KR20230047937A - Vad 공정을 이용하여 반경방향으로 균일한 특성을 갖는 합성유리 모재를 제조하기 위한 방법 및 장치 - Google Patents

Vad 공정을 이용하여 반경방향으로 균일한 특성을 갖는 합성유리 모재를 제조하기 위한 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

일반적으로 VAD 공정을 통해 합성유리 모재를 제조할 경우, 단일 버너를 적용하게 되면 회전하는 출발재료 주위로 수트가 증착하여 성장하게 되는데, 이때, 버너로부터 합성유리 재료를 직접적으로 받는 부위와 그렇지 못한 반대쪽 부위의 회전에 의한 온도 차이로 발생하게 되고, 수트 증착 층이 도핑되는 첨가 물질의 중심과 가장자리 부위의 불균일성의 원인이 된다. 따라서, 위치 가변형 버너 적용하여 불균일성을 최소화할 수 있도록 한다. 또한 복수개의 버너를 적용하여 회전에 의한 온도 차이를 최소화하여 그 불균일성을 최소화한다. 그리고 복수개의 버너의 초점 위치를 원주 방향으로 정렬 위치를 다르게 하여 버너 초점 영역을 분산 시킴으로써 첨가 물질을 포함하는 합성유리 재료의 증착 균질도를 향상 시킨다. 또한 증착되는 수트의 진동을 유도하여 보다 균질한 증착 수트를 형성할 수 있다.

Description

VAD 공정을 이용하여 반경방향으로 균일한 특성을 갖는 합성유리 모재를 제조하기 위한 방법 및 장치{Method for manufacturing synthetic glass preform having uniform characteristics in radial direction using VAD method}
본 발명은 반경방향으로 균일한 특성을 갖는 합성유리 모재를 VAD 공정을 이용하여 제조하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.
광섬유를 제조하기 위한 출발재료인 모재는 다양한 방법으로 제조될 수 있다. 이 중에서 VAD 공정은 제조 속도가 빠르고 비교적 균일한 특성을 갖는 모재를 얻을 수 있어서 현재 가장 널리 사용되고 있다.
일반적으로 VAD 공정에서는 하나 또는 복수개의 버너가 사용되는데, 이들 버너는 대체로 제조되는 모재의 중심축에 대해 소정의 각도 범위 내에 배치된다. 이에 따라, 균일한 특성을 갖는 모재를 얻기 위해서는 원료가스의 공급유량, 화염의 온도 등이 매우 중요하다.
한편, 포토리소그래피 공정에 있어서는, 포토마스크를 노광광으로 조사하고, 그 포토마스크로부터의 노광광으로 감광 기판을 노광하는 노광 처리가 실시된다. 이와 같은 포토마스크는 포토마스크 기판 상에 소정의 마스크 패턴을 형성함으로써 얻어진다. 이와 같은 대형 포토마스크에 사용되는 포토마스크 기판은, 직접법 등의 기상법에 의해 합성된 원기둥 형태의 SiO2 유리 잉곳을 원재료로 하고, 이것을 프레스 성형하여 평행 평판상의 판상 부재로 함으로써 제조할 수 있다.
그런데, 포토마스크는 노광광의 일부의 에너지를 흡수하고, 흡수된 에너지는 열로 변환되며, 그 결과, 포토마스크는 열팽창에 의해 변형된다. 이와 같은 포토마스크의 열팽창에 의한 변형은 패터닝 정밀도에 영향을 미치기 때문에, 포토마스크 기판의 재료로서 열팽창 계수가 작은 유리를 사용하는 것이 검토되고 있고, 구체적으로는 저열팽창 유리로서 알려져 있는 TiO2, ZrO2, ZnO 등의 도펀트가 첨가된 유리의 적용이 검토되고 있다.
본 발명은 VAD 공정을 이용하여 반경방향으로 균일한 특성을 갖는 모재를 제조하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 기존의 고정형 VAD 공정에서, TiO2, ZrO2, ZnO 등의 첨가 물질을 합성유리 모재의 단면 방향 및 길이 방향으로 균질하게 분포시켜 균질한 굴절률, 복굴절 및 극저열팽창계수 등을 갖는 합성유리 모재의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 양태에 따르면, VAD 공정을 이용한 합성유리 모재의 제조방법으로서, (a) 복수개의 버너를 중심축에 대하여 동일한 각도 간격으로 배치하는 단계; 및, (b) 상기 복수개의 버너 중의 각 버너에 원료가스와 화염가스를 함께 공급하거나 화염가스만을 공급하는 단계를 포함하는 합성유리 모재의 제조방법이 제공된다.
위 방법에서, 상기 각 버너는 중심축에서 모재의 반경방향으로 동일한 거리를 두고 배치되는 것이 좋다.
위 방법에서, 상기 복수개의 버너 중에서 적어도 일부의 버너는 중심축의 길이방향으로 서로 다른 위치에 배치되는 것이 바람직하다.
위 방법에서, 바람직하게는, 상기 복수개의 버너 중에서, 적어도 하나의 버너에는 화염가스만 공급되고 나머지 버너에는 원료가스와 화염가스가 공급된다.
위 방법에서, 상기 각 버너의 중심선을 연장한 선과 제조되는 모재의 중심축이 교차하는 지점은 제조되는 모재의 끝단 보다 위쪽인 것이 좋다.
위 방법에서, 상기 복수개의 버너들 보다 위쪽에서 배기가 이루어지는 것이 바람직하다.
위 방법에서, 상기 원료가스에는 유리의 제조를 위한 원료 외에 도펀트가 포함될 수 있다.
본 발명의 다른 양태에 따르면, VAD 공정을 이용하여 합성유리 모재의 제조하는 장치로서, 복수개의 버너를 구비하며, 상기 복수개의 버너 중의 각 버너에 원료가스와 화염가스가 함께 공급되거나 화염가스만이 공급되는 합성유리 모재의 제조장치가 제공된다.
위 장치에서, 상기 각 버너는 중심축에서 모재의 반경방향으로 동일한 거리를 두고 배치되는 것이 바람직하다.
위 장치에서, 상기 복수개의 버너 중에서 적어도 일부의 버너는 중심축의 길이방향으로 서로 다른 위치에 배치되는 것이 좋다.
바람직하게는, 위 장치에서, 상기 복수개의 버너 중에서, 적어도 하나의 버너에는 화염가스만 공급되고 나머지 버너에는 원료가스와 화염가스가 공급된다.
위 장치에서, 상기 각 버너의 중심선을 연장한 선과 제조되는 모재의 중심축이 교차하는 지점은 제조되는 모재의 끝단 보다 위쪽인 것이 좋다.
위 장치에서, 상기 복수개의 버너들 보다 위쪽에서 배기가 이루어지는 것이 바람직하다.
위 장치에서, 상기 원료가스에는 유리의 제조를 위한 원료 외에 도펀트가 포함될 수 있다.
본 발명의 또다른 양태에 따르면, 위에 기재된 방법으로 제조된 합성유리 모재가 제공된다.
본 발명에 의하여, VAD 공정을 이용하여 반경방향으로 균일한 특성을 갖는 모재를 제조하는 방법 및 장치가 제공된다.
또한 본 발명에 의하여, 기존의 고정형 VAD 공정에서 첨가 물질을 합성유리 모재의 단면 방향 및 길이 방향으로 균질하게 분포시킬 수 있는 합성유리 모재의 제조방법 및 제조장치가 제공된다.
도 1에는 본 발명에 따른 이동형 버너를 이용하는 VAD 공정을 이용하는 합성유리 수트의 제조방법을 개략적으로 도시하는 도면.
도 2는 버너가 수트의 중심선을 기준으로 재료를 공급하는 종래의 제조방법과 중심선에서 일정 거리 벗어난 지점을 기준으로 재료를 공급하는 본 발명에 다른 제조방법에서의 첨가물질의 분포를 나타내는 도면.
도 3(a) 및 3(b)는 복수개의 버너를 이용하는 본 발명에 따른 제조방법을 개략적으로 도시하는 도면.
도 4는 도 3(b)에 도시된 복수개의 버너의 배열의 변형예를 도시하는 도면.
도 5는 본 발명에 따른 다른 실시예를 도시하는 도면.
도 6은 본 발명에 따른 제조방법을 실시하기 위한 장치의 일 예를 나타내는 도면.
도 7은 도 6에 도시된 장치를 버너가 배치된 평면에서 수평으로 절단한 단면도.
도 8은 도 6에 도시된 버너 시스템을 개략적으로 나타내는 도면.
도 9는 본 발명에 따른 VAD 공정에서의 배기 방법을 개략적으로 도시하는 도면.
도 10은 본 발명에 따른 VAD 공정에서의 다른 방식의 배기 방법을 개략적으로 도시하는 도면.
도 11a 및 도 11b는 각각 종래와 같이 1개의 버너만으로 제조된 모재에서의 밀도 분포 및 본 발명에 따라 3개의 버너를 이용하여 제조된 모재에서의 밀도 분포를 측정한 결과를 나타낸다.
도 1에는 본 발명에 따른 이동형 버너를 이용하는 VAD 공정을 이용하는 합성유리 수트의 제조방법이 개략적으로 도시되어 있다.
다공성 수트(1)는 출발재료(2)에 버너(100)으로부터 제공되는 합성유리 재료가 증착(deposition)되어 형성된다. 출발재료(2)는 화살표 A1으로 표시된 바와 같이 일방향으로 회전하면서, 화살표 A2로 표시된 바와 같이 위로 상승한다. 이에 따라, 원통 형상을 갖는 다공성 수트(1)가 제조된다.
본 발명에 따른 제조방법에서, 버너(100)는 도 1에 도시된 바와 같이 수트(1)의 중심선을 기준으로 반경 방향으로 일정 거리 벗어난 지점을 기준으로 첨가 물질과 합성유리 재료를 공급한다. 버너(100)가 수트(1)의 중심선을 기준으로 재료를 공급하는 방식으로 제조된 모재와 중심선에서 일정 거리 벗어난 지점을 기준으로 재료를 공급하는 방식으로 제조된 모재에서의 첨가물질의 분포가 도 2에 도시되어 있다. 도시된 바와 같이, 버너(100)가 수트(1)의 중심선을 타겟으로 재료를 공급하는 경우에는 첨가물질의 농도가 중심선을 기준으로 양쪽 가장자리를 향하여 감소하는 경향을 나타내지만, 본 발명에 따라 버너(100)가 수트(1)의 중심으로부터 일정 거리 벗어난 지점을 타겟으로 재료를 공급하는 경우에는 첨가물질의 농도가 모재 전체에 걸쳐 상대적으로 균일한 분포를 나타낸다. 즉, 수트(1)의 중심축을 기준으로 회전하는 구조를 갖는 VAD 공정에서 버너(1)의 초점 영역을 중심이 아닌 가장자리나 선택적 영역을 선정하여 버너 각도 조절 및 축 이동을 통해 첨가 물질이 증착되는 영역을 조절하여 보다 균질한 첨가 물질의 증착을 유도할 수 있다.
VAD 공정의 최초 단계에서는, 출발재료의 직경이 목표로 하는 수트(1)의 직경보다 작으므로, 버너(100)는 수트(1)의 중심선 근처를 향하여 재료를 공급하지만, 수트(1)의 직경이 커짐에 따라 화살표 B로 표시된 바와 같이 중심선에서 멀어지는 방향으로 이동하고, 이후 수트(1)의 직경이 정해진 크기에 도달하면, 버너(100)는 정해진 지점에서 더 이상 움직이지 않고 재료를 공급한다. 기존 고정형 버너의 경우에는 증착 층의 두께가 증가할수록 버너와 수트와의 간격이 시간이 지남에 따라 가까워져 중심에서 외각방향으로 첨가 물질의 농도의 차이가 발생하는데, 위치 가변형 버너를 이용하면 증착에 따른 수트의 성장 속도와 맞춰 버너가 이동함으로써, 수트와 버너 사이에 일정한 거리를 유지 시켜 줄 수 있다. 수트의 직경이 정해진 크기에 도달하면, 버너의 위치는 고정될 수 있다.
또한 수트의 중심축을 기준으로 회전하는 구조를 갖는 VAD 공정에서 수트를 고정하는 고정부의 기계적 진동 및 외부 공진파를 통한 수트의 진동을 유도하는 구조를 갖도록 형성한다.
본 발명에 따르면, 모재의 단면 방향으로 중심과 가장자리에 증착되는 시간적 차이를 최소화하며, 수트의 진동을 통해 균질한 증착을 유도하며, 중심과 가장자리 영역의 동시 증착 및 중심에 집중되는 첨가 물질을 균질하게 넓은 영역으로 분사시켜 증착되게 하여 첨가물질의 분포의 차이를 최소화 한다. 즉, 기존 VAD 공정에서는 증착이 수트(1)의 중심부터 진행하여 가장자리에는 수평선 상에서 늦게 증착이 되므로 절단면상에서 중심부와 가장자리의 증착 시간 및 첨가 물질의 흐름이 늦은 상태와 매칭이 된다. 또한, 수트 중심 또는 특정 영역에 초점이 맞춰진 고정형 버너 구조에서는 초점 영역과 가장자리 영역의 첨가 물질의 분사 차이가 발생하게 되어 굴절률의 불균일을 유도한다. 즉, 버너와 수트 간의 거리를 일정하게 유지시켜 첨가 물질을 포함하는 합성유리 재료가 수트에 닿는 불꽃과 함께 일정한 영역으로 균질하게 증착되도록 한다.
도 3(a) 및 3(b)에는 복수개의 버너를 이용하는 본 발명에 따른 제조방법이 개략적으로 도시되어 있다.
일반적으로 VAD 버너의 특정 포터를 통해 분사되는 첨가 물질의 경로가 선택되어 있다. 이러한 특정 포터를 통해 분사되는 첨가 물질로 인한 첨가 농도의 불균일성을 해결 하기 위한 방안으로서, 도 3(a) 및 3(b)에 도시된 바와 같이 복수개의 버너 포터로 첨가 물질을 분사시켜 넓은 영역에 균질한 증착을 유도할 수 있다. 도 3(a)에 도시된 실시예에서는 3개의 버너(100)가 수트(1)의 중심선과 평행하게 수직 방향으로 배열되어 있고, 도 3(b)에 도시된 실시예에서는 3개의 버너(100)가 수트(1)의 중심선과 직교하는 수평 방향으로 배열되어 있다. 도 3(b)에서, 복수개의 버너는 수트의 중심선에서 동일한 거리를 갖도록 배치되거나, 직선 상에 배치되어 수트의 표면으로부터의 거리가 다를 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같은, 위치 가변형 버너를 복수개로 함으로써, 증착 공정 중 수트의 길이 방향 또는 원주 방향으로 정렬하게 하여, 초점 영역을 분산시켜 첨가 물질을 포함하는 합성유리 재료의 증착 균질도를 향상시킬 수 있다.
도 4에는 도 3(b)에 도시된 복수개의 버너의 배열의 변형예가 도시되어 있다. 도 3(b)에서는 3개의 버너가 모두 같은 높이에 배치되어 있으나, 도 4에서는 중심의 버너(101)의 높이(H1)와 양쪽 끝의 버너(102, 103)의 높이(H2)가 다르게 배치된다. 도 4에 도시된 배치의 다른 변형예로서는, 중심의 버너(101)가 상대적으로 낮은 위치(H2)에 배치되고, 양쪽 끝의 버너(102, 103)의 버너가 상대적으로 높은 위치(H1)에 배치될 수도 있다.
도 5는 본 발명에 따른 다른 실시예를 도시하는 도면으로서, 복수개의 버너(100)가 수트의 중심선을 기준으로 동일한 거리를 두고 등각도로 배치된다.
일반적으로 VAD 공정을 통해 합성유리 모재를 제조할 경우, 단일 버너를 적용하게 되면 회전하는 출발재료(2) 주위로 수트가 증착하여 성장하게 되는데, 이때, 버너로부터 합성유리 재료를 직접적으로 받는 부위와 그렇지 못한 반대쪽 부위의 회전에 의한 온도 차이로 발생하게 되고, 수트 증착 층이 도핑되는 첨가 물질의 중심과 가장자리 부위의 불균일성의 원인이 된다. 따라서, 위치 가변형 버너 적용하여 불균일성을 최소화할 수 있도록 한다. 또한 복수개의 버너를 적용하여 회전에 의한 온도 차이를 최소화하여 그 불균일성을 최소화한다. 그리고 복수개의 버너의 초점 위치를 원주 방향으로 정렬 위치를 다르게 하여 버너 초점 영역을 분산 시킴으로써 첨가 물질을 포함하는 합성유리 재료의 증착 균질도를 향상 시킨다.
도 6에는 본 발명에 따른 제조방법을 실시하기 위한 장치의 일 예가 도시되어 있으며, 도 7은 도 6에 도시된 장치를 버너가 배치된 평면에서 수평으로 절단한 단면도이고, 도 8은 도 6에 도시된 버너 시스템을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 6 및 7로부터, 참조부호 101, 102 및 103은 도 3(b)에 따른 버너 배치의 경우를 나타내며, 참조부호 100, 101의 버너는 도 5에 도시된 버너 배치를 나타낸다.
도 8에 도시된 바와 같이, 버너 시스템에 의하여, 버너는 3축을 따라 왕복 운동이 가능하며, 2개의 회전축에 대하여 회전될 수 있다.
위에서 설명한 본 발명에 따른 합성유리 모재의 제조방법에서, 배기가 원활하게 이루어지지 않으면, 부유하는 재료가 수트(1)에 부착되거나 하여 첨가 물질의 균일성이 떨어진다. 이를 해결하기 위하여 본 발명에 따라 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같은 배기 방법이 제공된다.
도 9에 도시된 실시예에서, 배기 가스는 수트(1)의 길이 방향을 따라 위쪽(C1)으로 이동하고, 배기구(10)를 통하여 외부로 배출된다.
도 10에 도시된 실시예에서, 배기구(20)는 수트(1)의 둘레를 따라 소정의 거리를 두고 형성되며, 배기 가스는 수트(1)의 외부 표면과 접촉하지 않고 배출될 수 있다.
VAD 공정에서 복수개의 버너를 적용함에 있어 VAD 머플 내에서 원활한 첨가 물질을 함유한 유체 흐름과 가스 제어, 화염 균질성을 확보하여 제조되는 EUV용 실리카 유리 잉곳의 품질 향상을 위한 효과적인 배기 시스템이 제공된다.
실시예
본 발명에 따른 합성유리 모재의 제조방법에 대하여 다음과 같이 실험을 수행하였다.
도 7에 도시된 바와 같이, 버너는 모두 3개를 사용하였으며, 같은 각도간격으로, 즉, 120도 간격으로 배치하였다. 수평면에 대한 버너의 기울어짐 각도는 45도로 모두 동일하게 설정하였다. 수트에 대한 버너의 위치는 3개 버너 모두 수트의 중심축에서 반경방향으로 동일한 거리를 두고 배치되었으며, 수트의 중심축 길이방향에 대해서는 서로에 대해 높이가 다르게 배치하였다. 버너의 높이를 다르게 배치하면, 각 버너에 의하여 발생되는 화염이 서로 간섭하는 것이 줄어들기 때문에, 보다 균일한 특성을 갖는 모재를 얻을 수 있었다.
3개의 버너 중에서 2개의 버너에서는 원료가스와 화염가스를 공급하였으며, 1개의 버너에서는 원료가스를 제외하고 화염가스만을 공급하였다.
제조 결과, 직경 41 mm, 밀도 0.720 g/cm3의 모재를 얻을 수 있었다.
비교예로서 종래와 같이 1개의 버너만을 이용하여 제조한 결과는, 직경 61~93.7 mm, 밀도 0.207~0.318 g/cm3인 모재를 얻을 수 있었다.
본 발명에 따른 제조방법에 의하여 제조된 합성유리 모재와 종래의 방법으로 제조된 모재를 비교하면, 본 발명에 따른 방법에 의하여 제조된 모재의 밀도가 최소한 2배 이상의 밀도를 갖는 것을 알 수 있었다.
도 11a 및 도 11b는 각각 종래와 같이 1개의 버너만으로 제조된 모재에서의 밀도 분포와 본 발명에 따라 3개의 버너를 이용하여 제조된 모재에서의 밀도 분포를 측정한 결과를 나타낸다. 측정에는 Acoulab사의 SAM-DENEB을 이용하였다. 도면으로부터 알 수 있듯이, 종래와 같이 1개의 버너만으로 제조된 모재에서의 밀도 분포에 비해 본 발명에 따른 방법에 의하여 제조된 모재에서의 밀도 분포가 더 균일하였다. 즉, 종래기술에 따라 제조된 모재에서는 밀도가 모재의 중심에서는 낮고 외주면으로 갈수록 높아지는 반면, 본 발명에 따라 제조된 모재에서는 중심부의 대부분의 면적에서 밀도가 균일하게 나타나는 것을 알 수 있다. 이에 따라, 소결체의 균일성도 증가하며, 최종적으로 제조된 제품의 균일성도 향상될 수 있다. 나아가, 밀도의 분포가 모재의 중심부 대부분의 영역에서 균일한 점으로부터, 희토류와 같은 도펀트를 추가하는 공정의 경우에 도펀트의 농도도 균일하게 분포할 것으로 예상할 수 있다.
즉, 본 발명에 따른 합성유리 모재의 제조방법을 이용하면, 종래기술에 따른 방법에 의하여 제조된 모재에 비하여 밀도가 2배 이상 높아지며, 모재 전체에 걸쳐 균일한 모재를 얻을 수 있고, 도펀트를 추가하는 공정의 경우에는 도펀트의 농도가 모재의 대부분의 영역에 걸쳐 균일하게 나타날 것임을 알 수 있다.
1: 수트
2: 출발재료
10, 20: 배기구
100, 101, 102, 103: 버너

Claims (15)

  1. VAD 공정을 이용한 합성유리 모재의 제조방법으로서,
    (a) 복수개의 버너를 중심축에 대하여 동일한 각도 간격으로 배치하는 단계; 및,
    (b) 상기 복수개의 버너 중의 각 버너에 원료가스와 화염가스를 함께 공급하거나 화염가스만을 공급하는 단계
    를 포함하는 합성유리 모재의 제조방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 각 버너는 중심축에서 모재의 반경방향으로 동일한 거리를 두고 배치되는 것
    을 특징으로 하는 합성유리 모재의 제조방법.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수개의 버너 중에서 적어도 일부의 버너는 중심축의 길이방향으로 서로 다른 위치에 배치되는 것
    을 특징으로 하는 합성유리 모재의 제조방법.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수개의 버너 중에서, 적어도 하나의 버너에는 화염가스만 공급되고 나머지 버너에는 원료가스와 화염가스가 공급되는 것
    을 특징으로 하는 합성유리 모재의 제조방법.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 각 버너의 중심선을 연장한 선과 제조되는 모재의 중심축이 교차하는 지점은 제조되는 모재의 끝단 보다 위쪽인 것
    을 특징으로 하는 합성유리 모재의 제조방법.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 복수개의 버너들 보다 위쪽에서 배기가 이루어지는 것
    을 특징으로 하는 합성유리 모재의 제조방법.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 원료가스에는 유리의 제조를 위한 원료 외에 도펀트가 포함되는 것
    을 특징으로 하는 합성유리 모재의 제조방법.
  8. VAD 공정을 이용하여 합성유리 모재의 제조하는 장치로서,
    복수개의 버너를 구비하며,
    상기 복수개의 버너 중의 각 버너에 원료가스와 화염가스가 함께 공급되거나 화염가스만이 공급되는
    합성유리 모재의 제조장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 각 버너는 중심축에서 모재의 반경방향으로 동일한 거리를 두고 배치되는 것
    을 특징으로 하는 합성유리 모재의 제조장치.
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 복수개의 버너 중에서 적어도 일부의 버너는 중심축의 길이방향으로 서로 다른 위치에 배치되는 것
    을 특징으로 하는 합성유리 모재의 제조장치.
  11. 청구항 8에 있어서,
    상기 복수개의 버너 중에서, 적어도 하나의 버너에는 화염가스만 공급되고 나머지 버너에는 원료가스와 화염가스가 공급되는 것
    을 특징으로 하는 합성유리 모재의 제조방법.
  12. 청구항 8에 있어서,
    상기 각 버너의 중심선을 연장한 선과 제조되는 모재의 중심축이 교차하는 지점은 제조되는 모재의 끝단 보다 위쪽인 것

    을 특징으로 하는 합성유리 모재의 제조장치.
  13. 청구항 8에 있어서,
    상기 복수개의 버너들 보다 위쪽에서 배기가 이루어지는 것
    을 특징으로 하는 합성유리 모재의 제조장치.
  14. 청구항 8에 있어서,
    상기 원료가스에는 유리의 제조를 위한 원료 외에 도펀트가 포함되는 것
    을 특징으로 하는 합성유리 모재의 제조장치.
  15. 청구항 1에 기재된 방법으로 제조된 합성유리 모재.
KR1020220126622A 2021-10-01 2022-10-04 Vad 공정을 이용하여 반경방향으로 균일한 특성을 갖는 합성유리 모재를 제조하기 위한 방법 및 장치 KR20230047937A (ko)

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