KR20230001343A

KR20230001343A - 팬 필터 유닛

Info

Publication number: KR20230001343A
Application number: KR1020210084101A
Authority: KR
Inventors: 김동권; 김남욱; 정동우; 이상형; 김승민
Original assignee: 주식회사 신성이엔지
Priority date: 2021-06-28
Filing date: 2021-06-28
Publication date: 2023-01-04
Also published as: KR20240042385A

Abstract

본 발명은 팬 필터 유닛에 관한 것이다. 본 발명에 따른 팬 필터 유닛은, 하우징; 상기 하우징의 내측에 배치되는 팬; 상기 팬의 일측에 배치되어 공기를 정화시키는 필터; 상기 하우징의 일측에 결합되고, 상기 필터의 테두리를 감싸는 필터 프레임; 상기 하우징의 내측에 배치되거나, 상기 하우징의 외부로 노출되도록 설치되며, 상기 필터의 상류측과 상기 필터의 하류측의 차압을 측정하는 차압 측정 센서; 상기 하우징 또는 상기 필터 프레임의 적어도 일부를 관통하도록 설치되는 피팅부; 및 상기 차압 측정 센서와 상기 피팅부에 연결되는 연결부를 포함한다.

Description

팬 필터 유닛{FAN FILTER UNIT}

본 발명은 차압 측정 센서를 포함하는 팬 필터 유닛에 관한 것이다.

클린룸이란 고정밀 전자 제품 생산을 위해 공기 중의 부유 입자를 제거하고, 온도, 습도, 공기압 등의 환경이 제어되는 밀폐된 공간을 가리킨다. 클린룸의 천장 및/또는 클린룸 내 설비와 설비를 포함하는 부스에는 공기를 일정 수준 이상의 청정도로 유지하기 위해 팬 필터 유닛이 설치되고, 상기 팬 필터 유닛 내부에는 필터의 상류측과 하류측의 차압을 측정하는 차압 측정 센서가 구비된다.

이러한 팬 필터 유닛의 일 예가 공개특허공보 제10-2008-0054019호(2008.06.17)에 개시되어 있다. 공개특허공보 제10-2008-0054019호에 개시된 팬 필터 유닛은 필터부재 전후부 간의 차압을 검출하기 위한 차압 측정 센서를 구비한다. 또한, 팬 필터 유닛은 상기 필터부재 하부와 연통 가능하게 상기 차압 측정 센서에 접속된 외부 연통 수단을 포함하는데, 상기 외부 연통 수단은 상기 팬 필터 유닛의 내부에 설치되어 구성된다. 이러한 구조는 작업자에 의한 외부 연통 수단의 설치 및 유지 보수를 어렵게 하는 문제가 있었다.

본 발명의 첫 번째 목적은, 하우징의 내부에 설치되는 차압 측정 센서를 이용하여 필터의 하류측의 압력을 측정할 수 있게 하기 위한 외부 연통 수단으로서, 설치가 용이한 피팅부를 포함하는 팬 필터 유닛을 제공하는데 있다.

본 발명의 두 번째 목적은, 작업자에 의한 차압 측정 센서와 피팅부의 연결 및 유지 보수를 용이하게 하도록 하우징의 외측에 피팅부를 구비하는 팬 필터 유닛을 제공하는데 있다.

본 발명의 세 번째 목적은, 외부의 충격으로부터 하우징의 외측에 설치되는 피팅부를 보호할 수 있는 구성을 제공하는데 있다.

본 발명의 네 번째 목적은, 필터의 하류측 풍량 수치를 실시간 모니터링으로 확인하여 팬의 풍속을 제어 가능한 팬 필터 유닛과 이를 구비하는 클린룸을 제안하기 위한 것이다.

상술한 본 발명의 따른 팬 필터 유닛은, 하우징; 상기 하우징의 내측에 배치되는 팬; 상기 팬의 일측에 배치되어 공기를 정화시키는 필터; 상기 하우징의 일측에 결합되고, 상기 필터의 테두리를 감싸는 필터 프레임; 상기 하우징의 내측에 배치되거나 상기 하우징의 외부로 노출되도록 설치되며, 상기 필터의 상류측과 상기 필터의 하류측의 차압을 측정하는 차압 측정 센서; 상기 하우징 또는 상기 필터 프레임의 적어도 일부를 관통하도록 설치되는 피팅부; 및 상기 차압 측정 센서와 상기 피팅부에 연결되는 연결부를 포함하는 것을 개시한다.

상기 연결부는 제1 연결부에 해당하고, 상기 피팅부는, 상기 하우징의 적어도 일부를 관통하도록 장착되는 제1 피팅부; 및 상기 필터 프레임의 적어도 일부를 관통하도록 장착되는 제2 피팅부를 포함하고, 상기 차압 측정 센서는 상기 하우징의 내측에 배치되어, 상기 하우징의 내측에 배치되는 상기 제1 연결부에 의해 상기 제1 피팅부와 연결되며, 상기 제1 피팅부와 상기 제2 피팅부는 상기 하우징의 외측에서 제2 연결부에 의해 서로 연결되는 것을 특징으로 한다.

상기 차압 측정 센서의 적어도 일부는 상기 하우징의 외부로 노출되도록 설치되며, 상기 피팅부는 상기 필터 프레임의 적어도 일부를 관통하도록 설치되고, 상기 차압 측정 센서는 상기 하우징의 외측에서 상기 연결부에 의해 상기 피팅부에 연결되는 것을 특징으로 한다.

상기 필터 프레임은, 상기 필터의 둘레를 감싸는 내측벽; 및 상기 내측벽으로부터 이격된 위치에서 상기 내측벽을 감싸는 외측벽을 포함하고, 상기 피팅부는 상기 필터 프레임의 적어도 일부를 관통하여 상기 내측벽과 상기 외측벽의 사이에 형성되는 내측공간에 노출되는 것을 특징으로 한다.

상기 내측벽과 상기 외측벽의 사이에는 상기 필터 프레임의 홀이 형성되고, 상기 필터 프레임은 상기 외측벽의 둘레에서 돌출되는 지지부를 더 포함하고, 상기 홀을 통해 상기 필터의 하류측과 상기 필터 프레임의 내측공간을 서로 소통 가능하게 하도록, 상기 지지부는 상기 내측벽과 상기 외측벽 사이의 바깥면을 상기 팬 필터 유닛이 설치되는 몰드 바로부터 이격시키는 것을 특징으로 한다.

상기 내측벽과 상기 외측벽 사이의 바깥면에는 실링부가 설치되며, 상기 실링부의 두 부분은 상기 하부 홀과 대응되는 위치에서 서로 이격되어 상기 하부 홀에서 상기 필터의 하류측으로 이어지는 공기 유로를 형성하는 것을 특징으로 한다.

상기 내측벽은, 상기 필터의 둘레를 마주보는 제1 영역; 및 상기 제1 영역으로부터 연장되어 상기 필터의 하류측에 노출되는 제2 영역을 포함하고, 상기 제2 영역에는 상기 필터의 하류측과 상기 필터 프레임의 내측공간을 서로 소통하게 하는 홀이 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기 팬 필터 유닛은 피팅부 커버를 더 포함하고, 상기 피팅부 커버는, 상기 하우징의 외측으로 노출되거나 상기 필터 프레임의 외측으로 노출되는 상기 피팅부를 감싸도록 형성되는 외벽; 및 상기 외벽에서 돌출되는 결합부를 포함하고, 상기 피팅부 커버는 상기 결합부와 상기 하우징을 연결하는 체결부재에 의해 상기 하우징 또는 상기 필터 프레임에 결합되는 것을 특징으로 한다.

상기 필터 프레임에는 상기 피팅부와 나사 결합되는 나사산 구조부가 형성되거나 설치되며, 상기 필터 프레임에 형성되는 나사산 구조부는 상기 필터 프레임의 적어도 일부를 나사산 형상으로 가공하여 형성되고, 상기 필터 프레임에 설치되는 나사산 구조부는 내주면에 상기 피팅부와 나사 결합되는 나사산을 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 상기 팬 필터 유닛을 구비하는 클린룸을 제공한다. 본 발명의 클린룸은, 상기 클린룸의 상부에 설치되어 복수의 팬 필터 유닛 장착 영역을 형성하는 몰드 바; 상기 몰드 바에 의해 형성되는 상기 복수의 팬 필터 유닛 장착 영역에 설치되는 복수의 팬 필터 유닛을 포함하고, 상기 복수의 팬 필터 유닛 각각은, 하우징; 상기 하우징의 내측에 배치되는 팬; 상기 팬의 일측에 배치되어 공기를 정화시키는 필터; 상기 하우징의 일측에 결합되고, 상기 필터의 테두리를 감싸는 필터 프레임; 상기 하우징의 내측에 배치되거나, 상기 하우징의 외부로 노출되도록 설치되며, 상기 필터의 상류측과 상기 필터의 하류측의 차압을 측정하는 차압 측정 센서; 상기 하우징 또는 상기 필터 프레임의 적어도 일부를 관통하도록 설치되는 피팅부; 및 상기 차압 측정 센서와 상기 피팅부에 연결되는 연결부를 포함하고, 상기 복수의 팬 필터 유닛에 구비되는 각각의 상기 팬은 각 팬 필터 유닛의 차압 측정 센서에 의해 측정되는 상기 필터의 상류측과 하류측의 차압에 근거하여 독립적으로 제어되는 것을 특징으로 한다.

상술한 해결수단을 통해 얻게 되는 본 발명의 효과는 다음과 같다.

첫째, 본 발명에 의하면 차압 측정 센서는 하우징의 내측에 배치되거나 상기 하우징의 외부로 노출되도록 설치되고, 피팅부는 하우징 또는 필터 프레임의 적어도 일부를 관통하도록 설치되며, 차압 측정 센서와 피팅부가 연결부에 의해 서로 연결되므로, 상기 차압 측정 센서에 의한 필터의 상류측과 하류측 차압을 측정 가능하다.

이뿐만 아니라 피팅부에 대한 연결은 호스, 튜브, 배관 등으로 구성되는 연결부를 상기 피팅부에 삽입하는 것으로 완료되므로, 이러한 구조는 작업자로 하여금 차압 측정 센서를 구비하는 팬 필터 유닛을 손쉽게 설치하고 유지 보수할 수 있게 한다.

둘째, 필터 프레임의 하단에 필터 프레임의 내측공간과 필터의 하류측을 서로 소통 가능하게 하는 홀이 형성되고, 지지부는 필터 프레임의 하단에 형성되어 필터 프레임을 몰드 바로부터 상향 이격시킨다. 이에 따라 필터의 하류측에 위치하는 공기가 필터 프레임의 하단과 몰드 바 사이의 틈을 통해 필터 프레임의 내측공간으로 유입될 수 있으며, 필터 프레임의 내측공간의 압력은 필터의 하류측의 압력과 동일해진다. 차압 측정 센서는 호스와 피팅부에 연결되고, 피팅부는 필터 프레임에 관통 결합되므로, 차압 측정 센서는 필터의 하류측 압력에 해당하는 필터 프레임의 내부 압력을 측정할 수 있다.

이러한 구조 외에도 본 발명의 다른 실시예에 의하면, 필터 프레임의 내측벽이 필터의 둘레를 감싸는 제1 영역과, 제1 영역으로부터 연장되어 필터의 하류측에 노출되는 제2 영역으로 구분되고, 상기 제2 영역에 홀이 형성됨에 따라 상기 홀을 통해 필터의 하류측과 필터 프레임의 내측공간이 서로 소통할 수 있게 된다. 이 경우에도 필터 프레임의 내측공간의 압력은 필터의 하류측의 압력과 동일하므로, 차압 측정 센서를 통해 필터의 하류측 압력에 해당하는 필터 프레임의 내부 압력을 측정할 수 있게 된다.

셋째, 피팅부 커버는 피팅부를 감싸도록 형성되는 외벽과, 팬 필터 유닛의 하우징에 결합되는 결합부를 포함할 수 있다. 피팅부 커버는 외부의 충격으로부터 피팅부를 보호할 수 있다.

넷째, 차압 측정 센서의 설치 및 유지 보수의 용이함으로 인해 팬 필터 유닛마다 차압 측정 센서가 설치될 수 있다. 각 팬 필터 유닛에 구비되는 팬의 풍속은 각각의 차압 측정 센서에서 측정되는 필터의 상류측 압력과 하류측 압력 차이에 기초하여 독립적으로 그리고 능동적으로 제어될 수 있다.

도 1은 팬 필터 유닛의 설치 개념도.
도 2는 팬 필터 유닛과 상기 팬 필터 유닛에서 분리된 피팅부 커버의 사시도.
도 3은 팬 필터 유닛의 분해 사시도.
도 4는 팬 필터 유닛의 구성요소인 피팅부의 확대도.
도 5는 팬 필터 유닛의 단면도.
도 6은 팬 필터 유닛의 구성요소인 필터와 필터 프레임의 사시도.
도 7은 필터 프레임에 실링부가 결합된 사시도.
도 8은 팬 필터 유닛의 변형례에 대한 필터 프레임의 부분 사시도.
도 9는 팬 필터 유닛의 변형례에 대한 하부 홀이 형성되는 위치에서의 필터와 필터 프레임의 단면도.
도 10은 팬 필터 유닛의 다른 실시예를 보인 단면도.
도 11은 팬 필터 유닛을 이용한 제어방법에 관한 클린룸 내의 존 별로 기외정압이 상이한 것을 보인 개념도.
도 12는 팬 필터 유닛을 이용한 제어방법에 관한 종래의 제어방법(a)과 본 발명의 제어방법(b)을 비교한 개념도.
도 13은 팬 필터 유닛의 다른 예로 장비 팬 필터 유닛의 사시도.
도 14는 팬 필터 유닛의 다른 예로 장비 팬 필터 유닛의 단면도.

이하, 차압 측정 센서(300)를 포함하는 팬 필터 유닛(10)에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

먼저 도 1 및 도 2를 참조하여, 팬 필터 유닛(10)의 외관에 대하여 설명한다.

도 1은 팬 필터 유닛(10)의 설치 개념도고, 도 2는 팬 필터 유닛(10)과 상기 팬 필터 유닛(10)에서 분리된 피팅부 커버(600)의 사시도다.

클린룸의 상부에는 바둑판과 같이 격자상으로 구획프레임 또는 몰드 바(M)가 형성되고, 팬 필터 유닛(10)은 상기 구획프레임 또는 몰드 바(M)에 의해 형성되는 팬 필터 유닛(10) 안착 영역에 안착된다.

도 1에 도시된 바와 같이 팬 필터 유닛(10) 안착 영역은 복수로 형성될 수 있으며, 이에 따라 클린룸에는 복수의 팬 필터 유닛(10)이 설치될 수 있다.

팬 필터 유닛(10)은 클린룸에 설치될 수도 있지만, 클린룸 내의 설비나, 상기 설비를 포함하는 부스에도 설치될 수 있다. 이에 대하여는 별도의 도면을 참조하여 후술한다.

도 2를 참조하면, 팬 필터 유닛(10)은 전체적으로 육면체에 가까운 형상을 갖는다. 팬 필터 유닛(10)은 육면체의 상면과 측면을 형성하는 하우징(700)을 포함한다. 여기서 상면이나 측면과 같은 방향에 대한 기준은 설명의 편의를 위해 도면을 참조하여 정한 것일 뿐, 절대적인 방향을 의미하는 것은 아니다. 그리고 하우징(700)의 하부에는 필터(100, 도 3 참조)와 필터 프레임(200)이 결합된다. 상기 하우징(700)과 상기 팬(910)에 의해 형성되는 육면체의 내측에는 팬 유닛(900)과 후술하게 될 차압 측정 센서(300)가 설치된다. 이하에서는 각 구성에 대하여 하나씩 설명한다.

하우징(700)은 메인 바디(710)와 측벽(720, 730)을 포함한다. 여기서 메인 바디(710)는 상기 육면체의 서로 마주보는 두 측면과 상면을 형성하는 디귿자(ㄷ) 형상의 구성이다. 그리고 측벽(720, 730)은 상기 메인 바디(710)에 의해 형성되지 않는 나머지 두 측면을 형성하는 구성이다. 측벽(720, 730)은 서로 이격된 위치에서 서로 마주보도록 배치되며, 메인 바디(710)에 결합되거나 메인 바디(710)로부터 분리 가능한 구조로 형성된다.

상기 측벽(720, 730)은 피팅부(400)의 설치에 따라 제1 측벽(720)과 제2 측벽(730)으로 구분될 수 있다(도 3 참조). 예컨대 피팅부(400)가 관통 설치되는 측벽은 제1 측벽(720)으로 구분되고, 그렇지 않은 측벽은 제2 측벽(730)으로 구분될 수 있다.

제1 측벽(720)과 제2 측벽(730)은 전체적으로 평판에 가까운 형상을 가지나, 제1 측벽(720)의 하단과 제2 측벽(730)의 하단은 후술하게 될 필터 프레임(200)에 안착되기 위한 형상을 갖는다. 구체적으로, 제1 측벽(720)의 하단과 제2 측벽(730)의 하단에는 각각 연장부가 형성된다. 제1 측벽(720)의 하단에 형성되는 연장부와 제2 측벽(730)의 하단에 형성되는 연장부를 서로 구분하기 위해 각각 제1 연장부(721)와 제2 연장부(731)로 이름할 수 있으며, 이에 대하여는 후술한다(도 3 참조).

하우징(700)의 하부에는 필터(100)가 설치된다. 필터(100)는 공기 중의 입자를 여과하는 파티클 필터를 의미하며, 납작한 육면체에 해당하는 형상을 가질 수 있다. 필터(100)는 팬 필터 유닛(10)을 통해 클린룸으로 공급되는 공기로부터 입자상 물질을 여과하도록 형성된다.

필터 프레임(200)은 필터(100)를 고정하기 위해 필터(100)의 둘레를 감싼다. 여기서 필터(100)의 둘레란 도면을 기준으로 측방향에서의 둘레를 가리킨다. 이를테면 필터 프레임(200)은 필터(100)를 측방향에서 감싸는 구조로 형성된다. 필터 프레임(200)은 하우징(700)의 하부에 결합되며, 필터(100)의 둘레는 필터 프레임(200)에 고정된다.

팬 유닛(900)은 하우징(700)에 의해 형성되는 영역에 안착된다. 하우징(700)의 상면은 개구되어 있으며, 팬 유닛(900)은 하우징(700)의 상측으로 노출된다. 팬 유닛(900)의 팬(910)이 동작하면 팬 필터 유닛(10) 상측의 공기가 팬 필터 유닛(10)의 내측으로 유입되며, 필터(100)를 통과하여 클린룸으로 공급된다.

탑 커버(800)는 하우징(700)의 상면에 배치된다. 탑 커버(800)는 일 방향에서 팬 유닛(900)의 일 측과 타 측에 배치된다.

피팅부 커버(600)는 외부의 충격으로부터 피팅부(400)를 보호하도록 형성된다. 피팅부 커버(600)는 외벽(610) 및 결합부(620)를 포함한다.

피팅부(400)가 관통 설치되는 제1 측벽(720)을 정면에서 바라볼 때를 기준으로, 외벽(610)은 피팅부(400)의 좌측, 우측 그리고 상측을 감싸는 구조로 형성된다. 결합부(620)는 상기 외벽(610)에서 양측으로 돌출되어 제1 측벽(720)과 맞닿게 되며, 상기 제1 측벽(720)을 따라 연장 형성된다.

상기 결합부(620)에는 상기 하우징(700)의 제1 측벽(720)과 마주하는 위치에 결합홀(630)이 형성된다. 상기 결합홀(630)에 체결부재(미도시)가 체결되면, 결합부(620)가 하우징(700)에 결합된다.

도 2를 참조하면, 피팅부 커버(600)가 제1 측벽(720)으로부터 분리되어 있다. 피팅부 커버(600)가 하우징(700)의 측벽으로부터 분리되면 피팅부 커버(600)에 의해 보호되고 있던 피팅부(400)와 연결부(440, 450)가 노출된다.

피팅부(400)는 제1 피팅부(410)와 제2 피팅부(470)를 포함한다. 제1 피팅부(410)는 하우징(700)의 측면에 해당하는 제1 측벽(720)에 장착된다. 그리고 제2 피팅부(470)는 필터 프레임(200)의 상부에 장착된다. 후술하게 될 차압 측정 센서(300)는 제1 연결부(440)에 의해 상기 제1 피팅부(410)와 연결된다. 그리고 상기 제1 피팅부(410)는 팬 필터 유닛(10)의 하우징(700) 측면을 관통하여 하우징(700)의 외측으로 노출된다.

제1 피팅부(410)의 적어도 일부는 하우징(700)의 외측에서 필터 프레임(200)을 향해 하향 연장 형성될 수 있다. 그리고 제1 피팅부(410)와 제2 피팅부(470)는 하우징(700)의 외측에서 제2 연결부(450)에 의해 서로 연결된다.

제2 피팅부(470)는 일 방향으로 연장되도록 형성된다. 제2 피팅부(470)는 필터 프레임(200)의 상부를 관통하여 적어도 일부가 필터 프레임(200)의 내측 공간에 노출될 수 있다.

다음으로는 도 3, 도 4, 및 도 5를 참조하여 팬 필터 유닛(10)을 구성요소별로 설명한다.

도 3은 팬 필터 유닛(10)의 분해 사시도이고, 도 4는 팬 필터 유닛(10)의 구성요소인 피팅부(400)의 확대도이며, 도 5는 팬 필터 유닛(10)의 단면도이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 팬 필터 유닛(10)은 필터(100), 필터 프레임(200), 차압 측정 센서(300), 피팅부(400), 모터(500), 하우징(700), 팬 유닛(900) 및 탑 커버(800)를 포함한다.

필터(100)는 클린룸으로 공급되는 공기로부터 입자상 물질을 여과하고, 공기의 흐름을 기준으로 팬 필터 유닛(10)의 가장 하류측에 배치된다. 따라서, 팬 필터 유닛(10)을 통과하는 공기는 필터(100)를 마지막으로 통과하여 여과된 후 팬 필터 유닛(10)으로부터 배출되어, 클린룸으로 공급된다.

필터 프레임(200)은 필터(100)의 테두리의 측면을 감싸는 구조로 형성된다. 필터 프레임(200)은 내측벽(220)과 외측벽(230)을 포함한다.

필터 프레임(200)의 내측벽(220)은 필터(100)의 측방향에서 필터(100)의 측면을 마주보도록 형성된다. 필터 프레임(200)의 내측벽(220)은 필터(100)의 둘레 또는 테두리를 감싼다.

필터 프레임(200)의 외측벽(230)은 필터(100)의 측방향을 기준으로 상기 내측벽(220)으로부터 이격된 위치에서 내측벽(220)을 마주보도록 형성된다. 외측벽(230)은 내측벽(220)으로부터 이격된 위치에서 내측벽(220)을 감싼다.

필터 프레임(200)의 구조에 관하여는 도 6, 도 7을 참조하여 구체적으로 다시 후술한다.

차압 측정 센서(300)는 하우징(700)의 내부에 배치되고, 필터(100)의 상측에 설치된다. 차압 측정 센서(300)는 필터(100)의 상류측 압력(상부 압력)과 하류측 압력(하부 압력)을 측정하여 압력차를 측정한다. 필터(100)의 상류측 압력 혹은 상부 압력이라 함은 팬 필터 유닛(10)의 내부 압력을 말한다. 또한, 필터(100)의 하류측 압력 혹은 하부 압력이라 함은 공기의 흐름을 기준으로 공기가 토출되는 영역인 클린룸의 압력을 말한다.

다만, 클린룸의 압력은 존(zone)별로 다를 수 있다. 따라서, 차압 측정 센서(300)에 의해 감지되는 필터(100)의 하류측 압력 혹은 하부 압력은 클린룸 전체의 압력을 대변하는 것이 아니라, 팬 필터 유닛(10)이 설치되는 존의 압력에 해당한다.

차압 측정 센서(300)는 파티클 필터(100)의 하부 압력을 측정하기 위해 호스에 의해 피팅부(400)와 연결된다. 피팅부(400)는 팬 필터 유닛(10)의 하우징(700) 또는 필터 프레임(200)의 적어도 일부를 관통하도록 설치된다. 피팅부(400)는 하우징(700)의 제1 측벽(720)에 장착되는 제1 피팅부(410)와 필터 프레임(200) 상부에 장착되는 제2 피팅부(470)를 포함한다.

제1 피팅부(410)는 하우징(700)의 제1 측벽(720)을 측방향에서 관통하도록 설치된다. 제1 피팅부(410)는 제1 측벽(720)을 기준으로 하우징(700)의 내측에 배치되는 일 부분과 하우징(700) 외부로 노출되는 타 부분으로 구분할 수 있다.

제1 피팅부(410)의 상기 일 부분의 끝에는 연결부 수용부(420)가 형성된다. 여기서 일 부분의 끝이란 제1 측벽(720)으로부터 하우징(700)의 내측으로 가장 먼 부분을 가리킨다. 이 연결부 수용부(420)에는 제1 연결부(440)가 원터치 피팅 방식으로 삽입된다. 여기서 원터치 피팅 방식이란 연결부(440, 450)의 삽입에 따라 연결부 수용부(420) 내에서 연결부(440, 450)의 고정이 이루어져, 별도로 조작하지 않고서는 호스가 임의로 인출되지 않는 방식을 가리킨다. 또한 여기서 별도의 조작이란 연결부 수용부(420)의 끝을 당겨 연결부(440, 450)의 고정을 해제하는 동작을 가리킨다.

제1 피팅부(410)의 상기 타 부분의 끝에도 연결부 수용부(420)가 형성된다. 상기 타 부분은 하우징(700)의 외측으로 노출되고, 엘보우 형태로 필터 프레임(200)을 향해 하향 연장된다. 예를 들어, 상기 엘보우 형태는, 도 4에 도시된 바와 같이 기억자(ㄱ) 형상으로 이루어질 수 있다. 상기 타 부분의 끝이란 제1 측벽(720)으로부터 하우징(700)의 외측으로 가장 먼 부분을 가리킨다. 이 연결부 수용부(420)에는 제2 연결부(450)가 원터치 피팅 방식으로 삽입된다.

제1 연결부(440)가 원터치 피팅 방식을 통해 연결부 수용부(420)에 삽입되면, 차압 측정 센서(300)는 하우징(700)의 내측에서 제1 연결부(440)에 의해 제1 피팅부(410)에 연결된다. 마찬가지로, 제1 피팅부(410)는 하우징(700)의 외측에서 제2 연결부(440)에 의해 제2 피팅부(470)와 연결될 수 있으며, 원터치 피팅 방식은 제2 연결부(450)와 제2 피팅부(470)의 결합에도 그대로 적용될 수 있다.

본 발명에서 연결부(440, 450)란 내부 공간을 구비하며, 상대물과의 연결 가능한 구성을 가리키는 것으로, 호스, 튜브, 배관 등 다양한 구성으로 이루어질 수 있다.

한편, 이러한 구조에 의하면, 작업자에 의한 팬 필터 유닛(10)의 설치가 보다 용이하게 이루어질 수 있다. 하우징(700)의 내측에 차압 측정 센서(300)를 구비하는 팬 필터 유닛(10)을 클린룸에 설치할 때, 하우징(700)의 외측에서 제2 피팅부(470)를 필터 프레임(200)의 상부에 설치한 후 제2 연결부(450)를 제1 피팅부(410)와 제2 피팅부(470)에 삽입하는 동작만으로 설치가 완료될 수 있기 때문이다.

제1 연결부(440)를 이용하여 차압 측정 센서(300)와 제1 피팅부(410)를 연결하는 작업은 팬 필터 유닛(10)의 출고 전에 이루어질 수 있다. 이에 따라 팬 필터 유닛(10)의 설치 현장에서는 차압 측정 센서(300)를 제1 피팅부(410)에 연결하는 별도 작업을 필요로 하지 않는다.

또한, 차압 측정 센서(300)를 제2 피팅부(470)에 연결하는 구성요소인 제1 피팅부(410), 제2 피팅부(470), 제2 연결부(440)가 하우징(700)의 외측에 노출되어 있으므로, 이들 구성요소의 유지 보수 또한 하우징(700)을 분해할 필요가 없다는 점에서 작업자의 유지 보수 작업을 용이하게 한다.

제1 피팅부(410)는 원통형 구조로 형성된 몸체(411)를 구비한다. 또한, 제1 피팅부(410)는 상기 몸체(411)보다 직경이 큰 플랜지(413)를 구비한다.

하우징(700)의 제1 측벽(720)에는 제1 피팅부(410)의 몸체(411)가 관통 결합될 수 있는 피팅홀이 형성된다. 제1 피팅부(410)의 몸체(411)가 하우징(700)의 외측에서 피팅홀에 삽입되고, 이때, 플랜지(413)는 몸체(411)의 일정 부분까지만 결합될 수 있도록, 제1 피팅부(410)의 몸체(411)보다 직경이 크게 형성된다. 너트(412)가 하우징(700) 내측에서 제1 피팅부(410)의 몸체(411)를 향하여 결합될 수 있다. 제1 측벽(720)을 기준으로 하우징(700)의 외측에는 플랜지(413)가 형성되고, 하우징(700)의 외측에는 너트(412)가 결합되어 제1 피팅부(410)가 제1 측벽(720)에 고정될 수 있다.

제2 피팅부(470)의 일 부분은 제2 연결부(450) 의해 제1 피팅부(410)의 끝부분과 원터치 피팅 방식으로 결합된다. 제2 피팅부(470)는 일 방향으로 일 부분에서 타부분으로 연장되도록 형성된다. 제2 피팅부(470)의 일 부분은 필터 프레임(200)의 외측으로 노출되고 제2 피팅부(470)의 타 부분은 필터 프레임(200)의 상부를 관통하여 적어도 일부가 필터 프레임(200)의 내측공간에 노출될 수 있다.

또한, 필터 프레임(200)에는 제2 피팅부(470)가 결합될 수 있는 나사산 구조부가 형성되거나, 설치될 수 있다.

필터 프레임(200)의 형성되는 나사산 구조부의 일 예로는 버링(burring) 작업과 같이 필터 프레임(200)의 적어도 일부를 나사산 형상으로 가공하는 것이 있을 수 있다. 버링 작업을 통해 필터 프레임(200)에 홀을 형성하면, 홀의 내주면에 나사산이 형성된다.

필터 프레임(200)에 설치되는 나사산 구조부의 일 예로는 팝 너트(480) 등 나사산을 구비하는 구조물이 있을 수 있다. 예를 들어, 도면에 도시된 바와 같이, 필터 프레임(200)의 상부에는 팝 너트(480)가 압입될 수 있는 상부 홀(260)이 형성된다. 필터 프레임(200)의 상부에 압입된 팝 너트(480)의 내주면에는 나사산이 형성되며, 제2 피팅부(470)는 상기 팝 너트(480)에 나사 결합된다.

도 4를 참조하여 팝 너트(480)의 구조에 대해 보다 상세하게 설명하면, 팝 너트(480)는 바디(481)와 헤드(482)를 포함한다. 바디(481)는 속이 빈 원기둥 형상으로, 바디(481)의 내주면에는 앞서 설명된 나사산이 형성된다.

그리고 헤드(482)는 바디(481)의 상단에 형성되며, 바디(481)보다 큰 외경을 갖는다. 이에 따라, 팝 너트(480)의 바디(481)는 필터 프레임(200)의 상부 홀(260)에 압입되고, 헤드(482)는 필터 프레임(200)의 상부면에 안착될 수 있다.

팬(910)을 구동하는 모터(500)는 지지 부재(510)의 일면상에 안착된다. 지지 부재(510)는 하우징(700)의 메인 바디(710)의 두 측면에 결합될 수 있다. 지지 부재(510)는 돌출부(512)를 포함한다. 돌출부(512)는 지지 부재(510)의 양 측면과 대응되는 메인 바디(710)의 두 측면과 맞닿는 부분을 향해 돌출 형성될 수 있다. 또한, 돌출부(512)는 메인 바디(710)와 결합 가능하게 형성되는 나사 홀(511)이 구비된다.

도 3의 우측 상단을 참조하면, 하우징(700)의 제1 측벽(720)은 필터 프레임(200)에 의해 지지되도록, 제1 측벽(720)은 필터 프레임(200) 상부 일면을 감싸도록 형성되는 제1 연장부(721)를 포함한다. 제1 연장부(721)는 제1 측벽(720)의 하단에서 외측으로 돌출 형성된다. 또한, 제1 연장부(721)는, 필터 프레임(200)의 외면을 감싸도록, 제1 측벽(720)에서 외측으로 돌출된 제1 연장부(721)의 끝단에서 필터 프레임(200) 방향으로 하향 돌출 형성된다.

하우징(700)의 제2 측벽(730) 또한 필터 프레임(200)에 의해 지지되도록, 제1 측벽(720)과 실질적으로 동일한 형상을 가질 수 있다.

상기 제1 연장부(721)는, 이후 서술할 필터 프레임(200)의 상부 홀(260)과 마주보는 위치에 형성되는 안착 홀(722)을 구비한다. 안착 홀(722)의 내경은 필터 프레임(200)의 상부 홀(260)의 내경보다 크게 형성된다. 제2 피팅부(470)는 제1 연장부(721)의 형성된 안착 홀(722)을 통과하여 필터 프레임(200)의 상부 홀(260)과 결합된다.

다음으로 도 6 및 도 7을 참조하여, 필터 프레임(200)의 구조에 대하여 설명한다.

도 6은 팬 필터 유닛(10)의 구성요소인 필터(100)와 필터 프레임(200)의 사시도이고, 도 7은 필터 프레임(200)에 실링부(250)가 결합된 사시도이다.

도 6 및 도 7을 참조하면, 필터 프레임(200)은 하우징(700)의 하부에 설치된 필터(100)의 측면 테두리를 감싸도록 형성된다.

필터 프레임(200)은 필터(100)의 테두리 면과 접촉되는 내측벽(220)과, 상기 내측벽(220)으로부터 이격된 위치에서 상기 내측벽(220)을 마주보는 외측벽(230)으로 이루어질 수 있다. 필터 프레임(200)의 내측벽(220)과 외측벽(230)의 구조에 의해, 상기 내측벽(220)과 상기 외측벽(230) 사이에 내측공간이 형성된다.

필터 프레임은 내측벽(220)과 외측벽(230)을 연결하는 상부벽과 하부벽을 구비하며, 내측벽(220)과 외측벽(230) 사이의 하부벽에는 하부 홀(210)이 형성된다.

상기 하부 홀(210)은 필터 프레임(200)의 상부에 형성된 상부 홀(260)과 대응되는 위치에 형성된다. 하부 홀(210)은 제2 연결부(450)에 의해 상부 홀(260)에 설치된 제2 피팅부(470)와 연통된다.

필터 프레임(200)은 외측벽(230)의 둘레에서 돌출되는 지지부(290)를 더 포함할 수 있다. 예컨대 지지부(290)는 외측벽(230)의 둘레를 따라 하향 돌출될 수 있다. 지지부(290)는 필터 프레임(200)을 도 1에서 설명된 몰드 바(M)로부터 일정 간격으로 이격되게 하여 지지부(290)와 몰드 바(M)의 사이 공간에 공기의 유로를 형성할 수 있다.

이 구조에 대해 다시 설명하면, 하부 홀(210)을 통해 필터(100)의 하류측과 필터 프레임(200)의 내측공간을 서로 소통 가능하게 하도록, 지지부(290)는 내측벽(220)과 외측벽(230) 사이의 바깥면에 해당하는 하부벽을 몰드 바로부터 상향 이격시킨다.

지지부(290)의 이와 같은 구조에 의하면, 필터(100) 하류측의 클린룸에서 공기의 유입이 가능하도록 이루어져, 제1 피팅부(410)와 제2 피팅부(470)를 통하여 차압 측정 센서(300)로 들어오는 공기를 이용하여, 필터(100) 하류측의 압력을 측정할 수 있다.

내측벽(220) 및 외측벽(230) 사이에 형성되는 빈 공간의 양단에는, 공기가 누설되는 것을 방지하기 위해 실링부(250)가 배치될 수 있다. 실링부(250)는 공간의 기밀을 유지하기 위하여 상호 접촉하는 부분에서 공기의 누설을 방지하는 역할을 할 수 있다.

실링부(250)는 기밀을 위한 구성으로, 예를 들어 가스켓, 고무, 기타 재질의 구조물로 이루어질 수 있다. 실링부(250)는 내측벽(220)과 외측벽(230) 사이의 바깥면에도 설치될 수 있다.

필터 프레임(200)의 하단에는, 필터 프레임(200)에 형성되는 지지부(290)의 구조에 의해 몰드 바(M)와의 사이에 형성되는 빈 공간이 마련될 수 있다. 실링부(250)는 상기 필터 프레임(200)에 형성되는 지지부(290)에 밀착되게 설치될 수 있다. 또한, 팬 필터 유닛(10)이 몰드 바(M)에 설치되면, 실링부(250)는 필터 프레임(200)의 하부벽과 몰드 바(M)에 의해 압착될 수 있다.

도 7을 참조하면, 필터 프레임(200)에 형성된 하부 홀(210)과, 상기 하부 홀(210)과 인접하는 부분에는 상기 실링부(250)가 설치되지 않도록 이루어진다. 이와 같은 구조로 인하여, 하부 홀(210)과 인접하는 영역에는 필터(100)의 하류측 압력을 측정하기 위해 이용되는 공기의 유로가 형성될 수 있다. 또한, 하부 홀(210)과 인접하는 영역에 형성되는 공기의 유로는 하부 홀(210)에서 필터(100)의 하부로 연장되게 형성될 수 있다.

한편, 필터 프레임(200)의 하부 홀(210)은 하부벽 외에 다른 위치에 형성되는 것도 가능한데, 이에 대하여는 도 8과 도 9를 참조하여 설명한다.

도 8과 도 9는 본 발명에서 제공하는 팬 필터 유닛의 변형례에 관한 것으로, 도 8은 필터 프레임의 부분 사시도이며, 도 9는 하부 홀이 형성되는 위치에서 필터와 필터 프레임의 단면도다.

필터 프레임(200')의 내측벽(220')은 필터(100')의 둘레를 마주보는지 여부에 따라 제1 영역(220'a)과 제2 영역(220'b)으로 구분될 수 있다.

제1 영역(220'a)은 필터(100')의 둘레를 마주보는 영역에 해당한다. 도면을 기준으로 제1 영역(220'a)은 필터(100')의 측면 둘레를 마주본다. 그리고 제2 영역(220'b)은 제1 영역(220'a)으로부터 연장되어 필터(100')의 하류측에 노출된다. 제2 영역(220'b)은 제1 영역(220'a)과 달리 필터(100')의 측면 둘레를 마주보지 않는다.

이와 같은 구조에 의하면 필터 프레임(200')의 상하 높이가 제2 영역(220'b)의 상하 높이만큼 필터(100')보다 높게 형성된다. 필터(100')의 상단과 필터 프레임(200')의 상단이 같은 위치에 형성된다고 보면, 필터 프레임(200')의 하단이 필터(100')의 하단보다 더 낮은 위치에 형성된다.

제2 영역(220'b)에는 필터(100')의 하류측, 즉 클린룸을 향해 개구되는 하부 홀(210')이 형성된다. 하부 홀(210')은 측 방향을 향해 개구된다. 제2 영역(220'b)이 필터(100')에 의해 가려지지 않으므로, 하부 홀(210')을 통해 필터 프레임(200')의 내측공간과 필터(100')의 하류측 공간이 서로 소통할 수 있게 된다.

이와 같은 구조에 의하면 필터 프레임(200')의 하단에 지지부가 없고, 필터 프레임(200')의 하단이 몰드 바(M)에 밀착되더라도, 필터(100')의 하류측 공기가 하부 홀(210')을 통해 필터 프레임(200')의 내부 공간으로 유입되는 공기 유로가 형성된다. 이에 따라 피팅부(400)와 연결부(440, 450)를 통해 차압 측정 센서(300)가 필터 프레임(200')의 내측공간의 압력을 측정하게 되면, 이는 곧 필터(100')의 하류측 압력을 측정하게 되는 것이다.

다음으로는 본 발명의 다른 실시예에 대하여 설명한다. 도 10은 본 발명에서 제안하는 팬 필터 유닛의 다른 실시예를 보인 단면도다.

앞서 차압 측정 센서가 하우징의 내측에 설치되는 것과 달리, 도 10의 실시예에서는 차압 측정 센서(310'')가 외장 제어기(300'') 내에 구비되어 하우징(700'')의 외부로 노출되도록 설치된다.

이 때 두 공간 사이의 차압을 측정하기 위해 차압 측정 센서(310'')에 구비되는 포트 중 하나는 하우징(700'')의 내측에 노출되고, 다른 하나는 하우징(700'')의 외측으로 노출된다. 하우징(700'')의 내측에 노출되는 포트(320'')는 필터(100'')의 상류측 압력을 측정하기 위한 것이고, 하우징(700'')의 외측으로 노출되는 포트(330'')는 필터(100'')의 하류측 압력을 측정하기 위한 것이다.

하우징(700'')의 외측으로 노출되는 포트(330'')는 하우징(700'')의 외측에서 연결부(440'')에 의해 피팅부(470'')에 연결된다. 피팅부(470'')는 필터 프레임(200'')의 적어도 일부를 관통하도록 설치되며, 피팅부(470'')가 연결부(440'')에 의해 하우징(700'')의 외측에서 차압 측정 센서(310'')에 연결되면, 차압 측정 센서(310'')는 필터 프레임(200'')의 내측공간의 압력을 측정할 수 있다.

피팅부 커버(600'')는 피팅부(470'')의 형상에 따라 설계 변경될 수 있다. 예컨대 피팅부 커버(600'')는 하우징(700'')의 측면 및 상면에 결합되어 피팅부(470'')와 연결부(440'')를 보호하도록 형성될 수 있다.

위와 같은 구조에서는 하우징(700'')의 외측에서 연결부(440'')를 이용한 차압 측정 센서(310'')와 피팅부(470'')의 연결이 가능하여 팬 필터 유닛(10'')의 설치가 용이한 반면, 피팅부(470'')가 하나만 구비되더라도 필터(100'')의 상류측 압력과 하류측 압력을 모두 측정할 수 있어 앞서 설명되었던 실시예 대비 장점이 있다.

그 외 도 10에서 미설명된 구성요소에 대한 설명은 앞서 설명된 실시예의 설명으로 갈음한다.

다음으로는 도 11과 도 12를 참조하여, 본 발명에서 제공하는 팬 필터 유닛을 이용한 제어방법에 대하여 설명한다.

도 11은 클린룸 내의 존 별로 기외정압이 상이한 것을 보인 개념도다.

도 12는 종래의 제어방법(a)과 본 발명의 제어방법(b)을 비교한 개념도다.

도 11에서 큰 네모는 클린룸 상부의 영역에 해당하고, 큰 네모 안에 5개의 작은 네모는 각각 팬 필터 유닛을 가리킨다. 큰 네모 안의 숫자는 기외정압을 가리키며, 작은 네모 안의 숫자는 필터 정압과 풍속을 가리킨다.

도 11의 (a)를 참조하면, 팹(fab) 상부에서 기외정압이 존 별로 상이한 것을 알 수 있는데, 기외정압 별로 필터 정압이 다르게 운전되며, 이로 인해 종래에는 클린룸 내 다수의 팬 필터 유닛의 간 풍속의 불균형이 발생하게 된다. 특히 기외정압이 낮은 존에서 팬 필터 유닛의 팬이 과도하게 빠른 속도로 운용됨에 따라 에너지 낭비가 발생하게 되는 문제가 있었다.

예컨대 도 12의 (a)에서 좌측으로 갈수록 기외정압이 낮게 설정되어 있고, 이로 인해 5개의 팬 필터 유닛 중 가장 좌측의 필터 정압이 가장 높게 설정되어, 해당 팬 필터 유닛에 구비되는 팬이 상대적으로 과하게 빠른 속도로 운전되었다. 또한, (a)에 도시된 기존 방식의 제어방법은 유저가 실시간으로 풍량값을 알 수 없었다.

본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위한 것으로, (b)를 참조하면 기외정압에 관계없이, 필터의 상류측과 하류측 차압에 근거하여 자동으로 팬의 풍속을 제어하고, 이를 통해 기외정압의 갭을 상쇄하도록 이루어진다. 이러한 제어 방식에 의하면 존 별로 기외정압이 서로 다르게 설정되더라도 각 팬 필터 유닛은 각 차압 측정 센서에 의해 측정되는 차압에 의해 각 팬의 풍속이 제어되며, 이를 통해 클린룸 내 팬 필터 유닛 간 풍속의 균형이 이루어지고, 소비전력 및 환경 개선을 기대할 수 있게 된다.

다음으로는 팬 필터 유닛의 다른 예에 대하여 설명한다.

도 13과 도 14는 팬 필터 유닛의 다른 예로 장비 팬 필터 유닛을 보인 사시도와 부분 단면도다.

클린룸에 사용되는 팬 필터 유닛(10)과 달리 장비 팬 필터 유닛(20)은 클린룸 내 설비, 공정 장비, 부스 등에 설치되어 운용된다. 도 13은 장비 팬 필터 유닛에 피팅부와 연결부가 설치된 구성을 보이고 있고, 도 14는 하우징의 내측에서 피팅부가 연결부에 의해 차압 측정 센서와 연결된 구성을 보이고 있다.

장비 팬 필터 유닛(20)은 육면체에 가까운 형상을 갖는다. 장비 팬 필터 유닛(20)은 육면체의 상면과 측면을 형성하는 하우징(1700)을 포함한다. 그리고 하우징(1700)의 하부에는 필터(1000)와 필터 프레임(1200)이 결합된다. 또한, 하우징(1700)의 내측에는 팬 유닛(1900)과 차압 측정 센서(1300)가 설치된다.

필터 프레임(1200)은 필터(1000)를 고정하기 위해 필터(1000)의 둘레를 감싼다. 이를테면 필터 프레임(1200)은 필터(1000)를 측방향에서 감싸는 구조로 형성된다. 필터 프레임(1200)은 하우징(1700)의 하부에 결합되며, 필터(1000)의 둘레는 필터 프레임(1200)에 고정된다.

팬 유닛(1900)은 하우징(1700)에 의해 형성되는 영역에 안착된다. 하우징(1700)의 상면은 개구되어 있으며, 팬 유닛(1900)은 하우징(1700)의 상측으로 노출된다.

하우징(1700)의 측벽은 피팅부(1400) 및 차압 측정 센서(1300)의 설치에 따라 제1 측벽(1710)과 제2 측벽(1720)으로 구분될 수 있다.

예컨대, 피팅부(1400)가 관통 설치되는 측벽은 제1 측벽(1710)으로 구분되고, 차압 측정 센서(1300)가 관통 설치되는 측벽은 제2 측벽(1720)으로 구분될 수 있다.

피팅부(1400)는 제1 피팅부(1410)와 제2 피팅부(1470)를 포함한다. 제1 피팅부(1410)는 하우징(1700)의 측면에 해당하는 제1 측벽(1710)에 장착된다. 그리고 제2 피팅부(1470)는 필터 프레임(1200)의 상부에 장착된다.

차압 측정 센서(1300)는 제1 연결부(1440)에 의해 제1 피팅부(1410)와 연결된다. 그리고 제1 피팅부(1410)는 장비 팬 필터 유닛(20)의 하우징(1700) 측면을 관통하여 하우징(1700)의 외측으로 노출된다.

제1 피팅부(1410)의 적어도 일부는 하우징(1700)의 외측에서 필터 프레임(1200)을 향해 하향 연장 형성될 수 있다. 그리고 제1 피팅부(1410)와 제2 피팅부(1470)는 하우징(1700)의 외측에서 제2 연결부(1450)에 의해 서로 연결된다.

제2 피팅부(1470)는 일 방향으로 연장되도록 형성되고, 필터 프레임(1200)의 상부를 관통하여 적어도 일부가 필터 프레임(1200)의 내측공간에 노출될 수 있다.

피팅부 커버(1600)는 외부의 충격으로부터 피팅부(1400)를 보호하도록 형성된다. 피팅부 커버(1600)는 외벽(1610) 및 결합부(1620)를 포함한다.

피팅부(1400)가 관통 설치되는 제1 측벽(1720)을 정면에서 바라볼 때를 기준으로, 외벽(1610)은 피팅부(1400)의 좌측, 우측 그리고 상측을 감싸는 구조로 형성된다. 결합부(1620)는 상기 외벽(1610)에서 양측으로 돌출되어 제1 측벽(1720)과 맞닿게 되며, 제1 측벽(1720)을 따라 연장 형성된다.

결합부(1620)에는 하우징(1700)의 제1 측벽(1720)과 마주하는 위치에 결합홀(1630)이 형성된다. 결합홀(1630)에 체결부재(미도시)가 체결되면, 결합부(1620)가 하우징(1700)에 결합된다. 본 발명에서 정의하는 팬 필터 유닛은 클린룸 내에서 사용되는 팬 필터 유닛뿐만 아니라 공정 장비 등에 사용되는 장비 팬 필터 유닛을 포함하는 개념이다. 장비 팬 필터 유닛에는 실질적으로 앞서 설명된 팬 필터 유닛의 구조, 변형례, 다른 실시예 등이 모두 적용될 수 있으며, 다만, 적용 대상에 있어 다소 차이가 있다.

이상에서 설명된 필터의 압력을 제어하여 자동으로 풍속을 조절하는 팬 필터 유닛(10)은 상기 설명된 실시예들의 구성과 방법에 한정되는 것이 아니라, 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.

Claims

하우징;
상기 하우징의 내측에 배치되는 팬;
상기 팬의 일측에 배치되어 공기를 정화시키는 필터;
상기 하우징의 일측에 결합되고, 상기 필터의 테두리를 감싸는 필터 프레임;
상기 하우징의 내측에 배치되거나 상기 하우징의 외부로 노출되도록 설치되며, 상기 필터의 상류측과 상기 필터의 하류측의 차압을 측정하는 차압 측정 센서;
상기 하우징 또는 상기 필터 프레임의 적어도 일부를 관통하도록 설치되는 피팅부; 및
상기 차압 측정 센서와 상기 피팅부에 연결되는 연결부를 포함하는 팬 필터 유닛.
제1항에 있어서,
상기 연결부는 제1 연결부에 해당하고,
상기 피팅부는,
상기 하우징의 적어도 일부를 관통하도록 장착되는 제1 피팅부; 및
상기 필터 프레임의 적어도 일부를 관통하도록 장착되는 제2 피팅부를 포함하고,
상기 차압 측정 센서는 상기 하우징의 내측에 배치되어, 상기 하우징의 내측에 배치되는 상기 제1 연결부에 의해 상기 제1 피팅부와 연결되며,
상기 제1 피팅부와 상기 제2 피팅부는 상기 하우징의 외측에서 제2 연결부에 의해 서로 연결되는 팬 필터 유닛.
제1항에 있어서,
상기 차압 측정 센서의 적어도 일부는 상기 하우징의 외부로 노출되도록 설치되며,
상기 피팅부는 상기 필터 프레임의 적어도 일부를 관통하도록 설치되고,
상기 차압 측정 센서는 상기 하우징의 외측에서 상기 연결부에 의해 상기 피팅부에 연결되는 팬 필터 유닛.
제1항에 있어서,
상기 필터 프레임은,
상기 필터의 둘레를 감싸는 내측벽; 및
상기 내측벽으로부터 이격된 위치에서 상기 내측벽을 감싸는 외측벽을 포함하고,
상기 피팅부는 상기 필터 프레임의 적어도 일부를 관통하여 상기 내측벽과 상기 외측벽의 사이에 형성되는 내측공간에 노출되는 팬 필터 유닛.
제4항에 있어서,
상기 내측벽과 상기 외측벽의 사이에는 상기 필터 프레임의 홀이 형성되고,
상기 필터 프레임은 상기 외측벽의 둘레에서 돌출되는 지지부를 더 포함하고,
상기 홀을 통해 상기 필터의 하류측과 상기 필터 프레임의 내측공간을 서로 소통 가능하게 하도록, 상기 지지부는 상기 내측벽과 상기 외측벽 사이의 바깥면을 상기 팬 필터 유닛이 설치되는 몰드 바로부터 이격시키는 팬 필터 유닛.
제5항에 있어서,
상기 내측벽과 상기 외측벽 사이의 바깥면에는 실링부가 설치되며,
상기 실링부의 두 부분은 상기 하부 홀과 대응되는 위치에서 서로 이격되어 상기 하부 홀에서 상기 필터의 하류측으로 이어지는 공기 유로를 형성하는 팬 필터 유닛.
제4항에 있어서,
상기 내측벽은,
상기 필터의 둘레를 마주보는 제1 영역; 및
상기 제1 영역으로부터 연장되어 상기 필터의 하류측에 노출되는 제2 영역을 포함하고,
상기 제2 영역에는 상기 필터의 하류측과 상기 필터 프레임의 내측공간을 서로 소통하게 하는 홀이 형성되는 팬 필터 유닛.
제1항에 있어서,
상기 팬 필터 유닛은 피팅부 커버를 더 포함하고,
상기 피팅부 커버는,
상기 하우징의 외측으로 노출되거나 상기 필터 프레임의 외측으로 노출되는 상기 피팅부를 감싸도록 형성되는 외벽; 및
상기 외벽에서 돌출되는 결합부를 포함하고,
상기 피팅부 커버는 상기 결합부와 상기 하우징을 연결하는 체결부재에 의해 상기 하우징 또는 상기 필터 프레임에 결합되는 팬 필터 유닛.
제1항에 있어서,
상기 필터 프레임에는 상기 피팅부와 나사 결합되는 나사산 구조부가 형성되거나 설치되며,
상기 필터 프레임에 형성되는 나사산 구조부는 상기 필터 프레임의 적어도 일부를 나사산 형상으로 가공하여 형성되고,
상기 필터 프레임에 설치되는 나사산 구조부는 내주면에 상기 피팅부와 나사 결합되는 나사산을 구비하는 팬 필터 유닛.
클린룸의 상부에 설치되어 복수의 팬 필터 유닛 장착 영역을 형성하는 몰드 바;
상기 몰드 바에 의해 형성되는 상기 복수의 팬 필터 유닛 장착 영역에 설치되는 복수의 팬 필터 유닛을 포함하고,
상기 복수의 팬 필터 유닛 각각은,
하우징;
상기 하우징의 내측에 배치되는 팬;
상기 팬의 일측에 배치되어 공기를 정화시키는 필터;
상기 하우징의 일측에 결합되고, 상기 필터의 테두리를 감싸는 필터 프레임;
상기 하우징의 내측에 배치되거나, 상기 하우징의 외부로 노출되도록 설치되며, 상기 필터의 상류측과 상기 필터의 하류측의 차압을 측정하는 차압 측정 센서;
상기 하우징 또는 상기 필터 프레임의 적어도 일부를 관통하도록 설치되는 피팅부; 및
상기 차압 측정 센서와 상기 피팅부에 연결되는 연결부를 포함하고,
상기 복수의 팬 필터 유닛에 구비되는 각각의 상기 팬은 각 팬 필터 유닛의 차압 측정 센서에 의해 측정되는 상기 필터의 상류측과 하류측의 차압에 근거하여 독립적으로 제어되는 클린룸.