KR20230053957A - 기판 승강 장치 및 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20230053957A
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정완희
김국생
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세메스 주식회사
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Abstract

열로 인한 변형을 감소시키는 기판 승강 장치와 기판 처리 장치가 제공된다. 상기 기판 승강 장치는 기판과 접촉하는 복수의 핀, 상기 복수의 핀을 지지하고, 하면에 복수의 상부 접속부가 형성되는 상부 플레이트, 상면에 상기 복수의 상부 접속부와 접속하는 복수의 하부 접속부가 형성되고, 상기 상부 플레이트 하부에 배치되는 하부 플레이트 및 상기 복수의 핀이 상하로 이동하도록 구동하는 구동부를 포함하되, 상기 하부 플레이트는, 그 상면에 복수의 부시와, 상기 복수의 부시를 관통하는 복수의 샤프트를 지지한다.

Description

기판 승강 장치 및 기판 처리 장치{Apparatus for lifting substrate and apparatus for processing substrate}
본 발명은 기판 승강 장치 및 기판 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자를 제조하는 과정에서 반도체 기판은 물질층의 증착공정과 증착된 물질층을 에칭하는 공정, 세정공정, 건조공정 등 여러 단계의 공정을 거치게 된다. 이들 공정은 반도체 제조장치인 공정챔버 (Process Chamber)에서 진행된다.
공정챔버는 내부에 밀폐된 반응영역을 가지는 반응용기로서, 내부로 안착되는 반도체 기판을 고정하기 위해 척 (Chuck)이 설치된다. 이때 척은 기판의 파지방식에 따라 진공을 사용하는 진공척(Vacuum chuck) 또는 정전기력 을 사용하는 정전척(Electrostatic chuck) 등으로 구분될 수 있으며, 최근에는 정전척이 주로 사용되고 있다.
기판은 공정챔버 내로 또는 공정챔버로부터 외부로 기판 이송 장치에 의해 이송된다. 기판의 이송은 기판이 정전척으로부터 이격되게 상승된 상태에서 이루어진다. 이를 위해, 정전척에는 기판을 정전척으로부터 상승 또는 하강시키기 위한 기판 승강 장치가 구비된다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 열로 인한 변형을 감소시키는 기판 승강 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 열로 인한 변형을 감소시키는 기판 승강 장치를 사용하는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 승강 장치의 일 면(aspect)은 기판과 접촉하는 복수의 핀, 상기 복수의 핀을 지지하고, 하면에 복수의 상부 접속부가 형성되는 상부 플레이트, 상면에 상기 복수의 상부 접속부와 접속하는 복수의 하부 접속부가 형성되고, 상기 상부 플레이트 하부에 배치되는 하부 플레이트 및 상기 복수의 핀이 상하로 이동하도록 구동하는 구동부를 포함하되, 상기 하부 플레이트는, 그 상면에 복수의 부시와, 상기 복수의 부시를 관통하는 복수의 샤프트를 지지한다.
상기 상부 플레이트의 열 팽창률은, 상기 하부 플레이트의 열 팽창률보다 낮다.
상기 상부 플레이트는, 상기 하면에 상부 자석을 포함하고, 상기 하부 플레이트는 상기 상면에 상기 상부 자석과 정렬되는 하부 자석을 포함한다.
상기 복수의 상부 접속부와 상기 복수의 하부 접속부는 키네마틱 커플링(kinematic coupling) 된다.
상기 복수의 상부 접속부는, 상기 하부 플레이트를 향해 볼록한 형상을 가지고, 상기 복수의 하부 접속부 중 적어도 하나는, 상기 상부 접속부가 삽입되고, 상기 하부 플레이트의 중심과 상기 복수의 하부 접속부의 연장선 방향으로 연장되는 홈을 포함한다.
상기 복수의 상부 접속부와, 상기 복수의 하부 접속부와, 상기 복수의 핀은, 각각 3개이다.
상기 상부 플레이트와, 상기 하부 플레이트의 중심부는, 회로가 관통하는 홀이 형성된다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 승강 장치의 다른 면은 하면에 배치된 복수의 상부 접속부를 포함하는 상부 플레이트, 상기 상부 플레이트의 상면에 배치된 복수의 핀 및 상기 상부 플레이트의 하부에 배치되는 하부 플레이트를 포함하되, 상기 하부 플레이트는, 상기 하부 플레이트의 상면에 배치되고, 상기 복수의 상부 접속부와 접속하는 복수의 하부 접속부와, 상기 하부 플레이트의 상면에 배치되고, 상기 하부 플레이트의 중심을 기준으로 상기 복수의 핀의 외곽에 배치된 복수의 부시와, 상기 복수의 부시를 관통하는 복수의 샤프트를 포함하고, 상기 복수의 상부 접속부는, 상기 복수의 하부 접속부를 향해 볼록한 돌기를 포함하고, 상기 복수의 하부 접속부는, 상기 복수의 하부 접속부의 상기 돌기의 이동 방향을 가이드하는 홈을 포함한다.
상기 상부 플레이트는, 상기 하면에 상부 자석을 포함하고, 상기 하부 플레이트는 상기 상면에 상기 상부 자석과 정렬되는 하부 자석을 포함하고, 상기 상부 자석과 상기 하부 자석 사이에 인력이 작용한다.
상기 복수의 핀이 상하로 이동하도록 구동하는 구동부를 더 포함한다.
상기 상부 플레이트의 열 팽창률은, 상기 하부 플레이트의 열 팽창률보다 낮다.
상기 복수의 상부 접속부와, 상기 복수의 하부 접속부와, 상기 복수의 핀 각각은, 상기 하부 플레이트의 중심을 기준으로 대칭을 이룬다.
상기 홈은, 상기 하부 플레이트의 중심과 상기 복수의 하부 접속부를 연결하는 연장선을 따르는 제1 방향으로 연장되고, 상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향으로 폭을 가지고, 상기 돌기는 상기 제1 방향으로 가이드 되고, 상기 제2 방향으로 고정된다.
상기 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 장치의 일 면은, 내부 공간을 형성하는 공정 챔버, 상기 내부 공간에 설치되고, 기판을 지지하는 기판 지지부 및 상기 기판을 상하로 이동시키는 기판 승강부를 포함하고, 상기 기판 승강부는, 상기 기판 지지부를 관통하고, 상기 기판과 접촉하는 복수의 핀과, 상기 복수의 핀을 지지하고, 하면에 복수의 상부 접속부가 형성되는 상부 플레이트와, 상기 복수의 상부 접속부와 접속하는 복수의 하부 접속부가 상면에 형성되고, 상기 상부 플레이트의 하부에 배치되는 하부 플레이트와, 상기 복수의 핀이 상하로 이동하도록 구동하는 구동부를 포함하되, 상기 하부 플레이트는, 그 상면에 복수의 부시와, 상기 복수의 부시를 관통하는 복수의 샤프트를 지지한다.
상기 복수의 상부 접속부는, 상기 하부 플레이트를 향해 하부로 볼록한 형상을 가지고, 상기 복수의 하부 접속부 중 적어도 하나는, 상기 복수의 상부 접속부가 삽입되는 홈을 포함한다.
상기 홈은, 상기 복수의 하부 접속부 상에서, 상기 하부 플레이트의 중심과 상기 복수의 하부 접속부를 연결하는 제1 방향으로 연장되고, 상기 복수의 상부 접속부는, 상기 복수의 하부 접속부와 접속 시, 상기 제1 방향으로 가이드되고, 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 결속된다.
상기 기판 승강부는, 상기 공정 챔버의 외벽에 접촉하고, 상기 복수의 핀이 관통하는 벨로우즈를 더 포함한다.
상기 상부 플레이트는, 상기 하면에 상부 자석을 포함하고, 상기 하부 플레이트는 상기 상면에 상기 상부 자석과 정렬되는 하부 자석을 포함한다.
상기 복수의 상부 접속부와, 상기 복수의 하부 접속부는, 상기 복수의 핀과 중첩된다.
상기 상부 플레이트의 열 팽창률은, 상기 하부 플레이트의 열 팽창률보다 낮다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 승강 장치를 설명하기 위한 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 승강 장치를 도시하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 승강 장치의 상부 플레이트를 도시하는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 승강 장치의 하부 플레이트를 도시하는 도면이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 접속부와 하부 접속부를 설명하기 위한 도면이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 상부 접속부와 하부 접속부를 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 플레이트와 하부 플레이트의 열 팽창률을 설명하기 위한 도면이다.
도 10 및 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 승강 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 12 및 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 승강 장치를 설명하기 위한 개념도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 승강 장치를 도시하는 도면이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 승강 장치의 상부 플레이트를 도시하는 도면이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 승강 장치의 하부 플레이트를 도시하는 도면이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 기판 승강 장치(10)는 상부 플레이트(100), 하부 플레이트(200), 리프트 핀(300), 구동부(400)을 포함한다.
상부 플레이트(100)는 리프트 핀(300)을 지지할 수 있다. 상부 플레이트(100)는 리프트 핀(300)의 하단과 접촉할 수 있다.
상부 플레이트(100)는 상부 중앙홀(130)을 포함할 수 있다. 상부 중앙홀(130)은 기판 승강 장치(10)를 구동하기 위한 회로 등이 설치되기 위해 구비될 수 있다. 상부 플레이트(100)는 상부 중앙홀(130)을 기준으로 대칭 구조를 포함할 수 있다.
상부 플레이트(100)는 하면에 상부 접속부(110)와, 상부 자석(120)을 포함한다. 상부 플레이트(100)와 하부 플레이트(200)는 상부 접속부(110)와 하부 접속부(210)에 의해 이격될 수 있다. 상부 플레이트(100)의 면적은 하부 플레이트(200)의 면적보다 작을 수 있다. 상부 플레이트(100)는 하부 플레이트(200)와 중첩될 수 있다. 구체적으로, 상부 플레이트(100)의 상부 중앙홀(130)과 하부 플레이트(200)의 하부 중앙홀(230)은 중첩될 수 있다.
상부 접속부(110)는 상부 플레이트(100)의 하면에 설치될 수 있다. 상부 접속부(110)는 복수 개 배치될 수 있다. 예를 들어, 상부 접속부(110)는 상부 플레이트(100)의 하면에 3개 배치될 수 있다. 도 3에서는 상부 플레이트(100)가 3개의 상부 접속부(110)를 포함하는 것으로 도시하였으나, 실시예는 이에 한정되지 않는다. 다른 예를 들어, 상부 플레이트(100)는 하면에 1개의 상부 접속부(110)만을 포함할 수 있다. 또다른 예를 들어, 상부 플레이트(100)는 3개보다 많은 상부 접속부(110)를 포함할 수 있다. 설명의 편의를 위해, 이하에서 상부 플레이트(100)에 3개의 상부 접속부(110)가 배치되는 것을 예시로서 설명한다.
상부 접속부(110)는 하부 접속부(210)와 정렬되는 형상을 포함할 수 있다. 구체적으로, 상부 접속부(110)는 하부 접속부(210)와 맞물리는 형상을 포함할 수 있다. 상부 접속부(110)는 하부 접속부(210)와 키네마틱 커플링(kinematic coupling)될 수 있다.
상부 접속부(110)는 아래로 볼록한 형상을 포함할 수 있다. 상부 접속부(110)는 아래로 볼록한 돌기를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상부 접속부(110)는 반구 형상의 구조를 포함할 수 있다. 도 3에서는 상부 접속부(110)가 반구 형상을 가지는 것으로 도시하였으나, 실시예는 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 상부 접속부(110)는 아래로 볼록한 육면체의 형상을 포함할 수 있다. 다른 예를 들어, 상부 접속부(110)는 체결을 견고하게 하기 위해, 하부 접속부(210)의 내측벽으로 끼워지는 별도의 돌기를 더 포함할 수 있다.
상부 접속부(110)는 상부 플레이트(100)를 사이에 두고, 리프트 핀(300)과 중첩될 수 있다. 다만 실시예는 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 상부 접속부(110)는 리프트 핀(300) 보다 상부 중앙홀(130)에 가깝게 위치할 수 있다. 즉, 상부 접속부(110)는 상부 플레이트(100)를 상면에서 바라볼 때를 기준으로, 리프트 핀(300)보다 상부 플레이트(100)의 내측에 위치할 수 있다.
도 3에서 상부 접속부(110)가 모두 동일한 형상을 가지는 것으로 도시하였으나, 실시예는 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 복수의 상부 접속부(110)는 각각 다른 형상을 가질 수 있다. 제1 상부 접속부(111)는 반구 형상을 가지고, 제2 상부 접속부(112)는 육면체 형상을 가지고, 제3 상부 접속부(113)는 정형화되지 않은 기타 형상을 가질 수 있다.
상부 자석(120)은 상부 플레이트(100)의 하면에 설치될 수 있다. 상부 자석(120)은 복수 개 배치될 수 있다. 예를 들어, 상부 자석(120)은 상부 플레이트(100)의 하면에 3개 배치될 수 있다. 도 3에서는 상부 플레이트(100)가 3개의 상부 자석(120)을 포함하는 것으로 도시하였으나, 실시예는 이에 한정되지 않는다. 다른 예를 들어, 상부 플레이트(100)는 하면에 1개의 상부 자석(120)만을 포함할 수 있다. 또다른 예를 들어, 상부 플레이트(100)는 3개보다 많은 상부 자석(120)을 포함할 수 있다. 설명의 편의를 위해, 이하에서 상부 플레이트(100)에 3개의 상부 자석(120)이 배치되는 것을 예시로서 설명한다.
상부 자석(120)은 하부 자석(220)과 정렬될 수 있다. 구체적으로, 기판 승강 장치(10)가 열로 인해 팽창하기 전에, 상부 자석(120)은 하부 자석(220)과 완전히 중첩될 수 있다.
상부 자석(120)은 상부 플레이트(100)를 상면에서 바라볼 때를 기준으로 상부 접속부(110)와 리프트 핀(300)보다 내측에 위치할 수 있다. 즉, 상부 자석(120)은 상부 접속부(110)와 리프트 핀(300)보다 상부 중앙홀(130)에 가깝게 위치할 수 있다.
하부 플레이트(200)는 부시(bush)(250)를 지지할 수 있다. 하부 플레이트(200)는 부시(250)의 하단과 접촉할 수 있다. 부시(250)는 샤프트(shaft)(240)에 의해 관통될 수 있다. 부시(250)는 샤프트(240)를 감쌀 수 있다. 샤프트(240)는 하부 플레이트(200)와 부시(250)를 관통할 수 있다. 샤프트(240)는 고정될 수 있고, 또는 상하로 가동될 수 있다. 샤프트(240)는 부시(250)가 상하로 이동하기 위한 축 역할을 할 수 있다. 즉, 부시(250)는 샤프트(240)를 기준으로 상하로 이동할 수 있다. 부시(250)가 샤프트(240)를 축으로 상하로 이동함에 따라 하부 플레이트(200)가 상하로 이동할 수 있다.
하부 플레이트(200)는 하부 중앙홀(230)을 포함할 수 있다. 하부 중앙홀(230)은 기판 승강 장치(10)를 구동하기 위한 회로 등이 설치되기 위해 구비될 수 있다. 하부 플레이트(200)는 하부 중앙홀(230)을 기준으로 대칭 구조를 포함할 수 있다.
하부 플레이트(200)는 상면에 하부 접속부(210)와, 하부 자석(220)을 포함한다.
하부 접속부(210)는 하부 플레이트(200)의 상면에 설치될 수 있다. 하부 접속부(210)는 복수 개 배치될 수 있다. 예를 들어, 하부 접속부(210)는 하부 플레이트(200)의 상면에 3개 배치될 수 있다. 도 4에서는 하부 플레이트(200)가 3개의 하부 접속부(210)를 포함하는 것으로 도시하였으나, 실시예는 이에 한정되지 않는다. 다른 예를 들어, 하부 플레이트(200)는 상면에 1개의 하부 접속부(210)만을 포함할 수 있다. 또다른 예를 들어, 하부 플레이트(200)는 3개보다 많은 하부 접속부(210)를 포함할 수 있다. 설명의 편의를 위해, 이하에서 상부 플레이트(100)에 3개의 하부 접속부(210)가 배치되는 것을 예시로서 설명한다.
하부 접속부(210)는 상부 접속부(110)와 정렬될 수 있다. 하부 접속부(210)는 상부 접속부(110)와 일대일 대응될 수 있다. 하부 접속부(210)는 상부 접속부(110)와 맞물리는 형상의 구조를 포함할 수 있다. 하부 접속부(210)는 상부 접속부(110)와 키네마틱 커플링(kinematic coupling)될 수 있다.
하부 접속부(210)는 아래로 오목한 형상을 가질 수 있다. 구체적으로, 하부 접속부(210)는 상부 접속부(110)를 수용할 수 있는 홈을 포함할 수 있다. 하부 접속부(210)의 홈은 상부 접속부(110)의 이동 방향을 제한하는 폭과 연장 방향을 포함할 수 있다. 이에 대해서는, 이하 도 5 내지 도 8을 참조하여 상세히 설명한다.
하부 접속부(210)는 샤프트(240)와 부시(250)보다 하부 중앙홀(230)에 가깝게 위치할 수 있다. 즉, 하부 접속부(210)는 하부 플레이트(200)를 상면에서 바라볼 때를 기준으로, 샤프트(240)와 부시(250)보다 하부 플레이트(200)의 내측에 위치할 수 있다.
하부 자석(220)은 하부 플레이트(200)의 상면에 설치될 수 있다. 하부 자석(220)은 복수 개 배치될 수 있다. 예를 들어, 하부 자석(220)은 하부 플레이트(200)의 상면에 3개 배치될 수 있다. 도 4에서는 하부 플레이트(200)가 3개의 하부 자석(220)을 포함하는 것으로 도시하였으나, 실시예는 이에 한정되지 않는다. 다른 예를 들어, 하부 플레이트(200)는 상면에 1개의 하부 자석(220)만을 포함할 수 있다. 또다른 예를 들어, 하부 플레이트(200)는 3개보다 많은 하부 자석(220)을 포함할 수 있다. 설명의 편의를 위해, 이하에서 하부 플레이트(200)에 3개의 상부 자석(220)이 배치되는 것을 예시로서 설명한다.
하부 자석(220)은 상부 자석(120)과 정렬될 수 있다. 하부 자석(220)과 상부 자석(220) 사이에는 인력이 작용하여, 상부 플레이트(100)와 하부 플레이트(200)가 안정적으로 정렬될 수 있다. 구체적으로, 상부 접속부(110)와 하부 접속부(210)로 인해, 완전히 밀착되지 않고 이격된 상부 플레이트(100)와 하부 플레이트(200)가 틀어지는 것이 하부 자석(220)과 상부 자석(220) 사이에 작용하는 인력에 의해 방지될 수 있다.
리프트 핀(300)은 기판과 직접적으로 접촉하는 부분을 포함할 수 있다. 리프트 핀(300)은 기판과 직접적으로 접촉하여 기판을 상하로 이동시킬 수 있다.
리프트 핀(300)은 상부 플레이트(100)의 상면에 설치될 수 있다. 즉, 리프트 핀(300)은 상부 플레이트(100)에 의해 지지될 수 있다. 리프트 핀(300)은 상부 플레이트(100)의 상면에 복수 개 배치될 수 있다.
복수의 리프트 핀(300)은 상부 플레이트(100)의 가장자리에 배치될 수 있다. 복수의 리프트 핀(300)은 상부 플레이트(100)의 상부 중앙홀(130)을 중심으로 대칭이 되도록 배치될 수 있다. 즉, 복수의 리프트 핀(300)은 상부 중앙홀(130)로부터 각각 동일한 거리로 이격된 지점에 배치될 수 있다.
리프트 핀(300)은 상부 중앙홀(130)과 하부 플레이트(200)의 상면에 배치된 샤프트(240)와 부시(250)를 연결하는 선상에 위치할 수 있다. 즉, 리프트 핀(300)과 샤프트(240)와 부시(250)는 상부 중앙홀(130)로부터 동일 선상에 위치할 수 있다.
리프트 핀(300)은 하우징부(320)에 의해 감싸질 수 있다. 리프트 핀(300)은 벨로우즈(310)와 하우징부(320)와 연결될 수 있다. 리프트 핀(300)은 벨로우즈(310)를 관통할 수 있다. 벨로우즈(310)는 원판 형상을 가질 수 있다. 벨로우즈(310)는 리프트 핀(300)이 챔버를 관통하여 기판에 접촉할 때, 챔버와의 결합을 견고하게 할 수 있다. 하우징부(320)의 하단은 상부 플레이트(100)와 접촉한다. 하우징부(320)는 리프트 핀(300)을 감쌀 수 있다. 리프트 핀(300)은 하우징부(320)의 내부로부터 벨로우즈(310)를 관통하여 상부 플레이트(100)에 수직인 방향으로 연장될 수 있다.
구동부(400)는 기판 승강 장치(10)가 구동하도록 할 수 있다. 구체적으로, 구동부(400)는 리프트 핀(300)이 기판을 승강시키도록 구동할 수 있다. 구동부(400)는 부시(250)가 샤프트(240)를 축으로 승하강하도록 구동할 수 있다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 접속부와 하부 접속부를 설명하기 위한 도면이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 제1 상부 접속부 내지 제3 상부 접속부(111-113)는 각각 제1 직경 내지 제3 직경(D1-D3)를 가질 수 있다. 제1 상부 접속부 내지 제3 상부 접속부(111-113)의 단멱적은 제1 하부 접속부 내지 제3 하부 접속부(211-213)의 단면적보다 작을 수 있다.
제1 상부 접속부 내지 제3 상부 접속부(111-113)는 각각 제1 하부 접속부 내지 제3 하부 접속부(211-213)에 접속할 수 있다. 제1 상부 접속부 내지 제3 상부 접속부(111-113)는 각각 제1 하부 접속부 내지 제3 하부 접속부(211-213)의 제1 홈 내지 제3 홈(G1-G3)에 끼워질 수 있다.
제1 하부 접속부 내지 제3 하부 접속부(211-213)는 각각 제1 홈 내지 제3 홈(G1-G3)을 포함할 수 있다. 제1 홈 내지 제3 홈(G1-G3)은 하부 플레이트(200)의 상면으로부터 하면 방향으로 오목하게 패인 리세스를 지칭한다.
제1 홈 내지 제3 홈(G1-G3)은 각각 제1 폭 내지 제3 폭(W1-W3)을 가진다. 제1 폭 내지 제3 폭(W1-W3)은 제1 상부 접속부 내지 제3 상부 접속부(111-113)의 제1 직경 내지 제3 직경(D1-D3)과 동일할 수 있다. 즉, 제1 하부 접속부 내지 제3 하부 접속부(211-213)와 접속한 제1 상부 접속부 내지 제3 상부 접속부(111-113)는 제1 홈 내지 제3 홈(G1-G3)의 제1 폭 내지 제3 폭(W1-W3) 방향으로 고정될 수 있다.
제1 홈 내지 제3 홈(G1-G3)은 각각 제1 방향(X), 제2 방향(Y), 제3 방향(Z)으로 제1 길이 내지 제3 길이(L1-L3)로 연장될 수 있다. 이 때, 제1 방향(X)은 하부 중앙홀(230)의 중심점부터 제1 샤프트(241)와 제1 부시(251)의 중심점을 연결한 직선의 방향을 지칭할 수 있다. 제2 방향(Y)은 하부 중앙홀(230)의 중심점부터 제2 샤프트(242)와 제2 부시(252)의 중심점을 연결한 직선의 방향을 지칭할 수 있다. 제3 방향(Z)은 하부 중앙홀(230)의 중심점부터 제3 샤프트(243)와 제3 부시(253)의 중심점을 연결한 직선의 방향을 지칭할 수 있다.
제1 홈 내지 제3 홈(G1-G3)의 제1 방향(X), 제2 방향(Y), 제3 방향(Z)으로 연장되는 제1 길이 내지 제3 길이(L1-L3)는 각각, 제1 홈 내지 제3 홈(G1-G3)에 끼워지는 제1 상부 접속부 내지 제2 상부 접속부(111-113)의 제1 직경 내지 제3 직경(D1-D3)보다 크다. 따라서, 제1 상부 접속부 내지 제2 상부 접속부(111-113)는 제1 하부 접속부 내지 제3 하부 접속부(211-213)에 끼워진 경우, 제1 하부 접속부 내지 제3 하부 접속부(211-213)의 제1 홈 내지 제3 홈(G1-G3)이 연장되는 제1 방향(X), 제2 방향(Y), 제3 방향(Z)으로 이동할 수 있다.
즉, 제1 상부 접속부(111) 내지 제3 상부 접속부(113)는 각각 제1 하부 접속부(211) 내지 제3 하부 접속부(213)에 접속하여 제1 홈 내지 제3 홈(G1-G3) 의해 가이드될 수 있다. 제1 상부 접속부(111)는 제1 하부 접속부(211)에 접속한 경우, 제1 홈(G1)이 연장되는 제1 방향(X)으로 가이드될 수 있다. 제2 상부 접속부(112)는 제2 하부 접속부(212)에 접속한 경우, 제2 홈(G2)이 연장되는 제2 방향(Y)으로 가이드될 수 있다. 제3 상부 접속부(113)는 제3 하부 접속부(213)에 접속한 경우, 제3 홈(G3)이 연장되는 제3 방향(Z)으로 가이드될 수 있다.
제1 상부 접속부(111)가 제1 하부 접속부(211)에 접속한 경우, 제1 상부 접속부(111)는 제1 하부 접속부(211)의 제1 홈(G1)의 폭 방향으로는 결속되지만, 제1 하부 접속부(211)의 제1 홈(G1)이 연장되는 제1 방향(X)으로는 이동할 수 있다. 제2 상부 접속부(112)가 제2 하부 접속부(212)에 접속한 경우, 제2 상부 접속부(112)는 제2 하부 접속부(212)의 제2 홈(G2)의 폭 방향으로는 결속되지만, 제2 하부 접속부(212)의 제2 홈(G2)이 연장되는 제2 방향(Y)으로는 이동할 수 있다. 마찬가지로, 제3 상부 접속부(113)가 제2 하부 접속부(213)에 접속한 경우, 제3 상부 접속부(113)는 제3 하부 접속부(213)의 제3 홈(G3)의 폭 방향으로는 결속되지만, 제3 하부 접속부(213)의 제3 홈(G3)이 연장되는 제3 방향(Z)으로는 이동할 수 있다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 상부 접속부와 하부 접속부를 설명하기 위한 도면이다. 설명의 편의를 위해, 도 5 및 도 6을 참조하여 설명한 것과 다른 점을 위주로 설명한다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 제1 상부 접속부 내지 제3 상부 접속부(111-113)의 단멱적은 제1 하부 접속부 내지 제3 하부 접속부(211-213)의 단면적보다 같거나 작을 수 있다.
구체적으로, 제1 상부 접속부(111)의 단면적은 제1 하부 접속부(211)의 단면적과 동일할 수 있다. 제1 하부 접속부(211)의 제1 홈(G1)은 제1 상부 접속부(111)의 단면과 같이 원 형상을 가질 수 있다. 이 때, 제1 홈(G1)의 직경은, 제1 상부 접속부(111)의 제1 직경(D1)과 동일할 수 있다. 따라서, 제1 상부 접속부(111)가 제1 하부 접속부(211)의 제1 홈(G1)에 끼워진 경우, 제1 상부 접속부(111)는 제1 홈(G1) 내에서 견고하게 고정될 수 있다.
제2 상부 접속부(112)의 단면적은 제2 하부 접속부(212)의 단면적보다 작을 수 있다. 제2 하부 접속부(212)의 제2 홈(G2)은 제2 상부 접속부(112)의 단면보다 큰 원 형상을 가질 수 있다. 즉, 제2 하부 접속부(212)의 제2 홈(G2)의 제4 직경(D4)은 제2 상부 접속부(112)의 제2 직경(D2)보다 클 수 있다. 따라서, 제2 상부 접속부(112)가 제2 하부 접속부(212)의 제2 홈(G2)에 끼워진 경우, 제2 상부 접속부(112)는 제2 하부 접속부(212)의 제2 홈(G2) 내부에서 어느 방향으로도 고정되지 않고, 이동할 수 있다.
제3 상부 접속부(113)의 단면적은 제3 하부 접속부(213)의 단면적보다 작을 수 있다. 제3 하부 접속부(213)의 제3 홈(G3)은 제3 폭(W3)을 가지고, 제3 홈(G3)은 제3 폭(W3)과 수직인 방향으로 제3 길이(L3)로 연장될 수 있다. 제3 홈(G3)의 제3 폭(W3)은 제3 상부 접속부(113)의 제3 직경(D3)과 동일할 수 있다. 따라서, 제3 상부 접속부(113)가 제3 하부 접속부(213)에 접속한 경우, 제3 상부 접속부(113)는 제3 하부 접속부(213)의 제3 홈(G3) 내부에서 제3 폭(W3) 방향으로 고정될 수 있다.
제3 홈(G3)의 제3 길이(L3)는 제3 홈(G3)에 끼워지는 제3 상부 접속부(213)의 제3 직경(D3)보다 크다. 따라서, 제3 상부 접속부(113)는 제3 하부 접속부(213)에 끼워진 경우, 제3 하부 접속부(213)의 제3 홈(G3)이 연장되는 방향으로 이동할 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 플레이트와 하부 플레이트의 열 팽창률을 설명하기 위한 도면이다.
도 9를 참조하면, 상부 플레이트(100)와 하부 플레이트(200)는 다른 열 팽창률을 가질 수 있다. 구체적으로, 상부 플레이트(100)의 열 팽창률은 하부 플레이트(200)의 열 팽창률보다 낮을 수 있다. 상부 플레이트(100)와 하부 플레이트(200)는 다른 물질을 포함할 수 있다. 상부 플레이트(100)는 인바(Invar) 또는 세라믹 물질을 포함할 수 있다.
상부 플레이트(100)와 하부 플레이트(200)는 기판을 승강시키는 경우, 정전 척으로부터의 열전달로 인해 팽창할 수 있다. 이 때, 하부 플레이트(200)보다 열 팽창률이 낮은 상부 플레이트(100)는 하부 플레이트(200)보다 적게 팽창할 수 있다. 반면, 상부 플레이트(100)보다 열 팽창률이 높은 하부 플레이트(200)는 상부 플레이트(100)보다 많이 팽창할 수 있다. 따라서, 상부 플레이트(100)에 의해 지지되는 리프트 핀(300)은, 상부 플레이트(100)의 열 팽창으로 인한 상부 플레이트(100)와 평행한 방향으로의 이동이 감소될 수 있다. 또한, 하부 플레이트(100)에 의해 지지되는 샤프트(240)와 부시(250)의 하부 플레이트(100)의 열 팽창으로 인해 발생하는 위치 변형량보다, 상부 플레이트(100)에 의해 지지되는 리프트 핀(300)의 상부 플레이트(100)의 열 팽창으로 인해 발생하는 위치 변형량이 적을 수 있다.
도 10 및 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 승강 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 10을 참조하면, 기판 승강 장치(10)가 열로 인해 변형되지 않은 경우, 제1 상부 접속부(111)는 제1 하부 접속부(211)의 제1 홈(G1) 내부에서 하부 중앙홀(도 6의 230)에 가장 가깝게 위치할 수 있다. 마찬가지로, 제2 상부 접속부(112)는 제2 하부 접속부(212)의 제2 홈(G2) 내부에서 하부 중앙홀(도 6의 230)에 가장 가깝게 위치할 수 있다. 상부 자석(120)과 하부 자석(220)은 완전히 중첩될 수 있다. 이 때, 제1 리프트 핀(301) 제1 리프트 핀(301)과 제2 리프트 핀(302)은 제1 거리(DS1)로 이격될 수 있다.
도 11을 참조하면, 기판 승강 장치(10)가 열로 인해 팽창한 경우, 제1 상부 접속부(111)는 제1 하부 접속부(211)의 제1 홈(G1) 내부에서 하부 중앙홀(도 6의 230)에 가장 멀리 위치할 수 있다. 마찬가지로, 제2 상부 접속부(112)는 제2 하부 접속부(212)의 제2 홈(G2) 내부에서 하부 중앙홀(도 6의 230)에 가장 멀리 위치할 수 있다. 상부 자석(120)과 하부 자석(220)은 완전히 중첩되지 않을 수 있다. 상부 자석(120)은 상부 중앙홀(도 3의 130)로부터 상부 플레이트(100)의 가장자리 방향으로 위치가 변형될 수 있다. 이 때, 제1 리프트 핀(301)과 제2 리프트 핀(302)은 제2 거리(DS2)로 이격될 수 있다.
도 10 및 도 11을 참조하면, 기판 승강 장치(10)가 열로 인해 팽창하는 등, 변형된 경우, 복수의 리프트 핀(300)의 위치가 변형될 수 있다. 다만, 상부 접속부(110)와 하부 접속부(210)가 접속하고, 상부 접속부(110)가 하부 접속부(210)에 형성된 홈(groove) 내부에서 홈의 방향을 따라 이동하기 때문에 변형되는 방향이 제한될 수 있다. 따라서, 리프트 핀(300)의 위치가 변형됨에 따라 발생할 수 있는 위험성을 감소시킬 수 있다.
도 12 및 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 12를 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 기판 승강 장치(10)와 공정 챔버(20)와, 기판 지지부(30)를 포함한다.
기판 승강 장치(10)는 공정 챔버(20)의 내부에서 처리되는 기판(W)을 승강 시킬 수 있다. 기판 승강 장치(10)의 벨로우즈(310)는 리프트 핀(300)이 관통하는 공정 챔버(20)의 외벽에 배치될 수 있다. 벨로우즈(310)는 공정 챔버(20) 내부가 진공으로 유지되도록, 공정 챔버(20)의 내부와 외부를 격리할 수 있다. 즉, 벨로우즈(310)는 공정 챔버(20)를 밀폐시킬 수 있다.
도 12 및 도 13에서는 기판 승강 장치(10)가 공정 챔버(20)의 외부에 배치되어, 기판(W)을 승강 시키는 것으로 도시하였으나, 실시예는 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 기판 승강 장치(10)는 공정 챔버(20)의 내부에서 기판 지지부(30)의 하부에 배치된 상태에서 기판(W)을 승강 시킬 수 있다.
공정 챔버(20)는 기판(W)이 처리되는 내부 공간을 형성한다. 공정 챔버(20)는 기판이 출입하는 도어(21)를 측벽에 포함할 수 있다. 기판 지지부(30)는 기판(W)을 지지할 수 있다. 기판 지지부(30)는 정전 척을 포함할 수 있다. 기판 지지부(30)는 리프트 핀(300)이 관통하는 관통부(31)를 포함할 수 있다.
기판(W)이 공정 챔버(20) 내부에서 처리되는 동안, 기판 승강 장치(10)는 기판(W)이 기판 지지부(30)에 배치되도록 기판(W)을 하강시킬 수 있다.
구체적으로, 구동부(400)에 의해 부시(250)가 샤프트(240)를 축으로 하강함에 따라 하부 플레이트(200)와 상부 플레이트(100)가 하강한다. 이에 따라, 상부 플레이트(100)에 의해 지지되는 리프트 핀(300)이 하강한다. 기판(W)과 접촉하는 리프트 핀(300)은 기판 지지부(30)보다 상부로 돌출되지 않도록 하강하고, 따라서 기판(W)이 기판 지지부(30) 상에 배치된다.
도 13을 참조하면, 기판 승강 장치(10)는 기판 지지부(30)로부터 기판(W)을 승강 시킬 수 있다. 구체적으로, 구동부(400)에 의해 부시(250)가 샤프트(240)를 축으로 승강함에 따라 하부 플레이트(200)와 상부 플레이트(100)가 승강한다. 이에 따라, 상부 플레이트(100)에 의해 지지되는 리프트 핀(300)이 승강하고, 기판 지지부(30)보다 상부로 돌출된다. 기판(W)과 접촉하는 리프트 핀(300)이 승강함에 따라, 기판(W)이 기판 지지부(30)로부터 부상될 수 있다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
1: 기판 처리 장치
10: 기판 승강 장치
100: 상부 플레이트
200: 하부 플레이트
110: 상부 접속부
210: 하부 접속부
120: 상부 자석
220: 하부 자석
300: 리프트 핀
400: 구동부

Claims (20)

  1. 기판과 접촉하는 복수의 핀;
    상기 복수의 핀을 지지하고, 하면에 복수의 상부 접속부가 형성되는 상부 플레이트;
    상면에 상기 복수의 상부 접속부와 접속하는 복수의 하부 접속부가 형성되고, 상기 상부 플레이트 하부에 배치되는 하부 플레이트; 및
    상기 복수의 핀이 상하로 이동하도록 구동하는 구동부를 포함하되,
    상기 하부 플레이트는,
    그 상면에 복수의 부시와, 상기 복수의 부시를 관통하는 복수의 샤프트를 지지하는, 기판 승강 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 상부 플레이트의 열 팽창률은, 상기 하부 플레이트의 열 팽창률보다 낮은, 기판 승강 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 상부 플레이트는, 상기 하면에 상부 자석을 포함하고,
    상기 하부 플레이트는 상기 상면에 상기 상부 자석과 정렬되는 하부 자석을 포함하는, 기판 승강 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 상부 접속부와 상기 복수의 하부 접속부는 키네마틱 커플링(kinematic coupling) 되는, 기판 승강 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 상부 접속부는, 상기 하부 플레이트를 향해 볼록한 형상을 가지고,
    상기 복수의 하부 접속부 중 적어도 하나는,
    상기 상부 접속부가 삽입되고, 상기 하부 플레이트의 중심과 상기 복수의 하부 접속부의 연장선 방향으로 연장되는 홈을 포함하는, 기판 승강 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 상부 접속부와, 상기 복수의 하부 접속부와, 상기 복수의 핀은, 각각 3개인, 기판 승강 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 상부 플레이트와, 상기 하부 플레이트의 중심부는, 회로가 관통하는 홀이 형성되는, 기판 승강 장치.
  8. 내부 공간을 형성하는 공정 챔버;
    상기 내부 공간에 설치되고, 기판을 지지하는 기판 지지부; 및
    상기 기판을 상하로 이동시키는 기판 승강부를 포함하고,
    상기 기판 승강부는,
    상기 기판 지지부를 관통하고, 상기 기판과 접촉하는 복수의 핀과,
    상기 복수의 핀을 지지하고, 하면에 복수의 상부 접속부가 형성되는 상부 플레이트와,
    상기 복수의 상부 접속부와 접속하는 복수의 하부 접속부가 상면에 형성되고, 상기 상부 플레이트의 하부에 배치되는 하부 플레이트와,
    상기 복수의 핀이 상하로 이동하도록 구동하는 구동부를 포함하되,
    상기 하부 플레이트는,
    그 상면에 복수의 부시와, 상기 복수의 부시를 관통하는 복수의 샤프트를 지지하는, 기판 처리 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 복수의 상부 접속부는, 상기 하부 플레이트를 향해 하부로 볼록한 형상을 가지고,
    상기 복수의 하부 접속부 중 적어도 하나는, 상기 복수의 상부 접속부가 삽입되는 홈을 포함하는, 기판 처리 장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 홈은,
    상기 복수의 하부 접속부 상에서, 상기 하부 플레이트의 중심과 상기 복수의 하부 접속부를 연결하는 제1 방향으로 연장되고,
    상기 복수의 상부 접속부는,
    상기 복수의 하부 접속부와 접속 시, 상기 제1 방향으로 가이드되고, 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 결속되는, 기판 처리 장치.
  11. 제8 항에 있어서,
    상기 기판 승강부는,
    상기 공정 챔버의 외벽에 접촉하고, 상기 복수의 핀이 관통하는 벨로우즈를 더 포함하는, 기판 처리 장치.
  12. 제8 항에 있어서,
    상기 상부 플레이트는, 상기 하면에 상부 자석을 포함하고,
    상기 하부 플레이트는 상기 상면에 상기 상부 자석과 정렬되는 하부 자석을 포함하는, 기판 처리 장치.
  13. 제8 항에 있어서,
    상기 복수의 상부 접속부와, 상기 복수의 하부 접속부는,
    상기 복수의 핀과 중첩되는, 기판 처리 장치.
  14. 제8 항에 있어서,
    상기 상부 플레이트의 열 팽창률은, 상기 하부 플레이트의 열 팽창률보다 낮은, 기판 처리 장치.
  15. 하면에 배치된 복수의 상부 접속부를 포함하는 상부 플레이트;
    상기 상부 플레이트의 상면에 배치된 복수의 핀; 및
    상기 상부 플레이트의 하부에 배치되는 하부 플레이트를 포함하되,
    상기 하부 플레이트는,
    상기 하부 플레이트의 상면에 배치되고, 상기 복수의 상부 접속부와 접속하는 복수의 하부 접속부와,
    상기 하부 플레이트의 상면에 배치되고, 상기 하부 플레이트의 중심을 기준으로 상기 복수의 핀의 외곽에 배치된 복수의 부시와, 상기 복수의 부시를 관통하는 복수의 샤프트를 포함하고,
    상기 복수의 상부 접속부는, 상기 복수의 하부 접속부를 향해 볼록한 돌기를 포함하고,
    상기 복수의 하부 접속부는, 상기 복수의 하부 접속부의 상기 돌기의 이동 방향을 가이드하는 홈을 포함하는, 기판 승강 장치.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 상부 플레이트는, 상기 하면에 상부 자석을 포함하고,
    상기 하부 플레이트는 상기 상면에 상기 상부 자석과 정렬되는 하부 자석을 포함하고,
    상기 상부 자석과 상기 하부 자석 사이에 인력이 작용하는, 기판 승강 장치.
  17. 제15 항에 있어서,
    상기 복수의 핀이 상하로 이동하도록 구동하는 구동부를 더 포함하는 기판 승강 장치.
  18. 제15 항에 있어서,
    상기 상부 플레이트의 열 팽창률은, 상기 하부 플레이트의 열 팽창률보다 낮은, 기판 승강 장치.
  19. 제15 항에 있어서,
    상기 복수의 상부 접속부와, 상기 복수의 하부 접속부와, 상기 복수의 핀 각각은,
    상기 하부 플레이트의 중심을 기준으로 대칭을 이루는, 기판 승강 장치.
  20. 제15 항에 있어서,
    상기 홈은,
    상기 하부 플레이트의 중심과 상기 복수의 하부 접속부를 연결하는 연장선을 따르는 제1 방향으로 연장되고,
    상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향으로 폭을 가지고,
    상기 돌기는 상기 제1 방향으로 가이드 되고, 상기 제2 방향으로 고정되는, 기판 승강 장치.
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