KR20230048595A

KR20230048595A - Industrial robot

Info

Publication number: KR20230048595A
Application number: KR1020220109603A
Authority: KR
Inventors: 다카유키 야자와; 요시키 시무라; 가즈키 이토
Original assignee: 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
Priority date: 2021-10-04
Filing date: 2022-08-31
Publication date: 2023-04-11
Also published as: CN115924538A

Abstract

Provided is an industrial robot capable of reducing costs, even if it is possible to transport a comparatively heavy object such as a mask and to efficiently transport a comparatively light object such as a glass substrate. In an industrial robot, an arm (7) is equipped with a first tip end side arm portion (10), a second tip end side arm portion (11), and a common arm portion (12). The common arm portion (12) is equipped with a first common arm portion (20) to which a base end side of the first tip end side arm portion (10) is rotatably coupled, and a second common arm portion (21) to which a base end side of the second tip end side arm portion (11) is rotatably coupled. In the industrial robot, at least a first distance L1 between centers is shorter than a second distance L2 between centers, or a first common arm width H1 is wider than a second common arm width H2, and the stiffness on the first common arm portion (20) side of the common arm portion (12) is higher than the stiffness on the second common arm portion (21) side of the common arm portion (12).

Description

Industrial robot {INDUSTRIAL ROBOT}

본 발명은 반송 대상물을 반송하기 위한 산업용 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to an industrial robot for conveying an object to be conveyed.

종래, 진공 중에서 액정 디스플레이용 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 2개의 핸드와, 2개의 핸드가 회동 가능하게 연결되는 암과, 암이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하고 있다. 암은 2개의 핸드의 각각이 선단측으로 회동 가능하게 연결되는 2개의 선단측 암부와, 2개의 선단측 암부의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 1개의 공통 암부로 구성되어 있다. 공통 암부는, 대략 V 형상으로 형성되어 있다.BACKGROUND ART Conventionally, an industrial robot that transports a glass substrate for a liquid crystal display in a vacuum is known (for example, refer to Patent Literature 1). The industrial robot described in Patent Literature 1 includes two hands, an arm to which the two hands are rotatably connected, and a main body to which the arms are rotatably connected. The arm is constituted by two distal arm parts to which each of the two hands is rotatably connected to the distal end side, and one common arm part to which the proximal ends of the two distal arm parts are rotatably connected. The common arm portion is formed in a substantially V shape.

일본특허공개 제2018-15839호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2018-15839

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 예를 들어 프로세스 챔버에 유리 기판을 반입하거나, 프로세스 챔버로부터 유리 기판을 반출한다. 프로세스 챔버에서는, 액정 디스플레이를 제조하기 위해서, 유리 기판에 대하여 소정의 처리가 행해진다. 예를 들어, 프로세스 챔버에서는, 유리 기판의 표면을 부분적으로 덮는 마스크를 사용한 소정의 처리가 유리 기판에 대하여 행해진다. 프로세스 챔버에서 마스크가 사용되는 경우, 사용 완료의 더럽혀진 마스크를 세정하기 위해서, 정기적으로, 사용 완료의 마스크를 프로세스 챔버로부터 반출하여, 세정이 끝난 마스크를 프로세스 챔버로 반입해야 하는 상황이 발생할 수 있다.The industrial robot described in Patent Literature 1 carries a glass substrate into a process chamber or carries a glass substrate out of the process chamber, for example. In the process chamber, a predetermined process is performed on a glass substrate in order to manufacture a liquid crystal display. For example, in the process chamber, a predetermined process using a mask partially covering the surface of the glass substrate is performed on the glass substrate. When a mask is used in the process chamber, a situation may occur in which the used mask must be taken out of the process chamber and the cleaned mask carried into the process chamber on a regular basis in order to clean the used soiled mask.

이 경우, 프로세스 챔버에 대하여 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇에 의해 프로세스 챔버에 대한 마스크의 반송을 행하면, 액정 디스플레이의 제조 시스템의 구성을 간소화하는 것이 가능해진다. 반면에, 마스크의 무게는, 예를 들어 유리 기판의 무게의 30배 이상으로 되어 있어, 유리 기판에 비하여 마스크는 무겁게 되어 있다. 그 때문에, 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇을 그대로 사용해서 마스크를 반송하는 것은 곤란하다.In this case, if the mask is transported to the process chamber by an industrial robot that transports the glass substrate to the process chamber, it becomes possible to simplify the configuration of the liquid crystal display manufacturing system. On the other hand, the weight of the mask is, for example, 30 times or more of the weight of the glass substrate, and the mask is heavier than the glass substrate. Therefore, it is difficult to convey a mask using the industrial robot which conveys a glass substrate as it is.

유리 기판 반송용의 산업용 로봇에 의한 마스크의 반송을 가능하게 하기 위해서는, 산업용 로봇의 강성을 높이면 된다. 그러나, 유리 기판의 반송 빈도와 비교해서 반송 빈도가 낮은 마스크를 반송하기 위해서 산업용 로봇의 강성을 단순히 높인 것으로는, 산업용 로봇의 제조 비용 등의 원가가 높아진다.What is necessary is just to raise the rigidity of an industrial robot in order to enable conveyance of the mask by the industrial robot for glass substrate conveyance. However, simply increasing the rigidity of the industrial robot in order to transport a mask whose conveyance frequency is low compared to the conveyance frequency of the glass substrate increases costs such as manufacturing cost of the industrial robot.

그래서, 본 발명의 과제는, 마스크 등의 비교적 무거운 반송 대상물을 반송하는 것이 가능함과 함께, 유리 기판 등의 비교적 가벼운 반송 대상물을 효율적으로 반송하는 것이 가능해도, 비용을 저감하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 데 있다.Then, the subject of the present invention is to provide an industrial robot capable of reducing costs even if it is possible to efficiently transport relatively light transport objects such as glass substrates while being able to transport relatively heavy transport objects such as masks. is to do

상기의 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 산업용 로봇은, 반송 대상물이 탑재되는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 상하 방향을 회동의 축방향으로 하여 제1 핸드 및 제2 핸드가 선단측으로 회동 가능하게 연결되는 암과, 상하 방향을 회동의 축방향으로 해서 암의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 암 지지부를 구비하고, 암은 제1 핸드가 선단측으로 회동 가능하게 연결되는 제1 선단측 암부와, 제2 핸드가 선단측으로 회동 가능하게 연결되는 제2 선단측 암부와, 상하 방향을 회동의 축방향으로 하여 제1 선단측 암부의 기단측 및 제2 선단측 암부의 기단측이 회동 가능하게 연결됨과 함께 암 지지부에 회동 가능하게 연결되는 공통 암부를 구비하고, 공통 암부는, 제1 선단측 암부가 선단측으로 회동 가능하게 연결되는 제1 공통 암부와, 제2 선단측 암부가 선단측으로 회동 가능하게 연결되는 제2 공통 암부를 구비하고, 암 지지부에 대한 공통 암부의 회동 중심과 제1 공통 암부에 대한 제1 선단측 암부의 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제1 중심간 거리라 하고, 암 지지부에 대한 공통 암부의 회동 중심과 제2 공통 암부에 대한 제2 선단측 암부의 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제2 중심간 거리라 하고, 제1 공통 암부의 길이 방향과 상하 방향에 직교하는 방향에 있어서의 제1 공통 암부의 폭을 제1 공통 암폭이라 하고 제2 공통 암부의 길이 방향과 상하 방향에 직교하는 방향에 있어서의 제2 공통 암부의 폭을 제2 공통 암폭이라 하면, 적어도, 제1 중심간 거리가 제2 중심간 거리보다 짧게 되어 있거나, 또는 제1 공통 암폭이 제2 공통 암폭보다 넓게 되어 있고, 공통 암부의, 제1 공통 암부측의 강성이, 공통 암부의, 제2 공통 암부측의 강성보다 높게 되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the industrial robot of the present invention is capable of rotating the first hand and the second hand on which the object to be conveyed is mounted, and the first hand and the second hand with the vertical direction as the axis direction of rotation. An arm connected in a vertical direction, and an arm support portion to which the proximal end side of the arm is rotatably connected in the vertical direction as an axial direction of rotation, and the arm is a first distal side arm portion to which a first hand is rotatably connected to the distal end side , The second distal arm portion to which the second hand is rotatably connected to the distal end side, and the proximal end side of the first distal arm portion and the proximal end side of the second distal arm portion are rotatably connected with the vertical direction as an axial direction of rotation. In addition, a common arm portion rotatably connected to the arm support portion, and the common arm portion include a first common arm portion to which the first distal arm portion is rotatably connected to the distal end side, and a second distal arm portion rotatably toward the distal end side. A distance in a horizontal direction between a center of rotation of the common arm with respect to the arm support and a center of rotation of the first distal arm with respect to the first common arm is referred to as a first center-to-center distance. The distance in the horizontal direction between the rotation center of the common arm with respect to the second common arm and the rotation center of the second distal arm with respect to the second common arm is referred to as the second center-to-center distance, and is a direction orthogonal to the longitudinal direction of the first common arm and the vertical direction. If the width of the first common arm in the first common arm width is defined as the first common arm width and the width of the second common arm in the direction orthogonal to the longitudinal direction and the vertical direction of the second common arm is the second common arm width, then at least the second common arm width is 1 center-to-center distance is shorter than the 2nd center-to-center distance, or the 1st common arm width is wider than the 2nd common arm width, and the rigidity of the 1st common arm side of a common arm part is the 2nd common arm part of a common arm part It is characterized by being higher than the rigidity of the arm part side.

본 발명의 산업용 로봇에서는, 공통 암부는, 제1 선단측 암부가 선단측으로 회동 가능하게 연결되는 제1 공통 암부와, 제2 선단측 암부가 선단측으로 회동 가능하게 연결되는 제2 공통 암부를 구비하고 있다. 또한, 본 발명에서는, 적어도, 제1 중심간 거리가 제2 중심간 거리보다 짧게 되어 있거나, 또는 제1 공통 암폭이 제2 공통 암폭보다 넓게 되어 있고, 공통 암부의, 제1 공통 암부측의 강성이, 공통 암부의, 제2 공통 암부측의 강성보다 높게 되어 있다.In the industrial robot of the present invention, the common arm portion includes a first common arm portion to which the first distal arm portion is rotatably connected to the distal end side, and a second common arm portion to which the second distal arm portion is rotatably connected to the distal side side, there is. Further, in the present invention, at least the first center-to-center distance is shorter than the second center-to-center distance, or the first common arm width is wider than the second common arm width, and the rigidity of the common arm portion on the side of the first common arm portion is reduced. This is higher than the rigidity of the common arm on the side of the second common arm.

그 때문에, 본 발명에서는, 제1 공통 암부, 제1 선단측 암부 및 제1 핸드를 사용해서 마스크 등의 비교적 무거운 반송 대상물을 반송하는 것이 가능해진다. 또한, 본 발명에서는, 공통 암부의 제2 공통 암부측의 강성이 공통 암부의 제1 공통 암부측의 강성보다 낮게 되어 있기 때문에, 제2 공통 암부, 제2 선단측 암부 및 제2 핸드를 사용해서 비교적 무거운 반송 대상물을 반송하는 것은 곤란해질 우려가 있지만, 유리 기판 등의 비교적 가벼운 반송 대상물이면, 제2 공통 암부, 제2 선단측 암부 및 제2 핸드를 사용해서 반송 대상물을 반송하는 것이 가능해진다. 즉, 본 발명에서는, 제1 핸드 및 제2 핸드의 2개의 핸드를 사용해서 비교적 가벼운 반송 대상물을 반송하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명에서는, 유리 기판 등의 비교적 가벼운 반송 대상물을 효율적으로 반송하는 것이 가능해진다.Therefore, in this invention, it becomes possible to convey a comparatively heavy conveyance target object, such as a mask, using the 1st common arm part, the 1st distal side arm part, and a 1st hand. Further, in the present invention, since the rigidity on the side of the second common arm of the common arm is lower than the rigidity on the side of the first common arm of the common arm, the second common arm, the second distal arm and the second hand are used. Although it may become difficult to transport a relatively heavy transport object, if it is a relatively light transport object such as a glass substrate, it becomes possible to transport the transport object using the second common arm, the second front arm, and the second hand. That is, in the present invention, it becomes possible to transport a relatively light transport object using two hands, the first hand and the second hand. Therefore, in this invention, it becomes possible to efficiently convey comparatively light conveyance objects, such as a glass substrate.

또한, 본 발명에서는, 공통 암부의 제2 공통 암부측의 강성이 공통 암부의 제1 공통 암부측의 강성과 동등하게 되어 있는 경우와 비교하여, 산업용 로봇의 비용을 저감하는 것이 가능해진다. 즉, 본 발명에서는, 비교적 무거운 반송 대상물을 반송하는 것이 가능함과 함께, 비교적 가벼운 반송 대상물을 효율적으로 반송하는 것이 가능해도, 산업용 로봇의 비용을 저감하는 것이 가능해진다.Further, in the present invention, it is possible to reduce the cost of the industrial robot compared to the case where the stiffness on the side of the second common arm of the common arm is equal to the stiffness on the side of the first common arm of the common arm. That is, in the present invention, while it is possible to transport a relatively heavy transport object, it becomes possible to reduce the cost of the industrial robot even if it is possible to efficiently transport a relatively light transport object.

본 발명에 있어서, 제1 중심간 거리가 제2 중심간 거리보다 짧게 되어 있음과 함께, 제1 공통 암폭이 제2 공통 암폭보다 넓게 되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 공통 암부의 제1 공통 암부측의 강성을 보다 높이는 것이 가능해진다. 따라서, 제1 공통 암부, 제1 선단측 암부 및 제1 핸드를 사용해서 보다 무거운 반송 대상물을 반송하는 것이 가능해진다.In the present invention, it is preferable that the first common arm width is wider than the second common arm width while the first center-to-center distance is shorter than the second center-to-center distance. With this configuration, it becomes possible to further increase the rigidity of the common arm on the side of the first common arm. Therefore, it becomes possible to convey a heavier conveyance object using the 1st common arm part, the 1st distal side arm part, and a 1st hand.

본 발명에 있어서, 제1 공통 암부에 대한 제1 선단측 암부의 회동 중심과 제1 선단측 암부에 대한 제1 핸드의 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제3 중심간 거리라 하고, 제2 공통 암부에 대한 제2 선단측 암부의 회동 중심과 제2 선단측 암부에 대한 제2 핸드의 회동 중심의 수평 방향의 거리를 제4 중심간 거리라 하면, 제1 중심간 거리는, 제2 중심간 거리보다 짧게 되어 있고, 제1 중심간 거리와 제3 중심간 거리가 동등하게, 또한 제2 중심간 거리와 제4 중심간 거리가 동등하게 되어 있고, 제1 선단측 암부의 강성이 제2 선단측 암부의 강성보다 높게 되어 있는 것이 바람직하다.In the present invention, the distance in the horizontal direction between the center of rotation of the first distal arm with respect to the first common arm and the center of rotation of the first hand with respect to the first distal arm is referred to as a third center-to-center distance, and If the horizontal distance between the center of rotation of the second distal arm with respect to the arm and the center of rotation of the second hand with respect to the second distal arm is the fourth center-to-center distance, the first center-to-center distance is the second center-to-center distance It is shorter, the distance between the 1st center and the 3rd center is equal, the distance between the 2nd center and the distance between the 4th centers are equal, and the rigidity of the 1st tip side arm part is the 2nd tip side It is preferable that it is made higher than the rigidity of an arm part.

이와 같이 구성하면, 제1 공통 암부에 연결되는 제1 선단측 암부의 강성이 높게 되어 있기 때문에, 제1 공통 암부, 제1 선단측 암부 및 제1 핸드를 사용해서 보다 무거운 반송 대상물을 반송하는 것이 가능해진다. 또한, 제2 선단측 암부의 강성이 제1 선단측 암부의 강성과 동등하게 되어 있는 경우와 비교하여, 산업용 로봇의 비용을 저감하는 것이 가능해진다.With this configuration, since the rigidity of the first arm portion connected to the first common arm portion is high, conveying a heavier object to be conveyed using the first common arm portion, the first distal arm portion, and the first hand is preferred. it becomes possible In addition, it becomes possible to reduce the cost of the industrial robot compared to the case where the rigidity of the second distal arm is equal to that of the first distal arm.

본 발명에 있어서, 제1 선단측 암부의 길이 방향과 상하 방향에 직교하는 방향에 있어서의 제1 선단측 암부의 폭을 제1 선단측 암폭이라 하고, 제2 선단측 암부의 길이 방향과 상하 방향에 직교하는 방향에 있어서의 제2 선단측 암부의 폭을 제2 선단측 암폭이라 하면, 제1 선단측 암폭이 제2 선단측 암폭보다 넓게 되어 있고, 제1 선단측 암부의 강성이 제2 선단측 암부의 강성보다 높게 되어 있는 것이 바람직하다.In the present invention, the width of the first distal arm in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the first distal arm and the vertical direction is referred to as the first distal arm width, and the longitudinal direction and vertical direction of the second distal arm are defined as If the width of the second tip-side arm in the direction orthogonal to is the second tip-side arm width, the first tip-side arm width is wider than the second tip-side arm width, and the rigidity of the first tip-side arm is the second tip-side arm width. It is preferable to be higher than the rigidity of the side arm part.

본 발명에 있어서, 제1 선단측 암부의 상하 방향의 두께는, 제2 선단측 암부의 상하 방향의 두께보다 두껍게 되어 있고, 제1 선단측 암부의 강성이 제2 선단측 암부의 강성보다 높게 되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제1 공통 암부에 연결되는 제1 선단측 암부의 강성이 높게 되어 있기 때문에, 제1 공통 암부, 제1 선단측 암부 및 제1 핸드를 사용해서 보다 무거운 반송 대상물을 반송하는 것이 가능해진다. 또한, 제2 선단측 암부의 강성이 제1 선단측 암부의 강성과 동등하게 되어 있는 경우와 비교해서, 산업용 로봇의 비용을 저감하는 것이 가능해진다.In the present invention, the vertical thickness of the first distal arm is larger than the vertical thickness of the second distal arm, and the rigidity of the first distal arm is higher than that of the second distal arm. It is desirable to have With this configuration, since the rigidity of the first arm portion connected to the first common arm portion is high, conveying a heavier object to be conveyed using the first common arm portion, the first distal arm portion, and the first hand is preferred. it becomes possible In addition, it becomes possible to reduce the cost of the industrial robot compared to the case where the rigidity of the second distal arm is equal to that of the first distal arm.

본 발명에 있어서, 암 지지부에는, 제1 공통 암부의 기단측이 회동 가능하게 연결되고, 제2 공통 암부의 기단은, 제1 공통 암부의 기단측에 고정되어 있는 것이 바람직하다. 예를 들어, 암 지지부에 회동 가능하게 연결되는 부재를 공통 암부가 구비하고 있고, 이 부재에 제1 공통 암부의 기단 및 제2 공통 암부의 기단이 고정 되어 있는 경우(즉, 소정의 부재를 통하여 제1 공통 암부가 암 지지부에 연결되어 있는 경우)에는, 이 부재에 대하여 제1 공통 암부가 고정된 부분의 강성이 저하될 우려가 있지만, 이와 같이 구성하면, 제1 공통 암부가 암 지지부에 직접 연결되어 있기 때문에, 이러한 문제는 발생하지 않는다.In this invention, it is preferable that the proximal end side of the 1st common arm part is rotatably connected to the arm support part, and the base end of the 2nd common arm part is fixed to the proximal end side of the 1st common arm part. For example, when the common arm part is provided with a member rotatably connected to the arm support part, and the base end of the first common arm part and the base end of the second common arm part are fixed to this member (that is, through a predetermined member). When the first common arm is connected to the arm support), there is a risk that the rigidity of the part where the first common arm is fixed to this member decreases. Because they are connected, these problems do not arise.

본 발명에 있어서, 상하 방향에서 보았을 때에, 제1 공통 암부와 제2 공통 암부가 이루는 각도가 90°로 되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 상하 방향에서 보았을 때에, 제1 공통 암부와 제2 공통 암부가 이루는 각도가 예각이나 둔각으로 되어 있는 경우와 비교하여, 제1 공통 암부 및 제2 공통 암부의 구성을 간소화하고, 제2 공통 암부의 기단을 제1 공통 암부의 기단측에 용이하게 고정하는 것이 가능해진다.In this invention, it is preferable that the angle which a 1st common arm part and a 2nd common arm part make is 90 degree when seen from a vertical direction. With this configuration, the configuration of the first common arm and the second common arm is simplified compared to the case where the angle formed by the first common arm and the second common arm is an acute angle or an obtuse angle when viewed from the vertical direction, It becomes possible to easily fix the base end of the 2nd common arm to the base end of the 1st common arm.

이상과 같이, 본 발명의 산업용 로봇에서는, 마스크 등의 비교적 무거운 반송 대상물을 반송하는 것이 가능함과 함께, 유리 기판 등의 비교적 가벼운 반송 대상물을 효율적으로 반송하는 것이 가능해도, 산업용 로봇의 비용을 저감하는 것이 가능해진다.As described above, the industrial robot of the present invention can transport relatively heavy transport objects such as masks, and even if it is possible to efficiently transport relatively light transport objects such as glass substrates, the cost of the industrial robot can be reduced. it becomes possible

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시한 암의 내부 구성을 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시한 암의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 산업용 로봇의 평면도이다.1 is a plan view of an industrial robot according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view for explaining the internal configuration of the arm shown in FIG. 1;
3 is a plan view of the arm shown in FIG. 1;
4 is a plan view of an industrial robot according to another embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described, referring drawings.

(산업용 로봇의 구성)(Configuration of industrial robots)

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)의 평면도이다. 도 2는 도 1에 도시한 암(7)의 내부 구성을 설명하기 위한 단면도이다.1 is a plan view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view for explaining the internal configuration of the arm 7 shown in FIG. 1. As shown in FIG.

본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 한다.)은, 예를 들어 유기 EL(유기 일렉트로루미네센스) 디스플레이용 유리 기판(2)이나 액정 디스플레이용 유리 기판(2)(이하, 「기판(2)」이라 한다.)을 반송하기 위한 수평 다관절 로봇이다. 로봇(1)은, 디스플레이의 제조 시스템에 내장되어 사용되고, 진공 중에서 기판(2)을 반송한다. 디스플레이의 제조 시스템은, 복수의 프로세스 챔버를 구비하고 있다.The industrial robot 1 (hereinafter, referred to as "robot 1") of this embodiment includes, for example, a glass substrate 2 for an organic EL (organic electroluminescence) display or a glass substrate 2 for a liquid crystal display. ) (hereinafter referred to as "substrate 2") is a horizontal articulated robot for conveying. The robot 1 is built into and used in a display manufacturing system, and conveys the substrate 2 in a vacuum. A display manufacturing system includes a plurality of process chambers.

로봇(1)은, 프로세스 챔버에 대한 기판(2)의 반송을 행한다. 즉, 로봇(1)은, 프로세스 챔버로의 기판(2)의 반입과, 프로세스 챔버로부터의 기판(2)의 반출을 행한다. 프로세스 챔버에서는, 디스플레이를 제조하기 위해서, 기판(2)의 표면을 부분적으로 덮는 마스크(3)를 사용한 소정의 처리가 기판(2)에 대하여 행해진다. 마스크(3)는 정기적으로 세정된다. 마스크(3)의 세정은 프로세스 챔버의 외부에서 행해진다.The robot 1 transfers the substrate 2 to and from the process chamber. That is, the robot 1 carries in the substrate 2 into the process chamber and carries the substrate 2 out of the process chamber. In the process chamber, a predetermined process using a mask 3 partially covering the surface of the substrate 2 is performed on the substrate 2 in order to manufacture a display. The mask 3 is cleaned regularly. Cleaning of the mask 3 is performed outside the process chamber.

본 형태의 로봇(1)은, 프로세스 챔버에 대한 마스크(3)의 반송도 행한다. 즉, 로봇(1)은 프로세스 챔버로부터의 마스크(3)의 반출과, 프로세스 챔버로의 마스크(3)의 반입을 행한다. 로봇(1)은, 예를 들어 프로세스 챔버로부터 반출한 사용 완료의 마스크(3)를 마스크 수용부로 반입함과 함께, 세정이 끝난 마스크(3)를 마스크 수용부로부터 반출해서 프로세스 챔버로 반입한다. 마스크(3)는, 기판(2)보다 무겁게 되어 있다. 예를 들어, 마스크(3)의 중량은, 기판(2)의 중량의 30배 이상으로 되어 있다. 본 형태의 기판(2) 및 마스크(3)는, 로봇(1)에 의해 반송되는 반송 대상물이다.The robot 1 of this embodiment also transports the mask 3 to and from the process chamber. That is, the robot 1 carries out the mask 3 from the process chamber and carries the mask 3 into the process chamber. For example, the robot 1 carries in the used mask 3 taken out of the process chamber into the mask accommodating portion, and carries the cleaned mask 3 out of the mask accommodating portion and carries it into the process chamber. The mask 3 is heavier than the substrate 2 . For example, the weight of the mask 3 is 30 times or more the weight of the substrate 2 . The substrate 2 and the mask 3 of this form are objects to be conveyed by the robot 1 .

로봇(1)은, 기판(2) 및 마스크(3)가 탑재되는 핸드(5)와, 기판(2)이 탑재되는 핸드(6)와, 상하 방향을 회동의 축방향으로 하여 핸드(5, 6)가 회동 가능하게 연결되는 암(7)과, 상하 방향을 회동의 축방향으로 하여 암(7)이 회동 가능하게 연결되는 본체부(8)를 구비하고 있다. 핸드(5, 6)는 암(7)의 선단측으로 회동 가능하게 연결되어 있다. 본체부(8)에는 암(7)의 기단측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 로봇(1)은 통상, 2개의 핸드(5, 6)에 의해 기판(2)을 반송하고, 마스크(3)의 교체를 행할 때, 핸드(5)에 의해 마스크(3)를 반송한다. 본 형태의 핸드(5)는 제1 핸드이고, 핸드(6)는 제2 핸드이고, 본체부(8)는 암 지지부이다.The robot 1 has a hand 5 on which the substrate 2 and the mask 3 are mounted, a hand 6 on which the substrate 2 is mounted, and a hand 5 with the vertical direction as the axial direction of rotation. 6) is provided with the arm 7 connected so that rotation is possible, and the body part 8 to which the arm 7 is connected so that rotation is possible with the up-and-down direction as the axial direction of rotation. The hands 5 and 6 are rotatably connected to the distal end side of the arm 7 . The proximal end side of the arm 7 is connected to the body portion 8 so that rotation is possible. The robot 1 normally transports the substrate 2 by the two hands 5 and 6 and transports the mask 3 by the hands 5 when replacing the mask 3 . The hand 5 of this embodiment is a first hand, the hand 6 is a second hand, and the body portion 8 is an arm support portion.

암(7)은 핸드(5)가 회동 가능하게 연결되는 선단측 암부(10)와, 핸드(6)가 회동 가능하게 연결되는 선단측 암부(11)와, 상하 방향을 회동의 축방향으로 하여 선단측 암부(10, 11)가 회동 가능하게 연결됨과 함께 본체부(8)에 회동 가능하게 연결되는 공통 암부(12)를 구비하고 있다. 본 형태의 암(7)은, 선단측 암부(10, 11)와 공통 암부(12)에 의해 구성되어 있다. 핸드(5)는 선단측 암부(10)의 선단측으로 회동 가능하게 연결되어 있다. 핸드(6)는 선단측 암부(11)의 선단측으로 회동 가능하게 연결되어 있다. 본 형태의 선단측 암부(10)는 제1 선단측 암부이며, 선단측 암부(11)는 제2 선단측 암부이다.The arm 7 has a distal arm portion 10 to which the hand 5 is rotatably connected, and a distal arm portion 11 to which the hand 6 is rotatably connected, with the vertical direction as the axial direction of rotation. While the distal end side arms 10 and 11 are rotatably connected, a common arm 12 connected to the main body 8 so as to be rotatable is provided. The arm 7 of this form is comprised by the front-end side arm parts 10 and 11 and the common arm part 12. The hand 5 is rotatably connected to the distal end of the distal arm 10 . The hand 6 is rotatably connected to the distal end of the distal arm 11 . The distal arm 10 of this form is a first distal arm, and the distal arm 11 is a second distal arm.

공통 암부(12)에는, 선단측 암부(10, 11)의 기단측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 구체적으로는, 공통 암부(12)는, 상하 방향에서 보았을 때의 형상이 V형 상이 되도록 형성되어 있고, V 형상을 이루는 공통 암부(12)의 한쪽의 선단측에 선단측 암부(10)의 기단측이 회동 가능하게 연결되고, 공통 암부(12)의 다른 쪽 선단측에 선단측 암부(11)의 기단측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 본체부(8)에는, 공통 암부(12)의 기단측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 구체적으로는, V 형상을 이루는 공통 암부(12)의 중심 부분(정점 부분)이 본체부(8)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 암(7)의 보다 구체적인 구성에 대해서는 후술한다.The proximal ends of the distal end side arms 10 and 11 are rotatably connected to the common arm 12 . Specifically, the common arm 12 is formed so that its shape when viewed in the vertical direction is V-shaped, and the proximal end of the distal-side arm 10 is placed on one end side of the common arm 12 constituting the V-shape. The side is connected so that rotation is possible, and the proximal end side of the distal end side arm part 11 is connected to the other distal end side of the common arm part 12 so that rotation is possible. The base end side of the common arm part 12 is connected to the main body part 8 so that rotation is possible. Specifically, the center portion (apex portion) of the common arm portion 12 constituting the V shape is connected to the main body portion 8 so that rotation is possible. A more specific configuration of the arm 7 will be described later.

핸드(5)는 핸드(6)보다 하측에 배치되어 있다. 선단측 암부(10)는, 핸드(5)보다 하측에 배치되어 있다. 선단측 암부(11)는, 핸드(6)보다 상측에 배치되어 있다. 공통 암부(12)는, 선단측 암부(10)보다 하측에 배치되어 있다. 즉, 선단측 암부(10, 11)는, 공통 암부(12)보다 상측에 배치되어 있다. 공통 암부(12)는, 본체부(8)보다 상측에 배치되어 있다.The hand 5 is disposed lower than the hand 6. The distal end side arm portion 10 is disposed below the hand 5 . The distal end side arm portion 11 is disposed above the hand 6 . The common arm portion 12 is disposed below the distal end side arm portion 10 . That is, the distal end side arms 10 and 11 are disposed above the common arm unit 12 . The common arm portion 12 is disposed above the main body portion 8 .

핸드(5, 6)는 암(7)에 연결되는 기부(14)와, 기부(14)로부터 수평 방향으로 돌출되는 포크부(15)를 구비하고 있다. 핸드(5)의 기부(14)는, 선단측 암부(10)의 선단측으로 회동 가능하게 연결되고, 핸드(6)의 기부(14)는, 선단측 암부(11)의 선단측으로 회동 가능하게 연결되어 있다. 포크부(15)는, 기부(14)에 고정되어 있다. 핸드(5)의 포크부(15)에는, 기판(2) 및 마스크(3)가 탑재된다. 즉, 핸드(5)는 기판(2)을 반송함과 함께 마스크(3)도 반송한다. 핸드(6)의 포크부(15)에는, 기판(2)이 탑재된다. 즉, 핸드(6)는 기판(2)을 반송하지만 마스크(3)는 반송하지 않는다.The hands 5 and 6 have a base 14 connected to the arm 7 and a fork 15 protruding from the base 14 in a horizontal direction. The base 14 of the hand 5 is rotatably connected to the distal end of the distal arm 10, and the base 14 of the hand 6 is rotatably connected to the distal end of the distal arm 11. has been The fork portion 15 is fixed to the base portion 14 . On the fork part 15 of the hand 5, the board|substrate 2 and the mask 3 are mounted. That is, the hand 5 conveys the mask 3 as well as the substrate 2 . On the fork part 15 of the hand 6, the board|substrate 2 is mounted. That is, the hand 6 conveys the substrate 2 but not the mask 3.

로봇(1)은 공통 암부(12)에 대하여 선단측 암부(10)을 회동시킴과 함께 선단측 암부(10)에 대하여 핸드(5)를 회동시키는 암부 구동 기구(16)와, 공통 암부(12)에 대하여 선단측 암부(11)를 회동시킴과 함께 선단측 암부(11)에 대하여 핸드(6)를 회동시키는 암부 구동 기구(17)를 구비하고 있다. 또한, 로봇(1)은, 본체부(8)에 대하여 공통 암부(12)를 회동시키는 암부 구동 기구와, 본체부(8)에 대하여 암(7)을 승강시키는 승강 기구를 구비하고 있다.The robot 1 includes an arm driving mechanism 16 that rotates the distal arm 10 relative to the common arm 12 and rotates the hand 5 relative to the distal arm 10, and the common arm 12 ) and an arm driving mechanism 17 for rotating the hand 6 relative to the distal arm 11 while rotating the distal arm 11 with respect to. Further, the robot 1 includes an arm driving mechanism for rotating the common arm 12 relative to the main body 8 and a lifting mechanism for lifting the arm 7 relative to the main body 8 .

(암의 구체적인 구성)(specific composition of cancer)

도 3은 도 1에 도시한 암(7)의 평면도이다.FIG. 3 is a plan view of the arm 7 shown in FIG. 1 .

상술한 바와 같이, 암(7)은 선단측 암부(10, 11)와 공통 암부(12)에 의해 구성되어 있다. 선단측 암부(10, 11)는, 상하 방향에서 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 타원 형상으로 됨과 함께 상하 방향의 두께가 비교적 얇은 블록상으로 형성되어 있다. 선단측 암부(10, 11)는, 중공형으로 형성되어 있다. 선단측 암부(10)의 두께(상하 방향의 두께) t1은 일정하게 되어 있고, 선단측 암부(11)의 두께(상하 방향의 두께) t2는 일정하게 되어 있다.As described above, the arm 7 is constituted by the distal side arm portions 10 and 11 and the common arm portion 12 . The distal end side arm portions 10 and 11 are formed in a block shape with a relatively thin thickness in the vertical direction while being an elongated oval shape when viewed from the vertical direction. The front end side arm parts 10 and 11 are formed in a hollow shape. The thickness (thickness in the vertical direction) t1 of the distal side arm portion 10 is constant, and the thickness (thickness in the vertical direction) t2 of the distal side arm portion 11 is constant.

공통 암부(12)는, 상술한 바와 같이, 상하 방향에서 보았을 때의 형상이 V형 상이 되도록 형성되어 있다. 공통 암부(12)는, 중공형으로 형성되어 있다. 공통 암부(12)는, 선단측 암부(10)가 회동 가능하게 연결되는 제1 공통 암부(20)와, 선단측 암부(11)가 회동 가능하게 연결되는 제2 공통 암부(21)를 구비하고 있다. 본 형태의 공통 암부(12)는, 제1 공통 암부(20)와 제2 공통 암부(21)에 의해 구성되어 있다.As described above, the common arm portion 12 is formed so that its shape when viewed from the vertical direction is V-shaped. The common arm portion 12 is formed in a hollow shape. The common arm portion 12 includes a first common arm portion 20 to which the distal side arm portion 10 is rotatably connected, and a second common arm portion 21 to which the distal side arm portion 11 is rotatably connected, there is. The common arm part 12 of this form is comprised by the 1st common arm part 20 and the 2nd common arm part 21.

제1 공통 암부(20)는, 상하 방향에서 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 타원 형상으로 됨과 함께 상하 방향의 두께가 비교적 얇은 블록상으로 형성되어 있다. 제2 공통 암부(21)는, 상하 방향에서 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 대략 직사각 형상으로 됨과 함께 상하 방향의 두께가 비교적 얇은 블록상으로 형성되어 있다. 상하 방향에서 보았을 때의 제2 공통 암부(21)의 선단의 형상은, 반원상으로 되어 있고, 상하 방향에서 보았을 때의 제2 공통 암부(21)의 기단의 형상은, 직선상으로 되어 있다. 제1 공통 암부(20)의 두께(상하 방향의 두께)는 일정하게 되어 있고, 제2 공통 암부(21)의 두께(상하 방향의 두께)는 일정하게 되어 있다. 또한, 제1 공통 암부(20)의 두께와 제2 공통 암부(21)의 두께가 동등하게 되어 있다.The 1st common arm part 20 is formed in the shape of a block with a comparatively thin thickness in the vertical direction while becoming a long and thin elliptical shape when seen from a vertical direction. The 2nd common arm part 21 is formed in the shape of a block with a relatively thin thickness in the vertical direction while being thin and long substantially rectangular shape when viewed from the vertical direction. The shape of the tip of the second common arm portion 21 when viewed from the vertical direction is semicircular, and the shape of the base end of the second common arm portion 21 when viewed from the vertical direction is straight. The thickness of the first common arm portion 20 (thickness in the vertical direction) is constant, and the thickness of the second common arm portion 21 (thickness in the vertical direction) is constant. Moreover, the thickness of the 1st common arm part 20 and the thickness of the 2nd common arm part 21 are equal.

선단측 암부(10)는 제1 공통 암부(20)의 선단측으로 회동 가능하게 연결되어 있다. 선단측 암부(11)는, 제2 공통 암부(21)의 선단측으로 회동 가능하게 연결되어 있다. 본체부(8)에는, 제1 공통 암부(20)의 기단측이 회동 가능하게 연결되어 있다. 제2 공통 암부(21)의 기단은, 제1 공통 암부(20)의 기단측에 고정되어 있다. 제1 공통 암부(20)와 제2 공통 암부(21)는, 상하 방향에 있어서 동일 위치에 배치되어 있다. 상하 방향에서 보았을 때에, 제1 공통 암부(20)와 제2 공통 암부(21)가 이루는 각도 θ는 90°로 되어 있다.The front end side arm part 10 is connected to the front end side of the 1st common arm part 20 so that rotation is possible. The distal end side arm part 11 is connected to the distal end side of the 2nd common arm part 21 so that rotation is possible. The base end side of the 1st common arm part 20 is connected to the body part 8 so that rotation is possible. The base end of the second common arm portion 21 is fixed to the base end side of the first common arm portion 20 . The 1st common arm part 20 and the 2nd common arm part 21 are arrange|positioned at the same position in the vertical direction. When viewed from the vertical direction, the angle θ between the first common arm portion 20 and the second common arm portion 21 is 90°.

도 3에 도시한 바와 같이, 본체부(8)에 대한 공통 암부(12)의 회동 중심 C1과 제1 공통 암부(20)에 대한 선단측 암부(10)의 회동 중심 C2의 수평 방향의 거리를 제1 중심간 거리 L1이라 하고, 제2 공통 암부(21)에 대한 선단측 암부(11)의 회동 중심 C3과 회동 중심 C1의 수평 방향의 거리를 제2 중심간 거리 L2라 하면, 제1 중심간 거리 L1은, 제2 중심간 거리 L2보다 짧게 되어 있다. 또한, 제1 공통 암부(20)의 길이 방향과 상하 방향에 직교하는 방향에 있어서의 제1 공통 암부(20)의 폭을 제1 공통 암폭 H1이라 하고, 제2 공통 암부(21)의 길이 방향과 상하 방향에 직교하는 방향에 있어서의 제2 공통 암부(21)의 폭을 제2 공통 암폭 H2라 하면, 제1 공통 암폭 H1은, 제2 공통 암폭 H2보다 넓게 되어 있다.As shown in FIG. 3, the distance in the horizontal direction between the center of rotation C1 of the common arm 12 with respect to the main body 8 and the center of rotation C2 of the distal end side arm 10 with respect to the first common arm 20 is If the first center-to-center distance L1 is assumed, and the distance in the horizontal direction between the rotation center C3 and the rotation center C1 of the distal end arm 11 with respect to the second common arm 21 is the second center-to-center distance L2, the first center-to-center distance L2 The distance L1 between the centers is shorter than the distance L2 between the second centers. In addition, the width of the first common arm 20 in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the first common arm 20 and the vertical direction is referred to as the first common arm width H1, and the longitudinal direction of the second common arm 21 When the width of the second common arm portion 21 in the direction orthogonal to the upper and lower directions is denoted as the second common arm width H2, the first common arm width H1 is wider than the second common arm width H2.

이와 같이, 제1 중심간 거리 L1이 제2 중심간 거리 L2보다 짧게 되고, 또한 제1 공통 암폭 H1이 제2 공통 암폭 H2보다 넓게 되어 있음과 함께, 상술한 바와 같이, 제1 공통 암부(20)의 두께와 제2 공통 암부(21)의 두께가 동등하게 되어 있고, 공통 암부(12)의, 제1 공통 암부(20)측의 강성은, 공통 암부(12)의, 제2 공통 암부(21)측의 강성보다 높게 되어 있다. 구체적으로는, 공통 암부(12)의, 회동 중심 C1과 회동 중심 C2 사이의 부분의 강성이, 공통 암부(12)의, 회동 중심 C1과 회동 중심 C3 사이의 부분의 강성보다 높게 되어 있다.In this way, while the first center-to-center distance L1 is shorter than the second center-to-center distance L2 and the first common arm width H1 is wider than the second common arm width H2, as described above, the first common arm portion 20 ) and the thickness of the second common arm 21 are equal, and the stiffness of the common arm 12 on the side of the first common arm 20 is the second common arm of the common arm 12 ( 21) is higher than the rigidity of the side. Specifically, the rigidity of the portion between the rotation center C1 and the rotation center C2 of the common arm portion 12 is higher than the stiffness of the portion between the rotation center C1 and the rotation center C3 of the common arm portion 12 .

또한, 도 3에 도시한 바와 같이, 선단측 암부(10)에 대한 핸드(5)의 회동 중심 C4와 회동 중심 C2의 수평 방향의 거리를 제3 중심간 거리 L3이라 하고, 선단측 암부(11)에 대한 핸드(6)의 회동 중심 C5와 회동 중심 C3의 수평 방향의 거리를 제4 중심간 거리 L4라 하면, 제1 중심간 거리 L1과 제3 중심간 거리 L3이 동등하게, 또한 제2 중심간 거리 L2와 제4 중심간 거리 L4가 동등하게 되어 있다. 즉, 제3 중심간 거리 L3은, 제4 중심간 거리 L4보다 짧게 되어 있다.In addition, as shown in FIG. 3, the distance in the horizontal direction between the rotation center C4 and the rotation center C2 of the hand 5 with respect to the distal arm 10 is the third center-to-center distance L3, and the distal arm 11 If the distance in the horizontal direction of the rotation center C5 and the rotation center C3 of the hand 6 for ) is the fourth center-to-center distance L4, the first center-to-center distance L1 and the third center-to-center distance L3 are equal, and the second center-to-center distance L3 is equal. The center-to-center distance L2 and the fourth center-to-center distance L4 are equal. That is, the distance L3 between the third centers is shorter than the distance L4 between the fourth centers.

또한, 선단측 암부(10)의 길이 방향과 상하 방향에 직교하는 방향에 있어서의 선단측 암부(10)의 폭을 제1 선단측 암폭 H3이라 하고, 선단측 암부(11)의 길이 방향과 상하 방향에 직교하는 방향에 있어서의 선단측 암부(11)의 폭을 제2 선단측 암폭 H4라 하면, 제1 선단측 암폭 H3은, 제2 선단측 암폭 H4보다 넓게 되어 있다. 또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 선단측 암부(10)의 두께 t1은, 선단측 암부(11)의 두께 t2보다 두껍게 되어 있다.In addition, the width of the distal arm 10 in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the distal arm 10 and the vertical direction is referred to as the first distal arm width H3, and the longitudinal direction of the distal arm 11 is up and down. If the width of the tip side arm portion 11 in the direction orthogonal to the direction is defined as the second tip side arm width H4, the first tip side arm width H3 is wider than the second tip side arm width H4. Further, as shown in FIG. 2 , the thickness t1 of the distal side arm portion 10 is thicker than the thickness t2 of the distal side arm portion 11 .

그 때문에, 선단측 암부(10)의 강성은, 선단측 암부(11)의 강성보다 높게 되어 있다. 구체적으로는, 선단측 암부(10)의, 회동 중심 C2와 회동 중심 C4 사이의 부분의 강성이, 선단측 암부(11)의, 회동 중심 C3과 회동 중심 C5 사이의 부분의 강성보다 높게 되어 있다. 또한, 본 형태에서는, 선단측 암부(10)의 길이(길이 방향의 길이)는, 선단측 암부(11)의 길이(길이 방향의 길이)보다 짧게 되어 있다.Therefore, the rigidity of the distal arm 10 is higher than that of the distal arm 11. Specifically, the rigidity of the portion between the rotation center C2 and the rotation center C4 of the distal arm portion 10 is higher than the rigidity of the portion between the rotation center C3 and rotation center C5 of the distal arm portion 11. . In addition, in this embodiment, the length (length in the longitudinal direction) of the distal side arm portion 10 is shorter than the length (length in the longitudinal direction) of the distal side arm portion 11 .

암(7)은 본체부(8)와 공통 암부(12)의 연결부인 관절부(23)로부터 핸드(5, 6)의 선단(구체적으로는, 포크부(15)의 선단)이 멀어지도록 뻗는 위치와, 핸드(5, 6)의 선단이 관절부(23)로 접근하도록 오그리는 위치 사이에서 본체부(8)에 대하여 신축 가능하게 되어 있다. 관절부(23)로부터 핸드(5)의 선단이 멀어지도록, 암(7)의, 선단측 암부(10)측의 부분이 뻗을 때에는, 암(7)의, 선단측 암부(11)측의 부분은 오그리고 있고, 관절부(23)로부터 핸드(6)의 선단이 멀어지도록, 암(7)의, 선단측 암부(11)측의 부분이 뻗을 때에는, 암(7)의, 선단측 암부(10)측의 부분은 오그리고 있다. 본체부(8)에 대하여 암(7)이 신축할 때에는, 핸드(5, 6)는, 본체부(8)에 대하여 일정 방향을 향한 상태에서 수평 방향으로 직선적으로 이동한다.The arm 7 extends so that the tips of the hands 5 and 6 (specifically, the tips of the fork 15) are away from the joint portion 23, which is the connection portion between the body portion 8 and the common arm portion 12. And, between the positions where the ends of the hands 5 and 6 are crouched so as to approach the joint portion 23, the body portion 8 can be stretched and contracted. When the portion of the arm 7 on the distal arm portion 10 side extends so that the tip of the hand 5 moves away from the joint portion 23, the portion of the arm 7 on the distal arm portion 11 side extends When the part on the distal arm 11 side of the arm 7 is extended so that the distal end of the hand 6 moves away from the joint 23, the distal arm 10 of the arm 7 The part of the side is curled up. When the arm 7 expands and contracts with respect to the body portion 8, the hands 5 and 6 linearly move in a horizontal direction with respect to the body portion 8 in a state in which they are oriented in a certain direction.

(본 형태의 주된 효과)(Main effect of this form)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 제1 중심간 거리 L1이 제2 중심간 거리 L2보다 짧게 되어 있음과 함께, 제1 공통 암폭 H1이 제2 공통 암폭 H2보다 넓게 되어 있고, 공통 암부(12)의 제1 공통 암부(20)측의 강성이, 공통 암부(12)의 제2 공통 암부(21)측의 강성보다 높게 되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 제1 공통 암부(20), 선단측 암부(10) 및 핸드(5)를 사용해서 중량이 무거운 마스크(3)를 반송하는 것이 가능해진다.As explained above, in this form, while the 1st center-to-center distance L1 is shorter than the 2nd center-to-center distance L2, the 1st common arm width H1 is wider than the 2nd common arm width H2, and the common arm part 12 The rigidity on the side of the first common arm 20 is higher than that on the side of the second common arm 21 of the common arm 12 . Therefore, in this form, it becomes possible to convey the heavy mask 3 using the 1st common arm part 20, the front-end side arm part 10, and the hand 5.

또한, 본 형태에서는, 공통 암부(12)의 제2 공통 암부(21)측의 강성이 공통 암부(12)의 제1 공통 암부(20)측의 강성보다 낮게 되어 있기 때문에, 제2 공통 암부(21), 선단측 암부(11) 및 핸드(6)를 사용해서 마스크(3)를 반송하는 것은 곤란하지만, 중량이 가벼운 기판(2)이면, 제2 공통 암부(21), 선단측 암부(11) 및 핸드(6)를 사용해서 기판(2)을 반송하는 것은 가능하다. 즉, 본 형태에서는, 2개의 핸드(5, 6)를 사용해서 기판(2)을 반송하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태의 로봇(1)에서는, 중량이 가벼운 기판(2)을 효율적으로 반송하는 것이 가능해진다.In addition, in this embodiment, since the rigidity of the common arm 12 on the side of the second common arm 21 is lower than the rigidity of the common arm 12 on the side of the first common arm 20, the second common arm ( 21), it is difficult to transport the mask 3 using the front arm 11 and the hand 6, but for the substrate 2 having a light weight, the second common arm 21 and the front arm 11 ) and the hand 6 to convey the substrate 2. That is, in this form, it becomes possible to convey the board|substrate 2 using the two hands 5 and 6. Therefore, in the robot 1 of this embodiment, it becomes possible to efficiently convey the substrate 2 having a light weight.

또한, 본 형태에서는, 공통 암부(12)의 제2 공통 암부(21)측의 강성이 공통 암부(12)의 제1 공통 암부(20)측의 강성과 동등하게 되어 있는 경우와 비교하여, 로봇(1)의 비용을 저감하는 것이 가능해진다. 즉, 본 형태의 로봇(1)에서는, 중량이 무거운 마스크(3)를 반송하는 것이 가능함과 함께, 중량이 가벼운 기판(2)을 효율적으로 반송하는 것이 가능해도, 로봇(1)의 비용을 저감하는 것이 가능해진다.Further, in this embodiment, compared with the case where the rigidity of the common arm 12 on the side of the second common arm 21 is equal to the rigidity of the common arm 12 on the side of the first common arm 20, the robot It becomes possible to reduce the cost of (1). That is, in the robot 1 of this embodiment, while being able to transport the heavy mask 3, even if it is possible to efficiently transport the light substrate 2, the cost of the robot 1 is reduced. it becomes possible to do

본 형태에서는, 제3 중심간 거리 L3이 제4 중심간 거리 L4보다 짧게 되어 있고, 또한 제1 선단측 암폭 H3이 제2 선단측 암폭 H4보다 넓게 되어 있음과 함께, 선단측 암부(10)의 두께 t1이 선단측 암부(11)의 두께 t2보다 두껍게 되어 있고, 선단측 암부(10)의 강성이 선단측 암부(11)의 강성보다 높게 되어 있다. 즉, 본 형태에서는, 제1 공통 암부(20)에 연결되는 선단측 암부(10)의 강성이 높게 되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 제1 공통 암부(20), 선단측 암부(10) 및 핸드(5)를 사용해서 보다 무거운 마스크(3)를 반송하는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 선단측 암부(11)의 강성이 선단측 암부(10)의 강성과 동등하게 되어 있는 경우와 비교해서, 로봇(1)의 비용을 저감하는 것이 가능해진다.In this embodiment, while the third center-to-center distance L3 is shorter than the fourth center-to-center distance L4, and the first tip side arm width H3 is wider than the second tip side arm width H4, the tip side arm portion 10 The thickness t1 is thicker than the thickness t2 of the distal arm 11, and the rigidity of the distal arm 10 is higher than that of the distal arm 11. That is, in this form, the rigidity of the distal end side arm part 10 connected to the 1st common arm part 20 is high. Therefore, in this form, it becomes possible to convey the heavier mask 3 using the 1st common arm part 20, the front-end side arm part 10, and the hand 5. Further, in this embodiment, it is possible to reduce the cost of the robot 1 compared to the case where the rigidity of the distal arm 11 is equal to that of the distal arm 10.

본 형태에서는, 본체부(8)에, 제1 공통 암부(20)의 기단측이 회동 가능하게 연결되고, 제2 공통 암부(21)의 기단은, 제1 공통 암부(20)의 기단측에 고정되어 있다. 예를 들어, 본체부(8)에 회동 가능하게 연결되는 부재를 공통 암부(12)가 구비하고 있고, 이 부재에 제1 공통 암부(20)의 기단 및 제2 공통 암부(21)의 기단이 고정되어 있는 경우(즉, 소정의 부재를 통하여 제1 공통 암부(20)가 본체부(8)에 연결되어 있는 경우)에는, 이 부재에 대하여 제1 공통 암부(20)가 고정된 부분의 강성이 저하될 우려가 있지만, 본 형태에서는, 제1 공통 암부(20)가 본체부(8)에 직접 연결되어 있기 때문에, 이러한 문제는 발생하지 않는다.In this embodiment, the base end side of the 1st common arm part 20 is rotatably connected to the main body part 8, and the base end of the 2nd common arm part 21 is connected to the base end side of the 1st common arm part 20. It is fixed. For example, the common arm part 12 is equipped with a member connected to the body part 8 so that rotation is possible, and the base end of the 1st common arm part 20 and the base end of the 2nd common arm part 21 are equipped with this member. When it is fixed (that is, when the first common arm 20 is connected to the main body 8 through a predetermined member), the rigidity of the portion where the first common arm 20 is fixed with respect to this member Although there is a fear of this decrease, in this embodiment, since the first common arm portion 20 is directly connected to the main body portion 8, such a problem does not occur.

본 형태에서는, 상하 방향에서 보았을 때에, 제1 공통 암부(20)와 제2 공통 암부(21)가 이루는 각도 θ는 90°로 되어 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 각도θ가 예각이나 둔각으로 되어 있는 경우와 비교하여, 제1 공통 암부(20) 및 제2 공통 암부(21)의 구성을 간소화하여, 제2 공통 암부(21)의 기단을 제1 공통 암부(20)의 기단측에 용이하게 고정하는 것이 가능해진다.In this embodiment, when viewed from the vertical direction, the angle θ formed between the first common arm portion 20 and the second common arm portion 21 is 90°. Therefore, in this embodiment, compared to the case where the angle θ is an acute angle or an obtuse angle, the configuration of the first common arm portion 20 and the second common arm portion 21 is simplified, and the second common arm portion 21 It becomes possible to easily fix the base end to the base end side of the 1st common arm part 20.

(산업용 로봇의 변경예)(Example of modification of industrial robot)

도 4는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 로봇(1)의 평면도이다.4 is a plan view of a robot 1 according to another embodiment of the present invention.

상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은, 도 4에 도시한 바와 같이, 암(7)의 기단측이 회동 가능하게 연결됨과 함께 본체부(8)에 회동 가능하게 연결되는 스윙 암(25)을 구비하고 있어도 된다. 도 4에 도시한 변경예에서는, 스윙 암(25)은 암(7)의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 암 지지부로 되어 있다. 스윙 암(25)은, 상하 방향에서 보았을 때의 형상이 가늘고 긴 타원 형상으로 됨과 함께 상하 방향의 두께가 비교적 얇은 블록상으로 형성되어 있다. 암(7)의 기단측은, 스윙 암(25)의 선단측에 연결되어 있다. 본체부(8)에는, 스윙 암(25)의 기단측이 연결되어 있다.In the form described above, as shown in FIG. 4 , the robot 1 includes a swing arm 25 rotatably connected to the main body 8 while the proximal end side of the arm 7 is rotatably connected. may be provided. In the modified example shown in FIG. 4, the swing arm 25 is an arm support part to which the proximal end side of the arm 7 is rotatably connected. The swing arm 25 is formed in a block shape with a relatively thin thickness in the vertical direction while being an elongated oval shape when viewed from the vertical direction. The proximal end side of arm 7 is connected to the distal end side of swing arm 25 . The proximal end side of the swing arm 25 is connected to the body portion 8 .

스윙 암(25)은, 암(7)보다 하측에 배치됨과 함께 본체부(8)보다 상측에 배치되어 있다. 암(7)은, 상하 방향을 회동의 축방향으로 하여 스윙 암(25)에 대하여 회동 가능하게 되어 있다. 스윙 암(25)은, 상하 방향을 회동의 축방향으로 하여 본체부(8)에 대하여 회동 가능하게 되어 있다. 로봇(1)은, 스윙 암(25)에 대하여 공통 암부(12)를 회동시키는 암부 구동 기구와, 본체부(8)에 대하여 스윙 암(25)을 회동시키는 암부 구동 기구와, 본체부(8)에 대하여 스윙 암(25)을 승강시키는 승강 기구를 구비하고 있다.The swing arm 25 is disposed below the arm 7 and above the main body 8 . The arm 7 can rotate with respect to the swing arm 25 with the vertical direction as the axial direction of rotation. The swing arm 25 is rotatable with respect to the body portion 8 with the vertical direction as the axial direction of rotation. The robot 1 includes an arm driving mechanism for rotating the common arm 12 with respect to a swing arm 25, an arm driving mechanism for rotating the swing arm 25 with respect to a main body 8, and a main body 8 ) is provided with a lifting mechanism for lifting the swing arm 25 with respect to.

(다른 실시 형태)(another embodiment)

상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만, 이것에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 여러 가지 변형 실시가 가능하다.Although the form mentioned above is an example of the suitable form of this invention, it is not limited to this, In the range which does not change the summary of this invention, various modified implementation is possible.

상술한 형태에 있어서, 제1 공통 암부(20)의 두께가 제2 공통 암부(21)의 두께보다 두껍게 되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 제1 중심간 거리 L1이 제2 중심간 거리 L2보다 짧게 되어 있고, 공통 암부(12)의 제1 공통 암부(20)측의 강성이 공통 암부(12)의 제2 공통 암부(21)측의 강성보다 높게 되어 있는 것이면, 제1 공통 암폭 H1과 제2 공통 암폭 H2가 동등하게 되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 제1 공통 암폭 H1이 제2 공통 암폭 H2보다 넓게 되어 있고, 공통 암부(12)의 제1 공통 암부(20)측의 강성이 공통 암부(12)의 제2 공통 암부(21)측의 강성보다 높게 되어 있는 것이면, 제1 중심간 거리 L1과 제2 중심간 거리 L2가 동등하게 되어 있어도 된다.In the aspect described above, the thickness of the first common arm portion 20 may be thicker than the thickness of the second common arm portion 21 . Further, in the aspect described above, the first center-to-center distance L1 is shorter than the second center-to-center distance L2, and the stiffness of the common arm portion 12 on the side of the first common arm portion 20 is the first of the common arm portion 12. The first common arm width H1 and the second common arm width H2 may be equal to each other as long as the rigidity on the side of the two common arms 21 is higher. Further, in the above-described aspect, the first common arm width H1 is wider than the second common arm width H2, and the rigidity of the common arm portion 12 on the side of the first common arm portion 20 is the second common arm portion 12 of the common arm portion 12. As long as it is made higher than the rigidity of the arm part 21 side, 1st center-to-center distance L1 and 2nd center-to-center distance L2 may be equal.

즉, 적어도, 제1 중심간 거리 L1이 제2 중심간 거리 L2보다 짧게 되어 있거나, 또는 제1 공통 암폭 H1이 제2 공통 암폭 H2보다 넓게 되어 있고, 공통 암부(12)의 제1 공통 암부(20)측의 강성이 공통 암부(12)의 제2 공통 암부(21)측의 강성보다 높게 되어 있으면 된다. 단, 상술한 형태와 같이, 제1 중심간 거리 L1이 제2 중심간 거리 L2보다 짧게 되어 있음과 함께, 제1 공통 암폭 H1이 제2 공통 암폭 H2보다 넓게 되어 있으면, 공통 암부(12)의 제1 공통 암부(20)측의 강성을 보다 높이는 것이 가능해진다. 그 때문에, 상술한 형태에서는, 제1 공통 암부(20), 선단측 암부(10) 및 핸드(5)를 사용해서 보다 무거운 마스크(3)를 반송하는 것이 가능해진다.That is, at least the first center-to-center distance L1 is shorter than the second center-to-center distance L2, or the first common arm width H1 is wider than the second common arm width H2, and the first common arm portion of the common arm portion 12 ( 20) side, it is only necessary to make it higher than the stiffness of the second common arm portion 21 side of the common arm portion 12. However, as in the form described above, when the first center-to-center distance L1 is shorter than the second center-to-center distance L2 and the first common arm width H1 is wider than the second common arm width H2, the common arm portion 12 It becomes possible to further increase the rigidity of the first common arm portion 20 side. Therefore, in the form mentioned above, it becomes possible to convey the heavier mask 3 using the 1st common arm part 20, the front-end side arm part 10, and the hand 5.

상술한 형태에 있어서, 선단측 암부(10)의 강성이 선단측 암부(11)의 강성보다 높게 되어 있는 것이면, 제3 중심간 거리 L3과 제4 중심간 거리 L4가 동등하게 되어 있어도 되고, 제1 선단측 암폭 H3과 제2 선단측 암폭 H4가 동등하게 되어 있어도 되고, 선단측 암부(10)의 두께 t1과 선단측 암부(11)의 두께 t2가 동등하게 되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 선단측 암부(11)의 강성이 선단측 암부(10)의 강성과 동등하게 되어 있어도 된다.In the form described above, as long as the rigidity of the distal arm 10 is higher than that of the distal arm 11, the third center-to-center distance L3 and the fourth center-to-center distance L4 may be equal, and 1 tip side arm width H3 and 2nd tip side arm width H4 may be made equal, and the thickness t1 of the tip side arm part 10 and the thickness t2 of the tip side arm part 11 may be made equal. Moreover, in the form mentioned above, the rigidity of the front-side arm part 11 may be equal to the rigidity of the front-side arm part 10.

상술한 형태에 있어서, 공통 암부(12)는, 본체부(8)에 회동 가능하게 연결되는 암 기부를 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 예를 들어 제1 공통 암부(20)의 기단 및 제2 공통 암부(21)의 기단이 이 암 기부에 고정되어 있다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 상하 방향에서 보았을 때에, 제1 공통 암부(20)와 제2 공통 암부(21)가 이루는 각도 θ는, 둔각으로 되어 있어도 되고, 예각으로 되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 기판(2) 및 마스크(3) 이외의 반송 대상물이 핸드(5)에 의해 반송되어도 되고, 기판(2) 이외의 반송 대상물이 핸드(6)에 의해 반송되어도 된다.In the aspect mentioned above, the common arm part 12 may be provided with the arm base part connected to the main body part 8 so that rotation is possible. In this case, the base end of the 1st common arm part 20 and the base end of the 2nd common arm part 21 are fixed to this arm base, for example. Further, in the aspect described above, when viewed from the vertical direction, the angle θ formed by the first common arm portion 20 and the second common arm portion 21 may be an obtuse angle or an acute angle. In addition, in the aspect described above, the transfer target other than the substrate 2 and the mask 3 may be transported by the hand 5, or the transfer target other than the substrate 2 may be transported by the hand 6. .

1: 로봇(산업용 로봇)
2: 기판(유리 기판, 반송 대상물)
3: 마스크(반송 대상물)
5: 핸드(제1 핸드)
6: 핸드(제2 핸드)
7: 암
8: 본체부(암 지지부)
10: 선단측 암부(제1 선단측 암부)
11: 선단측 암부(제2 선단측 암부)
12: 공통 암부
20: 제1 공통 암부
21: 제2 공통 암부
25: 스윙 암(암 지지부)
C1: 암 지지부에 대한 공통 암부의 회동 중심
C2: 제1 공통 암부에 대한 제1 선단측 암부의 회동 중심
C3: 제2 공통 암부에 대한 제2 선단측 암부의 회동 중심
C4: 제1 선단측 암부에 대한 제1 핸드의 회동 중심
C5: 제2 선단측 암부에 대한 제2 핸드의 회동 중심
L1: 제1 중심간 거리
L2: 제2 중심간 거리
L3: 제3 중심간 거리
L4: 제4 중심간 거리
H1: 제1 공통 암폭
H2: 제2 공통 암폭
H3: 제1 선단측 암폭
H4: 제2 선단측 암폭
t1: 제1 선단측 암부의 상하 방향의 두께
t2: 제2 선단측 암부의 상하 방향의 두께
θ: 제1 공통 암부와 제2 공통 암부가 이루는 각도1: robots (industrial robots)
2: Substrate (glass substrate, object to be conveyed)
3: Mask (conveyance object)
5: hand (first hand)
6: hand (second hand)
7: cancer
8: body part (arm support part)
10: distal side arm portion (first distal side arm portion)
11: distal side arm (second distal side arm)
12: common dark part
20: first common arm portion
21: second common arm portion
25: swing arm (arm support)
C1: center of rotation of the common arm relative to the arm support
C2: center of rotation of the first distal side arm with respect to the first common arm
C3: center of rotation of the second distal side arm with respect to the second common arm
C4: center of rotation of the first hand with respect to the first distal side arm
C5: center of rotation of the second hand relative to the second distal arm
L1: distance between first centers
L2: Second center-to-center distance
L3: third center-to-centre distance
L4: fourth center-to-centre distance
H1: first common arm width
H2: second common arm width
H3: first front end arm width
H4: 2nd tip side arm width
t1: thickness of the first distal side arm in the vertical direction
t2: thickness of the second distal side arm in the vertical direction
θ: angle formed by the first common arm and the second common arm

Claims

A first hand and a second hand on which an object to be conveyed is mounted, an arm in which the first hand and the second hand are rotatably connected to the tip side with the vertical direction as the axial direction of rotation, and the vertical direction as the axial direction of rotation To provide an arm support to which the proximal side of the arm is rotatably connected,
The arm includes a first distal arm portion to which the first hand is rotatably connected to the distal end side, and a second distal arm portion to which the second hand is rotatably connected to the distal side side, and the up and down direction is an axial direction of rotation. A proximal end of the first distal arm and a proximal end of the second distal arm are rotatably connected and a common arm rotatably connected to the arm support,
The common arm portion includes a first common arm portion to which the first distal arm portion is rotatably connected to the distal end side, and a second common arm portion to which the second distal side arm portion is rotatably connected to the distal side side,
A distance in a horizontal direction between a center of rotation of the common arm with respect to the arm support and a center of rotation of the first distal arm with respect to the first common arm is referred to as a first center-to-center distance, and the common arm with respect to the arm supports. The distance in the horizontal direction between the center of rotation of and the center of rotation of the second distal side arm with respect to the second common arm is referred to as a second center-to-center distance, and in a direction orthogonal to the vertical direction and the vertical direction of the first common arm. If the width of the first common arm in the first common arm width is the first common arm width and the width of the second common arm in the direction orthogonal to the longitudinal direction and the vertical direction of the second common arm is the second common arm width,
At least, the first center-to-center distance is shorter than the second center-to-center distance, or the first common arm width is wider than the second common arm width, and the rigidity of the common arm portion on the side of the first common arm portion is The industrial robot characterized in that the rigidity of the common arm portion is higher than that of the second common arm side.

According to claim 1,
The industrial robot characterized in that the first center-to-center distance is shorter than the second center-to-center distance, and the first common arm width is wider than the second common arm width.

According to claim 1 or 2,
A horizontal distance between the center of rotation of the first distal arm with respect to the first common arm and the center of rotation of the first hand with respect to the first distal arm is a third center-to-center distance, and If the distance in the horizontal direction between the center of rotation of the second distal arm with respect to the arm and the center of rotation of the second hand with respect to the second distal arm is the fourth center-to-center distance,
The first center-to-center distance is shorter than the second center-to-center distance,
The first center-to-center distance and the third center-to-center distance are equal, and the second center-to-center distance is equal to the fourth center-to-center distance, and the rigidity of the first tip-side arm is the second tip-side distance An industrial robot characterized in that the rigidity of the side arm portion is higher.

According to claim 1 or 2,
The width of the first distal arm in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the first distal arm and the vertical direction is referred to as the first distal arm width, and is perpendicular to the longitudinal direction of the second distal arm in the vertical direction. If the width of the second distal arm portion in the direction is referred to as the second distal arm width,
The first arm width is wider than the second arm width, and the rigidity of the first arm portion is higher than that of the second arm portion.

According to claim 1 or 2,
The thickness of the first distal arm portion in the vertical direction is greater than the thickness of the second distal arm portion in the vertical direction, and the rigidity of the first distal arm portion is higher than that of the second distal arm portion. An industrial robot characterized in that.

According to claim 1 or 2,
The proximal end of the first common arm is rotatably connected to the arm support,
The industrial robot characterized in that the base end of the second common arm is fixed to the base end of the first common arm.

According to claim 6,
An industrial robot characterized in that, when viewed from a vertical direction, an angle formed by the first common arm portion and the second common arm portion is 90°.