JP2003212578A - Scribing head - Google Patents

Scribing head

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JP2003212578A
JP2003212578A JP2002014358A JP2002014358A JP2003212578A JP 2003212578 A JP2003212578 A JP 2003212578A JP 2002014358 A JP2002014358 A JP 2002014358A JP 2002014358 A JP2002014358 A JP 2002014358A JP 2003212578 A JP2003212578 A JP 2003212578A
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JP
Japan
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holder
scribing
cutter wheel
scribe
chip
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Application number
JP2002014358A
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Japanese (ja)
Inventor
Kiyoshi Nakano
貴代司 中野
Noribumi Arima
則文 在間
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Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Original Assignee
Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd filed Critical Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/02Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/027Scoring tool holders; Driving mechanisms therefor

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To solve such a problem that a large chipping is occurred on the edge part of a substrate according to a deflection angle because a chip holder is swingable in a conventional scribe head and the deviation of scribing is occurred between a forward path and a backward path because the holder is inversely turned on the backward path. <P>SOLUTION: In this scribing head, a bearing case 13 is vertically supported, a spring 20 is interposed between a rod shaft 18 of a cylinder 17 and the bearing case 13, the shaft center of the rod shaft 18 is made to coincide with the rotation center of a cutter wheel 1 on the perpendicular line and the direction of the chip holder 2 is fixed. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、脆性材料基板にス
クライブラインを形成するカッターホイールを回転自在
に保持するチップホルダーを備えたスクライブヘッドに
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scribing head provided with a chip holder that rotatably holds a cutter wheel that forms a scribing line on a brittle material substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】図1に従来のスクライブヘッドの構造を
示している。カッターホイール1を回転自在に保持する
チップホルダー2がスクライブヘッドの進行方向(図中
の矢印の方向)に対して、左右に(図中では紙面と直角
方向に)首振り自在となるようにベアリング4を介して
ホルダー保持台3に取付けられている。ホルダー保持台
3自身は、スプリング5によりピストン6を介して下方
向に付勢されると共に、上部から所定の切り込み圧力が
設定されたエアーが供給され、ピストン6によって所定
の荷重がホルダー保持台3に加えられる。
2. Description of the Related Art FIG. 1 shows the structure of a conventional scribing head. Bearings so that the tip holder 2 that holds the cutter wheel 1 rotatably can swing to the left and right (in the direction perpendicular to the paper surface in the figure) with respect to the traveling direction of the scribe head (the direction of the arrow in the figure). It is attached to the holder holding base 3 via 4. The holder holder 3 itself is urged downward by the spring 5 via the piston 6, and the air having a predetermined cutting pressure is supplied from the upper portion, so that the piston 6 applies a predetermined load to the holder holder 3. Added to.

【0003】又、ホルダー保持台3自身は往復切りのた
めに、ベルト7を介したモータ8の駆動により、180
°方向転換可能となっている。カッターホイール1の回
転中心と、首振り自在のチップホルダー2の回転中心は
ずれ(軸心ずれ)があり、この図のように、右方向(矢印
方向)のスクライブ時では、カッターホイール1の回転
中心がチップホルダー2の回転中心の後方に位置する。
Further, the holder holder 3 itself is reciprocally cut, so that the motor 8 is driven through the belt 7 so that
° It is possible to change direction. The center of rotation of the cutter wheel 1 and the center of rotation of the tip holder 2 that can be swung are deviated (axis misalignment). As shown in this figure, when scribing in the right direction (arrow direction), the center of rotation of the cutter wheel 1 Is located behind the center of rotation of the chip holder 2.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来のスクライブヘッ
ドでは、ホルダー保持台3に荷重を加えているピストン
の摺動抵抗とホルダー保持台3の俯仰動作のための回転
軸9の抵抗により、ホルダー保持台3の回転運動がスム
ーズではなく、また、スプリング5はピストン6を介し
てホルダー保持台3を付勢しているため、本来、スプリ
ングが持っている変位に対する即応性が妨げられて、ス
クライブ速度が500mm/sを超えると、スクライブする
ガラス基板の表面上の微細な凹凸やうねりにカッターホ
イールが追従できなくなり、ガラス基板上に精確なスク
ライブ線を形成できなくなる(切り線飛び)現象がしばし
ば発生していた。
In the conventional scribing head, the holder is held by the sliding resistance of the piston that applies a load to the holder holding base 3 and the resistance of the rotary shaft 9 for raising and lowering the holder holding base 3. The rotating motion of the base 3 is not smooth, and the spring 5 biases the holder holding base 3 via the piston 6, so that the responsiveness to the displacement originally possessed by the spring is hindered and the scribe speed is increased. When the value exceeds 500 mm / s, the cutter wheel cannot follow the fine irregularities and undulations on the surface of the glass substrate to scribe, and it is often the case that an accurate scribe line cannot be formed on the glass substrate (cutting line skipping). Was.

【0005】また、従来のスクライブヘッドでは、往復
スクライブ時の復路ではホルダー保持台を反転させるた
めタイミングベルトやハイロータなどを使用し、スクラ
イブヘッドの構造が複雑になっていた。また、スクライ
ブヘッド自体の組立寸法精度がゼロではないため、往路
と復路でスクライブした時に、スクライブ線は一致せず
左右にずれるため、そのずれを例えばチップホルダー2
に調整機構を付加させて機械的に、あるいは、例えばス
クライブする位置を変えるためにスクライブデーブルの
位置をモータにより電気的に補正する必要があり、スク
ライブ装置の機構を複雑化していた。
Further, in the conventional scribing head, the structure of the scribing head has been complicated by using a timing belt, a high rotor, etc. for reversing the holder holding base on the return path at the time of reciprocating scribing. Further, since the assembling dimensional accuracy of the scribing head itself is not zero, the scribing lines do not coincide with each other when scribing on the outward path and the returning path, and therefore the deviation is caused by, for example, the chip holder 2.
It is necessary to add an adjusting mechanism to the mechanically, or to electrically correct the position of the scribe table by a motor in order to change the scribe position, which complicates the mechanism of the scribe device.

【0006】又、従来のスクライブヘッドでは、チップ
ホルダーの首振り角度をスクライブラインの形成方向に
対して±約2°にしてスクライブヘッドの進行方向の追
従性を高めるようにしている。しかしながら、基板への
スクライブ加工の際、チップホルダーの振れに起因し
て、カッターホイールが基板へ乗り上げる時に、基板端
面部に大きな欠けが生じていた。
Further, in the conventional scribing head, the swinging angle of the chip holder is set to about ± 2 ° with respect to the forming direction of the scribing line to enhance the followability in the traveling direction of the scribing head. However, during scribing on the substrate, due to the swing of the chip holder, a large chip was formed on the end face portion of the substrate when the cutter wheel climbed onto the substrate.

【0007】本発明は、上述した複数の課題を解決する
ためになされたものであり、簡単な機構ながら上述の問
題点を解消できるスクライブヘッドを提供することを目
的とする。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a scribe head which can solve the above-mentioned problems with a simple mechanism.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、カッターホイ
ールを保持するチップホルダーを具備するスクライブヘ
ッドにおいて、加工対象のワーク表面の垂直方向に移動
可能に設けられて、チップホルダーを保持する第1保持
手段と、所定の切り込み圧を発生させる為の第1の付勢
手段の軸と前記第1保持手段との間に介在される第2の
付勢手段とを具備し、前記カッターホイールの回転中心
と前記第1の付勢手段の軸の軸中心の移動方向とが同一
直線上に位置する様な構成にすることを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is a scribe head having a chip holder for holding a cutter wheel, which is movably provided in a direction perpendicular to the surface of a workpiece to be machined and holds the chip holder. The cutter wheel is provided with a holding means and a second urging means interposed between the shaft of the first urging means for generating a predetermined cutting pressure and the first holding means. It is characterized in that the center and the moving direction of the axis center of the shaft of the first urging means are positioned on the same straight line.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】図2は、本発明の1実施形態を示
したスクライブヘッド10の正面図(左)および側面図
(右)を示す。下部にホルダー取付軸22を保持するベア
リングケース13は、接続板14を介して、本体側板1
5側のリニアウエイ16に係合することで、上下方向に
移動可能となっている。ホルダー保持軸22はベアリン
グケース13内のベアリングに圧入され、回転可能に保
持されるが、2本のネジ23と2個のナット24により
ホルダー保持軸はカッターホイール1の刃先の方向がス
クライブラインの形成方向に一致するように固定され
る。
2 is a front view (left) and a side view of a scribe head 10 showing one embodiment of the present invention.
(Right). The bearing case 13 that holds the holder mounting shaft 22 at the bottom is connected to the main body side plate 1 through the connection plate 14.
By engaging the linear way 16 on the fifth side, it is possible to move in the vertical direction. The holder holding shaft 22 is press-fitted into the bearing in the bearing case 13 and rotatably held, but the two screws 23 and the two nuts 24 cause the holder holding shaft to move in the direction of the cutting edge of the cutter wheel 1 along the scribe line. It is fixed to match the forming direction.

【0010】近年、本体側板15の直進移動精度が機械
加工精度の向上により非常に高くなったため、チップホ
ルダー2の振れ角度をゼロにして、スクライブヘッドの
進行方向にカッターホイール1の刃先の方向を一致させ
るようにチップホルダー2の方向を微調整し、チップホ
ルダー2を固定してスクライブしても、脆性材料基板表
面に形成されるスクライブラインは従来のスクライブヘ
ッドで形成されるスクライブラインと遜色が無い品質の
ものが得られるようになった。
In recent years, the accuracy of the straight movement of the main body side plate 15 has become very high due to the improvement of the machining accuracy. Even if the direction of the chip holder 2 is finely adjusted to match and the chip holder 2 is fixed and scribed, the scribe line formed on the surface of the brittle material substrate is comparable to the scribe line formed by the conventional scribe head. It is now possible to obtain quality that does not exist.

【0011】本体側板15の上部に固定されたエアーシ
リンダ17のロッド軸18と、ベアリングケース13の
上部に設けた凸部19との間に例えばスプリング20が
装架され、シリンダ17への供給エアー圧力により、ス
プリング20が変位して縮み、ベアリングケース13を
付勢し、ホルダー保持軸22およびチップホルダー2を
介してカッターホイール1に所定の刃先荷重が加えられ
る。
A spring 20, for example, is mounted between the rod shaft 18 of the air cylinder 17 fixed to the upper portion of the main body side plate 15 and the convex portion 19 provided on the upper portion of the bearing case 13 to supply air to the cylinder 17. The pressure causes the spring 20 to displace and contract, urging the bearing case 13, and a predetermined blade edge load is applied to the cutter wheel 1 via the holder holding shaft 22 and the tip holder 2.

【0012】また、スプリング20の変位にエアーシリ
ンダ17による加圧を用いたが、スプリング20の変位
にモータとボールネジを採用した直動機構としてもよ
い。
Further, although the pressurization by the air cylinder 17 is used for the displacement of the spring 20, a linear motion mechanism adopting a motor and a ball screw for the displacement of the spring 20 may be used.

【0013】ベアリングケース13のベアリングに圧入
されたホルダー保持軸22は2本ネジ23と2個のナッ
ト24にて取付角度の微調整後、固定され、ホルダー保
持軸22に取付られたチップホルダー2自身は首振りせ
ず、本体側板15の移動方向と一致するように固定され
る。また、近年の部品加工技術の向上により上述のよう
にチップホルダー2を固定することができるため、本実
施例の一例である図2のスクライブヘッド10では、ロ
ッド軸18の中心軸とカッターホイール1の回転中心と
が上下方向で合致している。
The holder holding shaft 22 press-fitted into the bearing of the bearing case 13 is finely adjusted by the two screws 23 and the two nuts 24 after the mounting angle is finely adjusted, and then fixed, and mounted on the holder holding shaft 22. It does not swing itself, but is fixed so as to match the moving direction of the main body side plate 15. Further, since the chip holder 2 can be fixed as described above by the recent improvement of the parts processing technique, in the scribe head 10 of FIG. 2 which is an example of the present embodiment, the central axis of the rod shaft 18 and the cutter wheel 1 are provided. The center of rotation of is aligned vertically.

【0014】上記の機構を採用することにより、往復ス
クライブがタイミングベルトやモータなどの回転機構を
用いることなく実現でき、また、復路と往路で形成され
るスクライブラインのズレは殆ど無い。また、チップホ
ルダー2を固定し、エアーシリンダ17のロッド軸18
の中心軸とカッターホイール1の回転中心を結ぶ直線状
にスプリング20を介在させたことにより、チップホル
ダー2の上下方向の追従性が従来のスクライブヘッドに
比べて格段によくなり、脆性材料基板の表面の凹凸やう
ねりに対してジャンピングすることなく追従し、スクラ
イブラインが交差するときに発生する切り線飛びが無く
なる。また、カッターホイール1が脆性材料基板に乗り
上げるとき、チップホルダー2の首振りをゼロとし、ま
た、カッターホイール1の回転軸の直上にスプリング2
0が介在して衝撃を吸収するため脆性材料基板の端面部
に形成される欠けを非常に小さくすることができる。
By adopting the above-mentioned mechanism, reciprocating scribing can be realized without using a rotating mechanism such as a timing belt or a motor, and there is almost no deviation of the scribe line formed on the return path and the outward path. Further, the tip holder 2 is fixed and the rod shaft 18 of the air cylinder 17 is fixed.
By interposing the spring 20 in a straight line connecting the central axis of the and the rotation center of the cutter wheel 1, the followability in the vertical direction of the chip holder 2 is significantly improved as compared with the conventional scribing head, and the brittle material substrate It follows irregularities and undulations on the surface without jumping, and eliminates cut line skips that occur when scribe lines intersect. Further, when the cutter wheel 1 rides on the brittle material substrate, the tip holder 2 swings to zero, and the spring 2 is provided directly above the rotation axis of the cutter wheel 1.
Since 0 is present to absorb the impact, the chip formed on the end face of the brittle material substrate can be made extremely small.

【0015】上記の構成になるスクライブヘッド10に
よる加工例を以下に述べる。 加工データ 刃先形状:φ2.5×0.65×0.8(超硬合金製) ガラス材質:ソーダガラス ガラス厚み:1.1mm
An example of processing by the scribe head 10 having the above structure will be described below. Processing data Blade shape: φ2.5 × 0.65 × 0.8 (made of cemented carbide) Glass material: Soda glass Glass thickness: 1.1 mm

【0016】次表は本実施例の一例である図2に示すス
クライブヘッド10で、上記の加工データでスクライブ
したときのガラス端面部での欠けの大きさ(μm)を示し
たものであり、比較のために掲げた従来例は、チップホ
ルダーの首振り角度を±2°としたスクライブヘッドを
用い、上記の加工データでスクライブしたときのガラス
端面部の欠けの大きさ(μm)を示したものである。又、
その時の欠けの様子を従来例として図3(A)、本発明の
実施例として(B)の写真にそれぞれ示す。ここで上下方
向のラインがガラス端面を示し、“幅”は図3中の上下
方向の欠けの長さであり、“長さ”は左右方向の欠けの
長さである。
The following table shows the size of the chip (μm) at the glass end face when scribing with the above-mentioned processing data in the scribing head 10 shown in FIG. 2 which is an example of this embodiment. The conventional example given for comparison shows the size (μm) of the chip of the glass end surface when scribing with the above processing data using a scribing head with a tip holder swinging angle of ± 2 °. It is a thing. or,
The state of chipping at that time is shown in FIG. 3 (A) as a conventional example and in the photograph of (B) as an example of the present invention. Here, the line in the vertical direction indicates the glass end face, "width" is the length of the vertical chip in FIG. 3, and "length" is the length of the horizontal chip.

【0017】[0017]

【表1】 [Table 1]

【0018】このように、チップホルダー2に保持され
たカッターホイール1の刃先の方向がスクライブ方向と
一致するようにチップホルダーの首振りを固定し、エア
ーシリンダ17のロッド軸18とカッターホイール1の
回転軸を結ぶ直線状にスプリングを介在させて衝撃力の
吸収がよくなったことで、スクライブ開始時、カッター
ホイール1がガラスの表面に乗り上げる際に、ガラス端
面部に形成される欠けの面積は極めて小さくなった。
Thus, the tip holder is fixed so that the direction of the cutting edge of the cutter wheel 1 held by the tip holder 2 coincides with the scribe direction, and the rod shaft 18 of the air cylinder 17 and the cutter wheel 1 are fixed. Since the impact force is better absorbed by interposing a spring in a straight line connecting the rotating shafts, the area of the chip formed on the glass end face when the cutter wheel 1 rides on the surface of the glass at the start of scribing is reduced. It became extremely small.

【0019】図4は本発明の別の実施形態を示したスク
ライブヘッドの一例であり、スクライブヘッド30の正
面図(左)および側面図(右)を示している。下部のチップ
ホルダー2を保持するホルダー保持板42は、本体側板
35側のリニアウエイ36に係合することで、上下方向
に移動可能となっている。ホルダー保持板42のチップ
ホルダー2を取り付ける面は、本体側板35の移動方向
と一致するように精密に加工され、高精度に組み立てら
れる。このため、チップホルダー2はカッターホイール
1の刃先の方向がスクライブラインの形成方向に一致す
るように固定される。また、エアーシリンダ17のロッ
ド軸18の中心軸とカッターホイール1の回転中心とが
上下方向で合致している。
FIG. 4 is an example of a scribing head showing another embodiment of the present invention, and shows a front view (left) and a side view (right) of the scribing head 30. The holder holding plate 42 that holds the lower chip holder 2 is movable in the vertical direction by engaging with the linear way 36 on the body side plate 35 side. The surface of the holder holding plate 42 to which the chip holder 2 is attached is precisely processed to match the moving direction of the main body side plate 35, and is assembled with high precision. Therefore, the chip holder 2 is fixed so that the direction of the cutting edge of the cutter wheel 1 matches the forming direction of the scribe line. Further, the center axis of the rod shaft 18 of the air cylinder 17 and the rotation center of the cutter wheel 1 are aligned vertically.

【0020】本体側板35の上部に固定されたエアーシ
リンダ17のロッド軸18と、ホルダー保持板42の上
部に設けた凸部39との間に例えばスプリング40が装
架され、シリンダ17への供給エアー圧力により、スプ
リング40が変位して縮み、ホルダー保持板42を付勢
し、チップホルダー2を介してカッターホイール1に所
定の刃先荷重が加えられる。
A spring 40, for example, is mounted between the rod shaft 18 of the air cylinder 17 fixed to the upper part of the main body side plate 35 and the convex portion 39 provided on the upper part of the holder holding plate 42 to supply the air to the cylinder 17. Due to the air pressure, the spring 40 is displaced and contracts, urges the holder holding plate 42, and a predetermined blade edge load is applied to the cutter wheel 1 via the tip holder 2.

【0021】また、スプリング40の変位にエアーシリ
ンダ17による加圧を用いたが、スプリング40の変位
にモータとボールネジを採用した直動機構としてもよ
い。
Further, although the pressurization by the air cylinder 17 is used for the displacement of the spring 40, the linear motion mechanism may employ a motor and a ball screw for the displacement of the spring 40.

【0022】そして、チップホルダー2を除き、スクラ
イブヘッド10、30の本体部を防塵カバー(不図示)で
覆う。そしてそのカバー内に圧縮空気を導くことによ
り、加工粉がスクライブヘッド内部へ侵入することを防
ぐ。
Then, except for the chip holder 2, the main body of the scribe heads 10 and 30 is covered with a dustproof cover (not shown). Then, the compressed powder is introduced into the cover to prevent the processed powder from entering the inside of the scribe head.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ベアリ
ングケースまたはホルダー保持板を上下動可能に支持
し、エアーシリンダのロッド軸とベアリングケースまた
はホルダー保持板との間に例えばスプリングを介在さ
せ、ロッド軸の軸中心とカッターホイールの回転中心を
垂直線上に一致させ、チップホルダーの向きを固定とし
たことにより、基板への乗り上げ時に、カッターホイー
ルの向きがスクライブ方向に常に合致し、スプリングが
衝撃力を効率よく吸収するため、欠けの発生が小さく、
また、スクライブの往路、復路でカッターホイールの方
向転換がないため、スクライブの位置ずれが発生せず、
機構も簡略化される。
As described above, according to the present invention, the bearing case or the holder holding plate is supported so as to be vertically movable, and a spring is interposed between the rod shaft of the air cylinder and the bearing case or the holder holding plate. By aligning the axis of the rod axis with the center of rotation of the cutter wheel on a vertical line and fixing the orientation of the chip holder, the orientation of the cutter wheel always matches the scribe direction when riding on the substrate, and the spring Since the impact force is efficiently absorbed, the occurrence of chipping is small,
In addition, since the cutter wheel does not change direction during the forward and backward scribing, the scribing position does not shift,
The mechanism is also simplified.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 従来のスクライブヘッドの正面図FIG. 1 is a front view of a conventional scribing head.

【図2】 本発明の1実施形態を示したスクライブヘッ
ドの正面図および側面図
FIG. 2 is a front view and a side view of a scribing head showing an embodiment of the present invention.

【図3】 ガラス端面に生じたスクライブ時の欠けを示
した図
FIG. 3 is a diagram showing a chip at the end face of glass when scribing.

【図4】 本発明の別の実施形態を示したスクライブヘ
ッドの正面図および側面図
FIG. 4 is a front view and a side view of a scribing head showing another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 カッターホイール 2 チップホルダー 10、30 スクライブヘッド 13 ベアリングケース 14 接続板 15、35 本体側板 16、36 リニアウエイ 17 エアーシリンダ 18 ロッド軸 20、40 スプリング 22 ホルダー保持軸 23 ネジ 24 ナット 42 ホルダー保持板 1 cutter wheel 2 chip holder 10, 30 scribe head 13 Bearing case 14 Connection plate 15, 35 Body side plate 16, 36 Linear way 17 Air cylinder 18 Rod axis 20, 40 spring 22 Holder holding shaft 23 screws 24 nuts 42 Holder holding plate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3C069 AA03 BA04 BB03 BC01 CA06 EA01 EA02 EA05 4G015 FA03 FB01 FC01 FC07 FC14   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F-term (reference) 3C069 AA03 BA04 BB03 BC01 CA06                       EA01 EA02 EA05                 4G015 FA03 FB01 FC01 FC07 FC14

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 カッターホイールを保持するチップホル
ダーを具備するスクライブヘッドにおいて、 加工対象のワーク表面の垂直方向に移動可能に設けられ
て、チップホルダーを保持する第1保持手段と、所定の
切り込み圧を発生させる為の第1の付勢手段の軸と前記
第1保持手段との間に介在される第2の付勢手段とを具
備し、前記カッターホイールの回転中心と前記第1の付
勢手段の軸の軸中心の移動方向とが同一直線上に位置す
る様な構成にすることを特徴とするスクライブヘッド。
1. A scribing head having a chip holder for holding a cutter wheel, wherein the scribing head is provided so as to be movable in a direction perpendicular to a surface of a workpiece to be machined and holds the chip holder, and a predetermined cutting pressure. A second urging means interposed between the shaft of the first urging means and the first holding means for generating the rotation force of the cutter wheel and the first urging means. A scribing head having a structure in which the axis of the means is located on the same straight line as the moving direction of the axis center.
【請求項2】 前記第1保持手段がベアリングケースで
あることを特徴とする請求項1記載のスクライブヘッ
ド。
2. The scribing head according to claim 1, wherein the first holding means is a bearing case.
【請求項3】 前記第1保持手段がホルダー保持板であ
ることを特徴とする請求項1記載のスクライブヘッド。
3. The scribe head according to claim 1, wherein the first holding means is a holder holding plate.
【請求項4】 防塵用カバーを具備することを特徴とす
る請求項1記載のスクライブヘッド。
4. The scribe head according to claim 1, further comprising a dustproof cover.
【請求項5】 前記第2の付勢手段がスプリングである
ことを特徴する請求項1記載のスクライブヘッド。
5. The scribe head according to claim 1, wherein the second biasing means is a spring.
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