KR20220166042A - 도포 장치 및 방법 - Google Patents

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KR20220166042A
KR20220166042A KR1020210074854A KR20210074854A KR20220166042A KR 20220166042 A KR20220166042 A KR 20220166042A KR 1020210074854 A KR1020210074854 A KR 1020210074854A KR 20210074854 A KR20210074854 A KR 20210074854A KR 20220166042 A KR20220166042 A KR 20220166042A
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조재준
윤원식
유영호
안성수
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에이피시스템 주식회사
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Abstract

본 발명은 도포 장치 및 방법에 관한 것으로, 상부에 피처리물을 지지하기 위한 지지면을 제공하고, 이동 가능하게 설치되는 스테이지; 상기 피처리물에 광경화성 유체를 도포하기 위한 도포부; 상기 피처리물에 적어도 2가지 파장을 가지는 광을 조사하도록 상기 스테이지의 상부에 설치되는 광조사부; 상기 스테이지의 하부에 상기 광조사부와 마주보도록 설치되는 영상획득부; 및 상기 스테이지, 상기 도포부, 상기 광조사부 및 상기 영상획득부의 동작을 제어하기 위한 제어부;를 포함하여, 공정 시간을 단축시키고, 장치의 소형화를 가능하게 할 수 있다.

Description

도포 장치 및 방법{Dispenser and method thereof}
본 발명은 도포 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 공정 시간을 단축시키고, 장치의 소형화를 가능하게 하는 도포 장치 및 방법에 관한 것이다.
디스플레이 장치는 멀티미디어의 발달과 함께 그 중요성이 증대되고 있다. 이에 부응하여 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD), 유기발광표시장치(Organic Light Emitting Display; OLED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel; PDP), 전기영동표시장치(ElectroPhoretic Display; EPD) 등과 같은 여러 종류의 디스플레이 장치가 사용되고 있다.
최근에는 이동성을 기반으로 하는 이동형(mobile) 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있고 있으며, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 디스플레이 장치를 포함한다. 이러한 이동형 전자 기기는 베젤(bezel)을 줄여 디스플레이 장치의 시인 영역을 확보하기 위해 디스플레이 패널과 구동소자를 벤딩 가능한 연성회로기판(Flexible Printed Circuit Board, FPCB)으로 연결하고 있다. 이때, 디스플레이 패널과 연성회로기판의 연결부위에는 광경화성 유체(레진)를 도포하여 보호막을 형성함으로써 기계적인 보호가 이루어지고 있다.
한편, 보호막을 형성하는 도포장치는 디스플레이 패널을 정렬시키고, 정렬된 디스플레이 패널에 광경화성 유체를 도포한 다음, 이를 경화시키고 보호막의 불량 여부를 비전 검사하는 과정을 거치도록 형성된다. 그런데 이러한 도포장치는 디스플레이 패널을 이동시키면서 일련의 과정을 순차적으로 거치도록 형성되어, 각각의 공정이 서로 다른 위치에서 수행되기 때문에 도포 장치가 대형화되고, 각 공정에서 소요되는 시간으로 인해 공정 시간이 증가하는 문제가 있다. 또한, 디스플레이 패널에 광경화성 유체를 도포하고, 경화를 위해 디스플레이 패널을 이동시키면, 광경화성 유체가 흘러 내려 불량이 발생하기 때문에 생산성이 저하되는 문제가 있다.
KR 10-0844919 B
본 발명은 장치의 소형화를 가능하게 하고, 공정 시간을 단축시켜 생산성을 향상시킬 수 있는 도포 장치 및 방법을 제공한다.
본 발명의 실시 형태에 따른 도포 장치는, 상부에 피처리물을 지지하기 위한 지지면을 제공하고, 이동 가능하게 설치되는 스테이지; 상기 피처리물에 광경화성 유체를 도포하기 위한 도포부; 상기 피처리물에 적어도 2가지 파장을 가지는 광을 조사하도록 상기 스테이지의 상부에 설치되는 광조사부; 상기 스테이지의 하부에 상기 광조사부와 마주보도록 설치되는 영상획득부; 및 상기 스테이지, 상기 도포부, 상기 광조사부 및 상기 영상획득부의 동작을 제어하기 위한 제어부;를 포함할 수 있다.
상기 광 조사부는, 상기 광경화성 유체를 경화시킬 수 있는 제1의 파장의 광을 발생시키는 제1광원과, 상기 제1광원의 일측에 설치되고, 상기 제1의 파장보다 큰 제2의 파장을 가지는 광을 발생시킬 수 있는 제2광원을 포함할 수 있다.
상기 제1광원은 자외선을 발생시킬 수 있고, 상기 제2광원은 적외선 또는 가시광선을 발생시킬 수 있다.
상기 영상획득부는, 카메라; 및 상기 광조사부에서 조사되는 광으로부터 자외선을 차단하기 위한 광학 모듈;을 포함할 수 있다.
상기 광학 모듈은 자외선 필터, 위상차판 및 편광판 중 적어도 하나를 포함하고, 상기 자외선 필터는 상기 카메라와 가장 멀리 배치될 수 있다.
상기 스테이지는 광투과성 물질로 형성될 수 있다.
상기 제어부는, 하나의 처리 위치에 적어도 2가지 파장의 광을 조사하도록 상기 광조사부의 동작을 제어할 수 있고, 상기 광조사부의 하부에서 적어도 2가지 파장의 광 중 한 가지 파장의 광을 차단하고, 상기 피처리물의 영상을 획득하도록 상기 영상획득부의 동작을 제어할 수 있다.
상기 제어부는 상기 피처리물에 조사되는 광의 강도를 조절하도록 상기 제1광원의 동작을 제어할 수 있다.
상기 광조사부와 상기 영상획득부는 상기 스테이지의 이동 방향으로 적어도 2개씩 설치되고, 상기 제어부는 2개의 광조사부 사이 및 2개의 영상획득부 사이에서 상기 피처리물을 이동시키도록 상기 스테이지의 동작을 제어할 수 있다.
상기 2개의 광조사부 각각은 상기 광경화성 유체를 경화시킬 수 있는 제1의 파장의 광을 발생시키는 제1광원과, 상기 제1광원의 일측에 설치되고, 상기 제1의 파장보다 큰 제2의 파장을 가지는 광을 발생시킬 수 있는 제2광원을 포함하고, 제1처리 위치에 설치되는 제1광원은 상기 스테이지의 이동 방향으로 상기 제1처리 위치의 전방에 설치되는 제1광원보다 낮은 강도를 가지는 광을 발생시킬 수 있다.
상기 피처리물은 표시 영역과 비표시 영역을 포함하는 디스플레이 패널과, 상기 비표시 영역을 통해 상기 디스플레이 패널에 연결되는 연성회로기판을 포함하고, 상기 도포부는 상기 디스플레이 패널과 상기 연성회로기판이 본딩되는 영역과 상기 연성회로기판 중 적어도 하나에 광경화성 유체를 도포할 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 따른 도포 방법은, 피처리물을 처리 공간으로 반입시키는 과정; 상기 피처리물이 처리될 처리 위치의 상부에서 적어도 2가지 파장을 가지는 광을 조사하는 과정; 상기 처리 위치에 상기 피처리물을 정렬시키는 과정; 상기 피처리물에 광경화성 유체를 도포하는 과정; 상기 광경화성 유체를 경화시켜 보호막을 형성하는 과정; 및 상기 보호막의 상태를 검사하는 과정;을 포함하고, 상기 정렬시키는 과정, 상기 도포하는 과정, 상기 보호막을 형성하는 과정 및 상기 검사하는 과정 중 적어도 2가지 과정을 하나의 처리 위치에서 수행할 수 있다.
상기 광을 조사하는 과정은 상기 광경화성 유체를 경화시키기 위한 광과, 상기 피처리물의 영상을 획득하는데 사용되는 광을 조사하고, 상기 정렬시키는 과정과 상기 검사하는 과정은 상기 광경화성 유체를 경화시키기 위한 광을 차단하고, 상기 피처리물의 영상을 획득할 수 있다.
상기 광경화성 유체를 도포하는 과정은 상기 피처리물에 광경화성 유체를 도포하면서, 상기 피처리물에 도포되는 광경화성 유체의 일부를 경화시키는 가경화 과정을 포함할 수 있다.
상기 정렬시키는 과정, 상기 도포하는 과정, 상기 경화시키는 과정 및 상기 검사하는 과정은 동일한 처리 위치에서 수행할 수 있다.
상기 경화시키는 과정은 상기 피처리물에 조사되는 상기 광경화성 유체를 경화시키기 위한 광의 강도를 상기 도포하는 과정보다 높게 조절하는 과정을 포함할 수 있다.
상기 정렬시키는 과정과 상기 도포하는 과정은 제1처리 위치에서 수행하고, 상기 경화시키는 과정과 상기 검사하는 과정은 제2처리 위치에서 수행하며, 상기 광경화성 유체를 경화시키는 과정 이전에 상기 피처리물을 상기 제1처리 위치에서 상기 제2처리 위치로 이동시키는 과정을 포함할 수 있다.
상기 경화시키는 과정은 상기 광경화성 유체를 경화시키기 위한 광의 강도를 상기 도포하는 과정보다 높게 하여 상기 피처리물에 조사할 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 따르면, 피처리물에 보호막을 형성함에 있어서, 서로 다른 파장의 광을 피처리물에 동시에 조사하고, 각각의 광이 서로 다른 공정에 영향을 미치는 것을 억제하여, 피처리물의 정렬 공정과, 광경화성 유체의 도포 공정과, 경화 공정 및 검사 공정을 적어도 하나의 위치에서 수행할 수 있다. 특히, 광경화성 유체를 경화시키기 위한 광이 정렬 공정이나 검사 공정에 영향을 미치는 것을 방지하여, 하나의 처리 위치에서 서로 다른 파장을 가지는 광을 이용하는 복수의 공정을 수행할 수 있다. 이를 통해 장치의 소형화를 가능하게 하고, 전체 공정 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 피처리물을 이동시키는 과정에서 정렬 불량이나 피처리물에 도포된 광경화성 유체의 흐름 현상을 억제하여, 피처리물에 형성되는 보호막의 품질을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 도포 장치가 적용되는 피처리물을 개략적으로 보여주는 도면.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 도포 장치를 개략적으로 보여주는 도면.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 도포 장치를 구성하는 영상획득부의 구조를 보여주는 도면.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 도포 방법을 보여주는 순서도.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 도포 방법에서 피처리물이 처리되는 위치에서 수행되는 과정을 보여주는 도면.
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 도포 방법에서 피처리물이 처리되는 위치에서 수행되는 과정을 보여주는 도면.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태를 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 형태에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 형태들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 도포 장치가 적용되는 피처리물을 개략적으로 보여주는 도면이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 도포 장치를 개략적으로 보여주는 도면이고, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 도포 장치를 구성하는 영상획득부의 구조를 보여주는 도면이다.
먼저, 도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 도포 장치에서 적용되는 피처리물(10)은 디스플레이 패널(12)과, 디스플레이 패널(12)에 연결되는 연성회로기판(14)을 포함할 수 있다.
디스플레이 패널(12)은 표시 패널, 터치 스크린 패널(Touch Screen Panel; TSP) 또는 터치 유닛일 수 있으며, 플렉시블한 성질을 가질 수 있고, 구부러지거나(bendable), 접히거나(foldable), 말아지는(rollable) 재질 또는 구조로 이루어져 구부러지거나 접히거나 말릴 수도 있다. 디스플레이 패널(12)은 박막 트랜지스터(Thin-Film Transistor; TFT) 등이 형성되는 기판(12a)과, 기판(12a) 상부에 형성되는 광학 필름(12b)을 포함할 수 있다. 이때, 기판(12a)은 표시 영역(Ⅰ)과, 비표시영역(Ⅱ)으로 구분될 수 있다. 표시 영역(Ⅰ)에는 박막 트랜지스터와, 필터, 편광판 등과 같은 광학 필름(12b)이 형성될 수 있고, 비표시영역(Ⅱ)에는 박막 트랜지스터를 연성회로기판(14)과 연결하기 위한 전극들이나 배선들(미도시)이 형성될 수 있다.
연성회로기판(Flexible Printed Circuit Board; FPCB, 11)은 디스플레이 패널(12)의 일측에 연결될 수 있으며, 가요성을 갖는 회로 기판일 수 있고, 디스플레이 패널(12)의 일면에 본딩되어 디스플레이 패널(12)에 전원을 인가하거나, 필요한 신호를 제공할 수 있다. 예컨대 디스플레이 패널(12)에는 박막 트랜지스터가 형성되어 있을 수 있고, 연성회로기판(14)은 박막 트랜지스터(TFT)를 구동하는 디스플레이 패널의 구동(drive) 집적회로(Integrated Circuit; IC)에 본딩되어 접속될 수 있다. 이를 통해 구동 집적회로(IC)에 전원 인가 및/또는 구동신호 송수신을 할 수 있다. 연성회로기판(11)은 그 일측이 디스플레이 패널(12)의 서로 대향하는 두 면 중 어느 한 면에 고정되어 타측이 동일한 면 또는 상이한 면에 본딩될 수도 있고, 디스플레이 패널(12)의 일측면으로부터 외측으로 연장되는 형태로 그 일측이 고정되어 타측이 디스플레이 패널(12)의 서로 대향하는 두 면 중 어느 한 면에 본딩될 수도 있다. 이때, 연성회로기판(11)의 타측은 발광면(예를 들어, 액정면)이 아닌 발광면의 배면(back side)에 본딩될 수 있다.
디스플레이 패널(12)에 연성회로기판(14)을 본딩한 이후, 그 본딩 부위, 즉 연결부위를 기계적으로 보호하기 위한 보호막이 형성될 수 있다. 보호막은 도포 장치를 이용하여 본딩 부위에 에폭시 수지 등과 같은 광경화성 유체를 도포한 후, 자외선을 조사하여 경화시킴으로써 형성될 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 도포 장치는, 상부에 피처리물(10)을 지지하기 위한 지지면을 제공하고, 이동 가능하게 설치되는 스테이지(110)와, 피처리물(10)에 광경화성 유체(20)를 도포하기 위한 도포부(120)와, 피처리물(10)에 적어도 2가지 파장을 가지는 광을 조사하도록 스테이지(110)의 상부에 설치되는 광조사부(130)와, 스테이지의 하부에 광조사부(130)와 마주보도록 설치되는 영상획득부(140) 및 스테이지(110), 도포부(120), 광조사부(130) 및 영상획득부(140)의 동작을 제어하기 위한 제어부(150)를 포함할 수 있다.
스테이지(110)는 피처리물(10)을 지지하기 위한 지지면을 제공하고, 진공 방식 등을 이용하여 지지면에 피처리물(10)을 고정시킬 수 있다. 이는 피처리물(10)을 처리하는 동안 지지면에서 피처리물(10)이 움직이는 것을 방지하기 위함이다. 스테이지(110)는 광투과성 물질로 형성될 수 있다. 즉, 영상획득부(140)는 스테이지(110)의 하부에 설치되어 스테이지(110) 상부에 배치되는 피처리물(10)의 영상을 획득한다. 이에 영상획득부(140)에서 스테이지(110) 상부에 배치되는 피처리물(10)의 영상을 획득할 수 있도록, 스테이지(110)는 광투과성 물질로 형성되는 것이 바람직하다. 스테이지(110)는 피처리물(10)을 지지한 상태에서 수평방향으로 이동 가능하도록 설치될 수 있다. 스테이지(110)는 제1방향, 제1방향에 직교하는 제2방향 및 제1방향과 제2방향에 교차하는 제3방향으로 이동할 수 있다. 여기에서 제1방향은 피처리물(10)을 처리하는 과정에서 피처리물(10)의 이송 방향, 예컨대 도포 장치(100) 내부에 반입되서 반출되는 방향을 의미할 수 있다. 제2방향은 제1방향에 수평으로 직교하는 방향이고, 제3방향은 제1방향과 제2방향에 수평으로 교차하는 방향, 예컨대 대각 방향을 의미한다. 이처럼 스테이지(110)를 여러 방향으로 이동 가능하게 설치하는 이유는 피처리물(10)의 이송과 함께, 피처리물(10)을 정렬하기 위함이다. 이러한 스테이지(110)의 작동 방식은 공지의 기술로서 구체적인 설명은 생략한다.
도포부(120)는 스테이지(110)가 이동하는 경로에 설치되어, 피처리물(10)에 광경화성 유체(20)를 도포할 수 있다. 도포부(120)는 노즐과 피처리물(10) 사이의 상대 위치를 변화시키면서 피처리물에 소정 패턴으로 광경화성 유체를 도포한다. 도포부(120)는 광경화성 유체를 도포할 수 있는 노즐을 포함하며, 노즐을 상하 방향으로 이동시켜 노즐과 피처리물 사이의 갭(gap)을 일정하게 제어하면서, 피처리물에 광경화성 유체를 도포한다. 이때, 노즐은 피처리물(10)과 상대 이동하며, 광경화성 유체를 도포할 수 있다. 즉, 피처리물(10)에 광경화성 유체를 도포하는 경우, 노즐을 수평이동시키거나, 피처리물(10)을 수평이동시킬 수 있으며, 또는 노즐과 피처리물(10)을 동시에 수평이동시킬 수 있다.
광 조사부(130)는 스테이지(110)가 이동하는 경로의 상부에 설치되고, 서로 다른 파장을 가지는 광을 발생시킬 수 있다. 광 조사부(130)는 광경화성 유체를 경화시킬 수 있는 제1의 파장의 광을 발생시키는 제1광원(132)과, 제1의 파장보다 큰 제2의 파장을 가지는 광을 발생시킬 수 있는 제2광원(134)을 포함할 수 있다. 여기에서 제1광원(132)은 광경화성 유체를 경화시킬 수 있는 자외선을 발생시킬 수 있으며, 예컨대 10 내지 400㎚ 정도의 파장을 가지는 광을 발생시킬 수 있다. 제2광원(134)은 피처리물(10)을 정렬하거나 피처리물(10)에 도포된 광경화성 유체 또는 경화된 광경화성 유체의 상태를 검사할 때, 피처리물(10) 또는 피처리물(10)과 광경화성 유체의 영상을 획득하기 위해 필요한 조명으로 사용될 수 있다. 제2광원(134)은 영상획득부(140)의 작동 방식에 따라 다른 파장의 광을 발생시킬 수 있으며, 예컨대 400㎚를 초과하는 파장을 가지는 가시광선이나 적외선을 발생시킬 수 있다.
이러한 광 조사부(130)는 피처리물(10)을 처리하는 동안 제1광원(132)과 제2광원(134)에서 광을 발생시켜, 적어도 2가지의 공정을 순차적으로 또는 동시에 수행할 수 있도록 한다. 또한, 광 조사부(130)는 제어부(150)의 제어를 통해 제1광원(132)과 제2광원(134)에서 발생하는 광의 강도를 조절할 수 있다. 또한, 광 조사부(130)는 스테이지(110)와 상대 이동 가능하도록 설치될 수도 있다. 이 경우, 광 조사부(130)는 피처리물(10)에 도포된 광경화성 유체(20)를 경화시킬 때, 광경화성 유체(20)가 도포되는 방향 또는 광경화성 유체(20)가 연장되는 방향을 따라 이동하면서 광을 조사할 수 있다. 또는, 광 조사부(130)는 스테이지(110)와 서로 다른 방향으로 이동하면서 피처리물(10)에 광을 조사할 수도 있다.
영상획득부(140)는 스테이지(110)가 이동하는 경로의 하부에 설치되고, 스테이지(110) 상부에 안착되는 피처리물(10)의 영상을 획득할 수 있다. 영상획득부(140)는 광 조사부(130)의 제2광원(134)에서 발생하는 광을 조명으로 사용하여, 피처리물(10)의 영상을 획득할 수 있다. 이러한 영상획득부(140)는 피처리물(10)을 정렬시키거나, 피처리물(10)에 도포된 광경화성 유체(20) 또는 경화된 광경화성 유체(20)의 상태를 검사하는데 사용될 수 있다.
영상획득부(140)는 피처리물(10)의 영상을 획득하기 위한 카메라(142)와, 광 조사부(130)에서 조사되는 광으로부터 자외선을 차단하기 위한 광학 모듈(144)을 포함할 수 있다. 카메라(142)는 피처리물(10)의 정보를 검지하여 전기적인 영상신호로 변환하는 이미지 센서를 포함할 수 있다. 광학 모듈(144)은 배율 및 초점을 조절하기 위한 렌즈 조립체(144c)와, 광 조사부(130)에서 조사되는 광으로부터 자외선을 차단하기 위한 자외선 필터(144d), 자외선 필터(144d)를 통과한 자외선 이외의 광, 예컨대 가시광선, 적외선의 손실을 억제하면서 카메라(142)에 전달하기 위한 위상차판(144b) 및 편광판(144a)을 포함할 수 있다. 여기에서 자외선 필터(144d)는 카메라(142)와 가장 멀리 배치되며, 광 조사부(130), 즉 제1광원(132)에서 조사되는 자외선을 흡수하여 자외선이 카메라(142)의 이미지 센서를 손상시키는 것을 방지할 수 있다.
이러한 구성을 통해 영상획득부(140)는 광 조사부(130)에서 발생하는 자외선을 차단하고, 피처리물(10)의 영상을 획득하기 위한 광만을 선별적으로 입사시킬 수 있다. 따라서 피처리물(10)의 영상을 이용하는 정렬 공정과 검사 공정, 그리고 광경화성 유체를 경화시키는 공정을 하나의 위치에서 동시에 수행할 수 있다.
제어부(150)는 스테이지(110), 도포부(120), 광 조사부(130) 및 영상획득부(140)의 전반적인 동작을 제어할 수 있다. 제어부(150)는 영상획득부(140)에서 획득된 피처리물(10)의 영상을 이용하여 피처리물(10)을 정렬하도록 스테이지(110)의 동작을 제어할 수 있다. 또한, 제어부(150)는 광 조사부(130)를 구성하는 제1광원(132)과 제2광원(134)의 동작을 개별적으로 제어할 수 있다. 특히, 제어부(150)는 광경화성 유체를 가경화시키거나, 광경화성 유체를 완전하게 경화시키기 위해 광의 강도를 조절하도록 제1광원(132)의 동작을 제어할 수 있다.
여기에서는 스테이지(110)가 이동하는 경로에 광 조사부(130)와 영상획득부(140)가 각각 하나씩 마련되는 것으로 설명하였으나, 스테이지(110)가 이동하는 경로에 적어도 2개의 광 조사부(130)와 2개의 영상획득부(140)가 마련될 수 있다. 이 경우, 각각의 광 조사부(130)와 영상획득부(140)는 상하방향으로 서로 마주보도록 설치될 수 있다. 그리고 하나의 광 조사부(130)와 영상획득부(140)는 피처리물(10)을 정렬시키는 과정과, 피처리물(10)에 광경화성 유체를 도포하고 가경화시키는 과정에 사용되고, 나머지 광 조사부(130)와 영상획득부(140)는 피처리물(10)에 도포된 광경화성 유체 또는 가경화된 광경화성 유체를 경화시키고, 경화된 광경화성 유체, 즉 보호막의 상태를 검사하는데 사용될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 실시 예에 따른 도포 방법에 대해서 설명한다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 도포 방법을 보여주는 순서도이고, 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 도포 방법에서 피처리물이 처리되는 위치에서 수행되는 과정을 보여주는 도면이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 도포 방법은, 피처리물(10)을 도포 장치에 반입시키는 과정(S110)과, 피처리물(10)이 처리될 처리 위치의 상부에서 적어도 2가지 파장을 가지는 광을 조사하는 과정(S120)과, 처리 위치에 피처리물을 정렬시키는 과정(S130)과, 피처리물(10)에 광경화성 유체를 도포하는 과정(S140)과, 광경화성 유체를 경화시켜 박막을 형성하는 과정 및 박막의 상태를 검사하는 과정(S150)을 포함할 수 있다.
도 5를 참조하면, 정렬시키는 과정(S130)과, 피처리물(10)에 광경화성 유체(20)를 도포하는 과정(S140)과, 광경화성 유체(20)를 경화시키는 과정 및 검사 과정(S150)은 피처리물(10)의 이동 없이 도포 장치(100) 내의 하나의 처리 위치에서 수행될 수 있다. 여기에서 피처리물(10)의 이동이 없다는 의미는 피처리물(10)에 광경화성 유체(20)를 도포한 이후 피처리물(10)이 반입되는 위치에서 반출되는 위치까지 이동이 없다는 것을 의미하며, 피처리물(10)의 정렬을 위한 이동은 제외한다.
먼저, 피처리물(10)을 마련하고, 마련된 피처리물(10)을 도포 장치에 반입시킬 수 있다. 이때, 피처리물(10)은 디스플레이 패널(12)과 연성회로기판(14)을 포함할 수 있으며, 연성회로기판(14)이 디스플레이 패널(12)의 비표시 영역(Ⅱ)에 본딩된 상태일 수 있다.
피처리물(10)은 도포 장치에 설치된 스테이지(110)의 상부에 안착될 수 있으며, 피처리물(10)이 스테이지(110)의 상부에 안착되면 진공 방식 등을 통해 피처리물(10)을 스테이지(110) 상부에 흡착시켜 고정시킬 수 있다.
이후, 스테이지(110)를 이동시켜 피처리물(10)의 처리 위치에 배치시킬 수 있다. 이때, 피처리물(10)의 처리 위치에는 광 조사부(130)와 영상획득부(140)가 서로 마주보도록 설치되어 있으며, 광 조사부(130)는 피처리물(10)의 처리 위치에 광을 조사할 수 있다. 이때, 광 조사부(130)는 피처리물(10)의 정렬하는데 필요한 광과, 피처리물(10)에 도포될 광경화성 유체(20)를 경화시키는데 필요한 광을 조사할 수 있다. 예컨대 광 조사부는 적외선 또는 가시광선과, 자외선을 피처리물(10)의 처리 위치에 조사할 수 있다. 피처리물(10)의 처리 위치에 광을 조사하는 과정은 피처리물(10)이 처리 위치에 배치되기 이전부터 수행될 수도 있고, 피처리물(10)이 처리 위치에 배치됨과 동시에 수행될 수도 있으며, 피처리물(10)이 처리 위치에 배치된 이후 수행될 수도 있다.
피처리물(10)이 처리 위치에 배치되면, 영상획득부(140)는 광 조사부(130)에서 조사되는 광을 조명으로 사용하여, 피처리물(10)의 영상을 획득할 수 있다. 이때, 영상획득부(140)는 피처리물(10)의 영상으로부터 정렬 마크를 검출할 수 있다. 그리고 제어부(150)는 영상획득부(140)에서 검출된 정렬 마크를 이용하여 스테이지(110)의 동작을 제어함으로써 피처리물(10)을 처리 위치에 정렬시킬 수 있다. 예컨대 검출된 정렬 마크의 위치에 따라 제1방향, 제2방향 및 제3방향 중 적어도 하나의 방향으로 스테이지(110)를 이동시켜 피처리물(10)을 처리 위치에 정확하게 정렬시킬 수 있다.
이처럼, 피처리물(10)을 정렬시킨 다음, 제어부(150)는 도포부(120)의 동작을 제어하여 피처리물(10)에 광경화성 유체(20)를 도포할 수 있다. 이때, 도포부(120)에서 광경화성 유체(20)를 도포하는 동안, 광경화성 유체(20)가 토출되는 노즐과 스테이지(110)는 상대 이동할 수 있다. 즉, 도포부(120)에서 광경화성 유체(20)를 도포하는 동안 노즐을 이동시킬 수도 있고, 스테이지(110)를 이동시킬 수도 있으며, 노즐과 스테이지(110)를 동시에 이동시킬 수 있다. 이때, 노즐과 스테이지(110)를 동시에 이동시키는 경우, 노즐과 스테이지를 서로 반대 방향으로 이동시킬 수 있으며, 이 경우 노즐과 스테이지(110)의 이동 거리 및 시간을 단축시킬 수 있다. 도포부(120)의 노즐에서 토출되는 광경화성 유체(20)는 피처리물(10), 예컨대 디스플레이 패널(12)의 비표시영역(Ⅱ)에 도포될 수 있다.
도포부(120)에서 광경화성 유체가 도포되면, 스테이지(110)의 상부, 즉 피처리물(10)의 상부에 설치된 광 조사부(130)에서 조사되는 광에 의해 광경화성 유체가 경화될 수 있다. 이때, 광경화성 유체(20)는 광 조사부(130)의 제1광원(132)에서 발생되는 광에 의해 경화, 예컨대 가경화될 수 있다. 즉, 피처리물(10)에 광경화성 유체(20)를 도포하면, 광경화성 유체(20)가 스테이지(110) 상부에 설치되는 제2광원(134)에서 발생되는 광에 노출되면서 경화될 수 있다. 이때, 제1광원(132)에서 발생되는 광의 강도가 지나치게 세면, 광경화성 유체(20)가 노즐에서 토출되면서 바로 경화되고, 노즐의 막힘 현상이 발생할 수 있기 때문에 제1광원(132)은 광경화성 유체(20)의 일부, 예컨대 표면만 경화될 수 있을 정도의 강도를 광을 발생시키는 것이 좋다. 이처럼, 피처리물(10)에 광경화성 유체를 도포하는 과정에서 피처리물(10)에 도포되는 광경화성 유체의 일부를 경화, 예컨대 가경화시키면, 광경화성 유체(20)가 피처리물(10) 상부에서 퍼지거나 흘러내리는 현상을 억제 혹은 방지할 수 있다. 다시 말해서, 피처리물(10)에 광경화성 유체를 도포하는 과정에서 피처리물(10)에 도포되는 광경화성 유체의 일부를 가경화시키면, 광경화성 유체(20)를 완전하게 경화시키기 이전까지 도포된 위치에서 광경화성 유체(20)를 일정한 형상으로 유지시킬 수 있다.
이와 같이 피처리물(10)에 광경화성 유체(20)를 도포하는 과정에서 제1광원(132)과 제2광원(134)에서는 광이 지속적으로 발생되고, 피처리물(10)에 조사될 수 있다. 이때, 스테이지(110)의 하부에는 영상획득부(140)가 설치되어 있으며, 영상획득부(140)는 광조사부(130)에서 조사되는 광, 특히 제1광원(132)에서 발생하는 광에 지속적으로 노출된다. 제1광원(132)에서 발생하는 광은 광경화성 유체(20)를 경화시키기 위한 자외선으로 영상획득부(140)의 카메라(142), 예컨대 카메라(142)에 내장되어 있는 이미지 센서에 악영향을 미친다. 그러나 본 발명의 실시 예에 따른 도포 장치(100)는 자외선을 차단할 수 있도록 영상획득부(140)를 형성함으로써 영상획득부(140)가 제1광원(132)에서 조사되는 광에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.
피처리물(10)에 광경화성 유체(20)가 도포되면, 피처리물(10)을 이동시키지 않고 해당 위치에서 피처리물(10)에 도포된 광경화성 유체(20) 또는 가경화된 광경화성 유체(20)를 경화시킬 수 있다. 이때, 제어부(150)는 광조사부(130)의 제1광원(132)의 동작을 제어하여 광의 강도를 증가시킬 수 있다. 즉, 제어부(150)는 광경화성 유체(20)를 완전히 경화시켜 보호막을 형성하도록, 광경화성 유체(20)를 도포할 때 사용된 광의 강도보다 높은 강도를 갖는 광을 발생시키도록 제1광원(132)의 동작을 제어할 수 있다.
이와 같이 피처리물(10)에 도포된 광경화성 유체(20)를 경화시켜 보호막을 형성하면서, 피처리물(10)에 형성되는 보호막의 상태를 검사하는 과정을 수행할 수 있다(S150). 즉, 광조사부(130)는 광경화성 유체(20)를 경화시키기 위한 광과, 영상획득부(140)에서 조명으로 사용할 광을 동시에 발생시켜 피처리물(10)에 조사하기 때문에, 광경화성 유체(20)의 경화 공정과 검사 공정을 동일한 위치에서 동시에 수행할 수 있다. 영상획득부(140)는 광경화성 유체(20)를 경화시키는데 사용되는 광을 차단할 수 있도록 형성되기 때문에 광경화성 유체(20)의 경화와 검사 공정을 동일한 위치에서 동시에 수행하는 것이 가능하다.
그리고 검사 결과, 피처리물(10)에 형성되는 보호막의 상태가 정상인 경우(S160), 해당 피처리물(10)을 도포 장치(100)의 외부로 반출하여 회수할 수 있다(S170).
반면, 검사 결과, 피처리물(10)에 형성되는 보호막의 상태가 불량한 경우(S160)에는 해당 피처리물(10)을 스테이지(110)에서 제거(Eject)할 수 있다(S180).
이상에서는 피처리물(10)을 정렬, 도포, 경화 및 검사 과정을 피처리물(10)의 이동 없이 하나의 처리 위치에서 수행하는 것으로 설명하였다. 그러나 피처리물(10)의 정렬, 도포, 경화 및 검사 공정은 2개의 처리 위치에서 수행될 수도 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 도포 방법에서 피처리물이 처리되는 위치에서 수행되는 과정을 보여주는 도면이다.
도 6을 참조하면, 피처리물(10)을 정렬하는 과정(S130)과, 피처리물(10)에 광경화성 유체를 도포하는 과정(S140)은 도포 장치(100) 내의 제1처리 위치에서 수행하고, 광경화 유체를 경화시키는 과정과 검사 과정(S150)은 도포 장치(100) 내의 제2처리 위치에서 수행할 수 있다. 이때, 스테이지(110)의 이동 방향에 대해서 제2처리 위치는 제1처리 위치의 전방이 될 수 있고, 제1처리 위치는 제2처리 위치의 후방이 될 수 있다.
이 경우, 도포 장치(100)에는 광조사부(130)와 영상획득부(140)가 각각 2개씩 설치될 수 있으며, 각각의 광조사부(130)와 영상획득부(140)는 상하방향으로 서로 마주보도록 설치될 수 있다.
먼저, 피처리물(10)을 마련하고, 마련된 피처리물(10)을 도포 장치에 반입시킬 수 있다.
피처리물(10)은 도포 장치에 설치된 스테이지(110)의 상부에 안착될 수 있으며, 피처리물(10)이 스테이지(110)의 상부에 안착되면 진공 방식 등을 통해 피처리물(10)을 스테이지(110) 상부에 흡착시켜 고정시킬 수 있다.
이후, 스테이지(110)를 이동시켜 피처리물(10)의 제1처리 위치에 배치시킬 수 있다. 이때, 제1처리 위치에는 광 조사부(130)와 영상획득부(140)가 서로 마주보도록 설치되어 있으며, 광 조사부(130)는 피처리물(10)의 처리 위치에 광을 조사할 수 있다. 이때, 광 조사부(130)는 피처리물(10)의 정렬하는데 필요한 광과, 피처리물(10)에 도포될 광경화성 유체(20)를 경화시키는데 필요한 광을 조사할 수 있다. 예컨대 광 조사부는 적외선 또는 가시광선과, 자외선을 피처리물(10)의 제1처리 위치에 조사할 수 있다. 피처리물(10)의 제1처리 위치에 광을 조사하는 과정은 피처리물(10)이 제1처리 위치에 배치되기 이전부터 수행될 수도 있고, 피처리물(10)이 제1처리 위치에 배치됨과 동시에 수행될 수도 있으며, 피처리물(10)이 제1처리 위치에 배치된 이후 수행될 수도 있다.
피처리물(10)이 제1처리 위치에 배치되면, 영상획득부(140)는 광 조사부(130)에서 조사되는 광을 조명으로 사용하여, 피처리물(10)의 영상을 획득할 수 있다. 이때, 영상획득부(140)는 피처리물(10)의 영상으로부터 정렬 마크를 검출할 수 있다. 그리고 제어부(150)는 영상획득부(140)에서 검출된 정렬 마크를 이용하여 스테이지(110)의 동작을 제어함으로써 피처리물(10)을 제1처리 위치에 정렬시킬 수 있다. 예컨대 검출된 정렬 마크의 위치에 따라 제1방향, 제2방향 및 제3방향 중 적어도 하나의 방향으로 스테이지(110)를 이동시켜 피처리물(10)을 제1처리 위치에 정확하게 정렬시킬 수 있다.
이처럼, 피처리물(10)을 정렬시킨 다음, 제어부(150)는 도포부(120)의 동작을 제어하여 피처리물(10)에 광경화성 유체(20)를 도포할 수 있다. 이때, 도포부(120)에서 광경화성 유체(20)를 도포하는 동안, 광경화성 유체(20)가 토출되는 노즐과 스테이지(110)는 상대 이동할 수 있다. 즉, 도포부(120)에서 광경화성 유체(20)를 도포하는 동안 노즐을 이동시킬 수도 있고, 스테이지(110)를 이동시킬 수도 있으며, 노즐과 스테이지(110)를 동시에 이동시킬 수 있다. 이때, 노즐과 스테이지(110)를 동시에 이동시키는 경우, 노즐과 스테이지를 서로 반대 방향으로 이동시킬 수 있으며, 이 경우 노즐과 스테이지(110)의 이동 거리 및 시간을 단축시킬 수 있다. 도포부(120)의 노즐에서 토출되는 광경화성 유체(20)는 피처리물(10), 예컨대 디스플레이 패널(12)의 비표시영역(Ⅱ)에 도포될 수 있다.
도포부(120)에서 광경화성 유체가 도포되면, 스테이지(110)의 상부, 즉 피처리물(10)의 상부에 설치된 광 조사부(130)에서 조사되는 광에 의해 광경화성 유체가 경화될 수 있다. 이때, 광경화성 유체(20)는 광 조사부(130)의 제1광원(132)에서 발생되는 광에 의해 경화, 예컨대 가경화될 수 있다. 즉, 피처리물(10)에 광경화성 유체(20)를 도포하면, 광경화성 유체(20)가 스테이지(110) 상부에 설치되는 제2광원(134)에서 발생되는 광에 노출되면서 경화될 수 있다. 이때, 제1광원(132)에서 발생되는 광의 강도가 지나치게 세면, 광경화성 유체(20)가 노즐에서 토출되면서 바로 경화되고, 노즐의 막힘 현상이 발생할 수 있기 때문에 제1광원(132)은 광경화성 유체(20)의 일부, 예컨대 표면만 경화될 수 있을 정도의 강도를 광을 발생시키는 것이 좋다. 이처럼, 피처리물(10)에 광경화성 유체를 도포하는 과정에서 피처리물(10)에 도포되는 광경화성 유체의 일부를 경화, 예컨대 가경화시키면, 광경화성 유체(20)가 피처리물(10) 상부에서 퍼지거나 흘러내리는 현상을 억제 혹은 방지할 수 있다. 다시 말해서, 피처리물(10)에 광경화성 유체를 도포하는 과정에서 피처리물(10)에 도포되는 광경화성 유체의 일부를 가경화시키면, 광경화성 유체(20)를 완전하게 경화시키기 이전까지 도포된 위치에서 광경화성 유체(20)를 일정한 형상으로 유지시킬 수 있다. 또한, 광경화성 유체(20)가 도포된 피처리물(10)을 제1처리 위치에서 제2처리 위치로 이동시킬 때, 광경화성 유체(20)가 유동하는 것을 방지할 수 있다.
피처리물(10)에 광경화성 유체(20)가 도포되면, 스테이지(110)를 이용하여 피처리물(10)을 제2처리 위치로 이동시킬 수 있다. 제2처리 위치에 설치되어 있는 광조사부는 제1광원을 통해 광경화성 유체(20)를 경화시키기 위한 광을 발생시키고, 제2광원을 통해 광경화성 유체(20)를 경화시켜 형성되는 보호막의 상태를 검사하기 위한 광을 발생시킬 수 있다. 이때, 제2처리 위치에 설치되어 있는 제1광원은 제1처리 위치에 설치되어 있는 제1광원(132)에 비해 강도가 높은 광을 발생시킬 수 있다. 즉, 제2처리 위치에서는 피처리물(10)에 도포된 광경화성 유체(20)를 완전하게 경화시켜 보호막을 형성하기 때문에, 제2처리 위치에 설치되는 제1광원은 광경화성 유체(20)의 일부만 가경화시키는 제1처리 위치의 제1광원(132)보다 강도가 높은 광을 발생시킬 수 있다.
피처리물(10)이 제2처리 위치로 이동되면, 피처리물(10)에 도포된 광경화성 유체(20)는 제1광원에서 발생하는 광에 노출되어 경화되고, 보호막으로 형성될 수 있다. 이와 같이 광경화성 유체(20)를 경화시키면서, 경화된 광경화성 유체(20), 즉 보호막의 상태를 검사하는 과정을 수행할 수 있다. 즉, 광조사부(130)는 광경화성 유체(20)를 경화시키기 위한 광과, 영상획득부(140)에서 조명으로 사용할 광을 동시에 발생시켜 피처리물(10)에 조사하기 때문에, 광경화성 유체(20)의 경화 공정과 검사 공정을 동일한 위치에서 동시에 수행할 수 있다. 영상획득부(140)는 광경화성 유체(20)를 경화시키는데 사용되는 광을 차단할 수 있도록 형성되기 때문에 광경화성 유체(20)의 경화와 검사 공정을 동일한 위치에서 동시에 수행하는 것이 가능하다.
그리고 검사 결과, 피처리물(10)에 형성되는 보호막의 상태가 정상인 경우(S160), 해당 피처리물(10)을 도포 장치(100)의 외부로 반출하여 회수할 수 있다(S170).
반면, 검사 결과, 피처리물(10)에 형성되는 보호막의 상태가 불량한 경우(S160)에는 해당 피처리물(10)을 스테이지(110)에서 제거(Eject)할 수 있다(S180).
이와 같은 방법으로 피처리물에 광경화성 유체를 도포하여 보호막을 형성하게 되면, 피처리물의 이동을 최소화할 수 있다. 특히, 동일한 처리 위치에서 적어도 2가지의 과정을 동시에 수행할 수 있다. 따라서 도포 장치의 크기를 줄일 수 있고, 피처리물을 처리하는데 소요되는 시간을 단축시켜 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 피처리물의 이동에 의해 발생할 수 있는 불량을 억제하여 공정 수율을 향상시킬 수 있다.
여기에서는 피처리물이 디스플레이 패널과 연성회로기판을 포함하고, 광경화성 유체를 디스플레이 패널과 연성회로기판의 본딩 영역에 도포하는 것으로 설명하였다. 그러나 광경화성 유체는 연성회로기판의 벤딩 영역에 도포될 수도 있다.
이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 청구범위뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100: 도포 장치 110: 스테이지
120: 도포부 130: 광 조사부
140: 영상획득부 150: 제어부

Claims (18)

  1. 상부에 피처리물을 지지하기 위한 지지면을 제공하고, 이동 가능하게 설치되는 스테이지;
    상기 피처리물에 광경화성 유체를 도포하기 위한 도포부;
    상기 피처리물에 적어도 2가지 파장을 가지는 광을 조사하도록 상기 스테이지의 상부에 설치되는 광조사부;
    상기 스테이지의 하부에 상기 광조사부와 마주보도록 설치되는 영상획득부; 및
    상기 스테이지, 상기 도포부, 상기 광조사부 및 상기 영상획득부의 동작을 제어하기 위한 제어부;를 포함하는 도포 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 광 조사부는,
    상기 광경화성 유체를 경화시킬 수 있는 제1의 파장의 광을 발생시키는 제1광원과, 상기 제1광원의 일측에 설치되고, 상기 제1의 파장보다 큰 제2의 파장을 가지는 광을 발생시킬 수 있는 제2광원을 포함하는 도포 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1광원은 자외선을 발생시킬 수 있고, 상기 제2광원은 적외선 또는 가시광선을 발생시킬 수 있는 도포 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 영상획득부는,
    카메라; 및
    상기 광조사부에서 조사되는 광으로부터 자외선을 차단하기 위한 광학 모듈;을 포함하는 도포 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 광학 모듈은 자외선 필터, 위상차판 및 편광판 중 적어도 하나를 포함하고,
    상기 자외선 필터는 상기 카메라와 가장 멀리 배치되는 도포 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 스테이지는 광투과성 물질로 형성되는 도포 장치.
  7. 청구항 2에 있어서,
    상기 제어부는,
    하나의 처리 위치에 적어도 2가지 파장의 광을 조사하도록 상기 광조사부의 동작을 제어할 수 있고,
    상기 광조사부의 하부에서 적어도 2가지 파장의 광 중 한 가지 파장의 광을 차단하고, 상기 피처리물의 영상을 획득하도록 상기 영상획득부의 동작을 제어할 수 있는 도포 장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 제어부는 상기 피처리물에 조사되는 광의 강도를 조절하도록 상기 제1광원의 동작을 제어할 수 있는 도포 장치.
  9. 청구항 7에 있어서,
    상기 광조사부와 상기 영상획득부는 상기 스테이지의 이동 방향으로 적어도 2개씩 설치되고,
    상기 제어부는 2개의 광조사부 사이 및 2개의 영상획득부 사이에서 상기 피처리물을 이동시키도록 상기 스테이지의 동작을 제어할 수 있는 도포 장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 2개의 광조사부 각각은 상기 광경화성 유체를 경화시킬 수 있는 제1의 파장의 광을 발생시키는 제1광원과, 상기 제1광원의 일측에 설치되고, 상기 제1의 파장보다 큰 제2의 파장을 가지는 광을 발생시킬 수 있는 제2광원을 포함하고,
    제1처리 위치에 설치되는 제1광원은 상기 스테이지의 이동 방향으로 상기 제1처리 위치의 전방에 설치되는 제1광원보다 낮은 강도를 가지는 광을 발생시킬 수 있는 도포 장치.
  11. 청구항 1 내지 10 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 피처리물은 표시 영역과 비표시 영역을 포함하는 디스플레이 패널과, 상기 비표시 영역을 통해 상기 디스플레이 패널에 연결되는 연성회로기판을 포함하고,
    상기 도포부는 상기 디스플레이 패널과 상기 연성회로기판이 본딩되는 영역과 상기 연성회로기판 중 적어도 하나에 광경화성 유체를 도포할 수 있는 도포 장치.
  12. 피처리물을 처리 공간으로 반입시키는 과정;
    상기 피처리물이 처리될 처리 위치의 상부에서 적어도 2가지 파장을 가지는 광을 조사하는 과정;
    상기 처리 위치에 상기 피처리물을 정렬시키는 과정;
    상기 피처리물에 광경화성 유체를 도포하는 과정;
    상기 광경화성 유체를 경화시켜 보호막을 형성하는 과정; 및
    상기 보호막의 상태를 검사하는 과정;을 포함하고,
    상기 정렬시키는 과정, 상기 도포하는 과정, 상기 보호막을 형성하는 과정 및 상기 검사하는 과정 중 적어도 2가지 과정을 하나의 처리 위치에서 수행하는 도포 방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 광을 조사하는 과정은 상기 광경화성 유체를 경화시키기 위한 광과, 상기 피처리물의 영상을 획득하는데 사용되는 광을 조사하고,
    상기 정렬시키는 과정과 상기 검사하는 과정은 상기 광경화성 유체를 경화시키기 위한 광을 차단하고, 상기 피처리물의 영상을 획득하는 도포 방법.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 광경화성 유체를 도포하는 과정은 상기 피처리물에 광경화성 유체를 도포하면서, 상기 피처리물에 도포되는 광경화성 유체의 일부를 경화시키는 가경화 과정을 포함하는 도포 방법.
  15. 청구항 13에 있어서,
    상기 정렬시키는 과정, 상기 도포하는 과정, 상기 경화시키는 과정 및 상기 검사하는 과정은 동일한 처리 위치에서 수행하는 도포 방법.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 경화시키는 과정은 상기 피처리물에 조사되는 상기 광경화성 유체를 경화시키기 위한 광의 강도를 상기 도포하는 과정보다 높게 조절하는 과정을 포함하는 도포 방법.
  17. 청구항 13에 있어서,
    상기 정렬시키는 과정과 상기 도포하는 과정은 제1처리 위치에서 수행하고, 상기 경화시키는 과정과 상기 검사하는 과정은 제2처리 위치에서 수행하며,
    상기 광경화성 유체를 경화시키는 과정 이전에 상기 피처리물을 상기 제1처리 위치에서 상기 제2처리 위치로 이동시키는 과정을 포함하는 도포 방법.
  18. 청구항 13에 있어서,
    상기 경화시키는 과정은 상기 광경화성 유체를 경화시키기 위한 광의 강도를 상기 도포하는 과정보다 높게 하여 상기 피처리물에 조사하는 도포 방법.
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