KR20130038154A - Transfer robot and vacuum apparatus - Google Patents

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다카히로 요시노
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가부시키가이샤 알박
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Abstract

PURPOSE: A transfer robot and a vacuum apparatus are provided to improve throughput and lower the height of the transfer robot and the vacuum apparatus. CONSTITUTION: An upper transfer device includes a first upper driving arm(21) fixed by a first driving shaft(11) and a second driving shaft(12); and a second upper driving arm(22). The upper transfer device has an upper transfer module(43,44) formed in the end part of a fifth upper driving arm. A lower transfer device includes a first lower driving arm fixed by the second driving shaft and a third driving shaft(13); and a second lower driving arm(52). The lower transfer device has a lower transfer module(73,74) formed in the end part of a fifth driving arm. The upper transfer device includes a first upper parallel crank tool(4) and a second upper parallel crank tool(5). The lower transfer device includes a first lower parallel crank tool(6) and a second lower parallel crank tool(7).

Description

반송 로봇 및 진공 장치{TRANSFER ROBOT AND VACUUM APPARATUS}TRANSFER ROBOT AND VACUUM APPARATUS}

본 발명은, 예를 들어 기판 등의 반송물을 반송하는 반송 장치에 관한 것으로, 반도체 제조 장치 등에 있어서의 진공 장치에 적합한 반송 로봇의 기술에 관한 것이다. TECHNICAL FIELD This invention relates to the conveying apparatus which conveys conveyed objects, such as a board | substrate, for example, and relates to the technique of the conveyance robot suitable for the vacuum apparatus in a semiconductor manufacturing apparatus.

종래, 이 종류의 반송 로봇으로는, 스루풋을 향상시키기 위해, 기판 재치 (載置) 부를 각각 갖는 두 개의 반송 기구를 형성한 것이 알려져 있다. Conventionally, as this kind of transfer robot, in order to improve throughput, what provided the two transfer mechanisms which respectively have a board | substrate mounting part is known.

그러나, 반송 기구를 두 개 형성하는 경우에는, 반송 기구끼리의 접촉을 피하기 위해서 반송 기구를 상하로 배치할 필요가 있고, 그 결과, 반송 로봇을 배치하는 진공 장치의 높이가 높아진다는 문제가 있다. However, in the case of forming two transfer mechanisms, it is necessary to arrange the transfer mechanisms up and down in order to avoid contact between the transfer mechanisms, and as a result, there is a problem that the height of the vacuum device in which the transfer robots are placed increases.

본 발명은, 이와 같은 종래 기술의 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 복수의 반송 기구를 갖는 반송 로봇에 있어서, 스루풋을 향상시킴과 함께, 반송 로봇 및 이것을 배치하는 진공 장치의 높이를 낮게 억제하는 기술을 제공하는 것에 있다. This invention is made | formed in order to solve such a subject of the prior art, The objective is the conveyance robot which has a some conveyance mechanism, while improving a throughput, and carrying a robot and the vacuum apparatus which arrange | positions this It is to provide a technique for suppressing the height of.

상기 목적을 달성하기 위해서 이루어진 본 발명은, 소정의 회전축을 중심으로 하여 수평면 내에서 회전 가능하게 형성된 제 1, 제 2 및 제 3 구동축과, 상기 제 1 구동축에 고정된 제 1 상측 구동 아암과, 상기 제 1 상측 구동 아암의 하방에 있어서 상기 제 2 구동축에 고정된 제 2 상측 구동 아암과, 상기 제 1 및 제 2 상측 구동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 1 상측 종동 (從動) 아암 및 제 2 상측 종동 아암으로 이루어지는 제 1 상측 평행 크랭크 기구와, 상기 제 2 상측 종동 아암과, 당해 제 2 상측 종동 아암의 양 단부에 있어서 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 3 상측 종동 아암 및 제 4 상측 종동 아암과, 당해 제 3 상측 종동 및 제 4 상측 종동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 5 상측 종동 아암으로 이루어지는 제 2 상측 평행 크랭크 기구와, 상기 제 5 상측 종동 아암의 선단부에 장착된 상측 반송부를 갖는 상측 반송 기구와, 상기 제 2 상측 구동 아암의 하방에 있어서 상기 제 3 구동축에 고정된 제 1 하측 구동 아암과, 상기 제 2 상측 구동 아암의 하측에서 또한 상기 제 1 하측 구동 아암의 상측에 있어서 상기 제 2 구동축에 상기 제 2 상측 구동 아암에 대해 소정 각도로 고정된 제 2 하측 구동 아암과, 상기 제 1 및 제 2 하측 구동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 1 하측 종동 아암 및 제 2 하측 종동 아암으로 이루어지는 제 1 하측 평행 크랭크 기구와, 상기 제 2 하측 종동 아암과, 당해 제 2 하측 종동 아암의 양 단부에 있어서 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 3 하측 종동 아암 및 제 4 하측 종동 아암과, 당해 제 3 하측 종동 아암 및 제 4 하측 종동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 5 하측 종동 아암으로 이루어지는 제 2 하측 평행 크랭크 기구와, 상기 제 5 종동 아암의 선단부에 장착된 하측 반송부를 갖는 하측 반송 기구를 갖는 반송 로봇이다. The present invention made to achieve the above object, the first, second and third drive shaft formed to be rotatable in a horizontal plane around a predetermined rotation axis, the first upper drive arm fixed to the first drive shaft, A second upper drive arm fixed to the second drive shaft below the first upper drive arm and a first upper follower rotatably connected in a horizontal plane to the distal ends of the first and second upper drive arms, respectively; A third upper driven crank mechanism comprising an arm and a second upper driven arm, and a third upper driven rotatably connected in a horizontal plane at both ends of the second upper driven arm and the second upper driven arm, respectively. The arm and the fourth upper driven arm and the distal end portions of the third upper driven and fourth upper driven arm are rotatably connected in the horizontal plane, respectively. An upper conveying mechanism having a second upper parallel crank mechanism composed of the fifth upper driven arm, an upper conveying unit attached to the distal end of the fifth upper driven arm, and the third driving shaft below the second upper driving arm. A first lower drive arm fixed to the second lower side of the second upper drive arm and a second angle fixed to the second drive shaft at a predetermined angle with respect to the second upper drive arm at the upper side of the first lower drive arm. A first lower parallel crank mechanism comprising a lower driving arm, a first lower driven arm and a second lower driven arm rotatably connected in a horizontal plane to the front ends of the first and second lower driving arms, respectively, and the second lower side Third lower longitudinally rotatably connected in a horizontal plane at both ends of the driven arm and the second lower driven arm; A second lower parallel crank mechanism comprising an arm and a fourth lower driven arm, and a fifth lower driven arm rotatably connected in a horizontal plane to a distal end portion of the third lower driven arm and the fourth lower driven arm, respectively, and the fifth It is a conveyance robot which has a lower conveyance mechanism which has a lower conveyance part attached to the front-end | tip part of a driven arm.

본 발명에서는, 상기 하측 반송부가, 상기 상측 반송 기구의 제 2 상측 평행 크랭크 기구와, 상기 하측 반송 기구의 제 1 하측 평행 크랭크 기구 사이의 높이 위치에 형성되어 있는 경우에도 효과적이다. In this invention, it is effective also when the said lower conveyance part is formed in the height position between the 2nd upper parallel crank mechanism of the said upper conveyance mechanism, and the 1st lower parallel crank mechanism of the said lower conveyance mechanism.

본 발명에서는, 상기 상측 반송부 및 상기 하측 반송부가, 각각 두 개의 재치부를 가지고 있는 경우에도 효과적이다. In this invention, it is effective also when the said upper conveyance part and the said lower conveyance part have two mounting parts, respectively.

또, 본 발명은, 진공조와, 상기 진공조 내에 형성된, 상기 서술한 어느 반송 로봇을 갖는 진공 장치이다. Moreover, this invention is a vacuum apparatus which has a vacuum chamber and any of the above-mentioned transfer robots formed in the said vacuum chamber.

본 발명의 경우, 제 1 및 제 2 구동축에 고정된 제 1 및 제 2 상측 구동 아암에 의해 구성되는 상측 반송 기구와, 제 2 및 제 3 구동축에 고정된 제 1 및 제 2 하측 구동 아암에 의해 구성되는 하측 반송 기구를 갖고, 이들 제 1, 제 2 및 제 3 구동축은 동심상으로 형성되어 있는 점에서, 상측 반송 기구와 하측 반송 기구를 회전축에 대해 각각 측방에 배치하여 동작시킬 수 있고, 이로써 상측 반송 기구의 상측 반송부와 하측 반송 기구의 하측 반송부에 의해 복수의 반송물을 동시에 반송시킴으로써 스루풋을 향상시킴과 함께, 반송 로봇 및 이것을 배치하는 진공 장치의 높이를 낮게 억제할 수 있다. 또, 큰 진공조 내에 있어서 반송물을 반송하는 것도 가능해진다. In the present invention, the upper conveying mechanism constituted by the first and second upper drive arms fixed to the first and second drive shafts, and the first and second lower drive arms fixed to the second and third drive shafts. Since it has a lower conveyance mechanism comprised, these 1st, 2nd, and 3rd drive shafts are formed concentrically, and the upper conveyance mechanism and the lower conveyance mechanism can be arrange | positioned with respect to a rotating shaft, respectively, and can operate, thereby By simultaneously conveying a plurality of conveyed objects by the upper conveying part of the upper conveying mechanism and the lower conveying part of the lower conveying mechanism, the throughput can be improved, and the height of the conveying robot and the vacuum device in which the conveying device can be kept low. Moreover, it becomes possible to convey a conveyed object in a big vacuum chamber.

본 발명에 의하면, 복수의 반송 기구를 갖는 반송 로봇에 있어서, 스루풋을 향상시킴과 함께, 반송 로봇 및 이것을 배치하는 진공 장치의 높이를 낮게 억제하는 기술을 제공하는 것에 있다. According to the present invention, in a transfer robot having a plurality of transfer mechanisms, it is possible to improve the throughput and to provide a technique for suppressing the height of the transfer robot and the vacuum device in which the transfer robot is placed.

또, 반송물의 반송시에 있어서의 진동을 가능한 한 줄일 수 있다. Moreover, the vibration at the time of conveyance of a conveyed material can be reduced as much as possible.

도 1(a) 는, 본 발명에 관련된 반송 로봇의 실시형태의 구성을 나타내는 평면도, 도 1(b) 는, 동 반송 로봇의 구성을 나타내는 정면도
도 2 는, 제 1～제 3 구동축의 구성을 나타내는 단면도
도 3 은, 동 반송 로봇의 상측 반송 기구를 나타내는 평면도
도 4 는, 동 반송 로봇의 하측 반송 기구를 나타내는 평면도
도 5 는, 동 반송 로봇의 상측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 1)
도 6 은, 동 반송 로봇의 상측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 2)
도 7 은, 동 반송 로봇의 상측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 3)
도 8 은, 동 반송 로봇의 상측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 4)
도 9 는, 동 반송 로봇의 상측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 5)
도 10 은, 동 반송 로봇의 상측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 6)
도 11 은, 동 반송 로봇의 하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 1)
도 12 는, 동 반송 로봇의 하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 2)
도 13 은, 동 반송 로봇의 하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 3)
도 14 는, 동 반송 로봇의 하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 4)
도 15 는, 동 반송 로봇의 하측 반송 기구의 신장 동작을 나타내는 평면도 (그 5)1 (a) is a plan view showing the configuration of an embodiment of a transfer robot according to the present invention, and FIG. 1 (b) is a front view showing the configuration of the transfer robot.
2 is a cross-sectional view showing the configuration of the first to third drive shafts.
3 is a plan view illustrating an upper transfer mechanism of the transfer robot.
4 is a plan view illustrating a lower transfer mechanism of the transfer robot.
5 is a plan view (1) showing the stretching operation of the upper transfer mechanism of the transfer robot;
Fig. 6 is a plan view showing the stretching operation of the upper transfer mechanism of the transfer robot (No. 2).
7 is a plan view (3) showing the stretching operation of the upper transfer mechanism of the transfer robot;
8 is a plan view (4) showing the stretching operation of the upper transfer mechanism of the transfer robot;
9 is a plan view (5) showing the stretching operation of the upper transfer mechanism of the transfer robot;
Fig. 10 is a plan view showing the stretching operation of the upper transfer mechanism of the transfer robot (No. 6).
11 is a plan view (1) showing the stretching operation of the lower transfer mechanism of the transfer robot.
12 is a plan view showing the stretching operation of the lower transfer mechanism of the transfer robot (No. 2)
Fig. 13 is a plan view (3) showing the stretching operation of the lower transfer mechanism of the transfer robot;
14 is a plan view (4) showing the stretching operation of the lower transfer mechanism of the transfer robot;
Fig. 15 is a plan view (5) showing the stretching operation of the lower transfer mechanism of the transfer robot.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiment of this invention is described in detail with reference to drawings.

도 1(a) 는, 본 발명에 관련된 반송 로봇의 실시형태의 구성을 나타내는 평면도, 도 1(b) 는, 동 반송 로봇의 구성을 나타내는 정면도이다. FIG.1 (a) is a top view which shows the structure of embodiment of the conveyance robot concerning this invention, and FIG.1 (b) is a front view which shows the structure of the said conveyance robot.

도 2 는, 제 1～제 3 구동축의 구성을 나타내는 단면도이다. 도 3 은, 동 반송 로봇의 상측 반송 기구를 나타내는 평면도, 도 4 는, 동 반송 로봇의 하측 반송 기구를 나타내는 평면도이다. 2 is a cross-sectional view showing the configuration of the first to third drive shafts. 3 is a plan view illustrating an upper transfer mechanism of the transfer robot, and FIG. 4 is a plan view illustrating the lower transfer mechanism of the transfer robot.

도 1(a) 에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 반송 로봇 (1) 은, 예를 들어 진공조 (도시 생략) 내에 있어서 반송물인 기판 (10) 의 반송을 실시하는 것으로, 도 3 에 나타내는 상측 반송 기구 (1A) 와, 도 4 에 나타내는 하측 반송 기구 (1B) 를 가지고 있다. As shown to Fig.1 (a), the conveyance robot 1 of this invention conveys the board | substrate 10 which is a conveyed object in a vacuum chamber (not shown), for example, and conveys it upwards shown in FIG. It has the mechanism 1A and the lower conveyance mechanism 1B shown in FIG.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에서는, 독립된 구동원 (도시 생략) 으로부터 각각 시계 회전 방향 또는 반시계 회전 방향의 회전 동력이 전달되는 동심상의 제 1, 제 2 및 제 3 구동축 (11, 12, 13) 을 가지고 있다. As shown in FIG. 2, in the present embodiment, concentric first, second and third drive shafts 11, 12, in which rotational power in clockwise or counterclockwise directions are transmitted from independent drive sources (not shown), respectively. 13) have

여기서, 제 1 구동축 (11) 은, 가장 내측에 배치되고, 그 주위에 제 2 구동축 (12) 및 제 3 구동축 (13) 이 배치되고, 이들 제 1～제 3 구동축 (11～13) 은 회전축 (O) 을 중심으로 하여 각각 수평 방향으로 회전하도록 구성되어 있다. Here, the 1st drive shaft 11 is arrange | positioned in the innermost part, the 2nd drive shaft 12 and the 3rd drive shaft 13 are arrange | positioned around it, and these 1st-3rd drive shafts 11-13 are rotation shafts. It is comprised so that each may rotate in the horizontal direction centering on (O).

제 2 구동축 (12) 은, 계단식의 형상으로 형성되고, 그 상부에 제 1 연결부 (12a) 가 형성되고, 제 1 연결부 (12a) 의 하방에 제 1 연결부 (12a) 보다 직경이 큰 제 2 연결부 (12b) 가 형성되어 있다. The second drive shaft 12 is formed in a stepped shape, the first connecting portion 12a is formed at an upper portion thereof, and the second connecting portion having a larger diameter than the first connecting portion 12a below the first connecting portion 12a. 12b is formed.

도 3 에 나타내는 바와 같이, 상측 반송 기구 (1A) 는, 각각 직선상으로 연장되는 제 1 상측 구동 아암 (21) 과, 제 2 상측 구동 아암 (22) 과, 제 1 상측 종동 아암 (31) 과, 제 2 상측 종동 아암 (32) 에 의해 구성되는 제 1 상측 평행 크랭크 기구 (4) 를 가지고 있다. As shown in FIG. 3, the upper conveyance mechanism 1A includes a first upper drive arm 21, a second upper drive arm 22, a first upper driven arm 31, and a linear extension, respectively. And the first upper parallel crank mechanism 4 constituted by the second upper driven arm 32.

여기서, 제 1 상측 구동 아암 (21) 은 제 1 구동축 (11) 에 연결되고, 제 2 상측 구동 아암 (22) 은, 제 2 구동축 (12) 의 제 1 연결부 (12a) 에 연결되어 있다. Here, the first upper drive arm 21 is connected to the first drive shaft 11, and the second upper drive arm 22 is connected to the first connecting portion 12a of the second drive shaft 12.

제 1 상측 구동 아암 (21) 의 타방의 단부 (선단부) 에는, 제 1 상측 종동 아암 (31) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 제 1 상측 구동 아암 (21) 의 하방에 있어서 지지축 (A) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다. At one end (front end) of the first upper driven arm 31, the other end (front end) of the first upper drive arm 21 is a support shaft A below the first upper drive arm 21. ) Is installed so that it can rotate freely in the horizontal direction.

또, 제 2 상측 구동 아암 (22) 의 타방의 단부 (선단부) 에는, 제 2 상측 종동 아암 (32) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 제 2 상측 구동 아암 (22) 의 상방에 있어서 지지축 (B) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다. In addition, one end (base end) of the second upper driven arm 32 has a support shaft above the second upper drive arm 22 at the other end (front end) of the second upper drive arm 22. It is attached so that it can rotate freely in a horizontal direction centering on (B).

또한, 제 1 상측 종동 아암 (31) 의 타방의 단부 (선단부) 와, 제 2 상측 종동 아암 (32) 의 타방의 단부 (선단부) 가, 제 2 상측 종동 아암 (32) 의 하방에 있어서 지지축 (C, B) 을 중심으로 하여 각각 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다. Moreover, the other end part (tip part) of the 1st upper follower arm 31, and the other end part (tip part) of the 2nd upper follower arm 32, are the support shafts below the 2nd upper follower arm 32. As shown in FIG. It is attached so that it may rotate freely in the horizontal direction, respectively, centering on (C, B).

본 실시형태의 경우, 지지축 (AC) 간의 축간 거리는, 회전축 (O) 및 지지축 (B) 간의 거리와 동일해지도록 설정되어 있다. 또, 지지축 (BC) 간의 축간 거리는, 회전축 (O) 및 지지축 (A) 간의 거리와 동일해지도록 설정되어 있다. In the present embodiment, the interaxial distance between the support shafts AC is set to be equal to the distance between the rotation shaft O and the support shafts B. As shown in FIG. Moreover, the interaxial distance between the support shafts BC is set to be equal to the distance between the rotation shaft O and the support shaft A. FIG.

또한, 지지축 (AC) 간의 축간 거리와 회전축 (O) 및 지지축 (B) 간의 거리가, 지지축 (BC) 간의 축간 거리와 회전축 (O) 및 지지축 (A) 간의 거리보다 길어지도록 구성되어 있다. Further, the interaxial distance between the support shaft AC and the distance between the rotation shaft O and the support shaft B are configured to be longer than the interaxial distance between the support shaft BC and the distance between the rotation shaft O and the support shaft A. It is.

제 1 상측 평행 크랭크 기구 (4) 의 선단부 즉 동작측 단부에는, 제 2 상측 평행 크랭크 기구 (5) 가 연결되어 있다. The 2nd upper parallel crank mechanism 5 is connected to the front-end | tip part of the 1st upper parallel crank mechanism 4, ie, an operation side edge part.

이 제 2 상측 평행 크랭크 기구 (5) 는, 제 1 상측 평행 크랭크 기구 (4) 의 제 2 상측 종동 아암 (32) 과, 제 3 상측 종동 아암 (33) 과, 제 4 상측 종동 아암 (34) 과, 제 5 상측 종동 아암인 상측 엔드 이펙터 (40) 의 일부로 이루어지는 링크 (36) 에 의해 구성되어 있다. The second upper parallel crank mechanism 5 includes a second upper driven arm 32, a third upper driven arm 33, and a fourth upper driven arm 34 of the first upper parallel crank mechanism 4. And a link 36 formed of a part of the upper end effector 40 that is the fifth upper driven arm.

여기서, 제 2 상측 종동 아암 (32) 의 제 1 상측 종동 아암 (31) 측의 단부에는, 제 2 상측 종동 아암 (32) 의 상방에 있어서, 제 3 상측 종동 아암 (33) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 상기 서술한 지지축 (C) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다. Here, at the edge part of the 1st upper follower arm 31 side of the 2nd upper follower arm 32, the upper end of the 1st upper follower arm 33 of the 3rd upper follower arm 33 ( The base end) is attached so that it can rotate freely in a horizontal direction centering on the support shaft C mentioned above.

또, 제 2 상측 종동 아암 (32) 의 제 2 상측 구동 아암 (22) 측의 단부에는, 제 2 상측 종동 아암 (32) 의 상방에 있어서, 제 4 상측 종동 아암 (34) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 상기 서술한 지지축 (B) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다. In addition, at an end portion of the second upper driven arm 22 side of the second upper driven arm 32, one end portion of the fourth upper driven arm 34 above the second upper driven arm 32 ( The base end) is attached so that it can rotate freely in a horizontal direction centering on the support shaft B mentioned above.

이들 제 3 및 제 4 상측 종동 아암 (33, 34) 은, 제 2 상측 구동 아암 (22) 및 제 1 상측 종동 아암 (31) 과 축간 거리가 동일해지도록 구성되어 있다. These 3rd and 4th upper driven arms 33 and 34 are comprised so that the interaxial distance may become the same as the 2nd upper drive arm 22 and the 1st upper follower arm 31. As shown in FIG.

또한 제 3 및 제 4 상측 종동 아암 (33, 34) 의 타방의 단부 (선단부) 는, 상측 엔드 이펙터 (40) 의 하방에 있어서, 지지축 (BC) 간의 거리와 동일한 축간 거리를 갖는 위치에 형성된 지지축 (D, E) 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다. Moreover, the other end part (tip part) of the 3rd and 4th upper follower arms 33 and 34 is formed in the position which has the same interaxial distance as the distance between the support shaft BC in the lower side of the upper end effector 40. FIG. It is mounted so as to rotate freely in the horizontal direction about the support shafts (D, E).

본 실시형태에서는, 제 2 상측 종동 아암 (32) 에, 제 1 상측 구동 아암 (22) 과 제 3 상측 종동 아암 (33) 의 회전 방향이 반대 방향이고 또한 동일한 각도가 되도록 구성된 기어 박스로 이루어지는 동력 전달 기구 (35) 가 형성되어 있다. In this embodiment, the power which consists of the gearbox comprised so that the rotation direction of the 1st upper driving arm 22 and the 3rd upper driven arm 33 may be made into the opposite direction and may be the same angle to the 2nd upper driven arm 32 is. The transmission mechanism 35 is formed.

즉, 제 2 상측 구동 아암 (22) 의 동력이 제 2 상측 종동 아암 (32) 의 동력 전달 기구 (35) 를 통하여 전달되고, 제 3 상측 종동 아암 (33) 이 제 1 상측 구동 아암 (22) 과 동일 각도로 반대 방향으로 회전하도록 구성되어 있다. In other words, the power of the second upper drive arm 22 is transmitted via the power transmission mechanism 35 of the second upper driven arm 32, and the third upper driven arm 33 is the first upper drive arm 22. It is configured to rotate in the opposite direction at the same angle as.

그리고, 이와 같은 구성에 의해, 제 2 상측 평행 크랭크 기구 (5) 의 동작 선단부의 지지축 (D, E) 이 기판 반송 방향 (P) 을 따라 직진하여, 회전축 (O) 상을 통과하도록 되어 있다. And by such a structure, the support shafts D and E of the operation | movement front-end | tip part of the 2nd upper side parallel crank mechanism 5 go straight along the board | substrate conveyance direction P, and pass through the rotating shaft O top. .

본 실시형태의 상측 엔드 이펙터 (40) 는, 상기 서술한 지지축 (D, E) 으로부터 기판 반송 방향 (P) 으로 연장되고, 소정 간격으로 형성된 두 개의 지지 아암 (41, 42) 을 갖고, 각 지지 아암 (41, 42) 의 선단부에, 기판 (10) 을 재치하는 기판 재치부 (상측 반송부) (43, 44) 가 각각 형성되어 있다. The upper end effector 40 of this embodiment extends from the above-mentioned support shafts D and E in the board | substrate conveyance direction P, and has two support arms 41 and 42 formed at predetermined spaces, and each Substrate placing parts (upper conveying parts) 43 and 44 for placing the substrate 10 on the tip ends of the support arms 41 and 42 are respectively formed.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 하측 반송 기구 (1B) 는, 각각 직선상으로 연장되는 제 1 하측 구동 아암 (51) 과, 제 2 하측 구동 아암 (52) 과, 제 1 하측 종동 아암 (61) 과, 제 2 하측 종동 아암 (62) 에 의해 구성되는 제 1 하측 평행 크랭크 기구 (6) 를 가지고 있다. As shown in FIG. 4, the lower conveyance mechanism 1B includes a first lower drive arm 51, a second lower drive arm 52, a first lower driven arm 61, and a linear extension, respectively. And a first lower parallel crank mechanism 6 constituted by the second lower driven arm 62.

여기서, 제 1 하측 구동 아암 (51) 은 제 3 구동축 (13) 에 연결되고, 제 2 하측 구동 아암 (52) 은, 제 2 구동축 (12) 의 제 2 연결부 (12b) 에 연결되어 있다. Here, the 1st lower drive arm 51 is connected to the 3rd drive shaft 13, and the 2nd lower drive arm 52 is connected to the 2nd connection part 12b of the 2nd drive shaft 12. As shown in FIG.

제 1 하측 구동 아암 (51) 의 타방의 단부 (선단부) 에는, 제 1 하측 종동 아암 (61) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 제 1 하측 구동 아암 (51) 의 상방에 있어서 지지축 (F) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다. One end (base end) of the first lower driven arm 61 has a support shaft F above the first lower drive arm 51 at the other end (front end) of the first lower drive arm 51. It is installed so that it can rotate freely in the horizontal direction with the center.

또, 제 2 하측 구동 아암 (52) 의 타방의 단부 (선단부) 에는, 제 2 하측 종동 아암 (62) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 제 2 하측 구동 아암 (52) 의 하방에 있어서 지지축 (G) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다. Moreover, one end part (base end part) of the 2nd lower driven arm 62 has the support shaft in the other end part (tip part) of the 2nd lower drive arm 52 below the 2nd lower drive arm 52. As shown in FIG. It is mounted so that it can rotate freely in the horizontal direction centering on (G).

그런데, 본 실시형태에서는, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 제 1 하측 평행 크랭크 기구 (6) 의 제 2 하측 구동 아암 (52) 은 제 2 구동축 (12) 의 제 2 연결부 (12b) 에 연결되고, 제 1 상측 평행 크랭크 기구 (4) 의 제 2 상측 구동 아암 (22) 은, 제 2 구동축 (12) 의 제 1 연결부 (12a) 에 연결되어 있다. By the way, in this embodiment, as shown in FIG. 2, the 2nd lower drive arm 52 of the 1st lower parallel crank mechanism 6 is connected to the 2nd connection part 12b of the 2nd drive shaft 12, The second upper drive arm 22 of the first upper parallel crank mechanism 4 is connected to the first connecting portion 12a of the second drive shaft 12.

여기서, 제 1 하측 평행 크랭크 기구 (6) 의 제 2 하측 구동 아암 (52) 은, 상기 서술한 제 1 상측 평행 크랭크 기구 (4) 의 제 2 상측 구동 아암 (22) 과 함께 제 2 구동축 (12) 에 고정되어 있기 때문에, 제 2 구동축 (12) 을 회전시키면 동일한 방향으로 동일한 각도 회전한다. Here, the second lower drive arm 52 of the first lower parallel crank mechanism 6 includes the second drive shaft 12 together with the second upper drive arm 22 of the first upper parallel crank mechanism 4 described above. Since the second drive shaft 12 is rotated, the same angle rotates in the same direction.

또한, 본 실시형태에서는, 제 1 상측 평행 크랭크 기구 (4) 의 제 2 상측 구동 아암 (22) 과 제 1 하측 평행 크랭크 기구 (6) 의 제 2 하측 구동 아암 (52) 은, 동일한 축간 거리를 갖도록 구성되어 있고, 도 1, 3, 4 에 나타내는 바와 같이, 홈 포지션에 있는 경우에, 기판 반송 방향 (P) 에 대해 선대칭이 되도록 이 각도가 정해져 있다. In addition, in this embodiment, the 2nd upper drive arm 22 of the 1st upper parallel crank mechanism 4, and the 2nd lower drive arm 52 of the 1st lower parallel crank mechanism 6 make the same interaxial distance. 1, 3, and 4, when it is in a home position, this angle is determined so that it may become line symmetry with respect to the board | substrate conveyance direction P. As shown to FIG.

그리고, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 제 1 하측 평행 크랭크 기구 (6) 의 제 1 하측 종동 아암 (61) 의 타방의 단부 (선단부) 와, 제 2 하측 구동 아암 (52) 의 타방의 단부 (선단부) 가, 제 2 하측 종동 아암 (62) 의 상방에 있어서 지지축 (H, G) 을 중심으로 하여 각각 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다. And as shown in FIG. 4, the other end (tip part) of the 1st lower driven arm 61 of the 1st lower parallel crank mechanism 6, and the other end (tip part) of the 2nd lower drive arm 52 is shown. ) Is mounted so as to be freely rotatable in the horizontal direction, respectively, around the support shafts H and G above the second lower driven arm 62.

본 실시형태의 경우, 지지축 (FH) 간의 축간 거리는, 회전축 (O) 및 지지축 (G) 간의 거리와 동일해지도록 설정되어 있다. 또, 지지축 (GH) 간의 축간 거리는, 회전축 (O) 및 지지축 (F) 간의 거리와 동일해지도록 설정되어 있다. In the present embodiment, the interaxial distance between the support shafts FH is set to be equal to the distance between the rotation shaft O and the support shafts G. As shown in FIG. Moreover, the interaxial distance between the support shafts GH is set to be equal to the distance between the rotation shaft O and the support shaft F. As shown in FIG.

또한, 지지축 (FH) 간의 축간 거리와 회전축 (O) 및 지지축 (G) 간의 거리가, 지지축 (GH) 간의 축간 거리와 회전축 (O) 및 지지축 (F) 간의 거리보다 길어지도록 구성되어 있다. Further, the interaxial distance between the support shafts FH and the distance between the rotation shafts O and the support shafts G are configured to be longer than the interaxial distance between the support shafts GH and the distance between the rotation shafts O and the support shafts F. It is.

제 1 하측 평행 크랭크 기구 (6) 의 선단부 즉 동작측 단부에는, 제 2 하측 평행 크랭크 기구 (7) 가 연결되어 있다. The 2nd lower parallel crank mechanism 7 is connected to the front-end | tip part of the 1st lower parallel crank mechanism 6, ie, an operation side edge part.

이 제 2 하측 평행 크랭크 기구 (7) 는, 제 1 하측 평행 크랭크 기구 (6) 의 제 2 하측 종동 아암 (62) 과, 제 3 하측 종동 아암 (63) 과, 제 4 하측 종동 아암 (64) 과, 하측 엔드 이펙터 (70) 의 일부로 이루어지는 링크 (제 5 하측 종동 아암) (66) 에 의해 구성되어 있다. The second lower parallel crank mechanism 7 includes a second lower driven arm 62, a third lower driven arm 63, and a fourth lower driven arm 64 of the first lower parallel crank mechanism 6. And a link (fifth lower driven arm) 66 formed of a part of the lower end effector 70.

여기서, 제 2 하측 종동 아암 (62) 의 제 1 하측 종동 아암 (61) 측의 단부에는, 제 2 하측 종동 아암 (62) 의 하방에 있어서, 제 3 하측 종동 아암 (63) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 상기 서술한 지지축 (H) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다. Here, at the edge part of the 1st lower follower arm 61 side of the 2nd lower follower arm 62, below the 2nd lower follower arm 62, one end part of the 3rd lower follower arm 63 ( The base end) is attached so that it can rotate freely in a horizontal direction centering on the support shaft H mentioned above.

또, 제 2 하측 종동 아암 (62) 의 제 2 하측 구동 아암 (52) 측의 단부에는, 제 2 하측 종동 아암 (62) 의 하방에 있어서, 제 4 하측 종동 아암 (64) 의 일방의 단부 (기단부) 가, 상기 서술한 지지축 (G) 을 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다. Moreover, in the edge part of the 2nd lower driven arm 52 side of the 2nd lower driven arm 62, below the 2nd lower driven arm 62, the one end part of the 4th lower driven arm 64 ( The base end) is attached so that it can rotate freely in a horizontal direction centering on the support shaft G mentioned above.

이들 제 3 및 제 4 하측 종동 아암 (63, 64) 은, 제 2 하측 구동 아암 (52) 및 제 1 하측 종동 아암 (61) 과 축간 거리가 동일해지도록 구성되어 있다. These 3rd and 4th lower driven arms 63 and 64 are comprised so that the interaxial distance may become the same as the 2nd lower drive arm 52 and the 1st lower driven arm 61. As shown in FIG.

또한 제 3 및 제 4 하측 종동 아암 (63, 64) 의 타방의 단부 (선단부) 는, 하측 엔드 이펙터 (70) 의 하방에 있어서, 지지축 (GH) 간의 거리와 동일한 축간 거리를 갖는 위치에 형성된 지지축 (I, J) 중심으로 하여 수평 방향으로 자유롭게 회전할 수 있도록 장착되어 있다. Further, the other ends (tips) of the third and fourth lower driven arms 63 and 64 are formed at positions having the same interaxial distance as the distance between the support shafts GH in the lower side of the lower end effector 70. It is mounted so as to be able to rotate freely in the horizontal direction about the support shafts I and J.

본 실시형태에서는, 제 2 하측 종동 아암 (62) 에, 제 2 하측 구동 아암 (52) 과 제 3 하측 종동 아암 (63) 의 회전 방향이 반대 방향이고 또한 동일한 각도가 되도록 구성된 기어 박스로 이루어지는 동력 전달 기구 (65) 가 형성되어 있다. In this embodiment, the power which consists of a gearbox comprised so that the rotation direction of the 2nd lower drive arm 52 and the 3rd lower follower arm 63 may be made into the opposite direction and may be the same angle to the 2nd lower driven arm 62 is. The transmission mechanism 65 is formed.

즉, 제 2 하측 구동 아암 (52) 의 동력이 제 2 하측 종동 아암 (62) 의 동력 전달 기구 (65) 를 통하여 전달되고, 제 3 하측 종동 아암 (63) 이 제 2 하측 구동 아암 (52) 과 동일 각도로 반대 방향으로 회전하도록 구성되어 있다. In other words, the power of the second lower drive arm 52 is transmitted via the power transmission mechanism 65 of the second lower driven arm 62, and the third lower driven arm 63 is transferred to the second lower drive arm 52. It is configured to rotate in the opposite direction at the same angle as.

그리고, 이와 같은 구성에 의해, 제 2 하측 크랭크 기구 (7) 의 동작 선단부의 지지축 (I, J) 이 기판 반송 방향 (P) 을 따라 직진하여, 회전축 (O) 상을 통과하도록 되어 있다. And with such a structure, the support shafts I and J of the operation | movement front-end | tip part of the 2nd lower crank mechanism 7 go straight along the board | substrate conveyance direction P, and pass through the rotating shaft O top.

본 실시형태의 하측 엔드 이펙터 (70) 는, 상기 서술한 지지축 (I, J) 으로부터 기판 반송 방향 (P) 으로 연장되고, 소정 간격으로 형성된 두 개의 지지 아암 (71, 72) 을 갖고, 각 지지 아암 (71, 72) 의 선단부에, 기판 (10) 을 재치하는 기판 재치부 (하측 반송부) (73, 74) 가 각각 형성되어 있다. The lower end effector 70 of this embodiment extends from the above-mentioned support shafts I and J in the board | substrate conveyance direction P, and has two support arms 71 and 72 formed at predetermined intervals, and each Substrate placing parts (lower conveying parts) 73 and 74 on which the substrate 10 is placed are formed at the distal ends of the support arms 71 and 72, respectively.

또한 도 1(b) 에 나타내는 바와 같이, 하측 엔드 이펙터 (70) 는, 상측 반송 기구 (1A) 의 제 1 상측 평행 크랭크 기구 (4) 와 제 2 상측 평행 크랭크 기구 (5) 사이의 높이 위치에 형성되고, 또 각 부재끼리가 접촉하지 않도록 각각의 형상 및 크기가 정해져 있다. Moreover, as shown to FIG. 1 (b), the lower end effector 70 is located in the height position between the 1st upper parallel crank mechanism 4 and the 2nd upper parallel crank mechanism 5 of 1 A of upper conveyance mechanisms. Each shape and size are determined so that each member may not contact each other.

이하, 본 실시형태의 동작에 대해 설명한다. Hereinafter, the operation of the present embodiment will be described.

먼저, 도 5 에 나타내는 원점 위치로부터 상측 반송 기구 (1A) 를 신장시키는 경우에 대해, 도 6～도 10 을 참조하여 설명한다. First, the case where the upper conveyance mechanism 1A is extended from the origin position shown in FIG. 5 will be described with reference to FIGS. 6 to 10.

이 경우에는, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 제 2 구동축 (12) 을 시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시킴과 동시에, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 제 3 구동축 (13) 을 시계 회전 방향으로 동일 각도 회전시킨다. In this case, as shown in FIG. 6, the second drive shaft 12 is rotated by a predetermined angle in the clockwise direction, and as shown in FIG. 7, the third drive shaft 13 is rotated by the same angle in the clockwise direction. Let's do it.

본 실시형태의 경우, 제 2 구동축 (12) 에는, 하측 반송 기구 (1B) 의 제 2 하측 구동 아암 (52) 이 고정되어 있기 때문에, 이 제 2 하측 구동 아암 (52) 도 시계 회전 방향으로 소정 각도 회전한다. In the case of this embodiment, since the 2nd lower drive arm 52 of the lower conveyance mechanism 1B is being fixed to the 2nd drive shaft 12, this 2nd lower drive arm 52 is also predetermined | prescribed in a clockwise rotation direction. Rotate the angle.

그리고, 이 회전 동작에 의해, 제 1 상측 평행 크랭크 기구 (4) 와 제 2 상측 평행 크랭크 기구 (5) 가 기판 반송 방향 (P) 으로 이동하여, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 상측 엔드 이펙터 (40) 가 회전축 (O) 에 대해 기판 반송 방향 (P) 의 하류측에 배치된다. And by this rotation operation, the 1st upper parallel crank mechanism 4 and the 2nd upper parallel crank mechanism 5 move to the board | substrate conveyance direction P, and as shown in FIG. 8, the upper end effector 40 is shown. ) Is disposed on the downstream side of the substrate conveyance direction P with respect to the rotation shaft O. FIG.

한편, 하측 반송 기구 (1B) 는, 회전축 (O) 을 중심으로 하여 시계 회전 방향으로 소정 각도 선회하여, 도 9 에 나타내는 자세가 된다. On the other hand, the lower conveyance mechanism 1B turns to a predetermined angle in the clockwise rotation direction about the rotation axis O, and becomes the attitude shown in FIG.

그리고, 이상의 동작에 의해, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 상측 반송 기구 (1A) 가 신장됨과 함께, 하측 반송 기구 (1B) 가 소정 각도 선회한 상태가 된다.And by the above operation | movement, as shown in FIG. 10, while the upper conveyance mechanism 1A is extended | stretched, it will be in the state which the lower conveyance mechanism 1B turned to predetermined angle.

또한, 하측 반송 기구 (1B) 의 하측 엔드 이펙터 (70) 는, 상측 반송 기구 (1A) 의 제 1 상측 평행 크랭크 기구 (4) 와 제 2 상측 평행 크랭크 기구 (5) 사이의 높이 위치에 형성되어 있으므로, 이 동작시, 상측 반송 기구 (1A) 에는 접촉하지 않는다. In addition, the lower end effector 70 of the lower conveyance mechanism 1B is formed at a height position between the first upper parallel crank mechanism 4 and the second upper parallel crank mechanism 5 of the upper conveyance mechanism 1A. Therefore, during this operation, the upper conveyance mechanism 1A is not contacted.

한편, 상측 반송 기구 (1A) 와 하측 반송 기구 (1B) 를 원점 위치로 되돌리는 경우에는, 제 2 구동축 (12) 을 반시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시킴과 동시에, 제 3 구동축 (13) 을 반시계 회전 방향으로 동일 각도 회전시킨다. On the other hand, when returning the upper conveyance mechanism 1A and the lower conveyance mechanism 1B to an origin position, while rotating the 2nd drive shaft 12 a predetermined angle in the counterclockwise rotation direction, the 3rd drive shaft 13 is rotated. Rotate the same angle in the counterclockwise direction.

다음으로, 도 5 에 나타내는 원점 위치로부터 하측 반송 기구 (1B) 를 신장 시키는 경우에 대해, 도 11～도 15 를 참조하여 설명한다. Next, the case where the lower conveyance mechanism 1B is extended from the origin position shown in FIG. 5 is demonstrated with reference to FIGS. 11-15.

이 경우에는, 도 11 에 나타내는 바와 같이, 제 2 구동축 (12) 을 반시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시킴과 함께, 도 12 에 나타내는 바와 같이, 제 1 구동축 (11) 을 반시계 회전 방향으로 동일 각도 회전시킨다. In this case, as shown in FIG. 11, while rotating the 2nd drive shaft 12 a predetermined angle in the counterclockwise rotation direction, as shown in FIG. 12, the 1st drive shaft 11 is the same in the counterclockwise rotation direction. Rotate the angle.

본 실시형태의 경우, 제 2 구동축 (12) 에는, 상측 반송 기구 (1A) 의 제 2 상측 구동 아암 (22) 이 고정되어 있기 때문에, 이 제 2 상측 구동 아암 (22) 도 반시계 회전 방향으로 소정 각도 회전한다. In the case of this embodiment, since the 2nd upper drive arm 22 of the upper conveyance mechanism 1A is being fixed to the 2nd drive shaft 12, this 2nd upper drive arm 22 also rotates in a counterclockwise direction. Rotate a predetermined angle.

그리고, 이 회전 동작에 의해, 제 1 하측 평행 크랭크 기구 (6) 와 제 2 하측 평행 크랭크 기구 (7) 가 기판 반송 방향 (P) 으로 이동하고, 도 13 에 나타내는 바와 같이, 하측 엔드 이펙터 (70) 가 회전축 (O) 에 대해 기판 반송 방향 (P) 하류측에 배치된다. And by this rotation operation, the 1st lower parallel crank mechanism 6 and the 2nd lower parallel crank mechanism 7 move to the board | substrate conveyance direction P, and as shown in FIG. 13, the lower end effector 70 ) Is disposed downstream of the substrate conveyance direction P with respect to the rotation shaft O. As shown in FIG.

또, 상측 반송 기구 (1A) 가 회전축 (O) 을 중심으로 하여 반시계 회전 방향으로 소정 각도 선회하여, 도 14 에 나타내는 자세가 된다. Moreover, 1 A of upper conveyance mechanisms turn a predetermined angle in the counterclockwise rotation direction centering on the rotating shaft O, and it becomes a posture shown in FIG.

그리고, 이상의 동작에 의해, 도 15 에 나타내는 바와 같이, 하측 반송 기구 (1B) 가 신장됨과 함께, 상측 반송 기구 (1A) 가 소정 각도 선회한 상태가 된다.And as shown in FIG. 15, while the lower conveyance mechanism 1B is extended by the above operation | movement, it will be in the state which 1A of upper conveyance mechanisms rotated predetermined angle.

또한, 하측 반송 기구 (1B) 의 하측 엔드 이펙터 (70) 는, 상측 반송 기구 (1A) 의 제 1 상측 평행 크랭크 기구 (4) 와 제 2 상측 평행 크랭크 기구 (5) 사이의 높이 위치에 형성되어 있으므로, 이 동작시, 상측 반송 기구 (1A) 에는 접촉하지 않는다. In addition, the lower end effector 70 of the lower conveyance mechanism 1B is formed at a height position between the first upper parallel crank mechanism 4 and the second upper parallel crank mechanism 5 of the upper conveyance mechanism 1A. Therefore, during this operation, the upper conveyance mechanism 1A is not contacted.

한편, 상측 반송 기구 (1A) 와 하측 반송 기구 (1B) 를 원점 위치로 되돌리는 경우에는, 제 2 구동축 (12) 을 반시계 회전 방향으로 소정 각도 회전시킴과 동시에, 제 3 구동축 (13) 을 반시계 회전 방향으로 동일 각도 회전시킨다. On the other hand, when returning the upper conveyance mechanism 1A and the lower conveyance mechanism 1B to an origin position, while rotating the 2nd drive shaft 12 a predetermined angle in the counterclockwise rotation direction, the 3rd drive shaft 13 is rotated. Rotate the same angle in the counterclockwise direction.

또한, 반송 로봇 (1) 을 선회시키는 경우에는, 홈 포지션의 상태에 있어서, 제 1～제 3 구동축 (11～13) 을 동시에 동일 방향으로 동일 각도 회전시키면 된다.In addition, when turning the carrier robot 1, what is necessary is just to rotate the 1st-3rd drive shafts 11-13 at the same angle in the same direction simultaneously in the state of a home position.

이상 서술한 바와 같이 본 실시형태에 있어서는, 제 1 및 제 2 구동축 (11, 12) 에 고정된 제 1 및 제 2 상측 구동 아암 (21, 22) 에 의해 구성되는 상측 반송 기구 (1A) 와, 제 2 및 제 3 구동축 (12, 13) 에 고정된 제 1 및 제 2 하측 구동 아암 (51, 52) 에 의해 구성되는 하측 반송 기구 (1B) 를 갖고, 이들 제 1～3 구동축 (11～13) 은 동심상으로 형성되어 있는 점에서, 상측 반송 기구 (1A) 와 하측 반송 기구 (1B) 를 제 1～3 구동축 (11～13) 에 대해 각각 측방에 배치하여 동작시킬 수 있고, 이로써 상측 반송 기구의 상측 반송부와 하측 반송 기구의 하측 반송부에 의해 복수의 반송물을 동시에 반송시킴으로써 스루풋을 향상시킴과 함께, 반송 로봇 및 이것을 배치하는 진공 장치의 높이를 낮게 억제할 수 있다. 또, 큰 진공조 내에 있어서 반송물을 반송하는 것도 가능해진다. As mentioned above, in this embodiment, 1 A of upper conveyance mechanisms comprised by the 1st and 2nd upper drive arms 21 and 22 fixed to the 1st and 2nd drive shafts 11 and 12, It has lower conveyance mechanism 1B comprised by the 1st and 2nd lower drive arms 51 and 52 fixed to the 2nd and 3rd drive shafts 12 and 13, These 1st-3rd drive shafts 11-13. ) Is formed concentrically, so that the upper conveying mechanism 1A and the lower conveying mechanism 1B can be disposed on the side with respect to the first to third drive shafts 11 to 13, respectively, to operate the upper conveying mechanism. By simultaneously conveying a plurality of conveyed objects by the upper conveyance part of a mechanism and the lower conveyance part of a lower conveyance mechanism, while improving a throughput, the height of a conveyance robot and the vacuum apparatus which arrange | positions it can be suppressed low. Moreover, it becomes possible to convey a conveyed object in a big vacuum chamber.

또한, 본 발명은 상기 서술한 실시형태에 한정되지 않고, 여러 가지 변경을 실시할 수 있다. The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made.

예를 들어, 상기 실시형태에서는, 상측 반송 기구 (1A) 와 하측 반송 기구 (1B) 의 대응하는 아암의 축간 거리가 동일해지도록 했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 상측 반송 기구 (1A) 와 하측 반송 기구 (1B) 에 있어서 각 아암의 축간 거리를 상이하게 구성할 수도 있다. For example, in the said embodiment, although the interaxial distance of the corresponding arm of 1A of upper conveyance mechanisms and 1B of lower conveyance mechanisms became the same, this invention is not limited to this, 1A of upper conveyance mechanisms In the lower conveyance mechanism 1B, the distance between the axes of the arms can be configured differently.

또한 상기 실시형태에서는, 각 엔드 이펙터에 각각 재치부를 두 개 형성했는데, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 하나 또는 셋 이상 형성할 수도 있다. In addition, in the said embodiment, although two mounting parts were formed in each end effector, this invention is not limited to this, It can also form one or three or more.

1 : 반송 로봇
1A : 상측 반송 기구
1B : 하측 반송 기구
4 : 제 1 상측 평행 크랭크 기구
5 : 제 2 상측 평행 크랭크 기구
6 : 제 1 하측 평행 크랭크 기구
7 : 제 2 하측 평행 크랭크 기구
10 : 기판
11 : 제 1 구동축
12 : 제 2 구동축
13 : 제 3 구동축
21 : 제 1 상측 구동 아암
22 : 제 2 상측 구동 아암
31 : 제 1 상측 종동 아암
32 : 제 2 상측 종동 아암
36 : 상측 엔드 이펙터의 일부로 이루어지는 링크 (제 5 상측 종동 아암)
40 : 상측 엔드 이펙터
43, 44 : 기판 재치부 (상측 반송부)
51 : 제 1 하측 구동 아암
52 : 제 2 하측 구동 아암
66 : 하측 엔드 이펙터 (70) 의 일부로 이루어지는 링크 (제 5 하측 종동 아암)
70 : 하측 엔드 이펙터
73, 74 : 기판 재치부 (하측 반송부)1: carrier robot
1A: Upper conveying mechanism
1B: Lower conveying mechanism
4: first upper parallel crank mechanism
5: second upper parallel crank mechanism
6: first lower parallel crank mechanism
7: second lower parallel crank mechanism
10: substrate
11: first drive shaft
12: second drive shaft
13: third drive shaft
21: first upper drive arm
22: second upper drive arm
31: First upper driven arm
32: second upper driven arm
36: Link consisting of part of the upper end effector (5th upper driven arm)
40: upper end effector
43, 44: board | substrate mounting part (upper conveyance part)
51: first lower drive arm
52: second lower drive arm
66: link consisting of part of the lower end effector 70 (fifth lower driven arm)
70: lower end effector
73, 74: board | substrate mounting part (lower conveying part)

Claims (4)

소정의 회전축을 중심으로 하여 수평면 내에서 회전 가능하게 형성된 제 1, 제 2 및 제 3 구동축과,
상기 제 1 구동축에 고정된 제 1 상측 구동 아암과, 상기 제 1 상측 구동 아암의 하방에 있어서 상기 제 2 구동축에 고정된 제 2 상측 구동 아암과, 상기 제 1 및 제 2 상측 구동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 1 상측 종동 (從動) 아암 및 제 2 상측 종동 아암으로 이루어지는 제 1 상측 평행 크랭크 기구와,
상기 제 2 상측 종동 아암과, 당해 제 2 상측 종동 아암의 양 단부에 있어서 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 3 상측 종동 아암 및 제 4 상측 종동 아암과, 당해 제 3 상측 종동 아암 및 제 4 상측 종동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 5 상측 종동 아암으로 이루어지는 제 2 상측 평행 크랭크 기구와,
상기 제 5 상측 종동 아암의 선단부에 장착된 상측 반송부를 갖는 상측 반송 기구와,
상기 제 2 상측 구동 아암의 하방에 있어서 상기 제 3 구동축에 고정된 제 1 하측 구동 아암과, 상기 제 2 상측 구동 아암의 하측이고 또한 상기 제 1 하측 구동 아암의 상측에 있어서 상기 제 2 구동축에 상기 제 2 상측 구동 아암에 대해 소정 각도로 고정된 제 2 하측 구동 아암과, 상기 제 1 및 제 2 하측 구동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 1 하측 종동 아암 및 제 2 하측 종동 아암으로 이루어지는 제 1 하측 평행 크랭크 기구와,
상기 제 2 하측 종동 아암과, 당해 제 2 하측 종동 아암의 양 단부에 있어서 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 3 하측 종동 아암 및 제 4 하측 종동 아암과, 당해 제 3 하측 종동 아암 및 제 4 하측 종동 아암의 선단부에 각각 수평면 내에 있어서 회전 가능하게 연결된 제 5 하측 종동 아암으로 이루어지는 제 2 하측 평행 크랭크 기구와,
상기 제 5 종동 아암의 선단부에 장착된 하측 반송부를 갖는 하측 반송 기구를 갖는, 반송 로봇.First, second and third drive shafts rotatably formed in a horizontal plane about a predetermined rotation axis,
A first upper drive arm fixed to the first drive shaft, a second upper drive arm fixed to the second drive shaft below the first upper drive arm, and tip portions of the first and second upper drive arms. A first upper parallel crank mechanism each comprising a first upper driven arm and a second upper driven arm rotatably connected in a horizontal plane;
A third upper driven arm and a fourth upper driven arm rotatably connected in a horizontal plane at both ends of the second upper driven arm, the second upper driven arm, and the third upper driven arm and the fourth upper side; A second upper parallel crank mechanism comprising a fifth upper driven arm rotatably connected in a horizontal plane to the distal end of the driven arm, respectively;
An upper conveying mechanism having an upper conveying part attached to a distal end of the fifth upper driven arm;
The first lower drive arm fixed to the third drive shaft below the second upper drive arm and the second drive shaft below the second upper drive arm and above the first lower drive arm. A second lower drive arm fixed at an angle with respect to a second upper drive arm, and a first lower driven arm and a second lower driven arm rotatably connected in a horizontal plane to the distal ends of the first and second lower driving arms, respectively; A first lower parallel crank mechanism comprising:
A third lower driven arm and a fourth lower driven arm rotatably connected in a horizontal plane at each end of the second lower driven arm, the second lower driven arm, and the third lower driven arm and the fourth lower side; A second lower parallel crank mechanism comprising a fifth lower driven arm rotatably connected in a horizontal plane to the distal end of the driven arm, respectively;
A conveyance robot having a lower conveyance mechanism having a lower conveyance portion attached to a distal end portion of the fifth driven arm. 제 1 항에 있어서,
상기 하측 반송부가, 상기 상측 반송 기구의 제 2 상측 평행 크랭크 기구와, 상기 하측 반송 기구의 제 1 하측 평행 크랭크 기구 사이의 높이 위치에 형성되어 있는, 반송 로봇.The method of claim 1,
The said lower conveyance part is a conveyance robot formed in the height position between the 2nd upper parallel crank mechanism of the said upper conveyance mechanism, and the 1st lower parallel crank mechanism of the said lower conveyance mechanism. 제 1 항에 있어서,
상기 상측 반송부 및 상기 하측 반송부가, 각각 두 개의 재치 (載置) 부를 가지고 있는, 반송 로봇.The method of claim 1,
A conveyance robot, wherein the upper conveying portion and the lower conveying portion each have two mounting portions. 진공조와,
상기 진공조 내에 형성된 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 반송 로봇을 갖는, 진공 장치.In addition,
The vacuum apparatus which has the conveyance robot in any one of Claims 1-3 formed in the said vacuum chamber.
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