KR20230011073A - 검사용 가압 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 디바이스를 가압하기 위한 검사용 가압 장치에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 검사용 가압 장치는 힘점인 일단부와 작용점인 타단부 그리고 상기 일단부와 상기 타단부 사이의 힌지부를 포함하며 상기 타단부는 상기 힌지부에서 절곡 연장된 레버와, 상기 레버의 상기 힌지부에 결합된 힌지축과, 상기 힌지축과 결합하여 상기 레버를 회전 가능하게 지지하는 커버와, 상기 커버에 결합되어 횡방향 선형 운동을 가이드하는 리니어 가이드와, 원동홈을 가지고 상기 리니어 가이드에 결합된 직동 캠 블록과, 일단은 상기 레버의 상기 타단부에 결합되고 타단은 상기 직동 캠 블록에 결합되어 상기 레버가 회전하면 상기 직동 캠 블록을 횡방향으로 직선 왕복 운동시키는 링크 블록과, 상기 직동 캠 블록의 상기 원동홈에 걸리는 피동축을 가지고 상기 커버 상에 마련되어 상기 직동 캠 블록이 횡방향으로 직선 왕복 운동하면 상기 피동축이 상기 원동홈을 따라 이동하면서 종방향으로 직선 왕복 운동하는 캠 팔로워 블록, 그리고 상기 캠 팔로워 블록에 결합되어 상기 캠 팔로워 블록이 하강하면 상기 반도체 디바이스를 가압하는 푸셔 어셈블리를 포함한다.

Description

검사용 가압 장치{PUSHER APPARATUS FOR TEST}

본 발명은 검사용 가압 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 디바이스를 검사용 장치 방향으로 가압하기 위한 검사용 가압 장치에 관한 것이다.

일반적으로 제조가 완료된 반도체 디바이스는 전기적 검사를 수행하게 된다. 이러한 전기적 검사를 위해서는 피검사 대상인 반도체 디바이스를 검사 장치에 안착시킨 후 반도체 디바이스에 소정의 가압력을 가하여 반도체 디바이스의 단자들이 검사 장치의 패드들에 일정한 압력으로 접촉될 수 있어야 한다. 이에, 검사용 가압 장치를 사용하여 반도체 디바이스를 검사 장치 방향으로 가압하고 있다.

종래의 검사용 가압 장치는 적은 힘으로 높은 하중을 가하기 위해 지렛대 원리를 이용하여 사용자가 지레의 힘점에 힘을 가하면 지레의 작용점에 위치한 푸셔(pusher)가 반도체 디바이스를 가압하는 구조를 가지고 있다. 이때, 푸셔는 반도체 디바이스가 손상되거나 검사에 불량이 발생하지 않도록 반도체 디바이스에 면압을 가하게 된다. 이와 같이, 푸셔가 반도체 디바이스와의 접촉면에서 고르게 힘을 전달하기 위해서는 푸셔가 기울어지지 않고 평탄하게 유지되는 것이 중요하다.

그런데, 지렛대의 원리를 이용하여 지레로 푸셔를 가압하는 과정에서는, 지레의 특성 상 힘점에 힘이 가해지면 지지점을 중심으로 지레가 회전하면서 작용점의 위치가 이동하게 되고, 작용점의 위치가 달라지면서 푸셔에 편심이 발생하여 푸셔가 반도체 디바이스를 고르게 가압하지 못하게 되는 문제점이 있다.

본 발명의 실시예는 푸셔가 반도체 디바이스와의 접촉면에 고르게 힘을 가할 수 있는 검사용 가압 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 반도체 디바이스를 가압하기 위한 검사용 가압 장치는 힘점인 일단부와 작용점인 타단부 그리고 상기 일단부와 상기 타단부 사이의 힌지부를 포함하며 상기 타단부는 상기 힌지부에서 절곡 연장된 레버와, 상기 레버의 상기 힌지부에 결합된 힌지축과, 상기 힌지축과 결합하여 상기 레버를 회전 가능하게 지지하는 커버와, 상기 커버에 결합되어 횡방향 선형 운동을 가이드하는 리니어 가이드와, 원동홈을 가지고 상기 리니어 가이드에 결합된 직동 캠 블록과, 일단은 상기 레버의 상기 타단부에 결합되고 타단은 상기 직동 캠 블록에 결합되어 상기 레버가 회전하면 상기 직동 캠 블록을 횡방향으로 직선 왕복 운동시키는 링크 블록과, 상기 직동 캠 블록의 상기 원동홈에 걸리는 피동축을 가지고 상기 커버 상에 마련되어 상기 직동 캠 블록이 횡방향으로 직선 왕복 운동하면 상기 피동축이 상기 원동홈을 따라 이동하면서 종방향으로 직선 왕복 운동하는 캠 팔로워 블록, 그리고 상기 캠 팔로워 블록에 결합되어 상기 캠 팔로워 블록이 하강하면 상기 반도체 디바이스를 가압하는 푸셔 어셈블리를 포함한다.

상기 직동 캠 블록에는 상기 원동홈이 복수개 형성되고, 상기 캠 팔로워 블록은 상기 피동축을 복수개 가지며, 복수의 상기 피동축은 복수의 상기 원동홈에 각각 걸리도록 형성될 수 있다.

또한, 상기 원동홈을 갖는 상기 직동 캠 블록이 복수개 마련되고, 상기 캠 팔로워 블록은 상기 피동축을 복수개 가지며, 복수의 상기 피동축은 복수의 상기 원동홈에 각각 걸리도록 형성될 수도 있다.

상기 직동 캠 블록은 상기 커버의 측면에 마련되며, 상기 복수의 원동홈은 횡방향을 따라 배열되고, 상기 복수의 피동축은 상기 캠 팔로우의 측면에서 횡방향을 따라 배열될 수 있다.

상기 직동 캠 블록의 상기 원동홈은 상기 커버와 종방향으로 소정의 거리를 두고 형성된 제1 높이부와, 상기 제1 높이부보다 상대적으로 상기 커버와의 거리가 작게 형성된 제2 높이부, 그리고 상기 제1 높이부와 상기 제2 높이부를 연결하는 경사부를 포함할 수 있다.

상기 레버의 일단부가 들린 상태에서는 상기 캠 팔로워 블록의 상기 피동축이 상기 직동 캠 블록의 상기 원동홈의 상기 제1 높이부에 걸리며, 상기 레버의 일단부가 눌리면 상기 직동 캠 블록이 횡방향으로 이동하면서 상기 캠 팔로워 블록의 상기 피동축이 상기 직동 캠 블록의 상기 원동홈의 상기 경사부를 따라 상기 제2 높이부로 이동하면서 상기 캠 팔로워 블록이 하강하도록 구성될 수 있다.

상기한 검사용 가압 장치는 상기 캠 팔로워 블록과 대향하는 상기 커버의 일면에 반대되는 상기 커버의 타면에 대향하는 베이스와, 상기 베이스의 일측에 설치되어 상기 커버와 힌지 결합된 힌지 블록을 더 포함할 수 있다.

상기 베이스의 타측에는 걸림턱이 형성될 수 있다. 그리고 상기한 검사용 가압 장치는 일측이 상기 커버에 힌지 결합되고 타측에는 상기 베이스의 상기 걸림턱에 걸리는 걸림부가 형성된 래치(latch)를 더 포함할 수 있다.

상기 푸셔 어셈블리는 상기 반도체 디바이스를 가압하는 푸셔와, 상기 푸셔를 냉각시키는 히트 싱크(heat sink), 그리고 상기 히트 싱크 상에 설치된 냉각팬을 포함할 수 있다.

상기 푸셔 어셈블리는 상기 푸셔가 상기 반도체 디바이스에 가하는 하중을 측정하는 로드 셀(load cell)을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 검사용 가압 장치는 안정적으로 푸셔가 반도체 디바이스와의 접촉면에 고르게 힘을 가할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 가압 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 검사용 가압 장치의 분해 사시도이다.
도 3은 도 1의 검사용 가압 장치의 푸셔 어셈블리를 확대 도시한 사시도이다.
도 4는 도 1의 검사용 가압 장치가 가압을 하지 않은 상태를 나타낸 측면도이다.
도 5는 도 5의 검사용 가압 장치의 단면도이다.
도 6은 도 1의 검사용 가압 장치가 가압한 상태를 나타낸 측면도이다.
도 7은 도 7의 검사용 가압 장치의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 검사용 가압 장치에 사용된 직동 캠 블록을 나타낸다.
도 9는 본 발명의 제3 실시예에 따른 검사용 가압 장치에 사용된 직동 캠 블록을 나타낸다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

또한, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1 실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예들에서는 제1 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.

도면들은 개략적이고 축척에 맞게 도시되지 않았다는 것을 일러둔다. 도면에 있는 부분들의 상대적인 치수 및 비율은 도면에서의 명확성 및 편의를 위해 그 크기에 있어 과장되거나 축소되어 도시되었으며 임의의 치수는 단지 예시적인 것이지 한정적인 것은 아니다. 그리고 둘 이상의 도면에 나타나는 동일한 구조물, 요소 또는 부품에는 동일한 참조 부호가 유사한 특징을 나타내기 위해 사용된다.

본 발명의 실시예는 본 발명의 이상적인 실시예를 구체적으로 나타낸다. 그 결과, 도해의 다양한 변형이 예상된다. 따라서 실시예는 도시한 영역의 특정 형태에 국한되지 않으며, 예를 들면 제조에 의한 형태의 변형도 포함한다.

또한, 본 명세서에서 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 가진다. 본 명세서에 사용되는 모든 용어들은 본 발명을 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 발명에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.

또한, 본 명세서에서 사용되는 '포함하는', '구비하는', '갖는' 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.

또한, 본 명세서에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.

또한, 본 명세서에서 사용되는 '제1', '제2' 등의 표현들은 복수의 구성 요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.

이하, 도 1 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 가압 장치(101)를 설명한다. 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 가압 장치(101)는 반도체 디바이스에 대한 전기적 검사를 수행하기 위해 반도체 디바이스를 검사 장치 쪽으로 가압하는데 사용될 수 있다.

도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 가압 장치(101)는 레버(lever, 200), 힌지축(hinge shaft, 260), 커버(cover, 300), 리니어 가이드(linear guide, 620), 직동 캠(translation cam) 블록(401), 링크(link) 블록(670), 캠 팔로워(cam follower) 블록(500), 및 푸셔 어셈블리(pusher assembly, 700)를 포함한다.

또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 가압 장치(101)는 베이스(base, 800), 힌지 블록(680), 래치(latch, 630), 및 손잡이(280)를 더 포함할 수 있다.

레버(200)는 힘점인 일단부(201)와 작용점인 타단부(203) 그리고 일단부(201)와 타단부(203) 사이의 힌지부(202)를 포함할 수 있다. 그리고 레버(200)의 타단부(203)는 힌지부(202)에서 절곡 연장될 수 있다. 예를 들어, 레버(200)는 "ㄱ"자 또는 "ㄴ"자 형상을 가질 수 있다. 이때, 레버(200)의 타단부(203)는 일단부(201)에 비해 상대적으로 길이가 매우 짧게 형성될 수 있다. 지렛대의 원리에 따라, 레버(200)의 일단부(201)의 길이가 타단부(203) 보다 길수록 사용자가 적은 힘을 들이고도 높은 하중을 가할 수 있게 된다. 따라서, 사용자가 적은 힘으로 레버(200)를 눌러도 후술할 푸셔 어셈블리(700)가 큰 힘으로 반도체 디바이스를 가압할 수 있기 위해서는 레버(200)의 타단부(203)를 일단부(201)보다 매우 짧게 형성되는 것이 유리하다.

또한, 한 쌍의 레버(200)가 후술할 커버(300)의 양 측면에 각각 대향하도록 설치될 수 있다. 이에, 레버(200)가 힘을 균형 있게 전달할 수 있게 된다.

손잡이(280)는 레버(200)의 일단부(201)에 결합되되, 한 쌍의 레버(200)의 일단부(201)를 연결하여 사용자가 레버(200)의 일단부(201)에 용이하게 힘을 가할 수 있도록 돕는다. 즉, 사용자는 손잡이(280)를 통해 레버(200)의 힘점에 용이하게 힘을 가할 수 있게 된다.

힌지축(260)은 레버(200)의 힌지부(202)에 결합될 수 있다. 즉, 레버(200)는 힌치축(260)을 중심으로 회전하게 된다.

또한, 힌지축(260)은 후술할 커버(300)와도 결합될 수 있다. 즉, 커버(300)는 힌지축(260)을 통해 레버(200)를 회전 가능하게 지지할 수 있다. 예를 들어, 힌지축(260)은 커버(300)의 일영역을 관통하여 한 쌍의 레버(200)의 타단부(203)를 연결할 수 있다.

커버(300)는 힌지축(260)과 결합하여 레버(200)를 회전 가능하게 지지할 수 있다. 또한, 커버(300)는 후술할 베이스(800) 상에 마련되는데, 커버(300)는 베이스(800)의 일측에 설치된 후술할 힌지 블록(680)과 힌지 결합되며 힌지 블록(680)과 힌지 결합된 부위를 중심으로 커버(300)가 회전하여 베이스(800)로부터 열릴 수 있게 된다.

리니어 가이드(620)는 커버(300)에 결합되어 횡방향 선형 운동을 가이드할 수 있다.

이하, 본 명세서에서 종방향이라 함은 푸셔 어셈블리(700)가 반도체 디바이스를 가압하는 방향을 의미하며, 횡방향이라 함은 종방향과 교차하는 방향을 의미한다.

구체적으로, 리니어 가이드(620)는 커버(300)의 양 측면에 각각 설치될 수 있다. 그리고 리니어 가이드(620)는 후술할 직동 캠 블록(401)과 결합되어 직동 캠 블록(401)의 횡방향 직선 왕복 운동을 가이드 하게 된다.

예를 들어, 리니어 가이드(620)로는 크로스 롤러 방식, 샤프트 방식, 및 슬라이드 레일 방식 등 다양한 종류의 리니어 가이드들이 사용될 수 있다.

직동 캠 블록(401)은 리니어 가이드(620)에 결합되어 커버(300)의 측면에 대향하도록 마련될 수 있다. 즉, 직동 캠 블록(401)은 리니어 가이드(620)에 의해 횡방향으로 직선 왕복 운동할 수 있도록 마련된다. 그리고 직동 캠 블록(401)도 커버(300)의 양 측에 각각 마련될 수 있다.

또한, 본 발명의 제1 실시예에서, 직동 캠 블록(401)은 복수의 원동홈(451)을 가질 수 있다. 이때, 복수의 원동홈(451)은 횡방향을 따라 배열될 수 있다.

한편, 직동 캠 블록(401)의 원동홈(451)은 후술할 캠 팔로워 블록(500)의 피동축(540)을 동작시키기 위한 것으로, 통상적인 직동 캠 구조에서 원동홈(451)은 원동절이 되고 피동축(540)은 피동절이 될 수 있다. 즉, 직동 캠 블록(401)이 횡방향으로 왕복 운동하면서 캠 팔로워 블록(500)을 종방향으로 왕복 운동시키게 된다.

또한, 원동홈(451)은 홈(groove)이라는 표현을 사용하였으나, 본 발명의 제1 실시예에서, 원동홈(451)이 홈인 형상에 한정되는 것은 아니며 홀(hole)의 형상을 가질 수도 있다.

또한, 직동 캠 블록(401)의 원동홈(451)은 커버(300)와 종방향으로 소정의 거리를 두고 형성된 제1 높이부(4501)와, 제1 높이부(4501)보다 상대적으로 커버(300)와의 거리가 작게 형성된 제2 높이부(4502), 그리고 제1 높이부(4501)와 제2 높이부(4502)를 연결하는 경사부(4503)를 포함할 수 있다. 즉, 제1 높이부(4501)와 제2 높이부(4502)는 미리 설정된 높이 차이(h)를 갖게 되며, 이 높이 차이(h)만큼 캠 팔로워 블록(500)이 직선 왕복 운동하게 된다. 또한, 예를 들어, 원동홈(451)은 "ㄴ"자 형상 또는 "ㄱ"자 형상과 유사하게 형성될 수 있다.

또한, 원동홈(451)의 형상은 레버(200)와 후술할 링크 블록(670)의 배치 형태에 따라 도 4에 도시된 형상에서 좌우 반전 또는 상하 반전된 형상을 가질 수도 있다.

링크 블록(670)은 일단이 레버(200)의 타단부(203)에 결합되고 타단이 직동 캠 블록(401)에 결합될 수 있다. 이에, 레버(200)가 회전하면 레버(200)의 타단부(203)에 결합된 링크 블록(670)이 직동 캠 블록(401)을 밀거나 당기게 되고, 이에 직동 캠 블록(401)은 리니어 가이드(620)를 따라 횡방향으로 직선 왕복 운동하게 된다.

캠 팔로워 블록(500)은 직동 캠 블록(401)의 원동홈(451)에 걸리는 피동축(540)을 가지고 커버(300) 상에 마련될 수 있다.

또한, 캠 팔로워 블록(500)의 피동축(540)도 복수개 마련되며, 복수의 피동축(540)이 직동 캠 블록(401)의 복수의 원동홈(451)에 각각 걸리게 된다. 그리고 복수의 피동축(451)도 캠 팔로우 블록(500)의 측면에서 횡방향을 따라 배열될 수 있다.

따라서, 직동 캠 블록(401)이 횡방향으로 직선 왕복 운동하면 캠 팔로우 블록(500)의 피동축(540)이 직동 캠 블록(401)의 원동홈(451)을 따라 이동하면서 캠 팔로워 블록(500)은 종방향으로 직선 왕복 운동하게 된다. 예를 들어, 캠 팔로워 블록(500)은 중공을 갖는 사각틀 형상으로 형성될 수 있다.

푸셔 어셈블리(pusher assembly, 700)는 캠 팔로워 블록(500)에 결합되어 캠 팔로워 블록(500)이 하강하면 함께 하강하면서 반도체 디바이스를 가압하도록 설치될 수 있다. 예를 들어, 캠 팔로워 블록(500)의 중공으로 돌출된 푸셔 어셈블리(700)의 푸셔(710)의 돌출부(711)가 반도체 디바이스를 가압하게 된다.

구체적으로, 푸셔 어셈블리(700)는 반도체 디바이스를 가압하는 푸셔(710)와, 푸셔(710)를 냉각시키는 히트 싱크(heat sink, 720), 그리고 히트 싱크(720) 상에 설치된 냉각팬(730)을 포함할 수 있다. 여기서, 푸셔(710)는 캠 팔로워 블록(500)의 중공으로 돌출된 돌출부(711)를 포함할 수 있다. 일례로, 푸셔(710)의 돌출부(711)는 육면체 형태로 돌출될 수 있으며, 반도체 디바이스와 면접촉을 하게 된다.

또한, 푸셔 어셈블리(700)는 푸셔(710)가 반도체 디바이스에 가하는 하중을 측정하는 로드 셀(load cell, 740))을 더 포함할 수 있다. 즉, 로드 셀(740)을 통해 푸셔(710)가 반도체 디바이스에 가하는 하중을 측정하여 충분한 하중이 가해지고 있는지 아니면 하중이 지나치게 가해지고 있는지 파악하여 이를 조절할 수 있다.

베이스(800)는 캠 팔로워 블록(500)과 대향하는 커버(300)의 일면에 반대되는 커버(300)의 타면에 대향하도록 마련될 수 있다. 즉, 베이스(800)는 커버(300)의 아래에 위치하여 커버(300)를 지지할 수 있다.

또한, 베이스(800)의 타측에는 걸림턱(865)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 베이스(800)는 커버(300)의 형상에 대응되는 사각틀 형상으로 형성될 수 있다. 그리고 사각틀 형상의 일측 변에 걸림턱(865)이 형성될 수 있다.

힌지 블록(680)은 베이스(800)의 일측에 설치되며 커버(300)의 일측과 힌지 결합될 수 있다. 여기서, 힌지 블록(680)과 힌지 결합되는 커버(300)의 일측은 리니어 가이드(620)가 설치된 커버(300)의 양 측면과는 상이할 수 있다. 따라서, 커버(300)는 베이스(800)에 설치된 힌지 블록(680)을 중심으로 회전하여 열릴 수 있게 된다.

래치(latch, 630)는 커버(300)가 베이스(800)에 설치된 힌지 블록(680)을 중심으로 회전하여 열리지 못하도록 잠그는 역할을 수행할 수 있다. 구체적으로, 래치(630)의 일측이 커버(300)에 힌지 결합되고, 래치(630)의 타측에는 베이스(800)의 걸림턱(865)에 걸리는 걸림부(635)가 형성될 수 있다. 이에, 검사용 가압 장치(101)가 반도체 디바이스를 가압하기 위해 레버(200)가 사용자의 힘에 의해 내려지면서 푸셔 어셈블리(700)가 반도체 디바이스를 가압하는 상태에서 임의로 커버(300)이 열리지 않도록 래치(630)의 타측에 형성된 걸림부(635)를 베이스(800)의 걸림턱(865)에 걸어 잠글 수 있다.

이하, 도 4 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 가압 장치(101)의 동작 과정을 상세히 설명한다.

먼저, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 레버(200)의 일단부(201)가 들린 상태에서는 캠 팔로워 블록(500)의 피동축(540)이 직동 캠 블록(401)의 원동홈(451)의 제1 높이부(4501)에 걸리게 된다.

따라서, 캠 팔로워 블록(500)과 커버(300) 사이에는 원동홈(451)의 제1 높이부(4501)와 제2 높이부(4502) 간의 높이 차이(h) 만큼 간격이 벌어질 수 있다.

즉, 푸셔 어셈블리(700)의 푸셔(710)가 반도체 디바이스를 가압하지 않는 상태가 된다.

다음, 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이, 레버(200)의 일단부(201)가 사용자의 힘에 의해 눌리면, 레버(200)가 힌지축(260)을 중심으로 회전하면서 레버(200)의 타단부(203)에 연결된 링크 블록(670)이 직동 캠 블록(401)을 횡방향으로 밀게 되고, 이에 직동 캠 블록(401)은 리니어 가이드(620)를 따라 횡방향으로 이동하게 된다.

이와 같이, 직동 캠 블록(401)이 횡방향으로 이동하게 되면, 직동 캠 블록(401)의 원동홈(451)에 걸린 캠 팔로워 블록(500)의 피동축(540)이 직동 캠 블록(401)의 원동홈(451)의 경사부(4503)를 따라 제2 높이부(4502)로 이동하면서 캠 팔로워 블록(500)이 하강하게 된다.

이때, 캠 팔로워 블록(500)에 결합된 푸셔 어셈블리(700)가 캠 팔로워 블록과 함께 하강하면서 푸셔(710)의 돌출부(711)가 반도체 디바이스를 접촉면에서 고르게 가압하게 된다.

이와 같은 구성에 의하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사용 가압 장치(101)는 푸셔(710)에 편심이 발생하지 않고 안정적으로 푸셔(710)가 반도체 디바이스와의 접촉면에 고르게 힘을 가할 수 있다.

이하, 도 8을 참조하여, 본 발명의 제2 실시예를 설명한다.

도 8에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에서는 직동 캠 블록(402)의 원동홈(452)이 일 영역이 개방된 열린 형태를 가질 수 있다. 반면, 제1 실시예에서는 앞서 도 4에서 도시된 바와 같이 원동홈(451)이 닫힌 형태를 가지고 있었다.

이에, 직동 캠 블록(402)이 리니어 가이드(620)에 결합된 상태에서 캠 팔로워 블록(500)의 피동축(540)을 직동 캠 블록(402)의 원동홈(452)에 걸기 용이해 질 수 있다.

한편, 제2 실시예도 원동홈(452)의 형상이 레버(200)와 링크 블록(670)의 배치 형태에 따라 도 8에 도시된 형상에서 좌우 반전 또는 상하 반전된 형상을 가질 수 있다.

이하, 도 9를 참조하여, 본 발명의 제3 실시예를 설명한다.

도 8에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에서는 원동홈(453)을 갖는 직동 캠 블록(403)이 복수개 마련되고, 캠 팔로워 블록(500)은 피동축(540)을 복수개 가지며, 복수의 피동축(540)이 복수의 원동홈(453)에 각각 걸릴 수 있다.

또한, 직동 캠 블록(403)의 원동홈(453)은 앞서 설명한 제2 실시예와 유사하게 일 영역이 개방된 열린 형태를 가질 수 있다.

이에, 직동 캠 블록(403)이 리니어 가이드(620)에 결합된 상태에서 캠 팔로워 블록(500)의 피동축(540)을 직동 캠 블록(403)의 원동홈(453)에 걸기 용이해 질 뿐만 아니라 직동 캠 블록(403)을 리니어 가이드(602)에 결합시키거나 분리시키기도 용이해질 수 있다.

한편, 제3 실시예도 원동홈(453)의 형상이 레버(200)와 링크 블록(670)의 배치 형태에 따라 도 9에 도시된 형상에서 좌우 반전 또는 상하 반전된 형상을 가질 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.

그러므로 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명은 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

101: 검사용 가압 장치
200: 레버
201: 일단부
202: 힌지부
203: 타단부
260: 힌지축
280: 손잡이
300: 커버
401, 402, 403: 직동 캠 블록
451, 452, 453: 원동홈
4501: 제1 높이부
4502: 제2 높이부
4503: 경사부
500: 캠 팔로워 블록
540: 피동축
620: 리니어 가이드
630: 래치
635: 걸림부
680: 힌지 블록
700: 푸셔 어셈블리
710: 푸셔
711: 돌출부
720: 히트 싱크
730: 냉각팬
740: 로드 셀
800: 베이스
865: 걸림턱

Claims (10)

1. 반도체 디바이스를 가압하기 위한 검사용 가압 장치에 있어서,
   힘점인 일단부와 작용점인 타단부 그리고 상기 일단부와 상기 타단부 사이의 힌지부를 포함하며, 상기 타단부는 상기 힌지부에서 절곡 연장된 레버;
   상기 레버의 상기 힌지부에 결합된 힌지축;
   상기 힌지축과 결합하여 상기 레버를 회전 가능하게 지지하는 커버;
   상기 커버에 결합되어 횡방향 선형 운동을 가이드하는 리니어 가이드;
   원동홈을 가지고 상기 리니어 가이드에 결합된 직동 캠 블록;
   일단은 상기 레버의 상기 타단부에 결합되고 타단은 상기 직동 캠 블록에 결합되어 상기 레버가 회전하면 상기 직동 캠 블록을 횡방향으로 직선 왕복 운동시키는 링크 블록;
   상기 직동 캠 블록의 상기 원동홈에 걸리는 피동축을 가지고 상기 커버 상에 마련되어 상기 직동 캠 블록이 횡방향으로 직선 왕복 운동하면 상기 피동축이 상기 원동홈을 따라 이동하면서 종방향으로 직선 왕복 운동하는 캠 팔로워 블록; 및
   상기 캠 팔로워 블록에 결합되어 상기 캠 팔로워 블록이 하강하면 상기 반도체 디바이스를 가압하는 푸셔 어셈블리
   를 포함하는 검사용 가압 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 직동 캠 블록에는 상기 원동홈이 복수개 형성되고,
   상기 캠 팔로워 블록은 상기 피동축을 복수개 가지며,
   복수의 상기 피동축은 복수의 상기 원동홈에 각각 걸리는 검사용 가압 장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 원동홈을 갖는 상기 직동 캠 블록이 복수개 마련되고,
   상기 캠 팔로워 블록은 상기 피동축을 복수개 가지며,
   복수의 상기 피동축은 복수의 상기 원동홈에 각각 걸리는 검사용 가압 장치.
4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
   상기 직동 캠 블록은 상기 커버의 측면에 마련되며, 상기 복수의 원동홈은 횡방향을 따라 배열되고,
   상기 복수의 피동축은 상기 캠 팔로우의 측면에서 횡방향을 따라 배열된 검사용 가압 장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 직동 캠 블록의 상기 원동홈은 상기 커버와 종방향으로 소정의 거리를 두고 형성된 제1 높이부와, 상기 제1 높이부보다 상대적으로 상기 커버와의 거리가 작게 형성된 제2 높이부, 그리고 상기 제1 높이부와 상기 제2 높이부를 연결하는 경사부를 포함하는 검사용 가압 장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 레버의 일단부가 들린 상태에서는 상기 캠 팔로워 블록의 상기 피동축이 상기 직동 캠 블록의 상기 원동홈의 상기 제1 높이부에 걸리며,
   상기 레버의 일단부가 눌리면 상기 직동 캠 블록이 횡방향으로 이동하면서 상기 캠 팔로워 블록의 상기 피동축이 상기 직동 캠 블록의 상기 원동홈의 상기 경사부를 따라 상기 제2 높이부로 이동하면서 상기 캠 팔로워 블록이 하강하는 검사용 가압 장치.
7. 제1항에 있어서,
   상기 캠 팔로워 블록과 대향하는 상기 커버의 일면에 반대되는 상기 커버의 타면에 대향하는 베이스와;
   상기 베이스의 일측에 설치되어 상기 커버와 힌지 결합된 힌지 블록
   을 더 포함하는 검사용 가압 장치.
8. 제7항에 있어서,
   상기 베이스의 타측에는 걸림턱이 형성되며,
   일측은 상기 커버에 힌지 결합되고 타측에는 상기 베이스의 상기 걸림턱에 걸리는 걸림부가 형성된 래치(latch)를 더 포함하는 검사용 가압 장치.
9. 제1항에 있어서,
   상기 푸셔 어셈블리는,
   상기 반도체 디바이스를 가압하는 푸셔와;
   상기 푸셔를 냉각시키는 히트 싱크(heat sink); 그리고
   상기 히트 싱크 상에 설치된 냉각팬
   을 포함하는 검사용 가압 장치.
10. 제1항에 있어서,
    상기 푸셔 어셈블리는 상기 푸셔가 상기 반도체 디바이스에 가하는 하중을 측정하는 로드 셀(load cell)을 더 포함하는 검사용 가압 장치.

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