KR20230033548A - 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법 - Google Patents

검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법 Download PDF

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KR20230033548A
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KR1020210141342A
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이영민
조경진
조진억
이용희
김치웅
문균태
이규형
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삼성전자주식회사
하니웰애널리틱스 주식회사
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0011—Sample conditioning
    • G01N33/0014—Sample conditioning by eliminating a gas

Abstract

검사 장치는, 제1 배관과 연결되는 캐니스터 가스 주입부; 제2 배관 및 제3 배관과 연결되는 외함 가스 주입부; 상기 제2 배관을 통해 상기 외함 가스 주입부에 연결되는 외함; 상기 제3 배관을 통해 상기 외함 가스 주입부에 연결되고, 제4 배관과 연결되는 검사 박스; 상기 검사 박스와 연결되는 펌프; 및 상기 펌프와 연결되는 세정기를 포함한다. 상기 제1 배관 및 상기 제4 배관은 각각 상기 캐니스터 가스 주입부 및 상기 검사 박스로부터 상기 외함의 내부로 연장된다.

Description

검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법{TEST DEVICE AND TEST METHOD USING THE SAME}
본 발명은 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기체 또는 액체 상태의 화학물질을 감지하는 감지기의 성능 및 동작 여부 등을 검사하는 장치 및 이를 이용하는 검사 방법에 관한 것이다.
최근, 산업이 고도화됨에 따라, 산업 전반에 활용되는 화학물질들의 개발 및 개선이 활발하게 이루어지고 있다. 특히, 고집적화가 필수적으로 요구되는 반도체 산업 등에서는 반도체 장치의 초미세화 및 불량 감소를 위해 이러한 화학물질들의 개발 및 개선에 대한 필요성이 더욱 요구되고 있다.
그러나, 산업 전반에 활용되는 화학물질들의 경우, 자연 상태에서 존재하는 물질들뿐만 아니라, 인위적으로 만들어낸 물질들도 다수 존재하며, 이에 따라 대기 중에서는 불안정한 상태를 가지는 물질들이 많다. 더욱이, 이러한 화학물질들이 대기 중에 누출되는 경우 인명 등에 대한 피해가 발생될 수 있다.
본 발명이 이루고자 하는 일 기술적 과제는, 기체 또는 액체 중 적어도 하나를 포함하는 화학물질에 대해, 상기 화학물질을 감지하기 위한 감지기의 성능 및/또는 동작 여부를 검사할 수 있는 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법을 제공함에 있다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 고위험성 화학물질을 감지하기 위한 감지기의 성능 및/또는 동작 여부를 검사함에 있어, 안전성이 확보된 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법을 제공함에 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명에 따른 검사 장치는, 제1 배관과 연결되는 캐니스터 가스 주입부; 제2 배관 및 제3 배관과 연결되는 외함 가스 주입부; 상기 제2 배관을 통해 상기 외함 가스 주입부에 연결되는 외함; 상기 제3 배관을 통해 상기 외함 가스 주입부에 연결되고, 제4 배관과 연결되는 검사 박스; 상기 검사 박스와 연결되는 펌프; 및 상기 펌프와 연결되는 세정기를 포함할 수 있다. 상기 제1 배관 및 상기 제4 배관은 각각 상기 캐니스터 가스 주입부 및 상기 검사 박스로부터 상기 외함의 내부로 연장될 수 있다.
본 발명에 따른 검사 장치는, 제1 가스 및 제2 가스가 내부에 제공되는 외함; 상기 제2 가스가 내부에 제공되는 검사 박스; 상기 제1 가스를 상기 외함의 내부의 일부에 전달하는 캐니스터 가스 주입부; 상기 제2 가스를 상기 외함의 상기 내부의 다른 일부 및 상기 검사 박스의 내부에 전달하는 외함 가스 주입부; 및 상기 검사 박스 및 상기 캐니스터 가스 주입부에 각각 연결되는 배관들을 포함할 수 있다. 상기 배관들 각각은 상기 외함의 내부로 연장될 수 있다.
본 발명에 따른 검사 방법은, 캐니스터를 외함 내에 제공하는 것, 시험물질이 상기 캐니스터의 내부에 제공되고, 상기 캐니스터는 캐니스터 가스 주입부 및 검사 박스에 연결되며; 제1 가스를 상기 캐니스터 가스 주입부로부터 상기 캐니스터로 전달하는 것; 상기 시험물질을 상기 캐니스터로부터 상기 검사 박스로 전달하는 것; 상기 시험물질을 상기 검사 박스로부터 감지기로 전달하여 감지기를 검사하는 것; 제2 가스를 외함 가스 주입부로부터 상기 검사 박스 및 상기 외함에 전달하는 것; 펌프를 통해 상기 검사 박스 내의 상기 시험물질을 세정기로 전달하는 것; 및 상기 세정기로 상기 시험물질을 세정하는 것을 포함할 수 있다. 각 단계는 순차적으로 수행되거나 또는 적어도 일부 단계는 동시에 수행될 수 있다.
본 발명의 개념에 따르면, 전구체(precursor)와 같은 고위험 물질이 액체 상태로 저장되더라도, 상기 고위험 물질에 대한 감지기의 성능 및/또는 동작 여부가 용이하게 검사될 수 있다.
또한, 상기 고위험 물질에 대한 감지기의 성능 및/또는 동작 여부를 검사함에 있어, 안정성이 확보된 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법이 제공될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 검사 장치를 나타낸 모식도이다.
도 2는 도 1의 검사 장치를 작동하기 위한 모습을 나타낸 모식도이다.
도 3 내지 도 5는 각각 본 발명의 일부 실시예들에 따른 검사 장치를 나타낸 모식도들이다.
도 6 및 도 9는 도 1의 검사 장치를 이용한 검사 방법을 나타낸 모식도들이다.
도 10 및 도 11는 각각 도 3 및 도 4의 검사 장치를 이용한 검사 방법을 나타낸 모식도들이다.
이하, 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위하여 본 발명에 따른 실시예들을 첨부 도면을 참조하면서 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 검사 장치를 나타낸 모식도이다. 도 2는 도 1의 검사 장치를 작동하기 위한 모습을 나타낸 모식도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 검사 장치(1)는 캐니스터 가스 주입부(CG) 및 외함 가스 주입부(EG)를 포함할 수 있다. 상기 캐니스터 가스 주입부(CG)는 제1 배관(P1)과 연결될 수 있고, 상기 제1 배관(P1)은 밸브 구조체(V)를 포함할 수 있다. 상기 밸브 구조체(V)는 하나 이상의 밸브들을 포함할 수 있다. 상기 외함 가스 주입부(EG)는 제2 배관(P2) 및 제3 배관(P3)과 연결될 수 있다. 상기 제3 배관(P3)은 밸브 구조체(V)를 포함할 수 있고, 상기 밸브 구조체(V)는 하나 이상의 밸브들을 포함할 수 있다.
상기 검사 장치(1)의 작동 시에, 제1 가스(G1)가 상기 캐니스터 가스 주입부(CG)의 내부에 제공될 수 있고, 제2 가스(G2)가 상기 외함 가스 주입부(EG)의 내부에 제공될 수 있다. 상기 제1 가스(G1)는 상기 캐니스터 가스 주입부(CG)의 상기 내부의 적어도 일부를 채울 수 있고, 상기 제2 가스(G2)는 상기 외함 가스 주입부(EG)의 상기 내부의 적어도 일부를 채울 수 있다. 상기 제1 가스(G1) 및 상기 제2 가스(G2)는 각각 비활성 기체를 포함할 수 있다. 상기 비활성 기체는 헬륨(He), 네온(Ne), 아르곤(Ar) 등 주기율표 상 18족의 기체, 질소(N2) 기체, 이산화탄소(CO2) 또는 프레온가스(CFC) 중 적어도 하나를 포함하는 기체일 수 있다. 일 예로, 상기 제1 가스(G1) 및 상기 제2 가스(G2)는 각각 질소(N2) 기체를 포함할 수 있다.
상기 외함 가스 주입부(EG)는 상기 제2 배관(P2) 및 상기 제3 배관(P3)을 통해 각각 외함(EN) 및 검사 박스(TB)에 연결될 수 있다.
상기 외함(EN)의 내부는 상기 제2 배관(P2)을 통해 상기 외함 가스 주입부(EG)의 상기 내부와 연결될 수 있다. 상기 검사 장치(1)의 작동 시에, 상기 제2 가스(G2)가 상기 외함(EN)의 상기 내부에 제공될 수 있고, 상기 외함(EN)의 상기 내부의 상기 제2 가스(G2)는 상기 외함 가스 주입부(EG)로부터 전달된 것일 수 있다. 상기 제2 가스(G2)는 상기 외함(EN)의 상기 내부의 적어도 일부를 채울 수 있다. 상기 외함(EN)의 상기 내부는 외부 대기에 노출되지 않을 수 있다. 즉, 상기 외함(EN)의 상기 내부는 외부 대기로부터 분리될 수 있다.
상기 검사 박스(TB)의 내부는 상기 제3 배관(P3)을 통해 상기 외함 가스 주입부(EG)의 상기 내부와 연결될 수 있다. 상기 검사 장치(1)의 작동 시에, 상기 제2 가스(G2)가 상기 검사 박스(TB)의 상기 내부에 제공될 수 있고, 상기 검사 박스(TB)의 상기 내부의 상기 제2 가스(G2)는 상기 외함 가스 주입부(EG)로부터 전달된 것일 수 있다. 상기 제2 가스(G2)는 상기 검사 박스(TB)의 상기 내부의 적어도 일부를 채울 수 있다. 상기 검사 박스(TB)의 상기 내부는 외부 대기에 노출되지 않을 수 있다. 즉, 상기 검사 박스(TB)의 상기 내부는 외부 대기로부터 분리될 수 있다.
상기 검사 박스(TB)는 홀(hole)을 더 포함할 수 있다. 상기 홀은 상기 검사 장치(1)의 작동 시 감지기(SE)가 연결되는 영역일 수 있다. 일 예로, 상기 홀에 연결되는 튜브를 통해, 상기 검사 박스(TB)는 상기 감지기(SE)에 연결될 수 있다. 상세하게는, 상기 검사 박스(TB)의 상기 내부가 상기 감지기(SE)의 내부와 연결될 수 있다. 상기 감지기(SE)의 형태 및 종류는 다양할 수 있으며, 상기 검사 장치(1)는 다양한 형태 및 종류의 상기 감지기(SE)의 성능 및/또는 동작 여부를 검사할 수 있다.
상기 검사 박스(TB)는 제4 배관(P4)과 연결될 수 있다. 상기 제4 배관(P4)은 상기 검사 박스(TB)로부터 연장될 수 있다.
상기 제1 배관(P1) 및 상기 제4 배관(P4)은 각각 상기 캐니스터 가스 주입부(CG) 및 상기 검사 박스(TB)에 연결되고, 상기 외함(EN)의 상기 내부로 연장될 수 있다. 일 예로, 상기 제1 배관(P1) 및 상기 제4 배관(P4)은 상기 외함(EN)의 바깥면을 관통해 상기 외함(EN)의 상기 내부로 연장될 수 있다.
상기 제1 가스(G1)가 상기 외함(EN)의 상기 내부의 일부에 제공될 수 있고, 상기 제1 가스(G1)는 상기 제1 배관(P1)을 통해 상기 캐니스터 가스 주입부(CG)로부터 전달된 것일 수 있다. 일 예로, 상기 제1 가스(G1)는 상기 외함(EN)의 상기 내부 공간 중 후술할 캐니스터(CA)의 내부에 제공될 수 있다.
상기 검사 장치(1)의 작동 시에, 상기 제1 배관(P1) 및 상기 제4 배관(P4) 각각은 상기 외함(EN)의 내부에서 캐니스터(CA)에 연결될 수 있다. 상기 캐니스터(CA)의 내부는 상기 제1 배관(P1)을 통해 상기 캐니스터 가스 주입부(CG)의 내부에 연결될 수 있고, 상기 제4 배관(P4)을 통해 상기 검사 박스(TB)의 내부에 연결될 수 있다.
상기 캐니스터(CA)는 일종의 밀폐용기일 수 있다. 즉, 상기 캐니스터(CA)의 상기 내부는 외부 대기에 노출되지 않을 수 있다. 다시 말해, 상기 캐니스터(CA)의 상기 내부는 외부 대기로부터 분리될 수 있다.
상기 캐니스터(CA)는 상기 외함(EN)의 내부에 제공될 수 있다. 상기 외함(EN)의 상기 내부는 외부 대기에 노출되지 않을 수 있고, 이에 따라 상기 캐니스터(CA)의 바깥면은 외부 대기에 노출되지 않을 수 있다. 즉, 상기 캐니스터(CA)의 바깥면은 외부 대기로부터 분리될 수 있다.
상기 캐니스터(CA)의 바깥면은 상기 제2 가스(G2)에 노출될 수 있다. 상기 제2 가스(G2)는 상기 외함(EN)의 상기 내부에 제공된 것일 수 있다. 상기 제2 가스(G2)는 상기 캐니스터(CA)의 바깥면이 외부 대기에 노출되는 것을 방지할 수 있다.
상기 제1 가스(G1) 및 시험물질(TS)이 상기 캐니스터(CA)의 상기 내부에 제공될 수 있다. 상기 시험물질(TS) 및 상기 제1 가스(G1)는 서로 반응하지 않을 수 있다.
상기 캐니스터(CA)의 상기 내부의 상기 제1 가스(G1)는, 상기 제1 배관(P1)을 통해 상기 캐니스터 가스 주입부(CG)로부터 전달된 것일 수 있다. 상기 제1 가스(G1)는 상기 캐니스터(CA)의 상기 내부의 적어도 일부를 채울 수 있다.
상기 시험물질(TS)은 기체 또는 액체 상태의 물질 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 일 예로, 상기 시험물질(TS)은 기체 상태일 수 있다. 다른 예로, 상기 시험물질(TS)은 액체 상태일 수 있다. 또 다른 예로, 상기 시험물질(TS)은 액체 상태 및, 상기 액체의 일부가 증발된 기체 상태로 구성될 수 있다. 상기 시험물질(TS)은 산업 전반에 활용되는 일종의 화학물질을 포함할 수 있으며, 일 예로, 반도체 제조 공정에서 사용되는 전구체(precursor)를 포함할 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 시험물질(TS)은 이 외에도 다양한 목적의 화학물질을 포함할 수 있다.
상기 시험물질(TS)은 상기 검사 박스(TB) 내에 더 제공될 수 있다. 상기 검사 박스(TB) 내의 상기 시험물질(TS)은 상기 제4 배관(P4)을 통해 상기 캐니스터(CA)로부터 전달된 것일 수 있다. 상기 검사 박스(TB)의 내부는 음압(negative pressure)일 수 있고, 상기 캐니스터(CA)로부터 전달된 상기 시험물질(TS)은 상기 검사 박스(TB) 내에서 기체 상태일 수 있다. 다시 말해, 상기 시험물질(TS)이 상기 캐니스터(CA) 내에서 액체 상태이더라도, 상기 검사 박스(TB) 내의 낮은 압력으로 인해 상기 검사 박스(TB) 내에서 기체 상태가 될 수 있다. 상기 검사 박스(TB) 내에서, 상기 시험물질(TS) 및 상기 제2 가스(G2)는 서로 반응하지 않을 수 있다.
상기 검사 박스(TB)는 펌프(PU)에 더 연결될 수 있고, 상기 펌프(PU)는 세정기(SC)에 더 연결될 수 있다.
상기 펌프(PU)는 상기 검사 박스(TB) 내에 제공된 물질들을 상기 세정기(SC)로 이동시킬 수 있다. 일 예로, 상기 펌프(PU)는 상기 검사 박스(TB) 내의 상기 시험물질(TS) 및 상기 제2 가스(G2)를 상기 세정기(SC)로 이동시킬 수 있다. 상기 펌프(PU)는 송풍기를 포함할 수 있고, 상기 송풍기를 통해 기체 상태인 상기 시험물질(TS) 및 상기 제2 가스(G2)를 상기 세정기로 이동시킬 수 있다.
상기 세정기(SC)는 상기 시험물질(TS)을 정화할 수 있다. 상세하게는, 상기 세정기(SC)는 상기 시험물질(TS)이 대기 중에서 독성을 가지지 않도록 상기 시험물질(TS)을 정화할 수 있다. 상기 세정기(SC)는 정화된 상기 시험물질(TS)을 대기 중으로 배출할 수 있다.
상기 검사 장치(1)는 컨트롤러(CT)를 더 포함할 수 있다. 상기 컨트롤러(CT)는 상기 검사 장치(1)의 다른 구성들과 연결될 수 있고, 상기 검사 장치(1)의 동작을 제어할 수 있다. 일 예로, 상기 컨트롤러(CT)는 상기 캐니스터 가스 주입부(CG) 및 상기 외함 가스 주입부(EG)를 제어할 수 있고, 이를 통해 상기 제1 및 제2 가스(G1, G2)의 유량을 제어할 수 있다. 다른 예로, 상기 컨트롤러(CT)는 상기 검사 박스(TB)의 압력을 제어할 수 있다. 또 다른 예로, 상기 컨트롤러(CT)는 상기 펌프(PU) 및 상기 세정기(SC)의 동작을 제어할 수 있다.
도 3 내지 도 5는 각각 본 발명의 일부 실시예들에 따른 검사 장치를 나타낸 모식도들이다. 설명의 간소화를 위해, 도 1 및 도 2를 참조한 설명과 중복되는 내용의 설명은 생략한다.
도 3을 참조하면, 상기 외함(EN)이 상기 세정기(SC)에 연결될 수 있다. 상기 세정기(SC)는 상기 외함(EN)에 연결되어 상기 외함(EN) 내의 물질들을 더 정화할 수 있다. 일 예로, 상기 시험물질(TS)의 일부가 상기 캐니스터(CA)에서 새어나올 수 있고, 상기 세정기(SC)는 상기 캐니스터(CA)의 외부로 새어나온 상기 시험물질(TS)을 정화할 수 있다. 상기 제2 가스(G2)가 상기 외함(EN)의 내부에 제공되더라도, 상기 외함(EN)의 내부의 압력은 상기 세정기(SC)를 통해 상기 제2 가스(G2)를 배출함으로써 유지될 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 감지기(SE)가 상기 세정기(SC)에 연결될 수 있다. 상기 세정기(SC)는 상기 감지기(SE)에 연결되어 상기 감지기(SE) 내의 물질들을 더 정화할 수 있다. 일 예로, 상기 검사 박스(TB)로부터 상기 감지기(SE) 내로 전달된 상기 시험물질(TS)이 상기 세정기(SC)로 다시 전달될 수 있고, 상기 세정기(SC)는 상기 시험물질(TS)을 정화할 수 있다.
도 5를 참조하면, 상기 캐니스터 가스 주입부(CG)는 서로 분리된 서브 주입부들(SCG)을 포함할 수 있다. 상기 서브 주입부들(SCG)은 복수일 수 있다. 상기 제1 가스(G1)가 상기 서브 주입부들(SCG)의 각각의 내부에 제공될 수 있다. 상기 서브 주입부들(SCG) 각각은 상기 제1 배관(P1)과 연결될 수 있으며, 상기 밸브 구조체(V)를 제어할 수 있다. 상세하게는, 상기 서브 주입부들(SCG) 각각은 상기 밸브 구조체(V)의 밸브들의 동작을 제어할 수 있다.
도 6 및 도 9는 도 1의 검사 장치를 이용한 검사 방법을 나타낸 모식도들이다. 이하에서, 도 6 및 도 9를 참조하여 도 1의 검사 장치를 이용한 검사 방법에 대하여 설명한다.
도 6을 참조하면, 캐니스터(CA)가 외함(EN) 내에 제공될 수 있고, 시험물질(TS)이 상기 캐니스터(CA)의 내부에 제공될 수 있다. 일 예로, 상기 시험물질(TS)은 액체 상태의 전구체(precursor)일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 캐니스터(CA)는 상기 시험물질(TS)이 담긴 일종의 용기일 수 있다.
상기 캐니스터(CA)는 캐니스터 가스 주입부(CG) 및 검사 박스(TB)에 연결될 수 있다. 상세하게는, 상기 캐니스터(CA)는 제1 배관(P1)을 통해 상기 캐니스터 가스 주입부(CG)에 연결될 수 있고, 제4 배관(P4)을 통해 상기 검사 박스(TB)에 연결될 수 있다.
상기 캐니스터(CA)가 상기 캐니스터 가스 주입부(CG)에 연결됨으로써, 상기 캐니스터 가스 주입부(CG)의 내부에 제공되는 제1 가스(G1)가 상기 캐니스터(CA)로 전달될 수 있다. 상기 캐니스터(CA)로 전달되는 제1 가스(G1)는 상기 캐니스터(CA)의 내부 기압을 상승시킬 수 있고, 상기 시험물질(TS)은 상기 캐니스터(CA)의 내부 기압 상승으로 인해 상기 제4 배관(P4)을 통해 배출될 수 있다. 즉, 상기 시험물질(TS)은 상기 캐니스터(CA)로부터 상기 검사 박스(TB)로 전달될 수 있다. 상기 검사 박스(TB)의 내부는 음압(negative pressure)일 수 있고, 상기 시험물질(TS)은 상기 검사 박스(TB)의 낮은 압력으로 인해 상기 검사 박스(TB) 내에서 기화할 수 있다. 상기 캐니스터(CA) 내의 상기 제1 가스(G1)가 상기 캐니스터(CA)로부터 상기 검사 박스(TB)로 더 전달될 수 있다.
도 7을 참조하면, 상기 검사 박스(TB) 내의 상기 시험물질(TS)이 상기 검사 박스(TB)로부터 감지기(SE)로 전달될 수 있다. 상기 감지기(SE)는 상기 검사 박스(TB)에 연결될 수 있고, 일 예로, 상기 감지기(SE)는 상기 검사 박스(TB)의 홀(hole)에 연결되는 튜브를 통해 상기 검사 박스(TB)에 연결될 수 있다.
상기 시험물질(TS)이 상기 튜브를 통해 상기 감지기(SE)로 전달됨으로써, 상기 시험물질(TS)에 대한 상기 감지기(SE)의 성능 및/또는 동작 여부의 검사 작업이 수행될 수 있다.
도 8을 참조하면, 제2 가스(G2)가 외함 가스 주입부(EG)로부터 상기 외함(EN) 및 상기 검사 박스(TB)로 전달될 수 있다. 상기 외함 가스 주입부(EG)는 제2 배관(P2) 및 제3 배관(P3)과 연결될 수 있으며, 상기 제2 배관(P2) 및 상기 제3 배관(P3) 각각을 통해 상기 외함(EN) 및 상기 검사 박스(TB)로 연결될 수 있다.
상기 캐니스터(CA)의 바깥면은 상기 외함(EN)의 내부에서 상기 제2 가스(G2)에 노출될 수 있다. 상기 외함(EN)의 상기 내부에서 상기 제2 가스(G2)는 상기 캐니스터(CA)가 외부 대기에 노출되는 것을 방지할 수 있다.
상기 검사 박스(TB)의 내부 압력이 상기 제2 가스(G2)로 인해 증가할 수 있다. 이로 인해, 상기 검사 박스(TB)의 내부에서 외부로 배출되는 상기 시험물질(TS)의 양이 증가할 수 있다.
도 9를 참조하면, 상기 검사 박스(TB) 내의 상기 시험물질(TS)이 상기 검사 박스(TB)에서 세정기(SC)로 전달될 수 있다. 상기 시험물질(TS)은 상기 검사 박스(TB)와 연결된 펌프(PU)를 통해 상기 펌프(PU)와 연결된 세정기(SC)로 전달될 수 있다. 이를 통해, 상기 시험물질(TS)은 상기 검사 박스(TB) 내에서 제거될 수 있다. 상기 세정기(SC)는 상기 시험물질(TS)을 정화하여 독성을 제거할 수 있고, 정화된 상기 시험물질(TS)을 대기 중으로 배출할 수 있다.
설명 및 이해의 편의를 위하여, 본 발명의 검사 장치(1)를 이용한 검사 방법을 단계별로 설명하였으나, 본 발명의 검사 방법은 이에 한정되지 않으며, 각 검사 단계는 순차적으로 진행될 수도 있고, 적어도 일부 단계는 동시에 수행될 수도 있다.
도 10 및 도 11는 각각 도 3 및 도 4의 검사 장치를 이용한 검사 방법을 나타낸 모식도들이다.
도 10을 참조하면, 상기 외함(EN)이 상기 세정기(SC)에 연결될 수 있고, 상기 세정기(SC)는 상기 외함(EN) 내의 물질들을 더 정화할 수 있다. 상기 세정기(SC)는 상기 외함(EN) 내의 물질들을 전달받아 외부로 배출할 수 있고, 이를 통해 상기 외함(EN)은 내부 압력을 유지할 수 있다.
도 11을 참조하면, 상기 감지기(SE)가 상기 세정기(SC)에 연결될 수 있고, 상기 세정기(SC)는 상기 감지기(SE) 내의 물질들을 더 정화할 수 있다.
반도체 제조 공정에 사용되는 전구체(precursor)와 같은 화학물질들은 대기 중에 누출되는 경우 독성물질을 생성할 수 있고, 인명이나 주변 환경에 대한 큰 피해를 유발할 수 있다. 이에 따라, 상기 화학물질들의 누출을 감지할 수 있는 감지기 개발이 필수적이다. 그러나, 대기 중 누출에 대한 위험성으로 인해, 상기 화학물질들은 액체 상태로 캐니스터(CA)에 보관되는 것이 일반적이며, 감지기 개발을 위한 감지기 성능 및/또는 동작 여부 검사에도 많은 제한이 따른다.
본 발명의 개념에 따르면, 상기 감지기 성능 및/또는 동작 여부를 검사할 수 있는 검사 장치(1) 및 이를 이용한 검사 방법이 제공된다. 제1 가스(G1)가 캐니스터 가스 주입부(CG)로부터 상기 캐니스터(CA)로 전달될 수 있고, 이를 통해 상기 캐니스터(CA)의 내부 압력이 증가함으로써 시험물질(TS)이 상기 캐니스터(CA)로부터 검사 박스(TB)로 전달될 수 있다. 상기 전달 방식은 상기 시험물질(TS)이 액체 상태인 경우에도 활용될 수 있다. 액체 상태인 상기 시험물질(TS)은 상기 검사 박스(TB)에서 낮은 압력으로 인해 기화될 수 있고, 이를 통해 감지기 검사 작업이 용이하게 수행될 수 있다.
이에 더하여, 상기 검사 장치(1)의 외함(EN)은, 상기 외함(EN) 내에 제공되는 제2 가스(G2)와 함께 상기 캐니스터(CA) 내부의 상기 시험물질(TS)이 대기 중으로 유출되는 것을 막을 수 있다. 또한, 펌프(PU) 및 세정기(SC)는 상기 시험물질(TS)을 독성이 없는 상태로 정화시킬 수 있다. 이에 따라, 대기 중에 상기 화학물질들의 유출이 방지될 수 있고, 감지기 검사 작업이 안전하게 수행될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 대한 이상의 설명은 본 발명의 설명을 위한 예시를 제공한다. 따라서 본 발명은 이상의 실시예들에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 상기 실시예들을 조합하여 실시하는 등 여러 가지 많은 수정 및 변경이 가능함은 명백하다.
1: 검사 장치
CA: 캐니스터 EN: 외함
CG: 캐니스터 가스 주입부 EG: 외함 가스 주입부
G1: 제1 가스 G2: 제2 가스
TS: 시험물질 SCG: 서브 주입부
TB: 검사 박스 SE: 감지기
PU: 펌프 SC: 세정기
V: 밸브 구조체 CT: 컨트롤러

Claims (10)

  1. 제1 배관과 연결되는 캐니스터 가스 주입부;
    제2 배관 및 제3 배관과 연결되는 외함 가스 주입부;
    상기 제2 배관을 통해 상기 외함 가스 주입부에 연결되는 외함;
    상기 제3 배관을 통해 상기 외함 가스 주입부에 연결되고, 제4 배관과 연결되는 검사 박스;
    상기 검사 박스와 연결되는 펌프; 및
    상기 펌프와 연결되는 세정기를 포함하되,
    상기 제1 배관 및 상기 제4 배관은 각각 상기 캐니스터 가스 주입부 및 상기 검사 박스로부터 상기 외함의 내부로 연장되는 검사 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 외함의 상기 내부 및 상기 검사 박스의 내부는 외부 대기에 노출되지 않는 검사 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 세정기는 상기 외함과 더 연결되는 검사 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 캐니스터 가스 주입부는 서로 분리된 서브 주입부들을 포함하는 검사 장치.
  5. 제1 가스 및 제2 가스가 내부에 제공되는 외함;
    상기 제2 가스가 내부에 제공되는 검사 박스;
    상기 제1 가스를 상기 외함의 내부의 일부에 전달하는 캐니스터 가스 주입부;
    상기 제2 가스를 상기 외함의 상기 내부의 다른 일부 및 상기 검사 박스의 내부에 전달하는 외함 가스 주입부; 및
    상기 검사 박스 및 상기 캐니스터 가스 주입부에 각각 연결되는 배관들을 포함하되,
    상기 배관들 각각은 상기 외함의 내부로 연장되는 검사 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제1 가스 및 상기 제2 가스 각각은 비활성 기체를 포함하는 검사 장치.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 검사 박스의 내부에 음압이 제공되는 검사 장치.
  8. 제 5항에 있어서,
    상기 검사 박스와 연결되는 펌프; 및
    상기 펌프와 연결되는 세정기를 더 포함하되,
    상기 펌프는 상기 검사 박스 내의 물질을 상기 세정기로 이동시키는 검사 장치.
  9. 캐니스터를 외함 내에 제공하는 것, 시험물질이 상기 캐니스터의 내부에 제공되고, 상기 캐니스터는 캐니스터 가스 주입부 및 검사 박스에 연결되며;
    제1 가스를 상기 캐니스터 가스 주입부로부터 상기 캐니스터로 전달하는 것;
    상기 시험물질을 상기 캐니스터로부터 상기 검사 박스로 전달하는 것;
    상기 시험물질을 상기 검사 박스로부터 감지기로 전달하여 상기 감지기를 검사하는 것;
    제2 가스를 외함 가스 주입부로부터 상기 검사 박스 및 상기 외함에 전달하는 것;
    펌프를 통해 상기 검사 박스 내의 상기 시험물질을 세정기로 전달하는 것; 및
    상기 세정기로 상기 시험물질을 세정하는 것을 포함하되,
    각 단계는 순차적으로 수행되거나 또는 적어도 일부 단계는 동시에 수행되는 검사 방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 시험물질은 상기 캐니스터 내에서 액체이고, 상기 검사 박스 내에서 기화하는 검사 방법.
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