KR20230033048A - 세정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 대상물에 세정액을 분사하여 대상물을 세정하는 세정장치에 관한 것으로서, 특히, 본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 세정액의 넓은 분사면적을 확보하면서, 균일한 압력으로 세정액을 분사할 수 있는 세정장치에 관한 것이다.

Description

세정장치{CLEANING APPARATUS}

본 발명은 대상물에 세정액을 분사하여 대상물을 세정하는 세정장치에 관한 것이다.

세정장치는 세정액이 분사되는 노즐이 구비되어, 노즐을 통해 대상물에 세정액을 분사하여 대상물을 세정하는 장비이다.

세정장치는 기판 제조 공정에서 제조되는 기판들을 세정할 수 있다. 기판은 기판 상에 사진(photo), 확산(diffusion), 증착(deposition), 식각(etching), 세정(cleaning) 및 건조(drying) 등과 같은 공정들을 반복하여 제조 된다.

세정장치는 위와 같이 제조되는 기판이 공정 챔버 내의 이송 유닛에 의해 이송될 때, 세정액이 분사되어 세정 공정을 수행하거나 별도의 챔버에서 약액 또는 세정액을 분사하여 세정 공정을 수행하게 된다.

세정장치는 디스플레이 기판등에 사용되는 마스크를 세정할 수도 있다.

디스플레이 기판은 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등의 종류가 있는데, 유기 발광 소자의 경우, 유기 물질을 증착시키는 과정에서 선택적인 증착을 위해 유기발광 표시소자 증착용 마스크를 사용하게 된다.

따라서, 증착 공정에서 마스크에 유기 물질들이 묻게 되며, 이를 세정하는 별도의 공정이 필요하다.

유기발광 표시소자 증착용 마스크를 세정하는 세정장치로는, 한국등록특허 제10-1305011호(이하, '특허문헌 1'이라 한다) 및 한국공개특허 제10-2008-0062350호(이하, '특허문헌 2'이라 한다)에 기재된 것이 공지되어 있다.

특허문헌 1의 경우, 노즐이 이동가이드 프레임을 따라 이동하면서 세정약액을 분사하여 마스크를 세정하게 된다. 이 경우, 세정 범위가 협소하여 세정 공정이 오래 걸리는 문제점이 있다.

특허문헌 2의 경우, 약액 분사 파이프의 간격을 용이하게 조절할 수 있도록 기판 세정장치를 구성하였으나, 다수의 분기 파이프를 통해 약액이 분기되면, 약액의 분사시 분사압의 불균일이 발생할 수 있는 문제점이 있다.

특허문헌 1(한국등록특허 제10-1305011호) 특허문헌 2(한국공개특허 제10-2008-0062350호)

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 세정액의 넓은 분사면적을 확보하면서, 균일한 압력으로 세정액을 분사할 수 있는 세정장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 일 특징에 따른 세정장치는, 대상물이 거치되는 거치대; 및 상기 대상물의 일측면에 세정액을 분사하는 복수개의 제1노즐이 구비된 제1분사부;를 포함하고, 상기 세정액이 유입되는 상기 제1분사부의 제1유입부에서부터 상기 복수개의 제1노즐 각각으로 유동된 세정액의 유동거리는 모두 동일하다.

또한, 상기 제1유입부로 유입된 상기 세정액은 상기 제1분사부의 제1분지구간을 거쳐 분지된 후, 상기 복수개의 제1노즐을 통해 세정액이 분사된다.

또한, 상기 대상물과 상기 제1분사부를 상대 이동시키는 구동부;를 더 포함한다.

또한, 상기 대상물의 타측면에 세정액을 분사하는 복수개의 제2노즐이 구비된 제2분사부;를 더 포함하고, 상기 제2분사부의 제2유입부로 유입된 상기 세정액은 상기 제2분사부의 제2분지구간을 거쳐 분지된 후, 상기 복수개의 제2노즐을 통해 세정액이 분사되되, 상기 제2유입부에서부터 상기 복수개의 제2노즐 각각으로 유동된 세정액의 유동거리는 모두 동일하다.

또한, 상기 대상물과 상기 제1, 2분사부를 상대 이동시키는 구동부;를 더 포함하고, 상기 구동부는, 상기 제1분사부에 연결되는 제1바; 상기 제2분사부에 연결되는 제2바; 상기 제1바와 상기 제2바를 연결하는 제3바; 및 상기 제2바에 구비된 연결부재를 통해 상기 제2바에 연결되어 회전시 발생되는 회전운동을 직선운동으로 변화시켜 상기 제1바 및 상기 제2바를 전후방향으로 이동시키는 구동모터;를 포함한다.

또한, 상기 세정액이 저장된 탱크; 및 상기 탱크에 저장된 세정액을 상기 제1분사부로 공급시키는 공급펌프;를 더 포함한다.

또한, 그 내부에 상기 거치대, 상기 제1분사부가 배치되며, 세정 공정이 수행되는 세정 챔버; 및 상기 세정 챔버의 세정액을 상기 탱크로 회수시키는 회수펌프;를 더 포함한다.

또한, 상기 제1분사부는, 상기 복수개의 제1노즐은 상기 제1유입부의 하부에 위치하고, 상기 제1분지구간은 상기 제1유입부와 상기 복수개의 제1노즐 사이에 위치한다.

또한, 상기 제1분사부는 상기 대상물의 좌측면에 세정액을 분사하고, 상기 세정액은 상기 제1분지구간에서 전방 방향, 후방 방향 및 하부 방향 중 적어도 어느 한 방향으로 유동된 후, 우측 방향으로 유동되어 세정 챔버 내에서 분사된다.

또한, 상기 제1분사부는, 상기 복수개의 제1노즐을 전후 방향으로 연결하는 제1연결바;를 포함한다.

또한, 상기 제1분사부를 지지하도록 세정 챔버의 바닥면과 상기 제1분사부의 사이에 게재되는 제1지지블럭;을 더 포함한다.

또한, 그 내부에 상기 거치대, 상기 제1분사부가 배치되며, 세정 공정이 수행되는 세정 챔버;를 더 포함하고, 상기 세정 챔버의 바닥면에는 상기 세정 챔버의 세정액이 탱크로 회수되도록 회수구가 구비되고, 상기 회수구는 상기 세정 챔버의 전후 방향 중앙에 위치하고, 상기 세정 챔버의 바닥면은 상기 회수구 방향으로 갈수록 하부로 경사지게 형성된다.

또한, 상기 대상물과 상기 제1, 2분사부를 상대 이동시키는 구동부;를 더 포함하고, 상기 구동부는, 상기 제1분사부에 연결되는 제1바; 상기 제2분사부에 연결되는 제2바; 그 일측에 상기 제1바가 연결되는 제1연결부가 구비되고, 그 타측에 상기 제2바가 연결되는 제2연결부가 구비되고, 상기 제1연결부와 상기 제2연결부 사이에 링크연결부가 구비된 연결부재; 구동모터에 의해 작동되어 중심축을 중심으로 회전하는 캠; 및 그 일측이 상기 중심축으로부터 편심되게 구비되는 제1축에 회전 가능하게 연결되고, 그 타측이 상기 링크연결부에 구비되는 제2축에 회전 가능하게 연결되는 링크;를 포함하고, 상기 구동모터의 작동에 의해 상기 캠이 회전하면 상기 링크에 의해 상기 연결부재가 전후 방향으로 이동되고, 상기 연결부재의 전후 방향 이동에 따라 상기 제1분사부 및 상기 제2분사부가 전후 방향으로 이동된다.

이상에서 살펴본 바와 같은 본 발명의 세정장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.

제1유입부로부터 복수개의 제1노즐로 유동되는 세정액의 유동거리 및 제2유입부로부터 복수개의 제2노즐로 유동되는 세정액의 유동거리가 동일하므로, 복수개의 제1노즐 및 제2노즐을 통해 세정액의 균일한 분사압이 보장되어 대상물의 세정이 균일하게 이루어질 수 있다.

제1분사부 및 제2분사부가 전후 방향으로 왕복 이동하면서 대상물의 좌, 우측면 각각에 세정액을 분사하므로, 대상물의 좌, 우측면이 빈틈없이 세정될 수 있다.

탱크에서 공급된 세정액이 필터에 의해 필터링되어 다시 회수되므로, 세정액의 낭비를 최소화할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 사시도.
도 2는 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 세정 챔버, 구동 챔버 및 탱크 챔버를 도시한 도.
도 3은 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 세정 챔버 내부의 제1, 2분사부와, 구동 챔버 내부의 구동부를 도시한 도.
도 4 및 도 5는 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 세정 챔버 내부에 대상물이 수납되지 않은 상태와 수납된 상태를 도시한 도.
도 6은 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 세정 챔버의 측면 단면도
도 7 및 도 8은 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 제1분사부를 도시한 도.
도 9는 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 제1분사부의 제1조립체를 도시한 도.
도 10 및 도 11은 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 제2분사부를 도시한 도.
도 12는 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 제1분사부의 제2조립체를 도시한 도.
도 13은 제1분사부의 세정액의 분사영역을 도시한 도.
도 14는 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 탱크, 공급펌프, 배기펌프, 제1분사부 및 제2분사부의 연결을 개략적으로 도시한 도.
도 15는 본 발명의 제2실시 예에 따른 세정장치의 세정 챔버 내부의 제1, 2분사부와, 구동 챔버 내부의 구동부를 도시한 도.
도 16 및 도 17는 본 발명의 제2실시 예에 따른 세정장치의 세정 챔버 내부에 대상물이 수납되지 않은 상태와 수납된 상태를 도시한 도.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부한 도면들과 함께 상세히 후술된 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명하는 실시 예에 한정된 것이 아니라 서로 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

또한, 바람직한 실시 예에 따른 것이기 때문에, 설명의 순서에 따라 제시되는 참조 부호는 그 순서에 반드시 한정되지는 않는다.

또한, 본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시 도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시 도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.

다양한 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 실시 예가 다르더라도 편의상 동일한 명칭 및 동일한 참조번호를 부여하기로 한다. 또한, 이미 다른 실시 예에서 설명된 구성 및 작동에 대해서는 편의상 생략하기로 한다.

본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치(10)

이하, 도 1 내지 도 14를 참고하여 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치(10)에 대해 설명한다.

도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 세정 챔버, 구동 챔버 및 탱크 챔버를 도시한 도이고, 도 3은 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 세정 챔버 내부의 제1, 2분사부와, 구동 챔버 내부의 구동부를 도시한 도이고, 도 4 및 도 5는 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 세정 챔버 내부에 대상물이 수납되지 않은 상태와 수납된 상태를 도시한 도이고, 도 6은 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 세정 챔버의 측면 단면이고, 도 7 및 도 8은 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 제1분사부를 도시한 도이고, 도 9는 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 제1분사부의 제1조립체를 도시한 도이고, 도 10 및 도 11은 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 제2분사부를 도시한 도이고, 도 12는 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 제1분사부의 제2조립체를 도시한 도이고, 도 13은 제1분사부의 세정액의 분사영역을 도시한 도이고, 도 14는 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치의 탱크, 공급펌프, 배기펌프, 제1분사부 및 제2분사부의 연결을 개략적으로 도시한 도이다.

도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치(10)는, 대상물(m)이 거치되는 거치대(111);와, 대상물(m)의 좌측면에 세정액을 분사하는 복수개의 제1노즐(230a ~ 230p)이 구비된 제1분사부(200);와, 대상물(m)의 우측면에 세정액을 분사하는 복수개의 제2노즐(330a ~ 330p)이 구비된 제2분사부(300);와, 대상물(m)과 제1, 2분사부(200, 300)를 상대 이동시키는 구동부(400);와, 세정액이 저장된 탱크(510);와, 탱크(510)에 저장된 세정액을 제1, 2분사부(200, 300)로 공급시키는 공급펌프(540);와, 세정 챔버(110)의 세정액을 탱크(510)로 회수시키는 회수펌프(550);와, 그 내부에 거치대(111), 제1분사부(200) 및 제2분사부(300)가 배치되며, 세정 공정이 수행되는 세정 챔버(110);와, 세정 챔버(110)의 좌측면에 위치하며, 세정된 대상물(m)이 건조되는 건조 챔버(120);와, 세정 챔버(110) 및 건조 챔버(120)의 후방에 위치하며, 구동부(400)가 배치되는 구동부 챔버(130);와, 세정 챔버(110) 및 건조 챔버(120)의 하부에 위치하며, 탱크(510), 공급펌프(540) 및 회수펌프(550)가 배치되는 탱크 챔버(140);를 포함하여 구성될 수 있다.

세정장치(10)에 사용되는 대상물(m)은, 반도체 제조 공정에서 제조되거나 사용되는 기판, 디스플레이, 마스크일 수 있다. 이 경우, 마스크는 유기발광 표시소자 증착용 마스크일 수 있다.

이하, 거치대(111)에 대해 설명한다.

도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 거치대(111)는 세정 챔버(110)의 바닥면에 구비된다.

거치대(111)는 대상물(m)의 전방 하면 및 후방 하면을 지지하도록 2개가 구비된다.

2개의 거치대(111)는 대상물(m)의 전방 하면 및 후방 하면을 각각 지지하여, 대상물(m)을 거치시킨다. 이러한 2개의 거치대(111)는 제1분사부(200)와 제2분사부(300) 사이에 위치하도록 배치된다.

거치대(111)는 'ㄴ'자 형상 또는 좌우 대칭된 'ㄴ'자 형상(즉, '┛'자 형상)으로 형성되어 1개의 거치대(111)는 대상물(m)의 전방 및 하면 일부를 감싸며 대상물(m)을 지지한다. 또한, 고, 나머지 1개의 거치대는 대상물(m)의 후방 및 하면 일부를 감싸게 된다.

이하, 제1분사부(200)에 대해 설명한다.

도 2 내지 도 5, 도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 제1분사부(200)는 대상물의 좌측면에 세정액을 분사하는 기능을 한다.

제1분사부(200)는, 공급펌프(540)에 의해 탱크(510) 및 공급유로(520)를 통해 제1유입부(211)로 유입된 세정액이 복수개의 제1분지구간(212)을 거쳐 분지된 후, 복수개의 제1노즐(230a ~ 230p)을 통해 세정액이 분사된다.

이 경우, 제1분사부(200)에서 제1유입부(211)에서부터 복수개의 제1노즐(230a ~ 230p) 각각으로 유동된 세정액의 유동거리는 모두 동일하다.

복수개의 제1노즐(230a ~ 230p)은 제1유입부(211)의 하부에 위치하고, 복수개의 제1분지구간(212)은 제1유입부(211)와 복수개의 제1노즐(230a ~ 230p) 사이에 위치한다.

제1분사부(200)를 통해 세정액이 분사될 때, 세정액은 제1분사부(200)의 복수개의 제1분지구간(212)에서 전방 방향, 후방 방향 및 하부 방향 중 적어도 어느 한 방향으로 유동된 후, 제1-1 내지 제1-16노즐유로(215a ~ 215p)를 따라 우측 방향으로 유동되어 제1-1 내지 제1-16노즐(230a ~ 230p)을 통해 세정 챔버(110) 내에서 분사된다.

제1분사부(200)는, 제1조립체(210);와, 제1조립체(210)를 지지하며, 제1조립체(210)의 하부에서 제1조립체(210)를 지지하는 제1플레이트(220);와, 제1조립체(210)의 제1-1 내지 제1-16노즐유로(215a ~ 215p) 각각과 연통되는 제1-1 내지 제1-16노즐(230a ~ 230p);과, 제1-1 내지 제1-16노즐(230a ~ 230p)을 전후 방향으로 연결시키는 제1연결바(240);와, 제1조립체(210)의 제1유입부(211)를 지지하도록 제1플레이트(220)에 구비되는 제1지지기둥(250);을 포함하여 구성될 수 있다.

제1조립체(210)는, 제1유입부(211);와, 제1-1 내지 제1-15분지유로(213a ~ 213o);와, 제1-1 내지 제1-16노즐유로(215a ~ 215p);를 포함하여 구성될 수 있다.

복수개의 제1노즐(230a ~ 230p)은 제1-1 내지 제1-16노즐(230a ~ 230p)을 포함하여 구성될 수 있다.

제1유입부(211)는 공급유로(520)와 연통되어, 공급펌프(540)에 의해 탱크(510)의 세정액이 공급되어 제1분사부(200) 내부로 세정액이 유입되는 통로 기능을 한다.

제1-1분지유로(213a)는 제1유입부(211)의 하부에 위치하여 제1유입부(211)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제1-2분지유로(213b)는 제1-1분지유로(213a)의 전방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제1-1분지유로(213a)의 전방 단부의 하부와 연통되며, 제1-1분지유로(213a)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제1-3분지유로(213c)는 제1-1분지유로(213a)의 후방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제1-1분지유로(213a)의 후방 단부의 하부와 연통되며, 제1-1분지유로(213a)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제1-4분지유로(213d)는 제1-2분지유로(213b)의 전방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제1-2분지유로(213b)의 전방 단부의 하부와 연통되며, 제1-2분지유로(213b)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제1-5분지유로(213e)는 제1-2분지유로(213b)의 후방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제1-2분지유로(213b)의 후방 단부의 하부와 연통되며, 제1-2분지유로(213b)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제1-6분지유로(213f)는 제1-3분지유로(213c)의 전방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제1-3분지유로(213c)의 전방 단부의 하부와 연통되며, 제1-3분지유로(213c)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제1-7분지유로(213g)는 제1-3분지유로(213c)의 후방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제1-3분지유로(213c)의 후방 단부의 하부와 연통되며, 제1-3분지유로(213c)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제1-8분지유로(213h)는 제1-4분지유로(213d)의 전방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제1-4분지유로(213d)의 전방 단부의 하부와 연통되며, 제1-4분지유로(213d)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제1-9분지유로(213i)는 제1-4분지유로(213d)의 후방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제1-4분지유로(213d)의 후방 단부의 하부와 연통되며, 제1-4분지유로(213d)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제1-10분지유로(213j)는 제1-5분지유로(213e)의 전방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제1-5분지유로(213e)의 전방 단부의 하부와 연통되며, 제1-5분지유로(213e)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제1-11분지유로(213k)는 제1-5분지유로(213e)의 후방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제1-5분지유로(213e)의 후방 단부의 하부와 연통되며, 제1-5분지유로(213e)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제1-12분지유로(213l)는 제1-6분지유로(213f)의 전방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제1-6분지유로(213f)의 전방 단부의 하부와 연통되며, 제1-6분지유로(213f)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제1-13분지유로(213m)는 제1-6분지유로(213f)의 후방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제1-6분지유로(213f)의 후방 단부의 하부와 연통되며, 제1-6분지유로(213f)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제1-14분지유로(213n)는 제1-7분지유로(213g)의 전방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제1-7분지유로(213g)의 전방 단부의 하부와 연통되며, 제1-7분지유로(213g)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제1-15분지유로(213o)는 제1-7분지유로(213g)의 후방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제1-7분지유로(213g)의 후방 단부의 하부와 연통되며, 제1-7분지유로(213g)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제1-1노즐유로(215a)의 일단은 제1-8분지유로(213h)의 전방 단부와 연통되어, 제1-8분지유로(213h)의 전방 단부에서 우측 방향으로 연장되게 형성되고, 제1-1노즐유로(215a)의 타단은 제1-1노즐(230a)과 연통된다.

제1-2노즐유로(215b)의 일단은 제1-8분지유로(213h)의 후방 단부와 연통되어, 제1-8분지유로(213h)의 후방 단부에서 우측 방향으로 연장되게 형성되고, 제1-2노즐유로(215b)의 타단은 제1-2노즐(230b)과 연통된다.

제1-3노즐유로(215c)의 일단은 제1-9분지유로(213i)의 전방 단부와 연통되어, 제1-9분지유로(213i)의 전방 단부에서 우측 방향으로 연장되게 형성되고, 제1-3노즐유로(215c)의 타단은 제1-3노즐(230c)과 연통된다.

제1-4노즐유로(215d)의 일단은 제1-9분지유로(213i)의 후방 단부와 연통되어, 제1-9분지유로(213i)의 후방 단부에서 우측 방향으로 연장되게 형성되고, 제1-4노즐유로(215d)의 타단은 제1-4노즐(230d)과 연통된다.

제1-5노즐유로(215e)의 일단은 제1-10분지유로(213j)의 전방 단부와 연통되어, 제1-10분지유로(213j)의 전방 단부에서 우측 방향으로 연장되게 형성되고, 제1-5노즐유로(215e)의 타단은 제1-5노즐(230e)과 연통된다.

제1-6노즐유로(215f)의 일단은 제1-10분지유로(213j)의 후방 단부와 연통되어, 제1-10분지유로(213j)의 후방 단부에서 우측 방향으로 연장되게 형성되고, 제1-6노즐유로(215f)의 타단은 제1-6노즐(230f)과 연통된다.

제1-7노즐유로(215g)의 일단은 제1-11분지유로(213k)의 전방 단부와 연통되어, 제1-11분지유로(213k)의 전방 단부에서 우측 방향으로 연장되게 형성되고, 제1-7노즐유로(215g)의 타단은 제1-7노즐(230g)과 연통된다.

제1-8노즐유로(215h)의 일단은 제1-11분지유로(213k)의 후방 단부와 연통되어, 제1-11분지유로(213k)의 후방 단부에서 우측 방향으로 연장되게 형성되고, 제1-8노즐유로(215h)의 타단은 제1-8노즐(230h)과 연통된다.

제1-9노즐유로(215i)의 일단은 제1-12분지유로(213l)의 전방 단부와 연통되어, 제1-12분지유로(213l)의 전방 단부에서 우측 방향으로 연장되게 형성되고, 제1-9노즐유로(215i)의 타단은 제1-9노즐(230i)과 연통된다.

제1-10노즐유로(215j)의 일단은 제1-12분지유로(213l)의 후방 단부와 연통되어, 제1-12분지유로(213l)의 후방 단부에서 우측 방향으로 연장되게 형성되고, 제1-10노즐유로(215j)의 타단은 제1-10노즐(230j)과 연통된다.

제1-11노즐유로(215k)의 일단은 제1-13분지유로(213m)의 전방 단부와 연통되어, 제1-13분지유로(213m)의 전방 단부에서 우측 방향으로 연장되게 형성되고, 제1-11노즐유로(215k)의 타단은 제1-11노즐(230k)과 연통된다.

제1-12노즐유로(215l)의 일단은 제1-13분지유로(213m)의 후방 단부와 연통되어, 제1-13분지유로(213m)의 후방 단부에서 우측 방향으로 연장되게 형성되고, 제1-12노즐유로(215l)의 타단은 제1-12노즐(230l)과 연통된다.

제1-13노즐유로(215m)의 일단은 제1-14분지유로(213n)의 전방 단부와 연통되어, 제1-14분지유로(213n)의 전방 단부에서 우측 방향으로 연장되게 형성되고, 제1-13노즐유로(215m)의 타단은 제1-13노즐(230m)과 연통된다.

제1-14노즐유로(215n)의 일단은 제1-14분지유로(213n)의 후방 단부와 연통되어, 제1-14분지유로(213n)의 후방 단부에서 우측 방향으로 연장되게 형성되고, 제1-14노즐유로(215n)의 타단은 제1-14노즐(230n)과 연통된다.

제1-15노즐유로(215o)의 일단은 제1-15분지유로(213o)의 전방 단부와 연통되어, 제1-15분지유로(213o)의 전방 단부에서 우측 방향으로 연장되게 형성되고, 제1-15노즐유로(215o)의 타단은 제1-15노즐(230o)과 연통된다.

제1-16노즐유로(215p)의 일단은 제1-15분지유로(213o)의 후방 단부와 연통되어, 제1-15분지유로(213o)의 후방 단부에서 우측 방향으로 연장되게 형성되고, 제1-16노즐유로(215p)의 타단은 제1-16노즐(230p)과 연통된다.

제1-1 내지 제1-16노즐(230a ~ 230p)은 제1분사부(200)의 전후 방향으로 등간격으로 배열된다.

전술한 제1-1 내지 제1-15분지유로(213a ~ 213o) 및 제1-1 내지 제1-16노즐유로(215a ~ 215p)는 복수개의 제1분지구간(212)을 이룬다.

제1연결바(240)는 제1-1 내지 제1-16노즐유로(215a ~ 215p)와 제1-1 내지 제1-16노즐(230a ~ 230p) 사이에 게재된다. 즉, 제1연결바(240)는 제1-1 내지 제1-16노즐유로(215a ~ 215p)의 우측 및 제1-1 내지 제1-16노즐(230a ~ 230p)의 좌측 사이에 게재된다.

이러한 제1연결바(240)는 제1-1 내지 제1-16노즐유로(215a ~ 215p) 및 제1-1 내지 제1-16노즐(230a ~ 230p)을 전후 방향으로 서로 연결되게 함으로써, 자중에 의해 제1-1 내지 제1-16노즐유로(215a ~ 215p) 및 제1-1 내지 제1-16노즐(230a ~ 230p)이 쳐지는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.

제1플레이트(220)는 제1조립체(210)의 하부에 배치되어, 제1조립체(210)를 지지하는 기능을 한다.

제1플레이트(220)의 하부에는 제1지지블럭(115)이 세정 챔버(110)의 바닥면으로부터 제1플레이트(220) 및 제1조립체(210), 즉, 제1분사부(200)를 지지한다.

이 경우, 제1지지블럭(115)은 2개가 구비되며, 제1플레이트(220)와 제1지지블럭(115)은 상호 결합되지 않는다. 따라서, 제1지지블럭(115)은 제1플레이트(220)를 단순 지지하고 있으므로, 제1분사부(200)의 전후 방향 슬라이드가 가능하다.

제1지지기둥(250)은 제1플레이트(220) 상에 설치되어 구비된다. 제1지지기둥(250)은 제1유입부(211) 및 제1-1분지유로(213a)의 중앙을 지지함으로써, 제1-1분지유로(213a)가 자중에 의해 쳐지는 것을 방지한다. 즉, 제1지지기둥(250)은 제1플레이트(220)의 상부와 제1유입부(211)의 하부 사이에 게재된다.

제1유입부(211)로 유입된 세정액은 제1-1 내지 제1-15분지유로(213a ~ 213o)를 통해 전방 방향, 후방 방향 및 하부 방향 중 적어도 어느 한 방향으로 유동된 후, 제1-1 내지 제1-16노즐유로(215a ~ 215p)를 통해 우측 방향으로 유동되어 제1-1 내지 제1-16노즐(230a ~ 230p)을 통해 제1분사부(200)의 외부로 분사된다.

이 경우, 각각의 분지유로를 거쳐 각각의 노즐을 통해 분사된 세정액의 유동거리는 모두 동일하다.

예컨데, 제1유입부(211)를 통해 제1-1분지유로(213a), 제1-2분지유로(213b), 제1-4분지유로(213d), 제1-8분지유로(213h) 및 제1-1노즐유로(215a)로 유동되어 제1-1노즐(230a)을 통해 분사된 세정액의 유동거리는, 제1유입부(211)를 통해 제1-2분지유로(213b), 제1-3분지유로(213c), 제1-6분지유로(213f), 제1-12분지유로(213l) 및 제1-11노즐유로(215k)로 유동되어 제1-11노즐(230k)로 분사된 세정액의 유동거리와 동일하다.

위와 같이, 세정액의 유동거리가 동일함에 따라, 제1-1 내지 제1-16노즐(230a ~ 230p)을 통해 분사되는 세정액은 균일한 분사압을 갖을 수 있다. 따라서, 대상물(m)의 좌측면의 세정이 균일하게 이루어질 수 있다.

제1분사부(200)는, 제1-1 내지 제1-16노즐(230a ~ 230p)이 전후 방향으로 균등한 거리로 이격되게 배치되어 있다.

도 13에 도시된 바와 같이, 제1-1 내지 제1-16노즐(230a ~ 230p) 각각을 통해 분사되는 세정액의 분사면적(A)의 지름은, 제1-1 내지 제1-16노즐(230a ~ 230p) 사이의 이격거리보다 큰 것이 바람직하다.

위와 같이, 세정액의 분사영역의 지름은, 제1-1 내지 제1-16노즐(230a ~ 230p) 사이의 이격거리보다 크게 형성됨에 따라, 분사면적(A)이 전후 방향으로 중첩되어 대상물(m)의 좌측을 빈틈없이 세정할 수 있다.

이하, 제2분사부(300)에 대해 설명한다.

도 2 내지 도 5, 도 10 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 제2분사부(300)는 대상물의 우측면에 세정액을 분사하는 기능을 한다.

제2분사부(300)는, 공급펌프(540)에 의해 탱크(510) 및 공급유로(520)를 통해 제2유입부(311)로 유입된 세정액이 복수개의 제2분지구간(312)을 거쳐 분지된 후, 복수개의 제2노즐(330a ~ 330p)을 통해 세정액이 분사된다.

이 경우, 제2분사부(300)에서 제2유입부(311)에서부터 복수개의 제2노즐(330a ~ 330p) 각각으로 유동된 세정액의 유동거리는 모두 동일하다.

복수개의 제2노즐(330a ~ 330p)은 제2유입부(311)의 하부에 위치하고, 복수개의 제2분지구간(312)은 제2유입부(311)와 복수개의 제2노즐(330a ~ 330p) 사이에 위치한다.

제2분사부(300)를 통해 세정액이 분사될 때, 세정액은 제2분사부(300)의 복수개의 제2분지구간(312)에서 전방 방향, 후방 방향 및 하부 방향 중 적어도 어느 한 방향으로 유동된 후, 제2-1 내지 제2-16노즐유로(315a ~ 315p)를 따라 좌측 방향으로 유동되어 제2-1 내지 제2-16노즐(330a ~ 330p)을 통해 세정 챔버(110) 내에서 분사된다.

제2분사부(300)는, 제2조립체(310);와, 제2조립체(310)를 지지하며, 제2조립체(310)의 하부에서 제2조립체(310)를 지지하는 제2플레이트(320);와, 제2조립체(310)의 제2-1 내지 제2-16노즐유로(315a ~ 315p) 각각과 연통되는 제2-1 내지 제2-16노즐(330a ~ 330p);과, 제2-1 내지 제2-16노즐(330a ~ 330p)을 전후 방향으로 연결시키는 제2연결바(340);와, 제2조립체(310)의 제2유입부(311)를 지지하도록 제2플레이트(320)에 구비되는 제2지지기둥(350);을 포함하여 구성될 수 있다.

제2조립체(310)는, 제2유입부(311);와, 제2-1 내지 제2-15분지유로(313a ~ 313o);와, 제2-1 내지 제2-16노즐유로(315a ~ 315p);를 포함하여 구성될 수 있다.

복수개의 제2노즐(330a ~ 330p)은 제2-1 내지 제2-16노즐(330a ~ 330p)을 포함하여 구성될 수 있다.

제2유입부(311)는 제2공급유로(520)와 연통되어, 공급펌프(540)에 의해 탱크(510)의 세정액이 공급되어 제2분사부(300) 내부로 세정액이 유입되는 통로 기능을 한다.

제2-1분지유로(313a)는 제2유입부(311)의 하부에 위치하여 제2유입부(311)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제2-2분지유로(313b)는 제2-1분지유로(313a)의 전방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제2-1분지유로(313a)의 전방 단부의 하부와 연통되며, 제2-1분지유로(313a)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제2-3분지유로(313c)는 제2-1분지유로(313a)의 후방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제2-1분지유로(313a)의 후방 단부의 하부와 연통되며, 제2-1분지유로(313a)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제2-4분지유로(313d)는 제2-2분지유로(313b)의 전방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제2-2분지유로(313b)의 전방 단부의 하부와 연통되며, 제2-2분지유로(313b)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제2-5분지유로(313e)는 제2-2분지유로(313b)의 후방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제2-2분지유로(313b)의 후방 단부의 하부와 연통되며, 제2-2분지유로(313b)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제2-6분지유로(313f)는 제2-3분지유로(313c)의 전방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제2-3분지유로(313c)의 전방 단부의 하부와 연통되며, 제2-3분지유로(313c)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제2-7분지유로(313g)는 제2-3분지유로(313c)의 후방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제2-3분지유로(313c)의 후방 단부의 하부와 연통되며, 제2-3분지유로(313c)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제2-8분지유로(313h)는 제2-4분지유로(313d)의 전방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제2-4분지유로(313d)의 전방 단부의 하부와 연통되며, 제2-4분지유로(313d)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제2-9분지유로(313i)는 제2-4분지유로(313d)의 후방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제2-4분지유로(313d)의 후방 단부의 하부와 연통되며, 제2-4분지유로(313d)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제2-10분지유로(313j)는 제2-5분지유로(313e)의 전방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제2-5분지유로(313e)의 전방 단부의 하부와 연통되며, 제2-5분지유로(313e)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제2-11분지유로(313k)는 제2-5분지유로(313e)의 후방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제2-5분지유로(313e)의 후방 단부의 하부와 연통되며, 제2-5분지유로(313e)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제2-12분지유로(313l)는 제2-6분지유로(313f)의 전방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제2-6분지유로(313f)의 전방 단부의 하부와 연통되며, 제2-6분지유로(313f)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제2-13분지유로(313m)는 제2-6분지유로(313f)의 후방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제2-6분지유로(313f)의 후방 단부의 하부와 연통되며, 제2-6분지유로(313f)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제2-14분지유로(313n)는 제2-7분지유로(313g)의 전방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제2-7분지유로(313g)의 전방 단부의 하부와 연통되며, 제2-7분지유로(313g)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제2-15분지유로(313o)는 제2-7분지유로(313g)의 후방 단부의 하부에 위치하여 그 중앙의 상부가 제2-7분지유로(313g)의 후방 단부의 하부와 연통되며, 제2-7분지유로(313g)의 하부에서 전후 방향으로 분지된다.

제2-1노즐유로(315a)의 일단은 제2-8분지유로(313h)의 전방 단부와 연통되어, 제2-8분지유로(313h)의 전방 단부에서 좌측 방향으로 연장되게 형성되고, 제2-1노즐유로(315a)의 타단은 제2-1노즐(330a)과 연통된다.

제2-2노즐유로(315b)의 일단은 제2-8분지유로(313h)의 후방 단부와 연통되어, 제2-8분지유로(313h)의 후방 단부에서 좌측 방향으로 연장되게 형성되고, 제2-2노즐유로(315b)의 타단은 제2-2노즐(330b)과 연통된다.

제2-3노즐유로(315c)의 일단은 제2-9분지유로(313i)의 전방 단부와 연통되어, 제2-9분지유로(313i)의 전방 단부에서 좌측 방향으로 연장되게 형성되고, 제2-3노즐유로(315c)의 타단은 제2-3노즐(330c)과 연통된다.

제2-4노즐유로(315d)의 일단은 제2-9분지유로(313i)의 후방 단부와 연통되어, 제2-9분지유로(313i)의 후방 단부에서 좌측 방향으로 연장되게 형성되고, 제2-4노즐유로(315d)의 타단은 제2-4노즐(330d)과 연통된다.

제2-5노즐유로(315e)의 일단은 제2-10분지유로(313j)의 전방 단부와 연통되어, 제2-10분지유로(313j)의 전방 단부에서 좌측 방향으로 연장되게 형성되고, 제2-5노즐유로(315e)의 타단은 제2-5노즐(330e)과 연통된다.

제2-6노즐유로(315f)의 일단은 제2-10분지유로(313j)의 후방 단부와 연통되어, 제2-10분지유로(313j)의 후방 단부에서 좌측 방향으로 연장되게 형성되고, 제2-6노즐유로(315f)의 타단은 제2-6노즐(330f)과 연통된다.

제2-7노즐유로(315g)의 일단은 제2-11분지유로(313k)의 전방 단부와 연통되어, 제2-11분지유로(313k)의 전방 단부에서 좌측 방향으로 연장되게 형성되고, 제2-7노즐유로(315g)의 타단은 제2-7노즐(330g)과 연통된다.

제2-8노즐유로(315h)의 일단은 제2-11분지유로(313k)의 후방 단부와 연통되어, 제2-11분지유로(313k)의 후방 단부에서 좌측 방향으로 연장되게 형성되고, 제2-8노즐유로(315h)의 타단은 제2-8노즐(330h)과 연통된다.

제2-9노즐유로(315i)의 일단은 제2-12분지유로(313l)의 전방 단부와 연통되어, 제2-12분지유로(313l)의 전방 단부에서 좌측 방향으로 연장되게 형성되고, 제2-9노즐유로(315i)의 타단은 제2-9노즐(330i)과 연통된다.

제2-10노즐유로(315j)의 일단은 제2-12분지유로(313l)의 후방 단부와 연통되어, 제2-12분지유로(313l)의 후방 단부에서 좌측 방향으로 연장되게 형성되고, 제2-10노즐유로(315j)의 타단은 제2-10노즐(330j)과 연통된다.

제2-11노즐유로(315k)의 일단은 제2-13분지유로(313m)의 전방 단부와 연통되어, 제2-13분지유로(313m)의 전방 단부에서 좌측 방향으로 연장되게 형성되고, 제2-11노즐유로(315k)의 타단은 제2-11노즐(330k)과 연통된다.

제2-12노즐유로(315l)의 일단은 제2-13분지유로(313m)의 후방 단부와 연통되어, 제2-13분지유로(313m)의 후방 단부에서 좌측 방향으로 연장되게 형성되고, 제2-12노즐유로(315l)의 타단은 제2-12노즐(330l)과 연통된다.

제2-13노즐유로(315m)의 일단은 제2-14분지유로(313n)의 전방 단부와 연통되어, 제2-14분지유로(313n)의 전방 단부에서 좌측 방향으로 연장되게 형성되고, 제2-13노즐유로(315m)의 타단은 제2-13노즐(330m)과 연통된다.

제2-14노즐유로(315n)의 일단은 제2-14분지유로(313n)의 후방 단부와 연통되어, 제2-14분지유로(313n)의 후방 단부에서 좌측 방향으로 연장되게 형성되고, 제2-14노즐유로(315n)의 타단은 제2-14노즐(330n)과 연통된다.

제2-15노즐유로(315o)의 일단은 제2-15분지유로(313o)의 전방 단부와 연통되어, 제2-15분지유로(313o)의 전방 단부에서 좌측 방향으로 연장되게 형성되고, 제2-15노즐유로(315o)의 타단은 제2-15노즐(330o)과 연통된다.

제2-16노즐유로(315p)의 일단은 제2-15분지유로(313o)의 후방 단부와 연통되어, 제2-15분지유로(313o)의 후방 단부에서 좌측 방향으로 연장되게 형성되고, 제2-16노즐유로(315p)의 타단은 제2-16노즐(330p)과 연통된다.

제2-1 내지 제2-16노즐(330a ~ 330p)은 제2분사부(300)의 전후 방향으로 등간격으로 배열된다.

전술한 제2-1 내지 제2-15분지유로(313a ~ 313o) 및 제2-1 내지 제2-16노즐유로(315a ~ 315p)는 복수개의 제2분지구간을 이룬다.

제2연결바(340)는 제2-1 내지 제2-16노즐유로(315a ~ 315p)와 제2-1 내지 제2-16노즐(330a ~ 330p) 사이에 게재된다. 즉, 제2연결바(340)는 제2-1 내지 제2-16노즐유로(315a ~ 315p)의 좌측 및 제2-1 내지 제2-16노즐(330a ~ 330p)의 우측 사이에 게재된다.

이러한 제2연결바(340)는 제2-1 내지 제2-16노즐유로(315a ~ 315p) 및 제2-1 내지 제2-16노즐(330a ~ 330p)을 전후 방향으로 서로 연결되게 함으로써, 자중에 의해 제2-1 내지 제2-16노즐유로(315a ~ 315p) 및 제2-1 내지 제2-16노즐(330a ~ 330p)이 쳐지는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.

제2플레이트(320)는 제2조립체(310)의 하부에 배치되어, 제2조립체(310)를 지지하는 기능을 한다.

제2플레이트(320)의 하부에는 제2지지블럭(116)이 세정 챔버(110)의 바닥면으로부터 제2플레이트(320) 및 제2조립체(310), 즉, 제2분사부(300)를 지지한다.

이 경우, 제2지지블럭(116)은 2개가 구비되며, 제2플레이트(320)와 제2지지블럭(116)은 상호 결합되지 않는다. 따라서, 제2지지블럭(116)은 제2플레이트(320)를 단순 지지하고 있으므로, 제2분사부(300)의 전후 방향 슬라이드가 가능하다.

제2지지기둥(350)은 제2플레이트(320) 상에 설치되어 구비된다. 제2지지기둥(350)은 제2유입부(311) 및 제2-1분지유로(313a)의 중앙을 지지함으로써, 제2-1분지유로(313a)가 자중에 의해 쳐지는 것을 방지한다. 즉, 제2지지기둥(350)은 제2플레이트(320)의 상부와 제2유입부(311)의 하부 사이에 게재된다.

제2유입부(311)로 유입된 세정액은 제2-1 내지 제2-15분지유로(313a ~ 313o)를 통해 전방 방향, 후방 방향 및 하부 방향 중 적어도 어느 한 방향으로 유동된 후, 제2-1 내지 제2-16노즐유로(315a ~ 315p)를 통해 좌측 방향으로 유동되어 제2-1 내지 제2-16노즐(330a ~ 330p)을 통해 제2분사부(300)의 외부로 분사된다.

이 경우, 각각의 분지유로를 거쳐 각각의 노즐을 통해 분사된 세정액의 유동거리는 모두 동일하다.

예컨데, 제2유입부(311)를 통해 제2-1분지유로(313a), 제2-2분지유로(313b), 제2-4분지유로(313d), 제2-8분지유로(313h) 및 제2-1노즐유로(315a)로 유동되어 제2-1노즐(330a)을 통해 분사된 세정액의 유동거리는, 제2유입부(311)를 통해 제2-2분지유로(313b), 제2-3분지유로(313c), 제2-6분지유로(313f), 제2-12분지유로(313l) 및 제2-11노즐유로(315k)로 유동되어 제2-11노즐(330k)로 분사된 세정액의 유동거리와 동일하다.

위와 같이, 세정액의 유동거리가 동일함에 따라, 제2-1 내지 제2-16노즐(330a ~ 330p)을 통해 분사되는 세정액은 균일한 분사압을 갖을 수 있다. 따라서, 대상물(m)의 좌측면의 세정이 균일하게 이루어질 수 있다.

제2분사부(300)는, 제2-1 내지 제2-16노즐(330a ~ 330p)이 전후 방향으로 균등한 거리로 이격되게 배치되어 있다.

전술한 제1분사부(200)와 동일하게 제2분사부(300)의 제2-1 내지 제2-16노즐(330a ~ 330p) 각각을 통해 분사되는 세정액의 분사면적의 지름은, 제2-1 내지 제2-16노즐(330a ~ 330p) 사이의 이격거리보다 큰 것이 바람직하다.

위와 같이, 세정액의 분사면적의 지름은, 제2-1 내지 제2-16노즐(330a ~ 330p) 사이의 이격거리보다 크게 형성됨에 따라, 분사영역이 전후 방향으로 중첩되어 대상물(m)의 좌측을 빈틈없이 세정할 수 있다.

이하, 구동부(400)에 대해 설명한다,.

도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 구동부(400)는 대상물(m)과 제1분사부(200)를 상대 이동시키는 기능을 한다. 또한, 구동부(400)는 대상물(m)과 제2분사부(300)를 상대 이동시키는 기능을 한다.

구동부(400)는, 제1분사부(200)에 연결되는 제1바(410);와, 제2분사부(300)에 연결되는 제2바(420);와, 제1바(410)와 제2바(420)를 연결하는 제3바(430);와, 제2바(420)에 구비된 연결부재(470)를 통해 제2바(420)에 연결되어 회전시 발생되는 회전운동을 직선운동으로 변화시켜 제2바(420)를 전후방향으로 이동시키는 구동모터(460);를 포함하여 구성될 수 있다.

제1바(410)는 제1분사부(200)의 제1플레이트(220)에 연결된다.

제1바(410)는 세정 챔버(110)와 구동부 챔버(130)를 구분짓는 벽(131)에 구비된 제1구멍(133)에 삽입되어 세정 챔버(110)와 구동부 챔버(130)를 가로지르며 배치된다.

제2바(420)는 제2분사부(300)의 제2플레이트(320)에 연결된다.

제2바(420)는 세정` 챔버(110)와 구동부 챔버(130)를 구분짓는 벽(131)에 구비된 제2구멍(135)에 삽입되어 세정 챔버(110)와 구동부 챔버(130)를 가로지르며 배치된다.

제3바(430)는 제1바(410)와 제2바(420)를 연결한다.

구동모터(460)는 구동부 챔버(130)에 배치된다.

구동모터(460)의 회전부(461)는 제2바(420)에 연결된 연결부재(470)와 연결된다.

연결부재(470)에는 슬릿(471)이 구비되며, 회전부(461)에 연결된 회전바(463)는 슬릿(471)에 삽입되어 연결된다.

구동모터(460)가 작동하게 되면, 회전부(461)가 회전하게 되고, 회전부(461)의 회전바(471)는 회전부(461)의 회전에 따라 연결부재(470)의 슬릿(471)을 따라 상하로 이동하게 된다.

회전바(463)가 슬릿(471)을 따라 상하로 이동하면, 연결부재(470) 및 제2바(420)는 전후 방향으로 이동하게 된다.

다시 말해, 연결부재(470), 회전부(461), 회전바(463)의 연결구조에 의해 구동모터(460)의 회전 운동이, 제2바(420)의 직선운동으로 변환되는 것이다.

전술한 바와 같이, 제3바(430)가 제1바(410)와 제2바(420)를 연결하므로, 제2바(420)가 전후 방향으로 이동함에 따라, 제1바(410) 또한, 전후 방향으로 이동한다.

따라서, 제1분사부(200)와 대상물(m) 및 제2분사부(300)와 대상물(m)은 서로 상대 이동하게 된다.

이처럼, 제1바(410) 및 제2바(420)가 전후 방향으로 슬라이드 이동됨에 따라, 제1바(410) 및 제2바(420) 각각에 연결된 제1분사부(200) 및 제2분사부(300) 또한, 전후 방향으로 슬라이드되어 왕복 이동한다. 따라서, 복수개의 제1노즐(230a ~ 230p) 및 복수개의 제2노즐(330a ~ 330p)을 통해 세정액이 분사될 때, 세정액이 대상물(m)의 좌측면 및 우측면에 고르게 분사될 수 있다.

위와 달리, 구동부(400)는 대상물(m)과 제1분사부(200)를 상하 방향 또는 좌우 방향으로 상대 이동시킬 수 있다.

또한, 구동부(400)는 대상물(m)과 제2분사부(300)를 상하 방향 또는 좌우 방향으로 상대 이동시킬 수 있다.

구동부(400)가 대상물(m)과 제1, 2분사부(200, 300)를 좌우 방향으로 상대 이동시킬 경우, 제1, 2분사부(200, 300)와 대상물(m)과의 분사 거리가 멀어지고 가까워지는 것을 반복하게 된다. 따라서, 대상물(m)의 좌, 우측면에 분사되는 분사압이 달라질 수 있다. 이러한 좌우 방향 상대 이동은, 대상물(m)의 오염도가 심할 경우, 더욱 강한 분사압으로 세정하려 할 때, 이용될 수 있다.

또한, 상하 방향 상대 이동은, 대상물(m)에서 가장 큰 길이를 갖는 부분이 상, 하 방향일 경우(즉, 대상물(m)이 거치대(111)에 세로로 거치될 경우), 대상물(m)의 전체 면적을 효과적으로 세정하기 위해 이용될 수 있다.

이하, 탱크(510), 공급펌프(540) 및 회수펌프(550)에 대해 설명한다.

도 2 및 도 14에 도시된 바와 같이, 탱크(510)에는 세정액이 저장되며, 공급유로(520)를 통해 제1분사부(200) 및 제2분사부(300)와 연통되고, 회수유로(530)를 통해, 세정 챔버(110)의 회수구(113)와 연통된다.

공급펌프(540)는 탱크(510)의 세정액을 펌핑시켜 공급유로(520)를 통해 제1분사부(200)의 제1유입부(211) 및 제2유입부(311)로 세정액을 공급시키는 기능을 한다.

회수펌프(550)는 회수유로(530) 내의 세정액을 펌핑시켜 세정 챔버(110)의 회수구(113) 및 회수유로(530)를 통해 회수된 세정액을 탱크(510)로 회수시키는 기능을 한다.

세정장치(10)는 회수유로(530)와 탱크(510) 사이에 구비되는 필터(560);를 더 포함하여 구성될 수 있다.

필터(560)는 회수유로(530)와 탱크(510) 사이에 구비되어, 회수된 세정액의 이물질 등을 필터링 하는 기능을 한다. 이와 같이, 필터(560)에 의해 회수된 세정액이 필터링됨에 따라, 세정 공정에서 발생된 이물질이 제거되어 깨끗한 세정액이 탱크(510)로 회수될 수 있다.

이하, 세정 챔버(110), 건조 챔버(120), 구동부 챔버(130), 탱크 챔버(140)에 대해 설명한다.

도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 세정 챔버(110)의 내부에는 거치대(111), 제1분사부(200) 및 제2분사부(300)가 배치된다.

세정 챔버(110)의 좌측에는 건조 챔버(120)가 배치된다. 즉, 건조 챔버(120)의 우측에는 세정 챔버(110)가 배치된다.

건조 챔버(120)의 내부에는 세정이 완료된 대상물(m)이 건조 거치대(미도시)에 거치되어 건조된다.

세정 챔버(110) 및 건조 챔버(120)의 후방에는 구동부 챔버(130)가 배치된다.

구동부 챔버(130)에는 구동부(400)의 구동모터(460)가 배치된다.

구동부(400)의 제1바(410) 및 제2바(420)는 세정 챔버(110) 및 구동부 챔버(130)를 가로질러 배치된다.

탱크 챔버(140)는 세정 챔버(110), 건조 챔버(120) 및 구동부 챔버(130)의 하부에 배치되며, 탱크 챔버(140)의 내부에는 탱크(510), 공급펌프(540), 회수펌프(550), 필터(560), 공급유로(520), 회수유로(530)가 배치된다.

세정 챔버(110)의 바닥면에는 세정 챔버(110)의 세정액이 탱크(510)로 회수되도록 회수구(113)가 구비된다.

세정 챔버(110)의 전방에는 세정시 발생되는 가스를 배기하는 배기구(118)가 구비된다.

세정 챔버(110), 건조 챔버(120), 구동부 챔버(130) 및 탱크 챔버(140)는 서로 개별적으로 구분된 독립적인 공간으로 형성된다.

따라서, 세정 챔버(110)에서 세정공정이 이루어지더라도, 대상물(m)의 유해 가스 및 이물질이 다른 챔버로 유동되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.

특히, 세정 챔버(110)와 구동부 챔버(130)가 서로 독립적으로 형성됨에 따라, 구동부(400)가 유해 가스 등에 의해 손상되어 제1분사부(200) 및 제2분사부(300)의 전후 방향 왕복 슬라이드 이동이 제대로 이루어지지 않게 되는 것을 미연에 방지할 수 있다.

회수구(113)는 회수유로(530)와 연통된다.

회수구(113)는 세정 챔버(110)의 전후 방향 중앙에 위치하고, 세정 챔버(110)의 바닥면은 회수구(113) 방향으로 갈수록 하부로 경사지게 형성된다.

따라서, 경사로 인해 세정 챔버(110) 내의 세정액이 회수구(113)로 용이하게 포집되어 회수유로(530)로 유동될 수 있다.

이러한 회수구(113)는 제1분사부(200)의 하부 및 제2분사부(300)의 하부 각각에 총 2개가 구비될 수 있다.

세정장치(10)는, 제1분사부(200)를 지지하도록 세정 챔버(110)의 바닥면과 제1분사부(200)의 사이에 게재되는 제1지지블럭(115);과, 제2분사부(300)를 지지하도록 세정 챔버(110)의 바닥면과 제2분사부(300)의 사이에 게재되는 제2지지블럭(116);을 더 포함하여 구성될 수 있다.

전술한 구성을 갖는 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치(10)는 다음과 같은 효과를 갖는다.

제1분사부(200) 및 제2분사부(300) 각각을 통해 분사되는 세정액의 분사압이 균일하므로, 보다 효과적으로 대상물(m)을 세정할 수 있다.

제1분사부(200) 및 제2분사부(300)가 구동부(400)에 의해 전후 방향으로 왕복 슬라이드됨으로써, 대상물(m)의 세정을 더욱 효과적으로 할 수 있다.

탱크(510)에서 공급된 세정액이 필터링을 거쳐 다시 회수되므로, 세정액의 낭비를 최소화할 수 있다.

본 발명의 제2실시 예에 따른 세정장치(10')

이하, 도 15 내지 도 17을 참조하여 본 발명의 제2실시 예에 따른 세정장치(10')에 대해 설명한다.

도 15는 본 발명의 제2실시 예에 따른 세정장치의 세정 챔버 내부의 제1, 2분사부와, 구동 챔버 내부의 구동부를 도시한 도이고, 도 16 및 도 17는 본 발명의 제2실시 예에 따른 세정장치의 세정 챔버 내부에 대상물이 수납되지 않은 상태와 수납된 상태를 도시한 도이다.

본 발명의 제2실시 예에 따른 세정장치(10')는 전술한 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치(10)와 비교하여 구동부(400')의 구성이 상이할 뿐, 나머지 구성요소는 동일하다. 따라서, 중복되는 설명은 생략한다.

도 15 내지 도 17에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시 예에 따른 세정장치(10')의 구동부(400')는, 제1분사부(200)에 연결되는 제1바(410');와, 제2분사부(300)에 연결되는 제2바(420');와, 그 일측에 제1바(410')가 연결되는 제1연결부(471')가 구비되고, 그 타측에 제2바(420')가 연결되는 제2연결부(472')가 구비되고, 제1연결부(471')와 제2연결부(472') 사이에 링크연결부(473')가 구비되는 연결부재(470');와, 구동모터(460')에 의해 작동되어 중심축(463')을 중심으로 회전하는 캠(461');과, 그 일측이 중심축(463')으로부터 편심되게 구비되는 제1축(464')에 회전 가능하게 연결되고, 그 타측이 링크연결부(473')에 구비되는 제2축(474')에 회전 가능하게 연결되는 링크(480');를 포함하여 구성될 수 있다.

제1바(410')는 세정 챔버(110)와 구동부 챔버(130)를 구분짓는 벽(131)에 구비된 제1구멍(133)에 삽입되어 세정 챔버(110)와 구동부 챔버(130)를 가로지르며 배치된다.

제1바(410')에는 제1구멍(133)을 막는 제1패킹(411')이 구비될 수 있다.

제1패킹(411')은 제1구멍(133)을 막음으로써, 세정 챔버(110)의 세정액 등이 구동부 챔버(130)로 유출되는 것을 방지할 수 있다.

제2바(420')는 제2분사부(300)의 제2플레이트(320)에 연결된다.

제2바(420')는 세정` 챔버(110)와 구동부 챔버(130)를 구분짓는 벽(131)에 구비된 제2구멍(135)에 삽입되어 세정 챔버(110)와 구동부 챔버(130)를 가로지르며 배치된다.

제2바(420')에는 제2구멍(135)을 막는 제2패킹(421')이 구비될 수 있다.

제2패킹(421')은 제2구멍(135)을 막음으로써, 세정 챔버(110)의 세정액 등이 구동부 챔버(130)로 유출되는 것을 방지할 수 있다.

연결부재(470')의 일측, 즉, 연결부재(470')의 좌측에는 제1연결부(471')가 구비된다.

제1연결부(471')에는 제1바(410')가 연결되어, 연결부재(470')와 제1분사부(200)가 상호 연결된다.

연결부재(470')의 타측, 즉, 연결부재(470')의 우측에는 제2연결부(472')가 구비된다.

제2연결부(472')에는 제2바(420')가 연결되어, 연결부재(470')와 제2분사부(300)가 상호 연결된다.

연결부재(470')의 중앙, 즉, 제1연결부(471')와 제2연결부(472') 사이에는 링크연결부(473')가 구비된다.

링크연결부(473')는 상부 방향으로 돌출되게 형성된다.

링크연결부(473')의 상부에는 좌우 방향으로 형성된 제2축(474')이 구비된다.

제2축(474')은 그 좌측이 링크연결부(473')의 상부에 설치되며, 그 우측은 링크(480')의 타측에 연결된다. 따라서, 제2축(474')은 링크연결부(473')의 상부에서 우측 방향으로 돌출된다.

구동모터(460')에는 캠(461')이 구비된다.

캠(461')은 구동모터(460')의 작동에 따라 중심축(463')을 중심으로 회전한다.

캠(461')에는 제1축(464')이 구비된다.

제1축(464')은 좌우 방향으로 길게 형성되며, 제1축(464')의 좌측이 캠(461')에 연결되고, 제1축(464')의 우측이 링크(480')의 일측에 연결된다.

제1축(464')은 캠(461')의 외곽에 우측 방향으로 돌출되게 구비된다. 따라서, 제1축(464')은 중심축(463')으로부터 편심되게 배치된다.

링크(480')는 제1축(464')과 제2축(474')을 연결한다.

링크(480')의 일측, 즉, 링크(480')의 후방측은 제1축(464')에 회전 가능하게 연결된다.

링크(480')의 타측, 즉, 링크(480')의 전방측은 제2축(474')에 회전 가능하게 연결된다.

구동모터(460')가 작동하게 되면, 캠(461')이 중심축(463')을 중심으로 회전하게 된다.

캠(461')의 회전에 의해 제1축(464')이 전방에서 후방으로 이동하게 되면, 링크(480') 및 제2축(474')의 연결에 의해 연결부재(470') 또한, 전방에서 후방으로 이동하게 된다.

캠(461')의 회전에 의해 제1축(464')이 후방에서 전방으로 이동하게 되면, 링크(480') 및 제2축(474')의 연결에 의해 연결부재(470') 또한, 후방에서 전방으로 이동하게 된다.

구동모터(460')의 작동에 의해 캠(461')이 회전하면 링크(480')에 의해 연결부재(470')가 전후 방향으로 이동된다.

위와 같이, 링크(480'), 캠(461') 및 링크연결부(473')의 연결구조에 의해 구동모터(460')의 회전운동이 연결부재(470')의 직선운동으로 변환된다.

연결부재(470')의 전후 방향 이동에 따라 제1분사부(200) 및 제2분사부(300) 또한, 전후 방향으로 이동된다.

따라서, 제1분사부(200)와 대상물(m) 및 제2분사부(300)와 대상물(m)은 서로 상대 이동하게 된다.

제1분사부(200) 및 제2분사부(300)가 전후 방향으로 슬라이드되어 왕복 이동함에 따라, 대상물(m)의 좌측면 및 우측면에 세정액이 고르게 분사될 수 있다.

전술한 본 발명의 제2실시 예에 따른 세정장치(10')는 본 발명의 제1실시 예에 따른 세정장치(10)에 비해, 구동부(400')의 구동이 캠(461') 및 링크(480')에 의해 이루어지므로, 구동모터(460')에 부하가 적게 걸려 소음 및 진동이 적게 발생한다.

또한, 제1실시 예의 경우, 연결부재(470)가 제2바(420)에만 연결되어 있었으나, 제2실시 예의 경우, 링크(480')가 연결부재(470')의 중앙에 구비된 링크연결부(473')와, 캠(461')을 연결하므로, 구동모터(460')에 의해 발생된 힘이 제1바(410') 및 제2바(420')에 고르게 전달될 수 있다. 따라서, 제1분사부(200) 및 제2분사부(300)의 전후 방향으로 왕복 슬라이드 이동이 더욱 부드럽게 이루어질 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 실시 예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

10: 세정장치
110: 세정 챔버 111: 거치대
113: 회수구 115: 제1지지블럭
116: 제2지지블럭 118: 배기구
120: 건조 챔버 130: 구동부 챔버
131: 벽 133: 제1구멍
135: 제2구멍 140: 탱크 챔버
200: 제1분사부 210: 제1조립체
211: 제1유입부 212: 제1분지구간
213a ~ 213o: 제1-1분지유로 ~ 제1-15분지유로
215a ~ 215p: 제1-1노즐유로 ~ 제1-16노즐유로
220: 제1플레이트
230a ~ 230p: 제1-1노즐 ~ 제1-16노즐
240: 제1연결바 250: 제1지지기둥
300: 제2분사부 310: 제2조립체
311: 제2유입부 312: 제2분지구간
313a ~ 313o: 제2-1분지유로 ~ 제2-15분지유로
315a ~ 315p: 제2-1노즐유로 ~ 제2-16노즐유로
320: 제2플레이트
330a ~ 330p: 제2-1노즐 ~ 제2-16노즐
340: 제2연결바 350: 제2지지기둥
400, 400': 구동부 410, 410': 제1바
411': 제1패킹 420, 420': 제2바
421': 제2패킹 430: 제3바
460, 460': 구동모터 461': 캠
463': 중심축 464': 제1축
461: 회전부 463: 회전바
470, 470': 연결부재 471': 제1연결부
472': 제2연결부 473': 링크연결부
474': 제2축 471: 슬릿
480': 링크
510: 탱크 520: 공급유로
530: 회수유로 540: 공급펌프
550: 회수펌프 560: 필터

Claims (13)

1. 대상물이 거치되는 거치대; 및
   상기 대상물의 일측면에 세정액을 분사하는 복수개의 제1노즐이 구비된 제1분사부;를 포함하고,
   상기 세정액이 유입되는 상기 제1분사부의 제1유입부에서부터 상기 복수개의 제1노즐 각각으로 유동된 세정액의 유동거리는 모두 동일한, 세정장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1유입부로 유입된 상기 세정액은 상기 제1분사부의 제1분지구간을 거쳐 분지된 후, 상기 복수개의 제1노즐을 통해 세정액이 분사되는, 세정장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 대상물과 상기 제1분사부를 상대 이동시키는 구동부;를 더 포함하는, 세정장치.
4. 제1항에 있어서,
   상기 대상물의 타측면에 세정액을 분사하는 복수개의 제2노즐이 구비된 제2분사부;를 더 포함하고,
   상기 제2분사부의 제2유입부로 유입된 상기 세정액은 상기 제2분사부의 제2분지구간을 거쳐 분지된 후, 상기 복수개의 제2노즐을 통해 세정액이 분사되되, 상기 제2유입부에서부터 상기 복수개의 제2노즐 각각으로 유동된 세정액의 유동거리는 모두 동일한, 세정장치.
5. 제4항에 있어서,
   상기 대상물과 상기 제1, 2분사부를 상대 이동시키는 구동부;를 더 포함하고,
   상기 구동부는,
   상기 제1분사부에 연결되는 제1바;
   상기 제2분사부에 연결되는 제2바;
   상기 제1바와 상기 제2바를 연결하는 제3바; 및
   상기 제2바에 구비된 연결부재를 통해 상기 제2바에 연결되어 회전시 발생되는 회전운동을 직선운동으로 변화시켜 상기 제1바 및 상기 제2바를 전후방향으로 이동시키는 구동모터;를 포함하는, 세정장치.
6. 제1항에 있어서,
   상기 세정액이 저장된 탱크; 및
   상기 탱크에 저장된 세정액을 상기 제1분사부로 공급시키는 공급펌프;를 더 포함하는, 세정장치.
7. 제6항에 있어서,
   그 내부에 상기 거치대, 상기 제1분사부가 배치되며, 세정 공정이 수행되는 세정 챔버; 및
   상기 세정 챔버의 세정액을 상기 탱크로 회수시키는 회수펌프;를 더 포함하는, 세정장치.
8. 제1항에 있어서,
   상기 제1분사부는,
   상기 복수개의 제1노즐은 상기 제1유입부의 하부에 위치하고, 상기 제1분지구간은 상기 제1유입부와 상기 복수개의 제1노즐 사이에 위치하는, 세정장치.
9. 제1항에 있어서,
   상기 제1분사부는 상기 대상물의 좌측면에 세정액을 분사하고,
   상기 세정액은 상기 제1분지구간에서 전방 방향, 후방 방향 및 하부 방향 중 적어도 어느 한 방향으로 유동된 후, 우측 방향으로 유동되어 세정 챔버 내에서 분사되는, 세정장치.
10. 제1항에 있어서,
    상기 제1분사부는,
    상기 복수개의 제1노즐을 전후 방향으로 연결하는 제1연결바;를 포함하는, 세정장치.
11. 제1항에 있어서,
    상기 제1분사부를 지지하도록 세정 챔버의 바닥면과 상기 제1분사부의 사이에 게재되는 제1지지블럭;을 더 포함하는, 세정장치.
12. 제1항에 있어서,
    그 내부에 상기 거치대, 상기 제1분사부가 배치되며, 세정 공정이 수행되는 세정 챔버;를 더 포함하고,
    상기 세정 챔버의 바닥면에는 상기 세정 챔버의 세정액이 탱크로 회수되도록 회수구가 구비되고,
    상기 회수구는 상기 세정 챔버의 전후 방향 중앙에 위치하고, 상기 세정 챔버의 바닥면은 상기 회수구 방향으로 갈수록 하부로 경사지게 형성되는, 세정장치.
13. 제4항에 있어서,
    상기 대상물과 상기 제1, 2분사부를 상대 이동시키는 구동부;를 더 포함하고,
    상기 구동부는,
    상기 제1분사부에 연결되는 제1바;
    상기 제2분사부에 연결되는 제2바;
    그 일측에 상기 제1바가 연결되는 제1연결부가 구비되고, 그 타측에 상기 제2바가 연결되는 제2연결부가 구비되고, 상기 제1연결부와 상기 제2연결부 사이에 링크연결부가 구비된 연결부재;
    구동모터에 의해 작동되어 중심축을 중심으로 회전하는 캠; 및
    그 일측이 상기 중심축으로부터 편심되게 구비되는 제1축에 회전 가능하게 연결되고, 그 타측이 상기 링크연결부에 구비되는 제2축에 회전 가능하게 연결되는 링크;를 포함하고,
    상기 구동모터의 작동에 의해 상기 캠이 회전하면 상기 링크에 의해 상기 연결부재가 전후 방향으로 이동되고, 상기 연결부재의 전후 방향 이동에 따라 상기 제1분사부 및 상기 제2분사부가 전후 방향으로 이동되는, 세정장치.
    
    

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