KR19980080413A - Transfer Robot - Google Patents
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Abstract
반송용 로봇 전체를 회전시키기 위한 구동모터를 소형화할 수 있도록 한다.It is possible to miniaturize the drive motor for rotating the entire transport robot.
구동측 링크(31a),(31b),(36a),(36b)와 종동측 링크(32a),(32b),(37a),(37b)를 평행하게 구성한 제1·제2의 평행링크기구(22a),(22b),(12a),(12b)로 이루어지고, 선단측의 제2의 평행링크기구에 반송대(24a),(24b)를 구비한 로봇링크기구(B1),(B2)를 적어도 1쌍 가지며, 각 로봇 링크기구의 각 제1의 평행링크기구(22a),(22b)의 종동측 링크(32a),(32b)를, 일단을 구동축(25a)에 부착·고정한 회전용 암(30)에 연결하고, 또한 각 제1의 평행링크기구의 구동측 링크(31a),(31b)를 구동축(25a),(25b)에 부착·고정하여 그 각 구동축을 동축형상으로 배치하며, 그 각 구동축의 각각에 구동모터(29a),(29b),(29c)를 연결한 구성을 하고 있다.First and second parallel link mechanisms comprising the drive side links 31a, 31b, 36a, 36b and the driven side links 32a, 32b, 37a, 37b in parallel. The robot link mechanisms B 1 , B consisting of (22a), (22b), (12a), and (12b), and having carriages 24a, 24b in the second parallel link mechanism on the tip side. 2 ) having at least one pair, and attaching and fixing one of the driven side links 32a, 32b of each of the first parallel link mechanisms 22a, 22b of each robot link mechanism to the drive shaft 25a. It is connected to the rotating arm 30, and the drive side links 31a and 31b of each of the first parallel link mechanisms are attached and fixed to the drive shafts 25a and 25b, and the drive shafts are coaxially formed. The drive motors 29a, 29b, 29c are connected to each of the drive shafts.
Description
본 발명은, 액정 패널이나 반도체의 제조장치 및 LCD제조장치 등과 같이, 하나의 트랜스퍼챔버의 주위에 복수의 스테이션으로 이루어진 프로세스챔버를 설치하고, 각 프로세스챔버에서 가공처리된 액정패널이나 웨이퍼 등의 박판형상의 공작물을, 이 트랜스퍼챔버에 설치된 반송용로봇에 의하여, 트랜스퍼챔버를 거쳐 하나의 프로세스챔버로부터 다른 프로세스챔버로 반송하도록 한 멀티챔버형의 제조장치에 따른 반송용 로봇에 관한 것이다.The present invention is to provide a process chamber composed of a plurality of stations around one transfer chamber, such as a liquid crystal panel, a semiconductor manufacturing apparatus, an LCD manufacturing apparatus, and the like, and a thin plate such as a liquid crystal panel or a wafer processed in each process chamber. A conveying robot according to a multi-chamber type manufacturing apparatus in which a workpiece having a shape is conveyed from one process chamber to another process chamber via a transfer chamber by a transport robot provided in the transfer chamber.
멀티챔버형의 제조장치는 도 1에 나타내는 바와 같이 되어 있고, 트랜스퍼챔버(1)의 주위에, 복수의 프로세스챔버로 이루어진 프로세스챔버 스테이션(2a),(2b) ,(2c),(2d),(2e)과 외부에 대하여 공작물을 주고받는 공작물 수수(授受) 스테이션(3)이 설치되어 있고, 트랜스퍼챔버(1) 내부는 항상 진공장치에 의하여 진공상태가 유지되고 있으며, 이 트랜스퍼챔버(1) 내부에 회전가능하고, 또한 핸드가 방사방향으로 나왔다가 들어갔다가 할 수 있는 반송용 로봇이 배치되어 있다. 그리고, 이 트랜스퍼챔버(1)의 외주벽이며 또한, 각 프로세스챔버 스테이션(2a),(2b),(2c),(2d ),(2e) 및 공작물 수수 스테이션(3)에 대향하는 칸나눔 벽(5)에는 각 프로세스챔버 스테이션의 공작물의 출입구로 되는 게이트(6)가 설치되어 있다. 이 게이트(6)는 트랜스퍼챔버(1)의 내측에 각 게이트(6)에 대향하여 설치된 도시하지 않은 개폐문에 의하여 개폐되도록 되어 있다.The multichamber type manufacturing apparatus is as shown in FIG. 1, and process chamber stations 2a, 2b, 2c, 2d, which are formed of a plurality of process chambers around the transfer chamber 1, (2e) and a work receiving station (3) for exchanging a work to and from the outside, and the inside of the transfer chamber (1) is always kept in a vacuum state by a vacuum apparatus, and the transfer chamber (1) A transport robot is disposed inside the robot, which is rotatable, and which the hand can come out and enter the radial direction. And a canning wall that is an outer circumferential wall of the transfer chamber 1 and faces the process chamber stations 2a, 2b, 2c, 2d, 2e, and the workpiece receiving station 3, respectively. (5) is provided with a gate 6 serving as an entrance and exit of the work of each process chamber station. The gate 6 is opened and closed by an opening and closing door (not shown) provided to face the gate 6 inside the transfer chamber 1.
이런 종류의 반도체 등의 제조장치에 사용되어 지는 종래의 반송용 로봇으로서는 동일방향 작동형의 반송용 로봇(A:특개평 제4-30447호 공보)이 알려져 있고, 종래 기술의 도면은 도 3에 나타내고 있다.As a conventional transfer robot used in a manufacturing apparatus such as a semiconductor of this kind, a transfer robot (A: Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-30447) of the same direction operation type is known. It is shown.
핸들링부의 지지대로써, 톱니바퀴기구(10)를 거쳐 제1의 구동모터(11)에 의해 회전하는 회전대(12)가 구비되어 있다. 이 회전대(12)에는 한 쌍의 로봇링크기구(A1),(A2)가 나란히 설치되어 있다. 각 로봇링크기구(A1),(A2)는 각각 동일 기구로 되어 있어, 한 쌍인 제1의 평행링크기구(13)와 제2의 평행링크기구(14)가 연결되어 있고, 선단에 공작물을 유지하는 반송대(15),(15)가 구비되어 있다. 양 로봇링크기구(A1),(A2)에서는 각 반송대(15),(15)의 높이 차가 나도록 되어 있다.As a support for the handling portion, a swivel table 12 that rotates by the first drive motor 11 via the gear mechanism 10 is provided. The rotating table 12 is provided with a pair of robot link mechanisms A 1 and A 2 side by side. Each of the robot link mechanisms A 1 and A 2 has the same mechanism, and a pair of first parallel link mechanisms 13 and a second parallel link mechanism 14 are connected to each other, and the workpiece Carriers 15 and 15 are provided for holding them. In both robotic link mechanisms A 1 and A 2 , the height difference between the carrier tables 15 and 15 is increased.
제1의 평행링크기구(13)는 한 쌍의 긴 링크(13a),(13b)가 회전대(12)에 회전가능하게 지지되고, 각 로봇링크기구(A1),(A2)의 각각의 한쪽의 링크(13a)의 회전중심으로 되는 구동축(16a),(16b)은, 회전대(12)의 하방에 부착된 제2·제3의 구동모터(17a),(17b)에 연결되어 있다. 링크(13a),(13b)의 선단에 제2의 평행링크기구(14)의 한 쌍의 링크(14a),(14b)가 각각 회전이 자유롭게 연결되어 있고, 이 한 쌍의 링크(14a),(14b)의 선단에 각 반송대(15),(15)가 회전이 자유롭게 연결되어 있다.The first parallel link mechanism 13 has a pair of long links 13a and 13b rotatably supported by the swivel table 12, and each of the robot link mechanisms A 1 and A 2 . The drive shafts 16a and 16b serving as the rotation centers of one of the links 13a are connected to the second and third drive motors 17a and 17b attached to the lower side of the swivel table 12. The pair of links 14a, 14b of the second parallel link mechanism 14 are freely rotatably connected to the ends of the links 13a, 13b, respectively, and the pair of links 14a, Rotation is freely connected to each conveyance base 15 and 15 at the front-end | tip of 14b.
상기한 양 평행링크기구(13),(14)의 각 링크(13a),(13b)와 링크(14a),(14b)의 연결개소에는 각각 동일 톱니수의 톱니바퀴(18a),(18b)가 서로 맞물려져서 결합되어 있다. 그리고, 한 쪽의 톱니바퀴(18a)가 제1의 평행링크기구(13)의 한 쪽의 링크(13a)에 고정되고, 다른 쪽의 톱니바퀴(18b)는 제2의 평행링크기구(14)의 한 쪽의 링크(14a)에, 또한 제1의 평행링크기구(13)의 다른 쪽 링크(13b)에 연결된 링크(14a)에 고정되어 있다. 이 제2의 평행링크기구(14)의 링크(14a),(14b)는 각 톱니바퀴(18a),(18b)보다도 먼저 연장되어 짧은 링크(19)에 의하여 회전이 자유롭게 연결되어 있다.Cogs 18a and 18b having the same number of teeth are respectively connected to the links 13a and 13b of the parallel link mechanisms 13 and 14 and the links 14a and 14b. Are interlocked and joined together. Then, one cog wheel 18a is fixed to one link 13a of the first parallel link mechanism 13, and the other cog wheel 18b is the second parallel link mechanism 14. It is fixed to the link 14a of one side, and to the link 14a connected to the other link 13b of the first parallel link mechanism 13. The links 14a and 14b of the second parallel link mechanism 14 extend before the cog wheels 18a and 18b so that rotation is freely connected by the short link 19.
이와 같이 구성된 반송용 로봇(A)은 제2·제3의 구동모터(17a),(17b)에 의해 각 로봇링크기구(A1),(A2)의 구동축(16a),(16b)을 회전시키는 것에 의해, 각각의 제1의 평행링크기구(13),(13)가 회전된다. 그리고, 그 제1의 평행링크기구(13),(13)의 회전에 의해, 톱니바퀴(18a),(18b)의 맞물림에 의한 각각의 제2의 평행링크기구(14),(14)가 각 제1의 평행링크기구(13),(13)의 회전방향과 반대방향으로 동일 회전각만큼 회전한다. 그 결과, 양 로봇링크기구(A1),(A2)가 서로 바깥쪽으로 향하여 꺾임과 아울러, 반송대(15),(15)가 평행링크기구의 단절된 부분을 따라서 직선적으로 평행이동한다. 또한, 제1의 구동모터(11)를 구동하는 것에 의하여, 회전대(12)를 회전시켜 반송용 로봇(A) 전체가 회전한다.The transport robot A configured as described above uses the second and third drive motors 17a and 17b to drive the drive shafts 16a and 16b of the robot link mechanisms A 1 and A 2 . By rotating, the first parallel link mechanisms 13 and 13 are rotated. Then, by the rotation of the first parallel link mechanisms 13 and 13, the respective second parallel link mechanisms 14 and 14 by engagement of the gears 18a and 18b are It rotates by the same rotation angle in the direction opposite to the rotation direction of each 1st parallel link mechanism 13,13. As a result, both robot link mechanisms A 1 and A 2 are bent outwards to each other, and the carriers 15 and 15 are linearly moved in parallel along the disconnected portion of the parallel link mechanism. Moreover, by driving the 1st drive motor 11, the rotating table 12 is rotated and the whole transport robot A rotates.
상기한 종래의 기술에 있어서는, 한 쌍을 이루는 각 로봇링크기구(A1),(A2)는 각각 제2·제3의 구동모터(17a),(17b)에 의하여 구동하고, 반송용 로봇(A) 전체의 회전은 제1의 구동모터(11)에 의해 구동하도록 되어 있기 때문에, 상기한 제2·제3의 구동모터(17a),(17b)의 용량은, 각기 개개의 로봇링크기구(A1),(A2)를 구동하기에 만족할 만큼 비교적 작게 하지만, 제1의 구동모터(11)는 이들의 제2·제3의 구동모터(17a),(17b) 및 회전대(12) 등을 포함한 반송용 로봇(A)의 전체를 회전구동해야 하므로, 상기한 제2·제3의 구동모터(17a),(17b)와 비교하여 큰 용량으로 해야만 했다.In the above-described conventional technique, each of the paired robot link mechanisms A 1 and A 2 is driven by the second and third drive motors 17a and 17b, respectively, to transfer the robots. Since the rotation of the whole (A) is driven by the first drive motor 11, the capacity of the second and third drive motors 17a and 17b described above is respectively individual robot linkage mechanism. Although relatively small enough to drive (A 1 ) and (A 2 ), the first drive motor 11 has their second and third drive motors 17a, 17b and the swivel table 12. Since the whole robot A for conveyance including rotation etc. must be rotated, it was necessary to make it large capacity compared with the said 2nd and 3rd drive motor 17a, 17b.
그 때문에, 3개의 모터에 있어서, 제1의 구동모터(11)과 제2, 제3의 구동모터(17a),(17b)의 2종류의 구동모터를 사용해야 함과 아울러, 그 한 쪽의 1개의 구동모터가 다른 쪽의 2개의 구동모터의 각각과 비교하여 고가로 되고, 전체적으로 비용이 비싸게 된다고 하는 문제가 있었다.Therefore, in three motors, two types of drive motors of the first drive motor 11 and the second and third drive motors 17a and 17b must be used, and one of the two motors is used. There are a problem that three drive motors are expensive compared with each of the other two drive motors, and the overall cost is high.
또한, 이러한 종래의 기술에서는, 제2·제3의 구동모터(17a),(17b)가 회전대(12)와 함께 도시하지 않은 프레임에 대하여 회전되므로, 상기한 제2·제3의 구동모터(17a),(17b)에 프레임 측으로부터 접속된 동력케이블이나 신호케이블 등의 케이블이 상기한 회전에 의하여 꼬여버린다. 그 때문에, 반송용 로봇을 무제한으로 회전할 수 없게 된다. 이 문제를 해결하기 위하여, 상기한 제2·제3의 구동모터(17a),(17b)에 접속하는 케이블의 도중에 브러시접속기구를 설치하여 전기적으로 접속하도록 한 것이 있지만, 이 구성은 복잡함과 동시에 수명에도 문제가 있다.Further, in this conventional technique, since the second and third drive motors 17a and 17b are rotated with respect to the frame (not shown) together with the swivel table 12, the above-described second and third drive motors ( Cables such as power cables and signal cables connected to the frames 17a) and 17b from the side of the frame are twisted by the above-described rotation. As a result, the transfer robot cannot be rotated indefinitely. In order to solve this problem, a brush connecting mechanism is provided in the middle of the cable connected to the second and third drive motors 17a and 17b to make an electrical connection. There is also a problem with life.
본 발명은 상기한 것을 고려하여 이루어진 것으로, 반송용 로봇의 전체를 회전시키기 위한 구동모터를 작고, 예컨대 한 쌍의 로봇링크기구를 구동하기 위한 링크기구 구동용의 구동모터의 크기와 동일하게 할 수 있고, 3개인 구동모터의 공통화를 도모하여 비용을 절감하도록 하는 반송용 로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in consideration of the above, and the drive motor for rotating the whole of the transport robot can be made small, for example, the size of the drive motor for driving the link mechanism for driving a pair of robot link mechanisms. An object of the present invention is to provide a transfer robot that can reduce costs by achieving common use of three drive motors.
도 1은, 멀티챔버형의 제조장치의 일 예인 반도체제조장치의 개략적인 평면도이다.1 is a schematic plan view of a semiconductor manufacturing apparatus which is an example of a multichamber type manufacturing apparatus.
도 2는, 트랜스퍼챔버를 나타내는 사시도이다.2 is a perspective view showing a transfer chamber.
도 3은, 종래의 반송용 로봇을 나타내는 사시도이다.3 is a perspective view showing a conventional transfer robot.
도 4는, 본 발명의 제1의 실시예를 개략적으로 나타내는 평면도이다.4 is a plan view schematically showing a first embodiment of the present invention.
도 5는, 본 발명에 있어서 회전구동부를 나타내는 단면도이다.5 is a cross-sectional view showing a rotation driving unit in the present invention.
도 6은, 본 발명에 있어서 로봇링크기구의 주요부를 나타내는 단면도이다.6 is a cross-sectional view showing the main part of the robot link mechanism in the present invention.
도 7은, 본 발명에 있어서 회전구동부의 다른 실시예를 나타내는 단면도이다.7 is a cross-sectional view showing another embodiment of the rotary drive in the present invention.
도 8은, 로봇링크기구의 평행링크 상호 연결부의 다른 실시예를 나타내는 구성설명도이다.Fig. 8 is a structural explanatory diagram showing another embodiment of the parallel link interconnection portion of the robot link mechanism.
도 9는, 도 8의 A-A선에 따른 단면도이다.9 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. 8.
도 10은, 도 8의 B-B선에 따른 단면도이다.FIG. 10 is a cross-sectional view taken along the line B-B in FIG. 8.
도 11은, 본 발명의 제2의 실시예를 개략적으로 나타내는 평면도이다.11 is a plan view schematically showing a second embodiment of the present invention.
도 12는, 본 발명의 제3의 실시예를 개략적으로 나타내는 평면도이다.12 is a plan view schematically showing a third embodiment of the present invention.
도 13은, 본 발명의 제4의 실시예를 개략적으로 나타내는 평면도이다.Fig. 13 is a plan view schematically showing a fourth embodiment of the present invention.
(부호의 설명)(Explanation of the sign)
1,28 … 트랜스퍼챔버,1,28... Transfer Chamber,
2a, 2b, 2c, 2d, 2e … 프로세스챔버 스테이션,2a, 2b, 2c, 2d, 2e... Process chamber station,
3 … 공작물 수수(授受) 스테이션,3…. Workpiece delivery station,
5 … 칸나눔 벽,5... Cannam Wall,
6 … 게이트(gate),6. Gate,
10 … 톱니바퀴기구,10... Gear wheel mechanism,
11, 17a, 17b, 29a, 29b, 29c … 구동모터,11, 17a, 17b, 29a, 29b, 29c... Drive motor,
12 … 회전대,12... Swivel,
13, 22a, 22b, 22c … 제1의 평행링크기구,13, 22a, 22b, 22c... A first parallel link mechanism,
14, 23a, 23b … 제2의 평행링크기구,14, 23a, 23b... Second parallel link mechanism,
24a, 24b … 반송대,24a, 24b... Carrier,
25a, 25b, 25c, 25d … 구동축,25a, 25b, 25c, 25d... driving axle,
30, 30a, 30b, 30c … 회전용 암,30, 30a, 30b, 30c... Swivel arm,
31a, 31b, 31c, 36a, 36b … 구동측 링크,31a, 31b, 31c, 36a, 36b... Drive side link,
32a, 32b, 32c, 37a, 37b … 종동측 링크,32a, 32b, 32c, 37a, 37b... Driven links,
38, 39 … 톱니바퀴,38, 39... Gear,
43 … 칸막이 벽,43. Partition Wall,
44a, 44b, 44c … 마그네트 커플링(magnet coupling),44a, 44b, 44c... Magnet coupling,
45a, 45b … 벨트,45a, 45b... belt,
46, 47 … 풀리(pulley),46, 47... Pulley,
A, B … 반송용 로봇,A, B… Robot,
B1, B2, B3… 로봇링크기구.B 1 , B 2 , B 3 . Robot Link Mechanism.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 관한 반송용 로봇은 구동측링크와 종동측링크를 평행으로 구성한 제1·제2의 평행링크기구로 이루어지고, 선단측의 제2의 평행링크기구에 반송대를 구비한 로봇링크기구를 적어도 1쌍 가지며, 각 로봇링크기구의 각 제1의 평행링크기구의 종동측 링크를, 일 단을 구동축에 부착, 고정한 회전용 암에 연결하고, 또 각 제1의 평행링크기구의 구동측 링크를 구동축에 부착·고정하며, 이 각 구동축을 동축형상으로 배치하고, 상기한 각 구동축의 각각에 구동모터를 연결한 구성으로 되어 있다.In order to achieve the above object, the conveying robot according to the present invention comprises first and second parallel link mechanisms in which the drive side link and the driven side link are configured in parallel to each other. It has at least one pair of robot link mechanisms with a carrier table, and the driven side link of each of the first parallel link mechanisms of each robot link mechanism is connected to a rotation arm attached to and fixed to one end of the drive shaft. The drive side link of the parallel link mechanism is attached to and fixed to the drive shaft, the drive shafts are arranged coaxially, and a drive motor is connected to each of the drive shafts described above.
이러한 구성에 있어서, 회전용 암에 연결한 구동축을 정지한 상태에서, 각 로봇링크기구의 각각의 제1의 평행링크기구의 구동측 링크를 부착·고정한 각 구동축을, 각각에 연결한 구동모터에 의하여 회전시키는 것에 의해, 각 로봇링크기구가 각각 독립하여 작동하고, 각각의 제2의 평행링크기구에 설치된 반송대가 직선형상으로 왕복운동하며, 이 반송대에 의하여 박판형상의 공작물을, 예컨대 트랜스퍼챔버로부터 프로세스챔버 상호간에 이동하여 출입된다.In such a configuration, in the state in which the drive shaft connected to the rotating arm is stopped, each drive shaft to which the drive side link of the first parallel link mechanism of each robot link mechanism is attached and fixed is connected to the drive motor connected to each. Each robot link mechanism is operated independently by rotating by means of each other, the carrier table provided in each of the second parallel link mechanisms reciprocates linearly, and the carrier table is used to move a thin workpiece from, for example, a transfer chamber. The process chambers move in and out of each other.
또한, 각 로봇링크기구의 제1의 평행링크기구의 구동측 링크에 부착·고정된 각 구동축과 각 종동측 링크에 연결된 회전용 암의 구동축을 동일방향에 동일회전속도로 회전시키는 것에 의하여, 각 로봇링크기구가 일체형으로 되어 동축형상으로 회전된다.Further, by rotating each drive shaft attached and fixed to the drive side link of the first parallel link mechanism of each robot link mechanism and the drive shaft of the rotary arm connected to each driven side link at the same rotational speed, The robot link mechanism is integrated and rotated coaxially.
따라서, 각 로봇링크기구로 이루어진 반송용 로봇 전체가 회전할 때에는, 각 로봇링크기구를 작동시키는 각 구동모터와 회전용 암을 구동시키는 구동모터가 협동되는 것으로 되고, 반송용 로봇의 전체를 회전시키기 때문에 회전용 암을 회전구동하기 위한 구동모터의 용량을 반송용 로봇 전체를 1개의 구동모터에 의하여 회전시키는 경우와 비교하여 소형으로 할 수 있고, 예컨대 이것을 각 로봇링크기구를 작동시키기 위한 각 구동모터와 동일하게 할 수가 있어 각 구동모터의 공통화가 가능하게 되고, 장치의 소형화와 함께 비용절감을 도모할 수 있다.Therefore, when the whole transfer robot made of each robot link mechanism rotates, each drive motor for operating each robot link mechanism and the drive motor for driving the rotary arm cooperate with each other to rotate the entire transfer robot. Therefore, the capacity of the drive motor for rotating the rotary arm can be made smaller compared to the case where the entire transport robot is rotated by one drive motor, for example, each drive motor for operating each robot link mechanism. Since the drive motors can be made identical to each other, the drive motors can be used in common, and the size of the device can be reduced and the cost can be reduced.
또한 상기한 반송용 로봇에 있어서, 본 발명에 관한 반송용 로봇은 한끝을 구동축에 부착·고정한 회전용 암을 복수개 일체형으로 설치하고, 이 각 회전용 암에 각 로봇링크기구의 각 제1의 평행링크기구의 종동측 링크를 연결하여 각 제1의 평행링크기구의 구동측 링크를 상기한 회전용 암의 구동축과 동축형상으로 한 구동축에 부착·고정한 구성으로 되어있고, 이 구성에 의하면, 복수의 로봇링크기구를 각 회전용 암의 방향에 따라서 서로 다른 각도방향으로 작동할 수가 있다.Further, in the above-mentioned transfer robot, the transfer robot according to the present invention is provided with a plurality of one-piece rotary arms attached and fixed to one end of the drive shaft, and each of the first parallel arms of each robot link mechanism is provided on the rotary arms. The driven side links of the link mechanisms are connected to each other and the drive side links of the first parallel link mechanisms are attached to and fixed to the drive shafts coaxial with the drive shafts of the rotary arms. The robot link mechanism can be operated in different angular directions depending on the direction of each rotating arm.
더욱이 상기한 반송용 로봇에 있어서, 본 발명에 관한 반송용 로봇은 한끝을 구동축에 부착·고정한 복수의 회전용 암을 각각의 구동축을 동축형상으로 하여 설치하고, 이 각 회전용 암에 각 로봇링크기구의 각 제1의 평행링크기구 종동측 링크를 연결하여, 각 제1의 평행링크기구의 구동측 링크를 상기한 각 회전용 암의 구동축과 동축형상으로 한 구동축에 부착·고정한 구성으로 되어 있고, 이 구성에 의하면, 복수의 로봇링크기구를 개별적으로 회전시킬 수 있다.Further, in the above-mentioned transfer robot, the transfer robot according to the present invention is provided with a plurality of rotation arms attached and fixed at one end to the drive shaft with each drive shaft coaxial, and each robot link is provided on each of the rotation arms. Each first parallel link mechanism driven side link of the mechanism is connected, and the drive side link of each first parallel link mechanism is attached to and fixed to a drive shaft coaxial with the drive shafts of the respective rotary arms. According to this configuration, the plurality of robot link mechanisms can be rotated individually.
(실시예)(Example)
본 발명의 실시예를 도 4 이하에 근거하여 설명한다. 도 4는 본 발명에 관한 반송용 로봇의 제1의 실시예를 나타낸다. 이 반송용 로봇(B)은 한 쌍의 로봇링크기구(B1),(B2)로 구성되어 있다. 이 각 로봇링크기구(B1),(B2)의 각각은, 한 쌍으로 이루어진 제1·제2의 평행링크기구(22a),(23a),(22b),(23b)가 연결된 구성으로 되어 있고, 선단에 공작물을 유지하는 반송대(24a),(24b)가 구비되어 있다. 양 로봇링크기구(B1),(B2)는 각 반송대(24a),(24b)의 높이 차가 나도록 되어 있다.An embodiment of the present invention will be described based on FIG. 4 and below. 4 shows a first embodiment of a transfer robot according to the present invention. The transfer robot B is constituted by a pair of robot link mechanisms B 1 and B 2 . Each of these robot link mechanisms B 1 and B 2 has a configuration in which a pair of first and second parallel link mechanisms 22a, 23a, 22b, and 23b are connected to each other. The carriers 24a and 24b holding the workpiece at the tip are provided. Both robot link mechanisms B 1 and B 2 have a height difference between the carrier tables 24a and 24b.
양 로봇링크기구(B1),(B2)의 작동중심부에는 제1·제2·제3의 구동축(25a), (25b),(25c)이 동심형상으로 설치되어 있다. 그리고, 도 5에 나타내는 것과 같이, 제2·제3의 구동축(25b),(25c)이 중앙에 형성되어 있고, 제1의 구동축(25a)이 제2의 구동축(25b) 내로 축받침(26a) 및 자성유체 시일(27a)을 거쳐서 회전이 자유롭게 끼워 맞추어져 있고, 제2의 구동축(25b)은 제3의 구동축(25c) 내로 축받침(26b) 및 자성유체 시일(27b)를 거쳐 회전이 자유롭게 끼워 맞추어져 있다. 제3의 구동축(25c)은 축받침(26c) 및 자성유체 시일(27c)을 거쳐 트랜스퍼챔버(28)쪽에 회전이 자유롭게 끼워 맞추어져 지지되어 있다. 그리고, 상기한 각 구동축(25a),(25b), (25c)의 각각에 제1·제2·제3의 구동모터(29a),(29b),(29c)가 개별적으로 연결되어 있다.First, second and third drive shafts 25a, 25b and 25c are provided concentrically in the operating centers of both robot link mechanisms B 1 and B 2 . As shown in FIG. 5, the second and third drive shafts 25b and 25c are formed in the center, and the first drive shaft 25a is supported by the second drive shaft 25b 26a. And rotation is freely fitted via the magnetic fluid seal 27a, and the second drive shaft 25b is rotated via the bearing 26b and the magnetic fluid seal 27b into the third drive shaft 25c. It fits freely. The third drive shaft 25c is rotatably fitted to and supported by the transfer chamber 28 via the bearing 26c and the magnetic fluid seal 27c. The first, second and third drive motors 29a, 29b and 29c are individually connected to each of the drive shafts 25a, 25b and 25c described above.
제1의 구동축(25a)에는 제1·제2의 로봇링크기구(B1),(B2)의 각각의 제1의 평행링크기구(22a),(22b)의 짧은 길이의 회전용 암(30)의 일단부가 부착·고정되어 있다. 또, 제2의 구동축(25b)에는 제1의 로봇링크기구(B1)의 제1의 평행링크기구(22a)의 구동측 링크(31a)의 일단이 부착·고정되어 있다. 또한, 제3의 구동축(25c)에는 제2의 로봇링크기구(B2)의 제1의 평행링크기구(22b)의 구동측 링크(31b)의 일단이 부착·고정되어 있다.Rotating arms of short lengths of the first parallel link mechanisms 22a and 22b of the first and second robot link mechanisms B 1 and B 2 are provided on the first drive shaft 25a. One end of 30) is attached and fixed. Further, one end of the drive side link 31a of the first parallel link mechanism 22a of the first robot link mechanism B 1 is attached to and fixed to the second drive shaft 25b. Further, one end of the drive side link 31b of the first parallel link mechanism 22b of the second robot link mechanism B 2 is attached and fixed to the third drive shaft 25c.
그리고, 상기한 회전용 암(30)의 선단부에는 양 로봇링크기구(B1),(B2)의 제1의 평행링크기구(22a),(22b)의 각각의 종동측 링크(32a),(32b)의 일단이 회전이 자유롭게 연결되어 있다.Further, the driven end links 32a of the first parallel link mechanisms 22a and 22b of both robotic link mechanisms B 1 and B 2 are provided at the tip end of the rotating arm 30. One end of 32b is freely connected to the rotation.
각 로봇링크기구(B1),(B2)의 제1의 평행링크기구(22a),(22b)의 각각의 링크(31a),(32a),(31b),(32b)의 선단부가 짧은 링크(33a),(33b)에 지지축(34),(35)를 거쳐서 회전이 자유롭게 연결되어 있다. 또, 이 각 지지축(34),(35)에는 각 로봇링크기구(B1),(B2)의 제2의 평행링크기구(23a),(23b)의 구동측 및 종동측의 링크(36a),(37a),(36b),(37b)가 각각 회전이 자유롭게 연결되어 있다.Each robotic link mechanisms (B 1), each link of the first parallel link mechanism (22a), (22b) of the (B 2) (31a), (32a), (31b), the short distal end portion of (32b) Rotation is freely connected to the links 33a and 33b via the support shafts 34 and 35. In addition, each of the support shafts 34 and 35 has links on the driving side and driven side of the second parallel link mechanisms 23a and 23b of the robot link mechanisms B 1 and B 2 . 36a, 37a, 36b, and 37b are each rotatably connected.
또한, 상기한 양 지지축(34),(35)에는 같은 톱니바퀴수로 서로 맞물려있는 톱니바퀴(38),(39)가 각각 회전이 자유롭게 지지되어 있고, 한 쪽의 톱니바퀴(38)는 제1의 평행링크기구(22a),(22b)의 구동측 링크(31a),(31b)에 부착·고정되어 있으며, 다른 쪽의 톱니바퀴(39)가 제2의 평행링크기구(23a),(23b)의 구동측 링크(36a),(36b)에 부착·고정되어 있다.In addition, the above-mentioned support shafts 34 and 35 are rotatably supported by the cog wheels 38 and 39 meshed with each other with the same number of cogs, and one cog wheel 38 It is attached to and fixed to the drive side links 31a and 31b of the first parallel link mechanisms 22a and 22b, and the other gear 39 is the second parallel link mechanism 23a, It is attached to and fixed to the drive side links 36a and 36b of 23b.
상기한 구성에 있어서, 제2의 구동모터(29b)를 회전구동하여 제2의 구동축(25b)을 회전시키면, 제1의 로봇링크기구(B1)의 제1의 평행링크기구(22a)의 구동측 링크(31a)가 회전이동된다. 이 때, 한 쪽의 톱니바퀴(38)가 이 구동측 링크(31a)와 일체형으로 상기한 구동측 링크(31a)의 회전방향으로 회전하고, 이것에 맞물려 있는 다른 쪽의 톱니바퀴(39)는 동일한 회전각만큼 반대방향으로 회전된다. 따라서, 상기한 다른 쪽의 톱니바퀴(39)에 부착·고정되어 있는 제2의 평행링크기구(23a)의 구동측 링크(36a)이 회전이동하고, 제2의 평행링크기구(23a)는 제1의 평행링크기구(22a)의 회전에 따라 동일방향으로 회전하고, 제2의 평행링크기구(23a)의 선단에 연결된 반송대(24a)는 제1의 평행링크기구(22a)의 짧은 회전용 암(30)의 방향을 따라서 평행이동된다. 그리고, 이것에 의하여 반송대(24a),(24b)에 얹혀져 있는 공작물(W)을 트랜스퍼챔버(28)로부터 프로세스챔버 내로 반송하기도 하고, 그 역동작이 행하여 지기도 한다.In the above-described configuration, when the second drive shaft 25b is rotated by rotating the second drive motor 29b, the first parallel link mechanism 22a of the first robot link mechanism B 1 is rotated. The drive side link 31a is rotated. At this time, one gear 38 rotates integrally with the drive side link 31a in the rotational direction of the drive side link 31a described above, and the other gear 39 engaged with this is rotated. It is rotated in the opposite direction by the same rotation angle. Therefore, the drive side link 36a of the second parallel link mechanism 23a attached to and fixed to the other gear 39 is rotated, and the second parallel link mechanism 23a is made to The carrier table 24a, which is rotated in the same direction in accordance with the rotation of the first parallel link mechanism 22a and connected to the tip of the second parallel link mechanism 23a, has a short rotation arm of the first parallel link mechanism 22a. It is parallel moved along the direction of (30). In this manner, the workpiece W mounted on the carrier tables 24a and 24b may be transferred from the transfer chamber 28 into the process chamber, or the reverse operation may be performed.
동일하게 제3의 구동모터(29c)를 구동하여, 제3의 구동축(25c)을 회전시키는 것에 의해 제2의 로봇링크기구(B2)가 상기한 제1의 로봇링크기구(B1)와 동일하게 작동되고, 제2의 반송대(24b)가 상기한 회전용 암(30)의 방향에 따라서 평행이동된다. 이 각 로봇링크기구(B1),(B2)의 반송대(24a),(24b)의 스트로크는 트랜스퍼챔버(28) 내로부터 이것에 인접한 각 프로세스챔버 내로 공작물을 출입시키기에 만족할 만큼의 스트로크로 되어 있다.Similarly, by driving the third drive motor 29c and rotating the third drive shaft 25c, the second robot link mechanism B 2 and the first robot link mechanism B 1 described above. It operates similarly, and the 2nd conveyance stand 24b is moved in parallel along the direction of the above-mentioned rotating arm 30. As shown in FIG. The strokes of the carrier tables 24a, 24b of each of the robot link mechanisms B 1 and B 2 are strokes long enough to allow the workpiece to enter and exit the workpiece from the transfer chamber 28 into each of the adjacent process chambers. It is.
다음에 제1의 구동모터(29a)를 구동하여 제1의 구동축(25a)을 회전시키는 것에 의하여 회전용 암(30)이 회전하여 반송용 로봇(B) 전체가 회전된다. 이 때, 양 로봇링크기구(B1),(B2)는 회전용 암(30)에 대하여 상대적인 자세를 유지할 필요가 있으므로 제2·제3의 구동모터(29b),(29c)도 동시에 구동하여 제2·제3의 구동축(25b),(25c)을 상기한 제1의 구동축(25a)과 동일방향으로 동일의 회전각에 상당하여 회전된다.Next, by rotating the first drive shaft 25a by driving the first drive motor 29a, the rotating arm 30 is rotated so that the entire transport robot B is rotated. At this time, since both robot link mechanisms B 1 and B 2 need to maintain a posture relative to the rotary arm 30, the second and third drive motors 29b and 29c are also driven simultaneously. Thus, the second and third drive shafts 25b and 25c are rotated to correspond to the same rotation angle in the same direction as the first drive shaft 25a described above.
따라서, 이 반송용 로봇(B)의 전체가 회전할 때에는, 제1·제2·제3의 구동모터(29a),(29b),(29c)는 협동하는 것이 되고, 제1의 구동모터(29a)는 특히 대형의 모터를 필요로 하지 않고, 각 로봇링크기구(B1),(B2)를 구동하기 위한 제2·제3의 구동모터(29b),(29c)와 같고, 혹은 그것보다 작은 것이어도 좋다.Therefore, when the whole conveyance robot B rotates, the 1st, 2nd, 3rd drive motors 29a, 29b, 29c will cooperate, and the 1st drive motor ( 29a) does not require a large motor in particular and is the same as the second and third drive motors 29b and 29c for driving the respective robot link mechanisms B 1 and B 2 , or It may be smaller.
상기한 양 로봇링크기구(B1),(B2)의 상하방향의 위치관계는 도 6에 나타내는 바와 같이, 상하방향으로 어긋나 있어, 각 로봇링크기구(B1),(B2)의 반송대(24a),(2 4b)는 서로 간섭함이 없이 왕복운동할 수 있도록 되어 있다.As the position of the top-bottom direction of the amounts robotic link mechanisms (B 1), (B 2 ) relationship is shown in Figure 6, it is shifted in the vertical direction, the transport platforms of each robot link mechanism (B 1), (B 2 ) 24a and 24b are capable of reciprocating without interfering with each other.
이런 종류의 반송용 로봇(B)에 있어서는, 트랜스퍼챔버(28) 내는 저압(진공)으로 유지되어 있으므로, 이 트랜스퍼챔버(28)와 각 구동모터(29a),(29b),(29c)를 수납하는 구동모터실(40)은 기밀하게 차단할 필요가 있다. 이 때문에 상기한 실시예에서는 구동축(25a),(25b),(25c)의 축받침부에 자성유체 시일(27a),(27b),(27c)을 끼워 양 공간의 기밀을 유지하도록 하였지만, 구동모터실(40)과 트랜스퍼챔버(28)의 사이에 기밀하게 칸막이 벽을 설치하여, 각 구동부재를 상기한 칸막이벽을 사이에 두어 마그네트 커플링에 의하여 연결하도록 하여도 좋다.In the transfer robot B of this type, since the inside of the transfer chamber 28 is maintained at low pressure (vacuum), the transfer chamber 28 and the respective driving motors 29a, 29b and 29c are stored. It is necessary to shut off the drive motor chamber 40 to be airtight. For this reason, in the above embodiment, the magnetic fluid seals 27a, 27b, and 27c are inserted into the bearing portions of the drive shafts 25a, 25b, and 25c to maintain the airtightness of both spaces. A partition wall may be provided in an airtight manner between the motor chamber 40 and the transfer chamber 28, and each drive member may be connected by a magnet coupling with the partition wall interposed therebetween.
도 7은 다른 실시예를 나타내는 것이므로, 각 구동축(25a),(25b),(25c)의 선단부는 각각 동경(同徑)의 원판형 보스(41a),(41b),(41c)로 이루어져 있다. 또한, 상기한 각 원판형 보스(41a),(41b),(41c)에 대향하는 외측에 고리형 보스(42a),(42b),(42c)가 각각 독립하여 회전이 자유롭게 트랜스퍼챔버(28) 쪽으로 지지되어 있고, 제1의 고리형 보스(42a)에는 회전용 암(30)이, 제2의 고리형 보스(42b)에는 제1의 로봇링크기구(B1)의 제1의 평행링크기구(22a)의 구동측 링크(31a)가, 제3의 고리형 보스(42c)에는 제2의 로봇링크기구(B2)의 제1의 평행링크기구(22b)의 구동측 링크(31b)가 각각 부착·고정되어 있다. 그리고, 상기한 각 쌍의 원판형 보스와 고리형 보스가 칸막이벽(43)을 사이에 두고 각각 마그네트 커플링(44a),(44b), (44c)에 의하여 자기적으로 연결되어 있다. 칸막이벽(43)은 구동모터실(40)측과 트랜스퍼챔버(28)라는 기밀형상으로 차단하는 구성으로 되어 있고, 이것에 의해 구동모터실(40)과 트랜스퍼챔버(28)가 기밀하게 차단된다.Since FIG. 7 shows another embodiment, the tip portions of each of the drive shafts 25a, 25b, and 25c are made up of disc-shaped bosses 41a, 41b, and 41c, respectively, of the same length. . Further, the transfer chamber 28 is freely rotated independently of the annular bosses 42a, 42b, 42c on the outer side facing the disk bosses 41a, 41b, 41c described above. It is supported on the side, and the rotating arm 30 is attached to the first annular boss 42a, and the first parallel link mechanism of the first robotic link mechanism B 1 is attached to the second annular boss 42b. A drive side link 31a of the first parallel link mechanism 22b of the second robot link mechanism B 2 is provided on the drive side link 31a of the 22a. Each is attached and fixed. The pair of disk-shaped bosses and the annular bosses are magnetically connected by the magnet couplings 44a, 44b, and 44c, respectively, with the partition wall 43 therebetween. The partition wall 43 is configured to block the drive motor chamber 40 side and the transfer chamber 28 in an airtight shape, whereby the drive motor chamber 40 and the transfer chamber 28 are airtightly cut off. .
그리고, 상기한 실시예에서 각 로봇링크기구(B1),(B2)의 제1·제2의 평행링크기구 상호 연결에 톱니바퀴(38),(39)를 사용한 예를 나타내지만, 이것은 도 8로부터 도 10에 나타내는 바와 같이, 2개의 벨트(45a),(45b)를 상기한 톱니바퀴(38),(39)에 대신하여 사용하여도 좋다.Incidentally, in the above embodiment, an example in which the gears 38 and 39 are used for interconnecting the first and second parallel link mechanisms of the robot link mechanisms B 1 and B 2 is provided. As shown in FIG. 8 to FIG. 10, two belts 45a and 45b may be used in place of the gears 38 and 39 described above.
도 8 내지 도 10에 있어서, 한 쪽의 로봇링크기구(B1)에 대하여 설명한다. 제1의 평행링크기구(22a)의 구동측 링크(31a)에 제1 풀리(46)가 부착·고정되어 있고, 또 제2의 평행링크기구(23a)의 구동측 링크(36a)에 제2 풀리(47)가 부착·고정되어 있어 양 풀리(46),(47)에 도 9와 도 10에 나타내듯이, 2개의 벨트(45a),(45b)가 X자형으로 걸려있어 각각의 끝 부분이 각 풀리(46),(47)에 부착·고정되어 있다. 이러한 구성에 의하면, 상기한 톱니바퀴(38),(39)와 동일한 작용을 한다. 더욱이 상기한 벨트는 8자형으로 감아 걸면 1개로 충분하다.8 to 10, one robot link mechanism B 1 will be described. The first pulley 46 is attached to and fixed to the drive side link 31a of the first parallel link mechanism 22a, and the second side is driven to the drive side link 36a of the second parallel link mechanism 23a. As the pulleys 47 are attached and fixed, and the two pulleys 46 and 47 are shown in Figs. 9 and 10, two belts 45a and 45b are hung in an X-shape so that each end portion is It is attached to and fixed to each pulley 46 and 47. According to this structure, it functions similarly to the gearwheels 38 and 39 mentioned above. Furthermore, one belt is sufficient when the belt is wound in an eight shape.
도 11은 본 발명의 제2의 실시예를 나타내는 것으로 이것을 상기한 제1의 실시예와 다른 점만을 설명한다. 제1의 구동축(25a)에 2개의 회전용 암(30a),(30b)이 소정의 각도(θ)를 가지고 부착·고정되어 있다. 그리고, 한 쌍의 로봇링크기구(B1),(B2) 각각의 제1의 평행링크기구(22a),(22b)의 종동측 링크(32a),(32b)가 이 각 회전용 암(30a),(30b)에 연결되어 있다.Fig. 11 shows a second embodiment of the present invention, and only this point is different from the above-described first embodiment. Two rotating arms 30a and 30b are attached to and fixed to the first drive shaft 25a at a predetermined angle θ. Then, the driven side links 32a and 32b of the first parallel link mechanisms 22a and 22b of the pair of robot link mechanisms B 1 and B 2 are respectively rotated arms ( 30a) and 30b.
이 구성에 의하면, 한 쌍의 로봇링크기구(B1),(B2)는 제2·제3의 구동축(25b),(25c)을 회전시키는 것에 의해 각각 작동되고, 각각의 반송대(24a),(24b)는 상기한 각 회전용 암(30a),(30b)의 방향, 즉 θ만큼 각도가 어긋난 방향을 따라 왕복운동된다. 또한, 각 구동축(25a),(25b),(25c)을 일체형의 동일방향으로 회전시키는 것에 의해 양 로봇링크기구(B1),(B2)가 일체로 되어 동일방향으로 회전한다.According to this configuration, the pair of robot link mechanisms B 1 and B 2 are operated by rotating the second and third drive shafts 25b and 25c, respectively, and each of the carrier tables 24a. And 24b are reciprocated along the directions of the respective rotation arms 30a and 30b, i.e., the direction of which the angle is shifted by θ. Moreover, by rotating each drive shaft 25a, 25b, 25c in the same direction of an integrated type, both robot link mechanisms B 1 and B 2 are integrated and rotate in the same direction.
도 12는 본 발명의 제3의 실시예를 나타내는 것으로, 이것을 상기한 제1의 실시예와 다른 점만을 설명한다. 제1의 구동축(25a)에 3개의 회전용 암(30a),(30b) ,(30c)이 동일 각도를 유지하며 방사형상으로 부착·고정되어 있고, 이 각각의 회전용 암(30a),(30b),(30c)에 대응하여 제1·제2·제3의 로봇링크기구(B1),(B2),(B3)가 사용되고 있다. 또한, 이 3개의 회전용 암(30a),(30b),(30c)의 상호의 각도는 동일 각도로 한정되는 것은 아니고, 서로 어떤 각도를 가지면 좋다.Fig. 12 shows a third embodiment of the present invention, and only this point is different from the above-described first embodiment. Three rotary arms 30a, 30b, 30c are attached to and fixed to the first drive shaft 25a in a radial manner, maintaining the same angle, and each of the rotary arms 30a, ( Corresponding to 30b) and 30c, the first, second and third robot link mechanisms B 1 , B 2 and B 3 are used. In addition, the mutual angle of these three rotating arms 30a, 30b, 30c is not limited to the same angle, What is necessary is just to have a mutual angle.
그리고, 각 로봇링크기구(B1),(B2),(B3)의 각 제1의 평행링크기구(22a),(22b) ,(22c)의 종동축 링크(32a),(32b),(32c)가 이 각 회전용 암(30a),(30b),(30c)에 연결되어 있다. 이 실시예의 구동축은 동축형상으로 하여 4개가 설치되어 있다. 또한, 제1의 구동축(25a)에는 상기한 각 회전용 암(30a),(30b),(30c)이, 제2의 구동축(25b)에는 제1의 로봇링크기구(B1)의 평행링크기구(22a)의 구동측 링크(31a)가, 제3의 구동축(25c)에는 제2의 로봇링크기구(B2)의 평행링크기구(22b)의 구동측 링크(31b)가, 제4의 구동축(25d)에는 제3의 로봇링크기구(B3)의 제1의 평행링크기구(22c)의 구동측 링크(31c)가 각각 부착·고정되어 있다.Then, the driven shaft links 32a, 32b of the first parallel link mechanisms 22a, 22b, and 22c of the robot link mechanisms B 1 , B 2 , and B 3 , respectively. , 32c are connected to each of the rotating arms 30a, 30b, and 30c. Four drive shafts of this embodiment are provided coaxially. In addition, the rotational arms 30a, 30b, 30c described above are provided on the first drive shaft 25a, and the parallel links of the first robot link mechanism B 1 are provided on the second drive shaft 25b. The drive side link 31a of the mechanism 22a is connected to the drive side link 31b of the parallel link mechanism 22b of the second robot link mechanism B 2 to the third drive shaft 25c. The drive side link 31c of the first parallel link mechanism 22c of the third robot link mechanism B 3 is attached and fixed to the drive shaft 25d, respectively.
이 기구에 있어서, 각 로봇링크기구(B1),(B2),(B3)의 각 제1의 평행링크기구(22a),(22b),(22c)의 구동측 링크(31a),(31b),(31c)를 제2·제3·제4의 각 구동축(25b),(25c),(25d)을 개별적으로 회전시키는 것에 의해, 각 로봇링크기구(B1),(B2), (B3)는 각각의 반송대(24a),(24b),(24c)가, 각 회전용 암(30a),(30b),(30c)의 방향에 따라서 왕복운동된다. 그리고, 각 구동축(25a),(25b),(25c),(25d)을 동일방향으로 회전시키는 것에 의해 각 로봇링크기구(B1),(B2),(B3)가 일체형으로 되어 회전된다.In this mechanism, the drive side links 31a of the first parallel link mechanisms 22a, 22b, and 22c of the robot link mechanisms B 1 , B 2 , and B 3 , respectively, The robot link mechanisms B 1 and B 2 are rotated by separately rotating the respective driving shafts 25b, 25c, and 25d of the second, third, and fourth driving shafts 31b and 31c. ), (B 3 ), each of the carrier tables 24a, 24b, and 24c is reciprocated along the directions of the rotation arms 30a, 30b, and 30c. Then, by rotating each of the drive shafts 25a, 25b, 25c, and 25d in the same direction, the robot link mechanisms B 1 , B 2 , and B 3 are integrated to rotate. do.
도 13은 본 발명의 제4의 실시예를 나타내는 것으로 이것도 상기한 제1의 실시예와 다른 점만을 설명한다. 이 실시예에서는 상기한 제3의 실시예와 같게 구동축이 동심형상으로 4개 설치되어 있다. 그리고, 제1의 구동축(25a)에는 제1의 회전용 암(30a)이, 또 제2의 구동축(25b)에는 제2의 회전용 암(30b)이 각각 개별적으로 부착·고정되어 있다. 또한, 제3의 구동축(25c)에는 제1의 로봇링크기구(B1)의 제1의 평행링크기구(22a)의 구동측 링크(31a)가, 그리고 제4의 구동축(25d)에는 제2의 로봇링크기구(B2)의 제1의 평행링크기구(22b)의 구동측 링크(31b)가 각각 부착·고정되어 있다.FIG. 13 shows a fourth embodiment of the present invention, which also explains only the differences from the above-described first embodiment. In this embodiment, four drive shafts are provided concentrically as in the third embodiment. And the 1st rotation arm 30a is attached to the 1st drive shaft 25a, and the 2nd rotation arm 30b is respectively attached and fixed to the 2nd drive shaft 25b. Further, the third drive shaft (25c), the driving-side link (31a) of the first parallel link mechanism (22a) of the first robotic link mechanisms (B 1) of, and the drive shaft (25d) of the fourth, the second The driving side links 31b of the first parallel link mechanism 22b of the robot link mechanism B 2 of the robot link mechanism B 2 are attached and fixed, respectively.
한편, 상기한 제1의 회전용 암(30a)에는 제1의 로봇링크기구(B1)의 제1의 평행링크기구(22a)의 종동측 링크(32a)가, 또 제2의 회전용 암(30b)에는 제2의 로봇링크기구(B2)의 제1의 평행링크기구(22b)의 종동측 링크(32b)가 각각 회전이 자유롭게 연결되어 있다.On the other hand, the driven side link 32a of the first parallel link mechanism 22a of the first robotic link mechanism B 1 is connected to the first rotating arm 30a, and the second rotating arm 30a. Rotations of the driven side links 32b of the first parallel link mechanism 22b of the second robot link mechanism B 2 are freely connected to the 30b.
이러한 구성에 있어서, 제3·제4의 구동축(25c),(25d)을 개별적으로 회전시키는 것에 의해 제1·제2의 로봇링크기구(B1),(B2)가 개별적으로 회전되고, 각각의 반송대(24a),(24b)가 각각의 회전용 암(30a),(30b)에 따른 방향으로 왕복운동된다. 또한, 제1의 구동축(25a)과 제3의 구동축(25c)을 동일방향으로 회전시키는 것에 의해, 한 쪽의 로봇링크기구(B1)는 이 제1·제3의 구동축(25a),(25c)의 각각을 구동시키는 2개의 구동모터의 협동에 의하여 회전작동된다.In such a configuration, the first and second robot link mechanisms B 1 and B 2 are individually rotated by rotating the third and fourth drive shafts 25c and 25d separately. Each of the carrier tables 24a and 24b is reciprocated in the direction along the respective rotating arms 30a and 30b. In addition, by rotating the first drive shaft 25a and the third drive shaft 25c in the same direction, one robot link mechanism B 1 is provided with the first and third drive shafts 25a, ( Rotation is performed by the cooperation of two drive motors driving each of 25c).
또한, 제2와 제4의 구동축(25b),(25d)을 동일 방향으로 회전시키는 것에 의하여, 제2의 로봇링크기구(B2)는, 이 제2·제4의 구동축(25b),(25d) 각각을 구동시키는 2개의 구동모터의 협동에 의하여 회전된다.Further, by rotating the second and fourth drive shafts 25b and 25d in the same direction, the second robot link mechanism B 2 is adapted to the second and fourth drive shafts 25b and ( 25d) it is rotated by the cooperation of two drive motors driving each.
상기한 제2∼제4의 실시예를 설명하는 각 도면은 각각의 구성을 개략적으로 나타내는 것으로 각 로봇링크기구의 제1과 제2의 평행링크기구를 연결하는 톱니바퀴기구 혹은 벨트기구를 생략하여 나타냈다. 또한, 상기한 제1∼제4의 각 실시예에 있어서, 각 로봇링크기구(B1),(B2),(B3)에 따른 반송대(24a),(24b),(24c)의 방향은 특별히 정해지는 것은 아니고, 사용목적에 의해 결정된다.Each drawing explaining the above-mentioned second to fourth embodiments schematically shows respective configurations, and omits a gear mechanism or a belt mechanism connecting the first and second parallel link mechanisms of each robot link mechanism. Indicated. Further, in each of the first to fourth embodiments described above, the directions of the carrier tables 24a, 24b, and 24c according to the robot link mechanisms B 1 , B 2 , and B 3, respectively. Is not particularly determined and is determined by the purpose of use.
상기한 구성을 함으로써, 종래 기술에 있어서의 문제점 즉, 용량이 다른 모터를 사용함으로써, 반송용 로봇의 전체를 회전시키기 위한 구동모터를 작고, 예컨대 한 쌍의 로봇링크기구를 구동하기 위한 링크기구 구동용의 구동모터의 크기와 동일하게 할 수 있고, 3개인 구동모터를 공통화를 도모하여 비용을 절감하도록 하는 반송용 로봇을 제공할 수 있다.By the above-described configuration, the problem in the prior art, that is, by using a motor having a different capacity, makes the drive motor for rotating the whole of the transport robot small, for example, a link mechanism drive for driving a pair of robot link mechanisms. It is possible to provide the transfer robot which can be made the same as the size of the driving motor for the dragon, and to reduce the cost by promoting the common driving motor of three.
Claims (3)
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9064405A JPH10249757A (en) | 1997-03-18 | 1997-03-18 | Carrying robot |
| JP97-64405 | 1997-03-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980080413A true KR19980080413A (en) | 1998-11-25 |
Family
ID=13257381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019980009215A KR19980080413A (en) | 1997-03-18 | 1998-03-18 | Transfer Robot |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10249757A (en) |
| KR (1) | KR19980080413A (en) |
| TW (1) | TW376356B (en) |
| WO (1) | WO1998041366A1 (en) |
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| JP2002200583A (en) * | 2000-06-15 | 2002-07-16 | Jel:Kk | Transfer arm |
| WO2002063322A1 (en) | 2001-02-08 | 2002-08-15 | Seiko Epson Corporation | Member exchanger, method of controlling member exchanger, ic inspection method, ic handler, and ic inspector |
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-
1997
- 1997-03-18 JP JP9064405A patent/JPH10249757A/en active Pending
-
1998
- 1998-02-05 TW TW087101468A patent/TW376356B/en active
- 1998-03-04 WO PCT/JP1998/000898 patent/WO1998041366A1/en active Application Filing
- 1998-03-18 KR KR1019980009215A patent/KR19980080413A/en not_active Application Discontinuation
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10249757A (en) | 1998-09-22 |
| TW376356B (en) | 1999-12-11 |
| WO1998041366A1 (en) | 1998-09-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid |