KR20230001018U - 반도체 팹용 피팅 락 장치 - Google Patents
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Abstract
본 고안은, 유체를 이동시키는 제1 배관에 구비된 제1 크기의 고정 피팅부와, 상기 제1 배관과 연통되는 제2 배관에 회전하게 구비되고 제1 크기보다 큰 제2 크기의 체결 피팅부를 포함하는 피팅부; 제1 상부면은 개방되고 상호 대칭되는 2개의 제1 하부면이 'V'자형의 구조를 형성하고, 상기 제1 하부면의 상부에 소정 높이를 갖고 길이 방향으로 연장되는 상호 대칭되는 2개의 제1 가이드 리브와, 상기 제1 하부면의 일측에 상기 제1 배관 또는 2 배관이 유입되어 지지되는 제1 측면부와, 상기 제1 가이드 리브의 일측과 상기 제1 측면부가 결합되는 부분에 형성되는 2개의 상호 대칭되는 제1 걸림홈을 구비한 제1 하우징; 및 상기 제1 하우징과 동일한 형태이며, 제2 상부면과, 제2 하부면과, 제2 가이드 리브와, 제2 측면부와, 제2 걸림홈을 구비한 제2 하우징;을 포함하고,
상기 'V'자형 구조의 제1 하부면 또는 제2 하부면에 상기 피팅부를 지지하고, 상기 제1 하우징 또는 제2 하우징 중 어느 하나를 순방향 배치하고 다른 하나를 역방향으로 배치하여, 상기 제1 가이드 리브가 상기 제2 걸림홈과 결합되고 상기 제2 가이드 리브가 상기 제1 걸림홈에 결합되어 락킹 체결되는 것을 특징으로 하는 피팅 락 장치를 제공한다.
상기 'V'자형 구조의 제1 하부면 또는 제2 하부면에 상기 피팅부를 지지하고, 상기 제1 하우징 또는 제2 하우징 중 어느 하나를 순방향 배치하고 다른 하나를 역방향으로 배치하여, 상기 제1 가이드 리브가 상기 제2 걸림홈과 결합되고 상기 제2 가이드 리브가 상기 제1 걸림홈에 결합되어 락킹 체결되는 것을 특징으로 하는 피팅 락 장치를 제공한다.
Description
본 고안은 피팅락 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 피팅 락의 시공 및 탈착이 간단하며 복잡한 가스 라인 구조의 협소한 공간에서도 쉽게 탈부착이 가능한 피팅락 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 팹에는 반도체 제조공정상의 각 공정별로 필요한 다양한 가스 또는 약품을 공정 챔버로 이송할 필요가 있다. 이를 위해, 도 1에 도시된 바와 같이, 반도체 팹에는 무수히 많은 배관과 이들 배관을 연결하는 피팅 장치가 구비된다.
특히, 반도체 제조공정에 사용되는 가스 및 약품 중에는 인체에 유해한 가스가 사용되고 있어 외부 충격이나 진동 등으로 상기 배관을 연결하는 피팅 부분이 느슨해지게 되면 유독가스 유출사고로 이어질 수 있다.
이에 상기 배관을 연결하는 피팅 부분이 풀리지 않도록 피팅락이 설치될 필요가 있다.
선행기술로서 한국공개특허 10-2010-0037192호(밸브 고정 장치), 한국등록특허 10-1643951호(반도체 제조설비의 가스 피팅 락 디바이스), 한국공개특허 10-2020-0017716호(반도체 배관라인 접속밸브용 락디바이스)에서 다양한 형태의 피팅락이 개시되어 있다.
그러나, 반도체 팹 내부에 무수히 많은 피팅이 있어 체결/해체 시간을 단축시킬 필요가 있는데, 전술한 피팅락은 복잡한 구조로 인해 설치 및 해제에 다수의 시간이 소요되고 협소한 공간에서 설치하기 어려운 문제점이 있다.
본 고안은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 유체를 공급하는 배관과 연결부분에서 외부의 충격이나 진동에 따른 피팅부 풀림을 방지하고 가스 누출 유무를 육안으로 확인하여 가스 누출 확산을 조기 예방할 수 있는 피팅 락 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 피팅 락의 시공 및 탈착이 간단하며 복잡한 가스 라인 구조의 협소한 공간에서도 쉽게 탈부착이 가능한 피팅락 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
본 고안의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
이를 위해 본 고안에 따른 피팅락 장치는, 유체를 이동시키는 제1 배관에 구비된 제1 크기의 고정 피팅부와, 상기 제1 배관과 연통되는 제2 배관에 회전하게 구비되고 제1 크기보다 큰 제2 크기의 체결 피팅부를 포함하는 피팅부; 제1 상부면은 개방되고 상호 대칭되는 2개의 제1 하부면이 'V'자형의 구조를 형성하고, 상기 제1 하부면의 상부에 소정 높이를 갖고 길이 방향으로 연장되는 상호 대칭되는 2개의 제1 가이드 리브와, 상기 제1 하부면의 일측에 상기 제1 배관 또는 2 배관이 유입되어 지지되는 제1 측면부와, 상기 제1 가이드 리브의 일측과 상기 제1 측면부가 결합되는 부분에 형성되는 2개의 상호 대칭되는 제1 걸림홈을 구비한 제1 하우징; 및 상기 제1 하우징과 동일한 형태이며, 제2 상부면과, 제2 하부면과, 제2 가이드 리브와, 제2 측면부와, 제2 걸림홈을 구비한 제2 하우징;을 포함하고,
상기 'V'자형 구조의 제1 하부면 또는 제2 하부면에 상기 피팅부를 지지하고, 상기 제1 하우징 또는 제2 하우징 중 어느 하나를 순방향 배치하고 다른 하나를 역방향으로 배치하여, 상기 제1 가이드 리브가 상기 제2 걸림홈과 결합되고 상기 제2 가이드 리브가 상기 제1 걸림홈에 결합되어 락킹 체결되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제1 하우징에는 상기 2개의 제1 가이드 리브의 타측 중에서 어느 하나에 형성되는 제1 걸림턱 돌기를 더 포함하고, 상기 제2 하우징에는 상기 2개의 제2 가이드 리브의 타측 중에서 어느 하나에 형성되는 제2 걸림턱 돌기를 더 포함하여, 상기 제1 걸림턱 돌기와 상기 제2 걸림턱 돌기를 상호 마주보는 방향으로 밀어주는 원터치로 락킹 해제하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 'V'자형 구조의 제1 하부면 또는 제2 하부면에 소정 간격을 두고 다수개 형성되어 상기 피팅부에서 누설되는 소정 가스를 감지할 수 있는 가스 감지부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 하부면 또는 제2 하부면에서, 일면에는 오존 또는 할로겐 계열을 감지할 수 리트머스 특수지가 부착될 수 있고, 타면에는 산성 또는 알카리성을 감지할 수 있는 리트머스 특수지가 부착되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 고정 피팅부 또는 체결 피팅부의 크기에 따라 접촉하는 제1 하부면 또는 제2 하부면의 'V'자 골의 폭과 깊이를 조절하여 고정력을 강화시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 체결 피팅부와 결합되는 제1 하부면 또는 제2 하부면의 접촉부분의 'V'자 골의 폭과 깊이가 상기 고정 피팅부와 결합되는 제1 하부면 또는 제2 하부면의 접촉부분의 'V'자 골의 폭과 깊이보다 상대적으로 깊이가 크고 폭이 넓은 것을 특징으로 한다.
본 고안은, 동일한 형태의 제1 하우징 또는 제2 하우징 구조의 슬라이딩 결합 구조를 통해 피팅 락의 시공 및 탈착이 간단하며 복잡한 가스 라인 구조의 협소한 공간에서도 쉽게 탈부착이 가능한 장점이 있다.
또한, 유독 가스 누출 유무를 육안으로 확인하여 가스 누출 확산을 조기 예방할 수 있게 한다.
도 1은 일반적인 반도체 팹에서의 배관 및 피팅 장치를 나타낸 도면,
도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 팹용 피팅 락 장치(100)를 나타낸 사시도,
도 3은 도 1의 피팅 락 장치(100)의 분해 사시도,
도 4는 본 고안의 다른 실시예에 따른 반도체 팹용 피팅 락 장치(200)를 나타낸 사시도,
도 5는 도 4의 피팅 락 장치(200)의 분해 사시도,
도 6 내지 도 10은 본 고안의 다른 실시예에 따른 피팅 락 장치(200)에서 제1 내지 제4 가스 감지부를 이용한 리트머스 테스트 및 가스 검지 결과를 예시한 도면,
도 11은 본 고안의 또 다른 실시예에 따른 반도체 팹용 피팅 락 장치(300)의 분해 사시도,
도 12는 본 고안의 다른 실시예에 따른 피팅 락 장치(200)의 제1 하우징(210)과 제2 하우징(220)이 슬라이딩 결합되어 락킹되는 과정을 예시한 도면,
도 13은 본 고안의 다른 실시예에 따른 피팅 락 장치(200)의 제1 하우징(210)과 제2 하우징(220)의 락킹 해제 과정을 예시한 도면이다.
도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 팹용 피팅 락 장치(100)를 나타낸 사시도,
도 3은 도 1의 피팅 락 장치(100)의 분해 사시도,
도 4는 본 고안의 다른 실시예에 따른 반도체 팹용 피팅 락 장치(200)를 나타낸 사시도,
도 5는 도 4의 피팅 락 장치(200)의 분해 사시도,
도 6 내지 도 10은 본 고안의 다른 실시예에 따른 피팅 락 장치(200)에서 제1 내지 제4 가스 감지부를 이용한 리트머스 테스트 및 가스 검지 결과를 예시한 도면,
도 11은 본 고안의 또 다른 실시예에 따른 반도체 팹용 피팅 락 장치(300)의 분해 사시도,
도 12는 본 고안의 다른 실시예에 따른 피팅 락 장치(200)의 제1 하우징(210)과 제2 하우징(220)이 슬라이딩 결합되어 락킹되는 과정을 예시한 도면,
도 13은 본 고안의 다른 실시예에 따른 피팅 락 장치(200)의 제1 하우징(210)과 제2 하우징(220)의 락킹 해제 과정을 예시한 도면이다.
본 고안의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 고안은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 고안의 개시가 완전하도록 하며, 본 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 고안의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 고안은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 고안의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 도시된 것이며, 본 고안이 도시된 구성의 크기 및 두께에 반드시 한정되는 것은 아니다.
본 고안의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하며, 당업자가 충분히 이해할 수 있듯이 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시 가능할 수도 있다.
이하에서 첨부된 도면을 참고하여 본 고안의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명한다.
먼저, 반도체 팹에는 반도체 제조공정상의 각 공정별로 필요한 다양한 가스 또는 약품을 공정 챔버로 이송하는 많은 배관과 이들 배관을 연결하는 피팅 장치가 구비된다. 가령, 이러한 피팅 장치는 반도체 제조공정 사용되는 유체(가령, 가스 또는 약품)를 이동시키는 제1 배관(11)에 구비된 제1 크기의 고정 피팅부(10)와, 상기 제1 배관(11)과 연통되는 제2 배관(21)에 회전하게 구비되고 제1 크기보다 큰 제2 크기의 체결 피팅부(20)를 구비할 수 있다. 이때, 고정 피팅부(10)는 제1 배관(11)에 구비된 제1 크기의 육각형 단면을 가진 육각 기둥 형상을 가진 것이다. 또한, 체결 피팅부(20)는 제1 배관(11)과 연통되는 제2 배관(21)에 회전하게 구비되고, 제1 크기보다 큰 제2 크기의 육각형 단면을 가지며 제1 배관(11)의 단부에 구비된 연결부(15)를 수용하여 체결하는 육각 기둥 형상을 가진 것이다(후술하는 도 7 및 도 8 참조).
상기 제1 배관(11)과 제2 배관(21)을 연결하는 피팅부(피팅 장치)가 풀리지 않도록 본 고안에 따른 바람직한 실시예에 따른 반도체 팹용 피팅 락 장치(100, 200, 300)이 설치된다.
도 2는 본 고안의 제1 실시예에 따른 반도체 팹용 피팅 락 장치(100)를 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 1의 피팅 락 장치(100)의 분해 사시도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 고안의 제1 실시예에 따른 반도체 팹용 피팅 락 장치(100)는 제1 배관(11)과 제2 배관(21)을 연결하는 피팅부를 피팅 락킹(locking)하거나 락킹해제 할 수 있다.
또한, 본 고안의 피팅락 장치(100)는 상기 좌우가 동일한 형태의 제1 하우징(110)과 제2 하우징(120)을 구비하고, 제1 하우징(110) 또는 제2 하우징(120)을 상호 결합하여 고정 피팅부(10)와 체결 피팅부(20)를 장착하게 된다. 이때, 제1 및 제2 하우징(200)(300)은 동일한 형태의 구조이며 상호 대칭 구조를 가지며 하나는 순방향 배치하고 다른 하나를 역방향으로 배치하여 이들을 상호 슬라이딩 결합하여 피팅락 장치를 구성하게 된다. 또한, 제1 하우징(110)과 제2 하우징(120)은 슬라이딩 락킹 체결되는 구조이며, 원터치형으로 락킹 해제 구조이다.
또한, 제1 하우징(110)과 제2 하우징(120)은 투명 재질로서 가스 누출 발생 우려가 있어 내독성, 내유성 재질 특성이 필요하다.
먼저, 제1 하우징(110)과 제2 하우징(120)은 결합되어 락킹되면 전체적으로 외부는 원통 형태(115, 125)를 가지며, 내부는 육각형 구조를 갖는다. 또한, 제1 하우징(110)과 제2 하우징(120)은 전체 원통 형태과 육각 형태의 절반 형태로 구비될 수 있다.
가령, 제1 하우징(110)은 외부는 반원통 형태를 가지나, 내부면은 절반의 육각 구조로 구성된다. 이때, 상부면은 개방되고, 상호 대칭되는 2개의 하부면(111)이 'V'자형의 구조를 형성한다. 여기서, 'V'자형과 연결된 육각형(116, 126)의 절반 형태는 고정 피팅부(10) 및 체결 피팅부(20)의 6면체의 볼트 또는 너트의 면과 크기는 다르지만 동일한 육각 구조와 맞닿아 고정될 수 있어 외부의 충격이나 진동에도 쉽게 이탈하지 않도록 풀림 방지가 가능하게 한다.
또한, 상기 하부면(111)의 상부에 소정 높이를 갖고 길이 방향으로 연장되는 상호 대칭되는 2개의 제1 가이드 리브(113a, 113b)를 구비한다.
또한, 상기 하부면의 일측에는 제1 배관(11) 또는 제2 배관(21)이 유입되어 지지되는 U자형 개구부를 구비한 제1 U자형 측면부(112)가 형성된다. 이때, 2개의 제1 가이드 리브(113a, 113b)와 상기 제1 U자형 측면부(112)가 결합되는 부분에는 2개의 상호 대칭되는 제1 걸림홈(112a, 112b)이 형성될 수 있다.
또한, 제1 걸림홈(112a, 112b)과 연결되지 않는 제1 가이드 리브(113a, 113b)의 타측에는 제1 걸림턱 돌기(114)가 형성될 수 있다. 이때, 상기 걸림턱 돌기(114)는 2개의 제1 가이드 리브 중 어느 하나(113a)에 형성될 수 있고, 제1 가이드 리브의 측면에 돌기 형태로 연장되어 결합되는 형태로 구비될 수 있다.
제2 하우징(120)은 상기 제1 하우징(110)과 동일한 형태를 가지며, 제2 상부면과, 제2 하부면(121)과, 제2 가이드 리브(123a, 123b)와, 제2 U자형 측면부(122)와, 제2 걸림홈(122a, 122b)와, 제2 걸림턱 돌기(124)를 구비한다. 여기서, 기능 및 구조가 제1 하우징과 동일하므로 자세한 설명을 생략한다.
이를 통해, 상기 'V'자형 구조의 제1 하부면(111) 또는 제2 하부면(121) 중 둘 중 어느 하나에서 상기 피팅부를 지지할 수 있다.
이어, 상기 제1 하우징(110) 또는 제2 하우징(120) 중 어느 하나를 순방향 배치하고 다른 하나를 역방향으로 배치할 수 있으나, 도 2 및 도 3에서는 제1 하우징(110)을 하부에 배치하고 제2 하우징(120)을 뒤집어 상부에 배치하여, 상기 제1 가이드 리브(113a, 113b)가 상기 제2 걸림홈(122a, 122b)와 결합되고 상기 제2 가이드 리브(123a, 123b)가 상기 제1 걸림홈(112a, 112b)에 결합되어 락킹 체결될 수 있다.
가령, 제1 및 제2 하우징(110)(120)는 상호간에 순방향과 역방향 배치로 맞물리게 결합되게 되는데, 이때, 상기 제1 및 제2 하우징(110)(120)의 개방된 상부면에서 양측 가장자리를 따라 길이 방향으로 상호 평행하게 각각 연장되는 제1 가이드 리브(113a, 113b)와 뒤집힌 구조에 따라 역배치된 제2 가이드 리브(123a, 123b)가 서로 맞물리게 접촉하면서 상호 대응하는 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 제1 가이드 리브(113a, 113b)가 상기 제2 걸림홈(122a, 122b)와 결합되고 상기 제2 가이드 리브(123a, 123b)가 상기 제1 걸림홈(112a, 112b)에 결합되면서 서로 맞무리게 접촉하면서 슬라이딩 결합되는 형태로 락킹 체결될 수 있다.
게다가, 제1 하우징(110)과 제2 하우징(120)이 슬라이딩 결합되어 락킹 체결상태에서, 일측에서 제1 걸림홈(112a)에 제2 걸림턱 돌기(124)가 결합되고, 타측에서 제2 걸림홈(122a)에 제1 걸림턱 돌기(114)가 홈/돌기 결합되어 결합 이탈을 방지할 수 있게 하여 고정력을 강화시킬 수 있다.
또한, 일직선 상에서 일측에서 제2 걸림턱 돌기(124)가 결합되고 타측에서 1 걸림턱 돌기(114)가 결합되어 있는 상태에서, 사용자는 한 손으로 상기 제1 걸림턱 돌기(114)와 상기 제2 걸림턱 돌기(124)를 상호 마주보는 방향으로 밀어주는 원터치로 락킹 해제할 수 있어 사용자 편의성을 제공한다.
도 4는 본 고안의 다른 실시예에 따른 반도체 팹용 피팅 락 장치(200)를 나타낸 사시도이고, 도 5는 도 4의 피팅 락 장치(200)의 분해 사시도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 고안의 다른 실시예에 따른 피팅 락 장치(200)는 상기 좌우가 동일한 형태의 제1 하우징(210)과 제2 하우징(220)을 구비하고, 제1 하우징(210) 또는 제2 하우징(220)을 상호 결합하여 고정 피팅부(10)와 체결 피팅부(20)를 장착하게 된다. 이때, 제1 및 제2 하우징(210)(220)은 동일한 형태의 구조이며 상호 대칭 구조를 가지며 하나는 순방향 배치하고 다른 하나를 역방향으로 배치하여 이들을 상호 슬라이딩 결합하여 피팅락 장치를 구성하게 된다. 또한, 제1 하우징(210)과 제2 하우징(220)은 슬라이딩 락킹 체결되는 구조이며, 원터치형으로 락킹 해제 구조이다.
이와 같이, 본 고안의 다른 실시예에 따른 피팅 락 장치(200)는 도 2 및 도 3에서 설명한 피팅 락 장치(100)과 동일한 구성요소를 가지며, 동일한 작동 원리를 가진다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭하며 이에 대한 자세한 설명을 생략한다.
이에 도 2 및 도 3에서 설명한 피팅 락 장치(100)와 차이점 위주로 설명한다.
즉, 도 4 및 도 5를 참조하면, 본 고안의 다른 실시예에 따른 피팅 락 장치(200)에서 제1 하우징(210) 또는 제2 하우징(220)의 'V'자형의 하부면(210)에서 일면에는 오존 또는 할로겐 계열을 감지할 수 리트머스 특수지가 부착되는 제1 및 제2 가스 감지부(217a, 217b)가 형성되고, 타면에는 산성 또는 알카리성을 감지할 수 있는 리트머스 특수지가 부착되는 제3 및 제4 가스 감지부(217c, 217d)가 형성된다. 이때, 제1 내지 제4 가스 감지부(217a 내지 217d)는 소정 간격을 두고 이격되어 설치되고, 상호 대칭적으로 배치되어 감지 소외 구간을 제거할 수 있게 한다.
도 6 내지 도 10은 본 고안의 다른 실시예에 따른 피팅 락 장치(200)에서 제1 내지 제4 가스 감지부를 이용한 리트머스 테스트 및 가스 검지 결과를 예시한 도면이다.
즉, 'V'자형의 하부면에(211, 221)는 일면에는 오존 또는 할로겐 계열을 감지할 수 리트머스 특수지(217a, 217b, 227a, 227b)가 부착되고, 타면에는 산성 또는 알카리성을 감지할 수 있는 리트머스 특수지(217c, 217d, 227c, 227d)가 부착된다. 이와 같이, 피팅락 내부에는 2 종류의 특수 리트머스 원단이 부착되어 유독가스의 유출 여부를 바로 확인할 수 있다.
도 6을 참조하면, FAB 내에 공급되는 Toxin Gas line 피팅부(fitting)의 풀림 방지 및 가스 누설(leak) 상태를 육안으로 확인할 수 있고, 환경 안전 사고를 초동 대처 및 대응하여 유독 가스 누출을 조기에 차단할 수 있게 한다.
도 7을 참조하면, 리트머스 변색 테스트를 통해 약제의 가스별 특성에 따라 검지색이 변함을 확인할 수 있다.
가령, 가스 누출 여부에 따라, 기존 노란색(중성)에서 염기성 가스 누출의 경우에는 파란색(푸른 색 계통)으로 변하고, 산성 가스 누출의 경우에는 자주색(붉은 색 계통)으로 변한다. 또한, O3 가스 누출의 경우에는 기존 살색에서 보라색으로 변한다.
도 8은 리트머스 테스트 원단의 두께에 따른 반응성 평가 결과를 나타낸 것이다. 도 8을 참조하면, 실리카 원단(1mm) 두께 때문에 누출 가스가 원단 외부까지 짧은 시간내에 침투가 되지 않아 육안상 변색이 안되며 장시간 노출이 필요한 단점이 있다.
반면에, 실리카 원단(0.45mm)로 변경 후에 가스 노출 후에는 즉각적 반응이 이루어져 원단 두께를 0.45mm 이하로 줄일 수록 반응성이 좋음을 확인할 수 있다.
도 9는 화학 약품 및 가스의 테스트 결과를 나타낸 것이며, 도 10은 가스 검지 리스트 및 그 결과를 나타낸 것이다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 산성의 염산 누출시 붉은색(red)을 검지할 수 있고, 염기성의 암모니아 누출시 파란색(blue)를 검지할 수 있어 유해 가스 누출 여부를 육안으로 쉽게 확인할 수 있음을 알 수 있다.
이를 통해 육안으로 리트머스의 색변화를 통해 유독 가스 누출 여부를 사전 검출할 수 있고, 환경 안전 사고를 초동 대처 및 대응하여 가스 누출의 확산을 조기 차단할 수 있다.
도 11은 본 고안의 또 다른 실시예에 따른 반도체 팹용 피팅 락 장치(300)의 분해 사시도이다.
도 11을 참조하면, 본 고안의 또 다른 실시예에 따른 피팅 락 장치(300)는 상기 좌우가 동일한 형태의 제1 하우징(310)과 제2 하우징(320)을 구비하고, 제1 하우징(310) 또는 제2 하우징(320)을 상호 결합하여 고정 피팅부(10)와 체결 피팅부(20)를 장착하게 된다. 이때, 제1 및 제2 하우징(310)(320)은 동일한 형태의 구조이며 상호 대칭 구조를 가지며 하나는 순방향 배치하고 다른 하나를 역방향으로 배치하여 이들을 상호 슬라이딩 결합하여 피팅락 장치를 구성하게 된다. 또한, 제1 하우징(310)과 제2 하우징(320)은 슬라이딩 락킹 체결되는 구조이며, 원터치형으로 락킹 해제 구조이다.
이와 같이, 본 고안의 또 다른 실시예에 따른 피팅 락 장치(300)는 도 2 및 도 3에서 설명한 피팅 락 장치(100)과 동일한 구성요소를 가지며, 동일한 작동 원리를 가진다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭하며 이에 대한 자세한 설명을 생략한다.
이에 도 2 및 도 3에서 설명한 피팅 락 장치(100)와 차이점 위주로 설명한다.
즉, 도 11을 참조하면, 본 고안의 다른 실시예에 따른 피팅 락 장치(300)에서 제1 하우징(310) 또는 제2 하우징(320)의 'V'자형의 제1 및 제2 하부면(311, 321)은 고정 피팅부(10) 및 체결 피팅부(20)의 6면체의 볼트 또는 너트의 면과 크기는 다르지만 동일한 육각 구조와 맞닿아 고정될 수 있다.
이때, 고정되는 볼트 또는 너트의 면과 크기가 서로 다르기 때문에 고정력을 강화하기 위해 'V'자형 제1 하부면(311)의 'V'자 골의 폭과 깊이를 조절할 필요가 있다.
가령, 전반부(316a, 326a)는 암나사 육각 볼트가 안착되는 부분으로 'V'자 골의 폭이 좁고 깊이가 작은 것이 바람직하다.
반면에, 체결 피팅부(20)와 결합되는 제1 하부면(311) 또는 제2하부면(321)의 후반부(316b, 326b)는 수나사 육각 볼트가 안착되는 부분으로 'V'자 골의 폭이 고정 피팅부(10)와 결합되는 제1 하부면(311) 또는 제2하부면(321)의 좁고 깊이가 상기 전반부(316a, 326a)와 비교하여 상대적으로 깊이가 크고 폭이 넓은 것이 바람직하다.
이를 통해 고정되는 볼트 또는 너트의 면과 크기에 따라 접촉하는 'V'자형 제1 하부면(311)의 'V'자 골의 폭과 깊이를 조절하여 고정력을 강화시켜, 외부의 충격이나 진동에도 쉽게 이탈하지 않도록 풀림 방지가 가능하게 한다.
도 12는 본 고안의 다른 실시예에 따른 피팅 락 장치(200)의 제1 하우징(210)과 제2 하우징(220)이 슬라이딩 결합되어 락킹되는 과정을 예시한 도면이고, 도 13은 본 고안의 다른 실시예에 따른 피팅 락 장치(200)의 제1 하우징(210)과 제2 하우징(220)의 락킹 해제 과정을 예시한 도면이다.
도 12 및 도 13을 참조하면, 본 고안의 다른 실시예를 중심으로 설명하나, 도 2 및 도 3에서 설명한 일 실시예나 도 11에서 설명한 또 다른 실시예도 모두 피팅 락 장치의 제1 하우징과 제2 하우징이 슬라이딩 결합되어 락킹되는 과정과 락킹 해제 과정은 동일하므로 설명상의 편의를 도모한다.
도 12 및 도 13을 참조하면, 본 고안은 제1 하우징(210)과 제2 하우징(220)이 동일한 형태이므로, 가령 제1 하우징(210)에서 고정 피팅부(10)와 연결부(15) 및 체결 피팅부(20)가 안착 고정되게 하면, 제2 하우징(220)은 뒤집은 형태에서 상기 제1 하우징(210)과 결합되어 전체적으로 상기 고정 피팅부(10)와 연결부(15) 및 체결 피팅부(20)를 전체적으로 커버하게 된다.
반대로 제2 하우징(220)을 하부로 하여 고정부재 설치할 수 있고 제1 하우징(210)을 역배치하여 슬라이딩 결합하는 형태로도 구현할 수 있으므로, 둘 중 어느 하나를 하부로 고정부재로 설치하면 다른 하나는 역배치로 뒤집어서 고정부재와 슬라이딩 결합하여 커버하는 형태로 구현될 수 있어 피팅 락의 시공 및 탈착시 어느 것을 고정 부재로 할 것으로 하는 가에 대한 고민할 필요가 없어 시공시의 시간을 단축하게 할 수 있다.
또한, 제1 하우징(210)과 제2 하우징(220)은 슬라이딩 체결되며, 상기 제1 및 제2 하우징의 가이드 리브가 슬라이딩 체결을 원활히 안내하고, 각 가이드 리브의 걸림홈과 걸림턱 돌기에서 상호 결합시의 이탈을 방지할 수 있어, 비교적 간단한 구성으로도 조립 체결이 용이하게 이루어질 수 있으므로, 작업의 편의성을 향상시킬 수 있다.
그리고, 본 고안은 외부로부터 돌출되거나 회동하는 등의 노출된 추가적인 구성 부재가 일체 없으므로, 불필요한 부품 갯수를 줄이고 장치 전체의 경량화 및 컴팩트화 구현이 가능함은 물론, 내구성의 향상이 가능하게 된다.
본 고안은 상기와 같은 실시예의 적용이 가능하며, 다음과 같은 다양한 실시예의 적용 또한 가능함은 물론이다.
전술한 체결 범위는 제1 및 제2 하우징의 가이드 리브의 길이가 동일하여야 할 것이며, 상호 어느 쪽의 길이보다 길어지게 되면, 결합하는 제1 및 제2 하우징(200)(300)은 상호 가이드 리브에서 정확하게 맞물리지 못하고 이탈되거나 어긋나 버릴 것이기 때문이다.
특히, 제1 하우징의 제1 가이드 리브의 안내면에 제2 하우징의 제2 가이드 리브의 안내면이 상호 맞물리면서 슬라이딩 결합하게 된다. 이때, 제1 가이드 리브의 걸림턱 돌기가 제2 가이드 리브의 걸림홈의 일측에 결합되고, 제2 가이드 리브의 걸림턱 돌기가 제1 가이드 리브의 걸림홈의 타측에 결합되어, 홈/돌기 결합 형태로 안착 고정되게 된다. 이를 통해, 제1 하우징과 제2 하우징이 상하부에서 상호 슬라이딩 결합되면서 견고하게 안착 고정된 상태를 유지할 수 있게 한다.
또한, 도 13에 도시된 바와 같이, 양방향에서 상기 걸림턱 돌기를 상호 마주보도록 함께 밀면 원터치 형태로 락킹 구조가 쉽게 해제될 수 있게 된다.
이를 통해, 본 고안에 따른 피팅 락 장치는 시공 및 탈착이 간단하여 복잡한 가스 라인 구조의 협소한 공간에서도 쉽게 탈부착이 가능한 장점이 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 실시예들을 설명하였지만, 본 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 고안의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100, 200, 300: 피팅 락 장치
110, 210, 310: 제1 하우징
120, 220, 320: 제2 하우징
110, 210, 310: 제1 하우징
120, 220, 320: 제2 하우징
Claims (6)
- 유체를 이동시키는 제1 배관에 구비된 제1 크기의 고정 피팅부와, 상기 제1 배관과 연통되는 제2 배관에 회전하게 구비되고 제1 크기보다 큰 제2 크기의 체결 피팅부를 포함하는 피팅부;
제1 상부면은 개방되고 상호 대칭되는 2개의 제1 하부면이 'V'자형의 구조를 형성하고, 상기 제1 하부면의 상부에 소정 높이를 갖고 길이 방향으로 연장되는 상호 대칭되는 2개의 제1 가이드 리브와, 상기 제1 하부면의 일측에 상기 제1 배관 또는 2 배관이 유입되어 지지되는 제1 측면부와, 상기 제1 가이드 리브의 일측과 상기 제1 측면부가 결합되는 부분에 형성되는 2개의 상호 대칭되는 제1 걸림홈을 구비한 제1 하우징; 및
상기 제1 하우징과 동일한 형태이며, 제2 상부면과, 제2 하부면과, 제2 가이드 리브와, 제2 측면부와, 제2 걸림홈을 구비한 제2 하우징;을 포함하고,
상기 'V'자형 구조의 제1 하부면 또는 제2 하부면에 상기 피팅부를 지지하고,
상기 제1 하우징 또는 제2 하우징 중 어느 하나를 순방향 배치하고 다른 하나를 역방향으로 배치하여, 상기 제1 가이드 리브가 상기 제2 걸림홈과 결합되고 상기 제2 가이드 리브가 상기 제1 걸림홈에 결합되어 락킹 체결되는 것을 특징으로 하는 피팅 락 장치. - 제1항에 있어서,
상기 제1 하우징에는 상기 2개의 제1 가이드 리브의 타측 중에서 어느 하나에 형성되는 제1 걸림턱 돌기를 더 포함하고,
상기 제2 하우징에는 상기 2개의 제2 가이드 리브의 타측 중에서 어느 하나에 형성되는 제2 걸림턱 돌기를 더 포함하여,
상기 제1 걸림턱 돌기와 상기 제2 걸림턱 돌기를 상호 마주보는 방향으로 밀어주는 원터치로 락킹 해제하는 것을 특징으로 하는 피팅 락 장치. - 제1항에 있어서,
상기 'V'자형 구조의 제1 하부면 또는 제2 하부면에 소정 간격을 두고 다수개 형성되어 상기 피팅부에서 누설되는 소정 가스를 감지할 수 있는 가스 감지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 피팅 락 장치. - 제3항에 있어서,
상기 제1 하부면 또는 제2 하부면에서,
일면에는 오존 또는 할로겐 계열을 감지할 수 리트머스 특수지가 부착될 수 있고, 타면에는 산성 또는 알카리성을 감지할 수 있는 리트머스 특수지가 부착되는 것을 특징으로 하는 피팅 락 장치. - 제1항에 있어서,
상기 고정 피팅부 또는 체결 피팅부의 크기에 따라 접촉하는 제1 하부면 또는 제2 하부면의 'V'자 골의 폭과 깊이를 조절하여 고정력을 강화시키는 것을 특징으로 하는 피팅 락 장치. - 제5항에 있어서,
상기 체결 피팅부와 결합되는 제1 하부면 또는 제2 하부면의 접촉부분의 'V'자 골의 폭과 깊이가 상기 고정 피팅부와 결합되는 제1 하부면 또는 제2 하부면의 접촉부분의 'V'자 골의 폭과 깊이보다 상대적으로 깊이가 크고 폭이 넓은 것을 특징으로 하는 피팅 락 장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2020210003440U KR200497141Y1 (ko) | 2021-11-11 | 2021-11-11 | 반도체 팹용 피팅 락 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2020210003440U KR200497141Y1 (ko) | 2021-11-11 | 2021-11-11 | 반도체 팹용 피팅 락 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20230001018U true KR20230001018U (ko) | 2023-05-18 |
| KR200497141Y1 KR200497141Y1 (ko) | 2023-08-08 |
Family
ID=86541740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2020210003440U KR200497141Y1 (ko) | 2021-11-11 | 2021-11-11 | 반도체 팹용 피팅 락 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR200497141Y1 (ko) |
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