JP2003098336A

JP2003098336A - カラーフィルタとその製造方法および装置、ならびに電気光学装置

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Publication number: JP2003098336A
Application number: JP2001292640A
Authority: JP
Inventors: Tomoki Kawase; 智己川瀬
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2001-09-25
Filing date: 2001-09-25
Publication date: 2003-04-03
Anticipated expiration: 2021-09-25
Also published as: JP3969039B2

Abstract

(57)【要約】【課題】カラーフィルタの着色層に生じた欠陥部分お
よび遮光層に生じた欠陥部分を簡単な構成で容易に修正
できるようにする。【解決手段】透明基板２１上に、遮光層２１および着
色層２３Ｒ，２３Ｇ，２３Ｂからなるフィルタ層２５を
備えたカラーフィルタを製造する方法であって、フィル
タ層２５に存在する欠陥部分３１を検出する検出工程
と、検出された欠陥部分３１に対し、インクジェットヘ
ッド１６を用いて、中間色の修正液３２を吐出する吐出
工程を有するカラーフィルタの製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルタと
その製造方法および装置、ならびにカラーフィルタを備
えた電気光学装置に関するもので、特にカラーフィルタ
の欠陥部分を修正する技術を向上させたものである。

【０００２】

【従来の技術】例えばカラー液晶ディスプレイは、基板
上にＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の着色層が、予め定
められた配列パターンで設けられたカラーフィルタを備
えている。各色の着色層はストライプ配列、デルタ配
列、またはモザイク配列などの配列で並べられており、
異なる色の着色層の境界には遮光層（ブラックマトリク
ス）が設けられている。

【０００３】かかる構成のカラーフィルタは、例えば次
のようなフォトリソグラフィを用いた方法により製造さ
れる。まず、透明基板上に顔料を含有する感光性樹脂を
塗布し、これをフォトリソグラフィ工程を経て所定の形
状にパターニングすることによって、３色のうちの１色
の着色層を形成する。この工程を繰り返すことによって
Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色の着色層を形成す
る。遮光層も同様にして形成することができる。また、
カラーフィルタを製造する他の方法として、パターニン
グした感光性染色基質に染色を施す染色法や、着色層を
インクジェット法を用いて形成する方法等もある。

【０００４】しかしながら、いずれの製造方法において
も、着色層および遮光層を欠陥なしに製造することは困
難である。特に着色層や遮光層にピンホールが形成され
ていると、ピンホールにおける光透過率が周囲よりも高
くなるために、表示画面において、ピンホールの部分が
白く明るい輝点となって非常に目立ってしまうという問
題があった。そこで、欠陥のあるカラーフィルタを修正
することによって良品とする技術が提案されている。例
えば特開平１１−２７１７５２号公報には、着色層に生
じたピンホールを検出し、検出されたピンホールに対し
てインクジェットヘッドを用いて、その着色層と同じ色
の着色材料を吐出することにより修正を行う方法が開示
されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな修正方法では、インクジェットヘッドからの吐出液
として、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色の着色材
料を用意する必要があり、また３色それぞれについてイ
ンクジェットヘッド等の吐出機構を別々に設ける必要が
あった。このため、吐出液およびインクジェットヘッド
のメンテナンスが煩雑であるという不都合があった。ま
た、欠陥部分に付与すべき着色材料の色が、いずれの色
であるかを特定するためのシステムも必要であるので装
置構成が複雑になるうえ、誤認、誤作動などによりある
着色層上に異なる色の着色材料が吐出された場合には、
その着色材料を除去して再修正しなければならないとい
う問題もあった。また遮光層を備えたカラーフィルタを
製造する際には、遮光層にもピンホール等の欠陥が生じ
る場合があるが、遮光層の欠陥を修正するのに好適な方
法は知られておらず、上記公報においても遮光層の欠陥
については言及されていない。

【０００６】したがって本発明の課題は、着色層に生じ
た欠陥部分および遮光層に生じた欠陥部分を簡単な構成
で容易に修正できるようにした製造方法と装置、および
この方法により得られたカラーフィルタ、ならびにこの
カラーフィルタを備えた電気光学装置を提供することに
ある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板上に、
遮光層および着色層からなるフィルタ層を備えたカラー
フィルタを製造する方法であって、前記フィルタ層に存
在する欠陥部分を検出する検出工程と、検出された欠陥
部分に対し、インクジェットヘッドを用いて、中間色の
修正液を吐出する吐出工程を有することを特徴とする。

【０００８】本発明におけるフィルタ層の欠陥部分と
は、本来着色層および／または遮光層が形成されるべき
領域内において着色層および遮光層のいずれも存在して
いない部分、すなわちカラーフィルタに光を透過させた
ときに輝点となる、いわゆる白抜け部分をいう。例えば
ピンホールや、摩擦等によって着色層および遮光層が剥
離した部分等である。本発明のカラーフィルタの製造方
法によれば、このような欠陥部分を検出し、インクジェ
ットヘッドで修正液を吐出することにより、欠陥部分が
微小であっても、その部分にのみ修正液を塗布して修正
を施すことが可能である。そして、仮に欠陥部分（白抜
け部分）を修正するのに黒色の修正液を用いると、表示
画面においては修正部分が目立たないが、修正部分での
光透過率の低下が大きいので、表示画面全体が暗くなる
おそれがある。そこで本発明では、中間色の修正液を用
いて欠陥部分を修正することにより、修正部分における
光透過率の低下を抑えつつ、表示画面において欠陥部分
を目立たなくすることができるので、良好な修正状態が
得られる。また、欠陥部分の修正に中間色の修正液を用
いるので、各色の着色層内の欠陥部分についても、また
遮光層内の欠陥部分についても、共通の修正液で修正す
ることができる。したがって複数種類の修正液を用意す
る必要がなく、インクジェットヘッド等の吐出機構も１
つで済む。さらに、欠陥部分に付与すべき着色材料の色
が、いずれの色であるかを特定するためのシステムも不
要となり、また欠陥部分以外の領域に誤って修正液が付
着しても、表示画面では目立たないので、これを修正し
なくてもよいなど、フィルタ層（着色層および／または
遮光層）の欠陥部分を簡単な構成で容易に修正すること
ができる。

【０００９】本発明の製造方法において、前記修正液と
して、黒と白の中間色のものを用いるのが好ましい。黒
と白の中間色、いわゆるグレー系の修正液は、Ｒ
（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のいずれの色の着色層にお
いても、また遮光層においても、修正部分における光透
過率の低下を抑えつつ、表示画面において欠陥部分を目
立たなくするのに好ましい。

【００１０】本発明の製造方法において、前記検出工程
では、前記フィルタ層を撮影して得られる画像を観察す
ることによって、前記欠陥部分を検出することが好まし
い。かかる構成によれば、フィルタ層を、画像を介して
目視により観察することができるので、欠陥部分を確実
に、精度良く検出することができる。

【００１１】また本発明の製造方法において、前記吐出
工程の後、前記修正液が吐出された欠陥部分を観察する
確認工程を有し、該確認工程において前記欠陥部分内に
未修正個所の存在が認められれば、該未修正個所に対し
て、前記インクジェットヘッドを用いて、前記修正液を
再度吐出することが好ましい。かかる構成によれば、確
認工程を設けることによって、欠陥部分の修正状態の良
否を確認することができ、欠陥部分が完全に修正液で埋
められておらず、未修正個所が存在している場合には、
これを再修正することができる。したがって、欠陥部分
の修正をより確実に行うことができ、製品の歩留まり向
上に寄与することができる。

【００１２】本発明のカラーフィルタの製造装置は、基
板上に、遮光層および着色層からなるフィルタ層を備え
たカラーフィルタを製造する装置であって、前記基板上
のフィルタ層を観察する観察部と、前記フィルタ層に対
して、中間色の修正液を吐出可能なインクジェットヘッ
ドと、該インクジェットヘッドと前記基板との相対位置
を変える駆動部を備えてなることを特徴とする。

【００１３】かかる構成によれば、基板上のフィルタ層
を観察することにより着色層または遮光層に生じている
欠陥部分を確実に、精度良く検知することができる。そ
して、インクジェットと基板との相対位置を変えること
によって、インクジェットヘッドの吐出位置に欠陥部分
を配置させ、このインクジェットヘッドから基板上に中
間色の修正液を吐出することにより、欠陥部分に修正液
からなる塗膜を形成して修正を行うことができる。

【００１４】本発明の装置において、前記観察部が、前
記フィルタ層を撮影するカメラと、該カメラで撮影され
た画像を表示する観察用モニターとを備えており、前記
カメラと前記インクジェットヘッドとが一体的に設けら
れていることが好ましい。

【００１５】かかる構成によれば、基板上のフィルタ層
を撮影するカメラとインクジェットヘッドとが一体的に
設けられているので、カメラおよびインクジェットヘッ
ドを基板に対して相対的に移動させながら基板上を観察
し、カメラの撮影領域内で欠陥部分が検知されたら、こ
の欠陥部分をインクジェットヘッドの吐出位置に移動さ
せる。このとき、フィルタ層上において、カメラによっ
て撮影される領域と、インクジェットヘッドからの吐出
位置との位置関係は常に一定であるので、撮影領域内に
位置している欠陥領域を、予め設定された所定方向へ所
定距離だけ移動させることによって吐出位置へ移動させ
ることができる。したがって欠陥部分を吐出位置へ移動
させる操作を、簡単に、再現性良く、高精度に行うこと
ができる。よって、欠陥部分に、精度良く修正インクを
吐出することができる。

【００１６】本発明の装置において、前記修正液とし
て、黒と白の中間色のものを用いるのが好ましい。黒と
白の中間色、いわゆるグレー系の修正液は、Ｒ（赤）、
Ｇ（緑）、Ｂ（青）のいずれの色の着色層においても、
また遮光層においても、修正部分における光透過率の低
下を抑えつつ、表示画面において欠陥部分を目立たなく
するのに好ましい。

【００１７】本発明のカラーフィルタは、基板上に、遮
光層および着色層からなるフィルタ層が設けられてお
り、該フィルタ層の欠陥部分内に、中間色の修正液から
なる塗膜が形成されていることを特徴とする。かかる構
成によれば、遮光層および／または着色層の欠陥部分内
に中間色の塗膜が形成されているので、これを用いて表
示装置を構成したときに、表示画面において欠陥部分が
輝点とならず、目立たなくなっている。したがって、カ
ラー表示画面における表示不良が改善される。

【００１８】本発明のカラーフィルタにおいて、着色層
の欠陥部分内に形成された前記塗膜における光透過率が
５〜９５％であることが好ましい。欠陥部分が着色層内
に存在する場合、この欠陥部分内に形成された修正液か
らなる塗膜における光透過率が大きすぎると、表示画面
においてこの修正部分（塗膜）が明るい輝点となって目
立つおそれがある。一方、修正液からなる塗膜における
光透過率が小さいほど、カラーフィルタにおける透過光
量が少なくなるので、表示画面は暗くなる傾向がある。
したがって、この欠陥部分内の塗膜における光透過量が
上記の範囲であれば、表示画面において修正部分（塗
膜）が目立たず、また所期の透過光量を得るうえで好ま
しい。

【００１９】本発明のカラーフィルタにおいて、前記修
正液が黒と白の中間色であることが好ましい。特に、欠
陥部分内に形成された塗膜が、黒と白の中間色、いわゆ
るグレー系の色調であれば、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ
（青）のいずれの色の着色層においても、また遮光層に
おいても、この欠陥部分内の塗膜における光透過率の低
下を抑えつつ、表示画面において欠陥部分を目立たなく
するのに好ましい。

【００２０】本発明の電気光学装置は、本発明のカラー
フィルタを備えたことを特徴とする。かかる構成によれ
ば、カラーフィルタの遮光層および／または着色層の欠
陥部分が表示画面において目立たたなくなっているの
で、見かけ上、欠陥による表示不良がないカラー表示特
性に優れた電気光学装置が得られる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る第１実施形態
を、図１から図４を参照しながら説明する。図１は本発
明のカラーフィルタの製造方法を実施するのに好適なカ
ラーフィルタ製造装置の一実施形態を示したもので、特
に欠陥部分の検知および修正を行う装置の概略構成図で
ある。図中符号４は、透明基板上に遮光層と着色層から
なるフィルタ層を作製する工程を終えた基板（本明細書
では、カラーフィルタ基板という）であり、テーブル３
上に固定されるようになっている。テーブル３は、水平
方向（Ｙ方向）に移動可能に構成されており、Ｙ方向駆
動手段１７を備えている。このＹ方向駆動手段１７は、
リニアモータ、サーボモータ、パルスモータなどで構成
され、テーブル３をＹ方向へ±２μｍ程度の精度で移動
できるようになっている。またテーブル３は、その垂直
中心軸を軸として回転する方向（θ方向）に移動可能に
構成されており、θ方向駆動手段２を備えている。この
θ方向駆動手段２はステッピングモータ等で構成され
る。

【００２２】テーブル３の上方には、このテーブル３上
のカラーフィルタ基板４を撮影するカメラ７と、カラー
フィルタ基板４上に対して修正液を吐出するインクジェ
ットヘッド１６とが固定された支持部材１１が設けられ
ている。支持部材１１は、水平方向であってテーブル３
の移動方向（Ｙ方向）に対して垂直なＸ方向に移動可能
に構成されており、Ｘ方向駆動手段９を備えている。こ
のＸ方向駆動手段９は、リニアモータ、サーボモータ、
パルスモータなどで構成され、支持部材１１をＸ方向へ
±２μｍ程度の精度で移動できるようになっている。ま
た、支持部材１１上において、垂直方向（Ｚ方向）にお
けるインクジェットヘッド１６の位置が調整可能に構成
されており、そのための位置制御機構６を備えている。
このインクジェットヘッド１６の位置制御機構６は、例
えば垂直方向のガイドレールとマイクロメーターで構成
される。また支持部材１１が移動するＸ方向と、テーブ
ル３の面方向とが、常に平行に保たれるように高精度に
構成されることが好ましい。

【００２３】インクジェットヘッド１６は、修正液を吐
出するノズル（図示略）を備えており、ノズルに修正液
を供給する機構およびノズルから所定量の修正液を吐出
する吐出機構を備えたヘッドユニット５が設けられてい
る。吐出機構は、例えば電圧を印加すると変形するピエ
ゾ素子によって液室を圧縮し、その圧力波で液体を吐出
させるように構成される。なお、インクジェットヘッド
１６としては、ピエゾ素子方式の他に、熱エネルギーを
利用した方式も利用できる。またこれら以外であっても
５０ｐｌ以下の液体を±３０μｍ以内の着弾位置精度で
吐出できる方式であればよく、任意の方式のものを用い
ることができる。符号１０はインクジェットヘッド１６
から吐出される修正液の重量を測定するための電子天秤
である。インクジェットヘッド１６をＸ方向に沿って移
動させて電子天秤１０の上方に位置させ、電子天秤１０
上に修正液を吐出させることにより吐出量を測定するこ
とができる。以上の各構成部品は、図１に示すように、
カバー８を備えたケース内に収容されている。

【００２４】本実施形態の装置において、観察部は、前
記カメラ７と、このカメラ７で撮影された画像を表示す
る観察用モニター１を備えている。また、インクジェッ
トヘッド１６とカラーフィルタ基板４との相対位置を変
えるための駆動部としては、Ｘ方向駆動手段９と、Ｙ方
向駆動手段１７と、θ方向駆動手段２を備えており、こ
れらの駆動手段は制御装置１３により制御できるように
なっている。制御装置１３は、記憶手段を備えたコンピ
ュータ装置１５と、これに接続されたキーボード１４お
よびモニター装置１２を備えている。また、インクジェ
ットヘッド１６のヘッドユニット５の操作も、この制御
装置１３で制御できるように構成されている。

【００２５】修正液は、インクジェットヘッド１６より
吐出可能な物性を有し、硬化して塗膜を形成するもの
で、色調が中間色のものが使用される。例えば、熱硬化
性樹脂に染料または顔料を分散させ、適宜の溶剤で希釈
したものが好ましく用いられる。修正液の粘度は２〜２
０ｍＰａ・ｓ程度が好ましい。また、インクジェットヘ
ッドから吐出された修正液が欠陥部分にのみ精度良く充
填され、着色層上に不要な修正液が付着しないように、
着色層の上面と修正液との濡れ性が小さい方が好まし
い。そのために、修正液の着色層に対する接触角が３０
°以上と大きいことが好ましい。例えば、修正液として
ヘキサフルオロポリプロピレン等のフッ素樹脂を含有す
る溶剤系の顔料インクを用いると、このものはカラーフ
ィルタの着色層に対して撥水性を有するので好ましい。
あるいは、修正液の吐出工程に先立って、着色層に対し
て撥液処理を施すことによって、着色層の上面と修正液
との濡れ性を小さくすることもできる。

【００２６】着色層に対する撥液処理は、周知の手法を
適宜用いて行うことができる。例えば以下のようなプラ
ズマ重合による方法を用いて行うことができる。すなわ
ち、まず撥液処理のための原料液を用意する。撥液処理
用原料液としては、Ｃ₄Ｆ₁₀やＣ₈Ｆ₁₆などの直鎖状ＰＦ
Ｃからなる液体有機物が好適に用いられる。そして、撥
液処理用原料液の蒸気をプラズマ処理装置においてプラ
ズマ化する。このようにして直鎖状ＰＦＣの蒸気がプラ
ズマ化されると、直鎖状ＰＦＣの結合が一部切断されて
活性化する。活性化されたＰＦＣが着色層の表面に到達
すると、着色層上でＰＦＣが互いに重合し、撥液性を有
するフッ素樹脂重合膜を形成する。

【００２７】また撥液処理用原料液として、例えばデカ
トリエンを用いることもできる。その場合、プラズマ処
理によって活性化されたＣＦ₄または酸素を添加するこ
とにより、得られる重合膜に撥液性を付与することがで
き、これによって撥液性のフッ素樹脂重合膜を形成する
ことができる。また、撥液処理用原料液として、フルオ
ロカーボンを用いることもできる。その場合、プラズマ
処理によって活性化したＣＦ₄を添加することにより、
原料液をプラズマ化した際に原料液であるフルオロカー
ボン中のフッ素の一部が離脱したとしても、前記の活性
なフッ素を重合膜中に取り込むことができる。これによ
り、得られるフッ素樹脂重合膜の撥液性を高めることが
できる。

【００２８】また、その他の撥液処理方法としては、波
長１７０〜４００ｎｍ程度の紫外線を照射する方法、オ
ゾン雰囲気中に曝す方法、ＨＭＤＳ処理（(ＣＨ₃)₃Ｓｉ
ＮＨＳｉ(ＣＨ₃)₃を蒸気状にして塗布する方法）、ある
いは、例えば紫外線を照射しながらオゾン雰囲気に曝す
など、複数の手法を組み合わせた方法等を用いることも
できる。

【００２９】修正液の色調は、中間色であればよいが、
特に黒と白の中間色、すなわちグレー系が好ましい。ま
た修正液の色の濃淡は、修正液に含まれる染料および顔
料の種類および含有量を変えることによって制御可能で
あるが、着色層の欠陥部分内にこの修正液を吐出したと
きに、その修正液が硬化して形成される塗膜における光
透過率が５〜９５％程度となるように調製することが好
ましい。なお、ここでの光透過率は、欠陥部分内の修正
液が硬化した直後、すなわち修正後の欠陥部分上に他の
層（例えばオーバーコート層等）を形成する前に測定し
た値とする。一般的に、カラーフィルタの着色層におけ
る光透過率は、着色層形成直後において、１５〜８５％
程度であるので、着色層の欠陥部分内に形成された塗膜
における光透過率が上記の範囲であれば、修正部分（塗
膜）とこれに隣接する着色層とで光透過率の差が小さく
抑えられる。したがって、表示画面において着色層内の
修正部分（塗膜）が目立ち難く、また、この修正部分
（塗膜）は本来着色層が形成されるべき領域であったの
で、設計値に近い透過光量を得ることができる。

【００３０】好ましいグレー系の修正液の例としては、
着色剤としてのカーボンブラックと、例えばカルボキシ
ル基を含有するポリマー類などからなるバインダー樹脂
と、例えばジエチレングリコールモノブチルエーテルア
セテートなどの高沸点溶剤とを配合してなるものが挙げ
られる。

【００３１】図２は本実施形態におけるカラーフィルタ
の製造方法を工程順に示した断面図である。まず図２
（ａ）に示すように、透明基板２１上に、フォトリソグ
ラフィ工程を用いて遮光層２２を格子状に形成する。具
体的には、例えばクロムからなる層をスパッタ法等の薄
膜形成方法を用いて透明基板２１の全面上に形成し、こ
のうえにレジスト層を形成する。そしてこのレジスト層
に対して所定形状のフォトマスクを介して露光した後、
現像してパターン化されたレジスト層を得る。さらにこ
のパターン化されたレジスト層をエッチングマスクとし
てクロム層をエッチングし、しかる後にレジスト層を除
去することによって、格子状にパターン化された遮光層
（ブラックマトリクス）２２が得られる。遮光層２２
は、クロム層と酸化クロム層を積層した構造としてもよ
く、あるいは遮光層２２を形成する材料として、例えば
ポリイミド系樹脂やアクリル系樹脂に黒色染料、黒色顔
料、またはカーボンブラック等を分散させた樹脂材料を
用いることもできる。

【００３２】次に、図２（ｂ）に示すように遮光層２２
を形成した領域上に、３色の着色層のうちの１色、例え
ば赤の顔料が分散された感光性樹脂を塗布して赤色樹脂
層２３を形成する。そして図２（ｃ）に示すように、フ
ォトマスク２４を介して、赤（Ｒ）の着色層を形成する
領域のみを露光した後現像して、露光されていない領域
の赤色樹脂層２３を除去することにより、図２（ｄ）に
示すように、赤（Ｒ）の着色層２３Ｒを形成する。

【００３３】このようにして赤（Ｒ）の着色層２３Ｒを
形成した後、３色の着色層のうちの他の１色、例えば緑
の顔料が分散された感光性樹脂を、遮光層２２が形成さ
れている領域全面に塗布して緑色樹脂層（図示略）を形
成し、赤（Ｒ）の着色層２３Ｒを形成する手順と同様に
して、露光および現像を行うことにより、図２（ｅ）に
示すように、緑（Ｇ）の着色層２３Ｇを形成する。さら
に同様の手順で青（Ｂ）の着色層２３Ｂを形成する。

【００３４】このようにして、透明基板２１上に、遮光
層２２および３色の着色層２３Ｒ、２３Ｇ，２３Ｂから
なるフィルタ層２５を形成してカラーフィルタ基板３０
を得た後、図１に示した装置を用いて、このカラーフィ
ルタ基板３０に対して、フィルタ層２５の欠陥部分の検
出および修正を行う。なお、後述する修正液の吐出工程
に先立って、着色層２３Ｒ、２３Ｇ，２３Ｂの上面と修
正液との濡れ性を小さくすることを目的として撥液処理
を行う場合には、フィルタ層２５を形成した後、カラー
フィルタ基板３０を図１に示した装置にセットする前に
撥液処理を行うことが好ましい。

【００３５】図３は、カラーフィルタ基板３０の一例を
示したもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は図３（ａ）中
のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。本実施形態では、遮光
層２２が格子状に形成され、３色の着色層２３Ｒ、２３
Ｇ，２３Ｂがストライプ状に配列されているが、着色層
の配列は、これに限らずモザイク配列、デルタ配列等と
適宜変更可能である。この例では、赤（Ｒ）の着色層２
３Ｒにピンホールが形成されており、このピンホールが
白抜けの欠陥部分３１となっている。

【００３６】まず、図１に示す装置のテーブル３上にカ
ラーフィルタ基板３０を固定し、カメラ７でカラーフィ
ルタ基板３０のフィルタ層２５を撮影して、その画像を
観察用モニター１に表示して観察を行う。このとき制御
装置１３で、Ｘ方向駆動手段９、Ｙ方向駆動手段１７、
およびθ方向駆動手段２を適宜駆動させながら、支持部
材１１とカラーフィルタ基板３０との相対位置を変えて
スキャンしながら、フィルタ層２５における欠陥部分の
有無を観察する。また、フィルタ層２５に生じている欠
陥部分３１の位置が予めわかっている場合には、その部
分だけを観察してもよい。

【００３７】そして、観察用モニター上で欠陥部分３１
の存在が認められたら、この欠陥部分３１が、カメラ７
の撮影領域内の予め設定された特定位置に位置するよう
に、支持部材１１とカラーフィルタ基板３０とを相対的
に移動させる。具体的には、例えば観察用モニター１に
表示されるカメラ７の撮影領域に対して、モニター画面
上で座標軸を設定しておき、所定の座標に欠陥部分３１
を位置させる。次いで、欠陥部分３１を、カメラ７の撮
影領域内の特定位置に位置決めしたら、制御装置１３
で、支持部材１１とカラーフィルタ基板３０とを、所定
方向に所定距離だけ相対的に移動させて、欠陥部分３１
をインクジェットヘッド１６の吐出位置に一致させる。
このときの移動方向および移動距離は、予め、支持部材
１１に固定されているカメラ７とインクジェットヘッド
１６との位置関係に応じて、カメラ７の撮影領域内の前
記特定位置から、インクジェットヘッド１６の吐出位置
への移動方向および移動距離を求めておき、これを制御
装置１３の記憶手段に記憶させておく。

【００３８】そして、図３（ｂ）に示すように、インク
ジェットヘッド１６の吐出位置に欠陥部分３１が一致し
たときに、制御装置１３で、ヘッドユニット５の吐出機
構を操作してインクジェットヘッド１６から修正液３２
を吐出させる。また、修正液３２を吐出させる前に、必
要に応じて、位置制御機構６により、インクジェットヘ
ッド１６のＺ方向における位置を調整してもよい。修正
液３２を吐出するときに、インクジェットヘッド１６の
ノズル先端からフィルタ層２５の上面までの距離Ｌが、
大きすぎると吐出精度が悪くなり、小さすぎるとノズル
先端がフィルタ層２５の上面に接触して外傷を与えるお
それがある。したがって、吐出時においては、インクジ
ェットヘッド１６のノズル先端からフィルタ層２５の上
面までの距離Ｌを０．２〜２ｍｍ程度とすることが好ま
しい。

【００３９】修正液３２の吐出量は、欠陥部分３１に充
填された修正液３２が、後工程で乾燥、硬化されて図２
（ｆ）に示すような塗膜３１ａを形成したときに、その
塗膜３１ａの上面が、その周囲の着色層、本例において
は着色層２３Ｒの上面と面一になるように設定すること
が好ましい。また塗膜３１ａの上面が、その周囲の着色
層の上面より若干低くて多少の段差が生じてもよいが、
この段差が大きすぎると、その後の工程でフィルタ層２
５上にオーバーコート層２６を形成したときに、良好な
平坦性が得られないおそれがある。したがって、修正液
３２からなる塗膜３１ａの上面と、その周囲の着色層２
３Ｒの上面との段差は０．５μｍ以下であることが好ま
しい。なお、欠陥部分３１を、カメラ７の撮影領域内の
特定位置に位置決めする工程において、欠陥部分３１の
大きさを測定し、これに応じて修正液３２の吐出量を制
御してもよい。

【００４０】修正液３２を吐出した後、再び、制御装置
１３で支持部材１１とカラーフィルタ基板３０の相対位
置を変化させて、修正液３２が吐出された欠陥部分３１
をカメラ７の撮影領域内に移動させる。このときの移動
方向および移動距離は、前工程において、欠陥部分３１
をカメラ７の撮影領域内の前記特定位置からインクジェ
ットヘッド１６の吐出位置へ移動させたときと、逆向き
の移動方向で等しい移動距離とすればよく、予め制御装
置１３の記憶手段に記憶させておく。そして、観察用モ
ニター１で、修正液３２が吐出された欠陥部分３１を観
察し、欠陥部分３１に白抜けしている箇所が残っていな
いかを確認する。

【００４１】また、修正液３２を吐出した後に、必要に
応じて、位置制御機構６により、インクジェットヘッド
１６のＺ方向における位置を調整してもよい。インクジ
ェットヘッド１６とカラーフィルタ基板３０とが相対的
に移動されるときに、インクジェットヘッド１６のノズ
ル先端からフィルタ層２５の上面までの距離Ｌが小さす
ぎると、ノズル先端がフィルタ層２５の上面に接触して
外傷を与えるおそれがある。インクジェットヘッド１６
が移動するＸ方向とテーブル３の面方向との平行度が精
密に制御されている場合は、上記距離Ｌが小さい状態
で、インクジェットヘッド１６とカラーフィルタ基板３
０との相対移動を行っても構わないが、これらの移動時
においては、上記距離Ｌを５〜１０ｍｍ程度としておく
ことが好ましい。

【００４２】観察の結果、欠陥部分３１に白抜けしてい
る未修正個所が残っていることが認められたら、この未
修正個所に対して、前工程と同様の操作を繰り返してイ
ンクジェットヘッド１６から修正液３２を再度吐出す
る。すなわち、未修正個所をカメラ７の撮影領域の特定
位置に位置決めした後、支持部材１１とカラーフィルタ
基板３０とを、予め設定された所定方向に所定距離だけ
相対的に移動させて、未修正個所をインクジェットヘッ
ド１６の吐出位置に一致させ、インクジェットヘッド１
６から修正液３２を吐出させる。また観察の結果、修正
液３２が吐出された欠陥部分３１の修正状態が良好で未
修正個所がなければ、引き続きフィルタ層２５の他の欠
陥部分について、同様の操作で検出および修正を行う。

【００４３】すべての欠陥部分の修正が終わったら、テ
ーブル３上からカラーフィルタ基板３０を取り外して、
フィルタ層２５に吐出された修正液３２の乾燥・硬化を
行う。これにより、図２（ｆ）に示すように、欠陥部分
３１内に中間色の塗膜３１ａが形成される。修正液３２
を乾燥・硬化させる方法は特に限定されないが、例え
ば、５０〜１００℃のホットプレート上で３〜１０分間
程度加熱し、その後オーブン中にて１５０〜２３０℃、
３０〜９０分間程度加熱する方法を用いることができ
る。

【００４４】修正液３２を硬化させた後、図２（ｆ）に
示すように、カラーフィルタ基板３０上の全面に、例え
ばアクリル系樹脂からなる透明樹脂を塗布してオーバー
コート層２６を形成する。また、必要であれば、オーバ
ーコート層２６上に、例えばＩＴＯ（インジウムスズ酸
化物）膜等の透明導電膜からなる電極層２７を形成した
後、パターン化してなるストライプ状の電極２７ａを形
成し、さらに必要であれば、その上面に配向膜２８を形
成してカラーフィルタ２００が得られる。なお、前工程
において着色層２３Ｒ、２３Ｇ，２３Ｂ上面に対して撥
液処理を施した場合、必要に応じてオーバーコート層２
６の形成に先立って、着色層に対して紫外線照射等の親
液処理を施してもよい。

【００４５】このようにして得られたカラーフィルタ２
００は、基板２１上に、マトリクス状に配された画素を
備えており、画素と画素の境目は、遮光層（ブラックマ
トリクス）２２によって区切られている。１つ１つの画
素にはＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のいずれかの着色
層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂが形成されており、遮光層２
２および着色層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂからなるフィル
タ層２５の全体を覆うようにオーバーコート層２６が形
成されている。オーバーコート層２６上には電極層２７
および配向膜２８が順に形成されている。また、フィル
タ層２５の欠陥部分３１内には、中間色の修正液３２か
らなる塗膜３１ａが形成されている。

【００４６】本実施形態によれば、Ｒ（赤）の着色層２
３Ｒに生じていた欠陥部分３１が、中間色の修正液３２
からなる塗膜３１ａによって埋められたので、このカラ
ーフィルタ２００に光を透過させたときに、欠陥部分３
１が輝点とならず目立たない。また、欠陥部分３１に形
成されている塗膜３１ａは中間色であるので、ある程度
光を透過させることができる。したがって、欠陥部分３
１が良好な状態に修正されるとともに、光透過率の低下
が小さく抑えられたカラーフィルタ２００が得られる。
また、本実施形態では、観察用モニター１を介して、フ
ィルタ層２５の欠陥部分３１を目視により観察できるの
で、確実に欠陥部分３１を検知することができる。また
目視により観察しながら欠陥部分３１の位置特定を行
い、インクジェットヘッド１６の吐出位置への移動開始
を手動で操作することができ、このときの移動距離、移
動方向の設定も変更可能であるので、欠陥部分３１を高
精度に吐出位置に移動させることができる。さらに、一
度、修正液３２を吐出した直後に、簡単な操作で欠陥部
分３１を再度観察することができる。また未修正個所が
残っていて再度の修正が必要な場合も、簡単な操作で欠
陥部分３１を、再度、吐出位置に高精度に、かつ容易に
移動させることができる。

【００４７】なお本実施形態では、欠陥部分３１が、着
色層２３Ｒが一部欠落したことによるピンホールである
場合を例に挙げて説明したが、この例に限らず、白抜け
を生じさせる各種の欠陥部分についても同様にして修正
を行うことができる。例えば、着色層２３Ｒ、２３Ｇ、
２３Ｂや遮光層２２の厚さが不足しているために、白抜
けを生じるような欠陥部分に対しても、同様にして、欠
陥部分内に中間色の修正液を吐出して塗膜を形成するこ
とによって、修正を行うことができる。あるいは、摩擦
によって、着色層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂや遮光層２２
の一部が剥がれて生じたような、比較的広面積の欠陥部
分に対しても、同様にして、欠陥部分内に中間色の修正
液を吐出して塗膜を形成することによって、修正を行う
ことができる。特に、本発明では、中間色の修正液を用
いるので、１つの欠陥部分が異なる色の着色層にまたが
っている場合、あるいは１つの欠陥部分が着色層と遮光
層とにまたがっている場合なども含めて、あらゆる欠陥
部分に対して中間色の修正液を吐出して塗膜を形成する
ことによって、良好な修正を行うことができるという利
点を有する。

【００４８】次に、本発明に係るカラーフィルタを備え
た電気光学装置について説明する。図４は、本実施形態
で得られたカラーフィルタ２００を備えた液晶装置の一
例を示す要部断面図である。この例の液晶装置２０１は
パッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）であり、
この液晶装置２０１に、液晶駆動用ＩＣ、支持体、バッ
クライト、配線類などの付帯要素を装着することによっ
て、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。

【００４９】本例の液晶装置２０１は、上記第１の実施
形態で説明したカラーフィルタ２００を備えており、カ
ラーフィルタ２００を下側（観測者側の反対側）に配置
したものである。尚、カラーフィルタ２００について
は、図２（ｆ）と同一の構成要素には同一の符号を付し
て説明を省略する。この例の液晶装置２０１は、カラー
フィルタ２００とガラス基板等からなる対向基板２０２
との間にＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶等から
なる液晶層２０３が挟持されて概略構成されている。

【００５０】本実施形態において、カラーフィルタ２０
０の電極層２７は、所定の間隔でストライプ状に形成さ
れた複数の電極２７ａからなっており、対向基板２０２
のカラーフィルタ２００と対向する面上（液晶層側）に
は、カラーフィルタ２００の電極２７ａと直交する方向
に延在する複数の電極２０４が、所定の間隔でストライ
プ状に形成され、その上面を覆うように配向膜２０５が
形成されている。そして、カラーフィルタ２００の電極
２７ａと、対向基板２０２の電極２０４と交差する部位
が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ
２００の着色２３Ｒ，２３Ｇ，２３Ｂが位置するように
構成されている。カラーフィルタ２００および対向基板
２０２外面側には偏光板２０６，２０７がそれぞれ設置
されている。また、符号２０８は基板間の間隔（セルギ
ャップという）を基板面内で一定に保持するためのスペ
ーサである。

【００５１】かかる構成の液晶装置２０１によれば、カ
ラーフィルタ２００のフィルタ層２５における欠陥部分
が、中間色の塗膜３１ａで埋められているので、このカ
ラーフィルタ２００の透過光を利用して表示される画面
において、欠陥部分が目立たなくなっており、また、欠
陥部分での透過率の低下も小さい。したがって、見かけ
上は欠陥のない良好な液晶表示画面が得られる。

【００５２】なお、本例では、カラーフィルタ２００を
下側（観察者側と反対側）に配置した透過型のパッシブ
マトリックス型液晶装置を例に挙げたが、カラーフィル
タ２００を上側（観察者側）に設けた構成とすることも
できる。また、パッシブマトリックス型の液晶装置に限
らず、電極形状やスイッチング素子等の構成を変更すれ
ば、同様のカラーフィルタ２００を用いてアクティブマ
トリックス型の液晶装置を構成することもできる。さら
に、適宜の位置に反射層あるいは半透過反射層を設け
て、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置
を構成することもできる。

【００５３】また、カラーフィルタ２００を備えた電気
光学装置としては、液晶表示装置に限らず、例えばプラ
ズマアドバンス型ディスプレイ等を挙げることができ
る。

【００５４】なお、上記第１の実施形態では、観察用モ
ニター１を介して、フィルタ層２５の欠陥部分３１を目
視により観察しながら、欠陥部分３１の検知、位置決
め、および修正後の確認を行ったが、目視による観察を
せずに、欠陥部分の検知および修正を自動的に行うこと
もできる。以下、本発明の第２の実施形態を説明する。

【００５５】図５は本発明のカラーフィルタの製造方法
を実施するのに好適なカラーフィルタ製造装置の第２の
実施形態を示したもので、特に欠陥部分の検知および修
正を行う装置の概略構成図である。図中符号３０は、前
記第１の実施形態と同様にして基板２１上に、遮光層２
２および着色層２３Ｒ，２３Ｇ，２３Ｂからなるフィル
タ層２５を形成したカラーフィルタ基板である。本実施
形態の装置は、インクジェットヘッド１０１、Ｘ方向駆
動軸１０４、Ｙ方向ガイド軸１０５、制御装置１０６、
テーブル１０７、検出装置１０８、基台１０９を備えて
いる。テーブル１０７は、Ｙ方向ガイド軸１０５上を移
動可能に構成されており、カラーフィルタ基板３０を基
準位置に固定する機構を備えている。インクジェットヘ
ッド１０１には、修正液をテーブル１０７上のカラーフ
ィルタ基板３０に向かって吐出するノズル（吐出口）が
設けられている。

【００５６】Ｘ方向駆動軸１０４には、Ｘ方向駆動モー
タ１０２が接続されている。Ｘ方向駆動モータ１０２
は、ステッピングモータ等であり、制御装置１０６から
Ｘ軸方向の駆動信号が供給されるとＸ方向駆動軸１０４
を回転させる。Ｘ方向駆動軸１０４が回転するとインク
ジェットヘッド１０１がＸ軸方向に移動する。Ｙ方向ガ
イド軸１０５は、基台１０９に対して動かないように固
定されており、Ｙ方向ガイド軸１０５上のテーブル１０
７はＹ方向駆動モータ１０３に接続されている。Ｙ方向
駆動モータ１０３は、ステッピングモータ等であり、制
御装置１０６からＹ軸方向の駆動信号が供給されると、
テーブル１０７をＹ軸方向に移動させる。

【００５７】検出装置１０８は、発光装置と受光素子を
備えたスキャニング装置であり、テーブル１０７のＹ方
向の移動に伴って、カラーフィルタ基板３０の欠陥部分
の検出を行う。具体的には、カラーフィルタ基板３０の
裏面側から光を照射し、カラーフィルタ基板３０の表面
側に設けた受光素子で、光が高度に透過している箇所、
すなわち白抜けによる欠陥部分を検出するように構成さ
れている。

【００５８】制御装置１０６は、検出装置１０８で検出
された欠陥部分の位置情報を受信し、これに基づいて、
Ｘ方向駆動モータ１０２に対して、インクジェットヘッ
ド１０１のＸ軸方向の移動を制御するための駆動パルス
信号（Ｘ軸方向の駆動信号）を供給するとともに、Ｙ方
向駆動モータ１０３に対して、テーブル１０７のＹ軸方
向の移動を制御するための駆動パルス信号（Ｙ軸方向の
駆動信号）を供給する。また制御装置１０６は、インク
ジェットヘッド１０１に対して修正液の吐出制御用の電
圧を供給する。本実施形態において、修正液は、前記第
１の実施形態と同じものが用いられる。

【００５９】かかる構成の装置を用いてカラーフィルタ
を製造するには、まず、図２に示すように、前記第１の
実施形態と同様の手順で透明基板２１上に、遮光層２２
および着色層２３Ｒ、２３Ｇ，２３Ｂを順に形成する。
このようにして、図３に示すような、透明基板２１上に
遮光層２２および着色層２３Ｒ、２３Ｇ，２３Ｂからな
るフィルタ層２５を備えたカラーフィルタ基板３０を得
た後、図５に示した装置を用いて、このフィルタ層の欠
陥部分３１の検出および修正を行う。ここでは、前記第
１の実施形態と同様に、赤（Ｒ）の着色層２３Ｒにピン
ホールからなる欠陥部分３１が形成されている例を挙げ
て説明する。なお、予め、着色層２３Ｒ、２３Ｇ，２３
Ｂの上面と修正液との濡れ性を小さくすることを目的と
して撥液処理を行う場合には、フィルタ層２５を形成し
た後、カラーフィルタ基板３０を図５に示した装置にセ
ットする前に撥液処理を行うことが好ましい。

【００６０】欠陥部分３１の修正を行うには、まず、図
５に示す装置のテーブル１０７上にカラーフィルタ基板
３０を固定し、テーブル１０７を検出装置１０８の下方
で移動させることにより、検出装置１０８でフィルタ層
２５をスキャンする。検出装置１０８の受光素子は、欠
陥部分３１を周囲よりも明るい輝点として認識し、テー
ブル１０７上における、この輝点の座標を検出して制御
装置１０６に送信する。制御装置１０６は、欠陥部分３
１の位置情報（座標）を記憶手段に記憶させる。

【００６１】カラーフィルタ基板３０のフィルタ層２５
の全面について、検出装置１０８によるスキャンが終わ
ったら、テーブル１０７をインクジェットヘッド１０１
の下方に移動させ、制御装置１０６の記憶手段に記憶さ
れた欠陥部分３１の位置情報（座標）に基づいて、欠陥
部分３１に、インクジェットヘッド１０１から修正液を
吐出する。すなわちＸ方向駆動モータ１０２およびＹ方
向駆動モータ１０３を駆動させ、インクジェットヘッド
１０１とテーブル１０７とを相対的に移動させ、インク
ジェットヘッド１０１が、欠陥部分３１に対して修正液
を吐出可能な位置に到達したときに、図３（ｂ）に示す
ように、制御装置１０６からインクジェットヘッド１０
１に電気信号を供給して、修正液３２を吐出させる。

【００６２】なお検出装置１０８で、欠陥部分３１の位
置を検出すると同時に、欠陥部分３１の大きさも検出し
て、その情報を制御装置１０６に送信し、制御装置１０
６では、この情報に基づいてインクジェットヘッド１０
１から吐出される修正液３２の量を制御することもでき
る。

【００６３】また好ましくは、修正液３２を吐出した
後、再び、テーブル１０７を検出装置１０８の下方に移
動させ、再スキャンして欠陥部分の有無を確認する。そ
して、白抜けしている未修正個所が残っていることが認
められたら、この未修正個所に対して、同様の操作を繰
り返してインクジェットヘッド１から修正液３２を吐出
する。再スキャンの結果白抜けしている個所ががなけ
れば、カラーフィルタ基板３０を、前記第１の実施形態
と同様にして乾燥・硬化工程に供し、修正液３２を硬化
させて中間色の塗膜３１ａを形成する。

【００６４】修正液３２を硬化させた後、図２（ｆ）に
示すように、前記第１の実施形態と同様にして、カラー
フィルタ基板３０上の全面に、例えばアクリル系樹脂か
らなる透明樹脂を塗布してオーバーコート層２６を形成
する。また、必要であれば、オーバーコート層２６上
に、例えばＩＴＯ（酸化インジウムスズ）膜等の透明導
電膜をパターン化してなる電極層２７を形成し、さらに
必要であれば、その上面に配向膜２８を形成してカラー
フィルタ２００が得られる。なお、前工程において着色
層２３Ｒ、２３Ｇ，２３Ｂの上面に対して撥液処理を施
した場合、必要に応じてオーバーコート層２６の形成に
先立って、着色層に対して紫外線照射等の親液処理を施
してもよい。

【００６５】このような方法によっても、前記第１の実
施形態と同様の構成を有するカラーフィルタ２００が得
られる。また得られたカラーフィルタ２００を用いて、
前記第１の実施形態と同様に、各種の電気光学装置を構
成することができ、同様の作用効果が得られる。

【００６６】本実施形態によれば、Ｒ（赤）の着色層２
３Ｒに生じていた欠陥部分３１が、中間色の修正液３２
からなる塗膜３１ａによって埋められたので、このカラ
ーフィルタ２００に光を透過させたときに、欠陥部分３
１が輝点とならず目立たない。また、欠陥部分３１に形
成されている塗膜３１ａは中間色であるので、ある程度
光を透過させることができる。したがって、欠陥部分３
１が良好な状態に修正されるとともに、光透過率の低下
が小さく抑えられたカラーフィルタ２００が得られる。
特に本実施形態においては、フィルタ層２５の欠陥部分
の検知および修正を行う装置に、フィルタ層２５を目視
により観察するための観察部が設けられていない。そし
て、欠陥部分の検知、位置特定、修正液の吐出位置への
移動、修正液の吐出、および修正部分の確認を、機械的
に自動で行うので、これらの操作を目視により観察しな
がら行う場合に比べて、精度的にはやや劣るものの、人
手を要さず、効率的に欠陥部分の修正作業を行うことが
できる。また、目視による観察を行う場合に比べて、誤
認や誤作動が生じる可能性は高く、欠陥部分ではない着
色層の正常な領域に修正液３２が塗布される場合も生じ
得る。しかしながら、本実施形態では、中間色の修正液
３２を使用するので、正常な領域に形成された修正液３
２からなる塗膜を除去しなくても、画面表示においてこ
の塗膜は目立たない。したがって、本実施形態によって
も、着色層に生じた欠陥部分および遮光層に生じた欠陥
部分を簡単な構成で容易に修正することができる。

【００６７】なお本実施形態においても、欠陥部分３１
が、ピンホールである場合だけでなく、着色層２３Ｒ、
２３Ｇ、２３Ｂや遮光層２２の厚さ不足による白抜け
や、比較的広面積の欠陥部分に対しても、また１つの欠
陥部分が異なる色の着色層にまたがっている場合、ある
いは１つの欠陥部分が着色層と遮光層とにまたがってい
る場合なども含めて、あらゆる欠陥部分に対して中間色
の修正液を吐出して塗膜を形成することによって、良好
な修正を行うことができる。

【００６８】また、上記第１および第２の実施形態で
は、透明基板２１上にフィルタ層２５を形成するのにフ
ォトリソグラフィ法を用いたが、本発明においてフィル
タ層２５の形成方法および構成は適宜変更可能である。
例えば、透明基板上に着色層を形成するのに、以下に説
明するようなインクジェット法を用いてもよい。

【００６９】図６（ａ）〜（ｄ）は、本発明の第３の実
施形態を示したもので、インクジェット法を用いてカラ
ーフィルタ基板を製造する方法を工程順に示した模式断
面図である。まず、図６（ａ）に示すように、透明基板
１１１上に、前記第１の実施形態と同様にしてフォトリ
ソグラフィ工程を経て遮光層２２を格子状に形成する。

【００７０】続いて、遮光層１１２上にバンク１１３を
形成する。すなわち、図６（ｂ）に示すように、透明基
板１１１および遮光層１１２を覆うように、ネガ型の透
明な感光性樹脂組成物からなるレジスト層１１７を形成
し、その上面に、格子状に形成されたマスクフィルム１
１８を密着させた状態で露光処理を行う。そして、図６
（ｃ）に示すように、レジスト層１１７の未露光部分を
エッチング処理することによりレジスト層１１７をパタ
ーニングして、バンク１１３を形成する。このバンク１
１３とその下の遮光層１１２は、この後の工程におい
て、インクジェット法により着色層１１５ｒ、１１５
ｇ、１１５ｂを形成する際にインクの広がりを規制する
土手の役割を果たす仕切り１１４となる。

【００７１】次に、図６（ｄ）に示すように、仕切り１
１４で囲まれた領域内、すなわち画素に着色層用塗布液
（インク）を塗布し、これを乾燥させて着色層１１５
ｒ、１１５ｇ、１１５ｂを形成する。例えば、３台のイ
ンクジェット装置を備えた着色層形成装置を用い、次の
ようにして３色の着色層１１５ｒ、１１５ｇ、１１５ｂ
を順に形成する。３色の着色層１１５ｒ、１１５ｇ、１
１５ｂの形成順序は限定されない。

【００７２】まず、仕切り１１４が形成された透明基板
１１１を第１のインクジェット装置に導入し、多数の画
素のうちＲ（赤）の着色層１１５ｒからなる画素が形成
される領域のみに対して、インクジェットヘッド（図示
略）から赤色のインクを吐出する。この後、第１の乾燥
装置に搬送し、ここでインクを乾燥させてＲ（赤）の着
色層１１５ｒを形成する。続いて、Ｒ（赤）の着色層１
１５ｒが形成された透明基板１１１を第２のインクジェ
ット装置に搬送し、多数の画素のうちＧ（緑）の着色層
１１５ｇからなる画素が形成される領域のみに対して、
インクジェットヘッド（図示略）から緑色のインクを吐
出する。そして、第２の乾燥装置に搬送し、ここでイン
クを乾燥させてＧ（緑）の着色層１１５ｇを形成する。
続いて、Ｒ（赤）の着色層１１５ｒおよびＧ（緑）の着
色層１１５ｇが形成された透明基板１１１を第３のイン
クジェット装置に搬送し、多数の画素のうちＢ（青）の
着色層１１５ｂからなる画素が形成される領域のみに対
して、インクジェットヘッド（図示略）から青色のイン
クを吐出する。この後、第３の乾燥装置に搬送し、ここ
でインクを乾燥させてＢ（青）の着色層１１５ｂを形成
する。なお、第１〜第３のインクジェット装置内におい
て、透明基板１１１を精密に位置決めできるように、例
えば遮光層１１２を形成する際に、位置合わせ用のマー
クを形成しておくことが好ましい。

【００７３】このようにして、インクジェット法により
着色層１１５ｒ、１１５ｇ、１１５ｂを形成することに
より、透明基板１１上に、遮光層１１２とバンク１１３
と着色層１１５ｒ、１１５ｇ、１１５ｂからなるフィル
タ層１２５が形成されたカラーフィルタ基板１３０が得
られる。そして、このようにして作製されたカラーフィ
ルタ基板１３０について、前記第１の実施形態または第
２の実施形態と同様にして、フィルタ層１２５の欠陥部
分１３１の検出および修正を行い、すべての欠陥部分の
修正が終わったら、フィルタ層１２５に吐出された修正
液の乾燥・硬化を行って、欠陥部分１３１内に中間色の
塗膜１３１ａを形成する。

【００７４】修正液を硬化させた後、図示していない
が、カラーフィルタ基板１３０上の全面に、例えばアク
リル系樹脂からなる透明樹脂を塗布してオーバーコート
層を形成する。また、必要であれば、オーバーコート層
上に、例えばＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）膜等の透
明導電膜からなる電極層を形成した後、パターン化して
電極を形成し、さらに必要であれば、その上面に配向膜
を形成してカラーフィルタが得られる。

【００７５】本実施形態のカラーフィルタは、フィルタ
層が、遮光層１１２とバンク１１３と着色層１１５ｒ、
１１５ｇ、１１５ｂとで構成される点で、前記第１およ
び第２の実施形態と異なるが、前記第１および第２の実
施形態と同様に、白抜けを生じる欠陥部分を検出し、こ
こにインクジェットヘッドを用いて中間色の修正液を吐
出することにより欠陥部分を修正でき、同様の作用効果
が得られる。また本実施形態のカラーフィルタも、前記
第１および第２の実施形態のカラーフィルタ２００と同
様にして液晶装置を構成することができ、同様の作用効
果を得ることができる。

【００７６】なお、カラーフィルタの製造上の欠陥とし
ては、上記で述べたような白抜けを生じるものの他に、
例えば着色層上に異物が付着している場合など、表示画
面において黒点となる欠陥もある。このような黒点を生
じる不良個所については、局所的にレーザ照射を行うこ
とによって異物を除去することができる。そして、レー
ザ照射によって異物周囲の着色層も損傷を受けるが、こ
のような着色層の損傷部分は白抜けを生じる欠陥部分と
みなすことができ、本発明における欠陥部分の修正方法
と同様にして修正を行うことができる。

【００７７】次に、本発明の液晶装置を備えた電子機器
の実施形態について説明する。図７（ａ）は、携帯電話
の一例を示した斜視図である。符号６００は携帯電話本
体を示し、符号６０１は液晶表示部を示している。図７
（ｂ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装
置の一例を示した斜視図である。符号７００は情報処理
装置、符号７０１はキーボードなどの入力部、符号７０
３は情報処理装置本体を示し、符号７０２は液晶表示部
を示している。図７（ｃ）は、腕時計型電子機器の一例
を示した斜視図である。符号８００は時計本体を示し、
符号８０１は液晶表示部を示している。これらの電子機
器において、液晶表示部６０１、７０２、８０１は、前
記第１または第２の実施形態のカラーフィルタ２００を
備えた液晶装置、あるいは前記第３の実施形態のカラー
フィルタ基板１３０用いてなるカラーフィルタを備えた
液晶装置を用いて構成されている。

【００７８】これらの実施形態の電子機器にあっては、
液晶表示部６０１、７０２、８０１において、カラーフ
ィルタの欠陥部分が、中間色の修正液を用いて修正され
て目立たなくなっており、また欠陥部分での透過率の低
下も小さく抑えられているので、見かけ上は欠陥のない
良好な液晶表示画面が得られる。

【００７９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のカラーフ
ィルタの製造方法によれば、透明基板上に、遮光層およ
び着色層からなるフィルタ層を備えたカラーフィルタを
製造する工程において、フィルタ層に存在する欠陥部分
を検出し、インクジェットヘッドで中間色の修正液を吐
出して該欠陥部分内に塗膜を形成することにより、この
欠陥部分内の塗膜における光透過率の低下を抑えつつ、
表示画面において欠陥部分を目立たなくすることができ
るので、良好な修正状態が得られる。また、各色の着色
層内の欠陥部分についても、また遮光層内の欠陥部分に
ついても、１色の中間色の修正液で修正することができ
るので、カラーフィルタのフィルタ層（着色層および／
または遮光層）の欠陥部分を簡単な構成で容易に修正す
ることができる。

【００８０】また、本発明のカラーフィルタの製造装置
によれば、透明基板上のフィルタ層を観察する観察部
と、前記フィルタ層に対して、中間色の修正液を吐出可
能なインクジェットヘッドと、該インクジェットヘッド
と前記透明基板との相対位置を変える駆動部を備えてい
るので、着色層または遮光層に生じている欠陥部分を確
実に、精度良く検知することができ、この欠陥部分に対
してインクジェットヘッドから中間色の修正液を吐出す
ることにより、欠陥部分に修正液からなる塗膜を形成し
て修正を行うことができる。したがって、カラーフィル
タのフィルタ層（着色層および／または遮光層）の欠陥
部分を簡単な構成で容易に修正することができる。

【００８１】また、本発明のカラーフィルタによれば、
フィルタ層（遮光層および／または着色層）の欠陥部分
内に、中間色の修正液からなる塗膜が形成されているの
で、このカラーフィルタのに光を透過させたときに欠陥
部分が目立たなくなっており、見かけ上、欠陥のない良
好なカラー表示特性が得られる。

【００８２】さらに、本発明の電気光学装置によれば、
カラーフィルタの遮光層および／または着色層の欠陥部
分が表示画面において目立たたなくなっているので、見
かけ上、欠陥による表示不良がないカラー表示特性に優
れた電気光学装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るカラーフィルタの製造装置の一
実施形態を示した概略構成図である。

【図２】本発明に係るカラーフィルタの製造方法の一
実施形態を工程順に示した断面図である。

【図３】本発明に係るカラーフィルタ基板の例を示し
たもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）中のＢ−Ｂ
線に沿う断面図である。

【図４】本発明に係るカラーフィルタを備えた液晶装
置の例を示す要部断面図である。

【図５】本発明に係るカラーフィルタの製造装置の他
の実施形態を示した概略構成図である。

【図６】本発明に係るカラーフィルタの製造方法の他
の実施形態を工程順に示した断面図である。

【図７】本発明に係る電子機器の例を示したもので
（ａ）は携帯電話の斜視図であり、（ｂ）は携帯型情報
処理装置の斜視図であり、（ｃ）は腕時計型電子機器の
斜視図である。

【符号の説明】

１…観察用モニター２…θ方向駆動手段４，３０，１３０…カラーフィルタ基板７…カメラ９…Ｘ方向駆動手段１１…支持部材１３…制御装置１６，１０１…インクジェットヘッド１７…Ｙ方向駆動手段２１，１１１…透明基板２２，１１２…遮光層２３Ｒ，２３Ｇ，２３Ｂ，１１５ｒ，１１５ｇ，１１５
ｂ…着色層２５，１２５…フィルタ層３１，１３１…欠陥部分３１ａ，１３１ａ…修正液からなる塗膜３２…修正液１０８…検出装置１１３…バンク１１４…仕切り２００…カラーフィルタ２０１…液晶装置６０１，７０２，８０１…液晶表示部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2C056 FA15 FB01 2H048 BA11 BA43 BA64 BB02 BB42 2H091 FA02Y FA34Y FB02 FB12 FC12 FD04 LA16 LA30 5C094 AA08 AA42 AA43 BA43 CA19 CA24 DA13 EA04 EA05 EA07 EB02 ED03 ED15 5G435 AA17 BB12 CC09 CC12 EE33 GG12 KK07 KK10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板上に遮光層および着色層からなる
フィルタ層を備えたカラーフィルタを製造する方法であ
って、前記フィルタ層に存在する欠陥部分を検出する検出工程
と、検出された欠陥部分に対し、インクジェットヘッドを用
いて、中間色の修正液を吐出する吐出工程を有すること
を特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】前記修正液が、黒と白の中間色であるこ
とを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタの製造方
法。
【請求項３】前記検出工程において、前記フィルタ層
を撮影して得られる画像を観察することによって、前記
欠陥部分を検出することを特徴とする請求項１または２
のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】前記吐出工程の後、前記修正液が吐出さ
れた欠陥部分を観察する確認工程を有し、該確認工程に
おいて前記欠陥部分内に未修正個所の存在が認められれ
ば、該未修正個所に対して、前記インクジェットヘッド
を用いて、前記修正液を再度吐出することを特徴とする
請求項１〜３のいずれかに記載のカラーフィルタの製造
方法。
【請求項５】基板上に、遮光層および着色層からなる
フィルタ層を備えたカラーフィルタを製造する装置であ
って、前記基板上のフィルタ層を観察する観察部と、前記フィルタ層に対して、中間色の修正液を吐出可能な
インクジェットヘッドと、該インクジェットヘッドと前記基板との相対位置を変え
る駆動部を備えてなることを特徴とするカラーフィルタ
の製造装置。
【請求項６】前記観察部が、前記フィルタ層を撮影す
るカメラと、該カメラで撮影された画像を表示する観察
用モニターとを備えており、前記カメラと前記インクジ
ェットヘッドとが一体的に設けられていることを特徴と
する請求項５記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項７】前記修正液が、黒と白の中間色であるこ
とを特徴とする請求項５または６のいずれかに記載のカ
ラーフィルタの製造装置。
【請求項８】基板上に、遮光層および着色層からなる
フィルタ層が設けられており、該フィルタ層の欠陥部分
内に、中間色の修正液からなる塗膜が形成されているこ
とを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項９】着色層の欠陥部分内に形成された前記塗
膜における光透過率が５〜９５％であることを特徴とす
る請求項８記載のカラーフィルタ。
【請求項１０】前記修正液が、黒と白の中間色である
ことを特徴とする請求項８または９のいずれかに記載の
カラーフィルタ。
【請求項１１】請求項８〜１０のいずれかに記載のカ
ラーフィルタを備えたことを特徴とする電気光学装置。