JPH10249757A - Carrying robot - Google Patents
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- JPH10249757A JPH10249757A JP9064405A JP6440597A JPH10249757A JP H10249757 A JPH10249757 A JP H10249757A JP 9064405 A JP9064405 A JP 9064405A JP 6440597 A JP6440597 A JP 6440597A JP H10249757 A JPH10249757 A JP H10249757A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/046—Revolute coordinate type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/0025—Means for supplying energy to the end effector
- B25J19/0029—Means for supplying energy to the end effector arranged within the different robot elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
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- B25J9/0021—All motors in base
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- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルや、半
導体の製造装置、さらにＬＣＤ製造装置等のように、１
つのトランスファチャンバの周囲に複数のステーション
となるプロセスチャンバを配設し、各プロセスチャンバ
にて加工処理される液晶パネルやウエハ等の薄板状のワ
ークを、トランスファチャンバを経由して、このトラン
スファチャンバに設けた搬送用ロボットにて、１つのプ
ロセスチャンバから他のプロセスチャンバへ搬送するよ
うにしたマルチチャンバタイプの製造装置における上記
搬送用ロボットに関するものである。The present invention relates to a liquid crystal panel, a semiconductor manufacturing apparatus, and an LCD manufacturing apparatus.
A plurality of process chambers are arranged around one transfer chamber, and thin plate-like workpieces such as liquid crystal panels and wafers processed in each process chamber are transferred to this transfer chamber via the transfer chamber. The present invention relates to a transfer robot in a multi-chamber type manufacturing apparatus in which a transfer robot provided transfers a process chamber from one process chamber to another.
【０００２】[0002]
【従来の技術】マルチチャンバタイプの製造装置は図１
に示すようになっていて、トランスファチャンバ１の周
囲に、複数のプロセスチャンバからなるプロセスチャン
バステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅと、外部
に対してワークを受け渡しを行うワーク受け渡しステー
ション３とが配設されており、トランスファチャンバ１
内は常時真空装置にて真空状態が保たれており、このト
ランスファチャンバ１内に回転可能に、かつハンドが放
射方向に出没可能にした搬送用ロボットが配置されてい
る。そしてこのトランスファチャンバ１の周壁で、かつ
各プロセスチャンバステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２
ｄ，２ｅ及びワーク受け渡しステーション３に対向する
仕切り壁５には各プロセスチャンバステーションへのワ
ークの出入口となるゲート６が設けてある。このゲート
６はトランスファチャンバ２の内側に各ゲート６に対向
して設けられた図示しない開閉扉にて開閉されるように
なっている。2. Description of the Related Art A multi-chamber type manufacturing apparatus is shown in FIG.
Around the transfer chamber 1, a process chamber station 2a, 2b, 2c, 2d, 2e composed of a plurality of process chambers and a work transfer station 3 for transferring a work to the outside are provided. The transfer chamber 1
The inside of the transfer chamber 1 is kept in a vacuum state at all times by a vacuum device, and a transfer robot is provided in the transfer chamber 1 so as to be rotatable and to allow the hand to move in and out in the radial direction. Then, on the peripheral wall of the transfer chamber 1 and in each of the process chamber stations 2a, 2b, 2c, 2
On the partition wall 5 facing the d, 2e and the work transfer station 3, there is provided a gate 6 serving as an entrance of the work to each process chamber station. The gates 6 are opened and closed by an open / close door (not shown) provided inside the transfer chamber 2 so as to face each gate 6.
【０００３】この種の半導体等の製造装置に用いられる
従来の搬送用ロボットとしては、同一方向作動型の搬送
用ロボットＡ（特開平４−３０４４７号公報）が知られ
ており、従来の技術のものは図３に示すようになってい
る。[0003] As a conventional transfer robot used in this kind of semiconductor or other manufacturing apparatus, a transfer robot A of the same direction operation type (Japanese Patent Laid-Open No. Hei 4-30447) is known. The thing is as shown in FIG.
【０００４】ハンドリング部の支持台として、歯車機構
１０を介して第１の駆動モータ１１で回転する回転台１
２が備えてある。この回転台１２には、一対のロボット
リンク機構Ａ1 ，Ａ2 が並べて設けられている。各ロボ
ットリンク機構Ａ1 ，Ａ2 は、それぞれ同一機構となっ
ていて、一対となる第１の平行リンク機構１３と第２の
平行リンク機構１４が連結されており、先端にワークを
保持する搬送台１５，１５が備えてある。両ロボットリ
ンク機構Ａ1 ，Ａ2 とでは、各搬送台１５，１５の高さ
位置に差があるようになっている。A turntable 1 that is rotated by a first drive motor 11 via a gear mechanism 10 as a support for a handling unit.
There are two. On the turntable 12, a pair of robot link mechanisms A 1 and A 2 are provided side by side. Each of the robot link mechanisms A 1 and A 2 has the same mechanism, and a pair of the first parallel link mechanism 13 and the second parallel link mechanism 14 are connected to each other. Tables 15 and 15 are provided. There is a difference between the two robot linkages A 1 and A 2 in the height positions of the transfer tables 15.
【０００５】第１の平行リンク機構１３は、一対の長い
リンク１３ａ，１３ｂが回転台１２に回転可能に支持さ
れ、各ロボットリンク機構Ａ1 ，Ａ2 のそれぞれの一方
のリンク１３ａの回転中心となる駆動軸１６ａ，１６ｂ
は、回転台１２の下方に取り付けられた第２・第３の駆
動モータ１７ａ，１７ｂに連結されている。リンク１３
ａ，１３ｂの先端に第２の平行リンク機構１４の一対の
リンク１４ａ，１４ｂがそれぞれ回転自在に連結されて
おり、この一対のリンク１４ａ，１４ｂの先端に各搬送
台１５，１５が回転自在に連結されている。In the first parallel link mechanism 13, a pair of long links 13a and 13b are rotatably supported by the turntable 12, and are connected to the rotation center of one link 13a of each of the robot link mechanisms A 1 and A 2. Drive shafts 16a, 16b
Are connected to second and third drive motors 17a and 17b mounted below the turntable 12. Link 13
A pair of links 14a, 14b of the second parallel link mechanism 14 are rotatably connected to the ends of the a and 13b, respectively, and the transfer tables 15, 15 are rotatably connected to the ends of the pair of links 14a, 14b. Are linked.
【０００６】上記両平行リンク機構１３，１４の各リン
ク１３ａ，１３ｂとリンク１４ａ，１４ｂとの連結個所
には、それぞれ同一歯数の歯車１８ａ，１８ｂが互いに
噛合されて取り付けられている。そして一方の歯車１８
ａが第１の平行リンク機構１３の一方のリンク１３ａに
固定され、他方の歯車１８ｂは、第２の平行リンク機構
１４の一方のリンクで、かつ第１の平行リンク機構１３
の他方のリンク１３ｂに連結したリンク１４ａに固定さ
れている。この第２の平行リンク機構１４のリンク１４
ａ，１４ｂは各歯車１８ａ，１８ｂよりも先に延長さ
れ、短いリンク１９にて回転自在に連結されている。[0006] Gears 18a, 18b having the same number of teeth are attached to the connecting portions between the links 13a, 13b and the links 14a, 14b of the two parallel link mechanisms 13, 14, respectively, so as to mesh with each other. And one gear 18
a is fixed to one link 13a of the first parallel link mechanism 13, and the other gear 18b is one link of the second parallel link mechanism 14 and the first gear 13b.
Is fixed to a link 14a connected to the other link 13b. The link 14 of the second parallel link mechanism 14
The gears a and 14b extend before the gears 18a and 18b and are rotatably connected by short links 19.
【０００７】このように構成された搬送用ロボットＡ
は、第２・第３の駆動モータ１７ａ，１７ｂにより各ロ
ボットリンク機構Ａ1 ，Ａ2 の駆動軸１６ａ，１６ｂを
回転することにより、それぞれの第１の平行リンク機構
１３，１３が回転される。そしてこの第１の平行リンク
機構１３，１３の回転により、歯車１８ａ，１８ｂの噛
合によりそれぞれの第２の平行リンク機構１４，１４
が、各第１の平行リンク機構１３，１３の回転方向と逆
方向に同一回転角だけ回転する。その結果、両ロボット
リンク機構Ａ1 ，Ａ2 が互いに外側に向けて屈曲すると
共に、搬送台１５，１５が平行リンク機構の短節に沿う
方向に直線的に平行移動する。また、第１の駆動モータ
１１を駆動することにより、回転台１２が回転して、搬
送用ロボットＡ全体が回転される。[0007] The transfer robot A thus configured
, Each robot link mechanism A 1, A 2 of the drive shaft 16a, by rotating the 16b, each of the first parallel link mechanism 13, 13 is rotated by the second and third drive motors 17a, 17b . The rotation of the first parallel link mechanisms 13, 13 causes the second parallel link mechanisms 14, 14 to be engaged with the gears 18a, 18b.
Are rotated by the same rotation angle in the direction opposite to the rotation direction of each of the first parallel link mechanisms 13. As a result, the two robot link mechanisms A 1 and A 2 bend outward from each other, and the transport tables 15 and 15 move in a straight line in a direction along the short bar of the parallel link mechanism. Further, by driving the first drive motor 11, the turntable 12 is rotated, and the entire transfer robot A is rotated.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術にあっ
ては、一対をなす各ロボットリンク機構Ａ1 ，Ａ2 はそ
れぞれ第２・第３の駆動モータ１７ａ，１７ｂにて駆動
し、搬送用ロボットＡの全体の回転は第１の駆動モータ
１１にて駆動するようになっているため、上記第２・第
３の駆動モータ１７ａ，１７ｂの容量は、各個々のロボ
ットリンク機構Ａ1 ，Ａ2 を駆動するに足りるだけの比
較的小さくてすむが、第１の駆動モータ１１は、これら
の第２・第３の駆動モータ１７ａ，１７ｂ及び回転台１
２等を含む搬送用ロボットＡの全体を回転駆動しなけれ
ばならないため、上記第２・第３の駆動モータ１７ａ，
１７ｂに比較して大きな容量にせざるを得なかった。In the above prior art, a pair of robot link mechanisms A 1 and A 2 are driven by second and third drive motors 17a and 17b, respectively. Since the entire rotation of the robot A is driven by the first drive motor 11, the capacities of the second and third drive motors 17a and 17b are limited to the respective robot link mechanisms A 1 and A 1 . The first drive motor 11 is relatively small enough to drive the second drive motor 2 and the second and third drive motors 17 a and 17 b and the turntable 1.
Since the entirety of the transfer robot A including the second drive motor 17a and the like must be rotationally driven, the second and third drive motors 17a, 17a,
The capacity had to be larger than that of 17b.
【０００９】そのため、３個のモータにおいて、第１の
駆動モータ１１と第２、第３の駆動モータ１７ａ，１７
ｂの２種類の駆動モータを用いなければならないと共
に、その一方の１個の駆動モータが、他方の２個の駆動
モータのそれぞれに比較して高価になり、全体としてコ
スト高となっている問題があった。Therefore, of the three motors, the first drive motor 11 and the second and third drive motors 17a, 17a
The two types of drive motors b must be used, and one of the two drive motors is more expensive than each of the other two drive motors, resulting in a higher cost as a whole. was there.
【００１０】また、この従来の技術のものでは、第２・
第３の駆動モータ１７ａ，１７ｂが、回転台１２と共に
図示しないフレームに対して回転されるため、この第２
・第３の駆動モータ１７ａ，１７ｂにフレーム側から接
続された動力ケーブルや信号ケーブル等のケーブルが、
上記回転に伴ってねじれてしまい、搬送用ロボットを無
制限に回転することができない。この問題を解決するた
めに、上記第２・第３の駆動モータ１７ａ，１７ｂに接
続するケーブルの途中にブラシ接続機構を介装して上記
回転部をこのブラシ接続機構を介して電気的に接続する
ようにしたものがあるが、この構成は複雑であると共
に、寿命的にも問題があるという不具合がある。[0010] Further, according to the prior art, the second
Since the third drive motors 17a and 17b are rotated together with the turntable 12 with respect to a frame (not shown),
A cable such as a power cable or a signal cable connected to the third drive motors 17a and 17b from the frame side;
The transfer robot is twisted with the rotation and cannot rotate the transfer robot without limitation. In order to solve this problem, a brush connection mechanism is interposed in the middle of the cable connected to the second and third drive motors 17a and 17b, and the rotating section is electrically connected via the brush connection mechanism. However, there is a problem that this configuration is complicated and has a problem in life.
【００１１】本発明は上記のことにかんがみなされたも
ので、搬送用ロボットの全体を回転するための駆動モー
タを小さく、例えば一対のロボットリンク機構を駆動す
るためのリンク機構駆動用の駆動モータの大きさと同一
にでき、３個用いる駆動モータの共通化を図ってコスト
ダウンすることができるようにした搬送用ロボットを提
供することを目的とするものである。The present invention has been made in view of the above, and has a small drive motor for rotating the entire transfer robot, for example, a drive motor for driving a link mechanism for driving a pair of robot link mechanisms. It is an object of the present invention to provide a transfer robot which can have the same size and can reduce the cost by using three drive motors in common.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段及び作用・効果】上記目的
を達成するために、本発明に係る搬送用ロボットは、駆
動側リンクと従動側リンクとを平行に構成した第１・第
２の平行リンク機構からなり、先端側の第２の平行リン
ク機構に搬送台を備えたロボットリンク機構を少なくと
も一対有し、各ロボットリンク機構の各第１の平行リン
ク機構の従動側リンクを、一端を駆動軸に固着した回転
用アームに連結し、また各第１の平行リンク機構の駆動
側リンクを駆動軸に固着し、この各駆動軸を同軸状に配
置し、この各駆動軸のそれぞれに駆動モータを連結した
構成となっている。In order to achieve the above object, a transport robot according to the present invention comprises a first and a second parallel link having a drive side link and a driven side link arranged in parallel. The robot has at least one pair of robot link mechanisms, each of which has a carrier on the second parallel link mechanism on the tip side, and drives one end of the driven side link of each first parallel link mechanism of each robot link mechanism. The first parallel link mechanism is connected to a rotating arm fixed to the shaft, and the drive side link of each first parallel link mechanism is fixed to the drive shaft, and the respective drive shafts are coaxially arranged. Are connected.
【００１３】この構成において、回転用アームに連結し
た駆動軸を停止した状態で、各ロボットリンク機構のそ
れぞれの第１の平行リンク機構の駆動側リンクを固着し
た各駆動軸を、それぞれに連結した駆動モータにて回転
することにより、各ロボットリンク機構がそれぞれ独立
して作動し、それぞれの第２の平行リンク機構に備えた
搬送台が直線状に往復動し、この搬送台にて薄板状のワ
ークを、例えばトランスファチャンバからプロセスチャ
ンバ相互にわたって出し入れする。In this configuration, with the drive shaft connected to the rotating arm stopped, the respective drive shafts to which the drive side links of the respective first parallel link mechanisms of the respective robot link mechanisms are fixed are connected to each other. By rotating with the drive motor, each of the robot link mechanisms operates independently, and the carriage provided in each of the second parallel link mechanisms reciprocates linearly, and the carrier has a thin plate shape. Work pieces are moved in and out of the process chamber, for example, from the transfer chamber.
【００１４】また、各ロボットリンク機構の第１の平行
リンク機構の駆動側リンクに固着した各駆動軸と、各従
動側リンクに連結した回転用アームの駆動軸とを同一方
向へ同一回転速度で回転することにより、各ロボットリ
ンク機構が一体状になって同軸状に回転される。Further, each drive shaft fixed to the drive side link of the first parallel link mechanism of each robot link mechanism and the drive shaft of the rotating arm connected to each driven side link are moved at the same rotational speed in the same direction. By the rotation, each robot link mechanism is integrally formed and rotated coaxially.
【００１５】従って、各ロボットリンク機構からなる搬
送用ロボットの全体回転時には、各ロボットリンク機構
を作動する各駆動モータと、回転用アームを駆動する駆
動モータとが協動されることになり、搬送用ロボットの
全体を回転するために回転アームを回転駆動するための
駆動モータの容量を搬送用ロボット全体を１個の駆動モ
ータにて回転させる場合に比較して小型にでき、例えば
これを各ロボットリンク機構を作動するための各駆動モ
ータと同一にすることができて、各駆動モータの共通化
が可能になり、装置の小型化と共にコストダウンを図る
ことができる。Accordingly, when the transfer robot including the robot link mechanisms rotates as a whole, the respective drive motors for operating the respective robot link mechanisms and the drive motors for driving the rotating arms cooperate with each other. The capacity of the drive motor for rotating and driving the rotary arm to rotate the entire robot is smaller than when the entire transfer robot is rotated by one drive motor. Each drive motor for operating the link mechanism can be made the same, and each drive motor can be shared, so that the size of the apparatus can be reduced and the cost can be reduced.
【００１６】また、本発明に係る搬送用ロボットは、上
記搬送用ロボットにおいて、一端を駆動軸に固着した回
転用アームを、複数個一体状に設け、この各回転用アー
ムに各ロボットリンク機構の各第１の平行リンク機構の
従動側リンクを連結し、各第１の平行リンク機構の駆動
側リンクを上記回転用アームの駆動軸と同軸状にした駆
動軸に固着した構成となっており、この構成によれば、
複数のロボットリンク機構を、各回転用アームの方向に
沿って互いに異なる角度方向に作動することができる。In the transfer robot according to the present invention, in the transfer robot, a plurality of rotation arms each having one end fixed to a drive shaft are integrally provided, and each rotation arm is provided with each robot link mechanism. The driven side link of each first parallel link mechanism is connected, and the drive side link of each first parallel link mechanism is fixed to a drive shaft coaxial with the drive shaft of the rotation arm, According to this configuration,
A plurality of robot linkages can operate in different angular directions along the direction of each rotating arm.
【００１７】さらに、本発明に係る搬送用ロボットは、
上記搬送用ロボットにおいて、一端を駆動軸に固着した
複数の回転用アームを、それぞれの駆動軸を同軸状にし
て設け、この各回転用アームに各ロボットリンク機構の
各第１の平行リンク機構の従動側リンクを連結し、各第
１の平行リンク機構の駆動側リンクを上記各回転用アー
ムの駆動軸と同軸状にした駆動軸に固着した構成となっ
ており、この構成によれば、複数のロボットリンク機構
を、個々に回転することができる。Further, the transfer robot according to the present invention comprises:
In the transfer robot, a plurality of rotation arms each having one end fixed to the drive shaft are provided so that each drive shaft is coaxial, and each of the rotation arms is provided with a first parallel link mechanism of each robot link mechanism. The driven links are connected to each other, and the drive link of each first parallel link mechanism is fixed to a drive shaft coaxial with the drive shaft of each of the rotation arms. Can be individually rotated.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図４以下に
基づいて説明する。図４は本発明に係る搬送用ロボット
の第１の実施の形態を示す。この搬送用ロボットＢは一
対のロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 にて構成されてい
る。この各ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 のそれぞれ
は、一対となる第１・第２の平行リンク機構２２ａ，２
３ａ，２２ｂ，２３ｂが連結した構成となっており、先
端にワークを保持する搬送台２４ａ，２４ｂが備えてあ
る。両ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 とでは、各搬送台
２４ａ，２４ｂの高さ位置に差があるようになってい
る。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 4 shows a first embodiment of the transfer robot according to the present invention. The transfer robot B is composed of a pair of robot link mechanisms B 1 and B 2 . Each of the robot link mechanisms B 1 and B 2 is a pair of first and second parallel link mechanisms 22 a and 22.
3a, 22b, and 23b are connected to each other, and transport tables 24a, 24b for holding a work are provided at the end. There is a difference between the two robot link mechanisms B 1 and B 2 in the height positions of the transfer tables 24a and 24b.
【００１９】両ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の作動中
心部には第１・第２・第３の駆動軸２５ａ，２５ｂ，２
５ｃが同心状に配設されている。そして図５に示すよう
に、第２・第３の駆動軸２５ｂ，２５ｃが中空になって
いて、第１の駆動軸２５ａが第２の駆動軸２５ｂ内に軸
受２６ａ及び磁性流体シール２７ａを介して回転自在に
嵌合され、第２の駆動軸２５ｂは第３の駆動軸２５ｃ内
に軸受２６ｂ及び磁性流体シール２７ｂを介して回転自
在に嵌合されている。第３の駆動軸２５ｃは軸受２６ｃ
及び磁性流体シール２７ｃを介してトランスファチャン
バ２８側に回転自在に嵌合支持されている。そして上記
各駆動軸２４ａ，２４ｂ，２５ｃのそれぞれに第１・第
２・第３の駆動モータ２９ａ，２９ｂ，２９ｃが個々に
連結されている。[0019] Both the robot link mechanisms B 1, the operation center of the B 2 first, second and third drive shaft 25a, 25b, 2
5c are arranged concentrically. As shown in FIG. 5, the second and third drive shafts 25b and 25c are hollow, and the first drive shaft 25a is inserted into the second drive shaft 25b via a bearing 26a and a magnetic fluid seal 27a. The second drive shaft 25b is rotatably fitted into the third drive shaft 25c via a bearing 26b and a magnetic fluid seal 27b. The third drive shaft 25c has a bearing 26c.
And rotatably fitted and supported on the transfer chamber 28 side via a magnetic fluid seal 27c. First, second, and third drive motors 29a, 29b, and 29c are individually connected to the drive shafts 24a, 24b, and 25c, respectively.
【００２０】第１の駆動軸２５ａには第１・第２のロボ
ットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 のそれぞれの第１の平行リン
ク機構２２ａ，２２ｂの短節となる長さの回転用アーム
３０の一端部が固着されている。また第２の駆動軸２５
ｂには第１のロボットリンク機構Ｂ1 の第１の平行リン
ク機構２２ａの駆動側リンク３１ａの一端が固着されて
いる。また第３の駆動軸２５ｃには第２のロボットリン
ク機構Ｂ2 の第１の平行リンク機構２２ｂの駆動リンク
３１ｂの一端が固着されている。The first drive shaft 25a is provided with a rotation arm 30 having a length corresponding to a short section of each of the first parallel link mechanisms 22a and 22b of the first and second robot link mechanisms B 1 and B 2 . One end is fixed. Also, the second drive shaft 25
One end of the driving link 31a of the first first parallel link mechanism 22a robotic link mechanism B 1 is being secured to b. Also in the third drive shaft 25c is fixed to one end of the drive link 31b of the second first parallel link mechanism 22b robotic link mechanism B 2.
【００２１】また、上記回転用アーム３０の先端部に
は、両ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2の第１の平行リン
ク機構２２ａ，２２ｂのそれぞれの従動側リンク３２
ａ，３２ｂの一端が回転自在に連結されている。At the tip of the rotation arm 30, the driven side links 32 of the first parallel link mechanisms 22a and 22b of both robot link mechanisms B 1 and B 2 are provided.
a and 32b are rotatably connected at one end.
【００２２】各ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の第１の
平行リンク機構２２ａ，２２ｂのそれぞれのリンク３１
ａ，３２ａ，３１ｂ，３２ｂの先端部が短節リンク３３
ａ，３３ｂに支軸３４，３５を介して回転自在に連結さ
れている。また、この各支軸３４，３５には各ロボット
リンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の第２の平行リンク機構２３ａ，
２３ｂの駆動側及び従動側のリンク３６ａ，３７ａ，３
６ｂ，３７ｂがそれぞれ回転自在に連結されている。Each link 31 of the first parallel link mechanism 22a, 22b of each robot link mechanism B 1 , B 2
a, 32a, 31b, 32b are short link 33
a and 33b are rotatably connected via support shafts 34 and 35. Each of the support shafts 34 and 35 has a second parallel link mechanism 23a of each of the robot link mechanisms B 1 and B 2 .
The links 36a, 37a, 3 on the drive side and the driven side of 23b
6b and 37b are rotatably connected to each other.
【００２３】また上記両支持軸３４，３５には同一歯数
で互いに噛合する歯車３８，３９がそれぞれ回転自在に
支持されており、一方の歯車３８は第１の平行リンク機
構２２ａ，２２ｂの駆動側リンク３１ａ，３１ｂに固着
されており、他方の歯車３９が第２の平行リンク機構２
３ａ，２３ｂの駆動側リンク３６ａ，３６ｂに固着され
ている。Gears 38, 39 meshing with each other with the same number of teeth are rotatably supported by the two support shafts 34, 35, and one of the gears 38 drives the first parallel link mechanisms 22a, 22b. The other gear 39 is fixed to the side links 31a and 31b, and is connected to the second parallel link mechanism 2.
3a, 23b are fixed to the drive side links 36a, 36b.
【００２４】上記構成において、第２の駆動モータ２９
ｂを回転駆動して第２の駆動軸２５ｂを回転すると、第
１のロボットリンク機構Ｂ1 の第１の平行リンク機構２
２ａの駆動側リンク３１ａが回動される。このとき、一
方の歯車３８がこの駆動側リンク３１ａと一体状にこの
リンク３１ａの回転方向に回転し、これに噛合している
他方の歯車３９は同一回転角だけ逆方向に回転する。従
ってこの他方の歯車３９に固着されている第２の平行リ
ンク機構２３ａの駆動側リンク３６ａが回動し、第２の
平行リンク機構２３ａは第１の平行リンク機構２２ａの
回転に連動して同一方向へ回転し、第２の平行リンク機
構２３ａの先端に連結された搬送台２４ａは第１の平行
リンク機構２２ａの短節となる回転用アーム３０の方向
に沿って平行移動される。そしてこれにより搬送台２４
ａ，２４ｂに載置したワークＷをトランスファチャンバ
２８からプロセスチャンバ内へ搬送したり、その逆の動
作が行われる。In the above configuration, the second drive motor 29
When the second drive shaft 25b is rotated to rotate the second drive shaft 25b, the first parallel link mechanism 2 of the first robot link mechanism B 1 is rotated.
The drive side link 31a of 2a is rotated. At this time, one of the gears 38 rotates integrally with the drive side link 31a in the rotation direction of the link 31a, and the other gear 39 meshing with the link rotates in the opposite direction by the same rotation angle. Accordingly, the drive-side link 36a of the second parallel link mechanism 23a fixed to the other gear 39 rotates, and the second parallel link mechanism 23a operates in synchronization with the rotation of the first parallel link mechanism 22a. The transfer table 24a connected to the tip of the second parallel link mechanism 23a is translated in the direction of the rotation arm 30, which is a short node of the first parallel link mechanism 22a. Then, the transport table 24
The work W mounted on the transfer chambers a and 24b is transferred from the transfer chamber 28 into the process chamber, and the reverse operation is performed.
【００２５】同様に、第３の駆動モータ２９ｃを駆動し
て、第３の駆動軸２５ｃを回転することにより第２のロ
ボットリンク機構Ｂ2 が上記した第１のロボットリンク
機構Ｂ1 と同様に作動され、第２の搬送台２４ｂが上記
回転用アーム３０の方向に沿って平行移動される。この
各ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の搬送台２４ａ，２４
ｂのストロークはトランスファチャンバ２８内から、こ
れに隣接した各プロセスチャンバ内にワークを出し入れ
するに足りるだけのストロークとなっている。[0025] Similarly, by driving the third driving motor 29c, the first robotic link mechanism B 1 similarly to the second robot link mechanism B 2 by rotating the third drive shaft 25c has the When activated, the second transfer table 24b is translated in the direction of the rotation arm 30. Each robot link mechanisms B 1, B 2 of the carrying table 24a, 24
The stroke of b is a stroke sufficient to move the work in and out of the transfer chamber 28 into each of the adjacent process chambers.
【００２６】次に第１の駆動モータ２９ａを駆動して第
１の駆動軸２５ａを回転することにより回転用アーム３
０が回転して搬送用ロボットＢ全体が回転される。この
とき、両ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 は回転用アーム
３０に対して相対的な姿勢を保持する必要があるので、
第２・第３の駆動モータ２９ｂ，２９ｃも同時に駆動し
て第２・第３の駆動軸２５ｂ，２５ｃを、上記第１の駆
動軸２５ａと同一方向へ同一の回転角に亘って回転させ
る。Next, by driving the first drive motor 29a to rotate the first drive shaft 25a, the rotation arm 3 is rotated.
The rotation of 0 rotates the entire transfer robot B. At this time, since both robot link mechanisms B 1 and B 2 need to maintain a posture relative to the rotating arm 30,
The second and third drive motors 29b and 29c are simultaneously driven to rotate the second and third drive shafts 25b and 25c in the same direction as the first drive shaft 25a over the same rotation angle.
【００２７】従って、この搬送用ロボットＢの全体の回
転時には、第１・第２・第３の駆動モータ２９ａ，２９
ｂ，２９ｃは協動することになり、第１の駆動モータ２
９ａはことさらに大型のものを必要とせず、各ロボット
リンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 を駆動するための第２・第３の駆
動モータ２９ｂ，２９ｃと同等、もしくはそれより小さ
いものでよい。Therefore, when the transfer robot B rotates as a whole, the first, second, and third drive motors 29a, 29a
b, 29c cooperate with each other, and the first drive motor 2
9a does not require a particularly large one, and may be equivalent to or smaller than the second and third drive motors 29b and 29c for driving the respective robot link mechanisms B 1 and B 2 .
【００２８】上記両ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の上
下方向の位置関係は図６に示すように、上下方向にずれ
ていて、各ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の搬送台２４
ａ，２４ｂは互いに干渉することなく往復動できるよう
になっている。The vertical positional relationship between the two robot link mechanisms B 1 and B 2 is shifted vertically as shown in FIG. 6, and the transfer table 24 of each robot link mechanism B 1 and B 2 is shifted.
a and 24b can reciprocate without interfering with each other.
【００２９】この種の搬送用ロボットＢにあっては、ト
ランスファチャンバ２８内は低圧（真空）に保たれてい
るため、このトランスファアチャンバ２８と各駆動モー
タ２９ａ，２９ｂ，２９ｃを収納する駆動モータ室４０
とは気密状に遮断する必要がある。このため、上記実施
の形態では、駆動軸２５ａ，２５ｂ，２５ｃの軸受部に
磁性流体シール２７ａ，２７ｂ，２７ｃを介装して両空
間の気密を保持するようにしたが、駆動モータ室４０と
トランスファチャンバ２８との間に気密状の隔壁を設
け、各駆動部材をこの隔壁を隔ててマックネットカップ
リングにて連結するようにしてもよい。In this type of transfer robot B, since the inside of the transfer chamber 28 is maintained at a low pressure (vacuum), a drive motor for accommodating the transfer chamber 28 and each of the drive motors 29a, 29b, 29c is provided. Room 40
Must be shut off in an airtight manner. For this reason, in the above embodiment, the magnetic fluid seals 27a, 27b, and 27c are interposed in the bearings of the drive shafts 25a, 25b, and 25c to maintain the airtightness of both spaces. An airtight partition may be provided between the transfer chamber 28 and each drive member may be connected to the transfer chamber 28 by a macnet coupling with the partition therebetween.
【００３０】図７はこの他の実施の形態を示すもので、
各駆動軸２５ａ，２５ｂ，２５ｃの先端部はそれぞれの
同径の円板状ボス４１ａ，４１ｂ，４１ｃとなってい
る。また、上記各円板状ボス４１ａ，４１ｂ，４１ｃに
対向する外側にリング状ボス４２ａ，４２ｂ，４２ｃが
それぞれ独立して回転自在にトランスファチャンバ２８
側に支持されており、第１のリング状ボス４２ａに回転
用アーム３０が、第２のリング状ボス４２ｂに第１のロ
ボットリンク機構Ｂ1 第１の平行リンク機構２２ａの駆
動側リンク３１ａが、第３のリング状ボス４２ｃに第２
のロボットリンク機構Ｂ2 の第１の平行リンク機構２２
ｂの駆動側リンク３１ｂがそれぞれ固着されている。そ
して上記各対の円板状ボスとリンク状ボスとが隔壁４３
を隔ててそれぞれマグネットカップリング４４ａ，４４
ｂ，４４ｃにて磁気的に連結されている。隔壁４３は駆
動モータ室４０側とトランスファチャンバ２８という気
密状に遮断する構成となっていて、これにより駆動モー
タ室４０とトランスファチャンバ２８とが気密状に遮断
される。FIG. 7 shows another embodiment.
The distal ends of the drive shafts 25a, 25b, 25c are disk bosses 41a, 41b, 41c having the same diameter. In addition, ring-shaped bosses 42a, 42b, and 42c are independently and rotatably provided on the outside facing the respective disc-shaped bosses 41a, 41b, and 41c.
Is supported on the side, rotating arm 30 to the first ring-shaped boss 42a is, the driving link 31a of the first robot link mechanisms B 1 first parallel link mechanism 22a in the second ring-shaped boss 42b is The second ring-shaped boss 42c
First parallel link mechanism 22 of the robot link mechanism B 2 of FIG.
The drive-side links 31b of FIG. Then, each pair of the disc-shaped boss and the link-shaped boss is formed by
Magnetic couplings 44a, 44
b and 44c are magnetically coupled. The partition 43 is configured so as to hermetically shut off the drive motor chamber 40 and the transfer chamber 28, whereby the drive motor chamber 40 and the transfer chamber 28 are airtightly shut off.
【００３１】また、上記実施の形態で、各ロボットリン
ク機構Ｂ1 ，Ｂ2 の第１・第２の平行リンク機構相互の
連結に歯車３８，３９を用いた例を示したが、これは図
８から図１０に示すように、２本のベルト４５ａ，４５
ｂを上記歯車３８，３９に代えて用いてもよい。In the above-described embodiment, an example is shown in which the gears 38 and 39 are used to connect the first and second parallel link mechanisms of the robot link mechanisms B 1 and B 2 to each other. 8 to FIG. 10, the two belts 45a and 45
b may be used in place of the gears 38 and 39.
【００３２】図８から図１０において、一方のロボット
リンク機構Ｂ1 について説明する。第１の平行リンク機
構２２ａの駆動側リンク３１ａに第１プーリ４６が固着
されており、また第２の平行リンク機構２３ａの駆動側
リンク３６ａに第２プーリ４７が固着されていて、両プ
ーリ４６，４７に、図９、図１０に示すように、２本の
ベルト４５ａ，４５ｂがたすき掛けされ、それぞれの端
部が各プーリ４６，４７に固着してある。この構成によ
り、上記歯車３８，３９と同様の作用を行う。なおこの
ベルトは、８の字状に巻き掛ければ１本ですむ。[0032] In FIGS. 8-10, described one robotic link mechanism B 1. The first pulley 46 is fixed to the drive side link 31a of the first parallel link mechanism 22a, and the second pulley 47 is fixed to the drive side link 36a of the second parallel link mechanism 23a. 9 and 10, two belts 45a and 45b are crossed over each other, and their ends are fixed to the pulleys 46 and 47, respectively. With this configuration, the same operation as the gears 38 and 39 is performed. In addition, if this belt is wound in the shape of figure 8, only one belt is required.
【００３３】図１１は本発明の第２の実施の形態を示す
もので、これを上記第１の実施の形態と異なる点だけを
説明する。第１の駆動軸２５ａに２本の回転用アーム３
０ａ，３０ｂが所定の角度θを有して固着されている。
そして一対のロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 のそれぞれ
の第１の平行リンク機構２２ａ，２２ｂの従動側リンク
３２ａ，３２ｂがこの各回転用アーム３０ａ，３０ｂに
連結されている。FIG. 11 shows a second embodiment of the present invention. Only the differences from the first embodiment will be described. Two rotation arms 3 are attached to the first drive shaft 25a.
0a and 30b are fixed at a predetermined angle θ.
The pair of robot link mechanisms B 1, B each of the first parallel link mechanism 22a of the 2, 22b of the driven link 32a, 32b is the respective rotation arm 30a, is coupled to 30b.
【００３４】この構成によれば、一対のロボットリンク
機構Ｂ1 ，Ｂ2 は第２・第３の駆動軸２５ｂ，２５ｃを
回転することによりそれぞれ作動して、それぞれの搬送
台２４ａ，２４ｂは上記各回転用アーム３０ａ，３０ｂ
の方向、すなわちθだけ角度がずれた方向に沿って往復
動される。また各駆動軸２５ａ，２５ｂ，２５ｃを一体
状に同一方向に回転することにより、両ロボットリンク
機構Ｂ1 ，Ｂ2 が一体となって同一方向に回転する。According to this configuration, the pair of robot link mechanisms B 1 and B 2 are operated by rotating the second and third drive shafts 25b and 25c, respectively, so that the respective transfer tables 24a and 24b are in the above-mentioned state. Each rotation arm 30a, 30b
, That is, a direction in which the angle is shifted by θ. The drive shafts 25a, 25b, 25c by rotating in the same direction in one piece, and both robot link mechanisms B 1, B 2 are rotated in the same direction together.
【００３５】図１２は本発明の第３の実施の形態を示す
もので、これを上記第１の実施の形態と異なる点だけを
説明する。第１の駆動軸２５ａに３本の回転用アーム３
０ａ，３０ｂ，３０ｃが等角度をあけて放射状に固着し
てあり、この各回転用アーム３０ａ，３０ｂ，３０ｃに
対応して第１・第２・第３のロボットリンク機構Ｂ1，
Ｂ2 ，Ｂ3 が用いられる。なおこの３本の回転用アーム
３０ａ，３０ｂ，３０ｃの相互の角度は等角度に限るも
のではなく、相互にある角度を有していればよい。FIG. 12 shows a third embodiment of the present invention. Only the differences from the first embodiment will be described. Three rotation arms 3 are attached to the first drive shaft 25a.
0a, 30b, and 30c are radially fixed at equal angles, and correspond to the first, second, and third robot link mechanisms B 1 , B 1 , and B corresponding to the respective rotating arms 30a, 30b, and 30c.
B 2 and B 3 are used. Note that the mutual angles of the three rotating arms 30a, 30b, 30c are not limited to equal angles, but may be any angles as long as they have a mutual angle.
【００３６】そして各ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 ，
Ｂ3 の各第１の平行リンク機構２２ａ，２２ｂ，２２ｃ
の従動リンク３２ａ，３２ｂ，３２ｃがこの各回転用ア
ーム３０ａ，３０ｂ，３０ｃに連結されている。この実
施の形態の駆動軸は同軸状にして４本設けてある。そし
て第１の駆動軸２５ａに上記各回転用アーム３０ａ，３
０ｂ，３０ｃが、第２の駆動軸２５ｂに第１のロボット
リンク機構Ｂ1 の平行リンク機構２２ａの駆動側リンク
３１ａが、第３の駆動軸２５ｃに第２のロボットリンク
機構Ｂ2 の平行リンク機構２２ｂの駆動側リンク３１ｂ
が、第４の駆動軸２５ｄに第３のロボットリンク機構Ｂ
3 の第１の平行リンク機構２２ｃの駆動側リンク３１ｃ
がそれぞれ固着されている。Each of the robot link mechanisms B 1 , B 2 ,
Each of the first parallel link mechanism 22a of B 3, 22b, 22c
Driven links 32a, 32b, 32c are connected to the respective rotating arms 30a, 30b, 30c. In this embodiment, four drive shafts are provided coaxially. The first drive shaft 25a is connected to each of the rotation arms 30a, 3a.
0b, 30c are driving link 31a of the first parallel link mechanism 22a robotic link mechanism B 1 to the second drive shaft 25b is a second robotic link mechanism parallel link of B 2 to the third drive shaft 25c Drive side link 31b of mechanism 22b
Is connected to the fourth drive shaft 25d by the third robot link mechanism B.
3 of driving link 31c of the first parallel link mechanism 22c
Are respectively fixed.
【００３７】この機構において、各ロボットリンク機構
Ｂ1 ，Ｂ2 ，Ｂ3 の各第１の平行リンク機構２２ａ，２
２ｂ，２２ｃの駆動側リンク３１ａ，３１ｂ，３１ｃを
第２・第３・第４の各駆動軸２５ｂ，２５ｃ，２５ｄを
個々に回転することにより、各ロボットリンク機構
Ｂ1 ，Ｂ2 ，Ｂ3 は、それぞれの搬送台２４ａ，２４
ｂ，２４ｃが、各回転アーム３０ａ，３０ｂ，３０ｃの
方向に沿って往復動される。そして各駆動軸２５ａ，２
５ｂ，２５ｃ，２５ｄを同一方向に回転することにより
各ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 ，Ｂ3 が一体状になっ
て回転される。In this mechanism, the first parallel link mechanisms 22a, 22a of the robot link mechanisms B 1 , B 2 , B 3 are used.
By rotating the second, third, and fourth drive shafts 25b, 25c, and 25d of the drive-side links 31a, 31b, and 31c of the 2b and 22c individually, each of the robot link mechanisms B 1 , B 2 , and B 3 is rotated. Are the respective transfer tables 24a, 24
b, 24c are reciprocated along the directions of the rotating arms 30a, 30b, 30c. And each drive shaft 25a, 2
By rotating 5b, 25c and 25d in the same direction, the robot link mechanisms B 1 , B 2 and B 3 are integrally rotated.
【００３８】図１３は本発明の第４の実施の形態を示す
もので、これも上記第１の実施の形態と異なる点だけを
説明する。この実施の形態では上記第３の実施の形態と
同じように駆動軸が同心状に４本設けてある。そして第
１の駆動軸２５ａに第１の回転用アーム３０ａが、また
第２の駆動軸２５ｂに第２の回転用アーム３０ｂがそれ
ぞれ別々に固着されている。また第３の駆動軸２５ｃに
は第１のロボットリンク機構Ｂ1 の第１の平行リンク機
構２２ａの駆動側リンク３１ａが、また第４の駆動軸２
５ｄには第２のロボットリンク機構Ｂ2 の第１の平行リ
ンク機構２２ｂの駆動側リンク３１ｂがそれぞれ固着し
てある。FIG. 13 shows a fourth embodiment of the present invention, and only differences from the first embodiment will be described. In this embodiment, similarly to the third embodiment, four drive shafts are provided concentrically. A first rotation arm 30a is fixed to the first drive shaft 25a, and a second rotation arm 30b is fixed to the second drive shaft 25b. Also in the third drive shaft 25c driving link 31a of the first first parallel link mechanism 22a robotic link mechanism B 1 is, and the fourth drive shaft 2
The 5d are driving link 31b of the second first parallel link mechanism 22b robotic link mechanism B 2 is fixed respectively.
【００３９】一方上記第１の回転用アーム３０ａに第１
のロボットリンク機構Ｂ1 の第１の平行リンク機構２２
ａの従動側リンク３２ａが、また第２の回転用アーム３
０ｂに第２のロボットリンク機構Ｂ2 の第１の平行リン
ク機構２２ｂの従動側リンク３２ｂがそれぞれ回転自在
に連結されている。On the other hand, the first rotation arm 30a is
First parallel link mechanism 22 of the robot link mechanism B 1 of FIG.
a of the driven side link 32a
Driven side link 32b of the second first parallel link mechanism 22b robotic link mechanism B 2 is rotatably connected respectively to 0b.
【００４０】この構成において、第３・第４の駆動軸２
５ｃ，２５ｄを個々に回転することにより第１・第２の
ロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 が個々に作動されて、そ
れぞれの搬送台２４ａ，２４ｂがそれぞれの回転用アー
ム３０ａ，３０ｂに沿う方向に往復動される。また、第
１の駆動軸２５ａと第３の駆動軸２５ｃを同一方向に回
転することにより、一方のロボットリンク機構Ｂ1 は、
この第１・第３の駆動軸２５ａ，２５ｃのそれぞれを駆
動する２個の駆動モータの協動にて回転作動される。In this configuration, the third and fourth drive shafts 2
By rotating individually 5c and 25d, the first and second robot link mechanisms B 1 and B 2 are individually actuated, and the respective transfer tables 24a and 24b are moved along the respective rotation arms 30a and 30b. Is reciprocated. Further, by rotating the first drive shaft 25a and the third drive shaft 25c in the same direction, one of the robot link mechanisms B 1
The first and third drive shafts 25a and 25c are rotated by the cooperation of two drive motors that drive the respective drive shafts.
【００４１】また、第２と第４の駆動軸２５ｂ，２５ｄ
を同一方向に回転することにより、第２のロボットリン
ク機構Ｂ2 は、この第２・第３の駆動軸２５ｂ，２５ｄ
のそれぞれを駆動する２個の駆動モータの協動にて回転
される。Further, the second and fourth drive shafts 25b, 25d
Are rotated in the same direction, so that the second robot link mechanism B 2 is connected to the second and third drive shafts 25 b and 25 d.
Are rotated by the cooperation of two drive motors for driving the respective motors.
【００４２】上記第２〜第４の実施の形態を説明する各
図面はそれぞれ構成を概略的に示すもので、各ロボット
リンク機構の第１と第２の平行リンク機構を連結する歯
車機構あるいはベルト機構を省略して示した。また上記
第１〜第４の各実施例において、各ロボットリンク機構
Ｂ1 ，Ｂ2 ，Ｂ3 における搬送台２４ａ，２４ｂ，２４
ｃの向きは特に決められてものではなく、使用目的によ
り決める。Each of the drawings for describing the second to fourth embodiments schematically shows the structure, and a gear mechanism or a belt for connecting the first and second parallel link mechanisms of each robot link mechanism. The mechanism is omitted. In each embodiment of the first to fourth, carrier table 24a in each robot link mechanisms B 1, B 2, B 3 , 24b, 24
The direction of c is not particularly determined, but is determined according to the purpose of use.
【図１】マルチチャンバタイプの製造装置の一例である
半導体製造装置の概略的な平面図である。FIG. 1 is a schematic plan view of a semiconductor manufacturing apparatus which is an example of a multi-chamber type manufacturing apparatus.
【図２】トランスファチャンバを示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a transfer chamber.
【図３】従来の搬送用ロボットを示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a conventional transfer robot.
【図４】本発明の第１の実施の形態を概略的に示す平面
図である。FIG. 4 is a plan view schematically showing the first embodiment of the present invention.
【図５】本発明における回転駆動部を示す断面図であ
る。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a rotation drive unit according to the present invention.
【図６】本発明におけるロボットリンク機構の要部を示
す断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing a main part of the robot link mechanism according to the present invention.
【図７】本発明における回転駆動部の他例を示す断面図
である。FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating another example of the rotation drive unit according to the present invention.
【図８】ロボットリンク機構の平行リンク相互の連結部
の他例を示す構成説明図である。FIG. 8 is a configuration explanatory view showing another example of the connecting portion of the parallel link of the robot link mechanism.
【図９】図８のＡ−Ａ線に沿う断面図である。FIG. 9 is a sectional view taken along line AA of FIG. 8;
【図１０】図８のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。FIG. 10 is a sectional view taken along line BB of FIG. 8;
【図１１】本発明の第２の実施の形態を概略的に示す平
面図である。FIG. 11 is a plan view schematically showing a second embodiment of the present invention.
【図１２】本発明の第３の実施の形態を概略的に示す平
面図である。FIG. 12 is a plan view schematically showing a third embodiment of the present invention.
【図１３】本発明の第４の実施の形態を概略的に示す平
面図である。FIG. 13 is a plan view schematically showing a fourth embodiment of the present invention.
１，２８…トランスファチャンバ ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ…プロセルチャンバステ
ーション ３…ワーク受け渡しステーション ５…仕切り壁 ６…ゲート １０…歯車機構 １１，１７ａ，１７ｂ，２９ａ，２９ｂ，２９ｃ…駆動
モータ １２…回転台 １３，２２ａ，２２ｂ，２２ｃ…第１の平行リンク機構 １４，２３ａ，２３ｂ…第２の平行リンク機構 ２４ａ，２４ｂ…搬送台 ２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄ…駆動軸 ３０，３０ａ，３０ｂ，３０ｃ…回転用アーム ３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３６ａ，３６ｂ…駆動側リン
ク ３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３７ａ，３７ｂ…従動側リン
ク ３８，３９…歯車 ４３…隔壁 ４４ａ…，４４ｂ，４４ｃ…マグネットカップリング ４５ａ，４５ｂ…ベルト ４６，４７…プーリイ Ａ，Ｂ…搬送用ロボット Ｂ1 ，Ｂ2 ，Ｂ3 …ロボットリンク機構1, 28 transfer chambers 2a, 2b, 2c, 2d, 2e process chamber station 3 work transfer station 5 partition wall 6 gate 10 gear mechanism 11, 17a, 17b, 29a, 29b, 29c drive motor 12 ... Rotating table 13,22a, 22b, 22c ... First parallel link mechanism 14,23a, 23b ... Second parallel link mechanism 24a, 24b ... Transfer table 25a, 25b, 25c, 25d ... Drive shaft 30,30a, 30b , 30c ... rotating arms 31a, 31b, 31c, 36a, 36b ... driving links 32a, 32b, 32c, 37a, 37b ... driven links 38, 39 ... gears 43 ... partition walls 44a ..., 44b, 44c ... magnet coupling 45a, 45b ... belts 46, 47 ... pulleys A, B ... transport rollers Tsu door B 1, B 2, B 3 ... robot link mechanism
Claims (3)
構成した第１・第２の平行リンク機構からなり、先端側
の第２の平行リンク機構に搬送台を備えたロボットリン
ク機構を少なくとも一対有し、各ロボットリンク機構の
各第１の平行リンク機構の従動側リンクを、一端を駆動
軸に固着した回転用アームに連結し、また各第１の平行
リンク機構の駆動側リンクを駆動軸に固着し、この各駆
動軸を同軸状に配置し、この各駆動軸のそれぞれに駆動
モータを連結したことを特徴とする搬送用ロボット。At least a robot link mechanism comprising a first and a second parallel link mechanism in which a drive side link and a driven side link are configured to be parallel to each other and having a transfer table in a second parallel link mechanism on the distal end side. A pair of the driven side links of each first parallel link mechanism of each robot link mechanism are connected to a rotating arm having one end fixed to a drive shaft, and a drive side link of each first parallel link mechanism is driven. A transfer robot fixed to a shaft, each of the drive shafts being coaxially arranged, and a drive motor connected to each of the drive shafts.
て、一端を駆動軸に固着した回転用アームを、複数個一
体状に設け、この各回転用アームに各ロボットリンク機
構の各第１の平行リンク機構の従動側リンクを連結し、
各第１の平行リンク機構の駆動側リンクを上記回転用ア
ームの駆動軸と同軸状にした駆動軸に固着したことを特
徴とする搬送用ロボット。2. The transfer robot according to claim 1, wherein a plurality of rotation arms each having one end fixed to a drive shaft are integrally provided, and each rotation arm is provided with a first parallel arm of each robot link mechanism. Link the driven side link of the link mechanism,
A transfer robot wherein a drive side link of each of the first parallel link mechanisms is fixed to a drive shaft coaxial with a drive shaft of the rotation arm.
て、一端を駆動軸に固着した複数の回転用アームを、そ
れぞれの駆動軸を同軸状にして設け、この各回転用アー
ムに各ロボットリンク機構の各第１の平行リンク機構の
従動側リンクを連結し、各第１の平行リンク機構の駆動
側リンクを上記各回転用アームの駆動軸と同軸状にした
駆動軸に固着したことを特徴とする搬送用ロボット。3. The transfer robot according to claim 1, wherein a plurality of rotation arms each having one end fixed to the drive shaft are provided so that each drive shaft is coaxial, and each of the rotation arms has a robot link mechanism. And the driven side links of each of the first parallel link mechanisms are connected to each other, and the drive side links of each of the first parallel link mechanisms are fixed to a drive shaft coaxial with the drive shaft of each of the rotating arms. Transfer robot.
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Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002200583A (en) * | 2000-06-15 | 2002-07-16 | Jel:Kk | Transfer arm |
| EP1249318A2 (en) * | 2001-04-05 | 2002-10-16 | Teijin Seiki Co., Ltd. | A robot arm mechanism comprising a plurality of handling members |
| JP2002362738A (en) * | 2001-06-04 | 2002-12-18 | Jel:Kk | Conveyance arm |
| JP2006041233A (en) * | 2004-07-28 | 2006-02-09 | Jel:Kk | Conveyance arm |
| KR100671353B1 (en) * | 1999-12-22 | 2007-01-22 | 가부시키가이샤 제이이엘 | Transfer arm |
| EP1907173A1 (en) * | 2005-07-11 | 2008-04-09 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus |
| JP2008157329A (en) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Shinko Electric Co Ltd | Linear conveyance device for article, and belt tension regulating method for the device |
| WO2009034795A1 (en) * | 2007-09-10 | 2009-03-19 | Ulvac, Inc. | Substrate transfer robot and vacuum processing apparatus |
| US7645112B2 (en) | 2004-06-29 | 2010-01-12 | Ulvac Inc. | Transport apparatus, control method for the same, and vacuum processing system |
| JP2010142952A (en) * | 2001-04-05 | 2010-07-01 | Nabtesco Corp | Robot arms |
| WO2011080897A1 (en) * | 2009-12-28 | 2011-07-07 | 株式会社アルバック | Drive device and conveyance device |
| JP2011189422A (en) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Ulvac Japan Ltd | Joint device and substrate transporting device |
| WO2012160886A1 (en) * | 2011-05-23 | 2012-11-29 | 村田機械株式会社 | Plate material processing system |
| JP2013049113A (en) * | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Yaskawa Electric Corp | Robot arm structure, and robot |
| JP2013082031A (en) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Ulvac Japan Ltd | Conveyance robot and vacuum device |
| US9186799B2 (en) | 2011-07-13 | 2015-11-17 | Brooks Automation, Inc. | Compact direct drive spindle |
| JP2019005824A (en) * | 2017-06-21 | 2019-01-17 | 日本精工株式会社 | Arm mechanism |
| JP2020082160A (en) * | 2018-11-29 | 2020-06-04 | 宇部興産機械株式会社 | Spray device |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100521956B1 (en) | 2001-02-08 | 2005-10-14 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | Ic inspection method, ic handler, and ic inspector |
| JP4490341B2 (en) * | 2005-07-05 | 2010-06-23 | 株式会社ダイヘン | Link device and transfer robot |
| US8408109B2 (en) * | 2007-10-22 | 2013-04-02 | Formax, Inc. | Food article feed apparatus for a food article slicing machine |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0825151B2 (en) * | 1988-09-16 | 1996-03-13 | 東京応化工業株式会社 | Handling unit |
| JP3113729B2 (en) * | 1992-04-13 | 2000-12-04 | 日本真空技術株式会社 | Parallel link robot with coaxial drive |
-
1997
- 1997-03-18 JP JP9064405A patent/JPH10249757A/en active Pending
-
1998
- 1998-02-05 TW TW087101468A patent/TW376356B/en active
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- 1998-03-18 KR KR1019980009215A patent/KR19980080413A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (38)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100671353B1 (en) * | 1999-12-22 | 2007-01-22 | 가부시키가이샤 제이이엘 | Transfer arm |
| JP2002200583A (en) * | 2000-06-15 | 2002-07-16 | Jel:Kk | Transfer arm |
| JP2010142952A (en) * | 2001-04-05 | 2010-07-01 | Nabtesco Corp | Robot arms |
| EP1249318A2 (en) * | 2001-04-05 | 2002-10-16 | Teijin Seiki Co., Ltd. | A robot arm mechanism comprising a plurality of handling members |
| EP1249318A3 (en) * | 2001-04-05 | 2005-01-19 | Teijin Seiki Co., Ltd. | A robot arm mechanism comprising a plurality of handling members |
| CN100396449C (en) * | 2001-04-05 | 2008-06-25 | 帝人制机株式会社 | Arm mechanism of robot |
| JP2002362738A (en) * | 2001-06-04 | 2002-12-18 | Jel:Kk | Conveyance arm |
| JP4757404B2 (en) * | 2001-06-04 | 2011-08-24 | 株式会社ジェーイーエル | Transfer arm |
| US7645112B2 (en) | 2004-06-29 | 2010-01-12 | Ulvac Inc. | Transport apparatus, control method for the same, and vacuum processing system |
| JP2006041233A (en) * | 2004-07-28 | 2006-02-09 | Jel:Kk | Conveyance arm |
| JP4543249B2 (en) * | 2004-07-28 | 2010-09-15 | アテル株式会社 | Transfer arm |
| EP1907173A1 (en) * | 2005-07-11 | 2008-04-09 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus |
| EP1907173A4 (en) * | 2005-07-11 | 2010-07-07 | Brooks Automation Inc | Substrate transport apparatus |
| US8573919B2 (en) | 2005-07-11 | 2013-11-05 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus |
| US10065307B2 (en) | 2005-07-11 | 2018-09-04 | Brooks Automation Inc. | Substrate transport apparatus |
| US11426865B2 (en) | 2005-07-11 | 2022-08-30 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate transport apparatus |
| JP2008157329A (en) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Shinko Electric Co Ltd | Linear conveyance device for article, and belt tension regulating method for the device |
| TWI394647B (en) * | 2007-09-10 | 2013-05-01 | Ulvac Inc | Robot for transferring substrates and vacuum processing apparatus |
| WO2009034795A1 (en) * | 2007-09-10 | 2009-03-19 | Ulvac, Inc. | Substrate transfer robot and vacuum processing apparatus |
| JPWO2009034795A1 (en) * | 2007-09-10 | 2010-12-24 | 株式会社アルバック | Substrate transfer robot, vacuum processing equipment |
| WO2011080897A1 (en) * | 2009-12-28 | 2011-07-07 | 株式会社アルバック | Drive device and conveyance device |
| JP5463367B2 (en) * | 2009-12-28 | 2014-04-09 | 株式会社アルバック | Driving device and conveying device |
| JPWO2011080897A1 (en) * | 2009-12-28 | 2013-05-09 | 株式会社アルバック | Driving device and conveying device |
| US9252038B2 (en) | 2009-12-28 | 2016-02-02 | Ulvac, Inc. | Drive device and conveyance device |
| JP2011189422A (en) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Ulvac Japan Ltd | Joint device and substrate transporting device |
| WO2012160886A1 (en) * | 2011-05-23 | 2012-11-29 | 村田機械株式会社 | Plate material processing system |
| JP5660207B2 (en) * | 2011-05-23 | 2015-01-28 | 村田機械株式会社 | Board processing system |
| CN103547391A (en) * | 2011-05-23 | 2014-01-29 | 村田机械株式会社 | Plate material processing system |
| US9902081B2 (en) | 2011-05-23 | 2018-02-27 | Murata Machinery, Ltd. | Plate material processing system |
| US9186799B2 (en) | 2011-07-13 | 2015-11-17 | Brooks Automation, Inc. | Compact direct drive spindle |
| US9751209B2 (en) | 2011-07-13 | 2017-09-05 | Brooks Automation, Inc. | Compact direct drive spindle |
| US10493620B2 (en) | 2011-07-13 | 2019-12-03 | Brooks Automation, Inc. | Compact direct drive spindle |
| US11110598B2 (en) | 2011-07-13 | 2021-09-07 | Brooks Automation, Inc. | Compact direct drive spindle |
| US11772261B2 (en) | 2011-07-13 | 2023-10-03 | Brooks Automation Us, Llc | Compact direct drive spindle |
| JP2013049113A (en) * | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Yaskawa Electric Corp | Robot arm structure, and robot |
| JP2013082031A (en) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Ulvac Japan Ltd | Conveyance robot and vacuum device |
| JP2019005824A (en) * | 2017-06-21 | 2019-01-17 | 日本精工株式会社 | Arm mechanism |
| JP2020082160A (en) * | 2018-11-29 | 2020-06-04 | 宇部興産機械株式会社 | Spray device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1998041366A1 (en) | 1998-09-24 |
| KR19980080413A (en) | 1998-11-25 |
| TW376356B (en) | 1999-12-11 |
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