JP6417444B2 - Transport device - Google Patents
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Description
本発明は、搬送装置に関する。 The present invention relates to a transport apparatus.
従来から、基板等のワークを移送するための移送装置が知られている(たとえば特許文献1参照)。図1に示すように、従来の装置900は、フロッグレッグ型ロボットと称されることもあり、前部アーム912〜915と、駆動アーム917,918と、基台919と、載置台925,926と、を備える。
Conventionally, a transfer device for transferring a workpiece such as a substrate is known (for example, see Patent Document 1). As shown in FIG. 1, the
駆動アーム917,918は各々、基台919に対して回動可能に支持されている。前部アーム912,913の基端は、駆動アーム917,918に回動可能にそれぞれ連結されている。前部アーム912,913の先端は、載置台925に連結されている。同様に、前部アーム914,915の基端は、駆動アーム917,918に回動可能にそれぞれ連結されている。前部アーム914,915の先端は、載置台926に連結されている。載置台925,926にはワークが載置された状態で、搬送される。装置900では、駆動アーム917,918が基台919に対して回動することにより、載置台925,926が進退移動を行う。図1には、装置900が原点姿勢にある状態を示しており、図2には、前部アーム912,913が伸展した状態を示している。装置900はわずかな駆動で前後対称な2対のアームの伸縮動作が可能であるため、作業効率において優位である。
The
一般的に装置900としては、旋回範囲が小さいものが好まれる傾向にある。一方で、装置900が搬送可能なワークの大きさをより大きくしたい要望もある。より大きなワークを搬送するためには、載置台925,926の伸縮動作距離をより長くすることが考えられる。載置台925,926の伸縮動作距離は、前部アーム912〜915の長さや、駆動アーム917,918の長さに依存している。そのため、伸縮動作距離を長くする際には、前部アーム912〜915の長さや、駆動アーム917,918の長さを長くすることが考えられる。しかしながら、前部アーム912〜915の長さや、駆動アーム917,918の長さを長くすると、装置900の旋回範囲も大きくならざるをえない。
In general, as the
本発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、旋回範囲を大きくすることなく、より大きなワークを搬送することが可能な搬送装置を提供することをその主たる課題とする。 The present invention has been conceived under the circumstances described above, and its main problem is to provide a transport device capable of transporting larger workpieces without increasing the turning range. .
本発明の第1の側面によると、基体と、第1移動部と、前記第1移動部に対して第1方向側に位置する第2移動部と、前記第1移動部および前記第2移動部を、前記第1方向に平行な平面に沿って前記基体に対して移動させる移動機構と、を備え、前記移動機構は、回動部材と第1案内アームと第2案内アームと、を含み、前記回動部材は、前記基体に対して回動可能に、前記基体に支持されており、前記第1案内アームは、前記第1移動部に連結され、且つ、前記第1方向に直交する第2方向に沿って延びる第1中間軸線周りに回
動可能に、前記回動部材に連結されており、前記第2案内アームは、前記第2移動部に連結され、且つ、前記第2方向に沿って延びる第2中間軸線回りに回動可能に、前記回動部材に連結されており、前記第1中間軸線は、平面視において、前記第2中間軸線に対して前記第1方向側に位置している、搬送装置が提供される。
According to the first aspect of the present invention, the base, the first moving unit, the second moving unit positioned on the first direction side with respect to the first moving unit, the first moving unit, and the second moving unit A moving mechanism that moves the portion relative to the base body along a plane parallel to the first direction, and the moving mechanism includes a rotating member, a first guide arm, and a second guide arm. The rotating member is supported by the base body so as to be rotatable with respect to the base body, and the first guide arm is connected to the first moving portion and is orthogonal to the first direction. The second guide arm is connected to the second moving part, and is connected to the second moving portion so as to be rotatable about a first intermediate axis extending along the second direction. Connected to the rotating member so as to be rotatable around a second intermediate axis extending along the first axis. During axes, in plan view, it is located in said first direction relative to the second intermediate axes, transport apparatus is provided.
好ましくは、前記第1案内アームは、平面視において、前記第2案内アームに交差している。 Preferably, the first guide arm intersects the second guide arm in plan view.
好ましくは、前記第1案内アームは、前記第1方向側に湾曲した湾曲部を有する。 Preferably, the first guide arm has a curved portion curved toward the first direction.
好ましくは、前記第2案内アームは、前記第1方向とは反対の第3方向側に湾曲した湾曲部を有する。 Preferably, the second guide arm has a curved portion curved in a third direction opposite to the first direction.
好ましくは、前記回動部材は、前記第2方向に沿って延びる回動軸線周りに回動可能に、前記基体に連結されている。 Preferably, the rotation member is coupled to the base body so as to be rotatable around a rotation axis extending along the second direction.
好ましくは、前記回動部材は、1つの回動アームであり、前記回動アームには、前記第1案内アームおよび前記第2案内アームのいずれもが連結されている。 Preferably, the rotating member is one rotating arm, and both the first guide arm and the second guide arm are connected to the rotating arm.
好ましくは、前記回動部材は、第1回動アームと第2回動アームとを含み、前記第1回動アームおよび前記第2回動アームは、前記基体に対して回動可能に、前記基体に連結されており、前記第1案内アームは、前記第1回動アームに対して前記第1中間軸線回りに回動可能に、前記第1回動アームに連結されており、前記第2案内アームは、前記第2回動アームに対して前記第2中間軸線回りに回動可能に、前記第2回動アームに連結されている。 Preferably, the rotating member includes a first rotating arm and a second rotating arm, and the first rotating arm and the second rotating arm are rotatable with respect to the base body, The first guide arm is coupled to the first pivot arm so as to be pivotable about the first intermediate axis with respect to the first pivot arm, and the second guide arm is coupled to the base. The guide arm is connected to the second rotating arm so as to be rotatable about the second intermediate axis with respect to the second rotating arm.
好ましくは、前記回動部材、前記第1案内アーム、前記第2案内アーム、第1中間軸線、および第2中間軸線を、それぞれ、右側回動部材、右側第1案内アーム、右側第2案内アーム、右側第1中間軸線、および右側第2中間軸線とし、前記移動機構は、左側回動部材と左側第1案内アームと左側第2案内アームと、を含み、前記左側回動部材は、前記基体に対して、前記右側回動部材とは反対側に配置されており、前記左側回動部材は、前記基体に対して回動可能に、前記基体に支持されており、前記左側第1案内アームは、前記第1移動部に連結され、且つ、前記第2方向に沿って延びる左側第1中間軸線周りに回動可能に、前記左側回動部材に連結されており、前記左側第2案内アームは、前記第2移動部に連結され、且つ、前記第2方向に沿って延びる左側第2中間軸線回りに回動可能に、前記左側回動部材に連結されており、前記左側第1中間軸線は、平面視において、前記左側第2中間軸線に対して前記第1方向側に位置している。 Preferably, the rotation member, the first guide arm, the second guide arm, the first intermediate axis, and the second intermediate axis are respectively connected to the right rotation member, the right first guide arm, and the right second guide arm. The right first intermediate axis and the right second intermediate axis, and the moving mechanism includes a left rotation member, a left first guide arm, and a left second guide arm, and the left rotation member is the base body On the other hand, the left rotation member is disposed on the opposite side of the right rotation member, and the left rotation member is supported by the base so as to be rotatable with respect to the base. Is coupled to the left pivot member so as to be pivotable about a left first intermediate axis that is coupled to the first moving portion and extends along the second direction, and the left second guide arm. Is connected to the second moving part, and the second The left side first intermediate axis is connected to the left side second intermediate axis in a plan view so as to be rotatable around a left side second intermediate axis extending in the direction. It is located on the first direction side.
好ましくは、前記左側第1案内アームは、平面視において、前記左側第2案内アームに交差している。 Preferably, the left first guide arm intersects the left second guide arm in plan view.
好ましくは、前記基体の内部に配置された駆動部を更に備え、前記駆動部は、前記左側回動部材および前記右側回動部材をそれぞれ、前記基体に対して回動させる。 Preferably, the driving unit further includes a driving unit disposed inside the base, and the driving unit rotates the left side rotation member and the right side rotation member with respect to the base.
好ましくは、各々がワークを保持するための第1保持部および第2保持部を更に備え、前記第1保持部は、前記第1移動部に取り付けられており、前記第2保持部は、前記第2移動部に取り付けられている。 Preferably, each further includes a first holding part and a second holding part for holding a workpiece, wherein the first holding part is attached to the first moving part, and the second holding part is It is attached to the second moving part.
本発明の第2の側面によると、基体と、第1移動部と、前記第1移動部に対して第1方向側に位置する第2移動部と、前記第1移動部および前記第2移動部を、前記第1方向に
平行な平面に沿って前記基体に対して移動させる移動機構と、を備え、前記移動機構は、回動部材と第1案内アームと第2案内アームと、を含み、前記回動部材は、前記基体に対して回動可能に、前記基体に支持されており、前記第1案内アームは、前記第1移動部に連結され、且つ、前記第1方向に直交する第2方向に沿って延びる第1中間軸線周りに回動可能に、前記回動部材に連結されており、前記第2案内アームは、前記第2移動部に連結され、且つ、前記第2方向に沿って延びる第2中間軸線回りに回動可能に、前記回動部材に連結されており、前記第1中間軸線は、平面視において、前記第2中間軸線に対して前記第1方向側に位置しており、前記回動部材は、第1回動アームと第2回動アームとを含み、前記第1回動アームは、前記基体に対して前記第2方向に沿って延びる第1回動軸線周りに回動可能に、前記基体に連結されており、前記第2回動アームは、前記基体に対して前記第2方向に沿って延びる第2回動軸線周りに回動可能に、前記基体に連結されており、前記第1回動軸線は、前記第2回動軸線に対して前記第1方向側に位置している、搬送装置が提供される。
According to the second aspect of the present invention, the base, the first moving part, the second moving part located on the first direction side with respect to the first moving part, the first moving part and the second moving part A moving mechanism that moves the portion relative to the base body along a plane parallel to the first direction, and the moving mechanism includes a rotating member, a first guide arm, and a second guide arm. The rotating member is supported by the base body so as to be rotatable with respect to the base body, and the first guide arm is connected to the first moving portion and is orthogonal to the first direction. The second guide arm is connected to the second moving part, and is connected to the second moving portion so as to be rotatable about a first intermediate axis extending along the second direction. Connected to the rotating member so as to be rotatable around a second intermediate axis extending along the first axis. The inter-axis is located on the first direction side with respect to the second intermediate axis in plan view, and the rotating member includes a first rotating arm and a second rotating arm, The first turning arm is connected to the base body so as to be rotatable around a first turning axis extending along the second direction with respect to the base body, and the second turning arm is connected to the base body. The first rotation axis is connected to the base body so as to be rotatable around a second rotation axis extending along the second direction. The first rotation axis is the first rotation axis with respect to the second rotation axis. A transport device is provided that is located on the direction side.
好ましくは、前記回動部材は、連結部を含み、前記連結部は、前記第1回動アームに対して、前記第2方向に沿って延びる第1中間軸線周りに回動可能に、前記第1回動アームに連結されており、前記連結部は、前記第2回動アームに対して、前記第2方向に沿って延びる第2中間軸線周りに回動可能に、前記第2回動アームに連結されており、前記第1中間軸線と前記第2中間軸線とは、互いに離間している。 Preferably, the rotating member includes a connecting portion, and the connecting portion is rotatable about a first intermediate axis extending along the second direction with respect to the first rotating arm. The second rotating arm is connected to one rotating arm, and the connecting portion is rotatable with respect to the second rotating arm about a second intermediate axis extending along the second direction. The first intermediate axis and the second intermediate axis are separated from each other.
好ましくは、前記第1中間軸線と前記第2中間軸線との離間距離は、前記第1回動軸線と前記第2回動軸線との離間距離と、同一である。 Preferably, the separation distance between the first intermediate axis and the second intermediate axis is the same as the separation distance between the first rotation axis and the second rotation axis.
好ましくは、前記第1案内アームは、平面視において、前記第2案内アームと、前記第1回動アームと、前記第2回動アームとに交差している。 Preferably, the first guide arm intersects the second guide arm, the first rotating arm, and the second rotating arm in plan view.
好ましくは、前記回動部材、前記第1案内アーム、前記第2案内アーム、第1中間軸線、および第2中間軸線を、それぞれ、右側回動部材、右側第1案内アーム、右側第2案内アーム、右側第1中間軸線、および右側第2中間軸線とし、前記移動機構は、左側回動部材と左側第1案内アームと左側第2案内アームと、を含み、前記左側回動部材は、前記基体に対して、前記右側回動部材とは反対側に配置されており、前記左側回動部材は、前記基体に対して回動可能に、前記基体に支持されており、前記左側第1案内アームは、前記第2方向に沿って延びる左側第1中間軸線周りに回動可能に、前記左側回動部材に連結され、且つ、前記第1移動部に連結されており、前記左側第2案内アームは、前記第2方向に沿って延びる左側第2中間軸線回りに回動可能に、前記左側回動部材に連結され、且つ、前記第2移動部に連結されており、平面視において、前記左側第1中間軸線は、前記左側第2中間軸線に対して前記第1方向側に位置している。 Preferably, the rotation member, the first guide arm, the second guide arm, the first intermediate axis, and the second intermediate axis are respectively connected to the right rotation member, the right first guide arm, and the right second guide arm. The right first intermediate axis and the right second intermediate axis, and the moving mechanism includes a left rotation member, a left first guide arm, and a left second guide arm, and the left rotation member is the base body On the other hand, the left rotation member is disposed on the opposite side of the right rotation member, and the left rotation member is supported by the base so as to be rotatable with respect to the base. Is connected to the left rotation member so as to be rotatable around a left first intermediate axis extending in the second direction, and is connected to the first moving portion, and the left second guide arm. Is a left second intermediate shaft extending along the second direction. It is connected to the left rotation member so as to be able to turn around, and is connected to the second moving part, and in the plan view, the left first intermediate axis is relative to the left second intermediate axis. It is located on the first direction side.
好ましくは、前記左側回動部材は、左側第1回動アームと、左側第2回動アームと、を含み、前記左側第1案内アームは、平面視において、前記左側第2案内アームと、前記左側第1回動アームと、前記左側第2回動アームとに交差している。 Preferably, the left side rotation member includes a left side first rotation arm and a left side second rotation arm, and the left side first guide arm in plan view, the left side second guide arm, It intersects the left first rotating arm and the left second rotating arm.
好ましくは、前記基体の内部に配置された駆動部を更に備え、前記駆動部は、前記左側回動部材および前記右側回動部材をそれぞれ、前記基体に対して回動させる。 Preferably, the driving unit further includes a driving unit disposed inside the base, and the driving unit rotates the left side rotation member and the right side rotation member with respect to the base.
好ましくは、前記右側第1回動アームおよび前記右側第2回動アームのいずれか一方は、前記駆動部によって回動させられる駆動アームであり、前記右側第1回動アームおよび前記右側第2回動アームの他方は、一方の回動に追従して回動する従動アームであり、前記左側第1回動アームおよび前記左側第2回動アームのいずれか一方は、前記駆動部によって回動させられる駆動アームであり、前記左側第1回動アームおよび前記左側第2回動
アームの他方は、一方の回動に追従して回動する従動アームである。
Preferably, one of the right first rotating arm and the right second rotating arm is a driving arm rotated by the driving unit, and the right first rotating arm and the right second turn. The other of the moving arms is a driven arm that rotates following the one rotation, and either the left first rotating arm or the left second rotating arm is rotated by the drive unit. The other of the left first rotating arm and the left second rotating arm is a driven arm that rotates following one rotation.
好ましくは、各々がワークを保持するための第1保持部および第2保持部を更に備え、前記第1保持部は、前記第1移動部に取り付けられており、前記第2保持部は、前記第2移動部に取り付けられている。 Preferably, each further includes a first holding part and a second holding part for holding a workpiece, wherein the first holding part is attached to the first moving part, and the second holding part is It is attached to the second moving part.
本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。 Other features and advantages of the present invention will become more apparent from the detailed description given below with reference to the accompanying drawings.
以下、本発明の実施の形態につき、図面を参照して具体的に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be specifically described with reference to the drawings.
<第1実施形態>
図3〜図9を用いて、本発明の第1実施形態について説明する。
<First Embodiment>
A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
図3は、(a)は、本発明の第1実施形態の搬送装置を示す平面図である。(b)は、(a)のb−b線に沿う断面図である。図4は、図3のIV−IV線に沿う模式的な部分断面図である。 FIG. 3A is a plan view showing the transport apparatus according to the first embodiment of the present invention. (B) is sectional drawing which follows the bb line of (a). 4 is a schematic partial sectional view taken along line IV-IV in FIG.
これらの図に示す搬送装置1は、ワーク89(図5参照)を搬送するための搬送ロボットである。ワーク89は、たとえば板状であり、ガラスパネル、あるいは、液晶FPD用基板である。図示しないが、搬送装置1の周囲には、たとえばワーク収容機構が配置される。ワーク収容機構は、各々がワーク89を収容する複数の収容空間を有している。
The
図3、図4に示すように、搬送装置1は、基体11と、移動機構13と、第1手首部14Aと、第2手首部14Bと、第1保持部15A(図3にて2点鎖線で示している)と、第2保持部15B(図3にて2点鎖線で示している)と、駆動部71と、を含む。
As shown in FIGS. 3 and 4, the
基体11は、たとえば、胴体および上面フランジ(詳細な図示は省略)を含む。胴体は
、たとえば、円柱状である。上面フランジは胴部の上部に固定されている。上面フランジは、チャンバの底面と締結され、胴体はチャンバに吊り下げられた格好となる。
The
移動機構13は、基体11に対し、第1手首部14Aおよび第2手首部14Bを移動させるための機構である。移動機構13については後述する。
The moving
第1手首部14A(本発明の第1移動部の一例に相当する)および第2手首部14B(本発明の第2移動部の一例に相当する)は、移動機構13によって、第1方向X1に平行な平面(本実施形態では水平面)に沿って、基体11に対し移動させられる。図3に表れているように、第1手首部14Aに対して第1方向X1側に、第2手首部14Bが位置している。なお、第1手首部14Aおよび第2手首部14Bは、基体11に対して進退移動をした場合であっても、基体11に対する姿勢が変化しないような構成となっている。
The
第1保持部15Aは、第1手首部14Aに取り付けられており、第1手首部14Aに固定されている。第1保持部15Aは第1手首部14Aと一体となって移動する。第1保持部15Aは、ワーク89を保持するためのものである。ワーク89を保持した状態で第1保持部15Aが移動することにより、ワーク89は所望の位置まで搬送される。本実施形態においては、第1保持部15Aはワーク89を載置することにより、ワーク89を搬送する。本実施形態とは異なり、第1保持部15Aはワーク89を載置するものには限定されない。たとえば、第1保持部15Aは、ワーク89をワーク89の上面から吸着することにより、ワーク89を保持するものであってもよい。
The
本実施形態においては、第1保持部15Aは、2つの第1エンドエフェクタ153Aを有する。各第1エンドエフェクタ153Aは、一方向に沿って延びる細板状である。2つの第1エンドエフェクタ153Aにワーク89が載置されることにより、ワーク89が搬送される。
In the present embodiment, the
第2保持部15Bは、第2手首部14Bに取り付けられており、第2手首部14Bに固定されている。第2保持部15Bは第2手首部14Bと一体となって移動する。第2保持部15Bは、ワーク89を保持するためのものである。ワーク89を保持した状態で第2保持部15Bが移動することにより、ワーク89は所望の位置まで搬送される。本実施形態においては、第2保持部15Bはワーク89を載置することにより、ワーク89を搬送する。本実施形態とは異なり、第2保持部15Bはワーク89を載置するものには限定されない。たとえば、第2保持部15Bは、ワーク89をワーク89の上面から吸着することにより、ワーク89を保持するものであってもよい。
The
本実施形態においては、第2保持部15Bは、2つの第2エンドエフェクタ153Bを有する。各第2エンドエフェクタ153Bは、一方向に沿って延びる細板状である。2つの第2エンドエフェクタ153Bにワーク89が載置されることにより、ワーク89が搬送される。
In the present embodiment, the
次に、移動機構13について説明する。図3に示すように、移動機構13は、右側回動部材41と、右側第1案内アーム43Aと、右側第2案内アーム43Bと、左側回動部材51と、左側第1案内アーム53Aと、左側第2案内アーム53Bと、を含む。
Next, the moving
右側回動部材41は、基体11に対して回動可能に、基体11に支持されている。右側回動部材41は、第1方向X1に平行な平面内において、基体11に対して回動可能である。本実施形態では、右側回動部材41は、第1方向X1に直交する第2方向X2に沿って延びる右側回動軸線411a周りに回動可能である。本実施形態においては更に、右側回動部材41は1つの右側回動アーム411である。右側回動アーム411は一方向に沿
って延びる棒状である。右側回動アーム411は、基体11に対して右側回動軸線411a周りに回動可能に、基体11に連結されている。
The
なお、右側回動アーム411を基体11に対し回動可能な構成とするために、たとえば、図示しない垂直上向きの軸部が、右側回動アーム411の基端に形成された孔にはめ込まれている。以下に述べる回動可能な構成も軸部が孔にはめ込まれている構成となっており、以下では、軸部と孔との関係の説明を省略する。
In order to make the right rotation arm 411 rotatable with respect to the
右側第1案内アーム43Aは、右側回動部材41に対して、第2方向X2に沿って延びる右側第1中間軸線43Aa周りに回動可能に、右側回動部材41に連結されている。具体的には、右側第1案内アーム43Aと右側回動部材41とは、各々の一端において連結されている。また、右側第1案内アーム43Aは、第1手首部14Aに対して、第2方向X2に沿って延びる右側第1手首軸線43Ac周りに回動可能に、第1手首部14Aに連結されている。具体的には、右側第1案内アーム43Aの他端において、右側第1案内アーム43Aは第1手首部14Aに連結されている。右側第1案内アーム43Aは、平面視において、右側回動部材41に交差している。
The right
右側第2案内アーム43Bは、右側回動部材41に対して、第2方向X2に沿って延びる右側第2中間軸線43Ba周りに回動可能に、右側回動部材41に連結されている。具体的には、右側第2案内アーム43Bと右側回動部材41とは、各々の一端において連結されている。平面視において、右側第1中間軸線43Aaが、右側第2中間軸線43Baに対して第1方向X1側に位置している。また、右側第2案内アーム43Bは、第2手首部14Bに対して、第2方向X2に沿って延びる右側第2手首軸線43Bc周りに回動可能に、第2手首部14Bに連結されている。具体的には、右側第2案内アーム43Bの他端において、右側第2案内アーム43Bは第2手首部14Bに連結されている。右側第2案内アーム43Bは、平面視において、右側回動部材41および右側第1案内アーム43Aに交差している。
The right
右側第1案内アーム43Aは、右側回動部材41と右側第2案内アーム43Bとの連結箇所との干渉を防止するような形状となっている。具体的には、図3に示すように、本実施形態においては、右側第1案内アーム43Aは、第1方向X1側に湾曲した湾曲部43Abを有している。
The right
右側第2案内アーム43Bは、右側回動部材41と右側第1案内アーム43Aとの連結箇所との干渉を防止するような形状となっている。図3に示すように、本実施形態においては、右側第2案内アーム43Bは、第1方向X1とは反対の第3方向X3側に湾曲した湾曲部43Bbを有している。
The right
左側回動部材51、左側第1案内アーム53A、および左側第2案内アーム53Bは、上述の右側回動部材41、右側第1案内アーム43A、および右側第2案内アーム43Bに対して、基体11を挟んで、それぞれ対称となっている(すなわち、図3(a)では上下対称となっている)。以下具体的に説明する。
The
左側回動部材51は、基体11に対して回動可能に、基体11に支持されている。左側回動部材51は、第1方向X1に平行な平面内において、基体11に対して回動可能である。本実施形態では、左側回動部材51は、第2方向X2に沿って延びる左側回動軸線511a周りに回動可能である。本実施形態においては更に、左側回動部材51は1つの左側回動アーム511である。左側回動アーム511は一方向に沿って延びる棒状である。左側回動アーム511は、基体11に対して左側回動軸線511a周りに回動可能に、基体11に連結されている。
The
本実施形態においては、左側回動軸線511aは、右側回動軸線411aと異なる位置に位置しており、具体的には、左側回動軸線511aおよび右側回動軸線411aは、図3(a)の上下方向に互いに離間している。本実施形態とは異なり、左側回動軸線511aおよび右側回動軸線411aは、たとえば、図3(a)の横方向に離間していてもよい。あるいは、左側回動軸線511aおよび右側回動軸線411aは、同一の位置に位置していても良い。すなわち、右側回動部材41の回動軸と、左側回動部材51の回動軸とが、同一の位置に位置していてもよい。
In the present embodiment, the
左側第1案内アーム53Aは、左側回動部材51に対して、第2方向X2に沿って延びる左側第1中間軸線53Aa周りに回動可能に、左側回動部材51に連結されている。具体的には、左側第1案内アーム53Aと左側回動部材51とは、各々の一端において連結されている。また、左側第1案内アーム53Aは、第1手首部14Aに対して、第2方向X2に沿って延びる左側第1手首軸線53Ac周りに回動可能に、第1手首部14Aに連結されている。具体的には、左側第1案内アーム53Aの他端において、左側第1案内アーム53Aは第1手首部14Aに連結されている。左側第1案内アーム53Aは、平面視において、左側回動部材51に交差している。
The left
左側第2案内アーム53Bは、左側回動部材51に対して、第2方向X2に沿って延びる左側第2中間軸線53Ba周りに回動可能に、左側回動部材51に連結されている。具体的には、左側第2案内アーム53Bと左側回動部材51とは、各々の一端において連結されている。平面視において、左側第1中間軸線53Aaが、左側第2中間軸線53Baに対して第1方向X1側に位置している。また、左側第2案内アーム53Bは、第2手首部14Bに対して、第2方向X2に沿って延びる左側第2手首軸線53Bc周りに回動可能に、第2手首部14Bに連結されている。具体的には、左側第2案内アーム53Bの他端において、左側第2案内アーム53Bは第2手首部14Bに連結されている。左側第2案内アーム53Bは、平面視において、左側回動部材51および左側第1案内アーム53Aに交差している。
The left
左側第1案内アーム53Aは、左側回動部材51と左側第2案内アーム53Bとの連結箇所との干渉を防止するような形状となっている。図3に示すように、本実施形態においては、左側第1案内アーム53Aは、第1方向X1側に湾曲した湾曲部53Abを有している。
The left
左側第2案内アーム53Bは、左側回動部材51と左側第1案内アーム53Aとの連結箇所との干渉を防止するような形状となっている。図3に示すように、本実施形態においては、左側第2案内アーム53Bは、第1方向X1とは反対の第3方向X3側に湾曲した湾曲部53Bbを有している。
The left
図4に示す駆動部71は、右側回動部材41および左側回動部材51を回動させるための駆動源である。駆動部71は、たとえば、基体11(具体的には胴体)の内部に配置されている。本実施形態では、駆動部71は、2つのモータ714、715を含む。モータ714の回転は、たとえば図示しない減速機によって回転速度が減少させられて、右側回動部材41に伝達される。これにより、右側回動部材41が基体11に対して回動する。同様に、モータ715の回転は、たとえば図示しない減速機によって回転速度が減少させられて、左側回動部材51に伝達される。これにより、左側回動部材51が基体11に対して回動する。
The
なお、駆動部71として2つのモータを含む例を示したが、本実施形態とは異なり、駆動部71がモータ1つのみを含む構成を採用してもよい。この場合には、1つのモータと
共に複数のギアを用いて、右側回動部材41および左側回動部材51をそれぞれ回動させるとよい。
In addition, although the example which contains two motors as the
次に、搬送装置1の動作について説明する。
Next, the operation of the
[原点姿勢]
まず、図3に示す搬送装置1の姿勢を、原点姿勢と呼ぶ。原点姿勢の搬送装置1においては、後述する第1伸展姿勢の場合よりも、第1保持部15Aおよび第1手首部14Aが第1方向X1側に位置しており、且つ、後述する第2伸展姿勢の場合よりも、第2保持部15Bおよび第2手首部14Bが、第3方向X3側に位置している。
[Orientation]
First, the posture of the
[原点姿勢〜第1伸展姿勢]
次に、駆動部71を駆動させることにより、図5に示すように右側回動部材41を基体11に対して反時計回りに回動させ、左側回動部材51を基体11に対して時計回りに回動させる。これにより、右側第1案内アーム43Aが右側回動部材41に対して回動し、左側第1案内アーム53Aが左側回動部材51に対して回動する。この回動により、第1保持部15Aおよび第1手首部14Aが、第3方向X3に向かって進行してゆく。
[Origin posture to first extension posture]
Next, by driving the
一方、右側回動部材41および左側回動部材51の回動に伴い、右側第2案内アーム43Bが右側回動部材41に対して回動し、左側第2案内アーム53Bが左側回動部材51に対して回動する。この回動により、第2保持部15Bおよび第2手首部14Bも、第3方向X3に向かって移動する。なお、第2保持部15Bおよび第2手首部14Bの移動速度(後退速度)は、第1保持部15Aおよび第1手首部14Aの進行速度に比べて、比較的低速である。
On the other hand, as the
このようにして搬送装置1は、図5に示すように、移動機構13におけるアーム(右側回動アーム411、左側回動アーム511、右側第1案内アーム43A、および左側第1案内アーム53A)が伸展した姿勢となる。図5に示す搬送装置1の姿勢を、第1伸展姿勢と呼ぶ。搬送装置1が第1伸展姿勢である状態で、移動機構13と第1保持部15Aが上昇するなどして、第1保持部15Aにワーク89が保持(載置)される。
In this way, as shown in FIG. 5, the
[第1伸展姿勢〜原点姿勢]
次に、右側回動部材41および左側回動部材51を、図3〜図5における回動方向とは逆方向に回動させる。具体的には、右側回動部材41を基体11に対して時計回りに回動させ、左側回動部材51を基体11に対して反時計回りに回動させる。このようにして、図6に示すように、第1保持部15Aにワーク89が保持された状態のまま、搬送装置1が原点姿勢に戻る。
[First extension posture-Origin posture]
Next, the
[原点姿勢〜第2伸展姿勢]
次に、引き続き、図7に示すように右側回動部材41を基体11に対して時計回りに回動させ、左側回動部材51を基体11に対して反時計回りに回動させる。これにより、右側第2案内アーム43Bが右側回動部材41に対して回動し、左側第2案内アーム53Bが左側回動部材51に対して回動する。この回動により、第2保持部15Bおよび第2手首部14Bが、第1方向X1に向かって進行してゆく。
[Origin posture to second extension posture]
Next, as shown in FIG. 7, the
一方、右側回動部材41および左側回動部材51の回動に伴い、右側第1案内アーム43Aが右側回動部材41に対して回動し、左側第1案内アーム53Aが左側回動部材51に対して回動する。この回動により、第1保持部15Aおよび第1手首部14Aも、第1方向X1に向かって移動する。なお、第1保持部15Aおよび第1手首部14Aの移動速度(後退速度)は、第2保持部15Bおよび第2手首部14Bの進行速度に比べて、比較
的低速である。
On the other hand, as the
このようにして搬送装置1は、図7に示すように、アーム(右側回動アーム411、左側回動アーム511、右側第2案内アーム43B、および左側第2案内アーム53B)が伸展した姿勢となる。図7に示す搬送装置1の姿勢を、第2伸展姿勢と呼ぶ。搬送装置1が第2伸展姿勢である状態で、移動機構13と第2保持部15Bとが共に上昇するなどして、第2保持部15Bにワーク89が保持(載置)される。
In this way, as shown in FIG. 7, the
[第2伸展姿勢〜原点姿勢]
次に、右側回動部材41および左側回動部材51を、図6〜図7における回動方向とは逆方向に回動させる。具体的には、右側回動部材41を基体11に対して反時計回りに回動させ、左側回動部材51を基体11に対して時計回りに回動させる。このようにして、図8に示すように、第1保持部15Aおよび第2保持部15Bにワーク89が保持された状態のまま、搬送装置1が原点姿勢に戻る。
[Second extension posture-Origin posture]
Next, the
[装置の旋回]
次に、図9に示すように、基体11をたとえば90度時計回りに回転させる。すなわち、搬送装置1を90度時計回りに旋回させる。同図では、搬送装置1が原点姿勢で旋回した場合の旋回範囲を、旋回範囲R1として示している。その後、図示は省略するが、搬送装置1を上述の第1伸展姿勢に移行させて、第1保持部15A上のワーク89を搬送装置1外の所望の箇所に載置する。同様に、搬送装置1を上述の第2伸展姿勢に移行させて、第2保持部15B上のワーク89を搬送装置1外の所望の箇所に載置する。このようにして、搬送装置1を用いてワーク89の搬送が行われる。
[Swivel of device]
Next, as shown in FIG. 9, the
次に、本実施形態の作用効果について説明する。 Next, the effect of this embodiment is demonstrated.
本実施形態においては、図3に示したように、右側第1案内アーム43Aは、第2方向X2に沿って延びる右側第1中間軸線43Aa周りに回動可能に、右側回動部材41に連結されている。右側第2案内アーム43Bは、第2方向X2に沿って延びる右側第2中間軸線43Ba回りに回動可能に、右側回動部材41に連結されている。右側第1中間軸線43Aaは、平面視において、右側第2中間軸線43Baに対して第1方向X1側に位置している。このような構成によると、搬送装置1が原点姿勢にある際の第1手首部14Aを、より第1方向X1側に位置させることができ、また、搬送装置1が原点姿勢にある際の第2手首部14Bを、より第3方向X3側に位置させることができる。すなわち、搬送装置1が原点姿勢にある場合の第1手首部14Aおよび第2手首部14Bの各位置を、それぞれ後退方向にシフトさせることができる。このことは、搬送装置1の旋回範囲R1を大きくすることなく、より大きなワーク89を搬送するのに適する。
In the present embodiment, as shown in FIG. 3, the right
具体的には、次のとおりである。まず、第1保持部15Aおよび第2保持部15Bは、搬送装置1が原点姿勢にある場合に、旋回範囲R1内に収まる大きさに設計される。原点姿勢の搬送装置1が旋回した際に、第1保持部15Aや第2保持部15Bが、旋回範囲R1外に配置された設備(ワーク収容機構等、図示略)に衝突することを防止するためである。また、本実施形態では、上述のように、搬送装置1が原点姿勢にある場合の第1手首部14Aおよび第2手首部14Bの各位置を、それぞれ後退方向にシフトさせることができるので、旋回範囲R1を大きくすることなく、第1方向X1における寸法がより大きな第1保持部15Aおよび第2保持部15Bを用いることができる。第1方向X1における寸法がより大きな第1保持部15Aおよび第2保持部15Bを用いることができると、第1保持部15Aや第2保持部15Bに保持(載置)されるワーク89の大きさを、より大きくできる。したがって、本実施形態によると、旋回範囲R1を大きくすることなく、より大きなワーク89を搬送することができることとなる。
Specifically, it is as follows. First, the
搬送装置1の旋回範囲R1を大きくすることなくより大きなワーク89を搬送することができると、搬送装置1と旋回範囲が同等の偏菱リンク構造のアームを1つのみ有する搬送装置を含む設備において、搬送装置以外の設備を変更することなく、搬送装置1に換装することが可能である。
When a
本実施形態においては、左側第1案内アーム53Aは、第2方向X2に沿って延びる左側第1中間軸線53Aa周りに回動可能に、左側回動部材51に連結されている。左側第2案内アーム53Bは、第2方向X2に沿って延びる左側第2中間軸線53Ba回りに回動可能に、左側回動部材51に連結されている。左側第1中間軸線53Aaは、平面視において、左側第2中間軸線53Baに対して第1方向X1側に位置している。このことも、搬送装置1の旋回範囲R1を大きくすることなく、より大きなワーク89を搬送するのに適する。
In the present embodiment, the left
本実施形態においては、右側第1案内アーム43Aは、第1方向X1側に湾曲した湾曲部43Abを有する。このような構成によると、右側第1案内アーム43Aが、右側第2中間軸線43Baに沿う軸部(あるいはこれの軸受、以下同様)と干渉することを回避できる。これにより、右側第1案内アーム43Aを十分に伸展させることができる。そのため、搬送装置1が第1伸展姿勢を適切にとることが可能となる。同様に、左側第1案内アーム53Aは、第1方向X1側に湾曲した湾曲部53Abを有する。左側第1案内アーム53Aが、左側第2中間軸線53Baに沿う軸部と干渉することを回避できる。これにより、左側第1案内アーム53Aを十分に伸展させることができる。そのため、搬送装置1が第1伸展姿勢を適切にとることが可能となる。
In the present embodiment, the right
本実施形態においては、右側第2案内アーム43Bは、第1方向X1とは反対の第3方向側に湾曲した湾曲部43Bbを有する。このような構成によると、右側第2案内アーム43Bが、右側第1中間軸線43Aaに沿う軸部と干渉することを回避できる。これにより、右側第2案内アーム43Bを十分に伸展させることができる。そのため、搬送装置1が第2伸展姿勢を適切にとることが可能となる。同様に、左側第2案内アーム53Bは、第1方向X1とは反対の第3方向側に湾曲した湾曲部53Bbを有する。本実施形態によると、左側第2案内アーム53Bが、左側第1中間軸線53Aaに沿う軸部と干渉することを回避できる。これにより、左側第2案内アーム53Bを十分に伸展させることができる。そのため、搬送装置1が第2伸展姿勢を適切にとることが可能となる。
In the present embodiment, the right
なお、アームに形成された湾曲部は、図3等に示したものに限定されず、たとえば、図10に示した湾曲部43Ab,43Bbのようなものであってもよい。 In addition, the curved part formed in the arm is not limited to what was shown in FIG. 3 etc., For example, you may be like the curved parts 43Ab and 43Bb shown in FIG.
<第2実施形態>
図11〜図15を用いて、本発明の第2実施形態について説明する。
Second Embodiment
A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
図11は、本発明の第2実施形態の搬送装置を示す平面図である。図12は、図11のXII−XII線に沿う模式的な部分断面図である。 FIG. 11 is a plan view showing a transport apparatus according to the second embodiment of the present invention. 12 is a schematic partial cross-sectional view taken along line XII-XII in FIG.
なお、以下の説明では、上記と同一もしくは類似の構成については上記と同一の符号を付し、説明を適宜省略する。 In the following description, the same or similar components as those described above will be denoted by the same reference numerals as those described above, and description thereof will be omitted as appropriate.
図11、図12に示す搬送装置1βは、基体11と、移動機構13と、第1手首部14Aと、第2手首部14Bと、第1保持部15Aと、第2保持部15Bと、駆動部71(図12参照)と、ギア721〜724を含む。移動機構13、駆動部71、およびギア721〜724以外の本実施形態の各構成は、搬送装置1における構成と略同様であるから説
明を省略する。
11 and 12 includes a
搬送装置1βにおける移動機構13は、右側回動部材41と左側回動部材51の具体的構成が、搬送装置1における構成と異なっている。以下具体的に説明する。
The moving
本実施形態においても、右側回動部材41は、基体11に対して回動可能に、基体11に支持されている。右側回動部材41は、第1方向X1に平行な平面内において、基体11に対して回動可能である。
Also in the present embodiment, the
本実施形態では、右側回動部材41は、右側第1回動アーム41Aと、右側第2回動アーム41Bと、右側連結部418とを含む。
In the present embodiment, the
右側第1回動アーム41Aおよび右側第2回動アーム41Bはいずれも、一方向に沿って延びる棒状である。右側第1回動アーム41Aおよび右側第2回動アーム41Bの回動軸線は、互いに異なる位置に位置している。具体的には、右側第1回動アーム41Aは、基体11に対して、第2方向X2に沿って延びる右側第1回動軸線41Aa周りに回動可能に、基体11に連結されている。一方、右側第2回動アーム41Bは、基体11に対して、第2方向X2に沿って延びる右側第2回動軸線41Ba周りに回動可能に、基体11に連結されている。右側第2回動軸線41Baよりも第1方向X1側に、右側第1回動軸線41Aaが位置している。右側第2回動軸線41Baと、右側第1回動軸線41Aaとは、図11の左右方向に並んで位置している。
Both the right first
右側連結部418は、右側第1回動アーム41Aおよび右側第2回動アーム41Bのそれぞれに回動可能に、右側第1回動アーム41Aおよび右側第2回動アーム41Bに連結されている。本実施形態では、右側連結部418は、右側第1回動アーム41Aに対して右側第1中間軸線43Aa周りに回動可能に右側第1回動アーム41Aに連結されている。また、右側連結部418は、右側第2回動アーム41Bに対して右側第2中間軸線43Ba周りに回動可能に、右側第2回動アーム41Bに連結されている。
The
右側第1案内アーム43Aは、右側第1回動アーム41Aに対して右側第1中間軸線43Aa周りに回動可能に、右側第1回動アーム41Aに連結されている。一方、右側第2案内アーム43Bは、右側第2回動アーム41Bに対して右側第2中間軸線43Ba周りに回動可能に、右側第2回動アーム41Bに連結されている。
The right
本実施形態においては、右側第2回動軸線41Baと右側第1回動軸線41Aaとの離間距離L41は、右側第2中間軸線43Baと右側第1中間軸線43Aaとの離間距離L43と同一である。本実施形態とは異なり、離間距離L41が距離L43より小さくてもよいし、あるいは、離間距離L41が距離L43より大きくてもよい。 In the present embodiment, the separation distance L41 between the right second rotation axis 41Ba and the right first rotation axis 41Aa is the same as the separation distance L43 between the right second intermediate axis 43Ba and the right first intermediate axis 43Aa. . Unlike the present embodiment, the separation distance L41 may be smaller than the distance L43, or the separation distance L41 may be larger than the distance L43.
本実施形態においても、左側回動部材51は、基体11に対して回動可能に、基体11に支持されている。左側回動部材51は、第1方向X1に平行な平面内において、基体11に対して回動可能である。
Also in this embodiment, the
本実施形態では、左側回動部材51は、左側第1回動アーム51Aと、左側第2回動アーム51Bと、左側連結部518とを含む。
In the present embodiment, the
左側第1回動アーム51Aおよび左側第2回動アーム51Bはいずれも、一方向に沿って延びる棒状である。左側第1回動アーム51Aおよび左側第2回動アーム51Bの回動軸線は、互いに異なる位置に位置している。具体的には、左側第1回動アーム51Aは、基体11に対して、第2方向X2に沿って延びる左側第1回動軸線51Aa周りに回動可
能に、基体11に連結されている。一方、左側第2回動アーム51Bは、基体11に対して、第2方向X2に沿って延びる左側第2回動軸線51Ba周りに回動可能に、基体11に連結されている。左側第2回動軸線51Baよりも第1方向X1側に、左側第1回動軸線51Aaが位置している。左側第2回動軸線51Baと、左側第1回動軸線51Aaとは、図11の左右方向に並んで位置している。
Both the left first
本実施形態では、左側第1回動軸線51Aaは、右側第1回動軸線41Aaと同じ位置に位置している。また、左側第2回動軸線51Baは、右側第2回動軸線41Baと同じ位置に位置している。本実施形態とは異なり、左側第1回動軸線51Aaは、右側第1回動軸線41Aaと異なる位置に位置していてもよい。同様に、左側第2回動軸線51Baは、右側第2回動軸線41Baと異なる位置に位置していてもよい。 In the present embodiment, the left first rotation axis 51Aa is located at the same position as the right first rotation axis 41Aa. The left second rotation axis 51Ba is located at the same position as the right second rotation axis 41Ba. Unlike the present embodiment, the left first rotation axis 51Aa may be located at a different position from the right first rotation axis 41Aa. Similarly, the left second rotation axis 51Ba may be located at a position different from the right second rotation axis 41Ba.
左側連結部518は、左側第1回動アーム51Aおよび左側第2回動アーム51Bのそれぞれに回動可能に、左側第1回動アーム51Aおよび左側第2回動アーム51Bに連結されている。本実施形態では、左側連結部518は、左側第1回動アーム51Aに対して左側第1中間軸線53Aa周りに回動可能に、左側第1回動アーム51Aに連結されている。また、左側連結部518は、左側第2回動アーム51Bに対して左側第2中間軸線53Ba周りに回動可能に、左側第2回動アーム51Bに連結されている。
The
左側第1案内アーム53Aは、左側第1回動アーム51Aに対して左側第1中間軸線53Aa周りに回動可能に、左側第1回動アーム51Aに連結されている。一方、左側第2案内アーム53Bは、左側第2回動アーム51Bに対して左側第2中間軸線53Ba周りに回動可能に、左側第2回動アーム51Bに連結されている。
The left
本実施形態においては、左側第2回動軸線51Baと左側第1回動軸線51Aaとの離間距離L51は、左側第2中間軸線53Baと左側第1中間軸線53Aaとの離間距離L53と同一である。本実施形態とは異なり、離間距離L51が距離L53より小さくてもよいし、あるいは、離間距離L51が距離L53より大きくてもよい。 In the present embodiment, the separation distance L51 between the left second rotation axis 51Ba and the left first rotation axis 51Aa is the same as the separation distance L53 between the left second intermediate axis 53Ba and the left first intermediate axis 53Aa. . Unlike the present embodiment, the separation distance L51 may be smaller than the distance L53, or the separation distance L51 may be larger than the distance L53.
本実施形態では、右側第1回動アーム41Aおよび右側第2回動アーム41Bのいずれか一方は、図12に示す駆動部71によって回動させられる駆動アームであり、右側第1回動アーム41Aおよび右側第2回動アーム41Bの他方は、一方の回動に追従して回動する従動アームである。左側第1回動アーム51Aおよび左側第2回動アーム51Bのいずれか一方は、駆動部71によって回動させられる駆動アームであり、左側第1回動アーム51Aおよび左側第2回動アーム51Bの他方は、一方の回動に追従して回動する従動アームである。
In the present embodiment, one of the right
特に、本実施形態では、右側第1回動アーム41Aおよび左側第2回動アーム51Bが駆動アームであり、右側第2回動アーム41Bおよび左側第1回動アーム51Aは、従動アームである。すなわち、駆動部71によって右側第1回動アーム41Aおよび左側第2回動アーム51Bが、回動させられる。一方、右側第2回動アーム41Bおよび左側第1回動アーム51Aには、駆動部71の駆動力は直接伝達されない。そのため、右側第2回動アーム41Bには、右側連結部418を介して、右側第1回動アーム41Aの回動運動が伝達される。その結果、右側第2回動アーム41Bは、右側第1回動アーム41Aの回動に追従して回動する。同様に、左側第1回動アーム51Aには、左側連結部518を介して、左側第2回動アーム51Bの回動運動が伝達される。そのため、左側第1回動アーム51Aは、左側第2回動アーム51Bの回動に追従して回動する。
In particular, in the present embodiment, the right first
本実施形態では、右側第1回動アーム41Aおよび左側第2回動アーム51Bが駆動アームであり、右側第2回動アーム41Bおよび左側第1回動アーム51Aが従動アームで
ある例を示したが、本実施形態とは異なり、右側第1回動アーム41Aおよび左側第2回動アーム51Bが従動アームであり、右側第2回動アーム41Bおよび左側第1回動アーム51Aが駆動アームであってもよい。右側第1回動アーム41Aおよび左側第1回動アーム51Aが駆動アームであり、右側第2回動アーム41Bおよび左側第2回動アーム51Bが従動アームであってもよい。更に、右側第1回動アーム41Aおよび左側第1回動アーム51Aが従動アームであり、右側第2回動アーム41Bおよび左側第2回動アーム51Bが駆動アームであってもよい。
In the present embodiment, the right first
図12に示す駆動部71は、右側回動部材41および左側回動部材51を回動させるための駆動源である。駆動部71は、たとえば、基体11(具体的には胴体)の内部に配置されている。
A
図12に示すように、本実施形態では、駆動部71は1つのモータ716である。モータ716の駆動軸711には、ギア721が固定されている。ギア721はギア722と噛み合っている。ギア722は、左側第2回動アーム51Bの回動軸に固定されている。左側第2回動アーム51Bの回動軸には、ギア723が固定されている。ギア723はギア724と噛み合っている。ギア724は、右側第1回動アーム41Aの回動軸に固定されている。
As shown in FIG. 12, in the present embodiment, the
モータ716の駆動軸711が回転すると、ギア721が回転する。ギア721が回転すると、ギア722を介して、左側第2回動アーム51Bの回動軸に伝達され、当該回動軸が回転する。これにより、左側第2回動アーム51Bが回動する。一方、左側第2回動アーム51Bの回動軸が回転すると、ギア723も回転する。ギア723の回転はギア724を介して、右側第1回動アーム41Aの回動軸に伝達され、当該回転軸が回転する。これにより、右側第1回動アーム41Aが回動する。
When the
なお、右側第1回動アーム41Aの回転軸は、左側第2回動アーム51Bの回動軸とは、反対方向に回転する。そのため、右側第1回動アーム41Aおよび左側第2回動アーム51Bの回動方向は互いに反対となる。たとえば、右側第1回動アーム41Aが時計回りに回動する場合には、左側第2回動アーム51Bは反時計回りに回動する。あるいは、右側第1回動アーム41Aが反時計回りに回動する場合には、左側第2回動アーム51Bは時計回りに回動する。
The rotation axis of the right
次に、搬送装置1βの動作について説明する。 Next, the operation of the transport device 1β will be described.
[原点姿勢]
第1実施形態と同様に、図11に示す搬送装置1βの姿勢を、原点姿勢と呼ぶ。
[Orientation]
As in the first embodiment, the posture of the transport device 1β shown in FIG. 11 is referred to as an origin posture.
[原点姿勢〜第1伸展姿勢]
図13は、図11に示した搬送装置1の第1伸展姿勢を示す平面図である。図14は、図13から、右側第2回動アーム、左側第2回動アーム、および、第2手首部等を省略した平面図である。図15は、図13から、右側第1回動アーム、左側第1回動アーム、および、第1手首部等を省略した平面図である。
[Origin posture to first extension posture]
FIG. 13 is a plan view showing a first extension posture of the
次に、駆動部71を駆動させることにより、図13に示すように右側回動部材41を基体11に対して反時計回りに回動させ、左側回動部材51を基体11に対して時計回りに回動させる。具体的には、右側回動部材41のうち右側第1回動アーム41Aが反時計回りに回動させられる。
Next, by driving the
右側第1回動アーム41Aが反時計回りに回動すると、上述のように、右側第1回動ア
ーム41Aの回動に追従して右側第2回動アーム41Bも反時計回りに回動する。一方、左側回動部材51のうち左側第2回動アーム51Bは時計回りに回動させられる。左側第2回動アーム51Bが時計回りに回動すると、上述のように、左側第2回動アーム51Bの回動に追従して左側第1回動アーム51Aも時計回りに回動する。右側第1回動アーム41Aおよび左側第1回動アーム51Aの回動により、右側第1案内アーム43Aが右側回動部材41(具体的には、右側第1回動アーム41A)に対して回動し、左側第1案内アーム53Aが左側回動部材51(具体的には、左側第1回動アーム51A)に対して回動する。その結果、第1保持部15Aおよび第1手首部14Aが、第3方向X3に向かって進行してゆく。
When the right first
一方、右側回動部材41(右側第1回動アーム41Aおよび右側第2回動アーム41B)および左側回動部材51(左側第1回動アーム51Aおよび左側第2回動アーム51B)の回動に伴い、右側第2案内アーム43Bが右側回動部材41(具体的には、右側第2回動アーム41B)に対して回動し、左側第2案内アーム53Bが左側回動部材51(具体的には、左側第2回動アーム51B)に対して回動する。この回動により、第2保持部15Bおよび第2手首部14Bも、第3方向X3に向かって移動する。なお、第2保持部15Bおよび第2手首部14Bの移動速度(後退速度)は、第1保持部15Aおよび第1手首部14Aの進行速度に比べて、比較的低速である。
On the other hand, the right rotation member 41 (right
このようにして搬送装置1βは、図13に示す姿勢となる。図13に示す搬送装置1βの姿勢を、第1実施形態と同様に第1伸展姿勢と呼ぶ。搬送装置1βが第1伸展姿勢である状態で、移動機構13と第1保持部15Aが上昇するなどして、第1保持部15Aにワーク89が保持(載置)される。
In this way, the transport device 1β assumes the posture shown in FIG. The posture of the transport apparatus 1β shown in FIG. 13 is referred to as a first extended posture as in the first embodiment. In a state where the transport device 1β is in the first extension posture, the
[第1伸展姿勢〜原点姿勢]
次に、図示は省略するが、右側回動部材41(右側第1回動アーム41Aおよび右側第2回動アーム41B)および左側回動部材51(左側第1回動アーム51Aおよび左側第2回動アーム51B)を逆方向に回動させることにより、第1保持部15Aにワーク89が保持された状態のまま、搬送装置1βが、図11に示した原点姿勢に戻る。
[First extension posture-Origin posture]
Next, although not shown, the right rotation member 41 (right
[その後]
その後は、第1実施形態で述べたのと同様に、搬送装置1βを第2伸展姿勢に移行させるなどして、ワーク89の搬送が行われる。
[after that]
After that, as described in the first embodiment, the
本実施形態によると、第1実施形態で述べた作用効果に加え、以下の作用効果を奏する。 According to the present embodiment, in addition to the operational effects described in the first embodiment, the following operational effects are achieved.
本実施形態においては、右側第1回動軸線41Aaは、右側第2回動軸線41Baに対して第1方向X1側に位置している。また、右側連結部418は、右側第1回動アーム41Aに対して、第2方向X2に沿って延びる右側第1中間軸線43Aa周りに回動可能に、右側第1回動アーム41Aに連結されており、且つ、右側第2回動アーム41Bに対して、第2方向X2に沿って延びる右側第2中間軸線43Ba周りに回動可能に、右側第2回動アーム41Bに連結されている。このような構成によると、右側第1中間軸線43Aaと右側第2中間軸線43Baとの距離に応じて、搬送装置1βの動作時における、右側第1中間軸線43Aaと右側第2中間軸線43Baとを結ぶ直線の傾きを、所望の傾きにすることが可能となる。たとえば、右側第1中間軸線43Aaと右側第2中間軸線43Baとの距離を、右側第1回動アーム41Aと右側第2回動アーム41Bとの距離と同一に設定することによって、搬送装置1βの動作時において、右側第1中間軸線43Aaと右側第2中間軸線43Baとを結ぶ直線を、第1方向X1に平行に維持できる。搬送装置1βの動作時において、右側第1中間軸線43Aaと右側第2中間軸線43Baとを結ぶ直
線を、第1方向X1に平行に維持できると、たとえば、右側第1案内アーム43Aに湾曲部を形成せずに、一方向に沿って延びる形状としたとしても、右側第1案内アーム43Aが、右側第2中間軸線43Baに沿う軸部と干渉することを回避できる。右側第2案内アーム43B、左側第1案内アーム53A、および左側第2案内アーム53Bに関しても同様である。
In the present embodiment, the right first rotation axis 41Aa is located on the first direction X1 side with respect to the right second rotation axis 41Ba. The
また、右側第1中間軸線43Aaと右側第2中間軸線43Baとの距離を、右側第1回動アーム41Aと右側第2回動アーム41Bとの距離よりも大きくすることにより、搬送装置1βが原点姿勢である際の第1手首部14Aおよび第2手首部14Bを、更に後退方向に位置させることが可能となる。
Further, by making the distance between the right first intermediate axis 43Aa and the right second intermediate axis 43Ba larger than the distance between the right first
本実施形態においては、右側第1回動アーム41Aおよび右側第2回動アーム41Bのいずれか一方は、駆動部71によって回動させられる駆動アームであり、右側第1回動アーム41Aおよび右側第2回動アーム41Bの他方は、一方の回動に追従して回動する従動アームである。左側第1回動アーム51Aおよび左側第2回動アーム51Bのいずれか一方は、駆動部71によって回動させられる駆動アームであり、左側第1回動アーム51Aおよび左側第2回動アーム51Bの他方は、一方の回動に追従して回動する従動アームである。更に本実施形態においては、駆動部71として一つのモータ716を用いて、2つの回動アーム(右側第1回動アーム41Aおよび左側第2回動アーム51B)を直接回動させている。モータを複数用意する必要がないことは、コストの低減に資する。なお、本実施形態とは異なり、複数のモータを用いて2つの回動アーム(右側第1回動アーム41Aおよび左側第2回動アーム51B)を直接回動させる構成であっても、本発明には含まれる。
In the present embodiment, one of the right
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。本発明の各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。 The present invention is not limited to the embodiment described above. The specific configuration of each part of the present invention can be changed in various ways.
上述の説明では、移動部の一例として手首部を示し、手首部に保持部が取り付けられている例を示した。しかしながら、本発明はこれに限定されない。たとえば、移動部が、ワークを載置するなどのワークを保持する機能を果たすものであってもよい。 In the above description, the wrist portion is shown as an example of the moving portion, and the holding portion is attached to the wrist portion. However, the present invention is not limited to this. For example, the moving unit may perform a function of holding a workpiece such as placing the workpiece.
1,1β 搬送装置
11 基体
13 移動機構
14A 第1手首部(第1移動部)
14B 第2手首部(第2移動部)
153A 第1エンドエフェクタ
153B 第2エンドエフェクタ
15A 第1保持部
15B 第2保持部
41 右側回動部材
411 右側回動アーム
411a 右側回動軸線
418 右側連結部
41A 右側第1回動アーム
41Aa 右側第1回動軸線
41B 右側第2回動アーム
41Ba 右側第2回動軸線
43A 右側第1案内アーム
43Aa 右側第1中間軸線
43Ab 湾曲部
43Ac 右側第1手首軸線
43B 右側第2案内アーム
43Ba 右側第2中間軸線
43Bb 湾曲部
43Bc 右側第2手首軸線
51 左側回動部材
511 左側回動アーム
511a 左側回動軸線
518 左側連結部
51A 左側第1回動アーム
51Aa 左側第1回動軸線
51B 左側第2回動アーム
51Ba 左側第2回動軸線
53A 左側第1案内アーム
53Aa 左側第1中間軸線
53Ab 湾曲部
53Ac 左側第1手首軸線
53B 左側第2案内アーム
53Ba 左側第2中間軸線
53Bb 湾曲部
53Bc 左側第2手首軸線
71 駆動部
711 駆動軸
714〜716 モータ
721〜724 ギア
89 ワーク
L41,L43,L51,L53 距離
R1 旋回範囲
X1 第1方向
X2 第2方向
X3 第3方向
1,
14B Second wrist (second moving part)
153A
Claims (12)
第1移動部と、
前記第1移動部に対して第1方向側に位置し、後退方向が前記第1移動部の後退方向とは反対方向の第2移動部と、
前記第1移動部および前記第2移動部を、前記第1方向に平行な平面に沿って前記基体に対して移動させる移動機構と、を備え、
前記移動機構は、回動部材と第1案内アームと第2案内アームと、を含み、
前記回動部材は、前記基体に対して回動可能に、前記基体に支持されており、
前記第1案内アームは、前記第1移動部に連結され、且つ、前記第1方向に直交する第2方向に沿って延びる第1中間軸線周りに回動可能に、前記回動部材に連結されており、
前記第2案内アームは、前記第2移動部に連結され、且つ、前記第2方向に沿って延びる第2中間軸線周りに回動可能に、前記回動部材に連結されており、
前記第1中間軸線は、平面視において、前記第2中間軸線に対して前記第1方向側に位置しており、
前記第1移動部が前記第1方向とは反対の第3方向側に進行している際、前記第2移動部は前記第3方向側に後退し、前記第2移動部が前記第1方向側に進行している際、前記第1移動部は前記第1方向側に後退する、搬送装置。 A substrate;
A first moving unit;
A second moving part that is located on the first direction side with respect to the first moving part and whose reverse direction is opposite to the reverse direction of the first moving part;
A moving mechanism for moving the first moving unit and the second moving unit relative to the base body along a plane parallel to the first direction;
The moving mechanism includes a rotating member, a first guide arm, and a second guide arm,
The rotating member is supported by the base so as to be rotatable with respect to the base.
The first guide arm is connected to the first moving unit and is connected to the rotating member so as to be rotatable around a first intermediate axis extending along a second direction orthogonal to the first direction. And
The second guide arm is connected to the second moving part and is connected to the rotating member so as to be rotatable around a second intermediate axis extending along the second direction.
The first intermediate axis is located on the first direction side with respect to the second intermediate axis in plan view,
When the first moving part travels in the third direction opposite to the first direction , the second moving part moves backward in the third direction, and the second moving part moves in the first direction. The first moving unit moves backward in the first direction when traveling to the side.
前記回動アームには、前記第1案内アームおよび前記第2案内アームのいずれもが連結されている、請求項5に記載の搬送装置。 The rotating member is one rotating arm,
The transport apparatus according to claim 5, wherein both the first guide arm and the second guide arm are coupled to the rotating arm.
前記第1回動アームおよび前記第2回動アームは、前記基体に対して回動可能に、前記基体に連結されており、
前記第1案内アームは、前記第1回動アームに対して前記第1中間軸線周りに回動可能に、前記第1回動アームに連結されており、
前記第2案内アームは、前記第2回動アームに対して前記第2中間軸線周りに回動可能に、前記第2回動アームに連結されている、請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の搬送装置。 The rotating member includes a first rotating arm and a second rotating arm,
The first rotation arm and the second rotation arm are connected to the base body so as to be rotatable with respect to the base body,
The first guide arm is connected to the first rotation arm so as to be rotatable about the first intermediate axis with respect to the first rotation arm,
5. The device according to claim 1, wherein the second guide arm is connected to the second rotation arm so as to be rotatable around the second intermediate axis with respect to the second rotation arm. 6. The conveying apparatus as described in.
前記移動機構は、左側回動部材と左側第1案内アームと左側第2案内アームと、を含み、
前記左側回動部材は、前記基体に対して、前記右側回動部材とは反対側に配置されており、
前記左側回動部材は、前記基体に対して回動可能に、前記基体に支持されており、
前記左側第1案内アームは、前記第1移動部に連結され、且つ、前記第2方向に沿って延びる左側第1中間軸線周りに回動可能に、前記左側回動部材に連結されており、
前記左側第2案内アームは、前記第2移動部に連結され、且つ、前記第2方向に沿って延びる左側第2中間軸線周りに回動可能に、前記左側回動部材に連結されており、
前記左側第1中間軸線は、平面視において、前記左側第2中間軸線に対して前記第1方向側に位置している、請求項1ないし請求項7のいずれかに記載の搬送装置。 The rotating member, the first guide arm, the second guide arm, the first intermediate axis, and the second intermediate axis are respectively connected to the right rotating member, the right first guide arm, the right second guide arm, and the right side 1 intermediate axis and right second intermediate axis,
The moving mechanism includes a left rotation member, a left first guide arm, and a left second guide arm,
The left rotation member is disposed on the opposite side of the right rotation member with respect to the base body,
The left side rotation member is supported by the base body so as to be rotatable with respect to the base body.
The left first guide arm is connected to the first moving part, and is connected to the left rotating member so as to be rotatable around a left first intermediate axis extending in the second direction.
The left second guide arm is connected to the second moving part and is connected to the left rotating member so as to be rotatable about a second intermediate axis on the left extending along the second direction.
The transport device according to any one of claims 1 to 7, wherein the left first intermediate axis is located on the first direction side with respect to the left second intermediate axis in plan view.
前記駆動部は、前記左側回動部材および前記右側回動部材をそれぞれ、前記基体に対して回動させる、請求項8または請求項9に記載の搬送装置。 A drive unit disposed inside the substrate;
The transport device according to claim 8 or 9, wherein the driving unit rotates the left-side rotation member and the right-side rotation member with respect to the base body.
前記第1保持部は、前記第1移動部に取り付けられており、前記第2保持部は、前記第2移動部に取り付けられている、請求項8ないし請求項10のいずれかに記載の搬送装置。 Each further includes a first holding part and a second holding part for holding a workpiece,
The conveyance according to any one of claims 8 to 10, wherein the first holding unit is attached to the first moving unit, and the second holding unit is attached to the second moving unit. apparatus.
前記第1中間軸線は、平面視において、前記第2端縁に対して前記第1方向側に位置しており、
前記第2中間軸線は、平面視において、前記第1端縁に対して前記第3方向側に位置している、請求項6に記載の搬送装置。 The pivot arm includes a first edge located on the first direction side and a second edge located on the third direction side,
The first intermediate axis is located on the first direction side with respect to the second end edge in plan view,
The transport apparatus according to claim 6, wherein the second intermediate axis is located on the third direction side with respect to the first end edge in a plan view.
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