the width direction. The first pressing portion arranging portion 621 is located forward or backward with respect to the center of the turning portion arranging portion 610 in the depth direction. In the illustrated example, the first pressing portion arranging portion 621 is located rearward with respect to the center of the turning portion arranging portion 610 in the depth direction.

제2 가압부 배치부(622)는 제2 가압부(512)를 배치할 수 있도록 구성된다. 제2 가압부 배치부(622)는 예를 들어 나사구멍(622A)을 포함한다. 나사구멍(622A)은 제2 가압부 배치부(622)를 관통한다. 나사구멍(622A)의 중심축은 폭방향에 평행한다. 제2 가압부 배치부(622)는 깊이방향에 관한 선회부 배치부(610)의 중심에 대해 전방향 또는 후방향에 위치한다. 도시되는 예에서, 제2 가압부 배치부(622)는 깊이방향에 관한 선회부 배치부(610)의 중심에 대해 후방향에 위치한다.The second pressing unit arranging unit 622 is configured to dispose the second pressing unit 512 . The second pressing portion arranging portion 622 includes, for example, a screw hole 622A. The screw hole 622A passes through the second pressing portion arranging portion 622 . The central axis of the screw hole 622A is parallel to the width direction. The second pressing part arranging part 622 is located forward or backward with respect to the center of the turning part arranging part 610 in the depth direction. In the illustrated example, the second pressing portion arranging portion 622 is located rearward with respect to the center of the turning portion arranging portion 610 in the depth direction.

설정부 본체(600)는 예를 들어 볼트 배치부(630)를 포함한다. 볼트 배치부(630)는 하나 또는 복수의 볼트(10B5)를 배치할 수 있도록 구성된다. 볼트 배치부(630)는 예를 들어 제1 볼트 배치부(631), 제2 볼트 배치부(632), 제3 볼트 배치부(633) 및 제4 볼트 배치부(634)를 포함한다.The setting unit body 600 includes, for example, a bolt placement unit 630 . The bolt placement unit 630 is configured to place one or a plurality of bolts 10B5. The bolt arranging unit 630 includes, for example, a first bolt arranging unit 631 , a second bolt arranging unit 632 , a third bolt arranging unit 633 , and a fourth bolt arranging unit 634 .

제1 볼트 배치부(631)는 제1 접속부(605)에 설치된다. 제2 볼트 배치부(632)는 제2 접속부(606)에 설치된다. 제3 볼트 배치부(633)는 제3 구성부(603)에서의 제3 접속부(607) 부근에 설치된다. 제4 볼트 배치부(634)는 제4 구성부(604)에서의 제4 접속부(608) 부근에 설치된다.The first bolt arranging portion 631 is installed on the first connecting portion 605 . The second bolt arranging portion 632 is installed on the second connection portion 606 . The third bolt placement portion 633 is installed in the vicinity of the third connection portion 607 in the third configuration portion 603 . The fourth bolt arranging portion 634 is installed in the vicinity of the fourth connection portion 608 in the fourth configuration portion 604 .

제1 볼트 배치부 631은 볼트 10B5를 배치할 수 있도록 구성된다. 제1 볼트 배치부 631은 예를 들어 구멍(631A)을 포함한다. 구멍(631A)은 제1 볼트 배치부 631을 관통한다. 구멍(631A)의 중심축은 높이방향에 평행하다.The first bolt disposing unit 631 is configured to be able to dispose the bolt 10B5. The first bolt distributing portion 631 includes, for example, a hole 631A. The hole 631A passes through the first bolt distributing portion 631 . The central axis of the hole 631A is parallel to the height direction.

제2 볼트 배치부(632)는 볼트(10B5)를 배치할 수 있도록 구성된다. 제2 볼트 배치부(632)는 예를 들어 구멍(632A)을 포함한다. 구멍(632A)은 제2 볼트 배치부(632)를 관통한다. 구멍(632A)의 중심축은 높이방향에 평행하다.The second bolt disposing unit 632 is configured to be able to dispose the bolt 10B5. The second bolt distributing portion 632 includes, for example, a hole 632A. The hole 632A passes through the second bolt distributing portion 632 . The central axis of the hole 632A is parallel to the height direction.

제3 볼트 배치부(633)는 볼트(10B5)를 배치할 수 있도록 구성된다. 제3 볼트 배치부(633)는 예를 들어 구멍(633A)을 포함한다. 구멍(633A)은 제3볼트 배치부(633)를 관통한다. 구멍(633A)의 중심축은 높이방향에 평행하다.The third bolt disposing unit 633 is configured to be able to dispose the bolt 10B5. The third bolt placement portion 633 includes, for example, a hole 633A. The hole 633A passes through the third bolt arranging portion 633 . The central axis of the hole 633A is parallel to the height direction.

제4 볼트 배치부(634)는 볼트(10B5)를 배치할 수 있도록 구성된다. 제4 볼트 배치부(634)는 예를 들어 구멍(634A)을 포함한다. 구멍(634A)은 제4 볼트 배치부(634)를 관통한다. 구멍(634A)의 중심축은 높이방향에 평행하다.The fourth bolt disposing unit 634 is configured to be able to dispose the bolt 10B5. The fourth bolt distributing portion 634 includes, for example, a hole 634A. The hole 634A passes through the fourth bolt distributing portion 634 . The central axis of the hole 634A is parallel to the height direction.

설정부 본체(600)는 예를 들어 설정부 배치부(640)를 포함한다. 설정부 배치부(640)는 위치 설정부(230)를 배치할 수 있도록 구성된다. 설정부 배치부(640)는 예를 들어, 제1 배치부(641) 및 제2 배치부(642)를 포함한다. 제1 배치부(641)는 제3 구성부(603)에서의 제1 접속부(605) 부근에 설치된다. 제2 배치부(642)는 제4 구성부(604)에서의 제1 접속부(605) 부근에 설치된다.The setting unit main body 600 includes, for example, a setting unit placement unit 640 . The setting unit arranging unit 640 is configured to place the position setting unit 230 . The setting unit arranging unit 640 includes, for example, a first arranging unit 641 and a second arranging unit 642 . The first placement portion 641 is installed near the first connection portion 605 in the third configuration portion 603 . The second placement portion 642 is installed near the first connection portion 605 in the fourth configuration portion 604 .

제1 배치부(641)는 제1 핀(231)을 배치할 수 있도록 구성된다. 제1 배치부(641)는 예를 들어 긴 구멍(長穴)(641A)을 포함한다. 긴 구멍(641A)은 제1 배치부(641)를 관통한다. 긴 구멍(641A)의 중심축은 높이방향에 평행하다. 긴 구멍(641A)은 깊이방향으로 연장한다.The first placement unit 641 is configured to place the first pin 231 . The first placement portion 641 includes, for example, a long hole 641A. The long hole 641A penetrates the first placement portion 641. The central axis of the long hole 641A is parallel to the height direction. The long hole 641A extends in the depth direction.

제2 배치부(642)는 제2 핀(231)을 배치할 수 있도록 구성된다. 제2 배치부(642)는 예를 들어 구멍(642A)을 포함한다. 구멍(642A)은 제2 배치부(642)를 관통한다. 구멍(642A)의 중심축은 높이방향에 평행하다.The second disposing unit 642 is configured to dispose the second pin 231 . The second placement portion 642 includes, for example, a hole 642A. The hole 642A passes through the second arranging portion 642 . The central axis of the hole 642A is parallel to the height direction.

설정부 본체(600)는 예를 들어 헤드 배치부(650)를 포함한다. 헤드 배치부(650)는 하나 또는 복수의 볼트(10B4) 헤드(10B41)를 배치할 수 있도록 구성된다. 헤드 배치부(650)는 예를 들어, 제1 배치부(651) 및 제2 배치부(652)를 포함한다. 제1 배치부(651)는 제3 구성부(603)에 설치된다. 제2 배치부(642)는 제4 구성부(604)에 설치된다.The setting unit body 600 includes, for example, a head arranging unit 650 . The head placement unit 650 is configured to place one or a plurality of bolts 10B4 heads 10B41. The head disposing unit 650 includes, for example, a first disposing unit 651 and a second disposing unit 652 . The first placement unit 651 is installed on the third configuration unit 603 . The second arranging unit 642 is installed on the fourth configuration unit 604 .

제1 배치부(651)는 볼트(10B4) 헤드(10B41)를 배치할 수 있도록 구성된다. 제1 배치부(651)는 예를 들어 오목부(651A)를 포함한다. 오목부(651A)는 제3 구성부(603)의 윗면 및 제3 구성부(603)의 내주면(612)에 개구한다.The first placement unit 651 is configured to be able to place the head 10B41 of the bolt 10B4. The first placement portion 651 includes, for example, a concave portion 651A. The concave portion 651A opens to the upper surface of the third component 603 and the inner peripheral surface 612 of the third component 603 .

제2 배치부(652)는 볼트(10B4) 헤드(10B41)을 배치할 수 있도록 구성된다. 제2 배치부(652)는 예를 들어 오목부(652A)를 포함한다. 오목부(652A)는 제4 구성부(604)의 윗면 및 제4 구성부(604)의 내주면(612)에 개구한다.The second disposing unit 652 is configured to be able to dispose the head 10B41 of the bolt 10B4. The second placement portion 652 includes, for example, a concave portion 652A. The concave portion 652A opens to the upper surface of the fourth component 604 and the inner peripheral surface 612 of the fourth component 604 .

설정부 본체(600)는 예를 들어 플랜지 배치부(660)를 포함한다. 플랜지 배치부(660)는 케이스(312) 플랜지(312B)의 일부를 배치할 수 있도록 구성된다. 플랜지 배치부(660)는 예를 들어, 제1 배치부(661) 및 제2 배치부(662)를 포함한다. 제1 배치부(661)는 제1 구성부(601)에 설치된다. 제2 배치부(662)는 제2 구성부(602)에 설치된다.The setting unit body 600 includes, for example, a flange arranging unit 660 . The flange arranging unit 660 is configured to be able to arrange a part of the flange 312B of the case 312 . The flange arranging unit 660 includes, for example, a first arranging unit 661 and a second arranging unit 662 . The first placement unit 661 is installed on the first configuration unit 601 . The second placement unit 662 is installed on the second configuration unit 602 .

제1 배치부(661) 플랜지(312B)의 일부를 배치할 수 있도록 구성된다. 제1 배치부(661)는 예를 들어 오목부(661A)를 포함한다. 오목부(661A)는 제1 구성부(601)의 윗면 및 제1 구성부(601)의 내주면(612)에 개구한다.It is configured to be able to arrange a part of the flange 312B of the first arrangement part 661 . The first placement portion 661 includes, for example, a concave portion 661A. The concave portion 661A is open to the upper surface of the first component portion 601 and to the inner circumferential surface 612 of the first component portion 601 .

제2 배치부(662)는 플랜지(312B)의 일부를 배치할 수 있도록 구성된다. 제2 배치부(662)는 예를 들어 오목부(662A)를 포함한다. 오목부(662A)는 제2 구성부(602)의 윗면 및 제2 구성부(602)의 내주면(612)에 개구한다.The second disposing unit 662 is configured to be able to dispose a part of the flange 312B. The second placement portion 662 includes, for example, a concave portion 662A. The concave portion 662A opens to the upper surface of the second component 602 and to the inner circumferential surface 612 of the second component 602 .

제1 가압부(511)는 예를 들어 볼플랜저(511A)를 포함한다. 볼플랜저(511A)는 제1 가압부 배치부(621)의 구멍(621A)에 배치된다. 볼플랜저(511A)의 중심축은 폭방향에 평행하다.The first pressing portion 511 includes, for example, a ball plunger 511A. The ball plunger 511A is disposed in the hole 621A of the first pressing portion arranging portion 621. The central axis of the ball plunger 511A is parallel to the width direction.

볼플랜저(511A)는 예를 들어 실린더(511A1), 볼(511A2), 및 코일 스프링을 포함한다. 실린더(511A1)는 제1 가압부 배치부(621)에 연결된다. 볼(511A2)은 실린더(511A1) 단부에 배치된다. 코일 스프링은 실린더(511A1) 내부에 배치된다. 실린더(511A1) 단부 및 볼(511A2)은 제1 구성부(601)의 내주면(612)에 대해 돌출한다.The ball plunger 511A includes, for example, a cylinder 511A1, a ball 511A2, and a coil spring. The cylinder 511A1 is connected to the first pressing portion arranging portion 621 . The ball 511A2 is placed at the end of the cylinder 511A1. A coil spring is disposed inside the cylinder 511A1. The end of the cylinder 511A1 and the ball 511A2 protrude against the inner circumferential surface 612 of the first component 601 .

제2 가압부(512)는 예를 들어 세목나사(가는나사)(512A)를 포함한다. 세목나사(512A)는 제2 가압부 배치부(622)의 나사구멍(622A)에 배치된다. 세목나사(512A)의 중심축은 폭방향에 평행하다. 세목나사(512A)의 중심축은 볼플랜저(511A)의 중심축과 동축이다. 세목나사(512A)는 회전에 따라 제2 가압부 배치부(622)에 대해 폭방향으로 병진한다.The second pressing portion 512 includes, for example, a fine screw (fine screw) 512A. The set screw 512A is disposed in the screw hole 622A of the second pressing part arranging part 622. The central axis of the three-head screw 512A is parallel to the width direction. The central axis of the fine screw 512A is coaxial with the central axis of the ball plunger 511A. The set screw 512A translates in the width direction with respect to the second pressing portion arranging portion 622 as it rotates.

(고정부)(fixed part)

도 8을 참조한다. 각도 설정부(500)는 예를 들어 고정부(520를 포함한다. 고정부(520)는 선회부(320)의 선회동작을 규제할 수 있도록 구성된다. 고정부(520)는 슬라이더(200)에 대해 착탈할 수 있도록 구성된다. 도시되는 예에서, 고정부(520)는 설정부 본체(600) 및 슬라이더 본체(210)에 대해 착탈할 수 있도록 구성된다. 고정부(520)는 예를 들어 플레이트이다. 고정부(520)는 예를 들어 제1 배치부(521), 제2 배치부(522) 및 규제부(523)를 포함한다.See FIG. 8 . The angle setting unit 500 includes, for example, a fixing unit 520. The fixing unit 520 is configured to regulate the turning motion of the turning unit 320. The fixing unit 520 is a slider 200 In the illustrated example, the fixing unit 520 is configured to be detachable from the setting unit body 600 and the slider body 210. The fixing unit 520 is, for example, The fixing part 520 includes, for example, a first arranging part 521 , a second arranging part 522 and a regulating part 523 .

제1 배치부(521)는 볼트(10B5)를 배치할 수 있도록 구성된다. 제1 배치부(521)는 예를 들어 구멍(521A)을 포함한다. 구멍(521A)은 제1 배치부(521)를 관통한다. 구멍(521A)의 중심축은 높이방향에 평행하다.The first placement unit 521 is configured to be able to place the bolt 10B5. The first placement portion 521 includes, for example, a hole 521A. The hole 521A passes through the first placement portion 521 . The central axis of the hole 521A is parallel to the height direction.

제2 배치부(522)는 볼트(10B5)를 배치할 수 있도록 구성된다. 제2 배치부(522)는 예를 들어 구멍(522A)를 포함한다. 구멍(522A)은 제2 배치부(522)를 관통한다. 구멍(522A)의 중심축은 높이방향에 평행하다.The second placement unit 522 is configured to place the bolt 10B5. The second placement portion 522 includes, for example, a hole 522A. The hole 522A passes through the second arranging portion 522 . The central axis of the hole 522A is parallel to the height direction.

규제부(523)는 선회부(320)의 제1 피접촉부(320A) 및 제2 피접촉부(320B)에 접촉할 수 있도록 구성된다. 규제부(523)는 예를 들어 설정부 본체(600)에 대해 하방향으로 배치된다. 규제부(523)는 예를 들어 제1 단부(523A) 및 제2 단부(523B)를 포함한다. 제1 배치부(521)는 제1 단부(523A)에 연결된다. 제2 배치부(522)는 제2 단부(523B)에 연결된다.The regulating portion 523 is configured to contact the first contacted portion 320A and the second contacted portion 320B of the turning portion 320 . The regulating portion 523 is arranged downwardly with respect to the setting portion main body 600, for example. The regulating portion 523 includes, for example, a first end 523A and a second end 523B. The first placement portion 521 is connected to the first end portion 523A. The second placement portion 522 is connected to the second end portion 523B.

규제부(523)는 규제면(523C)을 포함한다. 규제면(523C)은 예를 들어 선회부(320)의 기준면(324)에 접촉하도록 구성된다. 규제면(523C)은 평면이다. 도시되는 예에서 규제부(523)는 설정부 본체(600)의 제2구성부(602)에 대해 하방향으로 배치된다. 규제면(523C)은 제2 기준면(324B)에 접촉하도록 구성된다.The regulating portion 523 includes a regulating surface 523C. The regulating surface 523C is configured to contact the reference surface 324 of the turning portion 320, for example. The regulating surface 523C is flat. In the illustrated example, the regulating portion 523 is disposed downward with respect to the second constituent portion 602 of the setting portion main body 600 . The regulating surface 523C is configured to contact the second reference surface 324B.

(각도 설정방법)(How to set the angle)

도 5 및 도 11~도 15를 참조한다. 도 11~도 15 에서는 스크라이브 헤드(10)를 구성하는 요소 중, 슬라이드 유닛(100) 이외의 요소가 생략되어 있다. 선회부(320)의 선회각도는 예를 들어 각도 설정방법에 의해 설정된다. 각도 설정방법의 예로 제1 각도 설정방법, 제2 각도 설정방법 및 제3 각도 설정방법을 들 수 있다. 이하에서는 슬라이드 유닛(100)을 구성하는 모든 요소가 서로 결합된 슬라이드 유닛(100)의 상태를 "표준 상태"라 칭한다.See FIG. 5 and FIGS. 11-15. In FIGS. 11 to 15, elements other than the slide unit 100 among the elements constituting the scribing head 10 are omitted. The turning angle of the turning unit 320 is set by, for example, an angle setting method. Examples of the angle setting method include a first angle setting method, a second angle setting method, and a third angle setting method. Hereinafter, a state of the slide unit 100 in which all elements constituting the slide unit 100 are coupled to each other is referred to as a “standard state”.

(제1 각도 설정방법)(Method of setting the first angle)

제1 각도 설정방법은 공정 A1~공정 A6를 포함한다. 공정 A1 다음에 공정 A2가 이루어진다. 공정 A2 다음에 공정 A3가 이루어진다. 공정 A3 다음에 공정 A4가 이루어진다. 공정 A4 다음에 공정 A5가 이루어진다. 공정 A5 다음에 공정 A6가 이루어진다.The 1st angle setting method includes process A1 - process A6. Step A2 is followed by step A1. Step A2 is followed by step A3. Step A3 is followed by step A4. Step A4 is followed by step A5. Step A6 is followed by step A5.

도 5 및 도 11을 참조한다. 공정 A1에서는 스크라이브 헤드(10)가 정반(定盤)의 기준면에 배치된다. 정반의 기준면은 평면이다. 베이스(20)의 제1 주면(20A)은 정반의 기준면에 접촉한다. 슬라이드 유닛(100)의 상태는 표준 상태에 대해 일부 상이하다. 슬라이더(200)의 슬라이더 본체(210)에는 설정부 본체(600) 및 고정부(520)는 연결되어 있지 않다. 홀더 조인트(300)에는 홀더 유닛(400)은 연결되어 있지 않다.See Figures 5 and 11. In process A1, the scribing head 10 is arrange|positioned on the reference surface of a surface plate. The reference plane of the surface plate is a plane. The first main surface 20A of the base 20 is in contact with the reference surface of the surface plate. The state of the slide unit 100 is somewhat different from the standard state. The setting unit body 600 and the fixing unit 520 are not connected to the slider body 210 of the slider 200. The holder unit 400 is not connected to the holder joint 300 .

도 12를 참조한다. 공정 A2에서는 슬라이더(200)의 슬라이더 본체(210)에 대해 하방향으로 설정부 본체(600)가 배치된다. 슬라이더(200)의 제1 핀(231)이 설정부 본체(600)의 긴 구멍(641A)에 배치된다. 슬라이더(200)의 제2 핀(231)이 설정부 본체(600)의 구멍(642A)에 배치된다.See Figure 12. In process A2, the setting part main body 600 is arrange|positioned downward with respect to the slider main body 210 of the slider 200. The first pin 231 of the slider 200 is disposed in the long hole 641A of the main body 600 of the setting part. The second pin 231 of the slider 200 is disposed in the hole 642A of the setting unit body 600.

볼플랜저(511A)의 볼(511A2)은 선회부(320) 제1 기준면(324A)의 제1 피접촉부(320A)에 접촉한다. 세목나사(512A) 선단부(512A1)는 선회부(320) 제2 기준면(324B)의 제2 피접촉부(320B)에 접촉한다. 설정부 본체(600)가 복수의 볼트(10B5)에 의해 슬라이더 본체(210)에 연결된다.The ball 511A2 of the ball plunger 511A contacts the first contacted portion 320A of the first reference surface 324A of the turning portion 320 . The front end portion 512A1 of the three-head screw 512A contacts the second contacted portion 320B of the second reference surface 324B of the turning portion 320 . The setting unit body 600 is connected to the slider body 210 by a plurality of bolts 10B5.

도 13을 참조한다. 공정 A3에서는 각도 설정용 홀더(4100가 홀더 조인트(300)에 연결된다. 각도 설정용 홀더(410)에는 측정 플레이트(450)가 연결된다.See Figure 13. In step A3, the angle setting holder 4100 is connected to the holder joint 300. The angle setting holder 410 is connected to the measurement plate 450.

측정 플레이트(450)의 일부는 홀더(410)의 슬릿(413A)에 배치된다. 측정 플레이트(450)는 배치부(413)에 연결된다. 측정 플레이트(450)는 피측정면(451)을 포함한다. 피측정면(451)은 평면이다. 정반의 기준면 또는 스크라이브 헤드(10)의 기준면에 대한 피측정면(451)의 평행도가 측정기에 의해 측정된다. 측정기의 예로 3차원 측정기를 들 수 있다.A portion of the measurement plate 450 is placed in the slit 413A of the holder 410 . The measuring plate 450 is connected to the arranging unit 413 . The measurement plate 450 includes a measurement target surface 451 . The measurement target plane 451 is a plane. The parallelism of the surface to be measured 451 with respect to the reference surface of the surface plate or the reference surface of the scribing head 10 is measured by a measuring instrument. An example of the measuring device may be a three-dimensional measuring device.

도 13을 참조한다. 공정 A4에서는 피측정면(451)의 평행도가 기준값이 되도록 세목나사(512A)가 조작된다. 세목나사(512A)는 제2 배치부(522)에 대해 제1 병진방향 또는 제2 병진방향으로 병진한다.See Figure 13. In step A4, the set screw 512A is operated so that the parallelism of the surface to be measured 451 becomes a reference value. The set screw 512A translates with respect to the second arranging portion 522 in a first translation direction or a second translation direction.

세목나사(512A)가 제1 병진방향으로 병진하는 경우, 선회부 배치부(610)의 내주면(612)에 대한 세목나사(512A)의 돌출길이가 길어진다. 세목나사(512A)가 제2 병진방향으로 병진하는 경우, 선회부 배치부(610)의 내주면(612)에 대한 세목나사(512A)의 돌출길이가 짧아진다.When the fine screw 512A is translated in the first translation direction, the protruding length of the fine screw 512A relative to the inner circumferential surface 612 of the turning portion arranging portion 610 is increased. When the fine screw 512A is translated in the second translation direction, the protruding length of the fine screw 512A relative to the inner circumferential surface 612 of the turning portion arranging portion 610 is shortened.

피측정면(451)의 평행도에 관한 기준값은 임의로 설정할 수 있다. 기준값의 예로서 제1 기준값 및 제2 기준값을 들 수 있다. 제1 기준값은 피측정면(451)이 정반의 기준면 또는 스크라이브 헤드(10)의 기준면에 대해 평행함을 나타내는 값이다. 제2 기준값은 피측정면(451)이 정반의 기준면 또는 스크라이브 헤드(10)의 기준면에 대해 일정한 경사각도를 갖는 것을 나타내는 값이다.The reference value for the parallelism of the measurement target plane 451 can be arbitrarily set. Examples of the reference value include a first reference value and a second reference value. The first reference value is a value indicating that the measurement target plane 451 is parallel to the reference plane of the surface plate or the reference plane of the scribing head 10 . The second reference value is a value indicating that the surface to be measured 451 has a constant inclination angle with respect to the reference surface of the surface plate or the reference surface of the scribing head 10 .

피측정면(451)의 평행도가 제1 기준값인 경우, 선회부(320)의 선회각도는 0°이다. 선회각도가 0°인 선회부(320)에 홀더 유닛(400)이 연결되는 경우, 스크라이빙 휠(420)의 중심면은 정반의 기준면 또는 스크라이브 헤드(10)의 기준면에 평행하다.When the parallelism of the measurement target plane 451 is the first reference value, the turning angle of the turning portion 320 is 0°. When the holder unit 400 is connected to the turning portion 320 having a turning angle of 0°, the center plane of the scribing wheel 420 is parallel to the reference plane of the surface plate or the reference plane of the scribing head 10 .

도 14를 참조한다. 공정 A5에서는 고정부(520)가 복수의 볼트(10B5)에 의해 슬라이더 본체(210)에 연결된다. 고정부(520)의 규제면(523C)은 선회부(320) 제2 기준면(324B)의 제1 피접촉부(320A) 및 제2 피접촉부(320B)에 접촉한다.See Figure 14. In step A5, the fixing part 520 is connected to the slider body 210 by a plurality of bolts 10B5. The regulating surface 523C of the fixing part 520 contacts the first contacted portion 320A and the second contacted portion 320B of the second reference surface 324B of the turning portion 320 .

도 15를 참조한다. 공정 A6에서는 각도 설정용 홀더(410)가 홀더 조인트(300)로부터 분리된다. 홀더 유닛(400)이 홀더 조인트(300)에 연결된다.See Figure 15. In step A6, the angle setting holder 410 is separated from the holder joint 300. The holder unit 400 is connected to the holder joint 300 .

(제2 각도 설정방법)(Second angle setting method)

제2 각도 설정방법은 공정 B1~공정 B5를 포함한다. 공정 B1 다음에 공정 B2가 이루어진다. 공정 B2 다음에 공정 B3이 이루어진다. 공정 B3 다음에 공정 B4가 이루어진다. 공정 B4 다음에 공정 B5가 이루어진다.The 2nd angle setting method includes process B1 - process B5. Step B1 is followed by step B2. Step B2 is followed by step B3. Step B3 is followed by step B4. Step B4 is followed by step B5.

공정 B1에서는 제1 각도 설정방법의 공정 A2와 동일한 상태의 스크라이브 헤드(10)가 정반의 기준면에 배치된다. 공정 B2는 제1 각도 설정방법의 공정 A3과 같다. 공정 B3은 제1 각도 설정방법의 공정 A4와 같다. 공정 B4는 제1 각도 설정방법의 공정 A5와 같다. 공정 B5는 제1 각도 설정방법의 공정 A6과 같다.In step B1, the scribe head 10 in the same state as step A2 of the first angle setting method is disposed on the reference surface of the surface plate. Process B2 is the same as process A3 of the 1st angle setting method. Process B3 is the same as process A4 of the 1st angle setting method. Process B4 is the same as process A5 of the 1st angle setting method. Process B5 is the same as process A6 of the 1st angle setting method.

(제3 각도 설정방법)(The 3rd angle setting method)

제3 각도 설정방법은 공정 C1~공정 C4를 포함한다. 공정 C1 다음에 공정 C2가 이루어진다. 공정 C2 다음에 공정 C3이 이루어진다. 공정 C3 다음에 공정 C4가 이루어진다.The 3rd angle setting method includes process C1 - process C4. Step C1 is followed by step C2. Step C2 is followed by step C3. Step C3 is followed by step C4.

공정 C1에서는 제1 각도 설정방법의 공정 A3과 동일한 상태의 스크라이브 헤드(10)가 정반의 기준면에 배치된다. 공정 C2는 제1 각도 설정방법의 공정 A4와 같다. 공정 C3은 제1 각도 설정방법의 공정 A5와 같다. 공정 C4는 제1 각도 설정방법의 공정 A6과 같다.In step C1, the scribe head 10 in the same state as step A3 of the first angle setting method is disposed on the reference surface of the surface plate. Process C2 is the same as process A4 of the 1st angle setting method. Process C3 is the same as process A5 of the 1st angle setting method. Process C4 is the same as process A6 of the 1st angle setting method.

(스크라이브 가공)(scribe processing)

스크라이브 가공에는 각도 설정부(500)에 의해 선회부(320)의 선회각도가 설정된 스크라이브 가공장치가 사용된다. 스크라이브 가공에서는 예를 들어 다음과 같은 모습이 관찰된다.For the scribing process, a scribing processing device in which the turning angle of the turning unit 320 is set by the angle setting unit 500 is used. In the scribing process, for example, the following state is observed.

스크라이브 헤드(10)의 위치가 비접촉 위치로 설정된다. 스크라이브 헤드(10)의 위치가 비접촉 위치인 경우, 스크라이빙 휠(420)의 칼날(422)은 피가공물에 접촉하지 않는다.The position of the scribing head 10 is set to a non-contact position. When the position of the scribing head 10 is the non-contact position, the blade 422 of the scribing wheel 420 does not contact the workpiece.

스크라이브 헤드(10)가 하방향으로 구동된다. 스크라이브 헤드 10의 위치가 초기 접촉위치로 설정된다. 스크라이브 헤드(10)의 위치가 초기 접촉위치인 경우 스크라이빙 휠(420)의 칼날(422)이 피가공물에 접촉한다. 칼날(422)과 피가공물의 접촉에 따른 스크라이빙 휠(420)에 외력이 작용한다.The scribing head 10 is driven downward. The position of the scribe head 10 is set to the initial contact position. When the position of the scribing head 10 is the initial contact position, the blade 422 of the scribing wheel 420 contacts the workpiece. An external force acts on the scribing wheel 420 according to the contact between the blade 422 and the workpiece.

그 외력에 기초한 제1 토크 또는 제2 토크가 선회부(320)에 작용하는 경우가 있다. 선회부(320)의 선회동작이 각도 설정부(500)에 의해 규제된다. 스크라이빙 휠(420)의 칼날(422)이 피가공물에 접촉하는 것에 따른 선회부(320)의 선회동작이 규제된다. 선회부(320) 및 홀더 유닛(400)의 선회각도가 유지된다.In some cases, the first torque or the second torque based on the external force acts on the turning portion 320 . A turning motion of the turning unit 320 is regulated by the angle setting unit 500 . When the cutting edge 422 of the scribing wheel 420 contacts the workpiece, the turning motion of the turning unit 320 is restricted. The turning angles of the turning portion 320 and the holder unit 400 are maintained.

선회각도가 유지되는 상태의 예로서, 제1 유지상태 및 제2 유지상태를 들 수 있다. 제1 유지상태에서, 스크라이브 헤드(10)가 초기 접촉위치에 위치하는 경우의 선회각도는 스크라이브 헤드(10)가 비접촉 위치에 위치하는 경우의 선회각도와 동일하다. 제2 유지상태에서, 스크라이브 헤드(10)가 초기 접촉위치에 위치하는 경우의 선회각도는 스크라이브 헤드(10)가 비접촉 위치에 위치하는 경우의 선회각도와 실질적으로 동일한 선회각도이다.Examples of the state in which the turning angle is maintained include a first maintenance state and a second maintenance state. In the first holding state, the turning angle when the scribe head 10 is located in the initial contact position is the same as the turning angle when the scribe head 10 is located in the non-contact position. In the second holding state, the turning angle when the scribe head 10 is located in the initial contact position is substantially the same as the turning angle when the scribe head 10 is located in the non-contact position.

스크라이브 헤드(10)가 소정방향으로 주사된다. 스크라이빙 휠(420)이 피가공물 위를 이동하여 피가공물에 스크라이브 라인이 형성된다. 스크라이빙 휠(420)의 이동에 따라 스크라이빙 휠(420)에 외력이 작용한다.The scribe head 10 scans in a predetermined direction. The scribing wheel 420 moves over the workpiece to form a scribing line on the workpiece. As the scribing wheel 420 moves, an external force acts on the scribing wheel 420 .

그 외력에 기초한 제1 토크 또는 제2 토크가 선회부(320)에 작용하는 경우가 있다. 선회부(320)의 선회동작이 각도 설정부(500)에 의해 규제된다. 스크라이빙 휠(420)이 피가공물 위로 주행하는 데 따른 선회부(320)의 선회동작이 규제된다. 선회부(320) 및 홀더 유닛(400)의 선회각도가 유지된다.In some cases, the first torque or the second torque based on the external force acts on the turning portion 320 . A turning motion of the turning unit 320 is regulated by the angle setting unit 500 . The turning motion of the turning unit 320 as the scribing wheel 420 travels over the workpiece is regulated. The turning angles of the turning portion 320 and the holder unit 400 are maintained.

선회각도가 유지되는 상태의 예로서, 제3 유지상태 및 제4 유지상태를 들 수 있다. 제3 유지상태에서, 스크라이브 헤드(10)가 이동한 경우의 선회각도는 스크라이브 헤드(10)가 초기 접촉위치에 위치하는 경우의 선회각도와 동일하다. 제4 유지상태에서, 스크라이브 헤드(10)가 이동한 경우의 선회각도는 스크라이브 헤드(10)가 초기 접촉위치에 위치하는 경우의 선회각도와 실질적으로 동일한 선회각도이다.Examples of the state in which the turning angle is maintained include a third maintenance state and a fourth maintenance state. In the third holding state, the turning angle when the scribe head 10 is moved is the same as the turning angle when the scribe head 10 is located at the initial contact position. In the fourth holding state, the turning angle when the scribe head 10 is moved is substantially the same as the turning angle when the scribe head 10 is located at the initial contact position.

(효과)(effect)

실시형태에 예시되는 구성에 의해, 예를 들면 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.With the structure exemplified in the embodiment, the following effects can be obtained, for example.

일례에서, 슬라이드 유닛(100)은 홀더 조인트(300) 및 각도 설정부(500)를 구비한다. 홀더 조인트(300)는 슬라이더(200), 슬라이더(200)에 연결되는 베어링부(310) 및 베어링부(310)에 대해 선회할 수 있도록 구성되는 선회부(320)를 포함한다. 각도 설정부(500)는 슬라이더(200)에 대한 선회부(320)의 선회각도를 설정할 수 있도록 구성된다.In one example, the slide unit 100 includes a holder joint 300 and an angle setting unit 500 . The holder joint 300 includes a slider 200 , a bearing part 310 connected to the slider 200 , and a swing part 320 configured to pivot with respect to the bearing part 310 . The angle setting unit 500 is configured to set a turning angle of the turning unit 320 relative to the slider 200 .

상기 구성에 의하면, 예를 들어 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. 각도 설정부(500)에 의해 선회부(320)의 선회각도를 설정할 수 있으므로, 스크라이브 가공에 있어서의 선회부(320)의 선회각도가 안정된다. 선회부(320)에 연결되는 홀더 (410)의 선회각도 및 홀더(410)에 지지되는 스크라이빙 휠(420)의 선회각도도 안정된다. 이 때문에, 스크라이브 가공에 있어서의 가공 정밀도의 향상을 기대할 수 있다. 정밀 부품을 제조하는 스크라이브 가공에 있어서도 가공 정밀도의 향상을 기대할 수 있다. 정밀 부품의 예로서 전자 부품 및 반도체 부품을 들 수 있다.According to the above configuration, the following effects can be obtained, for example. Since the turning angle of the turning portion 320 can be set by the angle setting unit 500, the turning angle of the turning portion 320 in the scribing process is stable. The turning angle of the holder 410 connected to the turning unit 320 and the turning angle of the scribing wheel 420 supported by the holder 410 are also stable. For this reason, the improvement of processing precision in scribing process can be expected. Improvement in processing precision can also be expected in scribing processing for manufacturing precision parts. Examples of precision parts include electronic parts and semiconductor parts.

일례에서, 각도 설정부(500)는 선회부(320)가 제1 선회방향으로 선회하도록 선회부(320)를 가압하는 제1 가압부(511) 및 선회부(320)가 제2 선회방향으로 선회하도록 선회부(320)를 가압하는 제2 가압부(512)를 포함한다.In one example, the angle setting unit 500 includes a first pressing unit 511 that presses the turning unit 320 so that the turning unit 320 turns in the first turning direction and the turning unit 320 moves in the second turning direction. It includes a second pressing part 512 that presses the turning part 320 to turn.

상기 구성에 의하면, 예를 들어 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. 선회부(320)의 선회각도를 조정하는 작업에 관한 작업성이 향상된다.According to the above configuration, the following effects can be obtained, for example. Workability related to the operation of adjusting the turning angle of the turning unit 320 is improved.

일례에서, 제1 가압부(511)는 탄성요소를 포함한다.In one example, the first pressing portion 511 includes an elastic element.

일례에서, 제2 가압부(512)의 다른 쪽은 나사 요소를 포함한다.In one example, the other side of the second pressing portion 512 includes a threaded element.

일례에서, 제1 가압부(511) 및 제2 가압부(512)는 제1 가압부(511)와 제2 가압부(512)의 사이에 선회부(320)를 위치하도록 배치한다.In one example, the first pressing part 511 and the second pressing part 512 are disposed such that the turning part 320 is located between the first pressing part 511 and the second pressing part 512 .

상기 구성에 의하면, 예를 들어 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. 선회부(320)의 선회각도가 안정된다.According to the above configuration, the following effects can be obtained, for example. The turning angle of the turning part 320 is stabilized.

일례에서, 각도 설정부(500)는 제1 가압부(511)가 배치되는 제1 가압부 배치부(621) 및 제2 가압부(512)가 배치되는 제2 가압부 배치부(622)를 포함한다.In one example, the angle setting unit 500 includes a first pressing unit arranging unit 621 in which the first pressing unit 511 is disposed and a second pressing unit arranging unit 622 in which the second pressing unit 512 is disposed. include

상기 구성에 의하면, 예를 들어 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. 제1 가압부 511 및 제2 가압부 512의 위치가 안정된다.According to the above configuration, the following effects can be obtained, for example. The positions of the first pressing part 511 and the second pressing part 512 are stabilized.

일례에서, 선회부(320)는 홀더 유닛(400)을 연결할 수 있도록 구성되는 홀더 연결부(330) 및 베어링부(310)에 연결되는 선회축(321)을 포함한다. 제1 가압부(511) 및 제2 가압부(512)는 홀더 연결부(330)를 가압하도록 구성된다.In one example, the pivoting part 320 includes a pivoting shaft 321 connected to the holder connecting part 330 configured to connect the holder unit 400 and the bearing part 310 . The first pressing part 511 and the second pressing part 512 are configured to press the holder connection part 330 .

상기 구성에 의하면, 예를 들어 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. 베어링부(310)의 구성이 간소화된다.According to the above configuration, the following effects can be obtained, for example. The configuration of the bearing part 310 is simplified.

일례에서, 각도 설정부(500)는 선회부(320)의 선회각도를 고정할 수 있도록 구성되는 고정부(520)를 포함한다.In one example, the angle setting unit 500 includes a fixing unit 520 configured to fix the turning angle of the turning unit 320 .

일례에서, 고정부(520)는 슬라이더(200)에 대해 착탈할 수 있도록 구성된다.In one example, the fixing part 520 is configured to be detachable from the slider 200 .

상기 구성에 의하면, 예를 들어 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. 선회부(320)의 선회각도를 조절하는 작업에 관한 작업성이 향상된다.According to the above configuration, the following effects can be obtained, for example. The workability of adjusting the turning angle of the turning unit 320 is improved.

일례에서, 슬라이더(200)는 베어링부(310)가 연결되는 슬라이더 본체(210)를 포함한다. 각도 설정부(500)는 슬라이더 본체(210)의 저부에 설치된다.In one example, the slider 200 includes a slider body 210 to which a bearing portion 310 is connected. The angle setting unit 500 is installed on the bottom of the slider body 210 .

(제2 실시형태)(Second Embodiment)

도 16~도 22를 참조한다. 제2 실시형태의 슬라이드 유닛(100)은 제1 실시형태를 전제로 구성된다. 본 실시형태의 슬라이드 유닛(100)은 전제의 실시형태와 공통되는 구성을 포함한다.See Figures 16-22. The slide unit 100 of the second embodiment is configured on the premise of the first embodiment. The slide unit 100 of this embodiment includes the same configuration as the premise of the embodiment.

이하에는 본 실시형태의 슬라이드 유닛(100)에서의 전제 실시형태의 슬라이드 유닛(100)과의 차이점이 주로 나타난다. 본 실시형태의 슬라이드 유닛(100)에서의 전제의 실시형태의 슬라이드 유닛(100)과 공통되는 구성에 관한 설명의 일부 또는 전부는 생략된다.In the following, differences from the slide unit 100 of the previous embodiment in the slide unit 100 of this embodiment are mainly shown. In the slide unit 100 of this embodiment, a part or all of the explanation regarding the configuration common to the slide unit 100 of the premise embodiment is omitted.

(베어링부)(bearing part)

도 16을 참조한다. 베어링부(310)는 케이스(312) 및 복수의 오링(O링)(314)을 포함하지 않는다. 각 베어링(311A, 311B)의 외륜은 슬라이더(200)에 연결된다.See Figure 16. The bearing part 310 does not include a case 312 and a plurality of O-rings (O-rings) 314 . The outer race of each bearing 311A, 311B is connected to the slider 200.

(슬라이더)(slider)

도 16을 참조한다. 슬라이더(200)의 구성은 임의로 선택할 수 있다. 슬라이더(200)의 구성은 예시되는 구성에 한정되지 않는다. 슬라이더(200)는 예를 들어 슬라이더 본체(700), 피가압부(220) 및 위치 설정부(230)를 포함한다. 슬라이더 본체(700)는 예를 들어 블록이다. 피가압부(220) 및 위치 설정부(230)는 슬라이더 본체(700)에 연결된다.See Figure 16. The configuration of the slider 200 can be arbitrarily selected. The configuration of the slider 200 is not limited to the illustrated configuration. The slider 200 includes, for example, a slider body 700, a portion to be pressed 220, and a positioning portion 230. The slider body 700 is a block, for example. The part to be pressed 220 and the positioning part 230 are connected to the slider body 700.

슬라이더 본체(700)는 예를 들어 제1 본체 구성부(710) 및 제2 본체 구성부(720)를 포함한다. 제1 본체 구성부(710) 및 제2 본체 구성부(720)는 개별적으로 구성된다. 제1 본체 구성부(710)는 예를 들어 상부 구성부(710A) 및 하부 구성부(710B)를 포함한다. 하부 구성부(710B)는 제1 폭방향에 관한 상부 구성부(710A)의 측부에 대해 하방향에 위치한다. 제2 본체 구성부(720)는 하부 구성부(710B)에 대해 착탈 가능하도록 구성된다.The slider body 700 includes, for example, a first body component 710 and a second body component 720 . The first body component 710 and the second body component 720 are configured separately. The first body component 710 includes, for example, an upper component 710A and a lower component 710B. The lower part 710B is located below the side of the upper part 710A in the first width direction. The second body component 720 is configured to be detachable from the lower component 710B.

상부 구성부(710A)는 예를 들어 중간 배치부(711)를 포함한다. 중간 배치부(711)는 하나 또는 복수의 볼트(10B2)를 배치할 수 있도록 구성된다. 중간 배치부(711)는 하나 또는 복수의 구멍(711A)을 포함한다. 구멍(711A)은 상부 구성부(710A)를 관통한다. 구멍(711A)의 중심축은 폭방향에 평행하다. 상부 구성부(710A)는 복수의 볼트(10B2)에 의해 가동레일(32)에 연결된다.The upper component 710A includes, for example, an intermediate arrangement portion 711 . The intermediate placement unit 711 is configured to be able to place one or a plurality of bolts 10B2. The intermediate arrangement part 711 includes one or a plurality of holes 711A. A hole 711A passes through the upper structure 710A. The central axis of the hole 711A is parallel to the width direction. The upper component 710A is connected to the movable rail 32 by a plurality of bolts 10B2.

상부 구성부(710A)는 예를 들어 상부 배치부(712)를 포함한다. 상부 배치부(712)는 연결볼트(221)를 배치할 수 있도록 구성된다. 상부 배치부(712)는 예를 들어 나사구멍을 포함한다. 나사구멍은 상부 구성부(710A)의 윗면(731)에 개구한다. 나사구멍의 중심축은 높이방향에 평행하다.The upper component 710A includes, for example, an upper arrangement 712 . The upper arrangement part 712 is configured to be able to place the connecting bolt 221. The upper placement portion 712 includes, for example, a screw hole. A screw hole opens in the upper surface 731 of the upper structure part 710A. The central axis of the screw hole is parallel to the height direction.

상부 구성부(710A)의 바닥면(732)은 아래쪽을 향한다. 상부 구성부(710A)의 저면(732)은 평면이다. 상부 구성부(710A)의 바닥면(732)은 제2 본체 구성부(720)에 대향한다.The bottom surface 732 of the upper component 710A faces downward. The bottom surface 732 of the upper structure 710A is planar. The bottom surface 732 of the upper component 710A faces the second body component 720 .

하부 구성부(710B)는 예를 들어 대향부(713)를 포함한다. 대향부(713)는 폭방향에 관해 홀더 조인트(300)의 홀더 연결부(330)에 대향하는 부분을 포함한다. 대향부(713)는 예를 들어 오목부(713A)를 포함한다.The lower component 710B includes, for example, an opposing portion 713 . The opposing portion 713 includes a portion opposing the holder connection portion 330 of the holder joint 300 in the width direction. The opposing portion 713 includes, for example, a concave portion 713A.

오목부(713A)는 하부 구성부(710B)의 제2 측면(733)에 개구한다. 하부 구성부(710B)의 제2 측면(733)은 제2 폭방향을 향한다. 하부 구성부(710B)의 제2 측면(733)은 제2 본체 구성부(720)의 제1 측면(743)에 대향한다. 하부 구성부(710B)의 제2 측면(733)은 평면이다.The concave portion 713A opens to the second side surface 733 of the lower structure portion 710B. The second side surface 733 of the lower part 710B faces the second width direction. The second side surface 733 of the lower component 710B faces the first side surface 743 of the second body component 720 . The second side surface 733 of the lower component 710B is planar.

오목부(713A)는 하부 구성부(710B) 저면(734)에 개구한다. 하부 구성부(710B)의 바닥면(734)은 아래쪽을 향한다. 하부 구성부(710B)의 저면(734)은 평면이다.The concave portion 713A opens to the bottom surface 734 of the lower structure portion 710B. The bottom surface 734 of the lower component 710B faces downward. The bottom surface 734 of the lower structure 710B is planar.

하부 구성부(710B)는 예를 들어 중간 배치부(714)를 포함한다. 중간 배치부(714)는 하나 또는 복수의 볼트(10B6)를 배치할 수 있도록 구성된다. 중간 배치부(714)는 하나 또는 복수의 나사구멍(714A)을 포함한다. 나사구멍(714A)은 하부 구성부(710B)의 제2 측면(733)에 개구한다. 나사구멍(714A)의 중심축은 폭방향에 평행하다.The lower component 710B includes, for example, an intermediate arrangement 714 . The intermediate placement portion 714 is configured to be able to place one or a plurality of bolts 10B6. The intermediate placement portion 714 includes one or a plurality of screw holes 714A. The screw hole 714A opens to the second side surface 733 of the lower component 710B. The central axis of the screw hole 714A is parallel to the width direction.

제2 본체 구성부(720)는 예를 들어 조인트 배치부(721)를 포함한다. 조인트 배치부(721)는 홀더 조인트(300)를 배치할 수 있도록 구성된다. 조인트 배치부(721)는 예를 들어 오목부(721A) 및 구멍(721B)을 포함한다.The second main body component 720 includes, for example, a joint placement unit 721 . The joint placement unit 721 is configured to place the holder joint 300 . The joint placement portion 721 includes, for example, a concave portion 721A and a hole 721B.

오목부(721A)는 홀더 연결부(330)의 일부를 배치할 수 있도록 형성된다. 오목부(721A)는 제2 본체 구성부(720) 저면(742)에 개구한다. 제2 본체 구성부(720) 저면(742)은 아래쪽을 향한다. 제2 본체 구성부(720) 저면(742)은 평면이다.The concave portion 721A is formed so that a portion of the holder connection portion 330 can be disposed. The concave portion 721A opens to the bottom surface 742 of the second main body configuration portion 720 . The bottom surface 742 of the second body component 720 faces downward. The bottom surface 742 of the second body component 720 is flat.

오목부(721A)는 제2 본체 구성부(720)의 제1 측면(743)에 개구한다. 제2 본체 구성부(720)의 제1 측면(743)은 제1 폭방향을 향한다. 제2 본체 구성부(720)의 제1 측면(743)은 평면이다. 제2 본체 구성부(720)의 제1 측면(743)은 하부 구성부(710B)의 제2 측면(733)에 접촉한다. 구멍(721B)은 베어링부(310)를 배치할 수 있도록 형성된다. 구멍(721B)은 오목부(721A)의 저면에 개구한다.The concave portion 721A opens to the first side surface 743 of the second main body component 720 . The first side surface 743 of the second body component 720 faces the first width direction. The first side 743 of the second body component 720 is planar. The first side surface 743 of the second body component 720 contacts the second side surface 733 of the lower component 710B. The hole 721B is formed so that the bearing part 310 can be disposed. The hole 721B opens on the bottom of the concave portion 721A.

제2 본체 구성부(720)는 예를 들어 중간 배치부(722)를 포함한다. 중간 배치부(722)는 하나 또는 복수의 볼트(10B6)를 배치할 수 있도록 구성된다. 중간 배치부(722)는 하나 또는 복수의 구멍(722A)을 포함한다. 구멍(722A)은 제2 본체 구성부(720)를 관통한다. 구멍(722A)의 중심축은 폭방향에 평행하다.The second body component 720 includes, for example, an intermediate placement portion 722 . The intermediate placement unit 722 is configured to be able to place one or a plurality of bolts 10B6. The intermediate placement portion 722 includes one or more holes 722A. The hole 722A passes through the second body component 720 . The central axis of the hole 722A is parallel to the width direction.

제2 본체 구성부(720) 윗면(741)은 상방향을 향한다. 제2 본체 구성부(720) 윗면(741)은 평면이다. 제2 본체 구성부(720) 윗면(741)은 상부 구성부(710A) 저면 (732)에 접촉한다.The upper surface 741 of the second body component 720 faces upward. The upper surface 741 of the second body component 720 is flat. The top surface 741 of the second body component 720 contacts the bottom surface 732 of the upper component 710A.

(각도 설정부)(Angle setting part)

도 16 및 도 17을 참조한다. 각도 설정부(500)의 적어도 일부는 슬라이더 본체(700)와 일체적으로 구성된다. 도시되는 예에서 각도 설정부(500)의 일부는 슬라이더 본체(700)와 일체적으로 구성된다. 각도 설정부(500)는 슬라이더 본체(700) 저부에 설치된다.See Figures 16 and 17. At least a part of the angle setting unit 500 is integrally formed with the slider body 700 . In the illustrated example, a part of the angle setting unit 500 is integrally configured with the slider body 700. The angle setting unit 500 is installed on the bottom of the slider body 700.

(설정부 본체)(setting unit body)

도 16 및 도 17을 참조한다. 각도 설정부(500)는 예를 들어 설정부 본체(800)를 포함한다. 설정부 본체(800)는 슬라이더 본체(700)의 일부로서 구성된다. 설정부 본체(800)는 예를 들어 제1 본체 구성부(810) 및 제2 본체 구성부(820)를 포함한다. 제1 본체 구성부(810)는 슬라이더 본체(700)의 제1 본체 구성부(710)의 하부 구성부(710B)의 일부로 구성된다. 제2 본체 구성부(820)는 슬라이더 본체(700)의 제2 본체 구성부(720)의 일부로 구성된다.See Figures 16 and 17. The angle setting unit 500 includes, for example, the setting unit body 800 . The setting unit body 800 is configured as a part of the slider body 700. The setting unit body 800 includes, for example, a first body component 810 and a second body component 820 . The first body component 810 is configured as a part of the lower component 710B of the first body component 710 of the slider body 700 . The second body component 820 is configured as a part of the second body component 720 of the slider body 700 .

설정부 본체(800)는 예를 들어 가압부 배치부(830)를 포함한다. 가압부 배치부(830)는 가압부(510)를 배치할 수 있도록 구성된다. 가압부 배치부(830)는 예를 들어 제1 가압부 배치부(831) 및 제2 가압부 배치부(832)를 포함한다. 제1 가압부 배치부(831)는 제1 본체 구성부(810)에 설치된다. 제2 가압부 배치부(832)는 제2 본체 구성부(820)에 설치된다.The setting unit main body 800 includes, for example, a pressing unit arranging unit 830 . The pressing unit arranging unit 830 is configured to dispose the pressing unit 510 . The pressing unit arranging unit 830 includes, for example, a first pressing unit arranging unit 831 and a second pressing unit arranging unit 832 . The first pressing unit arranging unit 831 is installed in the first main body configuration unit 810 . The second pressing unit arranging unit 832 is installed in the second main body configuration unit 820 .

제1 가압부 배치부(831)는 제1 가압부(511)를 배치할 수 있도록 구성된다. 제1 가압부 배치부(831)는 예를 들어 구멍(831A)을 포함한다. 구멍(831A)은 제1 가압부 배치부(831)를 관통한다. 구멍(831A)의 중심축은 폭방향에 평행하다. 제1 가압부 배치부(831)는 하부 구성부(710B) 오목부(713A)에 설치된다. 구멍(831A)은 오목부(713A) 저면에 개구한다.The first pressing unit arranging unit 831 is configured to dispose the first pressing unit 511 . The first pressing portion arranging portion 831 includes, for example, a hole 831A. The hole 831A passes through the first pressing portion arranging portion 831 . The central axis of the hole 831A is parallel to the width direction. The first pressing portion arranging portion 831 is installed in the concave portion 713A of the lower configuration portion 710B. The hole 831A opens on the bottom surface of the concave portion 713A.

제1 가압부 배치부(831)는 깊이방향에 관한 슬라이더 본체(700)의 중심에 대해 전방향 또는 후방향에 위치한다. 도시되는 예에서, 제1 가압부 배치부(831)는 깊이방향에 관한 슬라이더 본체(700)의 중심에 대해 후방향으로 위치한다.The first pressing portion arranging portion 831 is located forward or backward with respect to the center of the slider body 700 in the depth direction. In the illustrated example, the first pressing portion arranging portion 831 is located rearward with respect to the center of the slider body 700 with respect to the depth direction.

제2 가압부 배치부(832)는 제2 가압부(512)를 배치할 수 있도록 구성된다. 제2 가압부 배치부(832)는 예를 들어 나사구멍(832A)을 포함한다. 나사구멍(832A)은 제2 가압부 배치부(832)를 관통한다. 나사구멍(832A)의 중심축은 폭방향에 평행하다. 제2 가압부 배치부(832)는 제2 본체 구성부(720)의 오목부(721A)에 설치된다. 나사구멍(832A)은 오목부(721A) 저면에 개구한다.The second pressing unit arranging unit 832 is configured to dispose the second pressing unit 512 . The second pressing portion arranging portion 832 includes, for example, a screw hole 832A. The screw hole 832A passes through the second pressing portion arranging portion 832 . The central axis of the screw hole 832A is parallel to the width direction. The second pressing portion arranging portion 832 is installed in the concave portion 721A of the second main body configuration portion 720 . The screw hole 832A opens on the bottom of the concave portion 721A.

제2 가압부 배치부(832)는 깊이방향에 관한 슬라이더 본체(700)의 중심에 대해 전방향 또는 후방향에 위치한다. 도시되는 예에서, 제2 가압부 배치부(832)는 깊이방향에 관한 슬라이더 본체(700)의 중심에 대해 후방향으로 위치한다.The second pressing portion arranging portion 832 is located forward or backward with respect to the center of the slider body 700 in the depth direction. In the illustrated example, the second pressing portion arranging portion 832 is located rearward with respect to the center of the slider body 700 with respect to the depth direction.

설정부 본체(800)는 예를 들어 볼트 배치부(840)를 포함한다. 볼트 배치부(840)는 하나 또는 복수의 볼트(10B5)를 배치할 수 있도록 구성된다. 볼트 배치부(840)는 예를 들어, 제1 볼트 배치부(841) 및 제2 볼트 배치부(842)를 포함한다.The setting unit body 800 includes, for example, a bolt placement unit 840 . The bolt placement unit 840 is configured to place one or a plurality of bolts 10B5. The bolt arranging unit 840 includes, for example, a first bolt arranging unit 841 and a second bolt arranging unit 842 .

제1 볼트 배치부(841)는 제1 본체 구성부(810)에 마련된다. 제1 볼트 배치부(841)은 하나 또는 복수의 볼트(10B5)를 배치할 수 있도록 구성된다. 제1 볼트 배치부(841)는 하나 또는 복수의 나사구멍(841A)을 포함한다. 나사구멍(841A)은 제1 본체 구성부(810)의 저면(734)에 개구한다. 나사구멍(841A)의 중심축은 높이방향에 평행하다.The first bolt arranging portion 841 is provided in the first main body configuration portion 810 . The first bolt placement unit 841 is configured to place one or a plurality of bolts 10B5. The first bolt arranging portion 841 includes one or a plurality of screw holes 841A. The screw hole 841A is opened in the bottom surface 734 of the first body component 810 . The central axis of the screw hole 841A is parallel to the height direction.

제2 볼트 배치부(842)는 제2 본체 구성부(820)에 마련된다. 제2 볼트 배치부(842)는 하나 또는 복수의 볼트(10B5)를 배치할 수 있도록 구성된다. 제2 볼트 배치부(842)는 하나 또는 복수의 나사구멍(842A)을 포함한다. 나사구멍(842A)은 제2 본체 구성부(820)의 저면(742)에 개구한다. 나사구멍(842A)의 중심축은 높이방향에 평행하다.The second bolt arranging portion 842 is provided in the second main body configuration portion 820 . The second bolt placement unit 842 is configured to place one or a plurality of bolts 10B5. The second bolt arranging portion 842 includes one or a plurality of screw holes 842A. The screw hole 842A is opened in the bottom surface 742 of the second body component 820 . The central axis of the screw hole 842A is parallel to the height direction.

제1 가압부(511)는 예를 들어 볼플랜저(511A)를 포함한다. 볼플랜저(511A)는 가압부 배치부(830)의 제1 가압부 배치부(831)의 구멍(831A)에 배치된다. 볼플랜저(511A)의 중심축은 폭방향에 평행하다.The first pressing portion 511 includes, for example, a ball plunger 511A. The ball plunger 511A is disposed in the hole 831A of the first pressing portion arranging portion 831 of the pressing portion arranging portion 830 . The central axis of the ball plunger 511A is parallel to the width direction.

실린더(511A1)는 제1가압부 배치부(831)에 연결된다. 볼(511A2)은 실린더(511A1) 단부에 배치된다. 코일스프링은 실린더(511A1) 내부에 배치된다. 실린더(511A1) 단부 및 볼(511A2)은 제1 가압부 배치부(831) 측면에 대해 돌출한다.The cylinder 511A1 is connected to the first pressing part arranging part 831. The ball 511A2 is placed at the end of the cylinder 511A1. A coil spring is disposed inside the cylinder 511A1. The end of the cylinder 511A1 and the ball 511A2 protrude against the side surface of the first pressing portion placing portion 831 .

제2 가압부(512)는 예를 들어 세목나사(512A)를 포함한다. 세목나사(512A)는 가압부 배치부(830)의 제2 가압부 배치부(832) 나사구멍(832A)에 배치된다. 세목나사(512A)의 중심축은 폭방향으로 평행하다. 세목나사(512A)의 중심축은 볼플랜저(511A)의 중심축과 동축이다. 세목나사(512A)는 회전에 따라 제2 가압부 배치부(832)에 대해 폭방향으로 병진한다.The second pressing portion 512 includes, for example, a set screw 512A. The set screw 512A is disposed in the screw hole 832A of the second pressing part arranging part 832 of the pressing part arranging part 830. The central axis of the three-head screw 512A is parallel to the width direction. The central axis of the fine screw 512A is coaxial with the central axis of the ball plunger 511A. The set screw 512A translates in the width direction with respect to the second pressing portion arranging portion 832 as it rotates.

(고정부)(fixed part)

도 16 및 도 17을 참조한다. 각도 설정부(500)는 예를 들어 복수의 고정부(520)를 포함한다. 제1 고정부(520)는 제1 본체 구성부(810)에 대해 하방향으로 배치된다. 제1 고정부(520)의 규제면(523C)은 제1 기준면(324A)에 접촉하도록 구성된다. 제2 고정부(520)는 제2 본체 구성부(820)에 대해 하방향으로 배치된다. 제2 고정부(520)의 규제면(523C)은 제2 기준면(324B)에 접촉하도록 구성된다.See Figures 16 and 17. The angle setting unit 500 includes, for example, a plurality of fixing units 520 . The first fixing part 520 is disposed downward with respect to the first main body component 810 . The regulating surface 523C of the first fixing part 520 is configured to contact the first reference surface 324A. The second fixing part 520 is disposed downward with respect to the second main body component 820 . The regulating surface 523C of the second fixing part 520 is configured to contact the second reference surface 324B.

(각 요소의 연결)(connection of each element)

도 16 및 도 17을 참조한다. 홀더 조인트(300)는 슬라이더(200)에 연결된다. 베어링부(310)는 슬라이더 본체(700)의 제2 본체 구성부(720) 구멍(721B)에 배치된다. 홀더 연결부(330) 상부는 오목부(721A)에 배치된다.See Figures 16 and 17. The holder joint 300 is connected to the slider 200. The bearing part 310 is disposed in the hole 721B of the second body component 720 of the slider body 700. An upper portion of the holder connection portion 330 is disposed in the concave portion 721A.

베어링부(310)의 베어링(311) 외륜은 제2 본체 구성부(720)에 연결된다. 베어링(311) 외륜과 제2 본체 구성부(720)의 연결형태는 예를 들면 화학적 접합이다. 도시되는 예에서 베어링(311) 외륜은 접착제에 의해 제2 본체 구성부(720)에 접합된다.The outer race of the bearing 311 of the bearing part 310 is connected to the second main body component 720 . The connection form of the outer ring of the bearing 311 and the second body component 720 is, for example, chemical bonding. In the illustrated example, the outer ring of the bearing 311 is bonded to the second body component 720 by an adhesive.

(각도 설정방법)(How to set the angle)

도 5 및 도 18~도 22를 참조한다. 도 18~도 22에서는 스크라이브 헤드(10)를 구성하는 요소 중 슬라이드 유닛(100) 이외의 요소가 생략되어 있다. 선회부(320)의 선회각도는 예를 들어 각도 설정방법에 의해 설정된다. 각도 설정방법의 예로 제4 각도 설정방법, 제5 각도 설정방법 및 제6 각도 설정방법을 들 수 있다.5 and 18-22. 18 to 22, elements other than the slide unit 100 among the elements constituting the scribing head 10 are omitted. The turning angle of the turning unit 320 is set by, for example, an angle setting method. Examples of the angle setting method include a fourth angle setting method, a fifth angle setting method, and a sixth angle setting method.

(제4 각도 설정방법)(4th angle setting method)

제4 각도 설정방법은 공정 D1~공정 D6을 포함한다. 공정 D1 다음에 공정 D2가 이루어진다. 공정 D2 다음에 공정 D3이 이루어진다. 공정 D3 다음에 공정 D4가 이루어진다. 공정 D4 다음에 공정 D5가 이루어진다. 공정 D5 다음에 공정 D6이 이루어진다.The 4th angle setting method includes process D1 - process D6. Step D1 is followed by step D2. Step D2 is followed by step D3. Step D3 is followed by step D4. Step D4 is followed by step D5. Step D5 is followed by step D6.

도 5 및 도 18을 참조한다. 공정 D1에서는 스크라이브 헤드(10)가 정반의 기준면에 배치된다. 정반의 기준면은 평면이다. 베이스(20)의 제1 주면(20A)은 정반의 기준면에 접촉한다. 슬라이드 유닛(100)의 상태는 표준상태에 대해 일부 상이하다. 슬라이더 본체(700)의 제1 본체 구성부(710)에는 제2 본체 구성부(720) 및 고정부(520)는 연결되어 있지 않다.See Figures 5 and 18. In step D1, the scribing head 10 is placed on the reference surface of the surface plate. The reference plane of the surface plate is a plane. The first main surface 20A of the base 20 is in contact with the reference surface of the surface plate. The state of the slide unit 100 is somewhat different from the standard state. The second body component 720 and the fixing portion 520 are not connected to the first body component 710 of the slider body 700 .

도 19를 참조한다. 공정 D2에서는 홀더 조인트(300)가 연결된 제2 본체 구성부(720)가 복수의 볼트(10B6)에 의해 제1 본체 구성부(710)에 연결된다. 홀더 조인트(300)에는 홀더 유닛(400)은 연결되지 않았다.See Figure 19. In step D2, the second body component 720 to which the holder joint 300 is connected is connected to the first body component 710 by a plurality of bolts 10B6. The holder unit 400 is not connected to the holder joint 300 .

볼플랜저(511A)의 볼(511A2)은 선회부(320)의 제1 기준면(324A) 제1 피접촉부(320A)에 접촉한다. 세목나사(512A) 선단부(512A1)는 선회부(320)의 제2 기준면(324B) 제2 피접촉부(320B)에 접촉한다.The ball 511A2 of the ball plunger 511A contacts the first contacted portion 320A of the first reference surface 324A of the turning portion 320 . The front end 512A1 of the three-head screw 512A contacts the second contacted portion 320B of the second reference surface 324B of the turning portion 320 .

도 20을 참조한다. 공정 D3에서는 각도 설정용 홀더(410)가 홀더 조인트(300)에 연결된다. 각도 설정용 홀더(410)에는 측정 플레이트(450)가 연결된다.See FIG. 20 . In step D3, the angle setting holder 410 is connected to the holder joint 300. The measuring plate 450 is connected to the angle setting holder 410 .

도 20을 참조한다. 공정 D4에서는 피측정면(451)의 평행도가 기준값이 되도록 세목나사(512A)가 조작된다. 세목나사(512A)는 제2 배치부(522)에 대해 제1 병진방향 또는 제2 병진방향으로 병진한다.See FIG. 20 . In step D4, the set screw 512A is operated so that the parallelism of the surface to be measured 451 becomes a reference value. The set screw 512A translates with respect to the second arranging portion 522 in a first translation direction or a second translation direction.

세목나사(512A)가 제1 병진방향으로 병진하는 경우, 제2 본체 구성부(720)의 오목부(721A) 저면에 대한 세목나사(512A)의 돌출길이가 길어진다. 세목나사(512A)가 제2 병진방향으로 병진하는 경우, 제2 본체 구성부(720)의 오목부(721A) 저면에 대한 세목나사(512A)의 돌출길이가 짧아진다.When the fine screw 512A is translated in the first translation direction, the protruding length of the fine screw 512A relative to the bottom surface of the concave portion 721A of the second body component 720 is increased. When the fine screw 512A translates in the second translation direction, the protruding length of the fine screw 512A relative to the bottom surface of the concave portion 721A of the second body component 720 is shortened.

도 21을 참조한다. 공정 D5에서는 제1 고정부(520)가 복수의 볼트(10B5)에 의해 제1 본체 구성부(710)에 연결된다. 고정부(520)의 규제면(523C)은 선회부(320) 제1 기준면(324A)의 제1 피접촉부(320A) 및 제2 피접촉부(320B)에 접촉한다.See Figure 21. In step D5, the first fixing part 520 is connected to the first main body constituent part 710 by a plurality of bolts 10B5. The regulating surface 523C of the fixing part 520 contacts the first contacted part 320A and the second contacted part 320B of the first reference surface 324A of the turning part 320 .

공정 D5에서는 제2 고정부(520)가 복수의 볼트(10B5)에 의해 제2 본체 구성부(720)에 연결된다. 고정부(520)의 규제면(523C)은 선회부(320) 제2 기준면(324B)의 제1 피접촉부(320A) 및 제2 피접촉부(320B)에 접촉한다.In step D5, the second fixing part 520 is connected to the second body part 720 by a plurality of bolts 10B5. The regulating surface 523C of the fixing part 520 contacts the first contacted portion 320A and the second contacted portion 320B of the second reference surface 324B of the turning portion 320 .

도 22를 참조한다. 공정 D6에서는 각도 설정용 홀더(410)가 홀더 조인트(300)로부터 분리된다. 홀더 유닛(400)이 홀더 조인트(300)에 연결된다.See Figure 22. In step D6, the angle setting holder 410 is separated from the holder joint 300. The holder unit 400 is connected to the holder joint 300 .

(제5 각도 설정방법)(Fifth angle setting method)

제5 각도 설정방법은 공정 E1~공정 E5를 포함한다. 공정 E1 다음에 공정 E2가 이루어진다. 공정 E2 다음에 공정 E3이 이루어진다. 공정 E3 다음에 공정 E4가 이루어진다. 공정 E4 다음에 공정 E5가 이루어진다.The fifth angle setting method includes steps E1 to E5. Step E2 is followed by step E1. Step E2 is followed by step E3. Step E3 is followed by step E4. Step E5 is followed by step E4.

공정 E1에서는 제4 각도 설정방법의 공정 D2와 동일한 상태의 스크라이브 헤드(10)가 정반의 기준면에 배치된다. 공정 E2는 제4 각도 설정방법의 공정 D3과 같다. 공정 E3은 제4 각도 설정방법의 공정 D4와 같다. 공정 E4는 제4 각도 설정방법의 공정 D5와 같다. 공정 E5는 제4 각도 설정방법의 공정 D6과 같다.In step E1, the scribe head 10 in the same state as step D2 of the fourth angle setting method is disposed on the reference surface of the surface plate. Step E2 is the same as step D3 of the fourth angle setting method. Step E3 is the same as step D4 of the fourth angle setting method. Step E4 is the same as step D5 of the fourth angle setting method. Step E5 is the same as step D6 of the fourth angle setting method.

(제6 각도 설정방법)(The 6th angle setting method)

제6 각도 설정방법은 공정 F1~공정 F4를 포함한다. 공정 F1 다음에 공정 F2가 이루어진다. 공정 F2 다음에 공정 F3이 이루어진다. 공정 F3 다음에 공정 F4가 이루어진다.The 6th angle setting method includes process F1 - process F4. Step F2 is followed by step F1. Step F2 is followed by step F3. Step F4 is followed by step F3.

공정 F1에서는 제4 각도 설정방법의 공정 D3과 동일한 상태의 스크라이브 헤드(10)가 정반의 기준면에 배치된다. 공정 F2는 제4 각도 설정방법의 공정 D4와 같다. 공정 F3은 제4 각도 설정방법의 공정 D5와 같다. 공정 F4는 제4 각도 설정방법의 공정 D6과 같다.In step F1, the scribe head 10 in the same state as step D3 of the fourth angle setting method is disposed on the reference surface of the surface plate. Step F2 is the same as step D4 of the fourth angle setting method. Process F3 is the same as process D5 of the 4th angle setting method. Step F4 is the same as step D6 of the fourth angle setting method.

(스크라이브 가공)(scribe processing)

스크라이브 가공에는 각도 설정부(500)에 의해 선회부(320)의 선회각도가 설정된 스크라이브 가공장치가 사용된다. 스크라이브 가공에서는 예를 들면 전제의 실시형태와 같은 모습이 관찰된다.For the scribing process, a scribing processing device in which the turning angle of the turning unit 320 is set by the angle setting unit 500 is used. In the scribing process, for example, the same appearance as the premise embodiment is observed.

(효과)(effect)

실시형태에 예시되는 구성에 의해 예를 들면 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.By the structure exemplified in the embodiment, the following effects can be obtained, for example.

일례에서 슬라이드 유닛(100)은 전제 실시형태의 슬라이드 유닛(100)과 공통되는 구성을 포함한다.In one example, the slide unit 100 includes a configuration common to the slide unit 100 of all embodiments.

상기 구성에 의하면, 예를 들면 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. 전제의 실시형태에 의해 얻어지는 효과와 같은 효과를 얻을 수 있다.According to the above structure, the following effects can be obtained, for example. Effects similar to those obtained by the premise embodiment can be obtained.

일례에서 베어링부(310)는 슬라이더 본체(700)의 일부인 제2 본체 구성부(720)에 접합된다.In one example, the bearing portion 310 is bonded to the second body component 720 that is part of the slider body 700 .

상기 구성에 의하면, 예를 들면 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. 베어링부(310)가 고강성의 요소에 접합되기 때문에, 슬라이드 유닛(100)에 충격이 작용한 경우에도, 각도 설정부(500)에 의해 설정된 선회부(320)의 선회각도가 변화하기 어렵다.According to the above configuration, the following effects can be obtained, for example. Since the bearing portion 310 is bonded to a highly rigid element, even when an impact acts on the slide unit 100, the turning angle of the turning portion 320 set by the angle setting portion 500 is difficult to change.

또한, 본 발명에 관한 슬라이드 유닛이 취할 수 있는 형태는 상기 각 실시형태에 기재된 설명에 제한되지 않는다. 발명에 관한 슬라이드 유닛은 각 실시형태에 예시된 형태와는 다른 형태를 취할 수 있다. 그 예로서, 각 실시형태 구성의 일부를 치환, 변경 혹은 생략한 형태 또는 각 실시형태에 새로운 구성을 부가한 형태를 들 수 있다.In addition, the form which the slide unit concerning this invention can take is not limited to the description described in each said embodiment. The slide unit according to the invention may take a form different from the form exemplified in each embodiment. Examples thereof include a form in which a part of the configuration of each embodiment is substituted, changed, or omitted, or a form in which a new configuration is added to each embodiment.

100 : 슬라이드 유닛
200: 슬라이더
300: 홀더 조인트
310 : 베어링부
320 : 선회부
500 : 각도 설정부100: slide unit
200: slider
300: holder joint
310: bearing part
320: turning part
500: angle setting unit

Claims

slider and
A holder joint including a bearing part connected to the slider and a swing part configured to pivot with respect to the bearing part;
A slide unit having an angle setting unit configured to set a turning angle of the swing unit relative to the slider.

According to claim 1,
The angle setting unit presses the turning portion so that the turning portion turns in a second turning direction opposite to the first turning direction and a first pressing portion for pressing the turning portion so that the turning portion turns in the first turning direction. A slide unit including 2 pressing parts.

According to claim 2,
One of the first pressing portion and the second pressing portion includes an elastic element.

According to claim 3,
The slide unit comprising a screw element on the other side of the first pressing part and the second pressing part.

According to any one of claims 2 to 4,
A slide unit disposed so as to sandwich the turning portion between the first pressing portion and the second pressing portion.

According to any one of claims 2 to 4,
The slide unit of claim 1 , wherein the angle setting unit includes a first pressing portion arranging portion in which the first pressing portion is disposed, and a second pressing portion arranging portion in which the second pressing portion is disposed.

According to any one of claims 2 to 4,
The pivoting part includes a holder connecting part configured to connect a holder unit and a pivoting shaft connected to the bearing part,
The first pressing part and the second pressing part are configured to press the holder connecting part.

According to any one of claims 1 to 4,
The angle setting unit slide unit including a fixing unit configured to fix the turning angle of the turning unit.

According to claim 8,
The slide unit configured to be detachable from the slider.

According to any one of claims 1 to 4,
The slider includes a slider body to which the bearing part is connected,
The angle setting unit slide unit installed on the bottom of the slider body.

A holder joint including a slider, a bearing part connected to the slider, a swing part configured to pivot with respect to the bearing part, and an angle setting unit configured to set a swing angle of the swing unit with respect to the slider A slide unit to do;
a base supporting the slide unit;
a guide unit connecting the slide unit and the base so that the slide unit can move in a height direction with respect to the base;
A load control unit for applying a load to the slide unit;
A scribing head having a support for supporting the slide unit and the load control unit.