KR20220169837A - 프로버의 버퍼 트레이 장치 - Google Patents

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Abstract

웨이퍼 이송 로봇에게 스택킹 공간을 제공하는 동시에 웨이퍼에게 적정 환경을 제공할 수 있는 프로버의 버퍼 트레이 장치가 개시된다. 본 발명에 일 실시예에 따른 프로버의 버퍼 트레이 장치는 검사 챔버에 웨이퍼를 공급하기 위한 이송로봇과 함께 이동하면서 선택적으로 웨이퍼를 수용하는 프로버의 버퍼 트레이 장치로서, 일면에 상기 웨이퍼를 이송로봇의 이송 핸드가 반입 및 반출하기 위한 슬릿이 구비된 케이스; 상기 케이스 내부에 상기 웨이퍼가 한 장씩 각 층마다 프리 얼라인되어 적층될 수 있도록 복수개의 층으로 이루어진 스택 모듈; 및 상기 스택 모듈에 수납된 웨이퍼 중 하나를 선택하여 상기 슬릿을 통하여 반출할 수 있도록 상기 스택 모듈을 상기 케이스 내부에서 승강시키는 스택 모듈 구동부;를 포함할 수 있다.

Description

프로버의 버퍼 트레이 장치{Buffer tray apparatus for prober}
본 발명은 프로버의 버퍼 트레이 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 웨이퍼 이송 로봇에게 스택킹 공간을 제공하는 동시에 웨이퍼에게 적정 환경을 제공할 수 있는 프로버의 버퍼 트레이 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 검사 장비인 웨이퍼 프로버(Wafer prober)는 반도체 전공정(前工程)이 모두 완료된 웨이퍼를 대상으로 후공정(後工程)으로 들어가기 직전에, 웨이퍼 상에 만들어진 반도체 소자들의 전기적 특성을 검사하여 불량 유무를 확인하는 장비이다.
다수의 반도체 소자가 형성된 반도체 웨이퍼에 있어서, 각 반도체 소자의 전기적 특성 검사를 하기 위해, 웨이퍼 검사 장치로서 프로버가 이용되고 있다. 프로버는 웨이퍼와 대향하는 원판형 프로브 카드를 구비하고, 프로브 카드는 웨이퍼의 반도체 소자의 각 전극 패드나 각 솔더 범프와 대향하도록 배치되는 복수의 기둥형 접촉단자인 콘택트 프로브를 구비한다.
프로버에서는 프로브 카드의 각 콘택트 프로브가 반도체 소자의 전극 패드나 솔더 범프와 접촉하고 각 콘택트 프로브에서 각 전극 패드나 각 솔더 범프에 접속된 반도체 소자의 전기 회로로 검사 신호를 흐르게 함으로써 전기 회로의 도통 상태 등을 검사한다.
이때, 검사 대상물인 웨이퍼는 이송로봇에 의해 이송되는데, 종래 기술에서는 이송로봇인 로더가 반복하여 왕복 이동하는 구성을 가지는데, 어떠한 위치에 웨이퍼를 적치하는 순간 웨이퍼의 정렬이 흐트러지기 쉽기 때문에 한 장씩 공급하는 구조를 가진다.
그러나 종래기술에 의한 로더는 여러 개의 검사 챔버를 가지고 로더가 각 챔버에 웨이퍼를 한 장씩 이송하게 되면 작업 속도가 지연될 수밖에 없는 문제점이 있었다.
또한 종래기술에서는 웨이퍼 테스트 등의 작업 이후 웨이퍼가 온도 등의 환경적 요소에 의해 이슬이 맺히는 등의 환경적으로 대처하지 못하는 문제점이 있었다.
공개특허공보 제10-2001-0023014호
본 발명에 따르면 다수의 웨이퍼를 프리 얼라인된 상태로 유지, 수용할 수 있는 스택킹(버퍼) 공간을 이송로봇에 제공함으로써 이송로봇의 효율을 제고함과 동시에 스택킹 공간에 케이싱을 제공하고, 웨이퍼 반입출을 위한 슬릿을 구비함으로써 케이싱 내 환경(온도, 습도) 제어가 가능한 프로버의 버퍼 트레이 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일측면에 따른 프로버의 버퍼 트레이 장치는, 검사 챔버에 웨이퍼를 공급하기 위한 이송로봇과 함께 이동하면서 선택적으로 웨이퍼를 수용하는 프로버의 버퍼 트레이 장치로서, 일면에 상기 웨이퍼를 이송로봇의 이송 핸드가 반입 및 반출하기 위한 슬릿이 구비된 케이스; 상기 케이스 내부에 상기 웨이퍼가 한 장씩 각 층마다 프리 얼라인되어 적층될 수 있도록 복수개의 층으로 이루어진 스택 모듈; 및 상기 스택 모듈에 수납된 웨이퍼 중 하나를 선택하여 상기 슬릿을 통하여 반출할 수 있도록 상기 스택 모듈을 상기 케이스 내부에서 승강시키는 스택 모듈 구동부;를 포함할 수 있다.
이때, 상기 케이스 내부에 설치되어 상기 케이스 내부의 온도와 습도를 조절할 수 있도록 상기 케이스 내부에 에어를 공급하는 에어 공급 노즐을 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 케이스에는 상기 슬릿을 개폐하기 위한 도어가 설치될 수 있다.
이때, 상기 케이스는 상기 슬릿이 형성된 면에 외측 방향으로 웨이퍼의 형태를 따라 돌출된 라운드형 돌출부가 형성될 수 있다.
이때, 상기 케이스의 일부는 투명창으로 이루어질 수 있다.
이때, 상기 스택 모듈의 각 층에는 프리 얼라인된 웨이퍼가 안착되어 고정될 수 있도록 진공 흡착부가 형성될 수 있다.
이때, 상기 스택 모듈은 중앙에 이송 핸드가 승강할 수 있도록 중앙 절개부가 형성될 수 있다.
이때, 상기 에어 공급 노즐은 상기 케이스이 내부 상측부에 설치되어 하측방향으로 공기를 분사할 수 있다.
이때, 상기 이송로봇은 웨이퍼를 선택적으로 상기 스택 모듈에 공급하거나 프로버 스테이지로 공급할 수 있다.
상기의 구성에 따라, 본 발명에 따른 프로버의 버퍼 트레이 장치는, 스택 모듈에 안착된 웨이퍼가 프리 얼라인된 상태를 계속 유지할 수 있다.
본 발명에 따른 프로버의 버퍼 트레이 장치는, 웨이퍼들이 스택 모듈이 케이스 내부에 승강될 수 있도록 장착되고 건조 공기를 공급할 수 있기 때문에 웨이퍼의 환경을 최적으로 제어할 수 있다.
도 1은 본 발명에 일 실시예에 따른 프로버의 버퍼 트레이 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 일 실시예에 따른 프로버의 버퍼 트레이 장치의 케이스 전면을 제거한 상태의 사시도이다.
도 3은 본 발명에 일 실시예에 따른 프로버의 버퍼 트레이 장치의 일부 구성요소인 스택 모듈에 웨이퍼가 장착된 상태의 사시도이다.
도 4는 본 발명에 일 실시예에 따른 프로버의 버퍼 트레이 장치의 스택 모듈과 이송 핸드의 사시도이다.
도 5는 본 발명에 일 실시예에 따른 프로버의 버퍼 트레이 장치의 스택 모듈이 승강하는 모식도이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 단어와 용어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정 해석되지 않고, 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 발명자가 용어와 개념을 정의할 수 있는 원칙에 따라 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
그러므로 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 해당하고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것이 아니므로 해당 구성은 본 발명의 출원시점에서 이를 대체할 다양한 균등물과 변형예가 있을 수 있다.
본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 설명하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 다른 구성 요소와 바로 접하여 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 배치되는 것뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 구성 요소가 배치되는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소와 "연결"되어 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 서로 직접 연결되는 것뿐만 아니라 간접적으로 서로 연결되는 경우도 포함한다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명에 따른 프로버의 버퍼 트레이 장치를 설명한다.
본 발명에 일 실시예에 따른 프로버의 버퍼 트레이 장치는, 검사 챔버에 웨이퍼를 공급하기 위한 이송로봇과 함께 이동하면서 선택적으로 웨이퍼를 수용하는 프로버의 버퍼 트레이 장치이다.
본 발명에 일 실시예에 따른 프로버의 버퍼 트레이 장치(100)는, 도 1 내지 도 5를 참고하면, 케이스(120), 스택 모듈(110), 스택 모듈 구동부(130), 에어 공급 노즐(141a)을 포함할 수 있다.
상기 케이스(120)는, 도 1 내지 도 5를 참고하면, 일면에 상기 웨이퍼(1)를 이송로봇의 이송 핸드(21)가 반입 및 반출하기 위한 슬릿(120a)이 구비될 수 있다. 상기 슬릿(120a)은 최소 공간으로 형성되는 것이 바람직할 것이다.
이때, 상기 케이스(120)에는 상기 슬릿(120a)을 개폐하기 위한 도어가 설치될 수 있다. 여기서 상기 도어는 상하 또는 좌우 슬라이딩 방식이나 힌지 방식을 적용하여 개폐할 수 있다. 도어를 두는 이유는 케이스(120) 내부를 외부와 격리시켜 좀 더 적극적으로 환경 제어를 하기 위함이다.
이때, 상기 케이스(120)는 상기 슬릿(120a)이 형성된 면에 외측 방향으로 웨이퍼(1)의 형태를 따라 돌출된 라운드형 돌출부(121)가 형성될 수 있다. 여기서 도 1을 참고하면, 라운드형 돌출부(121)가 형성된 것이 도시되어 있다. 상기 라운드형 돌출부(121)의 형상을 도입함으로써 케이스(120) 내부 공간을 최소화하여 좀 더 환경 제어에 적합하도록 구성할 수 있다.
이때, 상기 케이스(120)의 일부는 투명창으로 이루어질 수 있다. 도 1을 참고하면 케이스(120)의 양측면(123)과 상부면(122)을 투명창으로 제작할 수 있다. 투명창에 의해 케이스(120) 내부 상태를 실시간으로 관찰하여 작동 상태나 문제 발생을 실시간으로 알 수 있게 된다.
이때, 상기 케이스(120)는 대체로 박스 형태로 이루어지고, 하부에는 스택 모듈(110)을 승강 구동하는 스택 모듈 구동부(130)가 설치된다. 또한 상기 케이스(120)는 이송 로봇의 일측에 고정되어 있기 때문에 이송로봇과 함께 이동할 수 있다.
이때, 상기 이송로봇은 웨이퍼(1)를 선택적으로 상기 스택 모듈(110)에 공급하거나 프로버 스테이지로 공급할 수 있다. 즉 이송로봇은 반드시 웨이퍼(1)를 케이스(120) 내부로 공급하는 것이 아니라, 상황에 따라 선택적으로 웨이퍼(1)를 케이스(120) 내부에 공급하거나 스택 모듈(110)을 거치지 않고 직접 프로버 스테이지로 공급할 수 있는 것이다.
상기 스택 모듈(110)은, 도 1 내지 도 5를 참고하면, 상기 케이스(120) 내부에 상기 웨이퍼(1)가 한 장씩 각 층마다 프리 얼라인되어 적층될 수 있도록 복수개의 층으로 이루어질 수 있다.
이때, 상기 스택 모듈(110)의 각 층에는, 도 4를 참고하면, 프리 얼라인된 웨이퍼(1)가 안착되어 고정될 수 있도록 진공 흡착부(111c)가 형성될 수 있다. 상기 진공 흡착부(111c)에 의해 프리 얼라인된 웨이퍼(1)가 프로버 스테이지로 이송되기 전까지 그 위치를 고수하게 되어 프리 얼라인된 상태를 유지할 수 있다.
이때, 상기 스택 모듈(110)은 판상형이 층을 이루도록 적층된 형태로 이루어지고, 각 층마다 웨이퍼(1)가 안착될 수 있도록 되어 있다. 즉 스택 모듈(110)은 판상형 안착 패널(111)의 모서리에 짧은 기둥(112)이 상하로 지지하도록 설치되어 층을 이루면서 적층된 형태를 가진다. 물론 각층의 판상형 안착 패널(111)은 스택 모듈(110)이 승강함에 따라 일체로 승강할 수 있는 바, 일체형으로 거동하게 된다. 또한 판상형 안착 패널(111)에는 웨이퍼(1)가 안착되는 안착 홈(111a)을 형성할 수도 있다.
이때, 상기 스택 모듈(110)은 중앙에 이송 핸드(21)가 승강할 수 있도록 중앙 절개부(111b)가 형성될 수 있다. 즉 이송 핸드(21)가 웨이퍼(1)를 이송할 수 있도록 판상형 안착 패널(111)마다 전체적으로 중앙 절개부(111b)가 형성되어 있다. 또한 웨이퍼(1)의 외측 테두리가 위치하는 부분에도 관통 절개부(111d)가 형성되어 케이스(120) 내부 공기의 분위기와 접촉면이 증대되도록 함으로써 전술한 환경 제어에 더욱 적합하도록 되어 있다.
상기 스택 모듈 구동부(130)는, 도 1 내지 도 5를 참고하면, 상기 스택 모듈(110)에 수납된 웨이퍼(1) 중 하나를 선택하여 상기 슬릿(120a)을 통하여 반출 및 반입할 수 있도록 상기 스택 모듈(110)을 상기 케이스(120) 내부에서 승강시킬 수 있다.
이때, 상기 스택 모듈 구동부(130)를 승강시키기 위한 작동체, 예를 들면 솔레노이드 작동체나 스텝모터의 최종 작동체는 상기 케이스(120)의 하부를 관통하여 설치되고, 스택 모듈 구동부(130)의 작동에 따라 케이스(120) 내부에서 스택 모듈(110) 전체를 승강시키게 된다. 이것은 각 층에 있는 웨이퍼(1)를 선택하여 반출 또는 반입할 때 해당 층의 판상형 안착 패널(111)이 슬릿(120a) 높이에 배치된 상태에 있어야 하기 때문이다. 따라서 상기 슬릿(120a)은 케이스(120)이 중간 높이에 형성될 수 있다.
이때, 상기 스택 모듈 구동부(130)는 상기 케이스(120) 하부에 설치 고정되어 상기 스택 모듈(110)을 케이스(120)에 대하여 상대적으로 승강시키면서 높이를 제어할 수 있는 다양한 기술 구성을 가질 수 있다.
상기 에어 공급 노즐(141a)은, 도 1 및 도 2를 참고하면, 상기 케이스(120) 내부에 설치되어 상기 케이스(120) 내부의 온도와 습도를 조절할 수 있도록 상기 케이스(120) 내부에 에어를 공급할 수 있다.
이때, 상기 에어 공급 노즐(141a)은 상기 케이스(120)의 내부 상측부에 설치되어 하측방향으로 공기를 분사할 수 있다.
이때, 상기 에어 공급 노즐(141a)은 에어 공급관(141)에 복수개가 형성되어 건조 공기를 케이스(120) 내부로 공급하게 된다. 예를 들면, 웨이퍼(1)가 저온 상태에서 스택 모듈(110)에 공급되면 외기와의 온도차에 의해 응축수가 웨이퍼(1)에 맺힐 수 있기 때문에 건조 공기를 공급함으로써 응축수 발생을 차단하고, 동시에 열교환이 신속히 진행되도록 함으로써 웨이퍼(1)의 환경을 최적으로 제어할 수 있게 된다.
본 발명에 일 실시예에 따른 프로버의 버퍼 트레이 장치(100)가 프로버의 일부에 장착된 상태를 알 수 있다. 프로버에서 이송로봇은 레일을 따라 좌우 상하로 이동하면서 웨이퍼(1)를 프로버 스테이지로 공급하게 된다. 이때 프로버의 버퍼 트레이 장치(100)가 이송로봇에 고정되어 있기 때문에 이송로봇과 함께 일체로 이동이 이루어지게 된다. 이송로봇은 이송 핸드(21)를 통해 웨이퍼(1)를 버퍼 트레이 장치(100)로 반출 및 반입하도록 되어 있다. 또한 이송로봇은 전술한 바와 같이 웨이퍼(1)를 반드시 버퍼 트레이 장치(100)로 반입하는 것이 아니라 상황에 따라 버퍼 트레이 장치(100)를 거치지 않고 바로 프로버 스테이지로 이송할 수 있다. 웨이퍼(1)를 바로 프로버 스테이지 이송사는 경우 외에는 스택 모듈(110)의 층수에 해당하는 웨이퍼(1)들을 수납하고 함께 이동하면서 프로버 스테이지에 제공함으로써 신속한 웨이퍼 공급이 이루어질 수 있게 된다.
도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 트레이 장치(100)가 도시되어 있다. 상부에는 케이스(120)가 하부에는 스택 모듈 구동부(130)가 배치되어 있다. 이러한 케이스(120)와 스택 모듈 구동부(130)는 이송로봇(21)에 고정되어 있기 때문에 함께 일체로 이동하게 된다. 도 1에서 스택 모듈(110)의 최상부 층에 웨이퍼(1)가 프리 얼라인된 상태로 고정되어 있고, 이를 슬릿(120a)을 통하여 이송 핸드(21)가 반출할 수 있는 상태이다. 반출 대상 웨이퍼(1)가 있는 해당 위치의 판상형 안착 패널(111)이 슬릿(120a) 높이 위치하도록 스택 모듈 구동부(130)가 작동하여 스택 모듈(110)의 높이를 제어하고, 그 상태에서 이송 핸드(21)가 슬릿(120a)을 통하여 반출 대상 웨이퍼(1)를 반출하게 된다. 물론 웨이퍼(1) 반입은 이와 유사한 방식으로 진행될 것이다. 반출 또는 반입될 웨이퍼(1)는 해당 판상형 안착 패널(111)이 슬릿(120a) 높이에 위치해야만 하는 것은 전술한 바와 같다. 이때 케이스(120) 하부에는 케이스(120)를 관통하여 진공 흡착부(111c)에 진공압을 제공하기 위한 진공 라인(140)이 각 판상형 안착 패널(111)마다 연결될 수 있도록 되어 있고, 건조 공기를 공급하기 위한 에어 라인(150)도 케이스(120)를 관통하여 에어 공급관(141)에 연결될 수 있다.
도 2를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버의 버퍼 트레이 장치(100)의 일부 구성요소인 에어 공급관(141)이 도시되어 있다. 에어 공급관(141)은 케이스(120) 내부 상측의 모서리 부분에 복수개의 에어 공급 노즐(141a)을 구비한 상태로 고정 설치되어 있다. 여기서는 에어 공급 노즐(141a)의 공기를 중앙의 웨이퍼(1)를 향하도록 일정 각도 기울어져 형성되어 있다. 에어 공급관(141)에 건조 공기가 공급되면 에어 공급 노즐(141a)을 통하여 전체적으로 케이스(120) 내부의 온도와 습도를 제어할 수 있게 된다.
도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버의 버퍼 트레이 장치(100)에서 스택 모듈(110)이 승강하는 작동 상태가 도시되어 있다. 스택 모듈(110)은 하부의 스택 모듈 구동부(130)에 의해 케이스(120) 내부에 그 높이가 변화되도록 승강될 것이고, 원하는 웨이퍼(1)를 원하는 층에 반출 및 반입할 수 있도록 정해진 높이로 승강될 수 있다. 이때 이송 핸드(21)가 웨이퍼(1)를 슬릿(120a)을 통하여 반입 및 반출하게 된다.
도 4를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버의 버퍼 트레이 장치(100)의 웨이퍼(1)가 안착되는 스택 모듈(110)과 이송 핸드(21)가 도시되어 있다. 이송 핸드(21)는 스택 모듈(110)의 중앙 절개부(111b)에서 승강할 수 있도록 설치되어 슬릿(120a)을 통과한 다음 웨이퍼(1)를 판상형 안착 패널(111)로부터 미세하게 들어올린 다음 슬릿(120a)을 통하여 외부로 반출하게 된다. 이때, 각 판상형 안착 패널(111)에는 진공 흡착부(111c)가 복수개 형성되어 있기 때문에 프리 얼라인된 상태로 판상형 안착 패널(111)에 놓이게 되면 진공압에 의해 그 위치를 견고하게 유지할 수 있게 된다. 따라서 케이스(120)와 스택 모듈(110) 전체가 이송로봇(21)과 함께 이동하면서 발생되는 진동이나 관성에 의해 웨이퍼(1) 위치가 흐트러지지 않게 되고 프리 얼라인 상태를 유지할 수 있게 된다. 여기서 각 층의 진공 흡착부(111c)는 전체적으로 모두 작동하는 것이 아니라 각 층마다 별개로 작동 제어되도록 연결될 수 있을 것이다.
도 5를 참고하면, 본 발명에 따른 프로버의 버퍼 트레이 장치(100)의 스택 모듈(110)이 케이스(120) 내부에서 승강될 수 있는 것을 보여주는 모식도이다. 스택 모듈(110)은 케이스(120) 내부에 설치되어 있지만 케이스(120) 하부에 설치된 스택 모듈 구동부(130)에 의해 그 높이가 제어되도록 승강될 수 있다. 물론 이러한 스택 모듈(110)의 높이 제어는 슬릿(120a)으로 원하는 웨이퍼(1)를 반출입시키기 위함이다. 여기서는 실린더나 솔레노이드 타입(131)을 모식도로 도시하고 있지만 좀 더 정밀한 제어를 위하여 여러 가지 구동부를 고려할 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시예에 의해 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
1 : 웨이퍼
10 : 프로버 20 : 이송로봇
21 : 이송 핸드 100 : 버퍼 트레이 장치
110 : 스택 모듈 111 : 판상형 안착 패널
111a : 안착 홈 111b : 중앙 절개부
111c : 진공 흡착부 111d : 관통 절개부
120 : 케이스 120a : 슬릿
130 : 스택 모듈 구동부 140 : 진공 라인
150 : 에어 라인

Claims (9)

  1. 검사 챔버에 웨이퍼를 공급하기 위한 이송로봇과 함께 이동하면서 선택적으로 웨이퍼를 수용하는 프로버의 버퍼 트레이 장치로서,
    일면에 상기 웨이퍼를 이송로봇의 이송 핸드가 반입 및 반출하기 위한 슬릿이 구비된 케이스;
    상기 케이스 내부에 상기 웨이퍼가 한 장씩 각 층마다 프리 얼라인되어 적층될 수 있도록 복수개의 층으로 이루어진 스택 모듈;
    상기 스택 모듈에 수납된 웨이퍼 중 하나를 선택하여 상기 슬릿을 통하여 반출할 수 있도록 상기 스택 모듈을 상기 케이스 내부에서 승강시키는 스택 모듈 구동부;
    를 포함하는, 프로버의 버퍼 트레이 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 케이스 내부에 설치되어 상기 케이스 내부의 온도와 습도를 조절할 수 있도록 상기 케이스 내부에 에어를 공급하는 에어 공급 노즐을 더 포함하는, 프로버의 버퍼 트레이 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 케이스에는 상기 슬릿을 개폐하기 위한 도어가 설치된, 프로버의 버퍼 트레이 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 케이스는 상기 슬릿이 형성된 면에 외측 방향으로 웨이퍼의 형태를 따라 돌출된 라운드형 돌출부가 형성된, 프로버의 버퍼 트레이 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 케이스의 일부는 투명창으로 이루어진, 프로버의 버퍼 트레이 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 스택 모듈의 각 층에는 프리 얼라인된 웨이퍼가 안착되어 고정될 수 있도록 진공 흡착부가 형성된, 프로버의 버퍼 트레이 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 스택 모듈은 중앙에 이송 핸드가 승강할 수 있도록 중앙 절개부가 형성된, 프로버의 버퍼 트레이 장치.
  8. 제2 항에 있어서,
    상기 에어 공급 노즐은 상기 케이스이 내부 상측부에 설치되어 하측방향으로 공기를 분사하는, 프로버의 버퍼 트레이 장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 이송로봇은 웨이퍼를 선택적으로 상기 스택 모듈에 공급하거나 프로버 스테이지로 공급하는, 프로버의 버퍼 트레이 장치.

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