JP2006231435A

JP2006231435A - Manufacturing device and manufacturing method for forming die

Info

Publication number: JP2006231435A
Application number: JP2005047515A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Sakai; 由雄酒井
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2005-02-23
Filing date: 2005-02-23
Publication date: 2006-09-07

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing device capable of reducing a load applied to a main shaft and a manufacturing method for a forming die using the manufacturing device. SOLUTION: A holding part 33 is mounted to a positioning means 322 determining the position of a tool 321 of the manufacturing device. The holding part 33 holds a mother die when adjusting the mounting position of the mother die relative to the main shaft. The position of the holding part 33 holding the mother die is adjusted and the mounting position of the mother die relative to the main shaft is determined so that a rotating axis of the main shaft agrees with a machining central position of a recessed part of the mother die by driving the positioning means 322 with a control part based on the positional relationship stored in a storage part of the manufacturing device. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、製造装置及び成形型の製造方法に関する。 The present invention relates to a manufacturing apparatus and a manufacturing method of a mold.

従来から、プロジェクタや、レーザプリンタ等の光学機器には、小レンズがマトリクス状に配置されたレンズアレイが用いられている。
このレンズアレイを製造する際には、レンズアレイの形状に応じた成形型を用いてレンズアレイの原料となる溶融光学材料をプレス加工している。
レンズアレイを製造するために使用する成形型の製造装置としては、回転軸を有する主軸と、この主軸に取り付けられ、回転軸に対し直交する２方向に移動し、成形型の母型を保持するスライドテーブルと、前記主軸に対して、接近・離間方向に移動可能な工具とを備えたものを使用する（例えば、特許文献１参照）。
成形型の母型にレンズアレイの小レンズに対応した凹部又は凸部を形成する際には、スライドテーブルに取り付けられたモータを駆動し、スライドテーブルをスライドさせて、母型を主軸上の所定の位置に移動させる。その後、主軸を回転駆動させながら、工具を駆動して母型表面に凹部又は凸部を形成する。 2. Description of the Related Art Conventionally, a lens array in which small lenses are arranged in a matrix is used in an optical apparatus such as a projector or a laser printer.
When this lens array is manufactured, a molten optical material that is a raw material of the lens array is pressed using a mold according to the shape of the lens array.
As a molding die manufacturing apparatus used for manufacturing a lens array, a main shaft having a rotation shaft, and attached to the main shaft, moved in two directions orthogonal to the rotation shaft, and holds a mother die of the molding die. A slide table and a tool provided with a tool movable in an approaching / separating direction with respect to the spindle are used (for example, see Patent Document 1).
When forming a concave or convex portion corresponding to the small lens of the lens array on the mold base of the mold, the motor attached to the slide table is driven and the slide table is slid to place the master mold on the main axis. Move to the position. Thereafter, while rotating the spindle, the tool is driven to form a concave portion or a convex portion on the surface of the mother die.

特開平１１−１７９６０１号公報（第２〜第４頁、図１）Japanese Patent Laid-Open No. 11-179601 (pages 2 to 4 and FIG. 1)

しかしながら、このような製造装置では、主軸にモータ付きのスライドテーブルを取り付けており、このスライドテーブルは比較的重いものであるため、主軸を回転させる際に、バランスが悪くなるという問題がある。そのため主軸に大きな負荷がかかることとなり、製造装置の耐久性能を向上させることが難しいという問題がある。 However, in such a manufacturing apparatus, a slide table with a motor is attached to the main shaft, and since this slide table is relatively heavy, there is a problem that the balance is deteriorated when the main shaft is rotated. Therefore, a large load is applied to the main shaft, and there is a problem that it is difficult to improve the durability performance of the manufacturing apparatus.

本発明の目的は、主軸にかかる負荷を低減することができる製造装置及びこの製造装置を用いた成形型の製造方法を提供することである。 The objective of this invention is providing the manufacturing method which can reduce the load concerning a main axis | shaft, and the manufacturing method of the shaping | molding die using this manufacturing apparatus.

本発明の製造装置は、レンズアレイを成形するための成形型であり、成形面にレンズアレイのマトリクス状に配置された小レンズに対応した凹部又は凸部が形成された成形型を製造するための製造装置であって、前記成形型の母型が取り付けられ、回転軸を中心に回転駆動する主軸と、前記主軸に取り付けられた前記母型の表面に前記凹部又は凸部を加工する工具及び前記工具を移動させ、前記工具の位置を決定する位置決め手段を有する加工部と、前記加工部の位置決め手段を駆動制御する制御部と、前記主軸の回転軸と、前記主軸上の原点位置にある前記母型の表面のレンズアレイの小レンズの光学的中心に対応する設計上の位置との位置関係を記憶する記憶手段とを備え、前記位置決め手段には、前記主軸に対する母型の取り付け位置を調整する際に、前記母型を保持する保持部が取り付けられており、母型表面に凹部又は凸部を形成する際には、前記主軸上の原点位置にある母型を前記保持部により保持し、前記記憶部に記憶された前記位置関係に基づいて、前記制御部により、前記位置決め手段を駆動して、主軸の回転軸と母型の表面のレンズアレイの小レンズの光学的中心に対応する設計上の位置とが一致するように、母型を保持した保持部の位置を調整し、主軸に対する母型の取り付け位置を決定することを特徴とする。 The manufacturing apparatus of the present invention is a molding die for molding a lens array, and for manufacturing a molding die in which concave portions or convex portions corresponding to small lenses arranged in a lens array matrix are formed on the molding surface. And a tool for processing the concave portion or the convex portion on the surface of the mother die attached to the main shaft, and a main shaft that is rotationally driven around a rotating shaft. A machining unit having a positioning unit that moves the tool and determines the position of the tool, a control unit that drives and controls the positioning unit of the machining unit, a rotation axis of the spindle, and an origin position on the spindle Storage means for storing a positional relationship with a design position corresponding to the optical center of the small lens of the lens array on the surface of the master mold, and the positioning means includes an attachment position of the master mold with respect to the main shaft When adjusting, a holding part for holding the mother die is attached, and when forming a concave or convex portion on the mother die surface, the mother die at the origin position on the spindle is held by the holding part. Then, based on the positional relationship stored in the storage unit, the positioning unit is driven by the control unit to correspond to the optical axis of the rotation axis of the main shaft and the small lens of the lens array on the surface of the matrix. The position of the holding part holding the mother die is adjusted so that the design position matches the design position, and the attachment position of the mother die with respect to the main shaft is determined.

このような本発明の製造装置では、母型表面に凹部又は凸部を形成する際に、工具の位置決めを行なう位置決め手段を用いて、母型を移動させ、位置決めを行なっている。従って、本発明の製造装置では、従来のように、主軸上にスライドテーブルを固定した構造となっていないので、主軸を回転駆動させた際に、バランスが崩れ、主軸に大きな負荷がかかることがない。これにより、製造装置の耐久性能を向上させることが可能となる。
さらに、本発明の製造装置では、主軸に対する母型の取り付け位置を調整する際に、工具の位置決めを行なう位置決め手段を利用して保持部を駆動し、母型を移動させ、位置決めを行なっている。従って、工具を位置決めする位置決め手段と、母型の位置決めを行なう位置決め手段とを共通のものとしているので、工具の位置決め手段と母型の位置決め手段とを別々に設ける場合に比べ、部材点数の削減を図ることができる。 In such a manufacturing apparatus of the present invention, when forming the concave portion or the convex portion on the surface of the mother die, the mother die is moved and positioned using the positioning means for positioning the tool. Therefore, the manufacturing apparatus according to the present invention does not have a structure in which a slide table is fixed on the main shaft as in the prior art. Therefore, when the main shaft is driven to rotate, the balance is lost and a large load is applied to the main shaft. Absent. Thereby, it becomes possible to improve the durability performance of a manufacturing apparatus.
Further, in the manufacturing apparatus of the present invention, when adjusting the mounting position of the master mold with respect to the main shaft, the holding section is driven using the positioning means for positioning the tool, and the master mold is moved to perform positioning. . Accordingly, since the positioning means for positioning the tool and the positioning means for positioning the mother die are made common, the number of members can be reduced as compared with the case where the tool positioning means and the mother die positioning means are provided separately. Can be achieved.

本発明では、前記主軸及び前記保持部を互いに接近させて、前記保持部及び主軸間での前記母型の引渡しを行い、前記保持部又は主軸には、前記保持部及び主軸間での母型の引渡しの際に、前記主軸又は保持部から加わる衝撃を吸収する衝撃吸収体が設けられていることが好ましい。
このような本発明によれば、保持部又は主軸に、衝撃吸収体が設けられているので、母型を保持部及び主軸間で引き渡す際に、主軸から保持部に加わる衝撃、或いは保持部から主軸に加わる衝撃を衝撃吸収体で吸収することができる。
母型を保持部及び主軸間で引き渡す際に、保持部又は主軸に対し、主軸からの衝撃或いは保持部からの衝撃が加わらないようにするためには、主軸及び保持部の位置を高度に制御しなければならないが、本発明では、保持部又は主軸に、衝撃吸収体が設けられており、母型の引渡しの際に加わる衝撃を吸収できるので、保持部及び主軸間での母型の引渡しの際に、主軸及び保持部の位置を高度に制御する必要がない。 In the present invention, the main shaft and the holding portion are brought close to each other, and the master die is transferred between the holding portion and the main shaft, and the master die between the holding portion and the main shaft is provided to the holding portion or the main shaft. It is preferable to provide an impact absorber that absorbs an impact applied from the main shaft or the holding portion during the delivery.
According to the present invention, since the shock absorber is provided on the holding portion or the main shaft, when the master is transferred between the holding portion and the main shaft, the shock applied to the holding portion from the main shaft or from the holding portion. The shock applied to the main shaft can be absorbed by the shock absorber.
When passing the master mold between the holding unit and the main shaft, the position of the main shaft and the holding unit is highly controlled to prevent the holding unit or main shaft from being subjected to impact from the main shaft or from the holding unit. However, in the present invention, since the shock absorber is provided in the holding part or the main shaft and the shock applied during the delivery of the mother die can be absorbed, the mother die is delivered between the holding part and the main shaft. In this case, it is not necessary to highly control the positions of the main shaft and the holding portion.

本発明の成形型の製造方法は、レンズアレイを成形するための成形型であり、成形面にレンズアレイのマトリクス状に配置された小レンズに対応した凹部又は凸部が形成された成形型の製造方法であって、成形型の母型の表面に前記凹部又は凸部を形成するための製造装置を使用して行われ、前記製造装置は、母型が取り付けられ、回転軸を中心に回転駆動する主軸と、この主軸に取り付けられた母型の表面に前記凹部又は凸部を加工する工具及び前記工具を移動させ、前記工具の位置を決定する位置決め手段を有する加工部と、前記加工部の位置決め手段を駆動制御する制御部と、前記主軸の回転軸と前記主軸上の原点位置にある前記母型の表面のレンズアレイの小レンズの光学的中心に対応する設計上の位置との位置関係を記憶する記憶手段とを備え、前記位置決め手段には、前記主軸に対する母型の取り付け位置を調整する際に、前記母型を保持する保持部が取り付けられており、前記母型を主軸上の原点位置に取り付ける原点出し工程と、前記位置決め手段に取り付けられた保持部で前記母型を保持するとともに、主軸から母型を取り外し、前記記憶部に記憶された主軸の回転軸と、原点位置にある前記母型の表面のレンズアレイの小レンズの光学的中心に対応する設計上の位置との位置関係に基づいて、前記制御部が、前記位置決め手段を駆動し、前記母型を移動させて、主軸の回転軸と、母型の表面のレンズアレイの小レンズの光学的中心に対応する位置とを合わせる母型位置合わせ工程と、前記主軸に母型を取り付け、前記保持部による母型の保持を解除した後、母型の表面に凹部又は凸部を形成する加工工程とを有することを特徴とする。 The method for manufacturing a mold according to the present invention is a mold for molding a lens array, in which a concave or convex portion corresponding to small lenses arranged in a matrix shape of a lens array is formed on a molding surface. A manufacturing method is performed using a manufacturing apparatus for forming the concave portion or the convex portion on a surface of a mold of a mold, and the manufacturing apparatus is rotated around a rotation axis with a mother mold attached thereto. A main shaft to be driven, a tool for processing the concave portion or the convex portion on the surface of a master die attached to the main shaft, a processing portion having a positioning means for determining the position of the tool by moving the tool, and the processing portion A position of a control unit that drives and controls the positioning means, and a design position corresponding to the optical center of the small lens of the lens array on the surface of the matrix at the origin position on the spindle and the rotation axis of the spindle Memorize relationship The positioning means is provided with a holding portion for holding the mother die when adjusting the attachment position of the mother die with respect to the main shaft, and the mother die is attached to the origin position on the main shaft. The home mold is held by the holding section attached to the positioning means, the master block is detached from the main spindle, the rotation axis of the main spindle stored in the storage section, and the master mold at the home position Based on the positional relationship with the design position corresponding to the optical center of the small lens of the lens array on the surface of the lens, the control unit drives the positioning means, moves the matrix, and rotates the spindle A mother die alignment step for aligning the shaft and a position corresponding to the optical center of the small lens of the lens array on the surface of the mother die, and a mother die is attached to the main shaft, and the holding of the mother die by the holding portion is released. After, mother And having a processing step of forming a concave or convex portion of the surface.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
（１．レンズアレイの構成）
図１には、レンズアレイ１が示されている。具体的に、図１（Ａ）はレンズアレイ１を正面から見た図であり、図１（Ｂ）はレンズアレイ１を側方から見た図であり、図１（Ｃ）はレンズアレイ１を図１（Ｂ）とは異なる側方から見た図である。
このレンズアレイ１は、プロジェクタや、レーザプリンタ等の光学機器に搭載されるものであり、ベース部１１と、レンズ部１２とを備える。
ベース部１１は、矩形形状の板状体として形成され、一方の面にレンズ部１２が形成されている。また、ベース部１１の他方の面は、略平坦となっている。
レンズ部１２は、ベース部１１の一方の面の略中央部分に膨出するように形成され、光束を複数の部分光束に分割する複数の小レンズ１２１で構成されている。
これら複数の小レンズ１２１は、マトリクス状（行を横一並びの要素、列を縦一並びの要素とすると例えば、６行×４列）に配列形成されている。
なお、小レンズ１２１は、球面形状のものであってもよく、また、非球面形状のものであってもよい。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(1. Lens array configuration)
FIG. 1 shows a lens array 1. Specifically, FIG. 1A is a diagram of the lens array 1 viewed from the front, FIG. 1B is a diagram of the lens array 1 viewed from the side, and FIG. It is the figure which looked at from the side different from FIG. 1 (B).
The lens array 1 is mounted on an optical device such as a projector or a laser printer, and includes a base unit 11 and a lens unit 12.
The base portion 11 is formed as a rectangular plate-like body, and a lens portion 12 is formed on one surface. Moreover, the other surface of the base part 11 is substantially flat.
The lens unit 12 is formed so as to bulge out at a substantially central portion of one surface of the base unit 11, and includes a plurality of small lenses 121 that divide a light beam into a plurality of partial light beams.
The plurality of small lenses 121 are arranged in a matrix (for example, 6 rows × 4 columns, where rows are arranged in a row and columns are arranged in a row).
The small lens 121 may have a spherical shape or an aspherical shape.

（２．型の構成）
このようなレンズアレイ１は、図２に示すように、レンズアレイ１の溶融光学材料である溶融ガラスの塊１０を型２でプレス成形することにより製造される。
型２は、一対の成形型、具体的には、固定型２１と、固定型２１に対して進退自在に構成される可動型２２とを備える。
固定型２１は、略矩形形状の板体であり、レンズアレイ１の略平坦な面を成形する成形面２１１を備える。
可動型２２は、略矩形状であるが、成形面２２１にレンズアレイ１の小レンズ１２１に対応した複数の凹部２２２がマトリクス状に配置されている。 (2. Mold configuration)
Such a lens array 1 is manufactured by press-molding a molten glass lump 10 that is a molten optical material of the lens array 1 with a mold 2 as shown in FIG.
The mold 2 includes a pair of molds, specifically, a fixed mold 21 and a movable mold 22 configured to move forward and backward with respect to the fixed mold 21.
The fixed mold 21 is a substantially rectangular plate, and includes a molding surface 211 that molds a substantially flat surface of the lens array 1.
The movable die 22 has a substantially rectangular shape, but a plurality of concave portions 222 corresponding to the small lenses 121 of the lens array 1 are arranged in a matrix on the molding surface 221.

（３．製造装置の構成）
以上のような型２の可動型２２は、図３〜図７に示すような、研削用の製造装置３を使用して製造される。図３は、製造装置３を示す側面図であり、図４は、製造装置３の主軸３１を示す斜視図である。さらに、図５は、製造装置３の加工部３２及び保持部３３を示す斜視図であり、図６は、製造装置３の保持部３３の断面図である。また、図７は、製造装置３の制御装置３４を示すブロック図である。
この製造装置３は、定盤３０と、この定盤３０上に設置される主軸３１と、可動型２２の母型２３の表面に凹部２２２を加工する加工部３２と、保持部３３と、制御装置３４（図７参照）とを備える。
ここで母型２３とは、可動型２２の成形面２２１に完全な形状の凹部２２２が形成されていない状態のものをいう。 (3. Configuration of manufacturing equipment)
The movable mold 22 of the mold 2 as described above is manufactured by using a manufacturing apparatus 3 for grinding as shown in FIGS. FIG. 3 is a side view showing the manufacturing apparatus 3, and FIG. 4 is a perspective view showing the main shaft 31 of the manufacturing apparatus 3. 5 is a perspective view showing the processing section 32 and the holding section 33 of the manufacturing apparatus 3, and FIG. 6 is a cross-sectional view of the holding section 33 of the manufacturing apparatus 3. FIG. 7 is a block diagram showing the control device 34 of the manufacturing apparatus 3.
The manufacturing apparatus 3 includes a surface plate 30, a main shaft 31 installed on the surface plate 30, a processing unit 32 that processes the recess 222 on the surface of the mother die 23 of the movable mold 22, a holding unit 33, and a control unit. And a device 34 (see FIG. 7).
Here, the mother die 23 means a state in which the complete shape recess 222 is not formed on the molding surface 221 of the movable die 22.

（3-1.主軸）
製造装置３の主軸３１は、図３及び図４に示すように、加工部３２と対向配置されており、加工部３２側に向かって延びる円柱形状となっている。この主軸３１の基端側（加工部３２と反対側）には、支持部３５が設けられており、主軸３１は、支持部３５により支持されている。
主軸３１は、図示しないモータにより駆動され、Ｚ軸方向に沿って進退する構成となっている。さらに、この主軸３１は、図示しないモータにより、主軸３１の円形状の面の中心を通る中心軸を回転軸３１２として、回転する。なお、主軸３１の回転軸３１２は、Ｚ軸と平行である。
さらに、主軸３１の加工部３２側の面には、真空チャック３６が取り付けられている。この真空チャック３６及び治具４を介して母型２３が主軸３１に取り付けられる。
ここで、治具４は、円柱形状であり、一対の円形面のうち、一方の円形面が真空チャック３６の吸着面に吸着固定される。真空チャック３６は、治具４を真空吸着するものであり、図示しない真空ポンプに接続されている。
また、治具４の一対の円形面のうち、他方の円形面には、固定部材４１が取り付けられており、この固定部材４１により母型２３が取り付けられる。母型２３を治具４に固定すると、母型２３の外形中心と、治具４の中心軸とは一致する。
さらに、治具４の円柱面には、平坦な基準面４２が形成されている。基準面４２は複数、例えば、４つ形成されており、基準面４２のうち一対の基準面４２は、Ｘ軸に平行となり、他の一対の基準面４２はＹ軸と平行となる。 (3-1. Spindle)
As shown in FIGS. 3 and 4, the main shaft 31 of the manufacturing apparatus 3 is disposed to face the processing unit 32 and has a cylindrical shape extending toward the processing unit 32 side. A support portion 35 is provided on the base end side of the main shaft 31 (on the side opposite to the processing portion 32), and the main shaft 31 is supported by the support portion 35.
The main shaft 31 is driven by a motor (not shown) and is configured to advance and retract along the Z-axis direction. Further, the main shaft 31 is rotated by a motor (not shown) with the central axis passing through the center of the circular surface of the main shaft 31 as a rotation shaft 312. The rotation shaft 312 of the main shaft 31 is parallel to the Z axis.
Further, a vacuum chuck 36 is attached to the surface of the main shaft 31 on the processing portion 32 side. The mother die 23 is attached to the main shaft 31 through the vacuum chuck 36 and the jig 4.
Here, the jig 4 has a cylindrical shape, and one of the pair of circular surfaces is fixed to the suction surface of the vacuum chuck 36 by suction. The vacuum chuck 36 vacuum-sucks the jig 4 and is connected to a vacuum pump (not shown).
A fixing member 41 is attached to the other of the pair of circular surfaces of the jig 4, and the mother die 23 is attached to the fixing member 41. When the mother die 23 is fixed to the jig 4, the outer shape center of the mother die 23 coincides with the central axis of the jig 4.
Further, a flat reference surface 42 is formed on the cylindrical surface of the jig 4. A plurality of, for example, four reference surfaces 42 are formed. Of the reference surfaces 42, a pair of reference surfaces 42 are parallel to the X axis, and the other pair of reference surfaces 42 are parallel to the Y axis.

（3-2.加工部）
加工部３２は、図５に示すように、定盤３０上に設置されたものであり、工具３２１と、この工具３２１の位置を決定する位置決め手段３２２とを備える。
工具３２１は、ディスク型砥石３２１Ａと、このディスク型砥石３２１Ａが先端に取り付けられる砥石軸３２１Ｂと、軸受け部３２１Ｃと、前記砥石軸３２１Ｂを回転させる図示しないモータとを備える。
ディスク型砥石３２１Ａは、砥石軸３２１Ｂの回転に伴って回転可能となっている。 (3-2. Machining part)
As shown in FIG. 5, the processing unit 32 is installed on the surface plate 30 and includes a tool 321 and positioning means 322 that determines the position of the tool 321.
The tool 321 includes a disc type grindstone 321A, a grindstone shaft 321B to which the disc type grindstone 321A is attached, a bearing portion 321C, and a motor (not shown) that rotates the grindstone shaft 321B.
The disk-type grindstone 321A is rotatable with the rotation of the grindstone shaft 321B.

位置決め手段３２２は、定盤３０上に設置されたＸテーブル３２２Ｘと、Ｘテーブル３２２Ｘ上に設置されたＹテーブル３２２Ｙとを備える。
Ｘテーブル３２２Ｘは、定盤３０上に固定された基部３２２Ｘ１と、図示しないモータにより駆動されて、前記基部３２２Ｘ１上を摺動するテーブル本体３２２Ｘ２とを備える。
基部３２２Ｘ１は、直方体形状であり、Ｘ軸方向に沿って延びている。
テーブル本体３２２Ｘ２は、基部３２２Ｘ１側に向かって開口した断面略コ字形であり、前記基部３２２Ｘ１を覆うように設けられている。より詳細に説明すると、テーブル本体３２２Ｘ２は、基部３２２Ｘ１の上面に配置された上面部３２２Ｘ２１と、この上面部３２２Ｘ２１の両端部から下方に延びる一対の側面部３２２Ｘ２２とを備える。上面部３２２Ｘ２１と、一対の側面部３２２Ｘ２２とで構成される空間に基部３２２Ｘ１が嵌めこまれる。 The positioning means 322 includes an X table 322X installed on the surface plate 30 and a Y table 322Y installed on the X table 322X.
The X table 322X includes a base 322X1 fixed on the surface plate 30, and a table main body 322X2 that is driven by a motor (not shown) and slides on the base 322X1.
The base 322X1 has a rectangular parallelepiped shape and extends along the X-axis direction.
The table main body 322X2 has a substantially U-shaped cross section that opens toward the base 322X1 and is provided so as to cover the base 322X1. More specifically, the table main body 322X2 includes an upper surface portion 322X21 disposed on the upper surface of the base portion 322X1, and a pair of side surface portions 322X22 extending downward from both ends of the upper surface portion 322X21. The base 322X1 is fitted into a space formed by the upper surface 322X21 and the pair of side surfaces 322X22.

Ｙテーブル３２２Ｙは、Ｘテーブル３２２Ｘのテーブル本体３２２Ｘ２の上面部３２２Ｘ２１上に固定された基部３２２Ｙ１と、図示しないモータにより駆動されて、前記基部３２２Ｙ１上を摺動するテーブル本体３２２Ｙ２とを備える。
基部３２２Ｙ１は、平面略コ字形であり、Ｙ軸方向に沿って延びる正面長方形形状の第一の壁部３２２Ｙ１１と、第一の壁部３２２Ｙ１１に直交して、第一の壁部３２２Ｙ１１の長辺に設けられた一対の第二の壁部３２２Ｙ１２とを備える。
テーブル本体３２２Ｙ２は、Ｙ軸方向に沿って延びた直方体形状であり、基部３２２Ｙ１の壁部３２２Ｙ１１と、一対の壁部３２２Ｙ１２との間の空間に嵌めこまれる。
テーブル本体３２２Ｙ２には、工具３２１及び後述する保持部３３が固定されている。すなわち、Ｘテーブルのテーブル本体３２２Ｘ２を駆動することで、Ｙテーブル３２２Ｙ及びＹテーブル３２２Ｙのテーブル本体３２２Ｙ２に固定された工具３２１及び保持部３３がＸ軸方向に移動することとなる。
また、Ｙテーブル３２２Ｙのテーブル本体３２２Ｙ２を駆動することで、テーブル本体３２２Ｙ２に固定された工具３２１及び保持部３３が、Ｙ軸方向に移動することとなる。 The Y table 322Y includes a base 322Y1 fixed on the upper surface 322X21 of the table main body 322X2 of the X table 322X, and a table main body 322Y2 that is driven by a motor (not shown) and slides on the base 322Y1.
The base portion 322Y1 is substantially U-shaped in a plane, and is a front rectangular first wall portion 322Y11 extending along the Y-axis direction, and a long side of the first wall portion 322Y11 orthogonal to the first wall portion 322Y11. And a pair of second wall portions 322Y12.
The table main body 322Y2 has a rectangular parallelepiped shape extending along the Y-axis direction, and is fitted in a space between the wall portion 322Y11 of the base portion 322Y1 and the pair of wall portions 322Y12.
A tool 321 and a holding portion 33 described later are fixed to the table main body 322Y2. That is, by driving the table body 322X2 of the X table, the Y table 322Y and the tool 321 and the holding unit 33 fixed to the table body 322Y2 of the Y table 322Y move in the X-axis direction.
Further, by driving the table body 322Y2 of the Y table 322Y, the tool 321 and the holding unit 33 fixed to the table body 322Y2 move in the Y-axis direction.

（3-3.保持部）
保持部３３は、図６に示すように、Ｙテーブル３２２Ｙのテーブル本体３２２Ｙ２に形成された凹部３２２Ｙ２１に固定されている。この保持部３３は、工具３２１に対し、Ｘ軸方向に隣接して配置されている。
保持部３３は、いわゆるエアチャックであり、筐体３３１と、筐体３３１内に収容されたエアチャック本体３３２とを備える。
筐体３３１は、貫通孔３３１Ａが形成されており、この貫通孔３３１Ａは、ピストン３３２Ａを摺動させるシリンダ孔３３１Ａ１と、このシリンダ孔３３１Ａ１に連通し、シリンダ孔よりも径の小さいロッド孔３３１Ａ２と、このロッド孔３３１Ａ２に連通した収容孔３３１Ａ３とを備える。
また、筐体３３１の後述するピストン３３２Ａのヘッド３３２Ａ１の図面左側には、前記シリンダ孔３３１Ａ１に連通する圧縮空気供給・排出用の孔（図示略）が形成されている。この孔には、チャック開閉用電磁弁を介して圧縮空気が供給・排出される。チャック開閉用電磁弁には、圧縮空気供給用の配管と、圧縮空気排出用の配管が接続されている。
エアチャック本体３３２は、シリンダ孔３３１Ａ１内を摺動するピストン３３２Ａと、このピストン３３２Ａを付勢するばね３３２Ｂと、前記ピストン３３２Ａのロッド３３２Ａ２の先端に設けられた一対のアーム３３２Ｃと、一対のアーム３３２Ｃにより駆動する挟持部材３３２Ｄとを備える。 (3-3. Holding part)
As shown in FIG. 6, the holding portion 33 is fixed to a recess 322Y21 formed in the table body 322Y2 of the Y table 322Y. The holding portion 33 is disposed adjacent to the tool 321 in the X-axis direction.
The holding unit 33 is a so-called air chuck, and includes a housing 331 and an air chuck main body 332 accommodated in the housing 331.
The housing 331 is formed with a through hole 331A. The through hole 331A communicates with the cylinder hole 331A1 for sliding the piston 332A, and the rod hole 331A2 having a diameter smaller than the cylinder hole. And a receiving hole 331A3 communicating with the rod hole 331A2.
Also, a compressed air supply / discharge hole (not shown) communicating with the cylinder hole 331A1 is formed on the left side of the head 332A1 of the piston 332A, which will be described later, of the housing 331. Compressed air is supplied to and discharged from this hole via a chuck opening / closing electromagnetic valve. A piping for supplying compressed air and a piping for discharging compressed air are connected to the electromagnetic valve for opening and closing the chuck.
The air chuck main body 332 includes a piston 332A that slides in the cylinder hole 331A1, a spring 332B that biases the piston 332A, a pair of arms 332C provided at the tip of the rod 332A2 of the piston 332A, and a pair of arms And a holding member 332D driven by 332C.

ピストン３３２Ａは、シリンダ孔３３１Ａ１内の空気により駆動されるものである。このピストン３３２Ａは、ヘッド３３２Ａ１と、このヘッド３３２Ａ１に接続されたロッド３３２Ａ２とを有する。ヘッド３３２Ａ１は、シリンダ孔３３１Ａ１内を摺動する。
ヘッド３３２Ａ１には、ばね３３２Ｂが固定されており、このばね３３２Ｂによりピストン３３２Ａは、図６左方向に付勢されている。
ロッド３３２Ａ２は、ロッド孔３３１Ａ２内を摺動するものであり、ロッド３３２Ａ２の一方の端部は、ヘッド３３２Ａ１に固定されている。また、ロッド３３２Ａ２の他方の端部には、図示しないが後述する一対のアーム３３２Ｃがピンを介して回動可能に固定されている。 The piston 332A is driven by the air in the cylinder hole 331A1. The piston 332A has a head 332A1 and a rod 332A2 connected to the head 332A1. The head 332A1 slides in the cylinder hole 331A1.
A spring 332B is fixed to the head 332A1, and the piston 332A is biased leftward in FIG. 6 by the spring 332B.
The rod 332A2 slides in the rod hole 331A2, and one end of the rod 332A2 is fixed to the head 332A1. In addition, a pair of arms 332C, which will be described later, are fixed to the other end of the rod 332A2 via a pin so as to be rotatable.

一対のアーム３３２Ｃは、筐体３３１にも軸支されており、軸３３２Ｃ２を中心に回動可能となっている。
さらに、一対のアーム３３２Ｃには、切欠き部３３２Ｃ１が形成されており、この切欠き部３３２Ｃ１に一対の挟持部材３３２Ｄに形成された突起が係合している。
なお、保持部３３には、一対の挟持部材３３２Ｄ間に対象物（本実施形態では、母型２３）が配置されたことを検出するセンサが設けられている。 The pair of arms 332C is also pivotally supported by the housing 331 and is rotatable about the shaft 332C2.
Further, a notch 332C1 is formed on the pair of arms 332C, and protrusions formed on the pair of clamping members 332D are engaged with the notch 332C1.
Note that the holding unit 33 is provided with a sensor that detects that an object (in this embodiment, the mother die 23) is disposed between the pair of clamping members 332D.

以上のような構成の保持部３３では、筐体３３１の圧縮空気供給・排出用の孔から圧縮空気を供給すると、ピストン３３２Ａを駆動して、ばね３３２Ｂが圧縮し、一対のアーム３３２Ｃが回動する。この一対のアーム３３２Ｃに係合した一対の挟持部材３３２Ｄが互いに接近する。これにより、挟持部材３３２Ｄにより母型２３が挟持されることとなる。
また、筐体３３１の圧縮空気供給・排出用の孔から圧縮空気を排出すると、ピストン３３２Ａがばね３３２Ｂの付勢力により駆動し、これに伴って一対のアーム３３２Ｃが回動する。そして、この一対のアーム３３２Ｃに係合した一対の挟持部材３３２Ｄが互いに離間する。これにより、挟持部材３３２Ｄによる母型２３の挟持を解除することができる。 In the holding unit 33 configured as described above, when compressed air is supplied from the compressed air supply / discharge hole of the housing 331, the piston 332A is driven, the spring 332B is compressed, and the pair of arms 332C rotate. To do. A pair of clamping members 332D engaged with the pair of arms 332C approach each other. Thereby, the mother die 23 is clamped by the clamping member 332D.
Further, when the compressed air is discharged from the compressed air supply / discharge hole of the housing 331, the piston 332A is driven by the biasing force of the spring 332B, and accordingly, the pair of arms 332C rotate. The pair of clamping members 332D engaged with the pair of arms 332C are separated from each other. Thereby, clamping of the mother die 23 by the clamping member 332D can be released.

以上のような保持部３３の筐体３３１の基端側（主軸３１と反対側）には、衝撃吸収体３８が取り付けられている。保持部３３は、衝撃吸収体３８を介して、凹部３２２Ｙ２１に固定されているのである。この衝撃吸収体３８は、本実施形態では、ばねである。従って、本実施形態の保持部３３は、凹部３２２Ｙ２１内をＺ軸方向に移動可能となっている。
なお、本実施形態では、衝撃吸収体３８をばねとしたが、これに限らず、たとえば、エアシリンダ、油圧シリンダ等としてもよい。さらには、衝撃吸収体３８をゴム等の弾性体で構成してもよい。すなわち、衝撃吸収体は、主軸３１が保持部３３に当接した際に、保持部３３を主軸３１の接近方向と反対方向に後退させ、主軸３１からの衝撃を吸収できるようなものであれば任意である。 The shock absorber 38 is attached to the base end side (the side opposite to the main shaft 31) of the housing 331 of the holding portion 33 as described above. The holding portion 33 is fixed to the concave portion 322Y21 via the shock absorber 38. The shock absorber 38 is a spring in this embodiment. Accordingly, the holding portion 33 of the present embodiment is movable in the Z-axis direction within the recess 322Y21.
In the present embodiment, the shock absorber 38 is a spring. However, the present invention is not limited to this. For example, an air cylinder, a hydraulic cylinder, or the like may be used. Further, the shock absorber 38 may be made of an elastic body such as rubber. That is, the shock absorber is such that when the main shaft 31 comes into contact with the holding portion 33, the holding portion 33 can be retracted in the direction opposite to the approaching direction of the main shaft 31 to absorb the shock from the main shaft 31. Is optional.

（3-4.制御装置）
制御装置３４は、位置決め手段３２２、主軸３１、砥石軸３２１Ｂの駆動を制御するためのものである。
この制御装置３４は、図７に示すように、制御部３４１と、記憶部３４２と、入出力部３４３と、操作スイッチを備えた入力装置３４４を有する。
制御部３４１は、位置決め手段３２２を駆動するためのモータのドライバＤ１に対し制御信号を送る位置決め手段制御部３４１Ａと、主軸３１を駆動するためのモータのドライバＤ２に対して制御信号を送る主軸制御部３４１Ｂと、砥石軸３２１Ｂを駆動するためのモータのドライバＤ３に対し制御信号を送る砥石軸制御部３４１Ｄと、保持部３３への圧縮空気の供給・排出を制御する電磁弁制御部３４１Ｅと、真空チャック３６を駆動する真空ポンプの制御する真空ポンプ制御部３４１Ｆと、ＮＣ加工プログラム生成部３４１Ｇとを備える。 (3-4. Control device)
The control device 34 is for controlling the driving of the positioning means 322, the main shaft 31, and the grindstone shaft 321B.
As shown in FIG. 7, the control device 34 includes a control unit 341, a storage unit 342, an input / output unit 343, and an input device 344 including an operation switch.
The control unit 341 includes a positioning unit control unit 341A that sends a control signal to a motor driver D1 for driving the positioning unit 322, and a spindle control that sends a control signal to a motor driver D2 for driving the spindle 31. 341B, a grindstone shaft control unit 341D that sends a control signal to a motor driver D3 for driving the grindstone shaft 321B, an electromagnetic valve control unit 341E that controls supply / discharge of compressed air to and from the holding unit 33, A vacuum pump control unit 341F that controls a vacuum pump that drives the vacuum chuck 36 and an NC machining program generation unit 341G are provided.

位置決め手段制御部３４１Ａは、記憶部３４２に記憶されたデータに基づいて、位置決め手段３２２を駆動するためのモータのドライバＤ１に対し制御信号を送り、前記モータを制御するものである。
そして、位置決め手段制御部３４１Ａでは、前記モータに設けられたエンコーダからのパルス信号を受け取り、パルス信号のパルス数を逐次加減算する。パルス数に基づいてＸテーブル３２２Ｘ、Ｙテーブル３２２Ｙの移動量を算出するととともに、この移動量と予め記憶部３４２に記憶された各Ｘテーブル３２２Ｘ、Ｙテーブル３２２Ｙの設計上の移動量とを比較する。そして、この移動量の偏差を求め、この偏差が所定値以上であるかどうか判定する。前記偏差が所定値以上である場合に、モータを駆動させるための信号を生成する。また、偏差が所定値未満である場合には、モータを停止させるための信号を生成する。
主軸制御部３４１Ｂは、主軸３１の回転制御及び主軸３１のＺ軸方向の進退の制御を行なうものであり、主軸３１のモータのドライバＤ２に対して制御信号を送信する。
さらに、砥石軸制御部３４１Ｄは、砥石軸３２１Ｂの回転制御を行うものであり、砥石軸３２１ＢのモータのドライバＤ３に対し制御信号を送る。
電磁弁制御部３４１Ｅは、保持部３３の筐体３３１内への圧縮空気の供給・排出を制御するためのものであり、電磁弁制御回路Ｄ４に対し、所定の信号を送信し、チャック開閉用電磁弁の切替制御を行なう。
真空ポンプ制御部３４１Ｆは、真空チャック３６に接続された真空ポンプのＯＮ／ＯＦＦの制御を行なうものであり、駆動回路Ｄ５に所定の制御信号を送信する。
ＮＣ加工プログラム生成部３４１Ｇは、後述する記憶部３４２に記憶された凹部２２２の形状データに基づいてＮＣ加工データを生成するものである。 The positioning means control section 341A controls the motor by sending a control signal to the motor driver D1 for driving the positioning means 322 based on the data stored in the storage section 342.
The positioning means control unit 341A receives a pulse signal from an encoder provided in the motor, and sequentially adds or subtracts the number of pulses of the pulse signal. The amount of movement of the X table 322X and Y table 322Y is calculated based on the number of pulses, and the amount of movement is compared with the designed amount of movement of each X table 322X and Y table 322Y stored in advance in the storage unit 342. . Then, a deviation of the movement amount is obtained, and it is determined whether or not the deviation is a predetermined value or more. When the deviation is equal to or greater than a predetermined value, a signal for driving the motor is generated. When the deviation is less than a predetermined value, a signal for stopping the motor is generated.
The spindle control unit 341B controls the rotation of the spindle 31 and controls the advance / retreat of the spindle 31 in the Z-axis direction, and transmits a control signal to the motor driver D2 of the spindle 31.
Furthermore, the grindstone axis control unit 341D performs rotation control of the grindstone axis 321B, and sends a control signal to the driver D3 of the motor of the grindstone axis 321B.
The electromagnetic valve control unit 341E is for controlling supply / discharge of compressed air to / from the housing 331 of the holding unit 33, and transmits a predetermined signal to the electromagnetic valve control circuit D4 to open and close the chuck. Performs switching control of the solenoid valve.
The vacuum pump control unit 341F controls ON / OFF of the vacuum pump connected to the vacuum chuck 36, and transmits a predetermined control signal to the drive circuit D5.
The NC machining program generation unit 341G generates NC machining data based on the shape data of the recess 222 stored in the storage unit 342 described later.

記憶部３４２は、主軸３１上の原点位置に母型２３を設置した際（主軸３１の回転軸３１２と、母型２３の外形中心位置Ｐ１とを一致させて設置させた際）の、主軸３１の回転軸３１２と、原点位置にある前記母型２３の表面のレンズアレイの小レンズの光学的中心に対応する設計上の位置との位置関係を記憶している。
換言すると、記憶部３４２は、主軸３１上の原点位置に母型２３を設置した際の回転軸３１２と、母型２３の各凹部２２２を形成するための加工中心となる位置との位置関係を記憶している。
また、記憶部３４２には、位置決め手段３２２のモータに設けられたエンコーダからのパルス信号のパルス数が逐次記憶される。
さらに、記憶部３４２には、後述する原点出し工程におけるＸテーブル３２２Ｘ及びＹテーブル３２２Ｙの基準位置（Ｘテーブル３２２Ｘ及びＹテーブル３２２Ｙが摺動していない位置）からの移動量、すなわち、保持部３３で保持した治具４の中心軸と、主軸３１の回転軸３１２とを略一致させるための移動量が記憶されている。
また、記憶部３４２には、母型２３を加工する際の工具３２１の加工開始位置（Ｘテーブル３２２Ｘ及びＹテーブル３２２Ｙの基準位置（Ｘテーブル３２２Ｘ及びＹテーブル３２２Ｙが摺動していない位置）からの移動量）も記憶されている。
さらに、記憶部３４２には、凹部２２２の形状データが記憶されている。 The storage unit 342 has the main shaft 31 when the master block 23 is installed at the origin position on the main shaft 31 (when the rotation shaft 312 of the main shaft 31 and the outer shape center position P1 of the master die 23 are set to coincide). The positional relationship between the rotation axis 312 and the design position corresponding to the optical center of the small lens of the lens array on the surface of the matrix 23 at the origin position is stored.
In other words, the storage unit 342 indicates the positional relationship between the rotation shaft 312 when the mother die 23 is installed at the origin position on the main shaft 31 and the position serving as the processing center for forming each recess 222 of the mother die 23. I remember it.
Further, the storage unit 342 sequentially stores the number of pulses of the pulse signal from the encoder provided in the motor of the positioning unit 322.
Further, in the storage unit 342, the amount of movement from the reference position of the X table 322X and Y table 322Y (the position where the X table 322X and Y table 322Y are not slid) in an origin finding process to be described later, that is, the holding unit 33. The amount of movement for making the central axis of the jig 4 held in step 3 substantially coincide with the rotation axis 312 of the main shaft 31 is stored.
Further, in the storage unit 342, from the machining start position of the tool 321 when machining the mother die 23 (reference position of the X table 322X and Y table 322Y (position where the X table 322X and Y table 322Y are not slid). Is also stored.
Further, the storage unit 342 stores shape data of the recess 222.

（４．製造方法）
以上のような製造装置３を使用した型２の可動型２２の製造方法について図８〜図１３を参照して説明する。図８，９は、前記製造方法を示すフローチャートである。また、図１０〜図１２は、前記製造方法を示す模式図である。さらに、図１３は、後述する原点出し工程において、母型２３の外形中心位置Ｐ１と、主軸３１の回転軸３１２とを一致させた状態を示す図であり、図１４は、主軸３１の回転軸３１２と、一つ目の凹部２２２の加工中心となる位置Ｐ２とを一致させた状態を示す図である。 (4. Manufacturing method)
A method of manufacturing the movable mold 22 of the mold 2 using the manufacturing apparatus 3 as described above will be described with reference to FIGS. 8 and 9 are flowcharts showing the manufacturing method. Moreover, FIGS. 10-12 is a schematic diagram which shows the said manufacturing method. Further, FIG. 13 is a diagram showing a state in which the outer shape center position P1 of the master block 23 and the rotation axis 312 of the main shaft 31 are made to coincide with each other in the origin finding process described later, and FIG. It is a figure which shows the state which made 312 and the position P2 used as the process center of the 1st recessed part 222 correspond.

（4-1.原点出し工程）
まず、製造装置３の真空チャック３６に母型２３が固定された治具４を取り付け、原点出しを行なう（処理Ｓ１）。
ここでの原点出しとは、母型２３を主軸３１上の原点位置に設置することをいう。
主軸３１上の原点位置とは、本実施形態では、母型２３の外形中心位置Ｐ１が、主軸３１の回転軸３１２と一致する位置のことである。
まず、母型２３が取り付けられた治具４を製造装置３の保持部３３に保持させる。
作業者が製造装置３の入力装置３４４の操作スイッチを押し、治具４を保持部３３の一対の挟持部材３３２Ｄ間に配置すると、保持部３３のセンサがこれを検出し、このセンサでの検出信号が電磁弁制御部３４１Ｅに送られる。電磁弁制御部３４１Ｅでは、前記検出信号をうけて、制御信号を生成し、電磁弁制御回路Ｄ４に送信する。これにより、保持部３３の一対の挟持部材３３２Ｄが駆動して、母型２３が固定された治具４が一対の挟持部材３３２Ｄで挟持されることとなる。
なお、一対の挟持部材３３２Ｄは、治具４に形成された一対の基準面４２に当接し、治具４を挟持する。
次に、位置決め手段制御部３４１Ａが、記憶部３４２に予め記憶されているＸテーブル３２２Ｘ及びＹテーブル３２２Ｙの基準位置からの移動量（保持部３３で保持した治具４の中心軸と、主軸３１の回転軸３１２とを略一致させるための移動量）を読み出し、所定の制御信号を生成する。そして、この制御信号に基づいて、位置決め手段３２２を駆動する。
位置決め手段制御部３４１Ａでは、位置決め手段３２２を駆動するためのモータに設けられたエンコーダからのパルス信号を受け取り、パルス信号のパルス数を逐次加減算する。パルス数に基づいてテーブル３２２Ｘ，３２２Ｙの移動量を算出するととともに、この移動量と、予め記憶部３４２に記憶された各テーブル３２２Ｘ，３２２Ｙの移動量とを比較する。そして、この移動量の偏差を求め、この偏差が所定値以上であるかどうか判定する。
偏差が所定値未満となった場合には、位置決め手段制御部３４１Ａでモータを停止させるための信号を生成し、モータの駆動を停止する。
これにより、母型２３が固定された治具４が所定の位置に設置される。
位置決め手段制御部３４１Ａによりモータを停止させるための制御信号が生成されると、位置決め手段３２２の駆動が停止される。モータを停止させるための制御信号が生成されたことを主軸制御部３４１Ｂが検出すると、主軸制御部３４１Ｂにより、主軸駆動用のモータを駆動するための制御信号が生成される。この制御信号により、主軸３１が位置決め手段３２２に向かって所定距離前進することとなる。 (4-1. Origin search process)
First, the jig 4 on which the mother die 23 is fixed is attached to the vacuum chuck 36 of the manufacturing apparatus 3, and the origin is detected (processing S1).
Here, the origin search means that the master block 23 is installed at the origin position on the spindle 31.
In the present embodiment, the origin position on the main shaft 31 is a position where the outer shape center position P1 of the master block 23 coincides with the rotation axis 312 of the main shaft 31.
First, the jig 4 to which the mother die 23 is attached is held by the holding unit 33 of the manufacturing apparatus 3.
When the operator presses the operation switch of the input device 344 of the manufacturing apparatus 3 and arranges the jig 4 between the pair of holding members 332D of the holding unit 33, the sensor of the holding unit 33 detects this, and the detection by this sensor A signal is sent to the electromagnetic valve control unit 341E. The electromagnetic valve control unit 341E receives the detection signal, generates a control signal, and transmits it to the electromagnetic valve control circuit D4. Accordingly, the pair of clamping members 332D of the holding portion 33 is driven, and the jig 4 to which the mother die 23 is fixed is clamped by the pair of clamping members 332D.
Note that the pair of clamping members 332 D abuts against the pair of reference surfaces 42 formed on the jig 4 and clamps the jig 4.
Next, the positioning means control unit 341A moves the X table 322X and Y table 322Y stored in advance in the storage unit 342 from the reference position (the central axis of the jig 4 held by the holding unit 33 and the spindle 31). The amount of movement for substantially matching the rotation axis 312) is read out, and a predetermined control signal is generated. Based on this control signal, the positioning means 322 is driven.
The positioning means controller 341A receives a pulse signal from an encoder provided in a motor for driving the positioning means 322, and sequentially adds and subtracts the number of pulses of the pulse signal. The movement amounts of the tables 322X and 322Y are calculated based on the number of pulses, and the movement amounts are compared with the movement amounts of the tables 322X and 322Y stored in the storage unit 342 in advance. Then, a deviation of the movement amount is obtained, and it is determined whether or not the deviation is a predetermined value or more.
When the deviation is less than a predetermined value, the positioning means control unit 341A generates a signal for stopping the motor and stops driving the motor.
Thereby, the jig | tool 4 with which the mother die 23 was fixed is installed in a predetermined position.
When the positioning means control unit 341A generates a control signal for stopping the motor, the driving of the positioning means 322 is stopped. When the spindle control unit 341B detects that a control signal for stopping the motor is generated, the spindle control unit 341B generates a control signal for driving the spindle driving motor. With this control signal, the spindle 31 moves forward by a predetermined distance toward the positioning means 322.

主軸３１が所定距離前進すると、主軸制御部３４１Ｂにより主軸駆動用のモータを停止するための制御信号が生成され、主軸３１の駆動が停止する。このとき、図１０（Ａ）に示すように、主軸３１に取り付けられた真空チャック３６の吸着面は、治具４に当接する。
保持部３３には、ばねである衝撃吸収体３８が取り付けられているので、真空チャック３６の吸着面が、保持部３３の治具４に当接した際に、ばねが圧縮方向に縮まり、主軸３１から治具４及び保持部３３に加わる衝撃を吸収することとなる。 When the main shaft 31 moves forward a predetermined distance, a control signal for stopping the motor for driving the main shaft is generated by the main shaft control unit 341B, and the driving of the main shaft 31 is stopped. At this time, as shown in FIG. 10A, the suction surface of the vacuum chuck 36 attached to the main shaft 31 comes into contact with the jig 4.
Since the shock absorber 38, which is a spring, is attached to the holding portion 33, when the suction surface of the vacuum chuck 36 comes into contact with the jig 4 of the holding portion 33, the spring contracts in the compression direction, and the main shaft The impact applied to the jig 4 and the holding part 33 from 31 will be absorbed.

真空ポンプ制御部３４１Ｆにより主軸駆動用のモータを停止するための制御信号が生成されことが検出されると、真空ポンプ制御部３４１Ｆでは、真空ポンプを駆動するための信号を生成する。これにより、真空チャック３６により、治具４が吸着されることとなる。
真空ポンプ制御部３４１Ｆで真空ポンプ駆動用の制御信号が生成されたことを、電磁弁制御部３４１Ｅが検出すると、電磁弁制御部３４１Ｅにより、所定の制御信号が生成され、チャック開閉用電磁弁が駆動する。これにより、一対の挟持部材３３２Ｄの挟持が解除される。
その後、主軸制御部３４１Ｂでは、主軸３１を所定距離後退させる信号を生成し、図１０（Ｂ）に示すように、矢印方向に主軸３１を駆動する（処理Ｓ1-1）。 When it is detected by the vacuum pump control unit 341F that a control signal for stopping the spindle driving motor is generated, the vacuum pump control unit 341F generates a signal for driving the vacuum pump. As a result, the jig 4 is attracted by the vacuum chuck 36.
When the electromagnetic valve control unit 341E detects that the vacuum pump control unit 341F has generated the control signal for driving the vacuum pump, the electromagnetic valve control unit 341E generates a predetermined control signal, and the chuck opening / closing electromagnetic valve is To drive. Thereby, clamping of a pair of clamping member 332D is cancelled | released.
Thereafter, the spindle control unit 341B generates a signal for retracting the spindle 31 by a predetermined distance, and drives the spindle 31 in the direction of the arrow as shown in FIG. 10B (processing S1-1).

次に、主軸３１の回転軸３１２と、母型２３の外形中心位置Ｐ１とが一致しているかどうかの確認を行なう（処理Ｓ1-2）。
作業者が、治具４の円形面にダイアルゲージ等の測定機器を当接させる。その後、製造装置３の操作スイッチを押し、主軸３１を回転駆動させる。円柱形状の治具４の中心軸と、母型２３の外形中心位置Ｐ１とは一致しているので、主軸３１の回転軸３１２と、母型２３の表面の外形中心位置Ｐ１とがずれている場合、すなわち、円柱形状の治具４の中心軸と、母型２３の外形中心位置Ｐ１とがずれている場合には、治具４の円形面に当接したダイアルゲージ等の測定機器が示す値が大きく変動することとなる。
測定機器の示す値が所定値以上である場合には、作業者が操作スイッチを操作して、保持部３３に治具４を保持させ、位置決め手段３２２を駆動し、治具４のＸ軸、Ｙ軸上における位置を微調整し（処理Ｓ1-3）、その後、再度、治具４を真空チャック３６に取り付ける。そして、再度、主軸３１の回転軸３１２と母型２３の外形中心位置Ｐ１とのずれを検出する。測定機器が示す値が所定値以下となるまで、治具４のＸ軸、Ｙ軸上における位置の微調整、主軸３１の回転軸と母型２３の外形中心位置Ｐ１とのずれの確認を繰り返す。
なお、このような微調整を行なって、母型２３の外形中心位置Ｐ１と、主軸３１の回転軸とが一致した場合、原点出し工程における位置決め手段３２２の基準位置（Ｘテーブル３２２Ｘ、Ｙテーブル３２２Ｙが駆動していない状態）からの移動量を記憶部３４２に記憶させることが好ましい。
以上の操作により、図１３に示すように、主軸３１の回転軸３１２と、母型２３の外形中心位置Ｐ１とが一致することとなる。 Next, it is confirmed whether or not the rotation shaft 312 of the main shaft 31 is coincident with the outer shape center position P1 of the mother die 23 (processing S1-2).
An operator brings a measuring device such as a dial gauge into contact with the circular surface of the jig 4. Thereafter, the operation switch of the manufacturing apparatus 3 is pressed to drive the main shaft 31 to rotate. Since the center axis of the cylindrical jig 4 coincides with the outer shape center position P1 of the mother die 23, the rotation axis 312 of the main shaft 31 and the outer shape center position P1 of the surface of the mother die 23 are shifted. In this case, that is, when the center axis of the cylindrical jig 4 and the outer shape center position P1 of the mother die 23 are deviated, a measuring instrument such as a dial gauge in contact with the circular surface of the jig 4 is shown. The value will fluctuate greatly.
When the value indicated by the measuring device is equal to or greater than a predetermined value, the operator operates the operation switch to hold the jig 4 on the holding portion 33 and drives the positioning means 322 to move the X axis of the jig 4 The position on the Y axis is finely adjusted (processing S1-3), and then the jig 4 is attached to the vacuum chuck 36 again. Then, again, a deviation between the rotation shaft 312 of the main shaft 31 and the outer shape center position P1 of the mother die 23 is detected. The fine adjustment of the position of the jig 4 on the X-axis and Y-axis and the confirmation of the deviation between the rotation axis of the main shaft 31 and the outer shape center position P1 of the mother die 23 are repeated until the value indicated by the measuring device is equal to or less than a predetermined value. .
In addition, when such fine adjustment is performed and the outer shape center position P1 of the master die 23 and the rotation axis of the main shaft 31 coincide with each other, the reference position (X table 322X, Y table 322Y) of the positioning means 322 in the origin finding process. It is preferable to store the movement amount from a state in which the storage unit 342 is not driven in the storage unit 342.
With the above operation, as shown in FIG. 13, the rotation shaft 312 of the main shaft 31 and the outer shape center position P 1 of the mother die 23 coincide with each other.

次に、治具４の傾きを調べる（処理Ｓ1-4）。
具体的には、治具４の複数の基準面４２のうち、図４上方に位置する基準面４２にダイアルゲージ等を接触させ、この状態でダイアルゲージ等をＸ軸方向に動かす。そして、ダイアルゲージ等を動かした距離と、目盛りの変動とをみて治具４の傾きを算出する。算出した傾きが所定値以上である場合には、作業者が操作スイッチを押して、主軸３１を回転させて治具４の傾きを修正する（処理Ｓ1-5）。 Next, the inclination of the jig 4 is examined (processing S1-4).
Specifically, a dial gauge or the like is brought into contact with the reference surface 42 located at the upper side of FIG. 4 among the plurality of reference surfaces 42 of the jig 4, and the dial gauge or the like is moved in the X-axis direction in this state. Then, the inclination of the jig 4 is calculated based on the distance moved by the dial gauge or the like and the fluctuation of the scale. If the calculated inclination is greater than or equal to a predetermined value, the operator presses the operation switch to rotate the spindle 31 to correct the inclination of the jig 4 (processing S1-5).

（4-2. 母型位置合わせ工程）
以上のような原点出し工程が終了したら、主軸３１の回転軸３１２と、一つ目の凹部２２２の加工中心となる位置Ｐ２、すなわち、母型２３の表面のレンズアレイ１の小レンズ１２１の光学中心に対応する設計上の位置Ｐ２とを一致させる（処理Ｓ２、母型位置合わせ工程）。
まず、作業者は再度操作スイッチを操作する。このスイッチの操作を主軸制御部３４１Ｂが検出し、所定の制御信号を生成して主軸３１駆動用のモータに送信する。これにより、図１１（Ｃ）に示すように、主軸３１が所定距離、矢印方向に駆動する。主軸３１が所定距離駆動すると、主軸制御部３４１Ｂにより主軸駆動用のモータを停止するための制御信号が生成され、主軸３１の駆動が停止する。
このとき、主軸３１の先端に取り付けられた真空チャック３６で吸着された治具４及びこの治具４に固定された母型２３は、保持部３３の一対の挟持部材３３２Ｄ間に挿入される。
保持部３３の一対の挟持部材３３２Ｄ間に治具４が挿入されたことを保持部３３のセンサが検出し、この検出信号が電磁弁制御部３４１Ｅに送られる。すると、電磁弁制御部３４１Ｅにより、所定の制御信号が生成され、チャック開閉用電磁弁が駆動する。これにより、保持部３３の一対の挟持部材３３２Ｄが駆動し、図１１（Ｄ）に示すように、治具４が一対の挟持部材３３２Ｄに挟持されることとなる。
真空ポンプ制御部３４１Ｆでは、電磁弁制御部３４１Ｅにより生成されたチャック開閉用電磁弁の駆動を制御する信号を検出し、真空ポンプの駆動を停止する。これにより、治具４の真空チャック３６の吸着を解除することができる。
その後、主軸制御部３４１Ｂでは、主軸３１を所定距離駆動させる信号を生成し、図１１（Ｅ）に示すように、矢印方向に主軸３１を駆動する。 (4-2. Master mold alignment process)
When the origin-finding process as described above is completed, the optical axis of the small lens 121 of the lens array 1 on the surface of the master block 23, that is, the position P2 that is the processing center of the rotation shaft 312 of the main shaft 31 and the first recess 222 is obtained. The design position P2 corresponding to the center is matched (processing S2, mother die positioning step).
First, the operator operates the operation switch again. The operation of this switch is detected by the spindle control unit 341B, and a predetermined control signal is generated and transmitted to the motor for driving the spindle 31. As a result, as shown in FIG. 11C, the main shaft 31 is driven in the arrow direction by a predetermined distance. When the main shaft 31 is driven for a predetermined distance, a control signal for stopping the motor for driving the main shaft is generated by the main shaft control unit 341B, and the driving of the main shaft 31 is stopped.
At this time, the jig 4 attracted by the vacuum chuck 36 attached to the tip of the main shaft 31 and the mother die 23 fixed to the jig 4 are inserted between the pair of holding members 332D of the holding portion 33.
The sensor of the holding part 33 detects that the jig 4 has been inserted between the pair of holding members 332D of the holding part 33, and this detection signal is sent to the electromagnetic valve control part 341E. Then, a predetermined control signal is generated by the electromagnetic valve control unit 341E, and the chuck opening / closing electromagnetic valve is driven. As a result, the pair of clamping members 332D of the holding portion 33 is driven, and the jig 4 is clamped between the pair of clamping members 332D as shown in FIG. 11D.
The vacuum pump control unit 341F detects a signal generated by the electromagnetic valve control unit 341E that controls the driving of the chuck opening / closing electromagnetic valve, and stops driving the vacuum pump. Thereby, the suction of the vacuum chuck 36 of the jig 4 can be released.
Thereafter, the spindle control unit 341B generates a signal for driving the spindle 31 for a predetermined distance, and drives the spindle 31 in the arrow direction as shown in FIG.

次に、位置決め手段制御部３４１Ａは、主軸制御部３４１Ｂにより主軸３１を駆動させる駆動信号が生成されたことを検出し、記憶部３４２から、主軸３１の回転軸３１２と原点位置にある前記母型２３の表面のレンズアレイの小レンズの光学的中心に対応する設計上の位置（一つ目の凹部２２２の加工中心となる位置Ｐ２）との位置関係を読み出す。
そして、位置決め手段制御部３４１Ａでは、この位置関係に基づいて所定の制御信号を生成し、この制御信号を位置決め手段駆動用のモータに送信し、位置決め手段３２２を駆動する（図１２（Ｆ）参照）。例えば、図１２（Ｆ）に示すように、矢印方向に保持部３３が移動するように位置決め手段３２２を駆動する。位置決め手段制御部３４１Ａでは、モータに設けられたエンコーダからのパルス信号を受け取り、パルス信号のパルス数を逐次加減算する。パルス数に基づいてテーブル３２２Ｘ，３２２Ｙの移動量を算出するととともに、この移動量と、予め記憶部３４２に記憶された位置関係に基づく各テーブル３２２Ｘ，３２２Ｙの移動量とを比較する。そして、この移動量の偏差を求め、この偏差が所定値以上であるかどうか判定する。
偏差が所定値未満となった場合には、位置決め手段制御部３４１Ａでモータを停止させるための信号を生成し、モータの駆動を停止する。
主軸制御部３４１Ｂは、前記位置決め手段制御部３４１Ａにてモータの駆動を停止する制御信号が生成されたことを検出し、主軸３１を所定距離前進させる信号を生成する。
これにより、主軸３１が所定距離前進し、図１２（Ｇ）に示すように、主軸３１に取り付けられた真空チャック３６が保持部３３及び治具４に当接することとなる。 Next, the positioning means control unit 341A detects that the drive signal for driving the main shaft 31 is generated by the main shaft control unit 341B, and the master block located at the origin position with respect to the rotation shaft 312 of the main shaft 31 from the storage unit 342. The positional relationship with the design position (position P2 serving as the processing center of the first recess 222) corresponding to the optical center of the small lens of the lens array on the surface 23 is read out.
The positioning means control unit 341A generates a predetermined control signal based on this positional relationship, transmits this control signal to the positioning means driving motor, and drives the positioning means 322 (see FIG. 12F). ). For example, as shown in FIG. 12F, the positioning means 322 is driven so that the holding portion 33 moves in the direction of the arrow. The positioning means control unit 341A receives a pulse signal from an encoder provided in the motor, and sequentially adds or subtracts the number of pulses of the pulse signal. The amount of movement of the tables 322X and 322Y is calculated based on the number of pulses, and the amount of movement is compared with the amount of movement of the tables 322X and 322Y based on the positional relationship stored in advance in the storage unit 342. Then, a deviation of the movement amount is obtained, and it is determined whether or not the deviation is a predetermined value or more.
When the deviation is less than a predetermined value, the positioning means control unit 341A generates a signal for stopping the motor and stops driving the motor.
The spindle control unit 341B detects that a control signal for stopping the motor drive is generated by the positioning means control unit 341A, and generates a signal for moving the spindle 31 forward by a predetermined distance.
As a result, the main shaft 31 moves forward by a predetermined distance, and the vacuum chuck 36 attached to the main shaft 31 comes into contact with the holding portion 33 and the jig 4 as shown in FIG.

その後、主軸制御部３４１Ｂにより、主軸３１のモータの駆動を停止する信号が生成される。真空ポンプ制御部３４１Ｆでは、主軸制御部３４１Ｂによる主軸３１のモータの駆動を停止する信号を検出し、真空ポンプの駆動を開始する。これにより、治具４を真空チャックで吸着することができる。
次に、電磁弁制御部３４１Ｅでは、真空ポンプ制御部３４１Ｆによる真空ポンプの駆動信号を検出し、チャック開閉用電磁弁の切替制御を行なう。これにより、保持部３３の一対の挟持部材３３２Ｄが駆動し、治具４の挟持が解除される。
その後、図１２（Ｈ）に示すように、主軸制御部３４１Ｂにて、凹部２２２の加工開始位置まで、主軸３１を後退させる。
以上の操作により、図１４に示すように、主軸３１の回転軸３１２と、一つ目の凹部２２２の加工中心となる位置Ｐ２とが一致することとなる。 Thereafter, a signal for stopping driving of the motor of the spindle 31 is generated by the spindle control unit 341B. The vacuum pump control unit 341F detects a signal for stopping the driving of the motor of the spindle 31 by the spindle control unit 341B, and starts driving the vacuum pump. Thereby, the jig | tool 4 can be adsorb | sucked with a vacuum chuck.
Next, the electromagnetic valve control unit 341E detects a vacuum pump drive signal from the vacuum pump control unit 341F and performs switching control of the chuck opening / closing electromagnetic valve. Thereby, a pair of clamping member 332D of the holding | maintenance part 33 drives, and clamping of the jig | tool 4 is cancelled | released.
Thereafter, as shown in FIG. 12H, the spindle 31 is retracted to the machining start position of the recess 222 by the spindle control unit 341B.
As a result of the above operation, as shown in FIG. 14, the rotation shaft 312 of the main shaft 31 coincides with the position P 2 that is the processing center of the first recess 222.

（4-3.粗加工工程）
このような調整工程が終了したら、凹部２２２の加工を行う。ここでは、粗研削を行う（処理Ｓ３、粗研削工程（加工工程））。
位置決め手段制御部３４１Ａでは、主軸制御部３４１Ｂで主軸３１を後退させるための信号を生成したことを検出し、記憶部３４２から、母型２３を加工する際の工具３２１の加工開始位置、すなわち、Ｘテーブル３２２Ｘ及びＹテーブル３２２Ｙの基準位置（Ｘテーブル３２２Ｘ及びＹテーブル３２２Ｙが摺動していない位置）からの移動量を読み出す。これにより、主軸３１の回転軸３１２に対して工具３２１が所定位置に設置されることとなる。
次に、記憶部３４２に記憶された凹部２２２の形状データをＮＣ加工プログラム生成部３４１Ｇにて読み出し、ＮＣ加工データを生成する。そして、ＮＣ加工プログラム生成部３４１Ｇから前記ＮＣ加工データを主軸制御部３４１Ｂ、砥石軸制御部３４１Ｄ、位置決め手段制御部３４１Ａに送信する。主軸制御部３４１Ｂにて主軸３１を回転駆動するとともに、主軸３１をＺ軸方向に沿って進退させる。さらには、砥石軸制御部３４１Ｄでディスク型砥石３２１Ａを回転させながら、母型２３の表面に当接させ、位置決め手段制御部３４１Ａでディスク型砥石３２１ＡをＹ軸方向、Ｘ軸方向に移動させる。このようにして、母型２３に凹部２２２が形成される。
なお、研削を行う際には、ディスク型砥石３２１Ａと母型２３の表面との間には図示しない研削液が供給される。 (4-3. Roughing process)
When such an adjustment process is completed, the recess 222 is processed. Here, rough grinding is performed (processing S3, rough grinding step (processing step)).
The positioning means control unit 341A detects that the spindle control unit 341B has generated a signal for retracting the spindle 31, and from the storage unit 342, the machining start position of the tool 321 when machining the mother die 23, that is, The amount of movement from the reference position of X table 322X and Y table 322Y (position where X table 322X and Y table 322Y are not slid) is read. Thereby, the tool 321 is installed at a predetermined position with respect to the rotation shaft 312 of the main shaft 31.
Next, the shape data of the concave portion 222 stored in the storage unit 342 is read by the NC processing program generation unit 341G to generate NC processing data. Then, the NC machining data is transmitted from the NC machining program generation unit 341G to the spindle control unit 341B, the grindstone axis control unit 341D, and the positioning means control unit 341A. The spindle 31 is rotated by the spindle controller 341B, and the spindle 31 is advanced and retracted along the Z-axis direction. Further, the disc type grindstone 321A is rotated by the grindstone axis control unit 341D and brought into contact with the surface of the mother die 23, and the disc type grindstone 321A is moved in the Y axis direction and the X axis direction by the positioning unit control unit 341A. In this way, the recess 222 is formed in the mother die 23.
When grinding is performed, a grinding liquid (not shown) is supplied between the disk-type grindstone 321 A and the surface of the mother die 23.

次に、同様の方法で、二つ目の凹部２２２の加工を行う。
このような作業を２４番目の凹部２２２が形成されるまで、繰り返す（処理Ｓ４）。 Next, the second recess 222 is processed by the same method.
Such an operation is repeated until the 24th recess 222 is formed (processing S4).

（4-4．母型位置合わせ工程及び仕上げ加工工程）
次に、凹部２２２の仕上げ研削を行う。ここでも、粗研削を行った際の母型位置合わせ工程（処理Ｓ２）と同様の母型位置合わせ工程（処理Ｓ５）を行い、仕上げ研削する（加工工程、処理Ｓ６）。このような作業を２４番目の凹部２２２が仕上げ研削されるまで行う（処理Ｓ７）。 (4-4. Mold positioning process and finishing process)
Next, finish grinding of the recess 222 is performed. Here, the same mold positioning process (process S5) as the mold positioning process (process S2) at the time of rough grinding is performed, and finish grinding is performed (processing process, process S6). Such an operation is performed until the 24th recess 222 is finish-ground (processing S7).

（4-5.検査工程）
その後、このようにして仕上げ研削された凹部２２２の形状及び表面粗さを測定する（処理Ｓ８）。形状精度は、３次元測定機器により測定し、表面精度は表面粗さ測定機器により測定する。
ここで、測定結果と、可動型２２の設計寸法とを比較して、その差が所定値以下であるかどうかを判断する（処理Ｓ９）。
測定結果と、設計寸法との差が、所定値を超える場合には、再度、仕上げ研削を行う。具体的には、母型位置合わせ工程（処理Ｓ５）と仕上げ研削工程（処理Ｓ６）とを行う。これを測定値と設計寸法との差が所定値以下となるまで繰り返す。
測定結果と、設計寸法との差が所定値以下である場合には、凹部２２２により形成されるレンズアレイ１の小レンズ１２１の光学中心（光軸）のずれが所定値以下であるか否か、すなわち、凹部２２２の加工中心のずれが所定値以下であるか否かを、凹部２２２を３次元測定機器で測定することにより、確認する（処理Ｓ１０）。
そして凹部２２２の加工中心のずれが所定値以下であることが確認されたら（光軸位置の精度が良好であることが確認されたら）、可動型２２の凹部２２２が形成された面（成形面）の表面処理を行う（処理Ｓ１１）。
凹部２２２の加工中心のずれが所定値を超える場合には、再度、仕上げ研削を行い、処理Ｓ５〜処理Ｓ１０を繰り返す。これを光学中心のずれが所定値以下となるまで繰り返す。 (4-5. Inspection process)
Thereafter, the shape and surface roughness of the recess 222 finish-ground in this way are measured (processing S8). The shape accuracy is measured with a three-dimensional measuring device, and the surface accuracy is measured with a surface roughness measuring device.
Here, the measurement result and the design dimension of the movable mold 22 are compared, and it is determined whether or not the difference is equal to or less than a predetermined value (processing S9).
If the difference between the measurement result and the design dimension exceeds a predetermined value, finish grinding is performed again. Specifically, a mother die alignment process (process S5) and a finish grinding process (process S6) are performed. This is repeated until the difference between the measured value and the design dimension becomes a predetermined value or less.
If the difference between the measurement result and the design dimension is a predetermined value or less, whether or not the deviation of the optical center (optical axis) of the small lens 121 of the lens array 1 formed by the concave portion 222 is a predetermined value or less. That is, it is confirmed by measuring the recess 222 with a three-dimensional measuring device whether or not the deviation of the processing center of the recess 222 is equal to or less than a predetermined value (processing S10).
Then, when it is confirmed that the displacement of the processing center of the concave portion 222 is equal to or less than a predetermined value (when it is confirmed that the accuracy of the optical axis position is good), the surface on which the concave portion 222 of the movable mold 22 is formed (molded surface). ) Is performed (processing S11).
When the deviation of the processing center of the recess 222 exceeds a predetermined value, finish grinding is performed again, and the processing S5 to S10 is repeated. This is repeated until the deviation of the optical center becomes a predetermined value or less.

最後に、このようにして製造された可動型２２の最終検査を行う。
可動型２２と、固定型２１とにより、型２を組み立てる（処理Ｓ１２）（図２参照）。そして、可動型２２と、固定型２１との間にレンズアレイ１の原料となる溶融ガラス１０を注入して、プレス成形する（処理Ｓ１３）。
次に、このようにして製造されたレンズアレイ１の小レンズ１２１の光学中心の位置精度を確認する。小レンズ１２１の光学中心のずれが所定の値以下であること、例えば、０．０１ｍｍ以下、好ましくは５μｍ以下であることが確認されたら（処理Ｓ１４）、可動型２２の製造が完了する。 Finally, the final inspection of the movable mold 22 manufactured in this way is performed.
The mold 2 is assembled by the movable mold 22 and the fixed mold 21 (process S12) (see FIG. 2). And the molten glass 10 used as the raw material of the lens array 1 is inject | poured between the movable mold | type 22 and the fixed mold | type 21, and it press-molds (process S13).
Next, the positional accuracy of the optical center of the small lens 121 of the lens array 1 manufactured in this way is confirmed. When it is confirmed that the deviation of the optical center of the small lens 121 is not more than a predetermined value, for example, 0.01 mm or less, preferably 5 μm or less (process S14), the manufacture of the movable mold 22 is completed.

（５．実施形態の効果）
従って、本実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
（5-1）製造装置３では、母型２３表面に凹部２２２を形成する際に、工具３２１の位置決めを行なう位置決め手段３２２を用いて、母型２３を移動させ、位置決めを行なっている。従って、本実施形態の製造装置３では、従来のように、主軸３１上にスライドテーブルを固定した構造となっていないので、主軸３１を回転駆動させた際に、バランスが崩れ、主軸に大きな負荷がかかることがない。これにより、製造装置３の耐久性能を向上させることが可能となる。 (5. Effects of the embodiment)
Therefore, according to this embodiment, the following effects can be produced.
(5-1) In the manufacturing apparatus 3, when the concave portion 222 is formed on the surface of the mother die 23, the mother die 23 is moved and positioned using the positioning means 322 that positions the tool 321. Therefore, in the manufacturing apparatus 3 of the present embodiment, since the slide table is not fixed to the main shaft 31 as in the prior art, the balance is lost when the main shaft 31 is driven to rotate, and a large load is applied to the main shaft. Will not take. Thereby, the durability performance of the manufacturing apparatus 3 can be improved.

（5-2）本実施形態の製造装置３では、主軸３１に対する母型２３の取り付け位置を調整する際に、工具３２１の位置決めを行なう位置決め手段３２２を利用して保持部３３を駆動し、母型２３を移動させている。従って、工具３２１を位置決めする位置決め手段と、母型を保持する保持部３３の位置決めを行なう位置決め手段とを共通のものとしているので、工具３２１及び保持部３３の位置決め手段を別々に設ける場合に比べ、部材点数の削減を図ることができる。
また、一般に、工具３２１の位置決めを行なう位置決め手段３２２は、高精度に位置決めできる性能となっているため、工具３２１の位置決めを行なう位置決め手段３２２により、母型２３の位置決めを行なうことで母型２３の主軸３１に対する取り付け位置を精度良く決定することができる。 (5-2) In the manufacturing apparatus 3 of this embodiment, when adjusting the mounting position of the master die 23 with respect to the main shaft 31, the holding portion 33 is driven using the positioning means 322 for positioning the tool 321 to The mold 23 is moved. Therefore, since the positioning means for positioning the tool 321 and the positioning means for positioning the holding portion 33 holding the mother die are made common, compared with the case where the positioning means for the tool 321 and the holding portion 33 are provided separately. The number of members can be reduced.
In general, the positioning means 322 for positioning the tool 321 has a performance capable of positioning with high accuracy. Therefore, the positioning of the mother die 23 by the positioning means 322 for positioning the tool 321 causes the mother die 23 to be positioned. The attachment position of the main shaft 31 can be determined with high accuracy.

（5-3）さらに、本実施形態では、保持部３３に、衝撃吸収体３８が設けられているので、母型２３を保持部３３及び主軸３１間で引き渡す際に、主軸３１から保持部３３に加わる衝撃、すなわち、主軸３１に固定された真空チャック３６と保持部３３とが当接する際の衝撃吸収体３８で吸収することができる。このように、衝撃吸収体３８を設けることで、主軸３１に固定された真空チャック３６を保持部３３に押し当てるように当接させて、母型２３の引渡しを確実に行なうことができる。
（5-4）また、母型２３を保持部３３及び主軸３１間で引き渡す際に、保持部３３に対し、主軸３１からの衝撃が加わらないようにするためには、主軸３１の位置を高度に制御しなければならないが、本実施形態では、保持部３３に、衝撃吸収体３８が設けられており、保持部３３に主軸３１からの衝撃が加わっても、この衝撃を吸収できるので、保持部３３及び主軸３１間での母型２３の引渡しの際に、主軸３１の位置を高度に制御する必要がない。 (5-3) Furthermore, in the present embodiment, since the shock absorber 38 is provided in the holding portion 33, when the mother die 23 is transferred between the holding portion 33 and the main shaft 31, the holding portion 33 is moved from the main shaft 31. Can be absorbed by the shock absorber 38 when the vacuum chuck 36 fixed to the main shaft 31 and the holding portion 33 come into contact with each other. Thus, by providing the shock absorber 38, the vacuum chuck 36 fixed to the main shaft 31 is brought into contact with the holding portion 33 so as to reliably deliver the mother die 23.
(5-4) Further, when the master die 23 is handed over between the holding portion 33 and the main shaft 31, in order to prevent the holding portion 33 from being subjected to an impact from the main shaft 31, the position of the main shaft 31 is increased. In this embodiment, the holding portion 33 is provided with an impact absorber 38. Even if an impact from the main shaft 31 is applied to the holding portion 33, the shock can be absorbed. When the master die 23 is transferred between the portion 33 and the main shaft 31, it is not necessary to highly control the position of the main shaft 31.

なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、製造装置３の保持部３３を、圧縮空気を利用して一対の挟持部材３３２Ｄを駆動するエアチャックとしたが、これに限らず、他の流体、例えば、油等を利用して、一対の挟持部材３３２Ｄを駆動してもよい。さらに、前記実施形態では、保持部３３のピストン３３２Ａは、ばね３３２Ｂにより付勢されていたが、これに限らず、図６のピストン３３２Ａのヘッド３３２Ａ１よりも右側の空間にも圧縮流体を供給して、一対の挟持部材３３２Ｄを駆動する構造としてもよい。
さらには、保持部３３は、エアチャックに限らず、例えば、真空チャック等であってもよい。
また、前記実施形態では、保持部３３に、衝撃吸収体３８を取り付け、主軸３１及び保持部３３間で母型２３を引き渡す際に、主軸３１から保持部３３に加わる衝撃（主軸３１に固定された真空チャック３６と、保持部３３とが当接する際の衝撃）を吸収していたが、衝撃吸収体３８はなくてもよい。
さらに、前記実施形態では、保持部３３及び主軸３１間で母型２３を引き渡す際には、主軸３１を保持部３３に接近させていたが、これに限らず、例えば、保持部３３を主軸３１に接近させてもよい。この場合には、保持部３３から加わる衝撃を吸収するための衝撃吸収体を主軸３１に設けてもよい。衝撃吸収体は、保持部３３が主軸３１に当接した際に、保持部３３の接近方向と反対方向に主軸３１を後退させ、保持部３３からの衝撃を吸収できるようなものであれば任意である。
さらに、前記実施形態では、表面に複数の凹部２２２が形成された可動型２２を製造したが、これに限らず、表面に複数の凸部が形成された可動型を製造してもよい。さらには、固定型の表面に凹部又は凸部を形成してもよい。
また、前記実施形態では、レンズアレイ１は、小レンズ１２１が６行×４列に配置されていたが、これに限られず、配列は任意である。例えば、６行×１列、４行×６列等であってもよい。 It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and modifications, improvements, and the like within the scope that can achieve the object of the present invention are included in the present invention.
For example, in the above-described embodiment, the holding unit 33 of the manufacturing apparatus 3 is an air chuck that drives the pair of clamping members 332D using compressed air, but is not limited thereto, and other fluids such as oil are used. The pair of clamping members 332D may be driven by using. Furthermore, in the above-described embodiment, the piston 332A of the holding portion 33 is biased by the spring 332B. However, the present invention is not limited to this, and the compressed fluid is supplied to the space on the right side of the head 332A1 of the piston 332A in FIG. Thus, the pair of clamping members 332D may be driven.
Furthermore, the holding unit 33 is not limited to an air chuck, and may be, for example, a vacuum chuck.
Further, in the above-described embodiment, when the shock absorber 38 is attached to the holding portion 33 and the mother die 23 is handed over between the main shaft 31 and the holding portion 33, an impact (fixed to the main shaft 31) is applied to the holding portion 33 from the main shaft 31. However, the shock absorber 38 may be omitted.
Furthermore, in the above embodiment, when the master die 23 is handed over between the holding portion 33 and the main shaft 31, the main shaft 31 is brought close to the holding portion 33. You may approach. In this case, an impact absorber for absorbing the impact applied from the holding portion 33 may be provided on the main shaft 31. Any shock absorber may be used as long as it can retract the main shaft 31 in a direction opposite to the approaching direction of the holding portion 33 and absorb the shock from the holding portion 33 when the holding portion 33 contacts the main shaft 31. It is.
Furthermore, in the said embodiment, although the movable mold | type 22 with which the several recessed part 222 was formed in the surface was manufactured, you may manufacture the movable mold | type with which not only this but the several convex part was formed in the surface. Furthermore, you may form a recessed part or a convex part in the surface of a fixed mold | type.
In the above-described embodiment, the lens array 1 has the small lenses 121 arranged in 6 rows × 4 columns, but is not limited thereto, and the arrangement is arbitrary. For example, it may be 6 rows × 1 column, 4 rows × 6 columns, or the like.

本発明は、レンズアレイを製造するための製造装置に利用することができる。 The present invention can be used in a manufacturing apparatus for manufacturing a lens array.

本発明の実施形態にかかるレンズアレイを示す図。The figure which shows the lens array concerning embodiment of this invention. 前記レンズアレイの成形型を示す断面図。Sectional drawing which shows the shaping | molding die of the said lens array. 成形型を製造するための製造装置及び治具を示す側面図。The side view which shows the manufacturing apparatus and jig | tool for manufacturing a shaping | molding die. 前記製造装置の要部を示す斜視図。The perspective view which shows the principal part of the said manufacturing apparatus. 前記製造装置の要部を示す斜視図。The perspective view which shows the principal part of the said manufacturing apparatus. 前記製造装置の保持部の断面図。Sectional drawing of the holding | maintenance part of the said manufacturing apparatus. 前記製造装置の制御装置を示すブロック図。The block diagram which shows the control apparatus of the said manufacturing apparatus. 前記実施形態の可動型の製造方法を示すフローチャート。The flowchart which shows the movable manufacturing method of the said embodiment. 前記実施形態の可動型の製造方法を示すフローチャート。The flowchart which shows the movable manufacturing method of the said embodiment. 前記製造方法を示す模式図。The schematic diagram which shows the said manufacturing method. 前記製造方法を示す模式図。The schematic diagram which shows the said manufacturing method. 前記製造方法を示す模式図。The schematic diagram which shows the said manufacturing method. 母型の外形中心位置と、主軸の回転軸とを一致させた状態を示す図。The figure which shows the state which made the outer shape center position of a mother die correspond with the rotating shaft of a main axis | shaft. 主軸の回転軸と、凹部の加工中心となる位置とを一致させた状態を示す図。The figure which shows the state which made the rotating shaft of a main axis | shaft and the position used as the process center of a recessed part correspond.

Explanation of symbols

１…レンズアレイ、３…製造装置、２２…可動型（成形型）、２３…母型、３１…主軸、３２…加工部、３３…保持部、３４…制御装置、３８…衝撃吸収体、１２１…小レンズ、２２２…凹部、３１２…回転軸、３２１…工具、３２２…位置決め手段、３４１…制御部、３４２…記憶部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Lens array, 3 ... Manufacturing apparatus, 22 ... Movable type | mold (molding die), 23 ... Master mold, 31 ... Main shaft, 32 ... Processing part, 33 ... Holding part, 34 ... Control apparatus, 38 ... Shock absorber, 121 ... Small lens, 222 ... Recessed part, 312 ... Rotating shaft, 321 ... Tool, 322 ... Positioning means, 341 ... Control part, 342 ... Storage part

Claims

A molding tool for molding a lens array, a manufacturing apparatus for manufacturing a molding die in which concave portions or convex portions corresponding to small lenses arranged in a matrix shape of a lens array are formed on a molding surface,
A main shaft to which a master die of the molding die is attached and which is driven to rotate around a rotation axis;
A tool for machining the recess or projection on the surface of the master block attached to the spindle and a machining part having a positioning means for determining the position of the tool by moving the tool;
A control unit for driving and controlling the positioning means of the processing unit;
Storage means for storing a positional relationship between the rotation axis of the main shaft and a design position corresponding to the optical center of the small lens of the lens array on the surface of the master block at the origin position on the main shaft;
The positioning means is attached with a holding portion for holding the mother die when adjusting the attachment position of the mother die with respect to the spindle.
When forming a concave portion or a convex portion on the surface of the mother die, the mother portion at the origin position on the main shaft is held by the holding portion, and the control unit is based on the positional relationship stored in the storage portion. The holding unit that holds the matrix so that the positioning means is driven to match the design position corresponding to the optical center of the small lens of the lens array on the surface of the matrix on the surface of the matrix The manufacturing apparatus is characterized in that the position of the mother die is adjusted to determine the mounting position of the master mold relative to the main shaft.

The manufacturing apparatus according to claim 1,
The main shaft and the holding portion are brought close to each other, and the master die is delivered between the holding portion and the main shaft,
The holding device or the main shaft is provided with an impact absorber that absorbs an impact applied from the main shaft or the holding portion when the master die is delivered between the holding portion and the main shaft. .

A molding die for molding a lens array, wherein the molding surface has a concave portion or a convex portion corresponding to small lenses arranged in a matrix shape of the lens array on the molding surface.
It is performed using a manufacturing apparatus for forming the concave portion or convex portion on the surface of the molding die.
The manufacturing apparatus has a master die attached thereto, a spindle driven to rotate around a rotation axis, a tool for machining the concave portion or the convex portion on the surface of the master die attached to the spindle, and the tool moved, A processing unit having positioning means for determining the position of the tool, a control unit for driving and controlling the positioning means of the processing unit, a rotation axis of the main shaft, and a lens array on the surface of the matrix at the origin position on the main shaft Storage means for storing a positional relationship with a design position corresponding to the optical center of the small lens, and the positioning means adjusts the mounting position of the mother mold with respect to the main shaft. A holding part is attached to hold
An origin finding process for attaching the matrix to the origin position on the spindle,
The mother die is held by a holding portion attached to the positioning means, the mother die is removed from the main shaft, and the rotation axis of the main shaft stored in the storage portion and the lens array on the surface of the mother die at the origin position Based on the positional relationship with the design position corresponding to the optical center of the small lens, the control unit drives the positioning means to move the master block, and the rotation axis of the main shaft and the master block A matrix alignment step of aligning the position corresponding to the optical center of the small lens of the lens array on the surface of
A mold manufacturing method, comprising: a step of forming a concave portion or a convex portion on a surface of a mother die after attaching the mother die to the main shaft and releasing the holding of the mother die by the holding portion.